專(zhuān)利名稱(chēng)：涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備自動(dòng)化，特別涉及一種涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前的涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)，只能根據(jù)膠瓶空傳感器取得的信號(hào)，顯示待機(jī)、使 用、空瓶等膠瓶的狀態(tài)，提示操作工進(jìn)行膠瓶更換，無(wú)法防止過(guò)期變質(zhì)光刻膠的使用，從而 導(dǎo)致無(wú)法有效檢測(cè)到的光刻圖形不良或后期良率降低。并且目前的涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng) 主機(jī)只能轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的開(kāi)始制品作業(yè)指令到涂膠機(jī)，而不能轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制主 系統(tǒng)發(fā)送的停止制品作業(yè)指令到涂膠機(jī)，這樣當(dāng)涂膠機(jī)接收到光刻膠管理系統(tǒng)主機(jī)轉(zhuǎn)送的 生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的開(kāi)始制品作業(yè)指令進(jìn)行制品涂膠作業(yè)后，如果生產(chǎn)控制主系統(tǒng)又發(fā) 出的停止該制品作業(yè)的指令，由于光刻膠管理系統(tǒng)主機(jī)不能轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的停 止制品作業(yè)指令到涂膠機(jī)，涂膠機(jī)將繼續(xù)進(jìn)行制品涂膠作業(yè)直至完成，而生產(chǎn)控制主系統(tǒng) 會(huì)判斷為為該制品的該次涂膠已取消，可能會(huì)再次發(fā)送開(kāi)始制品作業(yè)指令，不能避免涂膠 機(jī)對(duì)部分制品進(jìn)行兩次涂膠的制品事故。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)，能防止過(guò)期變質(zhì)光 刻膠的使用。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)，包括光刻膠管理主機(jī)、制 品信號(hào)處理單元、膠瓶信號(hào)處理單元、膠瓶空傳感器、膠信息閱讀器、膠信息標(biāo)簽，涂膠機(jī)上 放置的各膠瓶上都設(shè)置有膠信息標(biāo)簽，膠瓶上的膠信息標(biāo)簽上記載有該膠瓶中的膠的生產(chǎn) 日期、種類(lèi)信息，所述膠瓶空傳感器取得涂膠機(jī)上放置的膠瓶的狀態(tài)信息，所述膠信息閱讀 器讀取膠瓶上的膠信息標(biāo)簽上記載的膠瓶中的膠的生產(chǎn)日期、種類(lèi)信息，所述膠瓶信號(hào)處 理單元將所述膠瓶空傳感器取得的涂膠機(jī)上放置的膠瓶的狀態(tài)信息及所述膠信息閱讀器 讀取的膠瓶上的膠信息標(biāo)簽上記載的膠瓶中的膠的生產(chǎn)日期、種類(lèi)信息傳送到所述光刻膠 管理主機(jī)，所述制品信號(hào)處理單元將涂膠機(jī)傳來(lái)的制品信息傳送到所述光刻膠管理主機(jī)， 并將所述光刻膠管理主機(jī)轉(zhuǎn)送的生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的制品作業(yè)指令傳送到涂膠機(jī)，所述 光刻膠管理主機(jī)將所述制品信號(hào)處理單元傳來(lái)的制品信息轉(zhuǎn)送到生產(chǎn)控制主系統(tǒng)，并且接 收生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的制品作業(yè)指令，所述光刻膠管理主機(jī)包括存儲(chǔ)器、光刻膠有效性 單元、作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元、信息顯示單元，所述存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)有各種膠的有效期信息，當(dāng)膠 瓶空傳感器取得的一膠瓶的狀態(tài)信息為使用狀態(tài)時(shí)，所述光刻膠管理主機(jī)的光刻膠有效性 單元根據(jù)膠信息閱讀器讀取的該瓶膠的種類(lèi)及生產(chǎn)日期，以及存儲(chǔ)的各種膠的有效期信 息，判斷該瓶膠是否過(guò)期，如果過(guò)期，則輸出指令到作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元，控制作業(yè)指令轉(zhuǎn)送 單元終止向涂膠機(jī)轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的開(kāi)始制品作業(yè)指令，可以同時(shí)輸出指令到信 息顯示單元，控制信息顯示單元輸出停止制品作業(yè)告警信息在顯示器上。