專(zhuān)利名稱(chēng)：磁記錄媒體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及按規(guī)定的凹凸圖案把記錄層分割為多個(gè)記錄要素的磁記錄媒體及磁記錄重放裝置。
背景技術(shù)：
以往，硬盤(pán)等磁記錄媒體試圖通過(guò)構(gòu)成記錄層的磁性粒子的微細(xì)化、材料的變更以及磁頭加工的微細(xì)化等的改進(jìn)來(lái)實(shí)現(xiàn)面記錄密度的明顯提高。另外，垂直記錄型的磁記錄媒體也正在被實(shí)用化，這種磁記錄媒體是記錄層被取向?yàn)樵诖怪庇诒砻娴姆较蛏暇哂写鸥飨虍愋?，在記錄層的下面形成軟磁性層，從而進(jìn)一步提高了面記錄密度，而且還期待今后能夠更進(jìn)一步提高面記錄密度。軟磁性層具有引入磁頭的記錄頭的記錄磁場(chǎng)的效果，以及構(gòu)成將施加于記錄層的記錄磁場(chǎng)從記錄頭的主磁極返回到返回磁極的返回通路的效果。即，軟磁性層實(shí)質(zhì)上具有加強(qiáng)施加于記錄層的記錄磁場(chǎng)的效果。
但是，顯現(xiàn)出磁頭的加工限制、磁頭的記錄磁場(chǎng)的擴(kuò)寬引起的對(duì)鄰接軌道的記錄、記錄重放時(shí)的串?dāng)_等問(wèn)題，根據(jù)這些原來(lái)的改進(jìn)方法的面記錄密度的提高已經(jīng)達(dá)到了極限，所以作為可以實(shí)現(xiàn)面記錄密度進(jìn)一步提高的候補(bǔ)方案，提出了一種按規(guī)定的凹凸圖案形成記錄層而構(gòu)成的離散軌道媒體或圖案化的媒體等磁記錄媒體(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。為了提高面記錄密度，這樣的離散軌道媒體或圖案化的媒體最好都作成垂直記錄型磁記錄媒體。從磁頭的漂浮穩(wěn)定性的觀點(diǎn)來(lái)看，最好用非磁性填料填充凹部，而使媒體表面平坦化(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1特開(kāi)平7-129953號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2特開(kāi)2000-195042號(hào)公報(bào)但是，即使將記錄層分割為記錄要素，在記錄層的下面連續(xù)形成的軟磁性層不僅把記錄磁場(chǎng)引入到記錄對(duì)象的記錄要素上，也會(huì)引入到鄰接記錄對(duì)象的記錄要素的凹部?jī)?nèi)。即，由于記錄磁場(chǎng)擴(kuò)寬大，所以抵消了將記錄層分割為記錄要素而產(chǎn)生的面記錄密度的提高效果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的鑒于上述問(wèn)題而成，目的在于提供一種具有分割為多個(gè)記錄要素的記錄層的磁記錄媒體及具備這種磁記錄媒體的磁記錄重放裝置，可以抑制記錄磁場(chǎng)的擴(kuò)寬并可以有效地對(duì)記錄對(duì)象的記錄要素施加記錄磁場(chǎng)。
本發(fā)明通過(guò)將把記錄層分割為多個(gè)記錄要素的凹凸圖案的凹部一直形成到記錄層下的軟磁性層的厚度方向的途中，來(lái)實(shí)現(xiàn)上述的目的。
發(fā)明者們當(dāng)初在想到本發(fā)明的過(guò)程中曾經(jīng)試圖將軟磁性層與記錄層一起分割，即，試圖將凹凸圖案的凹部一直形成到軟磁性層的基板側(cè)的面上。這樣作是因?yàn)檎J(rèn)為可以實(shí)質(zhì)上維持增強(qiáng)記錄磁場(chǎng)的效果的同時(shí)，可以抑制記錄磁場(chǎng)的擴(kuò)寬。
