專利名稱：半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于故障檢測技術(shù)，具體地說是一種半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展，對半導(dǎo)體制造設(shè)備的要求也越來越高，在生產(chǎn)中對半導(dǎo)體設(shè)備進行實時監(jiān)測和有效的故障報警是現(xiàn)代電子制造業(yè)的發(fā)展趨勢，要求現(xiàn)代半導(dǎo)體設(shè)備不僅要能夠及時響應(yīng)多變的外部環(huán)境，還要能快速重新配置內(nèi)部各種資源，并對其進行故障報警，以達到優(yōu)化生產(chǎn)的目的。目前報警裝置監(jiān)視半導(dǎo)體設(shè)備系統(tǒng)關(guān)鍵參數(shù)的變化，在發(fā)生非法變化時產(chǎn)生報警信息，并告之操作員做相應(yīng)的處理，在半導(dǎo)體設(shè)備工作過程中，當(dāng)出現(xiàn)故障時，該報警裝置可以及時報警，否則不僅設(shè)備可靠性和安全性無法得到保障，同時也為構(gòu)建高度自動化的半導(dǎo)體制造工廠帶來了弊端?，F(xiàn)階段的工藝條件下，發(fā)生這些故障時，大多設(shè)備缺少報警功能或一般采用較簡單的報警處理機制，一旦設(shè)備故障就停止整個加工流程甚至關(guān)閉控制系統(tǒng)，而且設(shè)備維護人員也很難在故障發(fā)生時就立即發(fā)現(xiàn)并排除故障，這樣就造成了不必要的損失，導(dǎo)致化學(xué)機械中的產(chǎn)品直接報廢，影響產(chǎn)品良率。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述報警裝置的不足，本發(fā)明為解決該問題提供了一種能及時發(fā)現(xiàn)故障并立即報警的半導(dǎo)體設(shè)備故障報警方法。為實現(xiàn)本發(fā)明目的，本發(fā)明采取如下技術(shù)方案半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法包括如下步驟在實時數(shù)據(jù)服務(wù)器中使用實時數(shù)據(jù)庫收集監(jiān)視模塊對監(jiān)視的實時數(shù)據(jù)進行收集；對收集的現(xiàn)場半導(dǎo)體設(shè)備實時數(shù)據(jù)進行報警配置；通過報警信息配置接口還對報警預(yù)定值進行配置，形成報警監(jiān)視表，該表存在于數(shù)據(jù)庫中；對收集來的實時數(shù)據(jù)和報警監(jiān)視表中的數(shù)據(jù)進行報警信息計算；對計算后的報警信息建立報警信息列表，同時存儲于緩沖區(qū)與報警服務(wù)器的數(shù)據(jù)庫中；對緩沖區(qū)中存儲的報警信息進行報警信息處理，通過實時報警信息接口將處理后的恢復(fù)信息輸送到報警控件中并集成在界面上；對數(shù)據(jù)庫中的報警信息，直接通過歷史報警接口輸送到報警控件中并集成在界面上。對收集來的實時數(shù)據(jù)和報警監(jiān)視表中的數(shù)據(jù)進行報警信息計算對收集的實時數(shù)據(jù)進行判定，如為開關(guān)量，則判斷開關(guān)量是否滿足大于或小于預(yù)定值，如滿足條件，將計算后的報警信息存入報警信息列表。
