專利名稱：集成半導(dǎo)體裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種集成半導(dǎo)體裝置。更具體地，本發(fā)明涉及在控制從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束的輸出方面改進(jìn)可靠性的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
例如，有一種安裝在盤驅(qū)動器的光學(xué)拾取器(optical pickup)上的集成半導(dǎo)體裝置。這種類型的集成半導(dǎo)體裝置具有半導(dǎo)體襯底，在半導(dǎo)體襯底上安裝有半導(dǎo)體激光器、信號檢測感光器(photoreceptor)和例如棱鏡的光學(xué)元件。
一些集成半導(dǎo)體裝置具有監(jiān)控感光器(monitor photoreceptor)，其提供了控制的APC(自動功率控制)功能，使從半導(dǎo)體激光器發(fā)射的激光束的光量為恒定值。
對于監(jiān)控感光器的類型，有背面監(jiān)控型(rear monitor type)和前面監(jiān)控型(front monitor type)，背面監(jiān)控型接收和檢測發(fā)射到與前面相反的背面上的背面激光束的一部分少的光量，前面激光束在前面朝向圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面發(fā)射，前面監(jiān)控型接收和檢測朝向圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面所發(fā)射的前面激光束的一部分。
通常，通過利用背面監(jiān)控型的監(jiān)控感光器檢測少量的激光束，僅用于再現(xiàn)圓盤形記錄介質(zhì)中所記錄的信息信號的再現(xiàn)盤驅(qū)動器能控制從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束的光量。
然而，存在背面監(jiān)控型的監(jiān)控感光器不能用于某些類型的再現(xiàn)盤驅(qū)動器的情況，即所謂的單片式兩個波長激光器安裝裝置類型，其中光源、波導(dǎo)、檢測器元件等制作在單個襯底上，或不能用于還用來記錄信息信號的記錄/再現(xiàn)盤驅(qū)動器。
例如，在記錄/再現(xiàn)盤驅(qū)動器中，當(dāng)在圓盤形記錄介質(zhì)中記錄信息信號時，必須精確地控制從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的大輸出激光束。然而，因為前面激光束和背面激光束之間的比率隨溫度而變化(溫度漂移)，所以使用背面監(jiān)控型監(jiān)控感光器很難精確地控制半導(dǎo)體激光束。因此，在這種類型的記錄/再現(xiàn)盤驅(qū)動器中，利用不受溫度漂移影響的前面監(jiān)控型監(jiān)控感光器來控制半導(dǎo)體激光器。
圖7中示出了具有前面監(jiān)控型監(jiān)控感光器的常規(guī)半導(dǎo)體集成裝置(例如，參考專利文獻(xiàn)1)。
半導(dǎo)體集成裝置a具有設(shè)置在未示出的封裝內(nèi)的半導(dǎo)體襯底、以及通過底架(submount)c被安裝在半導(dǎo)體襯底b上的半導(dǎo)體激光器d。
棱鏡e設(shè)置在半導(dǎo)體襯底b上，與半導(dǎo)體激光器d相對。棱鏡e形成有第一反射面f和與第一反射面f的下側(cè)連接的第二反射面g。第一反射面f從發(fā)射自半導(dǎo)體激光器d的激光束的光軸以大約45°角傾斜，且第二反射面g近似垂直于從半導(dǎo)體激光器d發(fā)射的激光束的光軸。第一反射面f是半反射鏡面(half mirror surface)，而第二反射面g是全反射面。
信號檢測感光器h、h設(shè)置在棱鏡e的下側(cè)位置處的半導(dǎo)體襯底b上。
監(jiān)控感光器i設(shè)置在底架c和棱鏡e之間的半導(dǎo)體襯底b上。半導(dǎo)體襯底b和監(jiān)控感光器i的表面涂布有由例如二氧化硅制成的涂層(coating)。