但是，實(shí)際上分割軟磁性層的結(jié)果并未能有效地把記錄磁場(chǎng)施加在記錄對(duì)象的記錄要素上。我們認(rèn)為這是因?yàn)樵诎疾康牡撞坎淮嬖谲洿判詫?，在與記錄對(duì)象的記錄要素鄰接的凹部存在的方向上未構(gòu)成記錄磁場(chǎng)的返回通路。
因此，發(fā)明者們進(jìn)一步重新潛心研究的結(jié)果是把分割記錄層的凹凸圖案的凹部形成到軟磁性層的厚度方向的途中為止，直至完成本發(fā)明。
這樣，通過(guò)把凹凸圖案的凹部形成到軟磁性層的厚度方向的途中為止就可以抑制記錄磁場(chǎng)的擴(kuò)寬，而能夠?qū)⒋蓬^的記錄磁場(chǎng)引入到軟磁性層的凸部上的記錄要素上。另外，通過(guò)構(gòu)成軟磁性層中的凹部的底部的部分，也可以沿與記錄對(duì)象的記錄要素鄰接的凹部存在的方向構(gòu)成記錄磁場(chǎng)的返回通路，從而能夠有效地將磁頭的記錄磁場(chǎng)施加到記錄對(duì)象的記錄要素上。
即，按照以下的本發(fā)明可以解決上述的問(wèn)題。
(1)一種磁記錄媒體，其特征在于，包含有基板、形成在該基板上的軟磁性層、取向?yàn)樵诖怪庇诒砻娴姆较蛏暇哂写鸥飨虍愋圆⑿纬稍谒鲕洿判詫由?、且按?guī)定的凹凸圖案分割成多個(gè)記錄要素的記錄層；所述凹凸圖案的凹部一直形成到所述軟磁性層的厚度方向的途中。
(2)記載于(1)中的磁記錄媒體，其特征在于，所述軟磁性層中構(gòu)成所述凹部的底部的部分具有該軟磁性層的整個(gè)厚度的50％以上的厚度。
(3)記載于(1)或(2)中的磁記錄媒體，其特征在于，所述軟磁性層中的所述凹部的深度是3nm以上。
(4)記載于(1)至(3)任一項(xiàng)中的磁記錄媒體，其特征在于，所述軟磁性層中的所述凹部的深度是25nm以下。
(5)一種磁記錄重放裝置，其特征在于，具有記載于(1)至(4)任一項(xiàng)中的磁記錄媒體，以及用來(lái)對(duì)磁記錄媒體進(jìn)行數(shù)據(jù)的記錄/重放的磁頭。
本申請(qǐng)中，所謂“按凹凸圖案分割為多個(gè)記錄要素的記錄層”是除將凹凸圖案的凹部形成到基板側(cè)的面上的記錄層且把記錄要素之間完全分割的記錄層之外，還包含在凹部以外的(凸部的)區(qū)域中記錄要素彼此之間局部連續(xù)的記錄層、螺旋狀的旋渦形的記錄要素那樣在基板上的一部分連續(xù)形成記錄要素的記錄層。
在本申請(qǐng)中，所謂“磁記錄媒體”并不限定于在信息記錄、讀出時(shí)采用的硬盤(pán)、軟(注冊(cè)商標(biāo))盤(pán)、磁帶等，還包含磁光并用的MO(磁光碟機(jī)MagnetoOptical)等光磁記錄媒體、磁熱并用的熱輔助型的記錄媒體。
按照本發(fā)明，能夠?qū)崿F(xiàn)具有分割為多個(gè)記錄要素的記錄層的可以抑制記錄磁場(chǎng)的擴(kuò)寬并可以有效地對(duì)記錄對(duì)象的記錄要素施加磁頭的記錄磁場(chǎng)的磁記錄媒體。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的磁記錄重放裝置的主要部分的概略結(jié)構(gòu)的立體示意圖。
圖2是該磁記錄重放裝置的磁記錄媒體的放大的結(jié)構(gòu)側(cè)斷面示意圖。
圖3是該磁記錄重放裝置的磁頭結(jié)構(gòu)的立體示意圖。
圖4是該磁記錄重放裝置的軟磁性層的凹部的深度與磁場(chǎng)的擴(kuò)寬的關(guān)系曲線(xiàn)。
