專利名稱：釬焊方法，釬焊設備，接合方法，接合設備，及噴嘴單元的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種利用接合件將第一元件接合到第二元件上的接合方法和接合設備。
背景技術：
在磁頭制造過程中，利用釬焊球通過釬焊來實現(xiàn)磁頭滑動器電極和彎曲件電極之間的接合。更具體地，將兩個電極以90度的角間隔設置，并且將釬焊球安置在這兩個電極之間。通過熱輻射或其它類似的方法使釬焊球熔化，以實現(xiàn)在這兩個電極之間的電連接。接下來，將參考


一種常規(guī)的釬焊球釬焊設備。
圖9顯示的是一種用于利用常規(guī)的釬焊設備300進行釬焊的抽吸嘴的局部剖面圖。在圖9中，附圖標記309表示一基本為平行六面體的滑動器，附圖標記311表示一彎曲件?；瑒悠麟姌O313設置在滑動器309的一端。該滑動器309連接到薄板形的彎曲件311上，彎曲件311的彎曲件電極315延伸成與滑動器電極313成大約90度的角度。下面說明用于釬焊這種工件的釬焊設備。
所述釬焊設備具有用于將釬焊球307從釬焊儲存器(未示出)傳輸?shù)酱F焊的電極上的錐狀抽吸嘴301。抽吸嘴301連接到抽吸源(未示出)，來自于該抽吸源的抽吸力通過噴嘴內(nèi)部空間305和吸氣孔303施加到釬焊球307上，并且釬焊球307通過抽吸力被保持在抽吸嘴301的前端。通過抽吸嘴301吸附的釬焊球307被保持在一位置，在該位置釬焊球307與滑動器電極313及彎曲件電極315相接觸，并且在該狀態(tài)下，通過激光束等(未示出)使釬焊球307熔化。熔化的釬焊球在滑動器電極和彎曲件電極之間固定就位，以實現(xiàn)在這兩個電極之間的電連接。
近年來，隨著磁頭尺寸的減小，它們的電極也在逐漸減小。在上述說明的釬焊設備300中，需要在吸附有釬焊球307的情況下使抽吸嘴301的前端部可靠地且以一種穩(wěn)定的方式靠近所述電極。然而，隨著電極及周圍元件尺寸的減小，在抽吸嘴301的前端部等和電極及其周邊元件不發(fā)生不必要的接觸的情況下，對釬焊球307的保持將變得越來越困難。考慮到這種情況，已經(jīng)提出了另一種釬焊設備。下面，將對該另一種釬焊設備進行描述。
圖10是另一種釬焊設備的局部剖面圖。在該釬焊設備400中，固態(tài)釬焊球407通過加熱熔化，然后噴射到基底(substrate)上，以實現(xiàn)釬焊。
釬焊設備400具有由用于噴射釬焊球407的噴嘴402和用于保持噴嘴402的噴嘴主體413組成的噴嘴組件401，用于儲存多個釬焊球407的儲存器415，以及用于熔化釬焊球407的激光裝置417。噴嘴402朝向末端逐漸形成錐形。在該噴嘴402內(nèi)部設有容納部405和開口403。容納部405位于開口403附近的部分的內(nèi)徑小于釬焊球407的外徑。噴嘴的容納部405的其余部分的內(nèi)徑大于釬焊球407的外徑。因此，被引導到噴嘴402的容納部405中的固態(tài)釬焊球407被保持在容納部405內(nèi)部靠近開403的位置。
來自激光裝置417的激光束通過噴嘴主體部分413的激光引導路徑419被引入噴嘴402的容納部405中，且被施加到保持在開口403附近的釬焊球407上，以熔化釬焊球407。然后，來自壓縮氣體源(未示出)壓縮氣體被供給到容納部405中，從而噴射出熔化的釬焊球407。