在如上述構(gòu)造的半導(dǎo)體集成裝置a中，半導(dǎo)體激光器d發(fā)射的激光束朝向棱鏡e的第一反射面f傳播，在該處激光束被反射從而其光學(xué)路徑轉(zhuǎn)彎90°。被反射的激光束進(jìn)入未示出的物鏡并會聚在圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面上。在圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面上會聚的激光束成為通過物鏡入射在棱鏡e的第一反射面f上并透過第一反射面f的返回光，并用信號檢測感光器h、h來接收。
信號檢測感光器h、h接收激光束后，例如，記錄在圓盤形記錄介質(zhì)中的信息信號被讀出。
當(dāng)從半導(dǎo)體激光器d中發(fā)射激光束時，一部分激光束朝向棱鏡e的第二反射面g傳播，在此處激光束被反射并用設(shè)置在底架c和棱鏡e之間的監(jiān)控感光器i來接收。
監(jiān)控感光器i接收激光束后，檢測所接收的光的光量，并且根據(jù)該檢測結(jié)果，控制半導(dǎo)體激光器d，使得從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束的光量成為恒定值。
然而，上述的半導(dǎo)體集成裝置a伴隨有這樣的一些問題，例如由于監(jiān)控感光器i暴露于空氣中，因為在監(jiān)控感光器i上的涂層中的變化而使其感光度(sensitivity)具有大的變化，而此外，還可能受雜散光(stray light)的影響。
而且，在圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面處反射的激光束和監(jiān)控激光束都進(jìn)入棱鏡e的內(nèi)部，發(fā)生激光束干涉，可能有害地影響信息信號檢測操作和用于半導(dǎo)體激光器d的輸出的控制操作。
為抑制上述感光度變化和雜散光影響，有一種常規(guī)的半導(dǎo)體集成裝置，其中監(jiān)控感光器設(shè)置在棱鏡的下側(cè)位置處的半導(dǎo)體襯底上(參考日本專利申請公開No.2002-260273的圖1)。
然而，該半導(dǎo)體集成裝置的監(jiān)控感光器所接收的激光束是從半導(dǎo)體激光器中所發(fā)射的在物鏡的孔徑區(qū)域(aperture region)內(nèi)的激光束，導(dǎo)致諸如光學(xué)系統(tǒng)耦合效率降低的問題。
由于在圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面處反射的激光束和監(jiān)控激光束都進(jìn)入棱鏡e的內(nèi)部，所以類似于上述集成半導(dǎo)體裝置a，仍然沒有解決上述激光束干涉的問題。
因此，本發(fā)明的集成半導(dǎo)體裝置的一個任務(wù)是提高控制從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束的輸出的可靠性等。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述任務(wù)，本發(fā)明的集成半導(dǎo)體裝置設(shè)置有粘附到半導(dǎo)體襯底上并具有光反射面和光透射面的棱鏡，光反射面形成有用于反射從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束的光反射膜，光透射面用于透射物鏡的孔徑范圍以外的從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束；監(jiān)控感光器，設(shè)置在半導(dǎo)體襯底的設(shè)置有棱鏡的區(qū)域中并接收通過棱鏡的光透射面透射的激光束；以及信號檢測感光器，設(shè)置在半導(dǎo)體襯底的設(shè)置有棱鏡的區(qū)域的外部，用于接收在棱鏡的光反射面處反射并通過物鏡會聚在圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面上的激光束作為返回光。
因此，在本發(fā)明的集成半導(dǎo)體裝置中，增加了物鏡的孔徑范圍內(nèi)的光量。


圖1為概念性示出根據(jù)本發(fā)明一個實施例的激光束的光學(xué)路徑的透視圖，還參考圖2至6介紹該實施例。
圖2是集成半導(dǎo)體裝置的分解透視圖。
圖3是集成半導(dǎo)體裝置的放大截面圖。
圖4為示出了設(shè)置在半導(dǎo)體襯底上的每個光學(xué)元件的放大平面圖。
