專利名稱：滑塊加工用輔助裝置及滑塊加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種滑塊加工裝置及加工方法、滑塊加工用負(fù)荷施加裝置及滑塊加工用輔助裝置，這種加工裝置和加工方法用于對(duì)漂浮型磁頭等所使用的滑塊邊緣部分進(jìn)行磨邊加工。
磁盤裝置等所使用的漂浮型磁頭一般是在滑塊的后端部形成薄膜磁頭元件而構(gòu)成的。一般說來，滑塊表面具有成為媒體相向面(空氣軸承面)的軌道部，而且在空氣流入一側(cè)的端部附近具有傾斜部或臺(tái)階部，從傾斜部或臺(tái)階部流入的空氣使軌道部從磁盤等記錄媒體表面稍稍漂浮起來。
這種滑塊，例如像日本特開平6-282831號(hào)公報(bào)所述那樣，要對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行磨邊加工，以便在滑塊搖動(dòng)、傾斜時(shí)，例如軌道部的媒體相向面和軌道部的外側(cè)側(cè)面之間的邊緣部分(下面也稱軌道部的邊緣部)等滑塊邊緣部分不會(huì)劃傷記錄媒體。
相關(guān)技術(shù)的對(duì)滑塊邊緣部分的磨邊加工方法有例如像日本特開平6-12645號(hào)公報(bào)所公開的方法，該方法一面向設(shè)在彈性體上的金剛石研磨片施加負(fù)荷、一面使滑塊的媒體相向面與金剛石研磨片接觸，使滑塊相對(duì)于金剛石研磨片移動(dòng)而進(jìn)行研磨。
上述磨邊加工方法需要向滑塊施加負(fù)荷，將滑塊按壓在金剛石研磨片上?？墒?，該方法存在著下述問題，即由于金剛石研磨片的母材很薄，特別是在尚未對(duì)軌道部的邊緣部分進(jìn)行磨邊時(shí)，或在磨邊的初期階段，滑塊邊緣部分有時(shí)會(huì)將金剛石研磨片切斷。
另外，上述磨邊加工方法在實(shí)際加工時(shí)需要往夾具上施加負(fù)荷，將滑塊按壓在金剛石研磨片上。而且，在滑塊往加工裝置上安裝或從加工裝置上取下時(shí)，夾具上不能有負(fù)荷。因此，需要只在必要時(shí)才對(duì)夾具施加負(fù)荷的機(jī)構(gòu)。
作為這種機(jī)構(gòu)，可考慮設(shè)置法碼及法碼保持部、并使法碼保持部在上下方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，其中法碼包括軸部和比軸部直徑大的大直徑部，該軸部的下端部可與夾具接觸；法碼保持部利用使法碼的軸部插通、并阻止大直徑部插通的孔使法碼在軸部的軸向上可移動(dòng)地保持著。
但是，這種機(jī)構(gòu)存在著以下問題，即法碼的軸部與法碼保持部的孔之間頻繁地摩擦?xí)a(chǎn)生切屑(粉)，有時(shí)使法碼不能相對(duì)于法碼保持部圓滑地運(yùn)動(dòng)。
另外，上述磨邊加工方法基本上可對(duì)滑塊的整個(gè)邊緣部分均勻地進(jìn)行磨邊加工。
但是，上述磨邊加工方法存在著這樣的問題，例如即使想對(duì)滑塊的空氣流入一側(cè)邊緣部分那樣的一部分邊緣部分比其他邊緣部分多進(jìn)行磨邊加工，也不可能做到。
磁頭用的滑塊是這樣構(gòu)成的，即在一個(gè)方向上將數(shù)個(gè)磁頭元件呈矩陣狀地形成的薄片切斷，形成被稱作棒的塊，該棒包括排列成一行的數(shù)個(gè)磁頭元件，在該棒上形成軌道之后，再將棒切斷而分離成一個(gè)一個(gè)的滑塊。這里，上述日本特開平6-282831號(hào)公報(bào)所述的滑塊中，2根軌道的外側(cè)側(cè)面直接作為滑塊的側(cè)面。但存在著這樣的問題，即在將滑塊做成上述日本特開平6-282831號(hào)公報(bào)所述的那種形狀的情況下，將棒切斷、形成滑塊時(shí)的機(jī)械加工會(huì)在軌道部上產(chǎn)生碎片(屑)。
因此，如圖47所示，一般是做成形成有軌道部213的滑塊，該軌道部213的側(cè)面214配置在僅距滑塊211的側(cè)面212、即棒的切斷部一段規(guī)定距離的內(nèi)側(cè)。以下，將這種形狀的滑塊稱作二段結(jié)構(gòu)的滑塊。
這種二段結(jié)構(gòu)的滑塊也要對(duì)軌道部的邊緣部分進(jìn)行磨邊加工。相關(guān)技術(shù)的對(duì)軌道部的邊緣部分進(jìn)行磨邊加工的方法，例如，如上述日本特開平6-12645號(hào)公報(bào)所述，有使滑塊在設(shè)在彈性體上的金剛石研磨片上滑動(dòng)的方法。圖48是用于大致說明該相關(guān)技術(shù)的磨邊加工方法的說明圖。該相關(guān)技術(shù)的磨邊加工是將數(shù)個(gè)滑塊211固定在夾具215上，一邊向圖中符號(hào)218所示的方向按壓設(shè)在例如用硅橡膠制成的板狀彈性部件216上的金剛石研磨片217，一邊在水平方向的兩個(gè)方向上滑動(dòng)，對(duì)軌道部213的邊緣部分219進(jìn)行磨邊加工。圖49是把用圖48所示的方法進(jìn)行了磨邊加工之后的軌道部213的邊緣部分219附近(圖48中的C部)放大后表示的視圖。
相關(guān)技術(shù)的磨邊加工的其他方法有日本特開平2-301014號(hào)公報(bào)所述的方法，該方法一邊通過導(dǎo)向裝置對(duì)研磨帶進(jìn)行導(dǎo)向，一邊使研磨帶做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使研磨帶相對(duì)于滑塊的軌道部滑動(dòng)。
但是，近年來由于記錄密度提高，故要求減小滑塊的漂浮量。又因存取速度的高速化，故要求滑塊的漂浮要穩(wěn)定。最近人們逐步采用負(fù)壓滑塊來滿足這些要求。一般，在負(fù)壓滑塊上，在2根軌道部之間設(shè)有產(chǎn)生負(fù)壓用的凹部。這種負(fù)壓滑塊成為記錄媒體一側(cè)的面呈微細(xì)的形狀，特別是軌道部的高度與以往的滑塊相比大大減小。
這種負(fù)壓滑塊存在著下述問題，即由于軌道部的高度小，故如圖50所示，當(dāng)滑塊221傾斜時(shí)，滑塊221的側(cè)面222和與該側(cè)面垂直的、成為滑塊221的記錄媒體一側(cè)的面223之間的邊緣部分224便與記錄媒體225接觸，有可能劃傷記錄媒體225。特別是筆記本型個(gè)人電腦等攜帶型裝置上所使用的硬盤，由于滑塊易傾斜，故上述問題較突出。
這里，本專利申請(qǐng)人在例如日本特開平11-238214號(hào)專利及美國專利申請(qǐng)第09/064 734號(hào)專利中提出了這樣的技術(shù)，即用鋼絲使金剛石研磨片變形，對(duì)滑塊上具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)研磨而進(jìn)行磨邊加工的技術(shù)。在這種情況下，如果鋼絲的張力不穩(wěn)定則加工精度便會(huì)降低，為了提高加工精度就必須使鋼絲的張力穩(wěn)定。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第一個(gè)目的是提供一種滑塊加工裝置和加工方法，以及滑塊加工用負(fù)荷施加裝置，這種加工裝置和方法在通過研磨部件對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨而對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工時(shí)，可防止滑塊的邊緣部分切斷研磨部件。
本發(fā)明的第2個(gè)目的是提供一種滑塊加工裝置及滑塊加工用負(fù)荷施加裝置，這種加工裝置在研磨滑塊的邊緣部分、對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工時(shí)，只是在必要時(shí)才對(duì)保持滑塊的滑塊保持夾具施加負(fù)荷，而且機(jī)構(gòu)可以圓滑地動(dòng)作。
本發(fā)明的第3個(gè)目的是提供一種滑塊加工裝置和加工方法、以及滑塊加工用的輔助裝置，這種加工裝置和方法可使滑塊的一部分邊緣部分比其他邊緣部分多進(jìn)行磨邊加工。
本發(fā)明的第4個(gè)目的是提供一種滑塊加工裝置及滑塊加工用輔助裝置，這種加工裝置可以同時(shí)研磨滑塊上的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分而進(jìn)行磨邊加工，而且還可提高加工精度。
本發(fā)明的第1種滑塊加工裝置是用于研磨具有媒體相向面的滑塊的邊緣部分、對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工的裝置，該裝置包括以下部分用于保持滑塊的滑塊保持夾具；研磨部件，它用于對(duì)上述滑塊保持夾具所保持的滑塊邊緣部分進(jìn)行研磨；負(fù)荷施加機(jī)構(gòu)(裝置)，它用于對(duì)滑塊保持夾具施加負(fù)荷，以便將上述滑塊夾具所保持的滑塊向上述研磨部件上按壓，而且還可調(diào)整施加在滑塊保持夾具上的負(fù)荷；移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)，它使上述滑塊保持夾具所保持的滑塊與上述研磨部件相對(duì)移動(dòng)，以便于用上述研磨部件研磨滑塊的邊緣部分。
本發(fā)明的第1種加工裝置通過負(fù)荷施加機(jī)構(gòu)(裝置)將負(fù)荷施加在滑塊保持夾具上，以便將滑塊保持夾具所保持的滑塊向研磨部件上按壓，同時(shí)還對(duì)施加在滑塊保持夾具上的負(fù)荷進(jìn)行調(diào)整。
在本發(fā)明的第1種加工裝置中，上述研磨部件例如做成片狀。
另外，在本發(fā)明的第1種加工裝置中，上述負(fù)荷施加機(jī)構(gòu)(裝置)例如設(shè)有數(shù)個(gè)法碼和負(fù)荷調(diào)整機(jī)構(gòu)(裝置)，其中數(shù)個(gè)法碼用于將負(fù)荷施加在滑塊保持夾具上；負(fù)荷調(diào)整機(jī)構(gòu)(裝置)，通過將上述數(shù)個(gè)法碼的重量階段性地施加在滑塊保持夾具上而對(duì)負(fù)荷進(jìn)行調(diào)整。在這種情況下，例如上述法碼包括軸部和大直徑部，該大直徑部比上述軸部的直徑粗，上述負(fù)荷調(diào)整機(jī)構(gòu)(裝置)包括數(shù)段法碼保持部和法碼保持部移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中法碼保持部上設(shè)有使上述法碼的軸部插通、并阻止上述大直徑部插通的孔，通過該孔使法碼在軸部的軸向上可移動(dòng)地保持著，法碼保持部移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)使上述法碼保持部在上下方向上移動(dòng)，上述負(fù)荷調(diào)整機(jī)構(gòu)(裝置)從下述狀態(tài)、即從最下段的法碼保持部所保持的法碼的軸部下端部位于滑塊保持夾具上方且不接觸滑塊夾具的狀態(tài)，通過上述法碼保持部移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)使上述法碼保持部向下方移動(dòng)，這樣便可從下段一側(cè)開始把由數(shù)段法碼保持部所保持的法碼依次施加到滑塊保持夾具上。另外，法碼例如由具有規(guī)定重量的1個(gè)以上的塊部件構(gòu)成。
而且，在本發(fā)明的第1種加工裝置中，也可在上述法碼軸部的外周面和上述法碼保持部的孔之內(nèi)周面的至少一方上形成螺旋狀(螺線管狀)的槽。
另外，在本發(fā)明的第1種加工裝置中，例如上述研磨部件具有研磨面，加工裝置也可具有對(duì)上述滑塊保持夾具進(jìn)行定位的定位裝置，以便在滑塊的媒體相向面相對(duì)于上述研磨部件的研磨面傾斜的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件接觸。在這種情況下，例如上述滑塊包括具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分，上述研磨部件具有撓性，加工裝置也可具有使上述研磨部件變形的變形機(jī)構(gòu)(裝置)，以便利用上述研磨部件對(duì)滑塊上的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。
還有，在本發(fā)明的第1加工裝置中，例如上述滑塊包括具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分，上述研磨部件具有撓性，加工裝置也可具有變形裝置，以便利用上述研磨部件對(duì)滑塊上的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨，該變形裝置是使上述研磨部件變形的裝置，它具有主體和鋼絲，其中主體夾住上述研磨部件，并配置在與上述滑塊保持夾具所保持的滑塊相對(duì)的位置上；鋼絲卷繞在上述主體的外周部上，其作用是使研磨部件變形。上述變形裝置也可具有彈性部件和凸部，它們配置在上述鋼絲之中位于變形裝置的頂面部分上的那部分的下側(cè)。
本發(fā)明的第1種滑塊加工方法包括以下程序?qū)吘壊糠诌M(jìn)行磨邊加工的程序，在該程序中將負(fù)荷施加在滑塊保持夾具上，以便將滑塊按壓在研磨部件上，該研磨部件用于對(duì)具有媒體相向面的滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨，在施加負(fù)荷的同時(shí)使滑塊與研磨部件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，利用研磨部件來研磨滑塊的邊緣部分，對(duì)該邊緣部分進(jìn)行磨邊加工；隨著磨邊加工的進(jìn)行，改變施加在滑塊保持夾具上的負(fù)荷的程序。
在本發(fā)明的第1種加工方法中，上述研磨部件例如做成片狀。