如實時數(shù)據(jù)的開關(guān)量不滿足大于或小于預(yù)定值，則轉(zhuǎn)續(xù)收集實時數(shù)據(jù)步驟。如為模擬量，則判斷模擬量是否等于1或0，如滿足條件，將計算后的報警信息存入報警信息列表中。如不滿足條件，則轉(zhuǎn)續(xù)收集實時數(shù)據(jù)步驟。緩沖區(qū)中建立的報警信息列表包括報警發(fā)生日期和時間、變量屬性、變量名、變量描述、開關(guān)量的報警或恢復(fù)狀態(tài)說明、模擬量的報警或恢復(fù)事件描述信息，恢復(fù)事件描述信息包括報警值、單位、報警性質(zhì)和閾值。數(shù)據(jù)庫中建立的報警監(jiān)視表包括模擬量限值報警、開關(guān)量報警、組合報警。所述的報警信息處理過程查看報警信息列表；根據(jù)該表存儲的報警信息，與計算服務(wù)器上的報警服務(wù)交互；在報警屏上自動顯示報警信息、報警燈閃爍、報警音響。本發(fā)明具有如下有益效果及優(yōu)點1.本發(fā)明報警系統(tǒng)報警功能強、精確度高。該方法程序與計算服務(wù)器上的報警服務(wù)交互，做出相應(yīng)的處理包括在報警屏上自動顯示報警信息、報警燈閃爍、報警音響。操作人員通過界面能及時了解和發(fā)現(xiàn)現(xiàn)場半導(dǎo)體設(shè)備所發(fā)生的故障，及時處理排除故障，避免發(fā)生產(chǎn)品的損失。2.本發(fā)明報警系統(tǒng)自動化程度高。由于采用了實時數(shù)據(jù)服務(wù)器和報警控件，通過報警軟件程序?qū)Ω靼雽?dǎo)體控制設(shè)備生產(chǎn)線的報警數(shù)據(jù)采集、監(jiān)控和處理，簡化了人工操作步驟，提高了半導(dǎo)體設(shè)備的自動化水平，避免了由于人員參與設(shè)備產(chǎn)生的誤操作行為，從而提高了設(shè)備的效率和可靠性安全性。3.本發(fā)明完善了半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)。由于設(shè)計了實時數(shù)據(jù)庫收集監(jiān)視模塊，實現(xiàn)了對半導(dǎo)體設(shè)備的精確控制，通過報警信息處理模塊，提高了產(chǎn)品成品率等多種工藝指標，有效地解決了由于設(shè)備異常而造成的損失，為半導(dǎo)體生產(chǎn)工序提供了保障；提高了產(chǎn)品的合格率，進而大大降低了生產(chǎn)成本。


圖1為報警系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。圖2為圖1報警信息計算模塊流程圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的方案作進一步詳細說明。參見圖1，半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法包括如下步驟在實時數(shù)據(jù)服務(wù)器中使用實時數(shù)據(jù)庫收集監(jiān)視模塊對監(jiān)視的實時數(shù)據(jù)進行收集；對收集的現(xiàn)場半導(dǎo)體設(shè)備實時數(shù)據(jù)進行報警配置；通過報警信息配置接口還對報警預(yù)定值進行配置，形成報警監(jiān)視表，該表存在于數(shù)據(jù)庫中；對收集來的實時數(shù)據(jù)和報警監(jiān)視表中的數(shù)據(jù)進行報警信息計算；對計算后的報警信息建立報警信息列表，同時存儲于緩沖區(qū)與報警服務(wù)器的數(shù)據(jù)庫中；對緩沖區(qū)中存儲的報警信息進行報警信息處理，通過實時報警信息接口將處理后的恢復(fù)信息輸送到報警控件中并集成在界面上；對數(shù)據(jù)庫中的報警信息，直接通過歷史報警接口輸送到報警控件中并集成在界面上。本發(fā)明涉及的程序有實時數(shù)據(jù)庫收集監(jiān)視模塊、報警信息計算模塊、報警信息存儲模塊、報警信息處理模塊。