專利名稱：形狀復(fù)制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種形狀復(fù)制(shape replication)方法，更具體地，涉及一種通過施加和固化UV可固化樹脂制造光盤復(fù)制品的形狀復(fù)制方法背景技術(shù)通常，通過從壓模轉(zhuǎn)移預(yù)定的凸起/凹坑花紋(pattern)來制造光盤的襯底，其中在壓模的表面上形成有凸起/凹坑花紋。導(dǎo)槽(臺和槽)和軌道位置數(shù)據(jù)作為微凸起/凹坑花紋(也稱作不平坦浮雕)形成在壓模的表面上。例如，通過感光樹脂工藝(也稱作2P工藝)將凸起/凹坑花紋轉(zhuǎn)移到襯底上。
在2P工藝中，通過一系列步驟制造光盤的復(fù)制品將壓模安裝到轉(zhuǎn)盤，在壓模的凸起/凹坑花紋上施加液體的UV可固化樹脂，在樹脂上對準并固定由玻璃等構(gòu)成的襯底，對襯底施加壓力以均勻地展開樹脂，使用UV射線照射樹脂來固化樹脂，以及在壓模與樹脂之間的界面處從壓模剝離具有襯底的樹脂。
在2P工藝中，重要的是在展開壓模與襯底之間的樹脂時從樹脂中去除氣泡。如果氣泡殘留在樹脂中，會局部損壞臺/槽花紋，并產(chǎn)生不能正確記錄和再現(xiàn)信息的有缺陷的襯底。
為了避免這個問題，已經(jīng)提出了一種在施加UV可固化樹脂之后旋轉(zhuǎn)整個光盤的方法，以去除氣泡。例如，在日本未審查的專利公開案No.Hei 2(1990)-37543中，公開了一種制造光盤襯底的方法。在此方法中，在照射可固化樹脂被圓形地施加到壓模之后，在壓模與玻璃襯底之間設(shè)置墊片使樹脂和襯底彼此接觸，同時在兩者之間保持適當?shù)拈g隔，然后旋轉(zhuǎn)整個結(jié)構(gòu)以去除樹脂中的氣泡。
在日本未審查的專利公開案No.Hei 9(1997)-44917中公開了另一種制造光盤的方法。在此方法中，將UV可固化樹脂施加到第一樹脂襯底上，并在第一樹脂襯底上放置第二樹脂襯底。然后，高速旋轉(zhuǎn)整個結(jié)構(gòu)以去除樹脂中含有的氣泡，并促進樹脂的均勻展開。
此外，在日本未審查的專利公開案No.Hei 9(1997)-161334中公開了一種制造光學(xué)記錄介質(zhì)的方法，其中在襯底(壓模)上滴落液體樹脂，以便在與襯底對準的樹脂上安裝一平板，并在旋轉(zhuǎn)整個結(jié)構(gòu)以均勻展開襯底與平板之間的液體樹脂之后，固化樹脂以使平板從樹脂剝離。上述的制造方法顯示出旋轉(zhuǎn)整個盤對于去除UV可固化樹脂中的氣泡是有效的。
在上述的2P工藝中，當通過轉(zhuǎn)移形成在壓模表面上的凸起/凹坑花紋來形成襯底時，在樹脂固化之后UV可固化樹脂需要從壓模剝離下來。剝離步驟通過下述方式進行，即通過形成具有不同外徑的壓模和襯底，并固定例如外徑小于襯底外徑的壓模以便將一剝離元件壓在位于壓模外側(cè)的襯底周邊部分。
目前使用的光盤的襯底和固化樹脂的厚度分別約為1.2mm或更大以及約為10至20微米。所以存在氣泡不能被完全去除的情況，或在如上所述剝離步驟的樹脂上殘留毛頭，使得盤存在缺陷。
從完全去除氣泡、減少產(chǎn)生的毛頭以及提高用于記錄和再現(xiàn)信息的光線的吸收系數(shù)和透射率考慮，UV可固化樹脂的厚度最好盡可能的薄，并且盡可能靠近樹脂的表面復(fù)制壓模的凸起/凹坑花紋。因此，襯底的厚度期望是1mm或更小，以便比傳統(tǒng)的襯底薄。
但是，當薄的襯底通過將剝離元件壓在襯底的周圍部分而經(jīng)受剝離時，由于強度的原因襯底可能會被損壞。此外，傳統(tǒng)的制造方法需要大約15分鐘來完成從在轉(zhuǎn)盤上安裝壓模到從壓模剝離襯底的各步驟。對于大量生產(chǎn)的光盤，一直期望減少完成整個制造步驟的時間。
