本技術(shù)涉及石英舟，具體為一種石英小舟側(cè)翻的報警預防裝置。

背景技術(shù)：

1、石英舟是承載硅片的器具，在硅片擴散工藝中，將硅片置于石英舟中進行高溫處理。擴散工藝中高純石英小舟作為載具，由于石英小舟在高溫狀態(tài)下使用一段時間后，會有輕微變形，自動化機構(gòu)在對石英舟取放過程中容易出現(xiàn)位置偏移，石英舟容易發(fā)生側(cè)翻，人員未及時發(fā)現(xiàn)，會造成石英小舟損壞，同時造成設(shè)備故障，進而導致硅片斷裂，降低產(chǎn)品的產(chǎn)出，生產(chǎn)效率低。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是提供一種石英小舟側(cè)翻的報警預防裝置，以解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：該石英小舟側(cè)翻的報警預防裝置，包括石英舟載板，所述石英舟載板的兩側(cè)滑動連接有兩擋板，兩所述擋板與石英舟載板之間均設(shè)有一傳動組件，兩所述傳動組件均包括第一滑槽、第三滑槽、齒輪、與齒輪嚙合的第一齒條、第一伸縮柱以及與齒輪嚙合的第二齒條，所述第一滑槽與第三滑槽水平開設(shè)在石英舟載板內(nèi)，所述第一齒條滑動連接在第一滑槽內(nèi)，所述第一伸縮柱設(shè)置在第一齒條與第一滑槽底壁之間，所述齒輪轉(zhuǎn)動連接在石英舟載板內(nèi)，所述第二齒條滑動連接在第三滑槽內(nèi)，兩所述第三滑槽內(nèi)均設(shè)有一按鈕，兩所述第二齒條與兩按鈕一一對應地抵接配合，所述石英舟載板的兩側(cè)均設(shè)有一聲光報警燈，兩所述按鈕與兩聲光報警燈一一對應地電性連接。

3、進一步地，兩所述第一伸縮柱上均套接有第一彈簧，兩所述第一彈簧的一端與對應的第一滑槽底壁固定連接，兩所述第一彈簧的另一端與對應的第一齒條固定連接。

4、進一步地，兩所述擋板的頂端均呈傾斜設(shè)置。

5、進一步地，所述石英舟載板上豎直開設(shè)有第二滑槽，所述第二滑槽內(nèi)固定連接有第二伸縮柱，所述第二伸縮柱的伸縮端設(shè)有卡塊，所述第二伸縮柱上套接有第二彈簧，所述第二彈簧的兩端分別與第二滑槽的底壁和卡塊固定連接。

6、進一步地，所述卡塊的頂部呈弧形。

7、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的有益效果：該石英小舟側(cè)翻的報警預防裝置在石英舟豎直放置在石英舟載板上時，若發(fā)生位置偏移，石英舟擠壓推動兩擋板中的其中一個，擋板帶動第一齒條移動，通過齒輪嚙合傳動，使第二齒條移動按壓按鈕，觸發(fā)聲光報警燈，能夠提醒工作人員石英舟位置朝向哪一側(cè)偏移，避免石英舟側(cè)翻損壞。

技術(shù)特征：

1.一種石英小舟側(cè)翻的報警預防裝置，其特征在于，包括石英舟載板(1)，所述石英舟載板(1)的兩側(cè)滑動連接有兩擋板(3)，兩所述擋板(3)與石英舟載板(1)之間均設(shè)有一傳動組件，兩所述傳動組件均包括第一滑槽(8)、第三滑槽(14)、齒輪(12)、與齒輪(12)嚙合的第一齒條(5)、第一伸縮柱(6)以及與齒輪(12)嚙合的第二齒條(13)，所述第一滑槽(8)與第三滑槽(14)水平開設(shè)在石英舟載板(1)內(nèi)，所述第一齒條(5)滑動連接在第一滑槽(8)內(nèi)，所述第一伸縮柱(6)設(shè)置在第一齒條(5)與第一滑槽(8)底壁之間，所述齒輪(12)轉(zhuǎn)動連接在石英舟載板(1)內(nèi)，所述第二齒條(13)滑動連接在第三滑槽(14)內(nèi)，兩所述第三滑槽(14)內(nèi)均設(shè)有一按鈕(15)，兩所述第二齒條(13)與兩按鈕(15)一一對應地抵接配合，所述石英舟載板(1)的兩側(cè)均設(shè)有一聲光報警燈(2)，兩所述按鈕(15)與兩聲光報警燈(2)一一對應地電性連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英小舟側(cè)翻的報警預防裝置，其特征在于，兩所述第一伸縮柱(6)上均套接有第一彈簧(7)，兩所述第一彈簧(7)的一端與對應的第一滑槽(8)底壁固定連接，兩所述第一彈簧(7)的另一端與對應的第一齒條(5)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英小舟側(cè)翻的報警預防裝置，其特征在于，兩所述擋板(3)的頂端均呈傾斜設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英小舟側(cè)翻的報警預防裝置，其特征在于，所述石英舟載板(1)上豎直開設(shè)有第二滑槽(9)，所述第二滑槽(9)內(nèi)固定連接有第二伸縮柱(11)，所述第二伸縮柱(11)的伸縮端設(shè)有卡塊(4)，所述第二伸縮柱(11)上套接有第二彈簧(10)，所述第二彈簧(10)的兩端分別與第二滑槽(9)的底壁和卡塊(4)固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種石英小舟側(cè)翻的報警預防裝置，其特征在于，所述卡塊(4)的頂部呈弧形。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種石英小舟側(cè)翻的報警預防裝置，涉及石英舟技術(shù)領(lǐng)域，包括石英舟載板，所述石英舟載板的兩側(cè)滑動連接有兩擋塊，兩所述擋塊與石英舟載板之間均設(shè)有傳動組件，兩所述傳動組件均包括第三滑槽、齒輪、第一齒條、第一伸縮柱以及第二齒條，兩所述第三滑槽內(nèi)均設(shè)有按鈕，兩所述第二齒條與兩按鈕一一對應地抵接配合，所述石英舟載板的兩側(cè)均設(shè)有聲光報警燈，兩所述按鈕與兩聲光報警燈一一對應地電性連接。該技術(shù)在石英舟豎直放置在石英舟載板上時，若發(fā)生位置偏移，石英舟擠壓推動兩擋板中的其一，擋板帶動第一齒條移動，通過齒輪使第二齒條移動按壓按鈕，觸發(fā)聲光報警燈，能夠提醒工作人員避免石英舟側(cè)翻損壞。

技術(shù)研發(fā)人員：曾艷輝,劉裕通
受保護的技術(shù)使用者：安徽美達倫光伏科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240411
技術(shù)公布日：2024/12/23