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一種邊緣缺陷檢測方法及裝置的制造方法

文檔序號:9579850閱讀:686來源:國知局
一種邊緣缺陷檢測方法及裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及圖像處理技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種邊緣缺陷檢測方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]工業(yè)產(chǎn)品中往往包含各種形狀的邊緣,例如圓形、長方形以及直線和圓弧的組合形狀的邊緣等。邊緣是工業(yè)產(chǎn)品的一項重要特征,直接影響工業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量,而邊緣缺陷檢測一直是困擾本領(lǐng)域技術(shù)人員的難題。
[0003]邊緣缺陷檢測,主要檢測工業(yè)產(chǎn)品邊緣的一致性,即檢測工業(yè)產(chǎn)品邊緣是否存在凸痕、凹痕等缺陷。具體地,例如對手機外屏和集成電路硅片的邊緣缺陷檢測,手機外屏和集成電路硅片一般具有規(guī)則的邊緣,手機外屏具有長方形邊緣,集成電路硅片具有圓弧和直線的組合邊緣;手機外屏的邊緣如果存在缺陷,則會影響到手機外屏的裝配,甚至導(dǎo)致手機無法正常使用;集成電路硅片的邊緣如果存在缺陷,則會影響集成電路的制造,甚至導(dǎo)致基于集成電路硅片的芯片質(zhì)量下降。因此,對工業(yè)產(chǎn)品的邊緣缺陷檢測是工業(yè)生產(chǎn)的重要環(huán)節(jié)。
[0004]目前,邊緣缺陷檢測主要為人工檢測,圖1為一種工業(yè)生產(chǎn)線上常用的邊緣缺陷檢測設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。所述邊緣缺陷檢測設(shè)備包括拍攝設(shè)備110和平臺120,待測物體130放置于平臺120上;所述拍攝設(shè)備110設(shè)置于所述平臺120的正上方用于拍攝所述待測物體130、并獲得圖像,所述平臺120的背景色一般為純色且與所述待測物體130的色彩具有明顯對比,以使所述待測物體130的圖像邊緣更加清晰可辨。工作人員一般以肉眼觀察的方式檢查待測物體130的圖像,查看是否存在凹痕或凸痕缺陷,然而上述檢測方式依賴于人眼的視覺檢查,精度很難保證,而且長時間的檢查容易導(dǎo)致視覺疲勞,從而降低檢測效率甚至導(dǎo)致錯檢、漏檢。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明實施例中提供了一種邊緣缺陷檢測方法及裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)中的邊緣缺陷檢測精度差和效率低的問題。
[0006]為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明實施例公開了如下技術(shù)方案:
[0007]—種邊緣缺陷檢測方法,所述方法包括:
[0008]根據(jù)拍攝設(shè)備拍攝的待測物體的圖像,獲取所述待測物體的邊緣點;
[0009]對所述邊緣點評分,根據(jù)評分的高低確定擬合邊緣點和候選邊緣點;
[0010]根據(jù)所述擬合邊緣點擬合待測物體的邊緣,得到所述待測物體的擬合邊緣;
[0011]計算并得出所述候選邊緣點到所述擬合邊緣的距離,并判斷所述距離是否大于缺陷閾值距離;
[0012]如果所述距離大于所述缺陷閾值距離,則所述候選邊緣點為缺陷邊緣點;
[0013]根據(jù)所述缺陷邊緣點,得到邊緣缺陷檢測結(jié)果。
[0014]可選地,根據(jù)所述拍攝設(shè)備拍攝的待測物體的圖像,獲取所述待測物體的邊緣點之前,所述方法還包括:
[0015]將所述待測物體的圖像沿邊緣位置分段,分段圖像與所述邊緣點相對應(yīng)。
[0016]可選地,所述方法還包括:
[0017]根據(jù)待測物體圖像的對比度,確定所述待測物體的邊緣點。
[0018]可選地,根據(jù)所述邊緣點的對比度和邊緣點的位置,對所述邊緣點評分,包括:
[0019]根據(jù)邊緣點的對比度,獲得所述邊緣點的強度評分;
[0020]根據(jù)邊緣點的位置,獲得所述邊緣點的位置評分;
[0021]通過所述強度評分和所述位置評分的組合計算,獲得所述邊緣點的評分。
[0022]可選地,根據(jù)所述擬合邊緣點擬合待測物體的邊緣之后,所述方法還包括:
[0023]計算擬合邊緣點到擬合邊緣的距離,并判斷所述距離是否大于異常閾值距離;