因此，本發(fā)明實現(xiàn)這樣的目標，如完成氣泡的去除、襯底的變薄以及毛頭的避免。按照本發(fā)明提供一種形狀復(fù)制方法，該方法中特別設(shè)計了樹脂固化步驟和剝離步驟，以制造高生產(chǎn)率和高可靠性的用于光盤或類似物的襯底。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種形狀復(fù)制方法，其特征在于包括以下步驟將壓模固定到平臺，該壓模在其表面上具有預(yù)定的花紋和中心開口；在壓模的花紋表面上施加光固化樹脂；在光固化樹脂上固定具有開口的薄板形襯底以使襯底相對于壓模保持在預(yù)定位置，其中襯底的開口直徑小于壓模的開口直徑；從襯底的上方照射光以固化光固化樹脂；以及將可插入壓模開口的剝離元件壓靠在圍繞著襯底開口周圍并延伸超過壓模開口的一部分襯底上，從而將與襯底成一整體的光固化樹脂從壓模上剝離。
按照本發(fā)明，能夠制造高生產(chǎn)率和高可靠性的薄襯底。


圖1給出了本發(fā)明的制造裝置的構(gòu)造示意圖；圖2給出了本發(fā)明每個元件的尺寸的比較圖；圖3(a)至圖3(d)給出了按照本發(fā)明實施例的制造步驟；圖4(e)至圖4(g)給出了按照本發(fā)明實施例的制造步驟；圖5(h)至圖5(j)給出了按照本發(fā)明實施例的盤制造步驟；圖6給出了本發(fā)明每個制造步驟所需的估計時間；圖7給出了本發(fā)明的襯底的機械特性的比較圖；圖8給出了壓模厚度與壓模的不規(guī)則性厚度之間的相互關(guān)系圖。
具體實施例方式
按照本發(fā)明，提供一種高生產(chǎn)率和可靠性的形狀復(fù)制方法，用于制造諸如光盤襯底的具有微小凸起/凹坑花紋的多個襯底。更具體地，在本發(fā)明中，準備其上形成有預(yù)定花紋的壓模，并在花紋上施加液體的光固化樹脂，隨后通過將樹脂固化而用樹脂形成預(yù)定花紋?？墒褂脗鹘y(tǒng)的光固化樹脂作為該光固化樹脂。
在本發(fā)明中，用于固定壓模的平臺包括與壓模開口的內(nèi)徑相符的突起、以及吸氣口和用于抽吸壓模表面的抽吸元件，在該壓模表面上沒有形成預(yù)定的花紋。
此外，用于固定壓模的平臺包括圓柱形凹陷，其位置與被固定壓模的開口對應(yīng)。在光固化樹脂被固化之前，通過將具有圓柱形突起的對準元件插入襯底的開口中，可以將壓模和襯底相對于彼此固定在預(yù)定位置，從而圓柱形突起配合進入平臺的圓柱形凹陷。對準元件還具有配合進入襯底開口中的平頭圓錐。
按照本發(fā)明，剝離元件具有圓柱形的外形，該圓柱形的外徑大于襯底開口的內(nèi)徑，并且小于壓模開口的內(nèi)徑。
固化光固化樹脂的步驟可包括通過將光線短時間照射到部分樹脂來固化部分樹脂的預(yù)固化步驟，以及在預(yù)固化步驟之后通過使光線照射全部樹脂一段預(yù)定的時間來固化全部樹脂的主固化步驟。
壓模的外徑和襯底的外徑可以相同。
下面將參照附圖，依靠其實施例詳細說明本發(fā)明。應(yīng)當了解本發(fā)明并不限于此實施例。
圖1給出了用于實施本發(fā)明形狀復(fù)制方法的制造裝置的構(gòu)造示意圖。
在圖1中，壓模1是金屬基質(zhì)，在其一個表面上形成有臺和槽的凸起/凹坑花紋。在形成有凸起/凹坑花紋的表面上，施加液體的UV可固化樹脂2。然后將壓模1的凸起/凹坑花紋轉(zhuǎn)移到樹脂2的表面。作為光盤基質(zhì)的玻璃襯底6對準樹脂2并安放在樹脂2上。