實時數(shù)據(jù)庫收集監(jiān)視模塊用來監(jiān)測、收集的變化，并將變化的數(shù)據(jù)傳送給報警信息計算模塊；報警信息計算模塊是對數(shù)據(jù)進行報警判定運算，用戶可通過報警信息接口在線更改報警預(yù)定值，在服務(wù)啟動時從數(shù)據(jù)庫上讀取報警監(jiān)視表，對收集來的實時數(shù)據(jù)和報警監(jiān)視表中的數(shù)據(jù)進行報警信息計算，并將計算后的報警信息形成報警信息列表；報警存儲模塊是將報警信息存儲于緩沖區(qū)與報警服務(wù)器的數(shù)據(jù)庫中；報警信息處理模塊以報警控件的方式集成在界面上，報警信息處理模塊與計算服務(wù)器上的報警服務(wù)交互，操作員可查看存儲的報警信息，并做出相應(yīng)的處理。報警管理實施操作過程包括半導(dǎo)體設(shè)備初始化、運行半導(dǎo)體設(shè)備故障報警軟件程序，其中設(shè)備初始化控制步驟為啟動半導(dǎo)體設(shè)備電源，打開報警監(jiān)控，并發(fā)送初始化指令。半導(dǎo)體設(shè)備故障報警軟件方法包括如下具體步驟實時數(shù)據(jù)庫收集監(jiān)視模塊使用實時監(jiān)視程序，將現(xiàn)場的半導(dǎo)體設(shè)備的數(shù)據(jù)通過網(wǎng)絡(luò)實時傳送到實時數(shù)據(jù)服務(wù)器上，該監(jiān)視程序連接實時數(shù)據(jù)庫，獲取數(shù)據(jù)變化信息，對服務(wù)器上的監(jiān)視的數(shù)據(jù)按報警規(guī)則進行逐個采集，并判斷當(dāng)前數(shù)據(jù)是否與上次采集的數(shù)據(jù)相同，如果與上次采集的數(shù)據(jù)相同，則繼續(xù)采集，如果不同，則進行報警信息計算；用戶可以通過報警信息配置接口在報警服務(wù)器上對報警信息進行配置，報警配置需先將報警信息配置好，設(shè)定預(yù)定值。該預(yù)定值是根據(jù)用戶的需要，將半導(dǎo)體設(shè)備的各種報警信息提前設(shè)定的參數(shù)預(yù)定值。當(dāng)數(shù)據(jù)變化回調(diào)產(chǎn)生時，按上述預(yù)定義的規(guī)則產(chǎn)生報警信息并發(fā)送給訂閱了報警信息的客戶程序，然后進行報警信息計算。報警信息計算使用實時監(jiān)視程序?qū)ΡO(jiān)視的實時數(shù)據(jù)進行報警判定運算。報警判定條件以參數(shù)形式存儲在硬盤上的配置數(shù)據(jù)庫中，在服務(wù)啟動時從數(shù)據(jù)庫上讀取配置信息。 并支持在線更改報警設(shè)置，即支持刷新操作，在服務(wù)啟動后更改配置文件并重新加載至報警信息計算模塊。計算后的報警信息形成報警信息列表同時存儲于緩沖區(qū)與報警服務(wù)器的數(shù)據(jù)庫中，報警信息存儲分為報警配置存儲與報警信息存儲。使用緩沖區(qū)用來提供時報警信息的顯示，對應(yīng)實時報警信息接口。報警信息同時存在于報警信息數(shù)據(jù)庫，可以提供給歷史報警信息接口，以供用戶查看。緩沖區(qū)中報警信息列表包括報警發(fā)生日期和時間、變量屬性、變量名、變量描述、 模擬量報警/恢復(fù)事件描述信息，恢復(fù)事件描述信息包括報警值、單位、報警性質(zhì)和閾值， 或開關(guān)量報警/恢復(fù)狀態(tài)說明。數(shù)據(jù)庫中形成的報警監(jiān)視表包括模擬量限值報警、開關(guān)量報警、組合報警。報警信息處理以控件的方式集成在界面上。信息處理與計算服務(wù)器上的報警服務(wù)交互，將計算后的報警信息存入數(shù)據(jù)庫并發(fā)布給客戶端報警查看程序，以供客戶查看。在界面可查看全部報警信息，與分類報警信息的畫面，做出相應(yīng)的處理，并將報警信息通過報警控件發(fā)布到界面上。報警時，報警屏出現(xiàn)提示信息，同時報警燈閃爍，發(fā)出報警音響。報警屏實時顯示計算后的報警信息包括報警監(jiān)視表中各級的信息記錄包括報警信息和恢復(fù)信息。