專利名稱：：包含光學(xué)濾波器的掃描設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種用于掃描光學(xué)記錄載體的光學(xué)掃描設(shè)備，還涉及一種光學(xué)濾波器，適用于、但不限于調(diào)整該掃描設(shè)備中的輻射光束的強(qiáng)度輪廓，以及涉及一種用于制造這種設(shè)備和這種濾波器的方法和用于利用這種濾波器調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓的方法。在光學(xué)存儲(chǔ)中，讀取和寫入對于用于掃描記錄載體的輻射光點(diǎn)具有不同的要求。光學(xué)記錄載體的實(shí)例包括CD(密致盤)和DVD(數(shù)字通用盤)。當(dāng)從載體讀取信息時(shí)，輻射光點(diǎn)尺寸確定了可讀取的標(biāo)記尺寸。因此，希望得到的是小光點(diǎn)尺寸，從而可以讀取具有高信息密度的載體上的小尺寸標(biāo)記。當(dāng)向載體寫入信息時(shí)，輻射光點(diǎn)的尺寸不太重要。然而，希望從輻射光源到信息載體的光路是高效率的(即低損耗)。這就減少了輻射光源的功耗，這對于便攜用途來講是十分重要的因素。而且，典型的輻射光源為激光器。如果激光器與記錄載體之間的光路是高效率的，那么激光器的壽命增加，這是因?yàn)榭梢砸暂^低的驅(qū)動(dòng)電流操縱該激光器，從而生成希望得到的入射到記錄載體上的輻射強(qiáng)度。為了獲得用于讀取的小光點(diǎn)尺寸，希望使入射到物鏡系統(tǒng)上的光束的強(qiáng)度分布較為平坦。換句話說，為了讀取，希望使輻射光束具有高邊緣強(qiáng)度(邊緣強(qiáng)度是在物鏡邊緣的光束強(qiáng)度與沿光軸的強(qiáng)度之間的相對強(qiáng)度)。圖1表示了在半徑為r的輻射光束寬度上典型的光強(qiáng)度分布。可以看出，最高光學(xué)強(qiáng)度Imax位于光束中心(即沿著典型掃描設(shè)備的光軸)，隨著遠(yuǎn)離光束中心該強(qiáng)度較顯著地下降。通過將吸收空間濾波器置于光束中，可以提高用于讀取用途的光束的邊緣強(qiáng)度，從而減少光束中心部分的透射率。然而，這種濾波器將會(huì)降低整個(gè)光路的效率，從而使得在寫入用途中不希望使用這種濾波器。本發(fā)明實(shí)施例的目的是提供一種適于解決現(xiàn)有技術(shù)中的至少一個(gè)問題的光學(xué)濾波器，無論該問題是否在本文中提到。本發(fā)明實(shí)施例的目的是提供一種適于為讀取輻射光束提供高邊緣強(qiáng)度的光學(xué)濾波器，同時(shí)提供對于寫入輻射光束的低吸收率。在本發(fā)明的第一方面中，提供了一種用于掃描光學(xué)記錄載體的信息層的光學(xué)掃描設(shè)備，該設(shè)備包括用于生成輻射光束的輻射光源、用于將輻射光束會(huì)聚到信息層上的物鏡系統(tǒng)以及用于調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓的光學(xué)濾波器，該濾波器具有光軸并且包括可飽和吸收體，該飽和吸收體具有在閾值入射輻射強(qiáng)度下飽和的吸收率，對于強(qiáng)度小于閾值的入射輻射光束，該吸收體的吸收率隨著遠(yuǎn)離光軸而降低。利用這種濾波器，可以增大讀取輻射光束(強(qiáng)度小于閾值)的邊緣強(qiáng)度。而且，如果提供強(qiáng)度大于閾值的寫入輻射光束，則該吸收體將飽和，使得該濾波器表現(xiàn)出較低損失的光學(xué)傳輸路徑?？梢詫⒃摓V波器置于物鏡系統(tǒng)之前，但也可以置于物鏡系統(tǒng)之后。如果置于物鏡系統(tǒng)之后，那么優(yōu)選將其置于物鏡系統(tǒng)之后的非常小的距離處。在另一方面中，本發(fā)明提供了一種用于調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓的光學(xué)濾波器，該濾波器具有光軸并且包含可飽和吸收體，該飽和吸收體具有在閾值入射輻射強(qiáng)度下飽和的吸收率，對于強(qiáng)度小于閾值的入射輻射光束，該吸收體的吸收率隨著遠(yuǎn)離光軸而降低。