圖5是構(gòu)成軟磁性層中的凹部的底部的部分的厚度對(duì)該磁記錄重放裝置的軟磁性層的整個(gè)厚度的比率與記錄要素上面的記錄磁場(chǎng)的強(qiáng)度的關(guān)系曲線(xiàn)。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的最佳實(shí)施方式。
如圖1所示，按照本發(fā)明的實(shí)施方式的磁記錄重放裝置10具備磁記錄媒體12、用來(lái)對(duì)磁記錄媒體12進(jìn)行數(shù)據(jù)的記錄/重放的磁頭14；磁記錄媒體12的結(jié)構(gòu)具有特征。由于為了理解本發(fā)明并不特別需要其他結(jié)構(gòu)，所以適宜地省略了其說(shuō)明。
磁記錄媒體12被固定在卡盤(pán)16上，并能與卡盤(pán)16一起自由旋轉(zhuǎn)；磁頭14被安裝在懸臂18的前端附近，懸臂18被可自由旋轉(zhuǎn)地安裝在基座20上。這樣，磁頭14就可以按沿磁記錄媒體12的徑向的圓弧軌道接近于磁記錄媒體12的表面地移動(dòng)。
磁記錄媒體12是垂直記錄型的離散軌道型磁盤(pán)，如圖2所示，其特征在于包含基板22、形成在基板22上的軟磁性層24和形成在軟磁性層24上的記錄層26，記錄層26被取向?yàn)樵诖怪庇诒砻娴姆较蛏暇哂写鸥飨虍愋郧野匆?guī)定的凹凸圖案被分割為多個(gè)記錄要素26A，將凹凸圖案的凹部28一直形成到軟磁性層24的厚度方向的途中。
基板22的軟磁性層24側(cè)的面被研磨成鏡面，可以把用玻璃、NiP被覆的Al合金、Si、Al2O3等非磁性材料用作基板22的材料。
在基板22與軟磁性層24之間形成有用來(lái)將徑向的磁各向異性賦予底層31和軟磁性層24的反強(qiáng)磁性層32。底層31的厚度為2～40nm，可以用Ta等作為底層31的材料。反強(qiáng)磁性層32的厚度為5～50nm，可以用PtMn合金、RuMn合金等作為反強(qiáng)磁性層32的材料。
軟磁性層24的厚度為50～300nm，可以用Fe(鐵)合金、Co(鈷)非晶質(zhì)合金、鐵氧體等作為軟磁性層24的材料。軟磁性層24也可以是具有軟磁性的層和非磁性層的疊層結(jié)構(gòu)。構(gòu)成軟磁性層24中的凹部28的底部的部分最好具有軟磁性層24的整個(gè)厚度的50％以上的厚度。軟磁性層24中的凹部28的深度最好為3nm以上、25nm以下。
凹凸圖案的凹部28用非磁性填料30填充，直到記錄層26中與基板22相對(duì)側(cè)的面為止；可以使用SiO2、Al2O3、TiO2、鐵氧體等氧化物、AlN等氮化物、SiC等炭化物等作為非磁性填料30的材料。
在軟磁性層24與記錄層26之間形成有用來(lái)將厚度方向(垂直于表面的方向)的磁各向異性賦予給記錄層26的取向?qū)?4。取向?qū)?4的厚度為2～40nm，可以用非磁性的CoCr合金、Ti、Ru、Ru與Ta的疊層體、MgO等作為取向?qū)?4的具體材料。
記錄層26的厚度為5～30nm，可以用CoCrPt合金等CoCr系合金、FePt系合金、這些合金的疊層體、SiO2等氧化物系材料中包含了矩陣狀CoPt等強(qiáng)磁性粒子的材料等作為記錄層26的材料。在數(shù)據(jù)區(qū)域內(nèi)沿徑向按微細(xì)間隔的同心圓狀的軌跡形狀形成記錄要素26A。在伺服區(qū)域內(nèi)按規(guī)定的伺服信息的圖案形狀形成記錄要素26A。