[0024]如果所述距離大于所述異常閾值距離,剔除相應(yīng)的擬合邊緣點,根據(jù)當(dāng)前的擬合邊緣點擬合所述待測物體的邊緣,更新待測物體的擬合邊緣;
[0025]所述異常閾值距離大于所述缺陷閾值距離。
[0026]可選地,得到所述待測物體的擬合邊緣之后,所述方法還包括:
[0027]根據(jù)邊緣點到當(dāng)前擬合邊緣的距離,對所述邊緣點重新評分;
[0028]根據(jù)評分的高低,更新擬合邊緣點和候選邊緣點;
[0029]根據(jù)當(dāng)前的擬合邊緣點重新擬合,并更新擬合邊緣。
[0030]可選地,對所述邊緣點進行重新評分之后,所述方法還包括:
[0031]判斷擬合邊緣點是否需要更新;以及,
[0032]如果擬合邊緣點需要更新,更新擬合邊緣點,根據(jù)當(dāng)前擬合邊緣點重新擬合,并更新擬合邊緣。
[0033]一種邊緣缺陷檢測裝置,所述裝置包括:
[0034]邊緣點獲取模塊,用于根據(jù)拍攝設(shè)備拍攝的待測物體的圖像,獲取所述待測物體的邊緣點;
[0035]邊緣點評分模塊,用于對所述邊緣點評分,根據(jù)評分的高低確定擬合邊緣點和候選邊緣點;
[0036]邊緣擬合模塊,用于根據(jù)所述擬合邊緣點擬合待測物體的邊緣,得到所述待測物體的擬合邊緣;
[0037]缺陷判斷模塊,用于計算并得出所述候選邊緣點到所述擬合邊緣的距離,并判斷所述距離是否大于缺陷閾值距離;如果所述距離大于所述缺陷閾值距離,則所述候選邊緣點為缺陷邊緣點;
[0038]檢測結(jié)果生成模塊,用于根據(jù)所述缺陷邊緣點,得到邊緣缺陷檢測結(jié)果。
[0039]可選地,所述邊緣點獲取模塊還用于將所述待測物體的圖像沿邊緣位置分段,分段圖像與所述邊緣點相對應(yīng)。
[0040]可選地,所述邊緣點獲取模塊根據(jù)待測物體圖像的對比度,確定所述待測物體的邊緣點。
[0041]可選地,所述邊緣評分模塊根據(jù)所述邊緣點的對比度和邊緣點的位置,對所述邊緣點進行評分,包括:
[0042]所述邊緣評分模塊根據(jù)邊緣點的對比度,獲得所述邊緣點的強度評分;
[0043]所述邊緣評分模塊根據(jù)邊緣點的位置,獲得所述邊緣點的位置評分;
[0044]所述邊緣評分模塊根據(jù)所述強度評分和所述位置評分的組合計算,獲得所述邊緣點的評分。
[0045]可選地,所述裝置還包括異常邊緣點篩選模塊:
[0046]所述異常邊緣點篩選模塊計算擬合邊緣點到擬合邊緣的距離,并判斷所述距離是否大于異常閾值距離;
[0047]如果所述距離大于所述異常閾值距離,所述異常邊緣點篩選模塊剔除相應(yīng)的擬合邊緣點;所述邊緣擬合模塊根據(jù)當(dāng)前的擬合邊緣點擬合所述待測物體的邊緣,更新待測物體的擬合邊緣;
[0048]所述異常閾值距離大于缺陷閾值距離。
[0049]可選地,所述裝置還包括重新評分模塊:
[0050]所述重新評分模塊根據(jù)邊緣點到當(dāng)前擬合邊緣的距離,對所述邊緣點重新評分;
[0051]所述重新評分模塊根據(jù)評分的高低,更新擬合邊緣點和候選邊緣點;
[0052]所述邊緣擬合模塊根據(jù)當(dāng)前的擬合邊緣點重新擬合,并更新擬合邊緣。
[0053]可選地,所述裝置還包括更新判斷模塊:
[0054]所述更新判斷模塊判斷擬合邊緣點是否需要更新;以及,
[0055]如果擬合邊緣點需要更新,更新擬合邊緣點,并向邊緣擬合模塊發(fā)送擬合指令,指示所述邊緣擬合模塊根據(jù)當(dāng)前擬合邊緣點重新擬合,并更新擬合邊緣。
[0056]由以上技術(shù)方案可見,本發(fā)明實施例提供的一種邊緣缺陷檢測方法及裝置,根據(jù)拍攝設(shè)備拍攝的待測物體的圖像,獲取所述待測物體的邊緣點;對所述邊緣點評分,根據(jù)評分的高低確定擬合邊緣點和候選邊緣點;然后根據(jù)所述擬合邊緣點擬合待測物體的邊緣,得到待測物體的擬合邊緣,計算候選邊緣點到擬合邊緣的距離,如果所述距離大于缺陷閾值距離,則所述候選邊緣點為缺陷邊緣點,最后根據(jù)所述缺陷邊緣點得到邊緣缺陷檢測結(jié)果。在整個缺陷檢測過程中,所述拍攝設(shè)備本身具有很高的精度,通過對拍攝設(shè)備獲取的待測物體圖像的分析,并進一步使用評分的方式,能夠有效地獲取待測物體的邊緣點,利用所述邊緣點擬合出的待測物體邊緣與待測物體的實際理想邊緣具有極小甚至可以忽略的誤差,最后通過邊緣點到擬合邊緣的距離判斷是否存在缺陷,有效提高邊緣缺陷檢測的精度;而且,在上述檢測過程中,無需人工介入,避免由于技術(shù)人員人眼視覺疲勞而導(dǎo)致的檢測效率下降。
【附圖說明】
[0057]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0058]
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