每個報警按其出現(xiàn)先后順序逐行在報警屏上顯示，最新報警自動顯示在最上方。新的報警信息總是出現(xiàn)在上一個報警信息的上面，如果報警信息超過屏幕顯示畫面，則最早的報警信息從屏幕上消失，并保存在報警緩沖區(qū)的報警信息列表中，同時屏幕回退到3/4處。文字的不同顏色代表了報警信息的報警級別。報警恢復(fù)操作操作員可根據(jù)報警屏上的提示采取相應(yīng)操作取消報警；并通過 “消音”按鈕消音。其報報警燈頻率2Hz，客戶可自己設(shè)置。當(dāng)報警恢復(fù)后，報警恢復(fù)信息取代報警信息，報警燈不閃爍。本發(fā)明中還實現(xiàn)了一些特殊的報警邏輯處理，比如組合報警、抑制報警，以及開關(guān)量抖動、模擬量超量程、強制列表等，同時系統(tǒng)備有記載報警詳細信息和對應(yīng)操作的報警卡，可以對消除報警操作進行指導(dǎo)。報警數(shù)據(jù)監(jiān)控采用訂閱方式，可以在數(shù)據(jù)發(fā)生改變時進行報警計算及時判定報警結(jié)果，這些功能可集成到該系統(tǒng)中。參見圖2，對收集來的實時數(shù)據(jù)和報警監(jiān)視表中的數(shù)據(jù)進行報警信息計算對收集的實時數(shù)據(jù)進行判定，如為開關(guān)量，則判斷開關(guān)量是否滿足大于或小于預(yù)定值，如滿足條件，將計算后的報警信息存入報警信息列表。如實時數(shù)據(jù)的開關(guān)量不滿足大于或小于預(yù)定值，則轉(zhuǎn)續(xù)收集實時數(shù)據(jù)步驟。如為模擬量，則判斷模擬量是否等于1或0，如滿足條件，將計算后的報警信息存入報警信息列表中。如不滿足條件，則轉(zhuǎn)續(xù)收集實時數(shù)據(jù)步驟。所述的報警信息處理過程查看報警信息列表；根據(jù)該表存儲的報警信息，與計算服務(wù)器上的報警服務(wù)交互；在報警屏上自動顯示報警信息、報警燈閃爍、報警音響。對收集來的實時數(shù)據(jù)和報警預(yù)定值進行報警信息計算過程對收集的實時數(shù)據(jù)進行判定，如實時數(shù)據(jù)的開關(guān)量滿足大于或小于預(yù)定值，同時實時數(shù)據(jù)的模擬量等于1或0時，產(chǎn)生報警；根據(jù)該報警結(jié)果進行報警信息處理，對處理后的報警信息存入報警信息緩沖區(qū)中報警信息列表中。如實時數(shù)據(jù)的開關(guān)量不大于或小于預(yù)定值，同時實時數(shù)據(jù)的模擬量不等于1或0 時，則轉(zhuǎn)續(xù)收集實時數(shù)據(jù)步驟。所述的報警信息處理過程查看報警信息列表；根據(jù)該表存儲的報警信息，與計算服務(wù)器上的報警服務(wù)交互；做出相應(yīng)的處理包括在報警屏上自動顯示報警內(nèi)容、報警燈閃爍、報警音響。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法，其特征在于包括如下步驟在實時數(shù)據(jù)服務(wù)器中使用實時數(shù)據(jù)庫收集監(jiān)視模塊對監(jiān)視的實時數(shù)據(jù)進行收集； 對收集的現(xiàn)場半導(dǎo)體設(shè)備實時數(shù)據(jù)進行報警配置；通過報警信息配置接口還對報警預(yù)定值進行配置，形成報警監(jiān)視表，該表存在于數(shù)據(jù)庫中；對收集來的實時數(shù)據(jù)和報警監(jiān)視表中的數(shù)據(jù)進行報警信息計算； 對計算后的報警信息建立報警信息列表，同時存儲于緩沖區(qū)與報警服務(wù)器的數(shù)據(jù)庫中；對緩沖區(qū)中存儲的報警信息進行報警信息處理，通過實時報警信息接口將處理后的恢復(fù)信息輸送到報警控件中并集成在界面上；對數(shù)據(jù)庫中的報警信息，直接通過歷史報警接口輸送到報警控件中并集成在界面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法，其特征在于 對收集來的實時數(shù)據(jù)和報警監(jiān)視表中的數(shù)據(jù)進行報警信息計算對收集的實時數(shù)據(jù)進行判定，如為開關(guān)量，則判斷開關(guān)量是否滿足大于或小于預(yù)定值， 如滿足條件，將計算后的報警信息存入報警信息列表。