在記錄要素26A和非磁性材料30上按順序形成保護(hù)層36、潤(rùn)滑層38。保護(hù)層36的厚度為1～5nm，可以用例如叫做類(lèi)金剛石碳的硬質(zhì)碳膜等作為保護(hù)層36的材料。本申請(qǐng)中，所謂“類(lèi)金剛石碳(下稱(chēng)“DLC”)”是以碳為主要成分、非晶質(zhì)結(jié)構(gòu)的材料，按維克斯硬度測(cè)定的硬度約為2×109～8×1010Pa。潤(rùn)滑層38的厚度為1～2nm，可以用PFPE(全氟聚醚)或FOMBLIN(フオンブリン)系潤(rùn)滑劑等作為潤(rùn)滑層38的材料。
如圖3所示，磁頭14具備有記錄頭40，記錄頭40具有主磁極42和返回磁極44。磁頭14還具備有重放頭，但是在圖3中省略了重放頭。為了便于理解磁頭14和磁記錄媒體12的配置，圖3僅僅對(duì)磁記錄媒體12示出了記錄要素26A和軟磁性層24。
下面說(shuō)明磁記錄重放裝置10的作用。
如圖2所示，由于磁記錄媒體12的凹凸圖案的凹部28形成到軟磁性層24的厚度方向的途中為止，所以抑制了來(lái)自磁頭14的記錄頭40的主磁極42的記錄磁場(chǎng)的擴(kuò)寬，并將來(lái)自主磁極42的記錄磁場(chǎng)引入到軟磁性層24的凸部上的記錄對(duì)象的記錄要素26A上。另外，軟磁性層24在記錄要素26A下面的部分沿記錄要素26A的長(zhǎng)度方向(圓周方向)構(gòu)成記錄磁場(chǎng)的返回通路的同時(shí)，如圖2所示，軟磁性層24中構(gòu)成凹部28底部的部分也在與記錄對(duì)象的記錄要素26A鄰接的凹部28的方向上構(gòu)成記錄磁場(chǎng)的返回通路，所以磁頭14的記錄磁場(chǎng)就被有效地施加到記錄對(duì)象的記錄要素26A上。記錄磁場(chǎng)經(jīng)返回通路向返回磁極44回流。
另外，記錄要素26A之間的凹部28用非磁性填料30填充起來(lái)，所以磁記錄媒體12表面的凹凸小，磁頭14的漂浮高度穩(wěn)定，在這一點(diǎn)上也能夠得到優(yōu)良的記錄/重放特性。
由于在數(shù)據(jù)區(qū)域內(nèi)按軌道的形狀形成記錄要素26A，所以磁記錄媒體12即使面記錄密度高，也難以產(chǎn)生對(duì)鄰接記錄對(duì)象的軌道的軌道的記錄或重放時(shí)的串?dāng)_等問(wèn)題。
另外，由于記錄要素26A之間被分割開(kāi)，記錄要素26A之間的凹部28上不存在記錄層26，所以不會(huì)從凹部28產(chǎn)生噪聲，基于這一點(diǎn)，磁記錄媒體12也能得到良好的記錄/重放特性。
在上述的實(shí)施方式中，用SiO2作為非磁性填料30，但是只要是非磁性材料，并不特別限定非磁性填料30的具體材料。
在上述的實(shí)施方式中，記錄要素26A之間的凹部28用非磁性填料30填充起來(lái)，但是只要能夠得到磁頭14的良好的漂浮特性，也可以把凹部28作成空隙部。
在上述的實(shí)施方式中，底層31和反強(qiáng)磁性層32被形成在基板22與軟磁性層24之間，但是基板22與軟磁性層24之間的層結(jié)構(gòu)也可以根據(jù)磁記錄媒體的種類(lèi)或用途進(jìn)行適當(dāng)變更。另外，也可以省略底層31和反強(qiáng)磁性層32，而直接把軟磁性層24形成在基板22上。同樣，也不特別限定軟磁性層24與記錄層26之間的層結(jié)構(gòu)，例如，也可以省略取向?qū)?4，而把記錄層26直接形成在軟磁性層24上。
在上述的實(shí)施方式中，磁記錄媒體12在基板22的單面上形成有記錄層26等，但是即使是在基板22的雙面上形成有記錄層26等的雙面記錄式的磁記錄媒體，本發(fā)明也能適用。