在又一方面中，本發(fā)明提供了一種用于制造光學(xué)濾波器的方法，該濾波器用于調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓，該濾波器具有光軸并且包含可飽和吸收體，該飽和吸收體具有在閾值入射輻射強(qiáng)度下飽和的吸收率，對于強(qiáng)度小于閾值的入射輻射光束，該吸收體的吸收率隨著遠(yuǎn)離光軸而降低，該方法包括以下步驟在透明基底上形成可飽和吸收體的非均勻?qū)?。在另一方面中，本發(fā)明提供了一種用于制造光學(xué)掃描設(shè)備的方法，該設(shè)備用于掃描光學(xué)記錄載體的信息層，該方法包括以下步驟提供用于生成輻射光束的輻射光源；提供用于將輻射光束會(huì)聚到信息層上的透鏡系統(tǒng)；提供光學(xué)濾波器或者調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓，該濾波器具有光軸并且包含可飽和吸收體，該飽和吸收體具有在閾值入射輻射強(qiáng)度下飽和的吸收率，對于強(qiáng)度小于閾值的入射輻射光束，該吸收體的吸收率隨著遠(yuǎn)離光軸而降低。在另一方面中，本發(fā)明提供了一種利用濾波器來調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓的方法，該濾波器具有光軸并且包含可飽和吸收體，該飽和吸收體具有在閾值入射輻射強(qiáng)度下飽和的吸收率，對于強(qiáng)度小于閾值的入射輻射光束，該吸收體的吸收率隨著遠(yuǎn)離光軸而降低。根據(jù)從屬權(quán)利要求將獲知本發(fā)明的其它方面。為了更好地理解本發(fā)明，以及如何實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的實(shí)施例，作為示例，將參照示意性附圖，其中圖1表示了在輻射光束橫截面上的光學(xué)強(qiáng)度輪廓；圖2表示了用于掃描光學(xué)記錄載體的設(shè)備，其包括根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)濾波器；圖3表示了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)濾波器；圖4A表示了對于強(qiáng)度小于飽和閾值的輻射光束而言，光學(xué)濾波器在輻射光束寬度上的吸收率；圖4B表示了對于以小于飽和閾值的入射光束強(qiáng)度入射到濾波器上的光束(虛線)以及透射通過濾波器的光束(實(shí)線)而言，在輻射光束寬度上的光學(xué)強(qiáng)度；圖5A表示了對于強(qiáng)度大于飽和閾值的輻射光束，光學(xué)濾波器在輻射光束寬度上的吸收率；圖5B表示了對于以大于飽和閾值的入射光束強(qiáng)度入射到濾波器上的光束(虛線)以及透射通過濾波器的光束(實(shí)線)而言，在輻射光束寬度上的光學(xué)強(qiáng)度；圖6表示了用于掃描光學(xué)記錄載體的設(shè)備，指示了用于放置根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)濾波器的兩個(gè)可能位置。圖2表示了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于掃描光學(xué)記錄載體102的設(shè)備100。該設(shè)備包括輻射光源111，在本特定實(shí)例中其為激光器。輻射光源用于輸出至少兩個(gè)強(qiáng)度級(jí)別的輻射光束。當(dāng)最終入射到記錄載體102的表面上時(shí)，第一級(jí)別的強(qiáng)度足以從記錄載體讀取信息。典型的是，這個(gè)強(qiáng)度對應(yīng)于大約為8mW/cm2的準(zhǔn)直光束強(qiáng)度(光瞳強(qiáng)度)。當(dāng)入射到適當(dāng)?shù)挠涗涊d體上時(shí)，更大的第二強(qiáng)度適于將信息寫入記錄載體。典型的是，這個(gè)強(qiáng)度對應(yīng)于40mW的寫入功率，以及直徑為4mm的準(zhǔn)直光束，從而產(chǎn)生了大約80mW/cm2的光瞳強(qiáng)度(大約比讀取強(qiáng)度大10倍)。這些不同強(qiáng)度的光束可能具有相同波長或不同波長。輻射光源111向準(zhǔn)直透鏡114發(fā)射輻射光束112，該透鏡將發(fā)散光束112轉(zhuǎn)變?yōu)闇?zhǔn)直光束115。準(zhǔn)直光束115入射到物鏡系統(tǒng)118上。