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法，其特征在于 如實時數(shù)據(jù)的開關(guān)量不滿足大于或小于預(yù)定值，則轉(zhuǎn)續(xù)收集實時數(shù)據(jù)步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法，其特征在于如為模擬量，則判斷模擬量是否等于1或0，如滿足條件，將計算后的報警信息存入報警信息列表。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法，其特征在于 如不滿足條件，則轉(zhuǎn)續(xù)收集實時數(shù)據(jù)步驟。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法，其特征在于緩沖區(qū)中建立的報警信息列表包括報警發(fā)生日期和時間、變量屬性、變量名、變量描述、開關(guān)量的報警或恢復(fù)狀態(tài)說明、模擬量的報警或恢復(fù)事件描述信息，其恢復(fù)事件描述信息包括報警值、單位、報警性質(zhì)和閾值。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法，其特征在于數(shù)據(jù)庫中建立的報警監(jiān)視表包括模擬量限值報警、開關(guān)量報警、組合報警。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法，其特征在于 所述的報警信息處理過程查看報警信息列表；根據(jù)該表存儲的報警信息，與計算服務(wù)器上的報警服務(wù)交互； 在報警屏上自動顯示報警信息、報警燈閃爍、報警音響。
全文摘要
本發(fā)明公開一種半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障報警方法，該方法包括包括如下步驟在實時數(shù)據(jù)服務(wù)器中使用實時數(shù)據(jù)庫收集監(jiān)視模塊對監(jiān)視的實時數(shù)據(jù)進行收集；對收集的現(xiàn)場半導(dǎo)體設(shè)備實時數(shù)據(jù)進行報警配置；通過報警信息配置接口還對報警預(yù)定值進行配置，在數(shù)據(jù)庫中形成報警監(jiān)視表；對收集來的實時數(shù)據(jù)和報警監(jiān)視表中的數(shù)據(jù)進行報警信息計算；對計算后的報警信息同時存儲于緩沖區(qū)與報警服務(wù)器的數(shù)據(jù)庫的報警信息列表中；然后對緩沖區(qū)中存儲的報警信息進行報警信息處理，通過實時報警信息接口和歷史報警接口輸送到報警控件中并集成在界面上。采用本發(fā)明可實現(xiàn)對半導(dǎo)體設(shè)備軟件故障的正確報警，能夠滿足半導(dǎo)體器件制造過程中的工藝要求。
文檔編號G08B21/00GK102568147SQ20101061124
公開日2012年7月11日 申請日期2010年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月29日
發(fā)明者周建輝, 唐達鼎, 姜軍, 康凱, 張萌, 張銳, 林躍, 王宏, 邢芳 申請人:沈陽中科博微自動化技術(shù)有限公司