圖5為示出了主要部分的放大側(cè)視圖。
圖6為示出了利用另一棱鏡的主要部分的放大側(cè)視圖。
圖7為示出了常規(guī)的集成半導(dǎo)體裝置的放大側(cè)視圖。
具體實施例方式
下文將參考附圖介紹根據(jù)本發(fā)明的集成半導(dǎo)體裝置的實施例。
集成半導(dǎo)體裝置1設(shè)置在例如安裝于盤驅(qū)動器上的光學(xué)拾取器的傳送基座(transport base)上。在記錄介質(zhì)200中記錄或從其再現(xiàn)信息信號期間，沿圓盤形記錄介質(zhì)200的徑向移動傳送基座。具有物鏡100(參看圖1)的物鏡驅(qū)動裝置設(shè)置在傳送基座上。物鏡驅(qū)動裝置使物鏡100沿聚焦方向和沿軌跡方向(tracking direction)移動，從而通過物鏡100照射到圓盤形記錄介質(zhì)200的激光束被會聚在圓盤形記錄介質(zhì)200的記錄軌跡(record track)上，其中聚焦方向是離開和接觸圓盤形記錄介質(zhì)200的方向，軌跡方向是圓盤形記錄介質(zhì)200的近似半徑方向。
連接到驅(qū)動電路的布線板例如柔性印刷布線板被安裝在傳送基座上，并且外部電極形成在柔性印刷布線板的一端部分上。
通過在封裝2中設(shè)置每個預(yù)定的元件來縮小半導(dǎo)體集成裝置1。如圖2和3中所示，封裝2由例如陶瓷材料制成的板型基體(base body)3和例如樹脂材料制成的外殼(housing)4構(gòu)成。
例如，外殼4形成為具有向下開口的盒形形狀并由具有高熱絕緣性能的樹脂制成。通過外殼的上壁4a形成透過孔(transparent hole)4b。
設(shè)置在基體3的上部和下部表面上的是半導(dǎo)體襯底5和未示出的用于電連接上述布線板(柔性印刷布線板)和外部電極的電極。
設(shè)置在半導(dǎo)體襯底5的上部和下部表面上的是每個光學(xué)元件和未示出的用于與基體3的電極電連接的電極部分。
用銀膏使底架6設(shè)置在半導(dǎo)體襯底5上，并且半導(dǎo)體激光器7設(shè)置在底架6上(參看圖1至4)。從半導(dǎo)體激光器7向側(cè)面，即沿半導(dǎo)體襯底5的表面的方向發(fā)射激光束。
監(jiān)控感光器8安裝在半導(dǎo)體襯底5上，具有控制從半導(dǎo)體激光器7發(fā)射的激光束的光量為恒定值的APC功能。
如圖5中所示，用粘合劑(adhesive)9、例如紫外線固化型的粘合劑，將棱鏡10安裝在半導(dǎo)體襯底5上。棱鏡10設(shè)置在覆蓋監(jiān)控感光器8的位置處。光反射面10a和光透射面10b每個形成在棱鏡10上。
光反射面10a從發(fā)射自半導(dǎo)體激光器7中的激光束的光軸(opticalaxis)X傾斜角度為大約45°，并在光反射面10a上形成光反射膜11(參看圖5)。例如，使用電介質(zhì)多層膜、氣相淀積金屬膜等作為光反射膜11。從半導(dǎo)體激光器7中發(fā)射的激光束在光反射面10a處反射，并且其光學(xué)路徑轉(zhuǎn)彎90°。
光透射面10b近似垂直于從半導(dǎo)體激光器7中發(fā)射的激光束的光軸X(參看圖5)而形成。盡管在光透射面10b上不必進(jìn)行涂布以便確保透射，但可以進(jìn)行非反射(non-reflection)涂布以防止反射。從半導(dǎo)體激光器7中發(fā)射的一部分激光束透過光透射面10b，透過光透射面10b的激光束是在物鏡100的孔徑區(qū)外部的激光束。
如上所述，以與從半導(dǎo)體激光器7中發(fā)射的激光束的光軸X不同的角度來形成棱鏡10的光反射面10a和光透射面10b。因此，光反射膜11可以很容易地僅形成在光反射面10a上，使得可以提高用于棱鏡10的制造工藝的工作性能。
信號檢測感光器12設(shè)置在半導(dǎo)體襯底5上。例如，把信號檢測感光器12設(shè)置在底架6和棱鏡10的側(cè)面位置處。
半導(dǎo)體襯底5和監(jiān)控感光器8的表面涂布有由例如二氧化硅制成的涂層。
元件安裝塊(element mount block)13安裝在外殼14的上壁4a上。例如，元件安裝塊13由透明樹脂材料制成，光柵14設(shè)置在中心區(qū)域中的元件安裝塊的底面上，四分之一波長片(quarter wavelength plate)15設(shè)置在中心區(qū)域中的其頂面上。