該物鏡系統(tǒng)118將光束115變?yōu)闀?huì)聚光束120，該光束入射到記錄載體102上。分束器113位于從載體102的表面反射的輻射光束的光路中，從而將一部分反射光束引導(dǎo)到檢測器。該設(shè)備100還包括光學(xué)濾波器200。優(yōu)選的是，該光學(xué)濾波器200位于準(zhǔn)直光束115的光路中。優(yōu)選的是，該光學(xué)濾波器200沒有位于從載體102的表面反射的光束的光路中，即在這個(gè)特定設(shè)備中，該濾波器200優(yōu)選位于準(zhǔn)直透鏡114和分束器113之間。圖3表示了圖2的濾波器200的更詳細(xì)視圖。該濾波器200具有光軸119，在圖2所示的設(shè)備中，該光軸也對應(yīng)于物鏡系統(tǒng)的光軸。濾波器200包括可飽和吸收體206，該可飽和吸收體的吸收率設(shè)為在預(yù)定閾值入射輻射強(qiáng)度下飽和，通常稱作飽和強(qiáng)度。選擇該吸收體，使得吸收體的飽和強(qiáng)度位于讀取和寫入光束強(qiáng)度之間(當(dāng)入射到濾波器上時(shí))。例如，對于大約8mW/cm2的準(zhǔn)直(光瞳)讀取強(qiáng)度，以及大約80mW/cm2的寫入光瞳強(qiáng)度，則該飽和強(qiáng)度應(yīng)為10-50mW/cm2的數(shù)量級(jí)。在該飽和強(qiáng)度以上，可飽和吸收體的透射率將隨入射輻射強(qiáng)度的增大而增大。在這個(gè)特定實(shí)例中，為了給吸收體提供堅(jiān)固的支撐，該可飽和吸收體在透明基底上形成為層。該吸收體用作準(zhǔn)直輻射光束115中的空間濾波器。為了使讀取時(shí)比寫入時(shí)具有更高的邊緣強(qiáng)度，該可飽和吸收體主要置于光束中心?？娠柡臀阵w的厚度確定了讀取光束的強(qiáng)度分布，從而吸收層的厚度(作為半徑的函數(shù)，即與光軸的距離)隨著遠(yuǎn)離光軸而減小，該層在光軸處的厚度最大。當(dāng)寫入光束的強(qiáng)度比飽和強(qiáng)度大時(shí)，降低了可飽和吸收體對于光束的吸收率，并且提高了光路的效率。因此，該濾波器可以調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓，從而為讀取提供高邊緣強(qiáng)度，而仍舊為寫入光束提供有效的透射光路。該濾波器不需要任何有源控制，而是完全由讀取和寫入光束之間的強(qiáng)度變化來切換。在這個(gè)特定實(shí)施例中，需要使該濾波器對寫入光束提供均勻的吸收率。因此，在圍繞光軸延伸的環(huán)(204a、204b)中提供了普通吸收體(其吸收強(qiáng)度是與強(qiáng)度無關(guān)的，至少與寫入光束強(qiáng)度無關(guān))，并且在這個(gè)情況下該普通吸收體覆蓋了可飽和吸收體206的環(huán)形層的邊緣?？娠柡臀阵w和普通吸收體的空間分布是這樣的，對于寫入光束強(qiáng)度而言總吸收輪廓是均勻的，而仍然允許讀取光束獲得希望得到的高邊緣強(qiáng)度。圖4A、4B、5A和5B表示了光學(xué)濾波器的吸收率的情況(圖4A和5A)，以及吸收率與輻射光束輪廓的變化的關(guān)系(圖4B和5B)。這些附圖是按照光束半徑的函數(shù)繪制的，半徑即光束與濾波器光軸119的距離，假設(shè)總光束寬度為2r。圖4A和4B涉及讀取光束，而圖5A和5B涉及寫入光束。在圖4B和5B中，由虛線表示了入射到濾波器上的光束輪廓，而由實(shí)線表示了通過該濾波器的光束輪廓。應(yīng)當(dāng)注意，圖4B所示的入射光束的最大光束強(qiáng)度(Imax)約為圖5B所示的寫入光束的最大入射光束強(qiáng)度的1/10。如圖所示，當(dāng)用于讀取的適當(dāng)強(qiáng)度(即小于飽和閾值)的光束入射到濾波器上時(shí)，該濾波器的吸收率是不均勻的，沿著光軸最大，并且隨著與光軸距離的增大而減小。因此，非均勻地減弱了入射光束，使得濾波器傳遞了較平坦的光束光學(xué)強(qiáng)度輪廓，即具有高邊緣強(qiáng)度的光束，如用于讀取所需的光束。如圖5A所示，對于寫入光束強(qiáng)度，該濾波器的吸收率在半徑上基本是均勻的。因此，已通過的輻射光束保持了低邊緣強(qiáng)度。而且，當(dāng)寫入光束在飽和閾值以上時(shí)，總百分比光束吸收率較低，使得大部分入射輻射信號(hào)通過該濾波器?？