廓。 陽132] 實施例2
[013引圖17是示出實施例2所設及的電極圖案PT的局部的示意圖。本實施例所設及的 電極圖案PT通過將圖17的左側(cè)所示的單位圖案U2沿著格子GRD中包含的單元化的對角 線方向（排列方向化1)和單元化的另一對角線方向（排列方向化2)排列而構(gòu)成。
[0134] 單位圖案U2是在由接連的兩條第一線L1與接連的Ξ條第二線L2構(gòu)成的兩個單 元化中于除各單元化的邊界W外的六條邊上配置細線片化1、化2、化3、化4、化1、Tb2而 成的圖案。運樣，單位圖案U2用細線片T封閉。在圖17示出的例子中，第一線L1與第二 線L2正交，并且間距P1、P2相等。因此，單位圖案U2是長邊的長度為短邊的長度的2倍的 長方形。
[0135] 在電極圖案PT中，相鄰的兩個單位圖案U2的輪廓共用一根細線片T而形成。例 如，在排列方向化1上接連的兩個單位圖案肥中，配置于其邊界的一根細線片化在一方的 單位圖案U2中被用作細線片化2,在另一方的單位圖案U2中被用作細線片化3,由此來形 成運些單位圖案肥的輪廓。 陽136]實施例3 陽137]圖18是示出實施例3所設及的電極圖案PT的局部的示意圖。本實施例所設及的 電極圖案PT通過組合圖18的左側(cè)所示的單位圖案U3a、U3b而構(gòu)成。具體而言，電極圖案 PT是將沿著格子GRD中包含的單元化的對角線方向（排列方向化1)排列的多個單位圖 案U3a和沿著該對角線方向排列的多個單位圖案U3b沿單元化的另一對角線方向（排列 方向化2)交替配置而成的圖案。
[0138] 單位圖案U3a是在由接連的兩條第一線L1與接連的Ξ條第二線L2構(gòu)成的兩個單 元化中于除各單元化的邊界W外的六條邊上配置細線片化1、化2、化3、化4、化1、Tb2而 成的圖案。單位圖案U3b是在由接連的Ξ條第一線L1與接連的兩條第二線L2構(gòu)成的兩個 單元化中于除各單元化的邊界W外的六條邊上配置細線片化5、化6、化3、化4、化5、化6 而成的圖案。運樣，單位圖案U3a、U3b均用細線片T封閉。在圖18示出的例子中，第一線 L1與第二線L2正交，并且間距P1、P2相等。因此，單位圖案U3a、U3b是長邊的長度為短邊 的長度的2倍的長方形。 陽139] 在電極圖案PT中，相鄰的兩個單位圖案U3a、相鄰的兩個單位圖案U3bW及相鄰的 單位圖案U3a與單位圖案U3b的輪廓共用一根細線片T而形成。例如，在排列方向Dsl上 接連的兩個單位圖案U3a中，配置于其邊界的一根細線片Ta在一方的單位圖案U3a中被用 作細線片化2,在另一方的單位圖案U3a中被用作細線片化3,由此來形成運些單位圖案U3a 的輪廓。
[0140] 另外，例如，在排列方向Dsl上接連的兩個單位圖案U3b中，配置于其邊界的一根 細線片化在一方的單位圖案U3b中被用作細線片化4,在另一方的單位圖案U3b中被用作 細線片化5,由此來形成運些單位圖案U3b的輪廓。
[0141] 單位圖案U3a與四個單位圖案U3b相鄰。單位圖案U3a的輪廓與運四個單位圖案 U3b的輪廓共用細線片化1、化4、化1、Tb2而形成。
[0142] 另外，單位圖案U3b與四個單位圖案U3a相鄰。單位圖案U3b的輪廓與運四個單 位圖案U3a的輪廓共用細線片化5、化6、化3、Tb6而形成。 陽143] 實施例4
[0144] 圖19是示出實施例4所設及的電極圖案PT的局部的示意圖。本實施例所設及的 電極圖案PT通過組合圖19的左側(cè)所示的單位圖案U4a、U4b而構(gòu)成。具體而言，電極圖案 PT是沿著由在第二線L2的延伸方向DL2上接連的Ξ個單元化構(gòu)成的矩形的對角線方向 化5交替配置沿著構(gòu)成格子GRD的第一線L1的延伸方向DL1排列的多個單位圖案U4a和沿 著該延伸方向DL1排列的多個單位圖案U4b而成的圖案。