全息圖(hologram)16設(shè)置在元件安裝塊13的四分之一波長片15下面，在與四分之一波長片15間隔一預(yù)定距離的位置處。全息圖16是具有改變激光束的光學(xué)路徑的光學(xué)路徑改變功能和分離激光束的光分離功能的元件。
在如上述構(gòu)造的集成半導(dǎo)體裝置1中，當(dāng)從半導(dǎo)體激光器7中發(fā)射激光束時，所發(fā)射的激光束被棱鏡10的光反射面10a反射，并且其光學(xué)路徑改變90°(參考圖1)。改變了其光學(xué)路徑的激光束透過外殼4的透射孔4b，通過光柵14、全息圖16和四分之一波長片15向物鏡100傳播，并通過物鏡100會聚于在圓盤形記錄介質(zhì)200上所形成的記錄軌跡上。會聚于圓盤形記錄介質(zhì)200上的記錄軌跡的激光束在記錄面處被反射，并成為通過物鏡100和四分之一波長片15進(jìn)入全息圖16的返回光。進(jìn)入全息圖16的激光束的光學(xué)路徑被改變從而進(jìn)入信號檢測感光器12。例如，在再現(xiàn)期間，對記錄在圓盤形記錄介質(zhì)200內(nèi)的信息信號的進(jìn)行讀取。
當(dāng)按上述方式從半導(dǎo)體激光器7中發(fā)射激光束時，一部分激光束透過棱鏡10的光透射面10b，并進(jìn)入監(jiān)控感光器8。入射到監(jiān)控感光器8上的激光束的光量被測量，并根據(jù)所檢測的光量，控制半導(dǎo)體激光器7的輸出，使得從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束的光量成為恒定值。
如上所述，在集成半導(dǎo)體裝置1中，監(jiān)控感光器8設(shè)置在半導(dǎo)體襯底5的設(shè)置了棱鏡10的區(qū)域中，并用棱鏡10覆蓋監(jiān)控感光器8。因此，監(jiān)控感光器8不暴露于空氣中，且棱鏡10和粘合劑9可以由具有與設(shè)置在監(jiān)控感光器8上的涂層近似相同的反射率的材料制成。很難產(chǎn)生由監(jiān)控感光器8上的涂層的變化引起的感光度的變化，并且由于感光度可以穩(wěn)定，所以可以提高控制從半導(dǎo)體層7中發(fā)射的激光束的輸出的可靠性。
由于監(jiān)控感光器8設(shè)置在半導(dǎo)體襯底5的設(shè)置了棱鏡10的區(qū)域中，所以可以相互靠近地設(shè)置半導(dǎo)體激光器7和棱鏡10，并且集成半導(dǎo)體裝置可以變得緊湊。
此外，由于雜散光很難從外部照射到棱鏡10的內(nèi)部，可以防止監(jiān)控感光器8的檢測操作受到雜散光的不利影響。
而且，由于信號檢測感光器12設(shè)置在半導(dǎo)體襯底5的設(shè)置了棱鏡10的區(qū)域的外部，在圓盤形記錄介質(zhì)200的記錄面處反射的激光束不會照射到棱鏡10的內(nèi)部，監(jiān)控激光束將不會與在圓盤形記錄介質(zhì)200的記錄面處反射的激光束干涉，并且將不會有害影響用于信息信號的檢測操作和用于半導(dǎo)體激光器7的輸出的控制操作。
此外，監(jiān)控激光束是在物鏡100的孔徑范圍以外的激光束，可以提高對光學(xué)系統(tǒng)的耦合效率。
在上述說明中，作為棱鏡的一個例子，介紹了棱鏡10，其中以與從半導(dǎo)體激光器7中發(fā)射的激光束的光軸X不同的角度來形成棱鏡10的光反射面10a和光透射面10b。替代地，可以用棱鏡10A代替棱鏡10，棱鏡10A的光反射面10c和光透射面10d形成在相對從半導(dǎo)體激光器7中發(fā)射的激光束的光軸X具有大約45°角的同一平面上。
通過利用棱鏡10A，可以靠近半導(dǎo)體激光器7來設(shè)置監(jiān)控感光器8，使得能進(jìn)一步提高監(jiān)控感光器8的感光度。
可以在除上述棱鏡10和棱鏡10A的光反射面10a和10c以及光透射面10b和10d以外的一部分或整個表面上，形成雜散光反射膜或雜散光吸收膜。例如，可以利用電介質(zhì)多層膜、金屬氣相淀積膜等作為雜散光反射膜，可以利用氧化鉻膜作為雜散光吸收膜。
通過在除光反射面10a和10c以及光透射面10b和10d以外的一部分或整個表面上形成雜散光反射膜或雜散光吸收膜，能夠可靠地防止雜散光入射在棱鏡10和棱鏡10A內(nèi)部，并避免雜散光對監(jiān)控感光器8的檢測操作的不利影響。