另外，在本發(fā)明的第1加工方法中，改變上述負(fù)荷的程序也可根據(jù)磨邊加工的進(jìn)行，階段性地增加施加在滑塊保持夾具上的負(fù)荷。
而且，在本發(fā)明的第1種加工方法中，例如上述研磨部件具有研磨面，上述磨邊加工程序也可包括以下程序，即在滑塊的媒體相向面相對(duì)于上述研磨部件的研磨面傾斜的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件相接觸的程序；在使滑塊的媒體相向面相對(duì)于研磨部件的研磨面傾斜、并且使滑塊與研磨部件相接觸的狀態(tài)下使滑塊與上述研磨部件相對(duì)移動(dòng)，利用研磨部件對(duì)滑塊的規(guī)定邊緣部分進(jìn)行研磨的程序。在這種情況下，如果上述滑塊含有具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分、研磨部件具有撓性，則上述研磨程序也可這樣進(jìn)行，使研磨部件變形，通過研磨部件對(duì)滑塊上具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。
此外，在本發(fā)明的第1種加工方法中，例如上述研磨部件具有研磨面，進(jìn)行上述磨邊加工的程序包括第1研磨程序和第2研磨程序，其中第1研磨程序是在滑塊的媒體相向面相對(duì)于上述研磨部件的研磨面傾斜的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件接觸，并使滑塊與研磨部件相對(duì)移動(dòng)，對(duì)滑塊的邊緣部分中的與上述研磨部件相接觸的部分進(jìn)行研磨；第2研磨程序是在滑塊的媒體相向面與研磨部件的研磨面平行的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件接觸，并使滑塊與上述研磨部件相對(duì)移動(dòng)，對(duì)滑塊的邊緣部分中的與研磨部件接觸的部分進(jìn)行研磨。
在這種情況下，例如上述滑塊含有具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分，上述研磨部件具有撓性，則上述第1研磨程序也可使研磨部件變形，利用研磨部件對(duì)滑塊上具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。另外，上述第2研磨程序也可使研磨部件變形，利用研磨部件對(duì)滑塊上的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。另外，例如上述滑塊含有具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分，上述第1研磨程序也可包括下述程序在不使研磨部件變形的情況下，用研磨部件對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨的程序；使具有撓性的研磨部件變形，利用研磨部件對(duì)滑塊上的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨的程序。還有，上述第1研磨程序也可把與研磨部件接觸的邊緣部分中的至少一部分磨邊加工成斜面狀；上述第2研磨程序也可把通過上述第1研磨程序磨邊加工成斜面狀的邊緣部分磨邊加工成曲面狀。
本發(fā)明的第1種滑塊加工用負(fù)荷施加裝置用在研磨具有媒體相向面的滑塊的邊緣部分、對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工的滑塊加工裝置上，將負(fù)荷施加在上述滑塊保持夾具上，以便于將該滑塊保持夾具所保持的滑塊按壓在上述研磨部件上，上述滑塊加工裝置具有下述部分滑塊保持夾具，它用于將具有媒體相向面的滑塊保持??；研磨部件，它用于對(duì)上述滑塊保持夾具所保持的滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨；移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)，它使上述滑塊保持夾具所保持的滑塊與上述研磨部件相對(duì)移動(dòng)，以便利用上述研磨部件對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨。
本發(fā)明的第1種負(fù)荷施加裝置具有下述部分
向滑塊保持夾具施加負(fù)荷用的數(shù)個(gè)法碼；通過將上述數(shù)個(gè)法碼所組成的負(fù)荷分階段地施加在滑塊保持夾具上，對(duì)負(fù)荷進(jìn)行調(diào)整的負(fù)荷調(diào)整機(jī)構(gòu)(裝置)，上述法碼包括軸部和直徑比該軸部大的大直徑部，上述負(fù)荷調(diào)整機(jī)構(gòu)(裝置)包括數(shù)段法碼保持部和法碼保持部移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)，其中數(shù)段法碼保持部上分別形成有使上述法碼的軸部插通、并阻止上述大直徑部插通的孔，通過這些孔使上述法碼在軸部的軸向上可移動(dòng)地保持著，法碼保持部移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)使法碼保持部在上下方向上移動(dòng)，上述負(fù)荷調(diào)整機(jī)構(gòu)(裝置)通過上述法碼保持部移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)使法碼保持部向下方移動(dòng)，從最下段的法碼保持部所保持的法碼的軸部下端部位于滑塊保持夾具上方且不接觸滑塊保持夾具的狀態(tài)成為由數(shù)段法碼保持部所保持的法碼從下段一側(cè)開始依次將負(fù)荷施加到滑塊保持夾具上的狀態(tài)。
本發(fā)明的第1種負(fù)荷施加裝置通過負(fù)荷調(diào)整機(jī)構(gòu)(裝置)把由數(shù)個(gè)法碼組成的負(fù)荷分階段地施加在滑塊保持夾具上，對(duì)施加在滑塊保持夾具上的負(fù)荷進(jìn)行調(diào)整。
在本發(fā)明的第1種負(fù)荷施加裝置中，上述法碼例如是由具有規(guī)定重量的1個(gè)以上的塊部件構(gòu)成的。
另外，在本發(fā)明的第1種負(fù)荷施加裝置中，也可在上述法碼軸部的外周面和法碼保持部的孔的內(nèi)周面中的至少一方上設(shè)螺旋狀槽。
本發(fā)明的第2滑塊加工裝置是研磨具有媒體相向面的滑塊上的邊緣部分、對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工的裝置，該第2種滑塊加工裝置具有以下部分用于保持滑塊的滑塊保持夾具；用于對(duì)上述滑塊保持夾具所保持的滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨的研磨部件；對(duì)滑塊保持夾具施加負(fù)荷的負(fù)荷施加機(jī)構(gòu)(裝置)，它用于將上述滑塊保持夾具所保持的滑塊按壓在上述研磨部件上；使上述滑塊保持夾具所保持的滑塊與研磨部件相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，以便用研磨部件對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨。
上述負(fù)荷施加機(jī)構(gòu)(裝置)具有下述部分
包括軸部和大直徑部的法碼，其中軸部的下端部可與上述滑塊保持夾具相接觸，大直徑部的直徑比上述軸部的大；法碼保持部，該法碼保持部上設(shè)有可使法碼的軸部插通、并阻止上述大直徑部插通的孔，通過該孔使上述法碼在上述軸部的軸向上可移動(dòng)地保持著；法碼保持部移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)，它使上述法碼保持部在上下方向上移動(dòng)；在上述法碼的軸部的外周面和法碼保持部的孔的內(nèi)周面中的至少一方上設(shè)有螺旋狀槽。
本發(fā)明的第2種滑塊加工裝置中，利用法碼保持移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)使法碼保持部在上下方向上移動(dòng)，這樣便可對(duì)下述兩種狀態(tài)進(jìn)行選擇，即法碼軸部的下端部不接觸滑塊保持夾具，由法碼組成的負(fù)荷不往滑塊保持夾具上施加的狀態(tài)；法碼軸部的下端部與滑塊保持夾具接觸，由法碼組成的負(fù)荷施加到滑塊保持夾具上的狀態(tài)。另外，該滑塊加工裝置，通過在法碼軸部的外周面和法碼保持部的孔的內(nèi)周面的至少一方上形成的螺旋狀槽，將法碼的軸部與法碼保持部的孔之間摩擦所產(chǎn)生的切屑(粉)收集進(jìn)去，以保持軸部的圓滑動(dòng)作。
在本發(fā)明的第2種滑塊加工裝置中，例如設(shè)有數(shù)段法碼保持部，以保持?jǐn)?shù)個(gè)法碼，上述負(fù)荷施加機(jī)構(gòu)(裝置)也可通過上述法碼保持部移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)使法碼保持部向下方移動(dòng)，從最下段的法碼保持部所保持的法碼的軸部下端部不接觸滑塊保持夾具、而位于滑塊保持夾具上方的狀態(tài)成為由數(shù)段法碼保持部所保持的法碼從下段一側(cè)開始依次將負(fù)荷施加到滑塊保持夾具上的狀態(tài)。
此外，在本發(fā)明的第2種滑塊加工裝置中，例如上述法碼是由具有規(guī)定重量的1個(gè)以上的塊部件構(gòu)成的。
本發(fā)明的第2種滑塊加工用負(fù)荷施加裝置同第1種負(fù)荷施加裝置一樣，是向滑塊保持夾具施加負(fù)荷，以便將滑塊保持夾具所保持的滑塊按壓在研磨部件上的裝置，該裝置具有以下部分法碼，它包括下端部可與滑塊保持夾具相接觸的軸部，以及直徑比上述軸部大的大直徑部；法碼保持部，它設(shè)有可使法碼的軸部插通、并阻止大直徑部插通的孔，利用該孔使上述法碼在上述軸部的軸向上可移動(dòng)地保持著；法碼保持部移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)，它使法碼保持部在上下方向上移動(dòng)；在上述法碼的軸部的外周面和上述法碼保持部的孔的內(nèi)周面的至少一方上設(shè)有螺旋狀槽。
本發(fā)明的第2種負(fù)荷施加裝置同本發(fā)明的第2種加工裝置一樣，在法碼軸部的外周面和法碼保持部的孔的內(nèi)周面的至少一方上設(shè)有螺旋狀的槽，它將法碼的軸部與法碼保持部的孔之間摩擦所產(chǎn)生的切屑(粉)收集進(jìn)去，以保持軸部的圓滑動(dòng)作。
在本發(fā)明的第2種負(fù)荷施加裝置中，上述法碼例如是由具有規(guī)定重量的1個(gè)以上的塊部件構(gòu)成。
本發(fā)明的第3種滑塊加工裝置是用于研磨具有媒體相向面的滑塊的邊緣部分，對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工的裝置，它具有下述部分用于保持滑塊的滑塊保持夾具；具有研磨面的研磨部件，它用于對(duì)上述滑塊保持夾具所保持的滑塊之邊緣部分進(jìn)行研磨；對(duì)上述滑塊保持夾具進(jìn)行像下述那樣定位的定位裝置，即在滑塊的媒體相向面相對(duì)于上述研磨部件的研磨面傾斜的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件接觸；移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)，它使上述滑塊保持夾具所保持的滑塊與研磨部件相對(duì)地進(jìn)行移動(dòng)，以便于用上述研磨部件對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨。
本發(fā)明的第3種加工裝置通過定位裝置對(duì)滑塊保持夾具像下述那樣進(jìn)行定位，即在滑塊的媒體相向面對(duì)于研磨部件的研磨面傾斜的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件接觸，利用研磨部件對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨。
在本發(fā)明的第3種加工裝置中，例如上述滑塊含有具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分，上述研磨部件具有撓性，則加工裝置也可具有使上述研磨部件變形的變形機(jī)構(gòu)(裝置)，以便利用上述研磨部件對(duì)滑塊上具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。
本發(fā)明的第2種滑塊加工方法是研磨具有媒體相向面的滑塊的邊緣部分，對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工的方法，該加工方法包括下述程序在滑塊的媒體相向面相對(duì)于對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨的研磨部件的研磨面傾斜的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件接觸的程序；在滑塊的媒體相向面相對(duì)于研磨部件的研磨面傾斜，并且滑塊與研磨部件接觸的狀態(tài)下使滑塊與上述研磨部件相對(duì)移動(dòng)，通過研磨部件對(duì)滑塊的規(guī)定邊緣部分進(jìn)行研磨的程序。
在本發(fā)明的第2種加工方法中，例如上述滑塊包含具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分，研磨部件具有撓性，則上述研磨加工程序也可使研磨部件變形，利用研磨部件對(duì)滑塊的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。