[0145] 單位圖案U4a是在由接連的Ξ條第一線L1與接連的Ξ條第二線L2構(gòu)成的四個單 元化中的Ξ個中，于除各單元化的邊界W外的八條邊上配置細線片化1、化2、化3、化4、 化1、化2、化3、化4而成的圖案。單位圖案U4b是在由接連的Ξ條第一線L1與接連的Ξ條 第二線L2構(gòu)成的四個單元化中的Ξ個中，于除各單元化的邊界W外的八條邊上配置細線 片化5、化6、化7、化8、化5、化6、化7、Tb8而成的圖案。運樣，單位圖案U4a、U4b均用細線 片T封閉。在圖19示出的例子中，第一線L1與第二線L2正交，并且間距P1、P2相等。單 位圖案U4a、U4b均構(gòu)成彎曲成直角的L字形的形狀。 陽146] 在電極圖案PT中，相鄰的兩個單位圖案U4a、相鄰的兩個單位圖案U4bW及相鄰的 單位圖案U4a與單位圖案U4b的輪廓共用至少一根細線片T而形成。例如，在第一線L1的 延伸方向DL1上接連的兩個單位圖案U4a中，配置于其邊界的一根細線片化在一方的單位 圖案U4a中被用作細線片化1，在另一方的單位圖案U4a中被用作細線片化4,由此來形成 運些單位圖案U4a的輪廓。
[0147] 另外，例如，在第一線L1的延伸方向DL1上接連的兩個單位圖案U4b中，配置于 其邊界的一根細線片化在一方的單位圖案U4b中被用作細線片化5,在另一方的單位圖案 U4b中被用作細線片化8,由此來形成運些單位圖案U4b的輪廓。
[0148] 單位圖案U4a與四個單位圖案U4b相鄰。單位圖案U4a的輪廓與運四個單位圖案 U4b的輪廓共用細線片化1、化2、化3、化4、化2、Tb3而形成。
[0149] 另外，單位圖案U4b與四個單位圖案U4a相鄰。單位圖案U4b的輪廓與運四個單 位圖案U4a的輪廓共用細線片化5、化6、化7、化8、化6、Tb7而形成。 陽150] 實施例5 陽151] 圖20是示出實施例5所設及的電極圖案PT的局部的示意圖。本實施例所設及的 電極圖案PT是將圖20的左側(cè)所示的單位圖案U5沿著由在第一線L1的延伸方向DL1和第 二線L2的延伸方向DL2上接連的Ξ個單元化構(gòu)成的矩形的對角線方向化5排列而成的圖 案。 陽152] 單位圖案呪是在由接連的五條第一線L1與接連的四條第二線L2構(gòu)成的多個單 元化中的六個中，于除各單元化的邊界W外的十四條邊上配置細線片Tal、Ta2、Ta3、Ta4、 化5、化6、化1、化2、化3、化4、化5、化6、化7、Tb8而成的圖案。運樣，單位圖案呪用細線片T封閉。在圖20示出的例子中，第一線L1與第二線L2正交，并且間距P1、P2相等。單位 圖案U5構(gòu)成使彎曲成直角的兩個L字方向倒轉(zhuǎn)并在彎曲部分將其連結(jié)的形狀。 陽153] 在電極圖案PT中，相鄰的兩個單位圖案U5的輪廓共用至少一根細線片T而形成。 例如，在第一線L1的延伸方向DL1上接連的兩個單位圖案呪中，配置于其邊界的一根細線 片化和兩根細線片化在一方的單位圖案U5中被用作細線片化3、化1、化3,在另一方的單 位圖案呪中被用作細線片化4、化6、化8,由此來形成運些單位圖案呪的輪廓。 陽154] 實施例6 陽155] 圖21是示出實施例6所設及的電極圖案PT的局部的示意圖。本實施例所設及的 電極圖案PT是將沿格子GRD中包含的單元CL的對角線方向（排列方向Ds2)彎曲延伸的 檢測線W沿著單元化的另一對角線方向（排列方向化1)W規(guī)定間距排列而構(gòu)成的。檢測 線W是通過將圖21的左側(cè)所示的單位圖案U6的端部彼此連接并沿排列方向Ds2排列運些 單位圖案U6而構(gòu)成的。