所述作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元在向涂膠機(jī)轉(zhuǎn)送一開(kāi)始制品作業(yè)指令后，如果又接收到生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的停止制品作業(yè)指令，則作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元終止向涂膠機(jī)轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制 主系統(tǒng)后續(xù)發(fā)送的開(kāi)始制品作業(yè)指令，并可以同時(shí)輸出指令到信息顯示單元，控制信息顯 示單元輸出該瓶膠過(guò)期信息在顯示器上。本發(fā)明的涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)，能夠自動(dòng)偵測(cè)光刻膠的空滿(mǎn)狀態(tài)并對(duì)光刻膠的 使用期限進(jìn)行管理，對(duì)過(guò)期的光刻膠從通信系統(tǒng)上進(jìn)行禁止，當(dāng)光刻膠超過(guò)有效期時(shí)，系統(tǒng) 會(huì)報(bào)警并禁止制品使用該瓶光刻膠，從而確保制品的安全；并且該系統(tǒng)可以對(duì)涂膠機(jī)設(shè)備 和生產(chǎn)控制主系統(tǒng)的通信進(jìn)行控制，避免被禁止作業(yè)的制品發(fā)生二次涂膠作業(yè)，從而避免 制品事故。


下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。圖1是本發(fā)明的涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)一實(shí)施方式示意圖；圖2是膠瓶的狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施例方式涂膠機(jī)上放置有多種膠，每種膠有一瓶或多瓶，每種膠處于使用狀態(tài)的有一瓶，其 它處于待機(jī)狀態(tài)。本發(fā)明的涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)一實(shí)施方式如圖1所示，包括光刻膠管 理主機(jī)、制品信號(hào)處理單元、膠瓶信號(hào)處理單元、膠瓶空傳感器、膠信息閱讀器、膠信息標(biāo) 簽，涂膠機(jī)上放置的各膠瓶上都設(shè)置有膠信息標(biāo)簽，膠瓶上的膠信息標(biāo)簽上記載有該膠瓶 中的膠的生產(chǎn)日期、種類(lèi)等信息，所述膠瓶空傳感器取得涂膠機(jī)上放置的膠瓶的狀態(tài)信息， 包括使用、待機(jī)及空瓶等，所述膠信息閱讀器讀取膠瓶上的膠信息標(biāo)簽上記載的膠瓶中的 膠的生產(chǎn)日期、種類(lèi)等信息，所述膠瓶信號(hào)處理單元將所述膠瓶空傳感器取得的涂膠機(jī)上 放置的膠瓶的狀態(tài)信息及所述膠信息閱讀器讀取的膠瓶上的膠信息標(biāo)簽上記載的膠瓶中 的膠的生產(chǎn)日期、種類(lèi)等信息傳送到所述光刻膠管理主機(jī)，所述制品信號(hào)處理單元將涂膠 機(jī)傳來(lái)的制品信息傳送到所述光刻膠管理主機(jī)，并將所述光刻膠管理主機(jī)轉(zhuǎn)送的生產(chǎn)控制 主系統(tǒng)發(fā)送的制品作業(yè)指令傳送到涂膠機(jī)，所述光刻膠管理主機(jī)將所述制品信號(hào)處理單元 傳來(lái)的制品信息轉(zhuǎn)送到生產(chǎn)控制主系統(tǒng)，并且接收生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的制品作業(yè)指令， 所述光刻膠管理主機(jī)包括存儲(chǔ)器、光刻膠有效性單元、作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元、信息顯示單元， 所述存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)有各種膠的有效期信息，當(dāng)膠瓶空傳感器取得的一膠瓶的狀態(tài)信息為使 用狀態(tài)時(shí)，所述光刻膠管理主機(jī)的光刻膠有效性單元根據(jù)膠信息閱讀器讀取的該瓶膠的種 