梢岳斫猓陨蠈?shí)施例僅僅是示例性的，并且多個(gè)其它實(shí)施例應(yīng)理解為落入本發(fā)明的范圍之內(nèi)。例如，在以上實(shí)施例中，所描述的濾波器具有一層普通吸收體?？梢詫⒃撈胀ㄎ諏訌脑摓V波器中省略掉，尤其是在寫入光束可以容許非均勻吸收率的情況下。同樣，在優(yōu)選實(shí)施例中，所描述的飽和吸收層的厚度為非均勻的。然而，本發(fā)明的可選實(shí)施例利用了均勻厚度的可飽和吸收層，但是該層內(nèi)的可飽和吸收體的密度按照半徑的函數(shù)變化，即該層內(nèi)的可飽和吸收體沿著光軸的密度最大，并且該密度隨著與光軸的距離增加而增加。所示的光束輪廓(如圖1、4A、4B、5A和5B所示)僅僅是示例性的，并且本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解其它實(shí)施例的實(shí)際精確光束輪廓可以具有不同的形狀。而且，光束強(qiáng)度同樣僅僅是示例性的，在其它實(shí)施例中可以完全不同。例如，讀取光束光瞳強(qiáng)度可以為1mW/cm2，寫入光束強(qiáng)度可以為10mW/cm2。用作可飽和吸收體的各種化合物對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來講是顯而易見的，并且可以用于根據(jù)本發(fā)明的濾波器中。例如，染料中的可飽和吸收具有非常低的飽和強(qiáng)度。該染料中的飽和是由于以下情況造成的，在光學(xué)激發(fā)之后，可以將分子激勵(lì)成最低位置的三重能量態(tài)，從而具有較長的壽命。當(dāng)分子處于三重態(tài)時(shí)，該分子不能進(jìn)一步吸收入射輻射，因此變?yōu)楣鈱W(xué)透明的。因此，典型的是在大多數(shù)分子處于三重態(tài)時(shí)達(dá)到染料的飽和強(qiáng)度。染料的飽和強(qiáng)度取決于每個(gè)分子的吸收橫截面以及三重壽命，并且其可以低到15mW/cm2?？蛇x擇的是，可以將半導(dǎo)體作為可飽和吸收體，例如通過濺射或者外延生長構(gòu)成的量子點(diǎn)的形式。半導(dǎo)體吸收體的飽和對應(yīng)于電子群處于激發(fā)態(tài)的時(shí)候或者雜質(zhì)用作捕集器的狀態(tài)(從而提高該狀態(tài)的壽命)。這種電子狀態(tài)的壽命通常比染料的三重壽命短，并且因此飽和強(qiáng)度更高。與用于使吸收體飽和的絕對輻射強(qiáng)度相同，可以使用其中出現(xiàn)熱致變色效應(yīng)的材料，其中由更高的入射強(qiáng)度光束使材料的溫度升高，這種升高造成吸收率的下降。這種材料例如在M.Hatakeyma等人在Jpn.J.Appl.Phys.，Vol.39(2000)pp752-755上發(fā)表的論文“Super-resolutionrewritableopticaldiskhavingamasklayercomposedofthermo-chromicorganicdye”中進(jìn)行了描述。盡管上述實(shí)施例描述了一種在光束路徑中的一個(gè)特定位置上包括光學(xué)濾波器的掃描設(shè)備，但是應(yīng)當(dāng)理解，該濾波器當(dāng)然也可以置于光束路徑中的其它位置，或者甚至置于結(jié)構(gòu)與圖2所示的設(shè)備不同的光學(xué)設(shè)備中。圖6表示了用于掃描光學(xué)記錄載體2的設(shè)備1，其包括兩個(gè)可選擇的位置A和B，可以依照本發(fā)明的實(shí)施例將光學(xué)濾波器放置在所述位置。該記錄載體包括透明層3，在其一側(cè)上設(shè)置了信息層4。該信息層背對透明層的面受到保護(hù)層5的保護(hù)而免受環(huán)境影響。透明層面對該設(shè)備的面稱作入射面6。該透明層3用作記錄載體的基底，為信息層提供機(jī)械支撐?？蛇x擇的是，該透明層可以僅僅具有保護(hù)信息層的功能，而機(jī)械支撐是由信息層另一側(cè)上的層來提供的，例如由保護(hù)層5或者其它信息層和與信息層4相連的透明層來提供。信息可以以可光學(xué)檢測標(biāo)記的形式存儲(chǔ)在記錄載體的信息層4中，該可光學(xué)檢測標(biāo)記設(shè)置在基本上平行的、同心的或者螺旋的軌道上(未示出)。