靜電傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及在接觸面板及其他的輸入裝置中使用的靜電傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]專利文獻I所記載的靜電傳感器是多個透明電極在基材上被相互絕緣而形成的。電極依次作為驅(qū)動電極及檢測電極使用，向驅(qū)動電極提供脈沖狀的驅(qū)動電力。電極間被電容耦合，但若人的手指接近，則除了電極間的電容耦合以外，還在手指與電極之間形成靜電電容。通過檢測來自檢測電極的電流值，能夠判斷手指正在接近的電極。
[0003]該靜電傳感器的布線構(gòu)造設有在基材上形成而與上述電極層連接的第一布線層、和與該第一布線層重疊的導電層。電極層及第一布線層由ITO構(gòu)成，導電層使用Cu膏形成。進而，在第一布線層的表面上，為了提高與上述導電層之間的密接性，形成有包含銅和鎳的合金的金屬層，經(jīng)由上述金屬層，第一布線層和導電層電連接。該布線構(gòu)造通過在導電層上形成了銅鎳合金的保護層和抗蝕劑的基礎(chǔ)上，在金屬刻蝕工序中形成金屬層以及導電層的圖案后，在ITO刻蝕工序中形成第一布線層的圖案而制造。
[0004]專利文獻1:日本特開2013 - 167992號公報
[0005]在專利文獻I所記載的布線構(gòu)造的制造工序中，與銅鎳合金相比銅的金屬刻蝕的刻蝕速度更快(刻蝕速率高)，因此在金屬刻蝕工序中，相對于金屬層和保護層，導電層容易變得較細(較窄)。進而，在ITO刻蝕工序中，通過在刻蝕液中的各層間的電池作用(電池效果)，各層容易變細，特別是導電層的細化取得進展，因此保護層相對于導電層容易成為“檐L )”狀地向外側(cè)突出的形狀。這樣制造出的布線有在后續(xù)的工序或刻蝕中保護層的檐部分發(fā)生剝離的情況，有剝離的檐部分成為布線間的短路原因這樣的問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]因此本實用新型的目的在于，提供一種在維持導電層的密接性的同時抑制各層特別是導電層的細化并具備保護層相對于導電層沒有以檐狀突出的構(gòu)造的布線圖案的靜電傳感器。
[0007]為了解決上述課題，本實用新型的第一形態(tài)的靜電傳感器在基材的表面形成有電極圖案、和與電極圖案電連接的布線圖案，其特征在于，至少布線圖案具有:在基材上形成的透明電極層、在透明電極層上形成且包含銅和鎳的連接層、在連接層上形成且銅的含有率比連接層高的導電層、和在導電層上形成且包含銅和鎳的保護層，連接層比保護層厚，保護層中的鎳的含有率比導電層中的鎳的含有率大，導電層比保護層厚。
[0008]根據(jù)該構(gòu)成，能夠防止導電層相對于保護層變細而使保護層的端部相對于導電層以檐狀向外側(cè)突出。由此，能夠防止在刻蝕工序、剝離工序中或在之后布線圖案從基材剝離。并且，能夠抑制透明電極層和連接層的細化，因此能夠可靠地維持連接層和透明電極層的固定狀態(tài)，能夠防止布線圖案從基材剝離。
[0009]在本實用新型的第一形態(tài)的靜電傳感器中，優(yōu)選的是，連接層的膜厚為保護層的膜厚的2倍以上。
[0010]由此，能夠可靠地抑制連接層的細化(日文原文:細<9 )，因此能夠防止布線圖案從基材剝離。
[0011]在本實用新型的第一形態(tài)的靜電傳感器中，優(yōu)選的是，連接層中的鎳的含有率比保護層中的鎳的含有率大。
[0012]由此，若使保護層和導電層的刻蝕速率為接近的值，則能夠防止保護層從導電層以檐狀突出。并且，由于連接層的刻蝕速率與保護層和導電層相比變慢，因此能夠維持連接層和透明電極層的密接性。
[0013]在本實用新型的第一形態(tài)的靜電傳感器中，優(yōu)選的是，導電層的電阻比透明導電層低。
[0014]在本實用新型的第一形態(tài)的靜電傳感器中，優(yōu)選的是，連接層、導電層、保護層的電阻比透明導電層低。
[0015]在本實用新型的第一形態(tài)的靜電傳感器中，優(yōu)選的是，導電層是銅Cu。
[0016]在本實用新型的第一形態(tài)的靜電傳感器中，優(yōu)選的是，透明電極層是氧化銦錫ITOo