類(lèi)及生產(chǎn)日期，以及存儲(chǔ)的各種膠的有效期信息，判斷該瓶膠是否過(guò)期，如果過(guò)期，則輸出 指令到作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元，控制作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元終止向涂膠機(jī)轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送 的開(kāi)始制品作業(yè)指令，同時(shí)輸出指令到信息顯示單元，控制信息顯示單元輸出該瓶膠過(guò)期 信息在顯示器上，一實(shí)施例如圖2所示，涂膠機(jī)上放置有四種膠，每種膠有兩瓶，圖中的膠 瓶斜線(xiàn)表示為使用狀態(tài)，橫線(xiàn)表示為待機(jī)狀態(tài)，無(wú)線(xiàn)條表示為空瓶狀態(tài)，全黑表示為光刻膠 過(guò)期；所述作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元在向涂膠機(jī)轉(zhuǎn)送一開(kāi)始制品作業(yè)指令后，如果又接收到生產(chǎn) 控制主系統(tǒng)發(fā)送的停止制品作業(yè)指令，則作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元終止向涂膠機(jī)轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制主 系統(tǒng)后續(xù)發(fā)送的開(kāi)始制品作業(yè)指令，并同時(shí)輸出指令到信息顯示單元，控制信息顯示單元 輸出停止制品作業(yè)告警信息在顯示器上。
本發(fā)明的涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)，能夠自動(dòng)偵測(cè)光刻膠的空滿(mǎn)狀態(tài)并對(duì)光刻膠的 使用期限進(jìn)行管理，對(duì)過(guò)期的光刻膠從通信系統(tǒng)上進(jìn)行禁止，當(dāng)光刻膠超過(guò)有效期時(shí)，系統(tǒng) 會(huì)報(bào)警并禁止制品使用該瓶光刻膠，從而確保制品的安全；并且該系統(tǒng)可以對(duì)涂膠機(jī)設(shè)備 和生產(chǎn)控制主系統(tǒng)的通信進(jìn)行控制，避免被禁止作業(yè)的制品發(fā)生二次涂膠作業(yè)，從而避免 制品事故。
權(quán)利要求
一種涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)，涂膠機(jī)上放置有多種膠，每種膠有一瓶或多瓶，每種膠處于使用狀態(tài)的有一瓶，其它處于待機(jī)狀態(tài)，其特征在于，包括光刻膠管理主機(jī)、制品信號(hào)處理單元、膠瓶信號(hào)處理單元、膠瓶空傳感器、膠信息閱讀器、膠信息標(biāo)簽，涂膠機(jī)上放置的各膠瓶上都設(shè)置有膠信息標(biāo)簽，膠瓶上的膠信息標(biāo)簽上記載有該膠瓶中的膠的生產(chǎn)日期、種類(lèi)信息，所述膠瓶空傳感器取得涂膠機(jī)上放置的膠瓶的狀態(tài)信息，所述膠信息閱讀器讀取膠瓶上的膠信息標(biāo)簽上記載的膠瓶中的膠的生產(chǎn)日期、種類(lèi)信息，所述膠瓶信號(hào)處理單元將所述膠瓶空傳感器取得的涂膠機(jī)上放置的膠瓶的狀態(tài)信息及所述膠信息閱讀器讀取的膠瓶上的膠信息標(biāo)簽上記載的膠瓶中的膠的生產(chǎn)日期、種類(lèi)信息傳送到所述光刻膠管理主機(jī)，所述制品信號(hào)處理單元將涂膠機(jī)傳來(lái)的制品信息傳送到所述光刻膠管理主機(jī)，并將所述光刻膠管理主機(jī)轉(zhuǎn)送的生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的制品作業(yè)指令傳送到涂膠機(jī)，所述光刻膠管理主機(jī)將所述制品信號(hào)處理單元傳來(lái)的制品信息轉(zhuǎn)送到生產(chǎn)控制主系統(tǒng)，并且接收生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的制品作業(yè)指令，所述光刻膠管理主機(jī)包括存儲(chǔ)器、光刻膠有效性單元、作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元、信息顯示單元，所述存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)有各種膠的有效期信息，當(dāng)膠瓶空傳感器取得的一膠瓶的狀態(tài)信息為使用狀態(tài)時(shí)，所述光刻膠管理主機(jī)的光刻膠有效性單元根據(jù)膠信息閱讀器讀取的該瓶膠的種類(lèi)及生產(chǎn)日期，以及存儲(chǔ)的各種膠的有效期信息，判斷該瓶膠是否過(guò)期，如果過(guò)期，則輸出指令到作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元，控制作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元終止向涂膠機(jī)轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的開(kāi)始制品作業(yè)指令。