本發(fā)明的制造裝置主要包括三個功能塊，即壓模固定部分、襯底旋轉(zhuǎn)部分和剝離部分。壓模固定部分主要包括對準突起3、轉(zhuǎn)盤4、吸氣口5和排氣泵8。具有突起71的對中桿7和轉(zhuǎn)盤4的接合部分31不是用于固定壓模，而是用于對準安裝在壓模1上的襯底6。
提供用于固定對中桿的接合部分31。將對中桿7的突起71插入接合部分31以便固定對中桿。對中桿7的外徑向下逐漸變細，所以隨著上升而增大。當突起71插入接合部分31時，對中桿7的外徑與襯底的內(nèi)徑緊密接觸，因此確定了襯底6在橫向上的位置。對準突起3的外徑與壓模1開口的內(nèi)徑d3幾乎相同，并彼此嚙合以固定壓模1。
轉(zhuǎn)盤4是用于水平放置壓模1的平臺。當壓模1為圓形時，轉(zhuǎn)盤4也為圓形，并且其尺寸允許在其上安裝整個壓模。
在轉(zhuǎn)盤4的表面，在預(yù)定位置上提供多個吸氣口5，用于抽吸壓模1以防止其脫離。在轉(zhuǎn)盤4的內(nèi)部，提供連接吸氣口5和排氣泵的通道。排氣泵8通過通道和吸氣口5來固定壓模1。以不至于使壓模發(fā)生變形的強度來執(zhí)行通過吸氣口5的抽吸。
襯底旋轉(zhuǎn)部分是用于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤4的馬達11。在壓模1樹脂2和襯底6整體設(shè)置在轉(zhuǎn)盤4上之后，襯底旋轉(zhuǎn)部分水平地旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤4以使樹脂2均勻地分布在壓模1的不平坦花紋的表面上。
剝離部分主要包括剝離桿9和推動元件10。推動元件10通過手動或自動操作推起剝離桿9。
如下所述，剝離桿9利用剝離桿9的外徑d6與襯底6的內(nèi)徑d2之間的差推起圍繞其內(nèi)徑的一部分襯底。通過推起圍繞其內(nèi)徑的襯底部分6，壓模1與樹脂2被剝離。
圖2給出了制造裝置和壓模的每個元件的尺寸的比較圖。
在圖2中，參考標記d1表示對中桿7的突起71的外徑，d2表示襯底6開口的內(nèi)徑，d3表示壓模1的中心開口的內(nèi)徑，d4表示轉(zhuǎn)盤4的對準突起3的外徑，d5表示轉(zhuǎn)盤4的接合部分31的內(nèi)徑，d6表示剝離桿9的外徑。
在本發(fā)明中，這些內(nèi)徑(ID)和外徑(OD)的相互關(guān)系如下。
壓模的ID d3＞襯底的ID d2；壓模的ID d3對準突起的OD d4；對中桿突起的OD d1接合部分的ID d5；對中桿突起的OD d1＜襯底的ID d2；壓模的ID d3＞剝離桿的OD d6＞襯底的ID d2。
但是，由于突起71要插入接合部分31，所以突起71的外徑d1優(yōu)選地設(shè)置為稍小于接合部分31的內(nèi)徑d5。
由于壓模1要配合到對準突起3的邊緣，所以壓模1的內(nèi)徑d3優(yōu)選地設(shè)置為稍大于對準突起3的外徑d4。
按照本發(fā)明的實施例，例如，按照如下所示的設(shè)置每個元件的內(nèi)徑和外徑突起71的OD d1＝8mm，襯底6的ID d2＝15.0mm，壓模1的ID d3＝35.4mm，對準突起3的OD d4＝35.2mm，接合部分31的ID d5＝10mm，剝離桿9的OD d6＝22mm。
接下來，將說明按照本發(fā)明實施例的光盤襯底的制造步驟。
圖3(a)至3(d)，4(e)至4(g)和5(h)至5(j)是按照本發(fā)明的光盤襯底的制造步驟的說明圖。
在這些圖中，只顯示了圖1中制造裝置靠近轉(zhuǎn)盤的部分，省略了吸氣口5和轉(zhuǎn)盤內(nèi)部的通道。
步驟(a)安裝壓模1將壓模1的中心開口安裝到對準突起3的邊緣，壓模1具有不平坦花紋的表面向上，由此固定了壓模1。