本發(fā)明的第3種滑塊加工方法是研磨具有媒體相向面的滑塊的邊緣部分，對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工的方法，該方法包括下述程序第1研磨程序，在滑塊的媒體相向面相對(duì)于研磨滑塊邊緣部分的研磨部件的研磨面傾斜的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件接觸，并使滑塊與上述研磨部件相對(duì)地移動(dòng)，對(duì)滑塊邊緣部分中的與上述研磨部件相接觸的部分進(jìn)行研磨；第2研磨程序，在滑塊的媒體相向面與研磨部件的研磨面平行的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件接觸，并使滑塊與研磨部件相對(duì)地移動(dòng)，對(duì)滑塊邊緣部分中的與研磨部件相接觸的部分進(jìn)行研磨。
在本發(fā)明的第3種加工方法中，例如上述滑塊包含具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分，研磨部件具有撓性，則上述第1研磨程序也可使研磨部件變形，利用研磨部件對(duì)滑塊上的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。另外，上述第2研磨程序也可使研磨部件變形，通過研磨部件對(duì)滑塊上的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。又例如，上述滑塊包含具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分，上述第1研磨程序也可包括下述研磨程序，即在研磨部件不變形的情況下，利用研磨部件對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨的程序；使具有撓性的研磨部件變形，利用研磨部件對(duì)滑塊上具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨的程序。另外，上述第1研磨程序也可將與研磨部件相接觸的邊緣部分中的至少一部分磨邊加工成為斜面狀，上述第2研磨程序也可對(duì)經(jīng)過上述第1研磨程序磨邊加工成斜面狀的邊緣部分進(jìn)行磨邊加工而成為曲面狀。
本發(fā)明的第1種滑塊加工用輔助裝置是用在研磨滑塊的邊緣部分、對(duì)邊緣部分進(jìn)行啟面加工的滑塊加工裝置上，是對(duì)上述滑塊保持夾具相對(duì)于研磨部件的位置進(jìn)行定位的裝置，該滑塊加工用輔助裝置設(shè)有上述滑塊保持夾具研磨部件及移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明的第1種輔助裝置包括主體和定位部，其中主體配置在上述研磨部件的上方；定位部設(shè)在上述主體上，對(duì)滑塊保持夾具進(jìn)行定位，以便在滑塊的媒體相向面相對(duì)于研磨部件傾斜的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件接觸。
本發(fā)明的第1種輔助裝置通過定位部對(duì)滑塊保持夾具進(jìn)行定位，以便在滑塊的媒體相向面相對(duì)于研磨部件的研磨面傾斜的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件接觸。
本發(fā)明的第4種滑塊加工裝置是對(duì)具有帶有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分和媒體相向面的滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨、對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工的裝置，該加工裝置具有下述部分具有撓性的研磨部件，它用于對(duì)上述滑塊保持夾具所保持的滑塊邊緣部分進(jìn)行研磨；變形裝置，它是使上述研磨部件變形的裝置，利用上述研磨部件對(duì)滑塊上具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨，該變形裝置具有主體和鋼絲，其中主體夾著研磨部件、位于與上述滑塊保持夾具所保持的滑塊相向的位置上，鋼絲卷繞在上述主體的外周部上，其作用是使上述研磨部件變形；移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)，它使上述滑塊保持夾具所保持的滑塊與研磨部件相對(duì)地移動(dòng)，以便通過上述研磨部件對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨。
本發(fā)明的第4種滑塊加工裝置通過變形裝置的鋼絲使研磨部件變形，利用該研磨部件對(duì)滑塊上的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。由于鋼絲卷繞在主體的外周部上，故張力穩(wěn)定。
在本發(fā)明的第4種滑塊加工裝置上，上述變形裝置還可具有彈性部件和凸部，它們配置在上述鋼絲中的位于變形裝置的頂面部分的那部分的下側(cè)。
本發(fā)明的第2種加工用輔助裝置具有同第4種加工裝置一樣的滑塊保持夾具，研磨部件和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，它用在研磨滑塊的邊緣部分、對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工的滑塊加工裝置上，它設(shè)有以下部分
主體，它夾著上述研磨部件、配置在與上述滑塊保持夾具所保持的滑塊相向的位置上；鋼絲，它卷繞在上述主體的外周部上，用于使上述研磨部件變形，以便利用研磨部件對(duì)滑塊的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。
在本發(fā)明的第2種輔助裝置中，鋼絲使研磨部件變形。并且，通過變了形的研磨部件對(duì)滑塊的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。由于鋼絲卷繞在主體的外周部上，故張力穩(wěn)定。
本發(fā)明的第2種輔助裝置也可設(shè)置彈性部件和凸部，它們配置在上述鋼絲中的位于變形裝置的頂面部分的那部分的下側(cè)。
本發(fā)明的其他目的，特征及效益，根據(jù)下述說明就會(huì)很明白了。
本發(fā)明的第2種滑塊加工用輔助裝置設(shè)有同第4加工裝置一樣的滑塊保持夾具、研磨部件和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用在對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨，對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工的滑塊加工裝置上。
該滑塊加工用輔助裝置具有主體和鋼絲，其中主體夾著上述研磨部件、配置在與滑塊保持夾具所保持的滑塊相向的位置上；鋼絲，它卷繞在上述主體的外周部上，用于使研磨部件變形，以便利用上述研磨部件對(duì)滑塊上的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。在本發(fā)明的第2輔助裝置上，鋼絲使研磨部件變形。而且，變了形的研磨部件對(duì)滑塊上具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。由于鋼絲卷繞在主體的外周部上，故張力穩(wěn)定。
本發(fā)明的第2種輔助裝置也可設(shè)置彈性部件和凸部，它配置在上述鋼絲中、位于滑塊加工用輔助裝置上面部分的那部分的下側(cè)。
本發(fā)明的其他目的、特征及效益，通過下述說明便十分清楚了。


圖1是將本發(fā)明的1個(gè)實(shí)施形態(tài)的滑塊加工裝置局部剖開后表示的正視圖。
圖2是圖1的右側(cè)視圖。
圖3是將圖1的X-Y工作臺(tái)附近放大后表示的正視圖。
圖4是圖3的右側(cè)視圖。
圖5是圖1的Y方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件的正視圖。
圖6是圖5的側(cè)視圖。
圖7是圖1的Y方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件的正視圖。
圖8是圖7的側(cè)視圖。
圖9是表示圖2中的滑塊保持夾具定位板移動(dòng)狀態(tài)的說明圖。
圖10是表示用于檢測(cè)是否有圖9所示的滑塊保持夾具定位板的傳感器說明圖。
圖11是圖1中繞線塊的側(cè)視圖。
圖12是圖11所示繞線塊的正視圖。
圖13是表示圖11所示繞線塊所使用的彈性部件的立體圖。
圖14是表示圖11所示繞線塊所使用的變形用部件的立體圖。
圖15是表示圖11所示繞線塊及配置在其上的橡膠塊以及金剛石研磨片的立體圖。
圖16是表示用于代替圖11所示繞線塊的板子及配置在其上的橡膠板的正視圖。
圖17是用于說明在圖11所示的繞線塊上配置橡膠板及金剛石研磨片的配置方法1例的說明圖。
圖18是表示用圖17所示的方法將橡膠板及金剛石研磨片復(fù)蓋在繞線塊上的狀態(tài)的俯視圖。
圖19是圖18的正視圖。
圖20是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施形態(tài)的加工裝置所使用的滑塊保持夾具定位板的俯視圖。
圖21是圖20的21-21線斷面圖。
圖22是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施形態(tài)的加工裝置所使用的另一滑塊保持夾具定位板的平面圖。
圖23是圖22的23-23線斷面圖。
圖24是表示用本發(fā)明的1個(gè)實(shí)施形態(tài)的加工裝置加工的滑塊1例的立體圖。
圖25是表示用本發(fā)明1個(gè)實(shí)施形態(tài)的加工裝置加工時(shí)的滑塊附近的斷面圖。
圖26是將圖25的C部放大后表示的說明圖。
圖27是從正面看圖1的負(fù)荷施加部的斷面圖。
圖28是從側(cè)面看圖1的負(fù)荷施加部的斷面圖。
圖29是表示在圖28所示的法碼保持夾具的孔上設(shè)有螺旋狀槽時(shí)法碼保持夾具的斷面圖。
圖30是用于說明圖1的負(fù)荷施加部作用的斷面圖。
圖31是用于說明圖1的負(fù)荷施加部作用的斷面圖。
圖32是用于說明圖1的負(fù)荷施加部作用的斷面圖。
圖33是用于說明圖1的負(fù)荷施加部作用的斷面圖。
圖34是表示本發(fā)明1個(gè)實(shí)施例的加工方法中第1階段中磨邊加工狀態(tài)的斷面圖。
圖35是表示本發(fā)明1個(gè)實(shí)施例的加工方法中第2階段的磨邊加工狀態(tài)的斷面圖。
圖36是表示本發(fā)明1個(gè)實(shí)施例的加工方法中第3階段的磨邊加工狀態(tài)的斷面圖。
圖37是表示用于與本發(fā)明的1個(gè)實(shí)施例的加工方法相比較的另外的磨邊加工方法的斷面圖。
圖38是表示用于與本發(fā)明的1個(gè)實(shí)施例的加工方法相比較的另外的磨邊加工方法的斷面圖。
圖39是表示用圖37所示的方法和圖38所示的方法進(jìn)行磨邊加工時(shí)滑塊的空氣流入端一側(cè)的邊緣部分形狀的1例的說明圖。
圖40是表示按照本發(fā)明的1個(gè)實(shí)施形態(tài)進(jìn)行3個(gè)階段磨邊加工時(shí)滑塊的空氣流入端一側(cè)的邊緣部分形狀的1例的說明圖。
圖41是表示本發(fā)明的1個(gè)實(shí)施例的滑塊保持夾具側(cè)面與金剛石研磨片研磨面的夾角為60°時(shí)滑塊保持夾具的說明圖。
圖42是表示在圖41表示情況下的第2階段的磨邊加工完絲后邊緣部分的形狀的1例的說明圖。
圖43是表示在圖41所示的情況下的第3階段的磨邊加工完畢后邊緣部分形狀的1例的說明圖。
圖44是表示本發(fā)明的1個(gè)實(shí)施例的滑塊保持夾具側(cè)面與金剛石研磨片研磨面的夾角為75°時(shí)滑塊保持夾具的說明圖。
圖45是表示圖44所示情況下的第2階段的磨邊加工完畢后邊緣部分形狀的1例的說明圖。
圖46是表示圖44所示情況下的第3階段的磨邊加工完畢后邊緣部分形狀的1例的說明圖。
圖47是表示滑塊形狀的1例的立體圖。
圖48是用于大致說明相關(guān)技術(shù)的對(duì)滑塊的啟面加工方法的說明圖。
圖49是把經(jīng)過圖48所示的加工方法進(jìn)行磨邊加工后的軌道部邊緣附近C部放大后表示的說明圖。
圖50是表示滑塊傾斜姿態(tài)的說明圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖1是將本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施形態(tài)的滑塊加工裝置局部剖開后表示的正視圖，圖2是圖1的右側(cè)視圖。另外，圖3是將圖1所示的加工裝置的X-Y工作臺(tái)附近放大后表示的正視圖，圖4是圖3的右側(cè)視圖。本實(shí)施形態(tài)的加工裝置10是對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨、對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工的裝置。此外，在本實(shí)施形態(tài)中，滑塊是列舉的薄膜磁頭使用的滑塊例。
加工裝置10設(shè)有裝置主體11。在該裝置主體11的前端設(shè)有操作盤23。在裝置主體11上還設(shè)有底座部12。在底座部12上設(shè)有X-Y工作臺(tái)13，該工作臺(tái)的上面可在X方向(圖1中箭頭所示的左右方向)及Y方向(圖2中箭頭所示的左右方向)上移動(dòng)。X-Y工作臺(tái)13與本發(fā)明的移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)相對(duì)應(yīng)。