在釬焊設備400中，釬焊球407在噴嘴402的容納部405的內(nèi)部熔化，因此熔化的釬焊球407的一部分或全部可能會粘附在容納部405的內(nèi)壁以及開口403周圍的容納部405的外壁表面上。當例如釬焊球407粘附在容納部405的內(nèi)壁表面時，在下個引入到容納部405中的釬焊球407和容納部405的內(nèi)壁表面之間會產(chǎn)生間隙，并且壓縮氣體會通過這個間隙泄漏，從而在容納部內(nèi)無法保持適當?shù)膬?nèi)壓，并且熔化的釬焊球的噴射也可能無法充分的實現(xiàn)。
此外，在噴射熔化釬焊球407的時候，釬焊球407被粘附在內(nèi)壁表面的熔化的釬料的表面張力牽引，從而熔化釬焊球可能沿偏離預定的方向噴射。此外，由于粘附的釬料，噴嘴402的開口403可能阻塞。
為了消除上述問題，需要替換被污染的噴嘴，或去除粘附在噴嘴402內(nèi)壁表面和外壁表面上的釬料。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一個目的是提供一種接合設備和接合方法，通過該接合設備和接合方法既不會使熔化的接合件例如釬料阻塞噴嘴內(nèi)部，也不會使熔化的接合件粘附在開口外圍，從而能夠可靠地噴射接合件。本發(fā)明的另一個目的是提供一種接合設備，一種接合方法，以及一種噴嘴單元，該接合設備、接合方法以及噴嘴單元可進行接合而不需要使噴嘴前端部分與接合件所要粘附的接合對象例如電極接觸。
本發(fā)明的一方面涉及一種用于接合設備中的噴嘴單元，在該接合設備中通過在第一元件和第二元件將要彼此接合的接合位置提供已通過加熱熔化的接合件而實現(xiàn)第一元件和第二元件之間的接合，噴嘴單元包括具有容納接合件的容納空間的柱狀噴嘴組件；允許使容納在容納空間內(nèi)的接合件噴射到接合位置的開口，該開口的直徑大于接合件的直徑，并且與容納空間相通；以及用于可釋放地保持容納空間內(nèi)的接合件的保持/釋放件。
在說明書中，釋放步驟(利用保持/釋放裝置進行釋放)和加熱步驟(利用加熱裝置進行加熱)的同步是指在執(zhí)行釋放步驟的時機與執(zhí)行加熱步驟的時機之間建立一種關系。更具體地，釋放步驟和加熱步驟的同步是指當熔化的釬料和保持/釋放裝置彼此之間不會干涉的位置關系確定后，執(zhí)行加熱步驟開始熔化釬料。因此，不必同時進行釋放和輻射，而且兩個中哪個先執(zhí)行無關緊要。
在說明書中，術語同步是指在釋放和輻射之間建立時機方面的關系，不需要兩者同時進行。
此外，在說明中，術語接合件是指由金屬材料例如釬料、金或合金構成且可以將待接合元件彼此連接的元件。
上述第一和第二元件包括電子元件、基底等，并且是指可以通過釬焊件連接在一起的元件。

圖1A是根據(jù)本發(fā)明實施例1的釬焊設備的局部剖面圖，其中釬焊設備的擋板處于關閉位置；圖1B是根據(jù)本發(fā)明實施例1的釬焊設備的局部剖面圖，其中釬焊設備的擋板處于打開位置；圖2是釬焊步驟圖表；圖3是根據(jù)本發(fā)明實施例2的裝有抽吸機構的噴嘴的局部剖面圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明實施例3的釬焊設備的局部剖面圖；圖5是裝有電磁線圈型致動器的打開/關閉部分的正視圖；圖6是噴嘴組件的剖面圖，裝有壓電致動器的打開/關閉部分安裝在該噴嘴組件中；圖7是使用另一種壓電致動器的打開/關閉部分的正視圖；圖8是轉(zhuǎn)軸型打開/關閉部分的正視圖；圖9是常規(guī)的第一釬焊設備的局部剖面圖；以及圖10是另一種釬焊設備的局部剖面圖。
具體實施例方式