在上述的實(shí)施方式中，磁記錄媒體12是在數(shù)據(jù)區(qū)域內(nèi)沿軌道的徑向以微細(xì)的間隔并列設(shè)置記錄要素26A的離散軌道型的磁盤(pán)，但是對(duì)于沿軌道的圓周方向(扇區(qū)方向)以微細(xì)的間隔并列設(shè)置記錄要素的磁盤(pán)、沿軌道的徑向和圓周方向兩個(gè)方向以微細(xì)的間隔并列設(shè)置記錄要素的磁盤(pán)、軌道呈螺旋形的磁盤(pán)，本發(fā)明當(dāng)然也都能適用；另外，對(duì)于MO等光磁盤(pán)、磁熱并用的熱輔助型磁盤(pán)、進(jìn)一步對(duì)于磁盤(pán)等盤(pán)形以外的具有凹凸圖案記錄層的其他磁記錄媒體，本發(fā)明也都能適用。
實(shí)施例按照上述的實(shí)施方式制成磁記錄媒體12，所制成的磁記錄媒體12的具體結(jié)構(gòu)表示如下。
基板22的直徑約25.4mm(1英寸)，材料是玻璃?；?2上的軟磁性層24側(cè)的面的算術(shù)平均粗糙度Ra是0.2～0.3nm。軟磁性層24的厚度約100nm，材料是CoZrNb合金。取向?qū)?4的厚度約10nm，材料是Ru。記錄層26的厚度約15nm，材料是SiO2和CoPt結(jié)晶粒子的混晶相，垂直磁各向異性磁場(chǎng)Hc約600kA/m。非磁性填料30的材料是SiO2。保護(hù)層36的厚度約4nm，材料是DLC。潤(rùn)滑層38的厚度約1nm，材料是FOMBLIN系潤(rùn)滑劑。
簡(jiǎn)單說(shuō)明制作該磁記錄媒體12的具體方法，首先，在基板22上用濺散法按順序形成底層31、反強(qiáng)磁性層32、軟磁性層24、取向?qū)?4、連續(xù)記錄層(未加工的記錄層26)、第一掩膜層、第二掩膜層；再用旋涂法涂敷光刻膠層。第一掩膜層的厚度約100nm，材料是C。第二掩膜層的厚度約5nm，材料是Ni。光刻膠層的厚度約100nm。
然后，在光刻膠層上用納米刻印法在數(shù)據(jù)區(qū)域內(nèi)轉(zhuǎn)印凸部寬約100nm、凹部寬約150nm、軌距約150nm的凹凸圖案，再用以氧氣為反應(yīng)氣體的反應(yīng)性離子蝕刻法除去凹部的底部光刻膠層。
然后，采用以Ar氣體為加工用氣體的離子束蝕刻法除去凹部的底部的第二掩膜層，再用以氧氣為反應(yīng)氣體的反應(yīng)性離子蝕刻法除去凹部的底部的第一掩膜層。
然后，采用以Ar氣體為加工用氣體的離子束蝕刻法，在厚度方向完全除去凹部底部的取向?qū)?4、記錄層26，來(lái)形成分割成記錄要素26A的記錄層26的同時(shí)，除去約10nm深度的軟磁性層24。
之后，用濺散法將非磁性填料30成膜在表面上，而把記錄要素26A之間的凹部28填充起來(lái)。一面使被加工體旋轉(zhuǎn)，一面用以Ar氣體為加工用氣體的離子束蝕刻法從斜方向照射Ar氣除去記錄層26上剩余的非磁性填料30而使表面平坦化。
進(jìn)一步用CVD法使保護(hù)層36成膜，用浸漬法使?jié)櫥瑢?8成膜，從而得到上述磁記錄媒體12。
用主磁極42的材料為FeCo合金、主磁極寬Mw約120nm、磁飽和密度約2.3泰斯拉的記錄頭在這樣得到的磁記錄媒體12上記錄數(shù)據(jù)。如圖3所示，所謂主磁極寬Mw是沿主磁極42中接近于磁記錄媒體12的部分的磁記錄媒體12的徑向的寬度。記錄密度取為400FRPI。用采用了巨大磁阻效應(yīng)(GMR)的重放軌道寬約110nm的重放頭重放數(shù)據(jù)，測(cè)定重放信號(hào)的S/N比。
相對(duì)于上述的實(shí)施例，制作將凹部28形成到記錄層26的基板22側(cè)的面上，在軟磁性層24上未形成凹部28的磁記錄媒體，與上述實(shí)施例一樣，測(cè)定重放信號(hào)的S/N比。
表1中，設(shè)比較例的重放信號(hào)的S/N比為0dB，來(lái)對(duì)比表示實(shí)施例與比較例的重放信號(hào)的S/N比的測(cè)定結(jié)果。
