專利名稱：需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置。
背景技術(shù)：
對于某些設(shè)備的運(yùn)行，需要處于真空狀態(tài)，因此，需要抽真空設(shè)備來抽取這種需真空設(shè)備中的空氣以形成真空條件。圖I示意性地示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動結(jié)構(gòu)。如圖I所示，在根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的聯(lián)動結(jié)構(gòu)中，作為主設(shè)備的需真空設(shè)備I采用濕接 點A (即，帶電壓接點)自動控制抽真空設(shè)備(例如抽真空泵)。相應(yīng)抽真空設(shè)備2 (作為從設(shè)備)采用干接點B (即，無電壓接點)與作為主設(shè)備的需真空設(shè)備I相連接。由于作為主設(shè)備的需真空設(shè)備I和附屬的例如抽真空泵的抽真空設(shè)備2的接口方式不匹配，所以容易導(dǎo)致不能正常聯(lián)動。因此，希望能夠提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)作為主設(shè)備的需真空設(shè)備I和附屬的的抽真空設(shè)備2之間的順利聯(lián)動功能的聯(lián)動裝置。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷，提供一種實現(xiàn)作為主設(shè)備的需真空設(shè)備和作為從設(shè)備的附屬的的抽真空設(shè)備之間的順利聯(lián)動功能的聯(lián)
動裝置。根據(jù)本實用新型，提供了一種需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置，其包括無線信號發(fā)射器和無線信號接收器；其中，所述無線信號發(fā)射器連接至所述需真空設(shè)備，所述無線信號接收器連接至所述抽真空設(shè)備；并且，所述無線信號發(fā)射器從所述需真空設(shè)備接收指示信號，并根據(jù)所述指示信號向所述無線信號接收器發(fā)送無線信號；并且，所述無線信號接收器根據(jù)接收到的所述無線信號向所述抽真空設(shè)備發(fā)出控制信號。優(yōu)選地，在上述需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置中，所述抽真空設(shè)備是抽真空泵。優(yōu)選地，在上述需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置中，所述無線信號發(fā)射器包括依次連接的信號轉(zhuǎn)換電路、第一處理模塊以及無線信號發(fā)射模塊。優(yōu)選地，在上述需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置中，所述信號轉(zhuǎn)換電路從所述需真空設(shè)備接收指示信號，并對接收到的指示信號進(jìn)行轉(zhuǎn)換處理，此后將轉(zhuǎn)換后信號傳遞給所述第一處理模塊。優(yōu)選地，在上述需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置中，所述第一處理模塊對所述信號轉(zhuǎn)換電路傳遞過來的轉(zhuǎn)換后信號進(jìn)行信號處理，并且將處理后信號傳遞給所述無線信號發(fā)射模塊。優(yōu)選地，在上述需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置中，所述無線信號發(fā)射模塊將從所述第一處理模塊接收到的處理后信號作為所述無線信號以無線形式發(fā)送出去。[0014]優(yōu)選地，在上述需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置中，所述無線信號接收器包括依次連接的無線信號接收模塊、第二處理模塊、放大電路以及繼電器。優(yōu)選地，在上述需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置中，所述無線信號接收模塊接收無線信號，并且將接收到的無線信號傳遞給所述第二處理模塊。優(yōu)選地，在上述需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置中，所述第二處理模塊對所述無線信號接收模塊傳遞過來的無線信號進(jìn)行后處理；并且，所述第二處理模塊將經(jīng)后處理的信號傳遞給所述放大電路。優(yōu)選地，在上述需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置中，所述放大電路對第二處理模塊傳遞過來的經(jīng)后處理的信號進(jìn)行放大，并且將放大后的信號傳遞給所述繼電器；所述繼電器對所述放大電路傳遞過來的放大后的信號進(jìn)行繼電處理，并且將繼電處理 后的信號作為控制信號傳遞給所述抽真空設(shè)備。根據(jù)本實用新型，所加裝的包括無線信號發(fā)射器和無線信號接收器的無線轉(zhuǎn)接器可以使需真空設(shè)備與現(xiàn)行的抽真空設(shè)備順利聯(lián)動。更具體地說，通過外加設(shè)備使原來不匹配的連接方式達(dá)到順利聯(lián)動功能。

結(jié)合附圖，并通過參考下面的詳細(xì)描述，將會更容易地對本實用新型有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點和特征，其中圖I示意性地示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動結(jié)構(gòu)。圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置的結(jié)構(gòu)。需要說明的是，附圖用于說明本實用新型，而非限制本實用新型。注意，表示結(jié)構(gòu)的附圖可能并非按比例繪制。并且，附圖中，相同或者類似的元件標(biāo)有相同或者類似的標(biāo)號。
具體實施方式