在空中利用熱輻射照射釬料，并使熔化的釬料到達電極。這樣，即使由于局部熔化而使熔化進行的不充分，釬料也會粘附到電極上并停留在預定位置上。然后利用熱輻射對局部熔化的釬料進行此外即使是很短時間的照射，從而可以使電極之間的接合具有足夠的強度。
更優(yōu)選地，通過釋放被保持/釋放裝置保持的釬料供應釬料，并且利用保持裝置進行的釋放及利用熱輻射進行的照射同步進行，從而利用熱輻射對處于空中的釬料進行照射。
下面將參照

本發(fā)明的釬焊設備和釬焊方法的實施例。
(實施例1)圖1A和1B是根據(jù)本發(fā)明一實施例的釬焊設備的局部剖面圖；在圖1A中所述設備的擋板處于關閉位置，在圖1B中擋板處于打開位置。在圖1A和1B所示的實施例的設備中，在基本為矩形的磁頭滑動器109和薄板形彎曲件111之間實現(xiàn)電連接，所述滑動器109將利用釬料即釬焊球107連接在彎曲件111上。
首先說明待釬焊的滑動器109和彎曲件111的結構。在滑動器109一個端部的表面上設置由金屬板形成的滑動器電極113。在彎曲件111上設置由金屬板形成的彎曲件電極115，滑動器電極113和彎曲件電極115以大約90度的角度形成拐角部114。使熔化的釬焊球107a粘附在拐角部114附近的位置，從而滑動器電極109和彎曲件電極115彼此電連接(圖1B)。
在進行釬焊時，重要的是釬料應當既粘附在滑動器電極113上又粘附在彎曲件電極115上。因此，為了使釬料可靠地粘附在滑動器電極113和彎曲件電極115上，使彎曲件111相對于水平方向傾斜，從而將拐角部114用作定位用V形凹槽。在該布置中，即使釬料落下的位置偏離預定位置，也能夠通過滑動器電極113和彎曲件電極115的表面將釬焊球引導到拐角部114。因此，熔化的釬焊球以自對準的方式就位。
釬焊設備100配備有保持/釋放裝置，該裝置用于將固態(tài)釬焊球107可釋放地保持在一位置，該位置從彎曲件電極115上的釬料將牢固連接的預定位置(拐角部114)垂直向上間隔預定距離；加熱裝置，即激光裝置117，該裝置用于向釬焊球107施加熱輻射，以通過加熱熔化釬焊球107；以及控制裝置，即控制部分135，該裝置用于使保持/釋放裝置釋放保持(的操作)與利用加熱裝置進行的加熱同步。
本實施例的保持/釋放裝置由噴嘴組件101和打開/關閉部分122組成。噴嘴組件101裝配有用于噴射釬焊球107的噴嘴102和該噴嘴連接在其上的噴嘴主體104。組成保持/釋放裝置的打開/關閉部分122由下文將要描述的用于打開和關閉噴嘴102的開口106的擋板123和用于驅(qū)動該擋板123的驅(qū)動部分125組成。
噴嘴組件101的噴嘴102配備有用于在其中容納釬焊球107的容納部105，且該噴嘴102是在其縱向端部開口的柱狀件。噴嘴102的一縱向端連接到噴嘴主體104，而其另一端形成用于將釬焊球107噴射到噴嘴外部的開口106。噴嘴102容納部105的內(nèi)壁的直徑至少大于釬焊球107的外徑，因此允許釬焊球107在噴嘴102中自由滾動。開口106的直徑略微大于釬焊球107的直徑，開口106還具有相對于水平方向(圖1A和1B的X方向和Y方向(垂直于圖1A和1B的平面的方向))對釬焊球107進行定位的作用。因此，當對噴嘴102實現(xiàn)定位時，也對噴嘴開口106內(nèi)的釬焊球?qū)崿F(xiàn)了定位。