X-Y工作臺(tái)13具有以下幾部分固定在底座部12上的固定板14；設(shè)在該固定板14上的Y方向搖動(dòng)板15；固定在該Y方向搖動(dòng)板15上的板16；設(shè)在該板16上的X方向搖動(dòng)板17；固定在該X方向搖動(dòng)板17上的板18。
如圖3所示，在固定板14頂面上X方向的兩端部分別設(shè)有向Y方向延伸、并且有軸承的導(dǎo)向裝置19。在Y方向搖動(dòng)板15底面上X方向的兩端部分別設(shè)有卡合部20，該卡合部向Y方向延伸。并可在設(shè)于固定板14上的導(dǎo)向裝置19上移動(dòng)。另外，通過該卡合部20沿著固定板14上的導(dǎo)向裝置19移動(dòng)，Y方向搖動(dòng)板15便在Y方向上移動(dòng)。
另外，如圖4所示，在板16頂面上Y方向的兩端部分別設(shè)有向X方向延伸、并且有軸承的導(dǎo)向裝置21。在X方向搖動(dòng)板17底面上Y方向的兩端部分別設(shè)有卡合部22，該卡合部向X方向延伸，與設(shè)在板16上的導(dǎo)向裝置21卡合。這樣，該卡合部22沿著板16上的導(dǎo)向裝置21移動(dòng)，X方向搖動(dòng)板17便沿著X方向移動(dòng)。
在板18上固定著數(shù)個(gè)繞線塊30。繞線塊30與本發(fā)明的變形裝置或滑塊加工用輔助裝置相對(duì)應(yīng)。關(guān)于該繞線塊30的結(jié)構(gòu)將在后面詳細(xì)說明。
如圖3所示，在裝置主體11內(nèi)設(shè)有Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40。在裝置主體11內(nèi)，在Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40的回轉(zhuǎn)軸41上設(shè)有圓板42。在裝置主體11內(nèi)設(shè)有夾著該圓板42的搖動(dòng)原點(diǎn)傳感器43。例如，在圓板42的規(guī)定部位設(shè)孔，搖動(dòng)原點(diǎn)傳感器43使用內(nèi)部裝有放大器的透過型光傳感器。這種情況下，搖動(dòng)原點(diǎn)傳感器43對(duì)圓板42上孔的位置進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)出Y方向的搖動(dòng)原點(diǎn)。
另外，在底座部12的上方位置上，Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45通過Y方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件44與Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40的回轉(zhuǎn)軸41相連接。Y方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件44，其Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40的回轉(zhuǎn)軸41與Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45錯(cuò)開，而且還可調(diào)整該錯(cuò)開量。在Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45的上端部安裝有具有軸承的凸輪46。在Y方向搖動(dòng)板15的頂面設(shè)有沿X方向延伸、用于導(dǎo)引凸輪46的導(dǎo)向裝置47。在Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40的回轉(zhuǎn)軸41與Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45錯(cuò)開的情況下，使Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)41回轉(zhuǎn)，則凸輪46回轉(zhuǎn)，該凸輪46沿著導(dǎo)向裝置47移動(dòng)，于是導(dǎo)向裝置47、板16及Y方向搖動(dòng)板15便在Y方向上搖動(dòng)。另外，在底座部12、固定板14、Y方向搖動(dòng)板15及板16上設(shè)有用于穿插Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45的孔。
而且，在裝置主體11內(nèi)設(shè)有X方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)50。在裝置主體11內(nèi)，在X方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)50的回轉(zhuǎn)軸51上裝有圓板52。在裝置主體11內(nèi)設(shè)有夾住該圓板52的搖動(dòng)原點(diǎn)傳感器53。例如，在圓板52的規(guī)定部位設(shè)孔，搖動(dòng)原點(diǎn)傳感器53采用內(nèi)部裝有放大器的透過型光傳感器。在這種情況下，搖動(dòng)原點(diǎn)傳感器53對(duì)圓板52上孔的位置進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)出X方向的搖動(dòng)原點(diǎn)。
在本實(shí)施形態(tài)中，開始進(jìn)行加工處理時(shí)，通過搖動(dòng)原點(diǎn)傳感器43、53檢測(cè)Y方向及X方向的搖動(dòng)原點(diǎn)，使X-Y工作臺(tái)13的位置恢復(fù)到搖動(dòng)原點(diǎn)，這樣便使開始加工處理時(shí)的X-Y工作臺(tái)13的位置始終保持一定。于是，可消除處理結(jié)果的分散性。
在底座部12的上方位置上，通過X方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件54將X方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸55與X方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)50的回轉(zhuǎn)軸51的上端部連接起來。X方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件54，其X方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)50的回轉(zhuǎn)軸51與X方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸55錯(cuò)開，而且還可調(diào)節(jié)該錯(cuò)開量。在X方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸55的上端部安裝有具有軸承的凸輪56。在X方向搖動(dòng)板17的底面設(shè)有向Y方向延伸、用于引導(dǎo)凸輪56的導(dǎo)向裝置57。在Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)50的回轉(zhuǎn)軸51與X方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸55錯(cuò)開的情況下使X方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)50回轉(zhuǎn)時(shí)，凸輪56回轉(zhuǎn)，通過該凸輪56沿著導(dǎo)向裝置57移動(dòng)，導(dǎo)向裝置57、X方向搖動(dòng)板17及板18便在X方向上搖動(dòng)。另外，在底座部12，固定板14、Y方向搖動(dòng)板15及板16上設(shè)有插通X方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸55的孔。
這里，參照?qǐng)D5～圖8，對(duì)Y方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件44的結(jié)構(gòu)及作用進(jìn)行說明。圖5是Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40的回轉(zhuǎn)軸41與Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45的錯(cuò)開量為零時(shí)Y方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件44的正視圖，圖6是圖5的側(cè)視圖。此外，圖7是Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40的回轉(zhuǎn)軸41與Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45的錯(cuò)開量為大于零的規(guī)定值時(shí)，Y方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件44的正視圖，圖8是圖7的側(cè)視圖。
Y方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件44具有以下部分固定部61，它固定在Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40的回轉(zhuǎn)軸41的上端部上，并具有向一個(gè)方向延伸的槽；可動(dòng)部62，它可移動(dòng)地裝在該固定部61的槽內(nèi)，并固定在Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45的下端部上；驅(qū)動(dòng)用螺釘63，它安裝在固定部61的側(cè)部，用于使可動(dòng)部62相對(duì)于固定部61移動(dòng)；固定用螺釘64，它安裝在固定部61的另一側(cè)，用于使可動(dòng)部62固定在固定部61上。
在該Y方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件44上，通過使驅(qū)動(dòng)用螺釘63回轉(zhuǎn)，便可使可動(dòng)部62相對(duì)于固定部61移動(dòng)，將固定用螺釘64擰緊，便可將可動(dòng)部62固定在固定部61上。
在Y方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件44上，如圖5及圖6所示，當(dāng)Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40的回轉(zhuǎn)軸41與Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45的錯(cuò)開量為零時(shí)，即使驅(qū)動(dòng)Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40，Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45只能回轉(zhuǎn)，但其位置不改變。因此，Y方向搖動(dòng)板15的搖動(dòng)寬度為零。
而且，在Y方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件44上，如圖7及圖8所示，Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40的回轉(zhuǎn)軸41與Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45的錯(cuò)開量為大于零的規(guī)定值時(shí)，驅(qū)動(dòng)Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40，則Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45便在相對(duì)于回轉(zhuǎn)軸41偏心的狀態(tài)下回轉(zhuǎn)，結(jié)果Y方向搖動(dòng)板15搖動(dòng)。在這種情況下，Y方向搖動(dòng)板15的搖動(dòng)寬度為回轉(zhuǎn)軸41與Y方向搖動(dòng)用回轉(zhuǎn)軸45的錯(cuò)開量的2倍。
此外，X方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件54的構(gòu)成及作用同Y方向搖動(dòng)寬度調(diào)整部件44一樣。
在本實(shí)施形態(tài)中，Y方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)40的轉(zhuǎn)速控制在0～40rpm的范圍內(nèi)，X方向搖動(dòng)用電動(dòng)機(jī)50的轉(zhuǎn)速控制在0～30rpm的范圍內(nèi)。
在本實(shí)施形態(tài)中，Y方向搖動(dòng)板15的搖動(dòng)寬度控制在0～15mm的范圍內(nèi)，X方向搖動(dòng)板17的搖動(dòng)寬度控制在0～30mm的范圍內(nèi)。
如圖1所示，在底座12上，在X-Y工作臺(tái)13的左右方向的兩側(cè)位置上固定有向Y方向延伸的2條軌道部29。在各軌道部29上分別設(shè)有向Y方向延伸的導(dǎo)向裝置71。