[0156] 單位圖案U6是在由接連的兩條第一線L1與接連的兩條第二線L2構(gòu)成的單元化 中的相鄰的兩條邊上配置細線片Ta、化而成的圖案。在圖21示出的例子中，第一線L1與 第二線L2正交，并且間距P1、P2相等。單位圖案U6構(gòu)成彎曲成直角的L字形的形狀。 陽157] 實施例7
[0158] 圖22是示出實施例7所設及的電極圖案PT的局部的示意圖。本實施例所設及的 電極圖案PT是將圖22的左側(cè)所示的單位圖案U7沿著構(gòu)成格子GRD的第一線L1的延伸方 向DL1和構(gòu)成格子GRD的第二線L2的延伸方向DL2排列而構(gòu)成的。單位圖案U7是在由接 連的兩條第一線L1和接連的兩條第二線L2構(gòu)成的單元（cell)化中于相對的兩條邊上分 別配置細線片化1、Ta2并在相對的另外兩條邊上配置細線片化1、Tb2而成的圖案。運樣， 單位圖案U7用細線片T封閉。在圖22示出的例子中，第一線L1與第二線L2W從第一線 L1到第二線L2的順時針方向角度為純角（逆時針方向角度為銳角）的方式相交，且間距 P1、P2相等。因此，單位圖案U7是菱形。
[0159] 在電極圖案PT中，相鄰的兩個單位圖案U7的輪廓共用一根細線片T而形成。例 如，在第一線L1的延伸方向DL1上接連的兩個單位圖案U7中，配置于其邊界的一根細線 片化在一方的單位圖案U7中被用作細線片化1，在另一方的單位圖案U7中被用作細線片 化2,由此來形成運些單位圖案U7的輪廓。 陽16〇] 實施例8 陽161] 圖23是示出實施例8所設及的電極圖案PT的局部的示意圖。本實施例所設及的 電極圖案PT是通過組合圖23的左側(cè)所示的單位圖案U8a、U8b而構(gòu)成的。具體而言，電極 圖案PT是將沿著格子GRD中包含的單元化的對角線方向（排列方向化1)排列的多個單位 圖案U8a和沿著該對角線方向排列的多個單位圖案U8b沿單元化的另一對角線方向（排 列方向Ds2)交替配置而成的圖案。
[0162] 單位圖案U8a是在由接連的兩條第一線L1與接連的Ξ條第二線L2構(gòu)成的兩個單 元化中于除各單元化的邊界W外的六條邊上配置細線片化1、化2、化3、化4、化1、Tb2而 成的圖案。單位圖案U8b是在由接連的Ξ條第一線L1與接連的兩條第二線L2構(gòu)成的兩個 單元化中于除各單元化的邊界W外的六條邊上配置細線片化5、化6、化3、化4、化5、化6 而成的圖案。運樣，單位圖案U8a、U8b均用細線片Τ封閉。在圖23示出的例子中，第一線L1與第二線L2W從第一線L1到第二線L2的順時針方向角度為純角（逆時針方向角度為 銳角）的方式相交，并且間距Ρ1、Ρ2相等。因此，單位圖案U8a、U8b是長邊的長度為短邊的 長度的2倍的平行四邊形。 陽163] 在電極圖案PT中，相鄰的兩個單位圖案U8a、相鄰的兩個單位圖案U8b、W及相鄰 的單位圖案U8a與單位圖案U8b的輪廓共用一個細線片T而形成。例如，在排列方向Dsl上接連的兩個單位圖案U8a中，配置于其邊界的一根細線片化在一方的單位圖案U8a中被 用作細線片化2,在另一方的單位圖案U8a中被用作細線片化3,由此來形成運些單位圖案 U8a的輪廓。