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)，其特征在于，所述作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單 元在向涂膠機(jī)轉(zhuǎn)送一開(kāi)始制品作業(yè)指令后，如果又接收到生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的停止制品 作業(yè)指令，則作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元終止向涂膠機(jī)轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制主系統(tǒng)后續(xù)發(fā)送的開(kāi)始制品作 業(yè)指令。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)，其特征在于，所述作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單 元在向涂膠機(jī)轉(zhuǎn)送一開(kāi)始制品作業(yè)指令后，如果又接收到生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的停止制品 作業(yè)指令，則作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元終止向涂膠機(jī)轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制主系統(tǒng)后續(xù)發(fā)送的開(kāi)始制品作 業(yè)指令，并同時(shí)輸出指令到信息顯示單元，控制信息顯示單元輸出停止制品作業(yè)告警信息 在顯示器上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)，其特征在于，所述光刻膠管理 主機(jī)的光刻膠有效性單元根據(jù)膠信息閱讀器讀取的該瓶膠的種類(lèi)及生產(chǎn)日期，以及存儲(chǔ)的 各種膠的有效期信息，判斷該瓶膠是否過(guò)期，如果過(guò)期，則輸出指令到作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元， 控制作業(yè)指令轉(zhuǎn)送單元終止向涂膠機(jī)轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的開(kāi)始制品作業(yè)指令，并同 時(shí)輸出指令到信息顯示單元，控制信息顯示單元輸出該瓶膠過(guò)期信息在顯示器上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)，其特征在于，所述膠瓶空傳感器取 得涂膠機(jī)上放置的膠瓶的狀態(tài)信息，包括使用、待機(jī)及空瓶，在顯示器上顯示的信息包括涂 膠機(jī)上放置的各膠瓶的使用、待機(jī)、空瓶、過(guò)期狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種涂膠機(jī)光刻膠管理系統(tǒng)，能夠自動(dòng)偵測(cè)光刻膠的空滿(mǎn)狀態(tài)并對(duì)光刻膠的使用期限進(jìn)行管理，對(duì)過(guò)期的光刻膠從通信系統(tǒng)上進(jìn)行禁止，當(dāng)光刻膠超過(guò)有效期時(shí)，系統(tǒng)會(huì)報(bào)警并禁止制品使用該瓶光刻膠，從而確保制品的安全；并且該系統(tǒng)可以對(duì)涂膠機(jī)設(shè)備和生產(chǎn)控制主系統(tǒng)的通信進(jìn)行控制，避免被禁止作業(yè)的制品發(fā)生二次涂膠作業(yè)，從而避免制品事故。
文檔編號(hào)G07C3/00GK101989083SQ20091005770
公開(kāi)日2011年3月23日 申請(qǐng)日期2009年8月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月4日
發(fā)明者方曉卿, 施建, 楊震宇, 梁非 申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司