另一方面，在X-Y工作臺(tái)13的上方設(shè)有滑塊保持夾具定位板70。該滑塊保持夾具定位板70是用于對(duì)保持滑塊的滑塊保持夾具80進(jìn)行定位的?；瑝K保持夾具定位板70與本發(fā)明的定位裝置或滑塊加工輔助裝置相對(duì)應(yīng)?；瑝K保持夾具80與本發(fā)明的滑塊保持夾具相對(duì)應(yīng)?？ê显趯?dǎo)向裝置71上的卡合部72與滑塊保持夾具定位板70的X方向上兩端部附近的底面相接合。因此，該卡合部72沿著導(dǎo)向裝置71移動(dòng)，滑塊保持夾具定位板70便在Y方向上移動(dòng)。滑塊保持夾具定位板70在位于最前側(cè)的狀態(tài)下配置在X-Y工作臺(tái)13的上方位置上，從該狀態(tài)移動(dòng)到后側(cè)時(shí)，便從X-Y工作臺(tái)13的上方位置退避。
圖9是表示滑塊保持夾具定位板70移動(dòng)狀態(tài)的視圖。滑塊保持夾具定位板70在配置于最后側(cè)(圖的右側(cè))的狀態(tài)下，在與滑塊保持夾具定位板70的后端部相對(duì)應(yīng)的位置上設(shè)有止擋器75，用于限制滑塊保持夾具定位板70向后側(cè)移動(dòng)。
圖10表示用于檢測(cè)X-Y工作臺(tái)13的上方位置上是否有滑塊保持夾具固定板70的傳感器的說明圖。如該圖所示，在保持夾具固定板70的前端部設(shè)有傳感器動(dòng)作片73?；瑝K保持夾具定位板70在配置于最前側(cè)的狀態(tài)下，在與滑塊保持夾具定位板79的前端部相對(duì)應(yīng)的位置上設(shè)有滑塊保持夾具定位板檢測(cè)傳感器74，通過檢測(cè)傳感器動(dòng)作片13，可檢測(cè)出X-Y工作臺(tái)13的上方位置上是否有滑塊保持夾具定位板70。該傳感器74采用例如內(nèi)部安裝有放大器的透過型光傳感器。
在本實(shí)施形態(tài)中，通過滑塊保持夾具定位板檢測(cè)傳感器74檢測(cè)出滑塊保持夾具定位板70已從X-Y工作臺(tái)13的上方位置退避之后，必須在檢測(cè)出滑塊保持夾具定位板70已配置在X-Y工作臺(tái)13的上方位置上之后才能進(jìn)行加工處理。這是因?yàn)楫?dāng)每1次加工處理完畢，一旦使滑塊保持夾具定位板70從X-Y工作臺(tái)13的上方位置退避，便要更換、重新復(fù)蓋后述的金剛石研磨片的緣故。
如圖1所示，在滑塊保持夾具定位板70上設(shè)有滑塊保持夾具檢測(cè)傳感器75，用于檢測(cè)滑塊保持夾具80是否安裝在該滑塊保持夾具定位板70上。該傳感器75采用例如光傳感器，其發(fā)光部及受光部配置在夾住滑塊保持夾具80的相向位置上。
本實(shí)施例的加工裝置10在通過滑塊保持夾具檢測(cè)傳感器75確認(rèn)沒有滑塊保持夾具80之后，再使X-Y工作臺(tái)13的位置恢復(fù)到搖動(dòng)原點(diǎn)上。
本實(shí)施形態(tài)的加工裝置10還設(shè)有負(fù)荷施加部100，該裝置對(duì)滑塊保持夾具80所夾持的滑塊施加向下的負(fù)荷，并且可對(duì)施加負(fù)荷的大小進(jìn)行調(diào)整。負(fù)荷施加部100與本發(fā)明的負(fù)荷施加機(jī)構(gòu)(裝置)相對(duì)應(yīng)。后面，將詳細(xì)說明負(fù)荷施加部100的結(jié)構(gòu)。
下面，參照?qǐng)D11～圖15對(duì)繞線塊30的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖11是繞線塊30的側(cè)視圖，圖12是繞線塊30的正視圖，圖13是表示在繞線塊30上所使用的彈性部件的立體圖，圖14是表示在繞線塊30上所使用的變形用部件的立體圖。
如圖11及圖12所示，繞線塊30具有塊部件主體31。在塊部件主體31上設(shè)有上面開口的正方體形狀的凹部31a。在凹部31a內(nèi)裝有圖13所示的正方體形狀的彈性部件32或圖14所示的變形用部件33。彈性部件32，采用例如硅橡膠制成。彈性部件32被裝在凹部31a內(nèi)時(shí)，其頂面與塊部件主體31的頂面處于同一平面。在變形用部件33的頂面形成有數(shù)個(gè)凸部33a，這些凸部在垂直于變形用部件33的長(zhǎng)度方向上延伸。各凸部33a的斷面呈矩形。變形用部件33采用例如不銹鋼制成。變形用部件33被收納在凹部31a內(nèi)時(shí)，其凸部33a的頂面便與塊部件主體31的頂面處于同一平面。
在凹部31a內(nèi)收納的彈性部件32或變形用部件33的塊部件主體31的外周上卷繞有數(shù)圈鋼絲34。鋼絲34的各端部在塊部件主體31的長(zhǎng)度方向的兩端部附近通過鋼絲止動(dòng)螺釘35而被固定在塊部件主體31上。變形用部件33收納在凹部31a內(nèi)時(shí)，鋼絲34中位于繞線塊30頂面部分上的那部分便配置在變形用部件33的凸部33a上。
在塊部件主體31長(zhǎng)度方向的兩端部附近設(shè)有貫通止動(dòng)螺釘用的孔36。于是，如圖3及圖4所示，繞線塊30便由止動(dòng)螺釘37固定在板18上，該止動(dòng)螺釘貫穿在止動(dòng)螺釘用的孔36內(nèi)。
圖15是表示繞線塊30和配置在其上的橡膠板及金剛石研磨片的立體圖。該圖中所示的繞線塊30在塊部件主體31的凹部31a內(nèi)收納有變形用部件33，但也可在凹部31a內(nèi)收納彈性部件32。在繞線塊30上配置有橡膠板38，在該橡膠板38上配置有金剛石研磨片39。橡膠板38采用例如硅橡膠制成。金剛石研磨片39與本發(fā)明的研磨部件相對(duì)應(yīng)。
另外，在本實(shí)施形態(tài)的加工裝置10上，根據(jù)目的不同，可用圖16所示的板90代替繞線塊30。板90采用例如不銹鋼制成。在使用板90的情況下，板90固定在板18上，在板90上配置有橡膠板38，在橡膠板38上配置有圖15所示的金剛石研磨片39。
在此，參照?qǐng)D17-圖19對(duì)在繞線塊30上配置橡膠板38及金剛石研磨片39的方法的一例進(jìn)行說明。如圖17所示，在板18上固定數(shù)個(gè)繞線塊30。橡膠板38是以復(fù)蓋全部繞線塊30的方式配置的。在圖17所示的例中，在橡膠板38上配置金剛石研磨片39的情況下，首先將金剛石研磨片39放在硬紙板91上。這時(shí)，要使金剛石研磨片39的端部比硬紙板91的端部稍露出一些。接著，使金剛石研磨片39露出硬紙板91端部的部分與橡膠板38上配置有金剛石研磨片39的區(qū)域一端的部分相接觸，用于按壓該部分，將硬紙板91向箭頭92所示方向拉，同時(shí)將金剛石研磨片39復(fù)蓋在橡膠板38上。
圖18是表示像這樣在橡膠板38上復(fù)蓋了金剛石研磨片39的狀態(tài)的俯視圖，圖19是其正視圖。如圖18所示，在本實(shí)施形態(tài)的加工裝置10上，繞線塊30在X方向(圖18中箭頭所示的左右方向)上配列5個(gè)、在Y方向(圖18中箭頭所示上下方向)上配列2個(gè)，共計(jì)設(shè)置10個(gè)。另外，鋼絲34沿X方向配置。
接著，參照?qǐng)D20～23對(duì)滑塊保持夾具定位板70進(jìn)行說明。在本實(shí)施形態(tài)的加工裝置10上準(zhǔn)備有2種滑塊保持夾具定位板70。以下，用符號(hào)70A表示第1種滑塊保持夾具定位板，用符號(hào)70B表示第2種滑塊保持夾具定位板。此外，符號(hào)70是代表2種滑塊保持夾具定位板70A、70B的。
圖20是第1種滑塊保持夾具定位板70A的俯視圖，圖21是圖20的21-21線斷面圖。如這些圖所示，滑塊保持夾具定位板70A具有板狀主體70a，該板狀主體不接觸金石研磨片，而是配置在其上方。在該主體70a上設(shè)有10個(gè)孔76A，用于穿插滑塊保持夾具80。這10個(gè)孔76A是這樣配置的，即與圖18的10個(gè)繞線塊30形成同樣的位置關(guān)系。另外，孔76A如圖21所示，以規(guī)定角度相對(duì)于垂直方向傾斜。于是，孔76A要這樣對(duì)滑塊保持夾具80定位，即在滑塊的媒體相向面相對(duì)金剛石研磨片39的研磨面傾斜的狀態(tài)下，滑塊與金剛石研磨片39接觸?？?6A與本發(fā)明的定位部相對(duì)應(yīng)。
圖22是第2種滑塊保持夾具定位板70B的平面圖，圖23是圖22的23-23線斷面圖。如這些圖所示，滑塊保持夾具定位板70B具有板狀主體70b，該板狀主體不與金剛石研磨片39接觸，而是配置在其上方。在該主體70b上設(shè)有10個(gè)孔76B，用于穿插滑塊保持夾具80。這10個(gè)孔76B是這樣配置的，即它們與圖18的10個(gè)繞線塊30形成同樣的位置關(guān)系。另外，孔76B如圖23所示，在垂直方向上延伸。于是，孔76B要這樣對(duì)滑塊保持夾具80進(jìn)行定位，即在滑塊的媒體相向面平行于金剛石研磨片39的研磨面的狀態(tài)下，滑塊與金剛石研磨片39接觸。
滑塊保持夾具定位板70A、70B的各主體70a、70b上均設(shè)有數(shù)個(gè)穿插螺釘用的螺釘孔77，該螺釘用于將板70A、70B固定在圖1及圖2所示的卡合部72上。而且，在滑塊保持夾具定位板70A、70B的各主體70a、70b上也都設(shè)有穿插螺釘用的螺釘孔78，該螺釘用于安裝滑塊保持夾具檢測(cè)傳感器75。
下面，參照?qǐng)D24對(duì)使用本實(shí)施形態(tài)的加工裝置所加工的滑塊的一例進(jìn)行說明。該圖所示的滑塊150是用于薄膜磁頭的滑塊，表面具有成為媒體相向面(空氣軸承面)的軌道部，而且軌道部要這樣設(shè)置，即軌道部的外側(cè)側(cè)面配置在滑塊150的側(cè)面內(nèi)側(cè)。
另外，該滑塊150是負(fù)壓滑塊，它具有表面成為媒體相向面的2條軌道部153，而且其軌道部153是這樣設(shè)置的，也就是說軌道部153的外側(cè)側(cè)面154配置在只比滑塊150的側(cè)面152即棒的切斷部向內(nèi)1個(gè)規(guī)定距離的內(nèi)側(cè)。
在圖24中，用符號(hào)166表示動(dòng)作時(shí)的空氣流動(dòng)方向。在滑塊150上，把空氣流入一側(cè)的空氣流入側(cè)的面作為流入側(cè)端面LE，把空氣流出側(cè)一即空氣流出側(cè)的面作為流出側(cè)端面TR。把沿著空氣流方向形成的、與流入側(cè)端面LE、流出側(cè)端面TR及媒體相向面交叉的面作為側(cè)面。其中，在很多情況下，流入側(cè)端面LE、流出側(cè)端面TR和媒體相向面與側(cè)面是相互垂直的。另外，在圖24所示的滑塊150上，在軌道153的側(cè)面中，軌道部153的外側(cè)側(cè)面154是最接近滑塊側(cè)面152的2個(gè)側(cè)面。
在2條軌道部153之間形成凹部形狀的負(fù)壓發(fā)生部155。軌道部153的寬度從空氣流入側(cè)到空氣流出側(cè)不是相等的，空氣流入側(cè)的寬度最寬，其次是空氣流出側(cè)，中間部分最窄。在軌道部153的空氣流入側(cè)的端部附近形成有傾斜部160，該傾斜部的高度向端部側(cè)逐漸降低。此外，在滑塊150的空氣流出側(cè)的端部還設(shè)有磁頭元件157和與該磁頭元件157相連接的端子158。在這種滑塊150上，軌道部153的高度(負(fù)壓發(fā)生部155的深度)約為數(shù)μm(例如0.5μm～5μm)。而且，滑塊150的側(cè)面152與軌道153外側(cè)的側(cè)面154之間的寬度約為數(shù)十μm(例如10μm～60μm)。
另外，圖24所示的滑塊150，符號(hào)150a表示的大部分是由例如氧化鋁·碳化鈦(Al2O3·Tic)制成的，符號(hào)150b表示的空氣流出側(cè)的一部分是用包住磁頭元件157和端子158的三氧化二鋁(Al2O3)制成的。
下面，參照?qǐng)D25及圖26對(duì)繞線塊30與滑塊150的關(guān)系進(jìn)行說明。圖25是表示加工時(shí)滑塊150附近狀況的說明圖。圖26是將圖25的C部放大后表示的視圖。此外，圖25還表示繞線塊30是采用塊部件主體31的凹部31a內(nèi)收納有變形用部件33的繞線塊的例子，圖25只表示該繞線塊30中的變形用部件33及鋼絲34。
如圖25所示，滑塊保持夾具80的下端側(cè)設(shè)有數(shù)個(gè)滑塊固定部80a，通過例如粘結(jié)方法把加工對(duì)象即滑塊150固定在各滑塊固定部80a上。
設(shè)置在變形用部件33的凸部33a上的鋼34位于與各滑塊150的分離位置相對(duì)應(yīng)的位置上。換句話說，如圖26所示，各滑塊150的分離位置是與第1邊緣部分161及第2邊緣部分162相對(duì)應(yīng)的位置，其中第1邊緣部分位于滑塊150的軌道部153的媒體相向面和軌道部153的外側(cè)側(cè)面154之間，上述滑塊150固定在滑塊保持夾具80上；第2邊緣部分位于滑塊150的側(cè)面152和成為滑塊150的記錄媒體(磁盤)一側(cè)的面159之間，該面159與滑塊150的側(cè)面152垂直。因此，配置在鋼絲34上的橡膠板38及金剛石研磨片39這樣變形，即與第1邊緣部分161及第2邊緣部分162對(duì)應(yīng)的部分向第1邊緣部分161及第2邊緣部分162一側(cè)突出。結(jié)果，金剛石研磨片39至少與第1邊緣部分161及第2邊緣部分162接觸。
上述的作用同塊部件主體31的凹部31a內(nèi)收納有彈性部件32的情況一樣。但，塊部件主體31的凹部31a內(nèi)收納有變形用部件33的情況與凹部31a內(nèi)收納有彈性部件32的情況相比，鋼絲34容易移動(dòng)。因此，在凹部31a內(nèi)收納的部件采用變形用部件33時(shí)，即使滑塊150在滑塊保持夾具80上的固定位置有所錯(cuò)動(dòng)，通過鋼絲34而隆起的橡膠板38及金剛石研磨片39也能進(jìn)入各滑塊150的分離位置，于是鋼絲34便移動(dòng)到與分離位置對(duì)應(yīng)的位置上。結(jié)果，金剛石研磨片39便均勻地與相鄰的2個(gè)滑塊150接觸，可均勻地進(jìn)行滑塊150的磨邊加工。