壓模1為圓形且尺寸為ID d3＝35.4mm，OD＝86.0mm，厚度＝0.3mm。轉(zhuǎn)盤4也是圓形的，外徑與壓模的外徑幾乎相同。轉(zhuǎn)盤4包括具有邊緣的環(huán)形對準突起3，邊緣的直徑為35.4mm，寬度為3mm。
在壓模1沒有通過安裝到對準突起3而完全固定的情況下，壓模1經(jīng)過圖1所示的吸氣口5被較好地真空抽吸粘附到轉(zhuǎn)盤4，以防止在隨后步驟的旋轉(zhuǎn)中引起壓模1的振動。壓模通常由金屬制成，如果是磁性的，可以通過粘到磁鐵上磁性粘附到轉(zhuǎn)盤4。
步驟(b)施加UV固化樹脂當轉(zhuǎn)盤4以約為30rpm的低速旋轉(zhuǎn)時，能夠覆蓋壓模1的全部花紋的預(yù)定量的UV可固化樹脂2以環(huán)形方式被施加。例如，UV固化樹脂可以是傳統(tǒng)方法中使用的感光性樹脂。在施加時，樹脂2是液態(tài)的，并含有大量的氣泡21。
步驟(c)安裝玻璃襯底在UV可固化樹脂2上安裝玻璃襯底6。剝離襯底6的ID d2為15.0mm，OD為86.0mm，厚度為0.6mm。由于本發(fā)明包括下面將提到的UV射線施加步驟和剝離步驟，所以即使使用厚度小于傳統(tǒng)襯底厚度的襯底6也能夠高可靠地提供低翹曲的光盤。當襯底6安裝在樹脂2上時，由于襯底6的重量導(dǎo)致樹脂2在水平方向上展開的很小，但是樹脂中仍殘存著氣泡。
步驟(d)插入對中桿為了精確對準襯底6與壓模1的相對位置，將對中桿7插入襯底6的中心開口，以使對中桿7的突起71配合到轉(zhuǎn)盤4的接合部分31中。
圓柱形的突起71的外徑約為8mm，高度約為5mm。接合部分31與突起71的形狀幾乎相同。如上所述，對中桿7一側(cè)向下逐漸變細，所以桿的外徑隨著向上而變大。通過緊密結(jié)合桿7和襯底6的預(yù)定位置，可調(diào)整襯底6的位置，并精確地確定壓模1與襯底6的相對位置。
步驟(e)旋轉(zhuǎn)和展開樹脂為了展開UV可固化樹脂2并去除殘留在樹脂2內(nèi)部的氣泡21，馬達11驅(qū)動轉(zhuǎn)盤4以2400rpm的高速旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)時間沒有具體的限制，只要樹脂2在壓模1上充分展開，并且充分去除了氣泡21即可。例如，旋轉(zhuǎn)時間可以約為5秒鐘。轉(zhuǎn)盤4的旋轉(zhuǎn)使樹脂2在壓模1的整個花紋上均勻地展開，并使氣泡21從壓模1的邊緣釋放到外面。
步驟(f)使用UV射線照射用于預(yù)固化從襯底6的上面使用預(yù)固化光源12，施加強度為80w/cm2的UV射線約5秒鐘，以固化一部分樹脂2。當在隨后施加UV射線用于主固化的步驟需要去除壓模1以及移動壓模1時，需要上述步驟以防止壓模1和襯底6不對準。
但是，當執(zhí)行隨后的主固化和剝離處理，同時壓模1留在同一轉(zhuǎn)盤4上時，可以省略這樣的預(yù)固化步驟。如果那樣，由于不需要預(yù)固化時間(約為5秒鐘)所以縮短了完成整個步驟所需的時間。換言之，當使用同一轉(zhuǎn)盤4能夠執(zhí)行制造步驟(a)至(i)時，步驟(f)是不必要的。
步驟(g)使用UV射線照射用于主固化首先，從轉(zhuǎn)盤4移開通過預(yù)固化而整合有樹脂2以及襯底6的壓模1，然后將其放置在主固化平臺上?；蛘?，拔出對中桿7，并且含有接合部分31的轉(zhuǎn)盤4的中心部分與轉(zhuǎn)盤4脫離，以便能夠使用定位在裝置下部的剝離桿9。