上述實施例的每個元件的形狀和結(jié)構(gòu)僅僅是用于本發(fā)明實踐中的說明性例子，而本發(fā)明的技術(shù)范圍不應(yīng)該由這些形狀和結(jié)構(gòu)限制性地解釋。
工業(yè)實用性如從上述說明書從顯而易見，本發(fā)明的集成半導(dǎo)體裝置具有半導(dǎo)體襯底和包括設(shè)置在半導(dǎo)體襯底上的半導(dǎo)體激光器的每個預(yù)定的光學(xué)元件，其中使從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束通過物鏡會聚在圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面上，并且其特征在于包括粘附到半導(dǎo)體襯底上并具有光反射面和光透射面的棱鏡，光反射面形成有用于反射從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束的光反射膜，光透射面用于透射在物鏡的孔徑范圍以外的從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束；監(jiān)控感光器，設(shè)置在半導(dǎo)體襯底的設(shè)置了棱鏡的區(qū)域中并接收通過棱鏡的光透射面所透射的激光束；以及信號檢測感光器，設(shè)置在半導(dǎo)體襯底的設(shè)置了棱鏡的區(qū)域的外部，用于接收在棱鏡的光反射面處所反射并通過物鏡會聚在圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面上的激光束作為返回光。
因此，由于監(jiān)控感光器覆蓋有棱鏡，所以監(jiān)控感光器將不會暴露于空氣中，且棱鏡和用于將棱鏡附著到半導(dǎo)體襯底上的粘合劑可以由具有與設(shè)置在監(jiān)控感光器上的涂層近似相同的反射率的材料構(gòu)成。很難產(chǎn)生由監(jiān)控感光器上的涂層的變化引起的感光度的變化，并且由于可以穩(wěn)定感光度，所以可以提高控制半導(dǎo)體層中發(fā)射的激光束的輸出的可靠性。
由于監(jiān)控感光器被設(shè)置在半導(dǎo)體襯底的設(shè)置了棱鏡的區(qū)域中，所以可以相互靠近地設(shè)置半導(dǎo)體激光器和棱鏡，并且集成半導(dǎo)體裝置可以變得緊湊。
此外，由于雜散光很難從外部照射到棱鏡的內(nèi)部，監(jiān)控感光器的檢測操作可以防止受到雜散光的不利影響。
而且，由于信號檢測感光器被設(shè)置在半導(dǎo)體襯底的設(shè)置了棱鏡的區(qū)域外部，在圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面處被反射的激光束不會照射到棱鏡的內(nèi)部，監(jiān)控激光束將不會與在圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面處被反射的激光束發(fā)生干涉，并且將不會有害影響信息信號檢測操作和用于半導(dǎo)體激光器的輸出的控制操作。
此外，監(jiān)控激光束是在物鏡的孔徑范圍以外的激光束，可以提高對光學(xué)系統(tǒng)的耦合效率。
在權(quán)利要求2中所述的本發(fā)明中，棱鏡的光透射面近似垂直于從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束的光軸而形成，并且以相對于從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束的光軸的大約45°角形成棱鏡的光反射面。因此，反射膜可以很容易地僅形成在光反射面上，使得能夠提高用于棱鏡的制造工藝的工作性能。
在權(quán)利要求3中所述的本發(fā)明中，棱鏡的光反射面和光透射面形成在相對于從半導(dǎo)體激光器7中發(fā)射的激光束的光軸X具有大約45°角的同一平面上。因此，可以靠近半導(dǎo)體激光器設(shè)置監(jiān)控感光器，使得能進(jìn)一步提高監(jiān)控感光器的感光度。
在權(quán)利要求4和5中所述的本發(fā)明中，在除棱鏡的光反射面和光透射面以外的一部分或整個表面上形成雜散光反射膜或雜散光吸收膜。因此，能夠可靠地防止雜散光入射在棱鏡內(nèi)部，并避免雜散光對監(jiān)控感光器的檢測操作的不利影響。
權(quán)利要求