在滑塊150的空氣流出側(cè)端部設(shè)有磁頭元件157。因此，即使對(duì)滑塊150的空氣流動(dòng)側(cè)端部的邊緣部分進(jìn)行磨邊加工，最好要控制加工的程度。
塊部件主體31的凹部31a內(nèi)收納的部件采用變形用部件33時(shí)，鋼絲34配置在變形用部件33的凸部33a上，橡膠板38及金剛石研磨片39配置在鋼絲34上，因此，在相鄰的凸部33a之間的部分上，在變形用部件33的頂面與橡膠板38之間便產(chǎn)生大間隙。結(jié)果，在相鄰的凸部33a之間的部分上，金剛石研磨片39與滑塊150的接觸程度較松。因此，可以控制滑塊150的空氣流出側(cè)端部的邊緣部分的磨邊加工程度。變形用部件33的凸部33a的寬度和高度根據(jù)固定在滑塊保持夾具80上的相鄰滑塊150之間的距離(下稱分離寬度)d等適宜地設(shè)定，凸部33a的寬度最好設(shè)定在0.05～0.2mm的范圍內(nèi)，凸部33a的高度最好設(shè)定在0.10～0.50mm的范圍內(nèi)。這里舉1個(gè)例子，將分離寬度d設(shè)定為0.2mm，凸部33a的寬度設(shè)定為0.15mm，高度設(shè)定為0.4mm。
鋼絲34可以用例如耐綸(商品名)等合成纖維和不銹鋼等材料制成。鋼絲34的外徑根據(jù)分離寬度d適當(dāng)設(shè)定，在本實(shí)施形態(tài)中最好在0.03～0.20mm的范圍內(nèi)設(shè)定。這里舉1個(gè)例子，假設(shè)鋼絲34的外徑為0.09mm。
橡膠板38的硬度最好為30～60，但在研磨量大的情況下，最好用較軟的橡膠板。這里舉1例，橡膠板38的硬度為50。此外，橡膠板38的厚度最好為0.10～0.30mm。這里舉1個(gè)例子，橡膠板38的厚度為0.30mm。
金剛石研磨片39可在例如撓性薄膜上形成一層研磨材料層而構(gòu)成。撓性薄膜可用例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)制成。研磨材料層可將例如金剛石顆粒和粘結(jié)劑一起涂敷在撓性薄膜上，然后干燥而成。另外，這里舉1個(gè)例子，將金剛石的粒度設(shè)定為0.25μm。撓性薄膜的厚度最好為0～6μm。所謂撓性薄膜的厚度為0μm的情況就是不用撓性薄膜而是用金剛石粒子和粘結(jié)劑制成金剛石研磨片39。這里舉1個(gè)例子，撓性薄膜的厚度設(shè)定為4μm或2μm。
另外，X-Y工作臺(tái)13在Y方向上的搖動(dòng)寬度最好比X方向上的搖動(dòng)寬度大。如上所述，將分離寬度d設(shè)定在0.2mm、鋼絲34的外徑設(shè)定為0.09mm的情況下，X方向的搖動(dòng)寬度最好為1～5mm，Y方向的搖動(dòng)寬度最好為0.05～0.15mm。這里舉1個(gè)例子，將X方向的搖動(dòng)寬度設(shè)定為3mm，將Y方向的搖動(dòng)寬度設(shè)定為0.08mm。
本實(shí)施形態(tài)的加工裝置10中，在板18上設(shè)置數(shù)個(gè)繞線塊30。但，也可將1個(gè)大彈性部件或變形用部件固定在板18上，在該彈性部件或變形用部件上配置鋼絲，將其兩端部固定在板18的端部上。但是，這種結(jié)構(gòu)可能會(huì)出現(xiàn)鋼絲的張力不穩(wěn)定、加工精度下降的問題。
然而，本實(shí)施形態(tài)中，在各繞線塊30上，由于鋼絲34中位于繞線塊30頂面部分上的這一部分的長(zhǎng)度較短，故鋼絲34的張力比上述結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定。因此，采用本實(shí)施例可提高加工精度。
下面，參照?qǐng)D27及圖28對(duì)負(fù)荷施加部100的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖27是從正面一側(cè)看負(fù)荷施加部100的斷面圖，圖28是從側(cè)面一側(cè)看負(fù)荷施加部100的斷面圖。如這些圖所示，負(fù)荷施加部100包括以下幾部分第1段法碼保持板110；僅由側(cè)壁構(gòu)成的2個(gè)框111，它們固定在該法碼保持板110上；第2段的2個(gè)法碼保持板120，它們固定在各框111上；僅由側(cè)壁構(gòu)成的2個(gè)框121，它們固定在各法碼保持板120上；第3段的2個(gè)法碼保持板130，它們固定在各框121上；具有側(cè)面及頂面的2個(gè)蓋131，它們固定在各法碼保持板130上。分別按2個(gè)設(shè)置的框111、法碼保持板120、框121、法碼保持板130及蓋131配列在前后方向上。
在法碼保持板110上設(shè)有斷面呈矩形的10個(gè)孔112，這些孔112是這樣配置的，即它們同圖20或圖22所示的滑塊保持夾具定位板70的10個(gè)孔76的位置關(guān)系一樣。在法碼保持板120、130上與法碼保持板110上的孔112相對(duì)應(yīng)的位置上分別設(shè)有和孔112同樣形狀的孔122、132。在各孔112、122、132中分別安裝在法碼保持夾具140。在各法碼保持夾具140上設(shè)有在垂直方向上延伸的、斷面呈圓形的3個(gè)孔141。法碼保持板110、120、130及法碼保持夾具140與本發(fā)明的法碼保持部相對(duì)應(yīng)。
在第1段的各法碼保持夾具140上分別安裝有3個(gè)法碼113。該法碼113是由細(xì)長(zhǎng)的圓柱形軸部件114和圓柱形大直徑部件115構(gòu)成，該大直徑部件固定在軸部件114的上端部一側(cè)，其直徑比軸部件114的粗。軸部件114的下端面呈球面狀。在大直徑部件115上形成有在下端面開口的斷面為圓形的凹部，軸部件114的上端插入該凹部?jī)?nèi)。另外，大直徑部件115以螺紋方式固定在軸部件114上。像這樣由軸部件114和大直徑部件115構(gòu)成的法碼113與本發(fā)明的具有規(guī)定重量的塊部件對(duì)應(yīng)。該塊部件的重量可以是任意的。即，可根據(jù)用途而適當(dāng)變更。在本實(shí)施形態(tài)中，例如設(shè)定為25g。另外，第1段法碼113的軸部件114，從大直徑部件115的下端面向下側(cè)突出的部分為軸部113a，比該軸部113a更上側(cè)的部分為大直徑部113b。因此，法碼保持夾具140使法碼113的軸部113a插通、并阻止大直徑部113b插通，這樣便可將法碼113保持住。
在第2段的各法碼保持夾具140上分別安裝有3個(gè)法碼123。該法碼123由細(xì)長(zhǎng)的圓柱形軸部件124、凸緣部件125和1個(gè)以上的負(fù)荷調(diào)整用塊部件126構(gòu)成，其中凸緣部件125是以螺紋方式固定在軸部件124的中途；負(fù)荷調(diào)整用塊部件126安裝在比軸部件124的凸緣部件125更上側(cè)的部分上。軸部件124的下端面呈球面狀。凸緣部件125的外徑比軸部件124的外徑粗。此外，負(fù)荷調(diào)整用塊部件126的外徑與凸緣部件125的外徑相等。在負(fù)荷調(diào)整用塊部件126上分別設(shè)有可使軸部件124插通的孔。將軸部件124穿插在該孔內(nèi)，便可將數(shù)個(gè)負(fù)荷調(diào)整用塊部件126堆放在凸緣部件125上。這里，最多可堆放4個(gè)負(fù)荷調(diào)整用塊部件126。
在第2段法碼123上，由軸部件124和凸緣部件125組合而成的部分與本發(fā)明的具有規(guī)定重量的塊部件相對(duì)應(yīng)，其重量例如為25g。而且，各負(fù)荷調(diào)整用塊部件126也與本發(fā)明的具有規(guī)定重量的塊部件相對(duì)應(yīng)，其重量例如為25g。因此，通過改變負(fù)荷調(diào)整用塊部件126的數(shù)量，便可在25g～125g范圍內(nèi)、以25g為單位改變法碼123的總重量。
另外，在第2段法碼123上，配置在最上面的負(fù)荷調(diào)整用塊部件126不管負(fù)荷調(diào)整用塊部件126的個(gè)數(shù)多少都在軸部件124上的一定位置上、即在軸上堆放了4個(gè)負(fù)荷調(diào)整用塊部件126的情況下，在最上段的塊部件126的位置上以螺紋方式固定。這是因?yàn)樾枰ㄟ^配置在最上面的負(fù)荷調(diào)整用塊部件126將第3段法碼133推上去的緣故。
而且，第2段法碼123中，在軸部件124上從凸緣部件125的下端面向下側(cè)突出的部分為軸部123a，比軸部件123a更上側(cè)的部分為大直徑部123b。因此，法碼保持夾具140使法碼123的軸部123a插通，阻止大直徑部123b插通，這樣便可將法碼123保持住。
第3段上的各法碼保持夾具140上分別安裝有3個(gè)法碼133。該法碼133由下述部分構(gòu)成，即細(xì)長(zhǎng)的圓柱形軸部件134；在該軸部件134的中途以螺紋方式固定的凸緣部件135；在軸部件134上比凸緣部件135更靠上側(cè)部分上安裝的1個(gè)以上的負(fù)荷調(diào)整用塊部件136。軸部件134的下端面呈球面形。凸緣部分135的外徑比軸部件134的外徑更大。另外，負(fù)荷調(diào)整用塊部件136的外徑與凸緣部件135的外徑相等。在負(fù)荷調(diào)整用塊部件136上分別形成可插通軸部件134的孔。通過將軸部件134穿插在該孔中，便可將數(shù)個(gè)負(fù)荷調(diào)整用塊部件136堆放在凸緣部件135的上面。在此，負(fù)荷調(diào)整用塊部件136最多可堆放到4個(gè)。
在第3段的法碼133上，將軸部件134和凸緣部件135組合而成的組合件與本發(fā)明的具有規(guī)定重量的塊部件相對(duì)應(yīng)，其重量例如為25g。另外，各負(fù)荷調(diào)整用塊部件136也與本發(fā)明的具有規(guī)定重量的塊部件相對(duì)應(yīng)，其重量例如為25g。因此，通過改變負(fù)荷調(diào)整用塊部件136的數(shù)量，便可使法碼133的總重量以25g為單位在25g～125g范圍內(nèi)變化。
另外，在第3段的法碼133上，配置在最上面的負(fù)荷調(diào)整用塊部件136不需要用螺紋方式固定在軸部件134的一定位置上。
在第3段的法碼133上，軸部件134上從凸緣部件135的下端面向下側(cè)突出的部分為軸部133a，該軸部133a的上側(cè)部分為大直徑部133b。因此，法碼保持夾具140使法碼133的軸部133a插通、而阻止大直徑部133b插入，這樣，便可保持法碼133。
各法碼113、123、133的軸部113a、123a、133a上設(shè)有螺旋形的槽138。該槽138具有這樣的作用，即將因軸部113a、123a、133a與法碼保持夾具140的孔摩擦產(chǎn)生的切屑(粉)放入該槽內(nèi)，以維持軸部113a、123a、133a圓滑的動(dòng)作。
另外，如圖29所示，在法碼保持夾具140的孔內(nèi)形成螺旋形的槽139也可以得到同樣的效果。為了得到這種效果，可以設(shè)置槽138和槽139之中的至少1個(gè)槽。
如圖1所示，設(shè)在底座部12上的軌道部29上設(shè)有向Y方向延伸的導(dǎo)向裝置101。在該導(dǎo)向裝置101上設(shè)有Y方向可動(dòng)部103。在該可動(dòng)部103上設(shè)有與導(dǎo)向裝置101相卡合的卡合部102。并且，通過使卡合部102沿著導(dǎo)向裝置101移動(dòng)，便使可動(dòng)部103沿Y方向移動(dòng)。另外，在可動(dòng)部103上設(shè)有向上下方向延伸的導(dǎo)向裝置104。
另一方面，法碼保持板110左右方向的兩端部與上下方向可動(dòng)部109相連接。在該可動(dòng)部109上設(shè)有與導(dǎo)向裝置104相卡合的卡合部105。并且，通過使卡合部105沿著導(dǎo)向裝置104移動(dòng)，便可使可動(dòng)部109沿上下方向移動(dòng)。
上下方向可動(dòng)部109通過上下方向驅(qū)動(dòng)液壓缸108在上下方向上被驅(qū)動(dòng)。上下方向驅(qū)動(dòng)液壓缸108、上下方向可動(dòng)部109、導(dǎo)向裝置104及卡合部105與本發(fā)明的保持部移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝置)相對(duì)應(yīng)。另外，Y方向可動(dòng)部103通過圖2所示的Y方向驅(qū)動(dòng)液壓缸107的Y方向上被驅(qū)動(dòng)。
因此，負(fù)荷施加部100可在Y方向和上下方向上移動(dòng)。圖2表示使負(fù)荷施加部100向后方移動(dòng)而從X-Y工作臺(tái)13上退避的狀態(tài)，使負(fù)荷施加部100從該狀態(tài)向前方移動(dòng)時(shí)，可將負(fù)荷施加部100配置在X-Y工作臺(tái)13上。
另外，使負(fù)荷施加部100從其最下段的法碼113的軸部113a的下端部不與滑塊保持夾具80相接觸、而位于滑塊保持夾具80的上方的狀態(tài)向下方移動(dòng)，于是配置在數(shù)段上的法碼113、123、133便依次從下段一側(cè)對(duì)滑塊保持夾具80施加負(fù)荷。下面，參照?qǐng)D30至圖33對(duì)其作用進(jìn)行說明。
圖30表示負(fù)荷施加部100的最下段法碼113的軸部113a下端部位于滑塊保持夾具80上方狀態(tài)時(shí)的負(fù)荷施加部100。在這種狀態(tài)下，在滑塊保持夾具80上沒有施加外部負(fù)荷。