該噴嘴主體104具有激光引導路徑119，該激光引導路徑沿基本垂直的(重力的)方向(如圖1A和1B所示的垂直方向)延伸并用于導引激光束。激光引導路徑119的上端部由連接在其上的由可以傳輸激光束的玻璃材料制成的激光束傳輸部127封閉。激光引導路徑119的下端部與噴嘴102的一端相連，其中激光引導路徑119和容納部105彼此連通。在此實施例中，激光引導路徑119、噴嘴容納部105、以及開口106的中心軸線位于一條直線上。
此外，噴嘴主體104具有用于將釬焊球107從下述的儲存器部分128引導到噴嘴102的容納部105中的釬焊球引導路徑121。釬焊球引導路徑121的一端連接到儲存器部分128的釬料供給端口129，其另一端連接到噴嘴主體104的激光引導路徑119。因此，儲存器部分128和激光引導路徑119通過釬焊球引導路徑121彼此連接。釬焊球引導路徑121的內(nèi)徑大于釬焊球107的外徑，從而允許釬焊球107在其中滾動。
此外，在噴嘴組件101的激光束傳輸部分127的上方安裝有加熱件，即激光裝置117，以用于通過將熱輻射施加在釬焊球107上而借助于加熱來熔化釬焊球107。激光裝置117是公知的裝置。從激光裝置117發(fā)出的激光束的光軸與激光引導路徑119、噴嘴容納部105、以及開口106的中心軸線位于同一直線上。因此，激光束傳輸通過激光束傳輸部分127，并且進入噴嘴主體104的激光引導路徑119中。此外，激光束通過噴嘴102的容納部105，并通過開口106傳輸?shù)絿娮旖M件101的外部。
打開/關閉部分122設置在噴嘴102的開口106的垂直下方。打開/關閉部分122的擋板123通過驅(qū)動部分125在關閉位置和打開位置之間移動，所述關閉位置位于開口106的正下方并且在該關閉位置處打開/關閉部分122關閉開口106(如圖1A所示)，所述打開位置處于開口106正下方位置的X方向的右側，且在該打開位置處打開/關閉部分122打開開口106。當擋板123處于關閉位置時，引入容納部105的釬焊球107由噴嘴102的內(nèi)壁表面以及擋板123的上表面保持。當擋板123通過驅(qū)動部分125移動到X方向的右側時，噴嘴102的開口106被打開，釬焊球107從噴嘴102落下(沿圖1B中箭頭Y的方向)。噴嘴102位于與釬焊球107所要粘附的拐角部114上的預定位置垂直間隔開預定距離的位置，因此被釋放的釬焊球通過自身重力朝著預定位置下落。
此外，該實施例的釬焊設備100配備有用作控制裝置的控制部分135。該控制部分135輸出用于打開/關閉部分122的擋板123的驅(qū)動部分125的驅(qū)動指令信號，并輸出用于驅(qū)動激光裝置117的放射指令信號，并且該控制部分可以使開始朝著打開位置驅(qū)動擋板123的時機與激光裝置117開始放射激光輻射的時機同步。
此外，釬焊設備100連接到用于儲存釬焊球107的儲存器部分128。儲存器128部分的釬料供給端口129連接到釬焊設備100中噴嘴主體104的釬焊球引導路徑121的一端。因此，離開儲存器部分128的釬料供給端口129的釬焊球107通過釬焊球引導路徑121被導入到激光引導路徑119以及噴嘴容納部105中。
下面將參考圖1A、1B以及圖2說明利用上述構造的釬焊設備100的根據(jù)本發(fā)明實施例的釬焊方法的步驟。
首先，使用移動機構(未示出)移動噴嘴102，以將其定位到一個位置，該位置從熔化的釬焊球107a將粘附的彎曲件電極上的預定位置垂直向上間隔預定距離(步驟S1)。作為移動機構，例如，可以是公知的能沿三個軸線方向(X軸，Y軸，Z軸)移動的機構。利用由例如CCD照相機構成的定位照相機和用于檢查定位照相機(拍攝)的圖像的監(jiān)視器，通過拍攝噴嘴和釬焊的對象來判斷噴嘴是否已經(jīng)定位在預定位置。