1.一種集成半導(dǎo)體裝置，具有半導(dǎo)體襯底和包括半導(dǎo)體激光器的每個預(yù)定光學(xué)元件，所述半導(dǎo)體激光器設(shè)置在所述半導(dǎo)體襯底上，并且從所述半導(dǎo)體激光器發(fā)射的激光束通過物鏡會聚在圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面上，其特征在于包括粘附到所述半導(dǎo)體襯底上并具有光反射面和光透射面的棱鏡，所述光反射面形成有用于反射從所述半導(dǎo)體激光器發(fā)射的激光束的光反射膜，所述光透射面用于透射從所述半導(dǎo)體激光器發(fā)射的在所述物鏡的孔徑范圍以外的激光束；監(jiān)控感光器，設(shè)置在所述半導(dǎo)體襯底的設(shè)置有所述棱鏡的區(qū)域內(nèi)，并接收通過所述棱鏡的所述光透射面透射的所述激光束；以及信號檢測感光器，設(shè)置在所述半導(dǎo)體襯底的設(shè)置有所述棱鏡的區(qū)域的外部，用于接收在所述棱鏡的所述光反射面處反射并通過所述物鏡會聚在所述圓盤形記錄介質(zhì)的所述記錄面上的激光束作為返回光。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的集成半導(dǎo)體裝置，其特征在于所述棱鏡的所述光透射面形成為近似垂直于從所述半導(dǎo)體激光器發(fā)射的激光束的光軸；以及所述棱鏡的所述光反射面以相對于從所述半導(dǎo)體激光器發(fā)射的所述激光束的所述光軸的大約45°角形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的集成半導(dǎo)體裝置，其特征在于所述棱鏡的所述光反射面和所述光透射面形成在相對于從所述半導(dǎo)體激光器發(fā)射的激光束的光軸具有大約45°角的同一平面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的集成半導(dǎo)體裝置，其特征在于雜散光反射膜或雜散光吸收膜形成在除所述棱鏡的所述光反射面和所述光透射面以外的至少一部分表面上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3的集成半導(dǎo)體裝置，其特征在于雜散光反射膜或雜散光吸收膜形成在除所述棱鏡的所述光反射面和所述光透射面以外的至少一部分表面上。
6.根據(jù)權(quán)利要求4的集成半導(dǎo)體裝置，其特征在于所述光反射膜是電介質(zhì)多層膜或氣相淀積的金屬膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求5的集成半導(dǎo)體裝置，其特征在于所述光反射膜是電介質(zhì)多層膜或氣相淀積的金屬膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求4的集成半導(dǎo)體裝置，其特征在于所述雜散光吸收膜是氧化鉻膜。
9.根據(jù)權(quán)利要求5的集成半導(dǎo)體裝置，其特征在于所述雜散光吸收膜是氧化鉻膜。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于提高半導(dǎo)體激光器的輸出相關(guān)控制的可靠性的集成半導(dǎo)體裝置，包括粘附到半導(dǎo)體襯底上并具有光反射面和光透射面的棱鏡，光反射面設(shè)置有反射從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束的光反射膜，光透射面透射在物鏡的孔徑區(qū)域以外的從半導(dǎo)體激光器中發(fā)射的激光束；監(jiān)控感光器，設(shè)置在半導(dǎo)體襯底的設(shè)置了棱鏡的區(qū)域中并接收通過棱鏡的光透射面的激光束；以及信號檢測感光器，用于接收在棱鏡的光反射面處反射并通過物鏡會聚在圓盤形記錄介質(zhì)的記錄面上的激光束作為返回光，并設(shè)置在其中設(shè)置有半導(dǎo)體襯底上的棱鏡的區(qū)域的外部。
文檔編號G11B7/1267GK1739151SQ20038010878
公開日2006年2月22日 申請日期2003年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2003年1月14日
發(fā)明者根本和彥 申請人:索尼株式會社