為了完全固化樹脂2，使用主固化光源14從襯底6上面施加強度約為160w/cm2的UV射線13大約8秒鐘。這使得樹脂2凝固并且去除了氣泡21，因此壓模1的相反的凸起/凹坑花紋被精確地轉(zhuǎn)移。
步驟(h)推起剝離桿首先，壓模1通過排氣泵8的真空抽吸將壓模1牢固地固定到轉(zhuǎn)盤4。
位于裝置下部的推動元件10被操作以推起剝離桿9。然后將剝離桿9推入設(shè)在轉(zhuǎn)盤4的對準突起3內(nèi)的開口，并與襯底6圍繞內(nèi)徑的部分接觸。由于如上所述剝離桿9的外徑d6大于襯底6的內(nèi)徑d2，所以剝離桿9向上推動襯底6。
隨著推高剝離桿9，由于襯底與樹脂之間的結(jié)合強于壓模與樹脂之間的結(jié)合，所以如步驟(i)所示壓模1與固化的樹脂2被分離。壓模與樹脂的剝離只需要大約3秒鐘。
通過上述的步驟完成了一個光盤，如圖5中步驟(j)所示，光盤中不平坦的花紋化樹脂2形成在襯底6上。
圖6的表中給出了每個上述步驟所需的時間。在表中，樹脂施加步驟表示步驟(a)至(d)。各個步驟所需時間樹脂施加步驟(a)至(d)＝5秒鐘；展開/旋轉(zhuǎn)步驟(e)＝5秒鐘；預(yù)固化步驟(f)＝5秒鐘；主固化步驟(g)＝8秒鐘；剝離步驟(h)＝3秒鐘。這意味著制造一個光盤最少需要約26秒鐘。
即使主固化步驟(g)之前的壓模的轉(zhuǎn)移所需時間約為30秒鐘，也能在約1分鐘內(nèi)完成一個光盤。
按照本發(fā)明的光盤襯底包括厚度分別為0.595mm和0.005mm的玻璃襯底6和固化的樹脂2。整個光盤的厚度約為0.6mm，比傳統(tǒng)的光盤襯底的厚度薄。
這樣薄的光盤襯底需要具有足夠的強度(機械特性)以及沒有翹曲。如圖7所示，本發(fā)明的光盤襯底顯示的值幾乎與玻璃襯底本身的機械特性參數(shù)相同。這說明按照本發(fā)明的光盤襯底具有足夠的強度。
在本發(fā)明中，壓模1通過抽吸固定到轉(zhuǎn)盤4上。但是，壓模可能隨著抽吸的強度而翹曲。壓模中的翹曲會導(dǎo)致制造的光盤襯底中的翹曲(厚度不規(guī)則性)。最終導(dǎo)致光盤的偏差，還可以使盤成為缺陷品。
通常，使用厚度約為300微米的薄的壓模作為壓模1。但是，如圖8所示，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)使用厚度為400微米或更大的壓模幾乎消除了所制造的光盤襯底的厚度不規(guī)則性。
因此，壓模1最好具有400微米或更大的厚度，以便在高合格率下制造高可靠性的襯底。
本發(fā)明的效果按照本發(fā)明，能夠高可靠及高生產(chǎn)率地制造厚度小于傳統(tǒng)襯底的襯底，同時減少了制造期間產(chǎn)生的厚度不規(guī)則性。
權(quán)利要求
1.一種形狀復(fù)制方法，其特征在于包括以下步驟將壓模固定到平臺，該壓模在其表面上具有預(yù)定的花紋和中心開口；在壓模的花紋表面上施加光固化樹脂；在光固化樹脂上固定具有開口的薄板形襯底以使襯底相對于壓模保持在預(yù)定位置，其中襯底的開口直徑小于壓模的開口直徑；從襯底的上方照射光以固化光固化樹脂；以及將可插入壓模開口的剝離元件壓靠在圍繞著襯底開口周圍并延伸超過壓模開口的一部分襯底上，從而將與襯底成一整體的光固化樹脂從壓模上剝離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀復(fù)制方法，其特征在于，用于固定壓模的平臺包括與壓模開口的內(nèi)徑匹配的突起，以及用于抽吸沒有形成預(yù)定花紋的壓模表面的吸氣口和抽吸元件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀復(fù)制方法，其特征在于，在光固化樹脂被固化之