[0017]本實用新型的第二形態(tài)的靜電傳感器在基材的表面形成有電極圖案、和與電極圖案電連接的布線圖案，其特征在于，至少布線圖案具備:在基材上形成的透明電極層、在透明電極層上形成且包含銅和鎳的連接層、在連接層上形成且銅的含有率比連接層高的導電層、和在導電層上形成且包含銅和鎳的保護層，連接層中的鎳的含有率比保護層中的鎳的含有率大。
[0018]根據(jù)該構(gòu)成，若提高鎳的含有率則刻蝕速率變慢，因此能夠防止導電層相對于保護層變細而使保護層的端部相對于導電層以檐狀向外側(cè)突出。從而，能夠防止在刻蝕工序、剝離工序中或在之后布線圖案從基材剝離。并且，能夠抑制透明電極層和連接層的細化，因此能夠可靠地維持連接層和透明電極層的固定狀態(tài)，能夠防止布線圖案從基材剝離。
[0019]在本實用新型的第二形態(tài)的靜電傳感器中，優(yōu)選的是，導電層的電阻比透明導電層低。
[0020]在本實用新型的第二形態(tài)的靜電傳感器中，優(yōu)選的是，連接層、導電層、保護層的電阻比透明導電層低。
[0021]在本實用新型的第二形態(tài)的靜電傳感器中，優(yōu)選的是，導電層是銅Cu。
[0022]在本實用新型的第二形態(tài)的靜電傳感器中，優(yōu)選的是，透明電極層是氧化銦錫ITOo
[0023]實用新型的效果
[0024]根據(jù)本實用新型，能夠提供一種在維持導電層的密接性的同時抑制各層特別是導電層的細化、并具備保護層相對于導電層沒有以檐狀突出的構(gòu)造的布線圖案的靜電傳感器。
【附圖說明】
[0025]圖1是表示具備本實用新型的實施方式的靜電傳感器的輸入裝置的構(gòu)成的俯視圖。
[0026]圖2A?圖2D是表示實施方式的靜電傳感器的布線圖案(圖1的A — A線處的切斷部分)的制造工序的剖面圖。
[0027]圖3A是實施例1的布線圖案的俯視照片，圖3B是實施例2的布線圖案的俯視照片。
[0028]圖4A?圖4D是表示比較例I的靜電傳感器的布線圖案的制造工序的剖面圖。
[0029]圖5是比較例I的布線圖案的俯視照片。
[0030]符號說明:
[0031]10輸入裝置，13X電極圖案，13a寬幅電極部，14Y電極圖案，14a寬幅電極部，16布線圖案，20基材，31透明電極層，32連接層，33導電層，34保護層。
【具體實施方式】
[0032]以下，邊參照附圖邊詳細說明本實用新型的實施方式的靜電傳感器。本實施方式是將本實用新型的靜電傳感器應用于圖1所示的輸入裝置的例，但本實用新型的靜電傳感器也能夠應用于該輸入裝置以外的靜電電容式的輸入裝置。
[0033]首先，邊參照圖1邊說明本實施方式的輸入裝置10以及靜電傳感器的構(gòu)成。圖1是表示輸入裝置10的構(gòu)成的俯視圖。在以下的說明中，“透明”，“透光性”是指，可視光線透過率為50%以上(優(yōu)選80%以上)的狀態(tài)。進而霧度(日文原文:?<文)值為6以下是優(yōu)選的。
[0034]如圖1所示，輸入裝置10中設有透光性的輸入?yún)^(qū)域11，基于在輸入?yún)^(qū)域11中用手指進行輸入操作時的靜電電容變化，能夠檢測出手指的操作坐標位置。輸入?yún)^(qū)域11的外側(cè)的周圍是作為非輸入?yún)^(qū)域的邊緣部區(qū)域12。
[0035]在輸入?yún)^(qū)域11配置有多條X電極圖案13和多條Y電極圖案14。各電極圖案13、14都在基材20的表面20a上由ITO (Indium Tin Oxide:氧化銦錫)等的透明導電材料通過濺射或蒸鍍而成膜。X電極圖案13和多條Y電極圖案14在交叉部相互絕緣。
[0036]在表面上形成有電極圖案13、14的基材20由聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)等的透明材料或玻璃板形成。
[0037]如圖1所示，各X電極圖案13沿著X —Y俯視的Yl — Y2方向延伸，且各X電極圖案13在Xl — X2方向上隔開間隔配置。在各X電極圖案13上在Yl — Y2方向上隔開規(guī)定的間隔而連接設置著多個寬幅電極部13a。
[0038]各Y電極圖案14沿著X —Y俯視的Xl —X2方向