該標(biāo)記可以是任意的可光學(xué)讀取的形式，例如坑的形式，或者反射系數(shù)或者磁化方向與其周圍不同的區(qū)域，或者這些形式的組合。掃描設(shè)備1包括能夠發(fā)射輻射光束12的輻射光源11。該輻射光源可以是半導(dǎo)體激光器。分束器13將發(fā)散輻射光束12反射到準(zhǔn)直透鏡14，該透鏡將發(fā)散光束12轉(zhuǎn)變?yōu)闇?zhǔn)直光束15。準(zhǔn)直光束15入射到物鏡系統(tǒng)18上。該物鏡系統(tǒng)包括一個(gè)或多個(gè)透鏡和/或光柵。物鏡系統(tǒng)18具有光軸19。物鏡系統(tǒng)18將光束15變?yōu)闀?huì)聚光束20，該光束入射到記錄載體2的入射面6上。物鏡系統(tǒng)具有適于使輻射光束通過透明層3的厚度的球差校正。會(huì)聚光束20在信息層4上形成了光點(diǎn)21。信息層4反射的輻射形成了發(fā)散光束22，物鏡系統(tǒng)18將其變?yōu)榛旧蠝?zhǔn)直的光束23，并且隨后由準(zhǔn)直透鏡14將其變?yōu)闀?huì)聚光束24。分束器13通過將至少部分會(huì)聚光束24透射到檢測系統(tǒng)25而將前進(jìn)的光束和反射光束分開。檢測系統(tǒng)捕獲輻射并且將其轉(zhuǎn)變?yōu)殡娸敵鲂盘?hào)26。信號(hào)處理器27將這些輸出信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)槎喾N其它信號(hào)。這些信號(hào)之一是信息信號(hào)28，該信號(hào)的值表示從信息層4讀取的信息。用于誤差校正的信息處理單元29處理該信息信號(hào)。來自信號(hào)處理器27的其它信號(hào)是聚焦誤差信號(hào)和徑向誤差信號(hào)30。聚焦誤差信號(hào)表示光點(diǎn)21與信息層4之間的軸向高度差。徑向誤差信號(hào)表示在信息層4的平面內(nèi)光點(diǎn)21與該光點(diǎn)遵循的信息層中軌道中心之間的距離。將聚焦誤差信號(hào)和徑向誤差信號(hào)提供給伺服電路31，該電路將這些信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)榉謩e用于控制聚焦致動(dòng)器和徑向致動(dòng)器的伺服控制信號(hào)32。這些致動(dòng)器沒有在圖中示出。聚焦致動(dòng)器控制物鏡系統(tǒng)18在聚焦方向33上的位置，從而控制光點(diǎn)21的實(shí)際位置，使其基本上與信息層4的平面重合。徑向致動(dòng)器控制物鏡系統(tǒng)18在徑向34上的位置，從而控制光點(diǎn)21的徑向位置，使其基本上與信息層4中遵循的軌道中心線重合。該圖中的軌道在垂直于該圖平面的方向上延伸。圖2的設(shè)備還可以適于掃描第二種記錄載體，其透明層比記錄載體2的透明層厚。該設(shè)備可以使用輻射光束12或者波長不同的輻射光束來掃描第二種記錄載體。這種輻射光束的NA可以適于該類型的記錄載體。相應(yīng)地必須修改物鏡系統(tǒng)的球差補(bǔ)償。考慮到以上實(shí)例，可以理解本發(fā)明的實(shí)施例可用于提供光學(xué)濾波器，該濾波器用于提供適于讀取的高邊緣強(qiáng)度的輻射光束，同時(shí)該濾波器為更高強(qiáng)度的寫入光束提供了相對有效的光路。而且，當(dāng)可飽和吸收體為無源光學(xué)元件時(shí)，可以在不對濾波器進(jìn)行任何有源控制的情況下實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的實(shí)施例。權(quán)利要求1.一種用于掃描光學(xué)記錄載體的信息層的光學(xué)掃描設(shè)備，該設(shè)備包括用于生成輻射光束的輻射光源、用于將輻射光束會(huì)聚到信息層上的物鏡系統(tǒng)以及用于調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓的光學(xué)濾波器，該濾波器具有光軸并且包括可飽和吸收體，該可飽和吸收體具有在閾值入射輻射強(qiáng)度下飽和的吸收率，對于強(qiáng)度小于閾值的入射輻射光束，該吸收體的吸收率隨著遠(yuǎn)離光軸而降低。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中在基本上垂直于光軸延伸的層中形成該可飽和吸收體。