技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N膜厚的檢測(cè)裝置。該檢測(cè)裝置包括公共單元與檢測(cè)單元，公共單元包括至少一個(gè)公共電極，其中，該檢測(cè)單元包括：至少一個(gè)傳感器芯片，各傳感器芯片與公共單元在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，公共單元與各傳感器芯片之間的間隔構(gòu)成待測(cè)膜的傳輸通道，各傳感器芯片包括至少一行沿第二方向排列的多個(gè)檢測(cè)電極，第二方向與待測(cè)膜的移動(dòng)方向垂直，第一方向與第一平面垂直，第一平面與第二方向平行，各傳感器芯片用于感應(yīng)公共電極上的電信號(hào)并輸出；信號(hào)處理單元，與各傳感器芯片電連接，對(duì)各傳感器芯片輸出的電信號(hào)進(jìn)行處理并輸出。該檢測(cè)裝置能夠靈活調(diào)整膜厚的檢測(cè)裝置的精確度，能夠獲得更高的檢測(cè)精度。

技術(shù)研發(fā)人員：戚務(wù)昌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：威海華菱光電股份有限公司
文檔號(hào)碼：201620501192
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.26
技術(shù)公布日：2016.12.07