[0164]另外，例如，在排列方向Dsl上接連的兩個單位圖案U8b中，配置于其邊界的一根 細線片化在一方的單位圖案U8b中被用作細線片化4,在另一方的單位圖案U8b中被用作 細線片化5,由此來形成運些單位圖案U8b的輪廓。 陽165] 單位圖案U8a與四個單位圖案U8b相鄰。單位圖案U8a的輪廓與運四個單位圖案 U8b的輪廓共用細線片化1、化4、化1、Tb2而形成。 陽166] 另外，單位圖案U8b與四個單位圖案U8a相鄰。單位圖案U8b的輪廓與運四個單 位圖案U8a的輪廓共用細線片化5、化6、化3、Tb6而形成。 陽167] 實施例9 陽16引圖24是示出實施例9所設及的電極圖案PT的局部的示意圖。本實施例所設及的 電極圖案PT通過組合圖24的左側(cè)所示的單位圖案U9a、U9b而構(gòu)成。具體而言，電極圖案 PT是沿著由在第一線L1的延伸方向DL1上接連的Ξ個單元化構(gòu)成的四邊形的對角線方向 Ds6交替配置沿著構(gòu)成格子GRD的第二線L2的延伸方向DL2排列的多個單位圖案U9a和沿 著該延伸方向DL2排列的多個單位圖案U9b而成的圖案。 陽169] 單位圖案U9a是在由接連的Ξ條第一線L1與接連的Ξ條第二線L2構(gòu)成的四個單 元化中的Ξ個中，于除各單元化的邊界W外的八條邊上配置細線片化1、化2、化3、化4、 化1、化2、化3、化4而成的圖案。單位圖案U9b是在由接連的Ξ條第一線L1與接連的Ξ條 第二線L2構(gòu)成的四個單元化中的Ξ個中，于除各單元化的邊界W外的八條邊上配置細線 片化5、化6、化7、化8、化5、化6、化7、Tb8而成的圖案。運樣，單位圖案U9a、U9b均用細線 片T封閉。在圖24示出的例子中，第一線L1與第二線L2W從第一線L1到第二線L2的順 時針方向角度為純角（逆時針方向角度為銳角）的方式相交，且間距P1、P2相等。單位圖 案U9a、U9b均構(gòu)成彎曲成純角的V字形形狀。
[0170] 在電極圖案PT中，相鄰的兩個單位圖案U9a、相鄰的兩個單位圖案U9b、W及相鄰 的單位圖案U9a與單位圖案U9b的輪廓共用至少一個細線片T而形成。例如，在第二線L2 的延伸方向DL2上接連的兩個單位圖案U9a中，配置于其邊界的一根細線片化在一方的單 位圖案U9a中被用作細線片化2,在另一方的單位圖案U9a中被用作細線片化4,由此來形 成運些單位圖案U9a的輪廓。 陽171] 另外，例如，在第二線L2的延伸方向DL2上接連的兩個單位圖案U9b中，配置于 其邊界的一根細線片化在一方的單位圖案U9b中被用作細線片化5,在另一方的單位圖案U9b中被用作細線片化7,由此來形成運些單位圖案U9b的輪廓。 陽172] 單位圖案U9a與四個單位圖案U9b相鄰。單位圖案U9a的輪廓與運四個單位圖案 U9b的輪廓共用細線片化1、化3、化1、化2、化3、Tb4而形成。 陽173]另外，單位圖案U9b與四個單位圖案U9a相鄰。單位圖案U9b的輪廓與運四個單 位圖案U9a的輪廓共用細線片化6、化8、化5、化6、化7、Tb8而形成。 陽174] 實施例10 陽175] 圖25是示出實施例10所設及的電極圖案PT的局部的示意圖。本實施例所設及 的電極圖案PT是將圖25的左側(cè)所示的單位圖案U10沿著由在第二線L2的延伸方向化2 和第一線L1的延伸方向DL1上接連的Ξ個單元化構(gòu)成的四邊形的對角線方向Ds6排列而 成的圖案。
[0176] 單位圖案U10是在由接連的四條第一線L1和接連的五條第二線L2構(gòu)成的多個單 元化中的六個中，于除各單元化的邊界W外的十四條邊上配置細線片Tal、Ta2、Ta3、Ta4、 化5、化6、化7、化8、化1、化2、化3、化4、化5、Tb6而成的圖案。運樣，單位圖案UlO用細線 片T封閉。在圖25示出的例子中，第一線L1與第二線L2W從第一線L1到第二線L2的順 時針方向角度為純角（逆時針方向角度為銳角