表1


從表1可知，實(shí)施例的重放信號(hào)S/N比顯著地大于比較例，記錄/重放特性也優(yōu)于比較例。
制成與上述實(shí)施方式同樣的8種模擬模型，這些模擬模型的凹部深度互不相同，其他的結(jié)構(gòu)都一樣。將這些模擬模型的具體結(jié)構(gòu)示于表2。表3表示凹部的深度。如圖3所示，表2中的所謂主磁極厚Mt是沿主磁極42中接近于磁記錄媒體12的部分的磁記錄媒體12的圓周方向的厚度。
表2


表3


對(duì)這些模擬模型進(jìn)行模擬，計(jì)算出凹部的深度與磁場(chǎng)擴(kuò)寬的關(guān)系，得到表3和圖4所示的結(jié)果。圖4中的凹部的深度是從記錄要素的上面到凹部的底面的深度。另外，以記錄要素的上面的軌道寬度方向的端部為基準(zhǔn)位置，用磁場(chǎng)強(qiáng)度為記錄要素上面的軌道寬度方向的中央部分的記錄磁場(chǎng)強(qiáng)度的30％的位置距基準(zhǔn)位置的軌道寬度方向距離來(lái)表示磁場(chǎng)的擴(kuò)寬。
由表3和圖4可知，凹部越深，磁場(chǎng)的擴(kuò)寬就越小。由圖4看出，距記錄要素的上面的凹部深度在40nm以下，即使凹部不形成在軟磁性層內(nèi)，凹部越深，磁場(chǎng)的擴(kuò)寬也越小，但是，如果凹部形成在軟磁性層內(nèi)，磁場(chǎng)的擴(kuò)寬就會(huì)更小。另外，還可以確認(rèn)，凹部比43nm還深，在軟磁性層內(nèi)形成約3nm深的凹部，就能顯著降低磁場(chǎng)的擴(kuò)寬。即，把凹部一直形成到軟磁性層內(nèi)，即使在軟磁性層內(nèi)有一點(diǎn)點(diǎn)凹部，也能夠顯著地抑制記錄磁場(chǎng)的擴(kuò)寬，只要在軟磁性層內(nèi)形成約3nm深度的凹部，就能夠確實(shí)得到顯著地抑制記錄磁場(chǎng)的擴(kuò)寬的效果。另一方面，一旦在軟磁性層中的凹部的深度達(dá)到25nm，即使凹部的深度再深，記錄磁場(chǎng)的擴(kuò)寬幾乎也不會(huì)變化。如果凹部過(guò)深，抵消構(gòu)成返回通路的效果的同時(shí)，由于降低了形成凹部的工序或用非磁性填料填充凹部的工序的生產(chǎn)效率，所以，最好將軟磁性層內(nèi)的凹部的深度上限取為約25nm。
對(duì)上述模擬例1的8種模擬模型進(jìn)行模擬試驗(yàn)，在求得構(gòu)成軟磁性層內(nèi)凹部的底部的部分的厚度對(duì)軟磁性層的整個(gè)厚度的比率與記錄要素上面的記錄磁場(chǎng)的強(qiáng)度的關(guān)系時(shí)，得到了表3和圖5所示的結(jié)果。這里，所謂記錄磁場(chǎng)的強(qiáng)度是記錄要素的上面的軌道寬度方向的中央部分的記錄磁場(chǎng)的強(qiáng)度，將未形成凹部的模擬模型中的記錄層上面的記錄磁場(chǎng)取為1，用與兩者之比來(lái)表示其大小。
表3和圖5表示構(gòu)成軟磁性層內(nèi)的凹部的底部的部分的厚度對(duì)這些模擬模型的軟磁性層的整個(gè)厚度的比率與記錄要素上面的記錄磁場(chǎng)的強(qiáng)度的關(guān)系。由表3和圖5可知，構(gòu)成軟磁性層內(nèi)的凹部的底部的部分的厚度對(duì)這些模擬模型的軟磁性層的整個(gè)厚度的比率越低，記錄要素上面的記錄磁場(chǎng)的強(qiáng)度就越低。這是因?yàn)榻档土藰?gòu)成軟磁性層內(nèi)的凹部的底部的部分產(chǎn)生的構(gòu)成記錄磁場(chǎng)的返回通路的效果所致。從圖5可知，構(gòu)成軟磁性層內(nèi)的凹部的底部的部分的厚度對(duì)軟磁性層的整個(gè)厚度的比率為50％以下時(shí)，這種趨向顯著。換言之，為了抑制記錄要素上面的記錄磁場(chǎng)強(qiáng)度的下降，構(gòu)成軟磁性層內(nèi)的凹部的底部的部分的厚度對(duì)軟磁性層的整個(gè)厚度的比率最好為50％以上。