然后，將釬焊球107從儲存器部分128經(jīng)由釬料引導路徑121以及激光引導路徑119引導到容納部105中(步驟S2)。這時，打開/關閉部分122處于關閉狀態(tài)，噴嘴102的開口106被擋板123關閉。在容納部105的內(nèi)部，釬焊球107位于開口106附近的擋板123的上表面上，從而完成保持步驟，其中固態(tài)釬料被保持在與釬料所要粘附的位置垂直并向上間隔開預定距離的位置(步驟3)。
在隨后的釋放步驟中，使擋板123沿X方向移動到右側，以釋放對釬焊球107的保持，并使釬焊球從開口106落在位于其垂直下方的彎曲件電極115上的預定位置(步驟S4)。
與上述釋放步驟同步地進行加熱步驟，其中已經(jīng)通過開口106的釬焊球107利用激光裝置117發(fā)出的激光束通過加熱被熔化(步驟S5)。該激光束通過激光束傳輸部分127、激光引導路徑119、容納部105、以及開口106，以便在空中加熱并熔化釬焊球107。
在空中熔化的釬焊球107a粘附到由彎曲件電極115和滑動器電極113限定的拐角部114(步驟S6)，從而完成釬焊。
上述釬焊方法中，在空中—也就是說在從噴嘴102噴出釬焊球時—利用加熱實現(xiàn)釬焊球107的熔化，從而可以防止被加熱并熔化的釬焊球粘附到噴嘴的內(nèi)壁或開口106周圍的噴嘴部分上。
(實施例2)盡管在上述實施例1中采用了打開/關閉部分122，但通過采用抽吸裝置也可以實現(xiàn)對釬焊球的保持和釋放。下面，將說明采用抽吸裝置的實施例2。
圖3是一具有抽吸裝置的釬焊設備的一部分的剖面圖。除了圖3所示的構件，本實施例的釬焊設備的(其它)構件與圖1中的釬焊設備的那些構件相同，因圖3中沒有示出這些實施例中共有的構件。噴嘴152在開口156附近具有抽吸孔187。該抽吸孔187水平延伸穿過噴嘴152的壁(如圖3所示)，并和容納部155連通。此外，抽吸管174的一端連接到抽吸孔187。抽吸裝置，即，產(chǎn)生抽吸力的抽吸裝置175連通到抽吸管174的另一端，抽吸力通過抽吸管174施加給抽吸孔187。此外，抽吸裝置175連接到控制部分185。該控制部分185輸出用于驅(qū)動和停止抽吸裝置175的驅(qū)動指令信號和停止指令信號，以及用于驅(qū)動激光裝置(未示出)的驅(qū)動指令信號，該控制部分還能夠使停止施加抽吸力的時機與停止激光裝置的激光輻射的時機同步。
在上述構造的釬焊設備中，首先驅(qū)動抽吸裝置175，以向抽吸孔187施加抽吸力。對釬焊設備進行定位(參見圖2的步驟S1)，并將釬焊球157供給到釬焊設備的噴嘴容納部155中(參見圖2的步驟S2)。通過抽吸裝置175施加的抽吸力，釬焊球157被保持而關閉抽吸孔187(參見圖2的步驟S3)。在收到來自于控制部分185的停止指令信號時，抽吸裝置175停止施加抽吸力，釬焊球157被釋放(參見圖2的步驟S4)。釬焊球157依靠自重下落。通過使用激光束對已經(jīng)通過開口156并處于空中的釬焊球157進行加熱(參見圖2的步驟S5)。熔化的釬焊球粘附在釬焊對象的拐角部(如圖1A和1B中的附圖標記114所示)，從而完成釬焊(參見圖2的步驟S6)。
在上述實施例1和2中，在通過開口后且在到達由彎曲件電極和滑動器電極限定的拐角部之前整個釬焊球被熔化，但這不應限制性地理解。例如，釬焊球也可以局部熔化。也可以僅熔化釬焊球的與釬焊對象相接觸的一部分釬料，在釬焊球停止在預定位置后再繼續(xù)激光輻射，從而熔化整個釬焊球，以進行釬焊。