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中所述層具有非均勻厚度，該層的厚度隨著遠(yuǎn)離光軸而減小。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中該輻射光源用于生成第一強(qiáng)度的輻射光束，該第一強(qiáng)度小于用于從光學(xué)記錄載體讀取信息的所述閾值，以及用于生成第二強(qiáng)度的輻射光束，該第二強(qiáng)度大于用于將信息寫入到所述光學(xué)記錄載體的所述閾值。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中該光學(xué)濾波器設(shè)置為對于大于所述閾值的至少一種入射輻射強(qiáng)度具有基本上均勻的吸收輪廓。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中所述至少一種光束強(qiáng)度對應(yīng)于適于將信息寫入光學(xué)記錄載體的輻射光束強(qiáng)度。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中該濾波器進(jìn)一步包括一層吸收體，該吸收體在所述至少一種強(qiáng)度下不飽和。8.一種用于調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓的光學(xué)濾波器，該濾波器具有光軸并且包含可飽和吸收體，該可飽和吸收體具有在閾值入射輻射強(qiáng)度下飽和的吸收率，對于強(qiáng)度小于閾值的入射輻射光束，該吸收體的吸收率隨著遠(yuǎn)離光軸而降低。9.一種用于制造光學(xué)濾波器的方法，該光學(xué)濾波器用于調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓，該濾波器具有光軸并且包含可飽和吸收體，該可飽和吸收體具有在閾值入射輻射強(qiáng)度下飽和的吸收率，對于強(qiáng)度小于閾值的入射輻射光束，該吸收體的吸收率隨著遠(yuǎn)離光軸而降低，該方法包括以下步驟在透明基底上形成可飽和吸收體的非均勻?qū)印?0.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述層在厚度和密度中至少一個(gè)方面是非均勻的。11.一種用于制造光學(xué)掃描設(shè)備的方法，該設(shè)備用于掃描光學(xué)記錄載體的信息層，該方法包括以下步驟提供用于生成輻射光束的輻射光源；提供用于將輻射光束會(huì)聚到信息層上的透鏡系統(tǒng)；以及提供光學(xué)濾波器或者調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓，該濾波器具有光軸并且包含可飽和吸收體，該可飽和吸收體具有在閾值入射輻射強(qiáng)度下飽和的吸收率，對于強(qiáng)度小于閾值的入射輻射光束，該吸收體的吸收率隨著遠(yuǎn)離光軸而降低。12.一種利用濾波器來調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓的方法，該濾波器具有光軸并且包含可飽和吸收體，該飽和吸收體具有在閾值入射輻射強(qiáng)度下飽和的吸收率，對于強(qiáng)度小于閾值的入射輻射光束，該吸收體的吸收率隨著遠(yuǎn)離光軸而降低。全文摘要一種用于掃描光學(xué)記錄載體(2；102)的信息層(4)的光學(xué)掃描設(shè)備(1；100)。該設(shè)備包括用于生成輻射光束(12、15、20；112、115、120)的輻射光源(11；111)，用于將輻射光束會(huì)聚到信息層(4)上的物鏡系統(tǒng)(18；118)以及用于調(diào)整輻射光束的強(qiáng)度輪廓的光學(xué)濾波器(200)。該濾波器具有光軸(119)并且包括可飽和吸收體(206)，該飽和吸收體具有在閾值入射輻射強(qiáng)度下飽和的吸收率。對于強(qiáng)度小于閾值的入射輻射光束，該吸收體的吸收率隨著遠(yuǎn)離光軸而降低。文檔編號(hào)G11B7/135GK1714394SQ200380103635公開日2005年12月28日申請日期2003年10月28日優(yōu)先權(quán)日2002年11月20日發(fā)明者R·F·M·亨德里克斯,J·J·H·B·施萊彭申請人:皇家飛利浦電子股份有限公司