前，將對準元件插入襯底的開口，將壓模和襯底相對于彼此固定在預(yù)定位置，其中用于固定壓模的平臺在與被固定壓模的開口對應(yīng)的位置包括一圓柱形凹陷，對準元件具有適于配合在該平臺的圓柱形凹陷中的圓柱形突起和適于與襯底開口內(nèi)徑配合的平頭圓錐，當對準元件插入襯底的開口時圓柱形突起配合到圓柱形凹陷中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀復(fù)制方法，其特征在于，剝離元件是一圓柱，其外徑大于襯底的內(nèi)徑并小于壓模的內(nèi)徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀復(fù)制方法，其特征在于，用于固化光固化樹脂的步驟包括預(yù)固化步驟和主固化步驟，預(yù)固化步驟對部分光固化樹脂照射短時間的光以固化部分樹脂，主固化步驟位于預(yù)固化步驟之后，在整個樹脂上照射預(yù)定時間的光以固化整個樹脂。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀復(fù)制方法，其特征在于，壓模和襯底具有相同的外徑。
7.一種形狀復(fù)制裝置，其特征在于包括壓模固定部分，用于固定具有一中心開口并且表面上具有預(yù)定花紋的壓模；樹脂施加部分，用于在壓模的花紋表面上施加光固化樹脂；襯底安裝部分，用于在光固化樹脂上固定具有開口的薄板形襯底以使襯底相對于壓模保持在預(yù)定位置，其中襯底的開口直徑小于壓模的開口直徑；光施加部分，用于從襯底上方施加光線以固化光固化樹脂；以及剝離部分，用于將可插入壓模開口的剝離元件壓靠在圍繞著襯底開口周圍并延伸超過壓模開口的一部分襯底上，從而將與襯底成一整體的光固化樹脂從壓模上剝離。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的形狀復(fù)制裝置，其中壓模固定部分包括適于與壓模開口內(nèi)徑配合的突起、用于抽吸沒有形成預(yù)定花紋的壓模表面的吸氣口以及用于通過吸入口來真空抽吸壓模的抽吸元件。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的形狀復(fù)制裝置，還包括旋轉(zhuǎn)部分，用于水平旋轉(zhuǎn)壓模固定部分。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的形狀復(fù)制裝置，其特征在于，壓模固定部分在與被固定壓模的開口對應(yīng)的部分包括一圓柱形凹陷，和該裝置還包括具有一圓柱形突起和一平頭圓錐的對準元件，其中當對準元件插入設(shè)置在光固化樹脂上的襯底的開口時，圓柱形突起配合在圓柱形凹陷中，并且平頭圓錐的周邊與襯底的開口鄰接。
全文摘要
本發(fā)明提供一種形狀復(fù)制方法，其特征在于包括以下步驟將壓模固定到平臺，該壓模在其表面上具有預(yù)定的花紋和中心開口；在壓模的花紋表面上施加光固化樹脂；在光固化樹脂上固定具有開口的薄板形襯底以使襯底相對于壓模保持在預(yù)定位置，其中襯底的開口直徑小于壓模的開口直徑；從襯底的上方照射光以固化光固化樹脂；以及將可插入壓模開口的剝離元件壓靠在圍繞著襯底開口周圍并延伸超過壓模開口的一部分襯底上，從而將與襯底成一整體的光固化樹脂從壓模上剝離。
文檔編號G11B7/26GK1623200SQ02828680
公開日2005年6月1日 申請日期2002年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月1日
發(fā)明者馬田孝博, 守部峰生 申請人:富士通株式會社