圖31表示使負(fù)荷施加部100從圖30所示的狀態(tài)向下方移動(dòng)，最下段法碼113的軸部113a的下端部與滑塊保持夾具80的上端部相接觸，法碼113相對(duì)于最下段的法碼保持夾具140呈提起的狀態(tài)。另外，在圖31所示的狀態(tài)下，法碼113的上端部與第2段的法碼123的軸部123a的下端部不接觸。在這種狀態(tài)下，只有最下段的法碼113的負(fù)荷施加在滑塊保持夾具80上。在這里，由于用3個(gè)法碼113對(duì)1個(gè)滑塊保持夾具80施加負(fù)荷，故假設(shè)1個(gè)法碼113為25g的情況下，共有75g負(fù)荷施加在1個(gè)滑塊保持夾具80上。
圖32表示使負(fù)荷施加部100從圖31所示的狀態(tài)進(jìn)一步向下方移動(dòng)，最下段法碼113的上端部與第2段法碼123的軸部123a的下端部相接觸，法碼123相對(duì)于第2段的法碼保持夾具140呈提起的狀態(tài)。另外，在圖32所示的狀態(tài)下，法碼123的上端部與第3段法碼133的軸部133a的下端部不接觸。在這種狀態(tài)下，由最下段的法碼113和第2段的法碼123組成的負(fù)荷施加在滑塊保持夾具80上。在這里，由于通過3個(gè)法碼113和3個(gè)法碼123將負(fù)荷施加在1個(gè)滑塊保持夾具80上，故假設(shè)1個(gè)法碼113為25g、1個(gè)法碼123為125g的情況下，共有450g負(fù)荷施加在1個(gè)滑塊保持夾具80上。
圖33表示使負(fù)荷施加部100從圖32所示的狀態(tài)進(jìn)一步向下方移動(dòng)，第2段的法碼123的上端部與第3段的法碼133的軸部133a的下端部相接觸，法碼133相對(duì)于第3段的法碼保持夾具140呈提起的狀態(tài)。在這種狀態(tài)下，由最下段的法碼113和第2段的法碼123及第3段的法碼133組成的負(fù)荷施加在滑塊保持夾具80上。在此，由于通過3個(gè)法碼113、3個(gè)法碼123及3個(gè)法碼133將負(fù)荷施加在1個(gè)滑塊保持夾具80上，故假設(shè)1個(gè)法碼113為25g、1個(gè)法碼123為125g、1個(gè)法碼133為125g的情況下，共有825g負(fù)荷施加在1個(gè)滑塊保持夾具80上。
為實(shí)現(xiàn)這種負(fù)荷施加部100的作用，最下段的法碼133可在上下方向上移動(dòng)的距離必須大于下述距離，即在不將負(fù)荷施加在滑塊保持夾具80上的狀態(tài)(圖30所示的狀態(tài))下法碼113的上端部與法碼123的軸部123a的下端部之間的距離、及法碼123的上端部與法碼133的軸部133a的下端部之間的距離相加后的距離。
這樣，在本實(shí)施形態(tài)中，通過將由數(shù)個(gè)法碼113、123、133組成的負(fù)荷階段性地加在滑塊保持夾具80上，便可以調(diào)整施加在滑塊保持夾具80上的負(fù)荷。
因此，在本實(shí)施形態(tài)中，例如在未對(duì)滑塊150的軌道部的邊緣部分進(jìn)行磨邊加工時(shí)和進(jìn)行磨邊加工的初期階段，對(duì)滑塊保持夾具80施加小的負(fù)荷而進(jìn)行邊緣部分的磨邊加工，根據(jù)磨邊加工的進(jìn)行，可以增加施加在滑塊保持夾具80上的負(fù)荷。這樣，可以防止薄的金剛石研磨片39被滑塊150的邊緣部分切斷。另外，向1個(gè)滑塊保持夾具80施加負(fù)荷的每1段法碼的數(shù)量不限于3個(gè)，也可以為2個(gè)或4個(gè)以上。而且，負(fù)荷施加部100上的各法碼113、123、133的重量和構(gòu)成各法碼113、123、133的塊部件的重量也可以適當(dāng)變化。
另外，本實(shí)施形態(tài)的加工裝置10還設(shè)有未圖示的控制部，它用于輸入與操作盤23的操作相對(duì)應(yīng)的信號(hào)和各傳感器的輸出信號(hào)，對(duì)各驅(qū)動(dòng)部分進(jìn)行控制。
下面，對(duì)本實(shí)施形態(tài)的加工裝置10的作用加以說明。另外，以下的說明還包括本實(shí)施例的滑塊加工方法的說明。
在用加工裝置10對(duì)滑塊150進(jìn)行加工的情況下，首先，將作為加工對(duì)象的數(shù)個(gè)滑塊150通過例如粘結(jié)而固定在滑塊保持夾具80上，使成為記錄媒體一側(cè)的面位于下側(cè)。另外，這時(shí)的滑塊150是這樣得到的，即對(duì)棒通過離子銑削等方法形成軌道部以后，將棒切斷而得到的，該棒包括配置成一行的數(shù)個(gè)磁頭元件在內(nèi)的、成為煤體相向面的面已研磨完畢。
在本實(shí)施形態(tài)中，對(duì)固定了滑塊150的滑塊保持夾具80最好按以下所說明的3個(gè)階段進(jìn)行磨邊加工。
圖34是表示第1階段磨邊加工狀況的說明圖。在第1階段磨邊加工時(shí)，用圖16所示的板90取代繞線塊30。并且，在該板90上配置橡膠板38，在該橡膠板38上面配置金剛石研磨片39。另外，使用板70A作為滑塊保持夾具定位板70。第1階段磨邊加工如圖34所示，通過板70A對(duì)滑塊保持夾具80這樣進(jìn)行定位，即在滑塊150的媒體相向面相對(duì)于金剛石研磨片39的研磨面呈傾斜狀態(tài)下使滑塊150與金剛石研磨片39相接觸。
另外，在本實(shí)施形態(tài)中，通過板70A對(duì)滑塊保持夾具80定位時(shí)，將滑塊150固定在滑塊保持夾具80上，以使滑塊150的媒體相向面中的空氣流入端成為下側(cè)。
滑塊保持夾具80的側(cè)面與金剛石研磨片39的研磨面所構(gòu)成的角度θ最好在大于60°、小于90°的范圍內(nèi)，特別是最好為70°±2.5°。
而且，使最下段法碼113的軸部113a的下端部與滑塊保持夾具80的上端部相接觸。如上所述，施加在滑塊保持夾具80上的負(fù)荷可以調(diào)整。最好根據(jù)磨邊加工的進(jìn)行而階段性地增加施加在滑塊保持夾具80上的負(fù)荷。
進(jìn)行第1階段磨邊加工時(shí)，在圖34所示的狀態(tài)下?lián)u動(dòng)X-Y工作臺(tái)13，只對(duì)滑塊150的空氣流入端一側(cè)的邊部進(jìn)行磨邊加工。
圖35是表示第2階段磨邊加工狀況的說明圖。第2階段磨邊加工采用繞線塊30，該繞線塊在塊主體31的凹部31a內(nèi)裝有彈性部件32。這樣，在彈性部件32上配置鋼絲34，在鋼絲34上配置橡膠板38，在橡膠板38上配置金剛石研磨片39。另外，使用板70A作為滑塊保持夾具定位板70。第2階段磨邊加工如圖35所示，通過板70A對(duì)滑塊保持夾具80這樣進(jìn)行定位，即在滑塊150的媒體相向面相對(duì)于金剛石研磨片39的研磨面呈傾斜狀態(tài)下使滑塊150與金剛石研磨片39相接觸。
滑塊保持夾具80的側(cè)面與金剛石研磨板39的研磨面所構(gòu)成的角度θ最好在大于60°、小于90°的范圍內(nèi)，特別是最好為70°左右。
另外，使最下段法碼113的軸部113a的下端部與滑塊保持夾具80的上端部相接觸。如上所述，施加在滑塊保持夾具80上的負(fù)荷可以進(jìn)行調(diào)整。最好根據(jù)磨邊加工的進(jìn)行階段性地增加施加在滑塊保持夾具80上的負(fù)荷。
進(jìn)行第2階段磨邊加工時(shí)，如圖25所示，配置在鋼絲34上的橡膠板38和金剛石研磨片39中與滑塊150的第1邊緣部分161和第2邊緣部分162相對(duì)應(yīng)的部分產(chǎn)生向第1邊緣部分161和第2邊緣部分162側(cè)突出的變形。其結(jié)果，金剛石研磨片39至少與第1邊緣部分161和第2邊緣部分162相接觸。
進(jìn)行第2階段磨邊加工時(shí)，在圖35所示的狀態(tài)下?lián)u動(dòng)X-Y工作臺(tái)13，對(duì)滑塊150的空氣流入端一側(cè)的邊緣進(jìn)一步進(jìn)行磨邊加工，與此同時(shí)，對(duì)具有臺(tái)階的第1邊緣部分161和第2邊緣部分162進(jìn)行磨邊加工。這樣，通過第1階段的磨邊加工和第2階段的磨邊加工，滑塊150的空氣流入端一側(cè)的邊緣比其它邊緣進(jìn)行更多的磨邊加工。對(duì)滑塊150的空氣流入端一側(cè)的邊緣多進(jìn)行磨邊加工是由于空氣流入端一側(cè)的邊緣部與其它邊緣部分相比，與記錄媒體接觸的可能性大的緣故。另外，通過第1階段的磨邊加工和第2階段的磨邊加工，滑塊150的空氣流入端一側(cè)的邊緣部被磨邊加工成斜面狀。
圖36是表示第3階段磨邊加工狀態(tài)的說明圖。進(jìn)行第3階段磨邊加工時(shí)使用繞線塊30，該繞線塊在塊主體31的凹部31a內(nèi)裝入變形用部件33。這樣，在彈性部件33的凸部33a上配置鋼絲34，在鋼絲34上配置橡膠板38，在橡膠板38上配置金剛石研磨片39。另外，用板70B作為滑塊保持夾具定位板70。第3階段的磨邊加工如圖36所示，通過板70B對(duì)滑塊保持夾具80這樣進(jìn)行定位，即在滑塊150的媒體相向面與金剛石研磨片39相平行的狀態(tài)下使滑塊150與金剛石研磨片39相接觸。
另外，使最下段法碼113的軸部113a的下端部與滑塊保持夾具80的上端部相接觸。在這里，使滑塊150的媒體相向面中的空氣流入端一側(cè)成為圖36中的滑塊150的右側(cè)。在本實(shí)施例中，如圖36所示，為了對(duì)滑塊150的媒體相向面中的空氣流入端一側(cè)進(jìn)一步進(jìn)行磨邊加工，使軸部113a的下端部與滑塊保持夾具80上端部上的偏右側(cè)位置相接觸。而且，如上所述，施加在滑塊保持夾具80上的負(fù)荷可以進(jìn)行調(diào)整。最好隨著磨邊加工的進(jìn)行階段性地增加施加在滑塊保持夾具80上的負(fù)荷。
進(jìn)行第3階段磨邊加工時(shí)，配置在鋼絲34上的橡膠板38和金剛石研磨片39中與滑塊150的第1邊緣部分161和第2邊緣部分162相對(duì)應(yīng)的部分向第1邊緣部分161和第2邊緣部分162一側(cè)突出地變形。其結(jié)果，金剛石研磨片39至少與第1邊緣部分161和第2邊緣部分162相接觸。
進(jìn)行第3階段磨邊加工時(shí)，在圖36所示的狀態(tài)下?lián)u動(dòng)X-Y工作臺(tái)13。這樣，包括第1邊緣部分161在內(nèi)的、滑塊150的軌道部153的全部邊緣部分和第2邊緣部分162同時(shí)被磨邊加工。另外，進(jìn)行第3階段磨邊加工時(shí)，包括通過第1和第2階段磨邊加工而被磨邊加工成斜面狀的邊緣部分在內(nèi)的、與金剛石研磨片39相接觸的邊緣部分被磨邊加工成曲面狀。
第1階段至第3階段的磨邊加工雖然也可以用1臺(tái)加工裝置10在每1階段更換繞線塊30和滑塊保持夾具定位板70等來進(jìn)行，但使用設(shè)定為各階段用的3臺(tái)加工裝置10來進(jìn)行磨邊加工則效率高。
按照本實(shí)施形態(tài)的滑塊加工方法，可以對(duì)滑塊150的空氣流入端一側(cè)的邊緣部分比其它邊緣部分多進(jìn)行磨邊加工。這樣，可以使滑塊150的耐沖擊性提高。
在此，對(duì)滑塊150的空氣流入端一側(cè)的邊緣部分用本實(shí)施形態(tài)進(jìn)行3個(gè)階段的磨邊加工的場(chǎng)合與用其它方法進(jìn)行磨邊加工的場(chǎng)合下，對(duì)其邊緣部分的形狀進(jìn)行比較。
另外，為進(jìn)行比較，還采用了其它的磨邊加工方法，如圖37所示的方法和圖38所示的方法。圖37所示的方法與圖34所示的第1階段的磨邊加工一樣，不使用繞線塊30，而使用圖16所示的板90。并且，在該板90上配置橡膠板38，在該橡膠板38上配置金剛石研磨片39。另外，使用板70B作為滑塊保持夾具定位板70。因此，圖37所示的方法中，滑塊保持夾具80是這樣定位的，即在滑塊150的媒體相向面與金剛石研磨片39的研磨面相平行的狀態(tài)下使滑塊150與金剛石研磨片39相接觸。并且，在這種狀態(tài)下?lián)u動(dòng)X-Y工作臺(tái)13，對(duì)滑塊150的邊緣部分進(jìn)行磨邊加工。
另外，圖38所示的方法中，與圖35所示的第2階段的磨邊加工一樣使用繞線塊30，該繞線塊在塊主體31的凹部31a內(nèi)裝有彈性部件32。這樣，在彈性部件32的上面配置鋼絲34，在鋼絲34的上面配置橡膠板38，在橡膠板38的上面配置金剛石研磨片39。而且，采用板70B作為滑塊保持夾具定位板70。因此，圖38所示的方法中，滑塊保持夾具80是這樣定位的，即在滑塊150的媒體相向面與金剛石研磨片39相平行的狀態(tài)下使滑塊150與金剛石研磨片39相接觸。并且，在這種狀態(tài)下?lián)u動(dòng)X-Y工作臺(tái)13，對(duì)滑塊150的邊緣部分進(jìn)行磨邊加工。
在用圖37所示的方法或圖38所示的方法進(jìn)行磨邊加工情況下，滑塊150的空氣流入一側(cè)的邊緣部分形狀的一例示于圖39。另外，根據(jù)本實(shí)施形態(tài)進(jìn)行3個(gè)階段的磨邊加工情況下、滑塊150的空氣流入一側(cè)的邊緣部分形狀的一例示于圖40。圖39和圖40所示的形狀是用觸針式表面粗度計(jì)測(cè)定的。觸針式表面粗度計(jì)采用英國RankTaylor-Hobson公司制造的“Talystep”(商品名)。另外，觸針是采用前端部曲率半徑為2μm的觸針。在圖39和圖40中，橫軸表示水平方向的位置，縱軸表示垂直方向的位置。
在圖39所示的形狀中，被磨邊加工的區(qū)域的高度方向長(zhǎng)度為0.5μm。而在圖40所示的形狀中，被磨邊加工的區(qū)域的高度方向長(zhǎng)度為5.0μm。由這些圖可知，若按照本實(shí)施形態(tài)進(jìn)行3個(gè)階段的磨邊加工，可以對(duì)滑塊150的空氣流入端一側(cè)的邊緣部分多進(jìn)行磨邊加工，可使滑塊150的耐沖擊性能提高。