本發(fā)明可以用于離散軌道媒體、圖案化的媒體等把記錄層按規(guī)定的凹凸圖案分割為多個(gè)記錄要素的磁記錄媒體。
權(quán)利要求
1.一種磁記錄媒體，其特征在于，包含有基板、形成在該基板上的軟磁性層、按規(guī)定的凹凸圖案分割成多個(gè)記錄要素的記錄層，其以在垂直于表面的方向上具有磁各向異性的方式被取向，并形成在所述軟磁性層上；所述凹凸圖案的凹部形成到所述軟磁性層的厚度方向的途中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁記錄媒體，其特征在于，所述軟磁性層中構(gòu)成所述凹部的底部的部分具有該軟磁性層的整個(gè)厚度的50％以上的厚度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁記錄媒體，其特征在于，所述軟磁性層中的所述凹部的深度是3nm以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁記錄媒體，其特征在于，所述軟磁性層中的所述凹部的深度是3nm以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁記錄媒體，其特征在于，所述軟磁性層中的所述凹部的深度是25nm以下。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁記錄媒體，其特征在于，所述軟磁性層中的所述凹部的深度是25nm以下。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁記錄媒體，其特征在于，所述軟磁性層中的所述凹部的深度是25nm以下。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磁記錄媒體，其特征在于，所述軟磁性層中的所述凹部的深度是25nm以下。
9.一種磁記錄重放裝置，具有權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述的磁記錄媒體，以及用來(lái)對(duì)該磁記錄媒體進(jìn)行數(shù)據(jù)的記錄/重放的磁頭。
全文摘要
提供一種具有分割為多個(gè)記錄要素的記錄層的磁記錄媒體及具備這種磁記錄媒體的磁記錄重放裝置，可以抑制記錄磁場(chǎng)的擴(kuò)寬并可以有效地對(duì)記錄對(duì)象的記錄要素施加記錄磁場(chǎng)。磁記錄媒體(12)是一種垂直記錄型的離散軌道型磁盤(pán)，包含基板(22)、形成在基板(22)上的軟磁性層(24)和形成在軟磁性層(24)上的記錄層(26)，記錄層(26)被取向?yàn)樵诖怪庇诒砻娴姆较蛏暇哂写鸥飨虍愋郧野匆?guī)定的凹凸圖案被分割為多個(gè)記錄要素(26A)，將凹凸圖案的凹部(28)形成到軟磁性層(24)的厚度方向的途中。
文檔編號(hào)G11B5/02GK1722237SQ20051007909
公開(kāi)日2006年1月18日 申請(qǐng)日期2005年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月12日
發(fā)明者添野佳一, 田上勝通, 高井充, 海津明政, 島川和也 申請(qǐng)人:Tdk股份有限公司