為了使本實用新型的內(nèi)容更加清楚和易懂，下面結(jié)合具體實施例和附圖對本實用新型的內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)描述。圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置的結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明實施例的需真空設(shè)備I與抽真空設(shè)備2之間的聯(lián)動裝置包括無線信號發(fā)射器10和無線信號接收器20。其中，無線信號發(fā)射器10連接至需真空設(shè)備1，無線信號接收器20連接至抽真空設(shè)備2。并且，無線信號發(fā)射器10從需真空設(shè)備I接收指示信號，并根據(jù)指示信號向無線信號接收器20發(fā)送無線信號。無線信號接收器20根據(jù)接收到的無線信號向抽真空設(shè)備2發(fā)出控制信號。例如，所述抽真空設(shè)備2是抽真空泵。更具體地說，優(yōu)選地，無線信號發(fā)射器10包括依次連接的信號轉(zhuǎn)換電路11、第一處理模塊12以及無線信號發(fā)射模塊13。[0029]其中，信號轉(zhuǎn)換電路11從需真空設(shè)備I接收指示信號，并對接收到的指示信號進(jìn)行轉(zhuǎn)換處理，此后將轉(zhuǎn)換后信號傳遞給第一處理模塊12。第一處理模塊12對信號轉(zhuǎn)換電路11傳遞過來的轉(zhuǎn)換后信號進(jìn)行信號處理，并且將處理后信號傳遞給無線信號發(fā)射模塊13。無線信號 發(fā)射模塊13將從第一處理模塊12接收到的處理后信號作為無線信號以無線形式發(fā)送出去。此外，更具體地說，優(yōu)選地，無線信號接收器20包括依次連接的無線信號接收模塊21、第二處理模塊22、放大電路23以及繼電器24。其中，無線信號接收模塊21接收無線信號；具體地說，例如線信號接收模塊21接收無線信號發(fā)射模塊13以無線形式發(fā)送出去的無線信號。并且，無線信號接收模塊21將接收到的無線信號傳遞給第二處理模塊22。第二處理模塊22對無線信號接收模塊21傳遞過來的無線信號進(jìn)行后處理。并且，第二處理模塊22將經(jīng)后處理的信號傳遞給放大電路23。放大電路23對第二處理模塊22傳遞過來的經(jīng)后處理的信號進(jìn)行放大，并且將放大后的信號傳遞給繼電器24。繼電器24對放大電路23傳遞過來的放大后的信號進(jìn)行繼電處理，并且將繼電處理后的信號作為控制信號傳遞給抽真空設(shè)備2。根據(jù)本發(fā)明實施例，所加裝的包括無線信號發(fā)射器10和無線信號接收器20的無線轉(zhuǎn)接器可以使需真空設(shè)備I與現(xiàn)行的抽真空設(shè)備2順利聯(lián)動。更具體地說，通過外加設(shè)備使原來不匹配的連接方式能夠達(dá)到順利聯(lián)動功能?？梢岳斫獾氖?，雖然本實用新型已以較佳實施例披露如上，然而上述實施例并非用以限定本實用新型。對于任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對本實用新型技術(shù)方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此，凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置，其特征在于包括無線信號發(fā)射器和無線信號接收器；其中，所述無線信號發(fā)射器連接至所述需真空設(shè)備，所述無線信號接收器連接至所述抽真空設(shè)備；并且，所述無線信號發(fā)射器從所述需真空設(shè)備接收指示信號，并根據(jù)所述指示信號向所述無線信號接收器發(fā)送無線信號；并且，所述無線信號接收器根據(jù)接收到的所述無線信號向所述抽真空設(shè)備發(fā)出控制信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述抽真空設(shè)備是抽真空泵。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述無線信號發(fā)射器包括依次連接的信號轉(zhuǎn)換電路、第一處理模塊以及無線信號發(fā)射模塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述信號轉(zhuǎn)換電路從所述需真空設(shè)備接收指示信號，并對接收到的指示信號進(jìn)行轉(zhuǎn)換處理，此后將轉(zhuǎn)換后信號傳遞給所述第一處理模塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述第一處理模塊對所述信號轉(zhuǎn)換電路傳遞過來的轉(zhuǎn)換后信號進(jìn)行信號處理，并且將處理后信號傳遞給所述無線信號發(fā)射模塊。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述無線信號發(fā)射模塊將從所述第一處理模塊接收到的處理后信號作為所述無線信號以無線形式發(fā)送出去。
7.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述無線信號接收器包括依次連接的無線信號接收模塊、第二處理模塊、放大電路以及繼電器。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述無線信號接收模塊接收無線信號，并且將接收到的無線信號傳遞給所述第二處理模塊。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述第二處理模塊對所述無線信號接收模塊傳遞過來的無線信號進(jìn)行后處理；并且，所述第二處理模塊將經(jīng)后處理的信號傳遞給所述放大電路。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述放大電路對第二處理模塊傳遞過來的經(jīng)后處理的信號進(jìn)行放大，并且將放大后的信號傳遞給所述繼電器；所述繼電器對所述放大電路傳遞過來的放大后的信號進(jìn)行繼電處理，并且將繼電處理后的信號作為控制信號傳遞給所述抽真空設(shè)備。
專利摘要本實用新型提供了一種需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置。根據(jù)本實用新型的需真空設(shè)備與抽真空設(shè)備之間的聯(lián)動裝置包括無線信號發(fā)射器和無線信號接收器；其中，所述無線信號發(fā)射器連接至所述需真空設(shè)備，所述無線信號接收器連接至所述抽真空設(shè)備；并且，所述無線信號發(fā)射器從所述需真空設(shè)備接收指示信號，并根據(jù)所述指示信號向所述無線信號接收器發(fā)送無線信號；并且，所述無線信號接收器根據(jù)接收到的所述無線信號向所述抽真空設(shè)備發(fā)出控制信號。根據(jù)本實用新型，所加裝的包括無線信號發(fā)射器和無線信號接收器的無線轉(zhuǎn)接器可以使需真空設(shè)備與現(xiàn)行的抽真空設(shè)備順利聯(lián)動。
文檔編號G08C17/02GK202545209SQ20122020039
公開日2012年11月21日 申請日期2012年5月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月4日
發(fā)明者何虎, 林曉瑜, 程奧博, 趙開乾 申請人:上海華力微電子有限公司