在參照圖10所述的釬焊設備400中，在其中釬焊球407在噴射之前在容納部405內(nèi)熔化的方法中，在設定噴射釬焊球407所用壓縮氣體的壓力值時，需要考慮熔化釬料(熔化的釬焊球)的粘度。例如，當壓縮氣體的壓力值小于預定值時，由于熔化釬料的粘度，釬料可能堵塞噴嘴。
相反，當壓縮氣體的壓力值大于預定值時，可以消除粘度的影響。另一方面，熔化的釬料可能會在空中分散或在釬焊物的表面鋪開或飛濺。在本發(fā)明中，固態(tài)釬料通過自重下落，而不使用任何壓縮氣體，從而可以防止由熔化的釬料引起的上述問題。
從防止釬料氧化的觀點出發(fā)，可以在上述說明的本發(fā)明的實施例中加入用于供給壓縮氣體的公知的氣體供應源，并向容納部105中供給惰性氣體(壓縮氣體)例如氮氣，從而向釬料施加壓縮氣體以噴射釬料。而且在所述結構中，從噴嘴中噴出的釬料是固態(tài)的，因此可以將壓縮氣體的壓力值設置成適合于粘附在基底上的值，而無需考慮熔化的釬料的粘度等。因此，在釬料粘附方面不會出現(xiàn)問題。
(實施例3)下面，將說明根據(jù)本發(fā)明實施例3的釬焊設備，其中向釬料施加壓縮氣體以噴射釬料。圖4是根據(jù)本發(fā)明實施例3的釬焊設備的局部剖面圖。
設置將要彼此釬焊在一起的滑動器1151和彎曲件1155，使得滑動器電極1153和彎曲件電極1157呈基本為90度的仰角。設有至少四個滑動器電極和四個彎曲件電極。通過接合劑或夾緊機構實現(xiàn)滑動器1151和彎曲件1155的臨時定位，并且滑動器電極1151和彎曲件1155以近似為90度的仰角構成凹槽1159。對釬焊噴嘴1102進行定位使得該噴嘴在寬度方向(垂直于圖4的平面的方向)上基本對應于凹槽1159的中心位置；釬焊球1131被噴射并熔化以實現(xiàn)電極之間的電聯(lián)接。與本發(fā)明實施例1和2不同的是，本實施例采用這樣一種布置，其中滑動器1151要連接的彎曲件基本水平地延伸。
釬焊設備1100具有釬料供給部1101，即用于從儲存器部分(未示出)向容納部輸送釬料的蓋件；以及用于噴射釬料的噴嘴組件1103。釬焊設備1100設置成使得其噴射方向(由點劃線Y指示)相對于水平方向(由點劃線H指示)傾斜一傾斜角。該傾斜角可以根據(jù)釬焊對象的釬焊位置適當變化。更具體的，該傾斜角的范圍可以從0°(沿基本水平的方向噴射)到360°。
基本為柱狀的釬料供給部1101是可拆卸地連接到噴嘴組件1103的構件，并且其還用作噴嘴組件1103的蓋子。釬料供給部1101具有熱輻射路徑，用于熔化釬料的激光束可通過該熱輻射路徑。熱輻射路徑由激光引導路徑1119和激光束傳輸部分1127組成。激光引導路徑1119在沿釬料供給部1101的橫向彼此相對的上表面1101a和下表面1101b之間延伸。在激光引導路徑1119的上表面1101a側的開口被激光束傳輸部分1127密封，該激光束傳輸部分1127由可以傳輸激光束的玻璃材料制成，且該開口專門用于傳輸激光束。激光引導路徑1119的下表面1101b側是打開的。當釬料供給部分1101連接到噴嘴組件1103時，激光引導路徑1119與下述噴嘴主體1105的內(nèi)部空間1109連通。這樣，雖然在本發(fā)明的實施例1和2中，激光引導路徑和釬焊球引導路徑是分開設置的，但在本發(fā)明的實施例3中，一單個的引導路徑用作激光引導路徑和釬焊球引導路徑。