下面，參照?qǐng)D41至圖46對(duì)本實(shí)施形態(tài)中的滑塊保持夾具80的側(cè)面和金剛石研磨片39的研磨面所構(gòu)成的角度θ與磨邊加工后的邊緣部分的形狀的關(guān)系進(jìn)行說明。
如圖41所示，將第1階段和第2階段磨邊加工時(shí)的θ設(shè)定為60°的情況下，第2階段磨邊加工完畢后邊緣部分的形狀為如圖42所示的形狀，第3階段磨邊加工完畢后邊緣部分的形狀為如圖43所示的形狀。
另外，如圖44所示，將第1階段和第2階段磨邊加工時(shí)的θ設(shè)定為75°情況下，第2階段磨邊加工完畢后邊緣部分的形狀為如圖45所示的形狀，第3階段磨邊加工完畢后邊緣部分的形狀為如圖46所示的形狀。
圖42、圖43、圖45及圖46所示形狀的測(cè)定方法與圖39、圖40的情況相同。
在圖42所示的形狀中，被磨邊加工區(qū)域的高度方向長(zhǎng)度為3.5μm。而在圖45所示的形狀中，被磨邊加工區(qū)域的高度方向長(zhǎng)度為2.5μm。由這些圖可知，θ越小，被磨邊加工區(qū)域的高度方向長(zhǎng)度越長(zhǎng)。
但是，如對(duì)圖43與圖46進(jìn)行比較后可知那樣，可以推測(cè)θ越小，在第3階段磨邊加工后被磨邊加工區(qū)域也越接近于斜面狀態(tài)。假設(shè)圖43所示的形狀為允許范圍的限度，則θ必須為60°以上。
如上所述，采用本實(shí)施形態(tài)的加工裝置10和本實(shí)施形態(tài)的滑塊加工方法，可以對(duì)滑塊150的空氣流入端一側(cè)的邊緣多進(jìn)行磨邊加工，并且可以對(duì)具有臺(tái)階的第1邊緣部分161和第2邊緣部分162進(jìn)行磨邊加工。因此，采用本實(shí)施形態(tài)，可以得到滑塊即使傾斜也可以防止邊緣部分劃傷記錄媒體面的滑塊150。
另外，與不發(fā)生負(fù)壓的滑塊相比，負(fù)壓滑塊在傾斜時(shí)第1邊緣部分161與記錄媒體接觸的可能性較大，因此，本實(shí)施形態(tài)的加工裝置10和本實(shí)施形態(tài)的滑塊加工方法在加工負(fù)壓滑塊的情況下效果顯著。
而且，按照本實(shí)施形態(tài)的滑塊加工方法，不僅對(duì)滑塊150的空氣流入端一側(cè)的邊緣、第1邊緣部分161和第2邊緣部分162可充分進(jìn)行磨邊加工，而且除此以外，對(duì)軌道部153上的媒體相向面的周緣部及滑塊150外周面的媒體相向面一側(cè)的周緣部也可充分地進(jìn)行磨邊加工。因此，可以得到即使滑塊150以各種形態(tài)傾斜也可以防止劃傷記錄媒體的滑塊150。
另外，本實(shí)施形態(tài)的加工裝置10和本實(shí)施形態(tài)的滑塊加工方法中，使金剛石研磨片39變形，并使該金剛石研磨片39與滑塊150的第1邊緣部分161和第2邊緣部分162相接觸。這時(shí)，由于用具有彈性的橡膠板38支承金剛石研磨片39，故可以防止金鋼石研磨片39被切斷，可以穩(wěn)定地進(jìn)行滑塊150的加工。
本實(shí)施形態(tài)通過將數(shù)個(gè)法碼113、123、133組成的負(fù)荷階段性地加在滑塊保持夾具80上，可以對(duì)施加在滑塊保持夾具80上的負(fù)荷進(jìn)行調(diào)整。因此，按照本實(shí)施形態(tài)，可以防止薄的金鋼石研磨片39被滑塊150的邊緣部分切斷。
在本實(shí)施形中，由于在法碼113、123、133的軸部113a、123a、133a和法碼保持夾具140的孔的至少一方上設(shè)有螺旋形的槽138或槽139，故通過該槽138、139收集因軸部113a、123a、133a與法碼保持夾具140的孔摩擦而產(chǎn)生的切屑(粉)，可以使軸部113a、123a、133a保持圓滑的動(dòng)作。
在本實(shí)施形態(tài)中，預(yù)備了具有孔76A的滑塊保持夾具定位板70A作為1種滑塊保持夾具定位板70，上述孔70A按規(guī)定的角度相對(duì)于垂直方向傾斜。該板70A是這樣對(duì)滑塊保持夾具80進(jìn)行定位的，即在滑塊的媒體相向面相對(duì)于金剛石研磨片39的研磨面傾斜的狀態(tài)下使滑塊150與金剛石研磨片39相接觸。因此，按照本實(shí)施形態(tài)，通過采用滑塊保持夾具定位板70A，可以對(duì)滑塊150的特定邊緣部分、例如滑塊150的空氣流入端一側(cè)的邊緣進(jìn)行比其它邊緣部分更多的磨邊加工。
在本實(shí)施形態(tài)中，為了對(duì)具有臺(tái)階的第1邊緣部分161和第2邊緣部分162同時(shí)進(jìn)行磨邊加工，通過鋼絲34使橡膠板38和金剛石研磨片39變形。在本實(shí)施形態(tài)中，不是將鋼絲張緊在整個(gè)板18的面上，而是采用數(shù)個(gè)繞線塊30而分為數(shù)個(gè)部分張緊鋼絲。因此，按照本實(shí)施形態(tài)，鋼絲34的張力穩(wěn)定，可以提高加工精度。
另外，本發(fā)明不局限于上述實(shí)施形態(tài)，可以作種種變更。例如，在實(shí)施形態(tài)中是將滑塊150固定，通過X-Y工作臺(tái)13使金剛石研磨片39移動(dòng)，但也可以將金剛石研磨片39固定，使滑塊保持夾具80動(dòng)作而使滑塊150移動(dòng)(搖動(dòng))。
本發(fā)明不限于用于加工圖24所示形狀的滑塊，也可適用于其它形狀的滑塊加工。而且，本發(fā)明不限于2段結(jié)構(gòu)的滑塊，也可適用于3段以上結(jié)構(gòu)的滑塊的加工。
在實(shí)施形態(tài)中，作為加工對(duì)象的滑塊列舉了負(fù)壓滑塊的例子，但本發(fā)明也可適用于不發(fā)生負(fù)壓的滑塊的加工。
另外，本發(fā)明也可適用于磁頭用以外的其它用途的滑塊，例如也可適用于用光記錄方式或光磁記錄方式進(jìn)行信息記錄或讀取用的磁頭(傳感頭)用的滑塊等。
如上所述，按照本發(fā)明的第1種滑塊加工裝置或第1種滑塊加工用負(fù)荷施加裝置，可以對(duì)施加在滑塊保持夾具上的負(fù)荷進(jìn)行調(diào)整，故可以防止研磨部件被滑塊的邊緣部分切斷。另外，按照本發(fā)明的第1種滑塊加工方法，由于隨著滑塊磨邊加工的進(jìn)行，使施加在保持滑塊用的滑塊保持夾具上的負(fù)荷變化，故可以防止研磨部件被滑塊的邊緣部分切斷。
另外，按照本發(fā)明的第2種滑塊加工裝置或本發(fā)明的第2種滑塊加工用負(fù)荷施加裝置，由于通過使保持法碼用的法碼保持部向上下方向移動(dòng)而對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨、對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工時(shí)，可以僅在必要時(shí)對(duì)保持滑塊的滑塊保持夾具施加負(fù)荷，并且在對(duì)滑塊保持夾具施加負(fù)荷用的法碼的軸部外周面和法碼保持部的孔的內(nèi)周面的至少一方上設(shè)有螺旋形的槽，故利用該螺旋形槽收集因法碼的軸部與法碼保持部的孔之間摩擦而產(chǎn)生的切屑(粉)，可以保持軸部圓滑的動(dòng)作，并可以使機(jī)構(gòu)順利地動(dòng)作。
按照本發(fā)明的第3種滑塊加工裝置或第2種滑塊加工方法，由于下述那樣對(duì)滑塊保持夾具進(jìn)行定位，即在滑塊的媒體相向面相對(duì)于研磨部件的研磨面呈傾斜的狀態(tài)下，使滑塊與研磨部件相接觸，并用研磨部件對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨，故可以對(duì)滑塊的一部分邊緣比其它邊緣部分多進(jìn)行磨邊加工。
另外，按照本發(fā)明的第3種滑塊加工方法，包括第1研磨程序和第2研磨程序，其中第1研磨程序是在滑塊的媒體相向面相對(duì)于研磨滑塊的邊緣部分用的研磨部件的研磨面呈傾斜狀態(tài)下使滑塊與研磨部件相接觸，并使滑塊與研磨部件相對(duì)地移動(dòng)，對(duì)滑塊的邊緣部分中與研磨部件相接觸的部分進(jìn)行研磨；第2研磨程序是在滑塊的媒體相向面與研磨部件的研磨面相平行的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件接觸，并使滑塊與研磨部件相對(duì)地移動(dòng)，對(duì)滑塊的邊緣部分中，與研磨部件相接觸的部分進(jìn)行研磨，因此，可以對(duì)滑塊的一部分邊緣部分比其它邊緣部分多進(jìn)行磨邊加工，并且也可對(duì)其它邊緣部分充分地進(jìn)行磨邊加工。
采用本發(fā)明的第1種滑塊加工用輔助裝置，可以以這樣的方式對(duì)滑塊保持夾具進(jìn)行定位，即在滑塊的媒體相向面相對(duì)于研磨部件的研磨面呈傾斜的狀態(tài)下使滑塊與研磨部件相接觸，故可以對(duì)滑塊的一部分邊緣部分比其它邊緣部分多進(jìn)行磨邊加工。
另外，采用本發(fā)明的第4種滑塊加工裝置或本發(fā)明的第2種滑塊加工用輔助裝置，由于將用于使研磨部件變形的鋼絲卷繞在主體的外周部上，以便于對(duì)滑塊上的具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨，因此，鋼絲的張力穩(wěn)定，可對(duì)滑塊上具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨進(jìn)行磨邊加工，并且可提高加工精度。
根據(jù)以上說明可知能夠?qū)嵤┍景l(fā)明的各種形態(tài)和變化的例子。因此，在與以下權(quán)利要求范圍等同的范圍內(nèi)還可以上述最佳形態(tài)以外的形態(tài)實(shí)施本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種滑塊加工用輔助裝置，包括滑塊保持夾具，用于保持滑塊，該滑塊具有帶臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分和媒體相向面；具有撓性的研磨部件，用于對(duì)由上述滑塊保持夾具所保持的滑塊邊緣部分進(jìn)行研磨；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于使由上述滑塊保持夾具所保持的滑塊與上述研磨部件相對(duì)移動(dòng)，以便利用上述研磨部件研磨滑塊的邊緣部分；該輔助裝置應(yīng)用于對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨、對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工的滑塊加工裝置上，其特征在于，包括主體，它夾著上述研磨部件，配置在與上述滑塊保持夾具所保持的滑塊相對(duì)向的位置上；卷繞在上述主體的外周部上、使上述研磨部件變形的鋼絲，以便利用上述研磨部件對(duì)滑塊中具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分同時(shí)進(jìn)行研磨。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑塊加工用輔助裝置，其特征在于，還具有彈性部件，該彈性部件配置在上述鋼絲中位于滑塊加工用輔助裝置頂面部分上的那部分的下側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑塊加工用輔助裝置，其特征在于，還具有凸部，該凸部配置在上述鋼絲中位于滑塊加工用輔助裝置頂面部分上的那部分的下側(cè)。
4.一種滑塊加工裝置，對(duì)具有帶臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分和媒體相向面的滑塊邊緣部分進(jìn)行研磨、對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工，其特征在于，包括用于保持滑塊的滑塊保持夾具；具有撓性的研磨部件，用于對(duì)由上述滑塊保持夾具所保持的滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨；使上述研磨部件變形的變形裝置，以便利用上述研磨部件同時(shí)研磨滑塊中具有臺(tái)階的數(shù)個(gè)邊緣部分，該變形裝置具有主體和鋼絲，其中該主體夾著上述研磨部件、配置在與由上述滑塊保持夾具所保持的滑塊相向的位置上，該鋼絲使上述研磨部件變形；移動(dòng)裝置，使由上述滑塊保持夾具所保持的滑塊與上述研磨部件相對(duì)移動(dòng)，以便利用上述研磨部件研磨滑塊的邊緣部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的滑塊加工裝置，其特征在于，上述變形裝置還具有彈性部件，該彈性部件配置在上述鋼絲中位于變形裝置頂面部分上的那部分的下側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的滑塊加工裝置，其特征在于，上述變形裝置還具有凸部，該凸部配置在上述鋼絲中位于變形裝置頂面部分上的那部分的下側(cè)。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于利用研磨部件對(duì)滑塊的邊緣部分進(jìn)行研磨、對(duì)邊緣部分進(jìn)行磨邊加工時(shí)，防止研磨部件被邊緣部分切斷。用本發(fā)明的滑塊保持夾具所保持的滑塊與金剛石研磨片相接觸。使負(fù)荷施加部從其最下段的法碼的軸部下端部位于滑塊保持夾具上方、且不與滑塊保持夾具接觸的狀態(tài)向下方移動(dòng)，而成為配置在數(shù)段上的法碼依次從下段一側(cè)對(duì)滑塊保持夾具施加負(fù)荷的狀態(tài)。
文檔編號(hào)G11B21/21GK1828728SQ20061000881
公開日2006年9月6日 申請(qǐng)日期1999年9月27日 優(yōu)先權(quán)日1998年9月25日
發(fā)明者小林寬二, 山口正雄 申請(qǐng)人:Tdk株式會(huì)社