此外，釬料供給部分1101在激光引導路徑1119的徑向外側具有在其上表面1101a和下表面1101b之間延伸的抽吸路徑1129。抽吸路徑1129在其位于上表面1101a側的端部連接到抽吸部分1133。抽吸路徑1129的下表面1101b側的端部連接到向下開口的單個凹座1131。凹座1131是其內(nèi)部為中空的柱狀凹座。凹座1131的內(nèi)周壁的直徑略大于釬料壁1107的外徑。連接到凹座1131的抽吸路徑1129的直徑小于凹座1131的內(nèi)周壁的直徑。因此，當從抽吸部分1133向抽吸路徑1129施加抽吸力時，抽吸力通過凹座1131施加給釬焊球1107，并且一個釬焊球被容納并保持在凹座1131里。也可以提供多個抽吸路徑1129和凹座1131。
抽吸路徑1129的上表面1101a側的端部還連接到用于提供壓縮氣體的氣體供給部分1135。即抽吸路徑1129也用作氣體供應路徑。用于將從氣體供給部分1135提供的壓縮氣體施加給釬料的氣體供應路線由抽吸路徑1129、凹座1131以及將在下面進行描述的內(nèi)部空間1109和容納部1113組成。壓縮氣體通過氣體供應路線施加給釬焊球，并且釬焊球被噴射出。對于壓縮氣體，可以使用惰性氣體，例如氮氣。
接下來將說明噴嘴組件1103。噴嘴組件1103由用于噴射釬料的噴嘴1102和用于保持噴嘴1102的噴嘴主體1105構成。噴嘴主體1105基本形成為空心的錐體，并且設置在其中的內(nèi)部空間1109逐漸變細。
釬料引導端口1109a是噴嘴主體1105的上表面1105a側的開口，其直徑是這樣確定的，即在釬料供給部分1101已經(jīng)連接到噴嘴主體1105的上表面1105a的狀態(tài)下，凹座1131位于釬料引導端口1109a的開口的內(nèi)部區(qū)域。因此，凹座1131直接與釬料引導端口1109a連通。當由凹座1131保持的釬焊球1107被釋放且向其施加壓縮氣體時，釬焊球1107從釬料引導端口1109a移動到噴嘴主體1105的內(nèi)部空間1109。即內(nèi)部空間1109用作釬料的供給路線。
此外，噴嘴主體1105的內(nèi)部空間1109也用作激光束穿過其中的激光路線。
在噴嘴主體1105的上表面1105a中安裝有O形環(huán)1121。當釬料供給部分1101的下表面1101b連接到噴嘴主體1105的上表面1105a時，噴嘴主體1105和釬料供給部分1101通過O形環(huán)的作用彼此無間隙地接觸。作為將釬料供給部分1101固定到噴嘴組件1103的裝置，可以使用公知的裝置，如通過向釬料供給部分1101施加比內(nèi)部空間1109的內(nèi)壓大的負荷而將釬料供給部分1101壓靠在噴嘴組件上的機構。
噴嘴1102是逐漸變細的柱狀件，并包括容納部1113，其中該噴嘴的縱向相對的端部打開。噴嘴1102的上端部連接到噴嘴主體1105，而該噴嘴的下端形成用于將釬焊球1107噴射到噴嘴的外部的開口1115。
容納部1113的內(nèi)壁的直徑和開口1115的直徑至少大于釬焊球1107的外徑，從而釬焊球1107可以在噴嘴1102內(nèi)自由移動。
此外，本發(fā)明實施例3的釬焊設備1100裝配有用于將固態(tài)釬焊球1107可釋放地保持在一位置的保持/釋放裝置，該位置與釬料將緊固地連接在彎曲件電極1157和滑動器電極1153上的釬焊位置(拐角部1159)間隔預定的距離；加熱裝置，即用于向釬焊球1107施加熱輻射以通過加熱熔化釬焊球1107的激光裝置1117；以及控制裝置，即用于使保持/釋放裝置釋放保持(動作)的時機與加熱裝置進行加熱的時機同步的控制部分1235。
保持/釋放裝置由上述噴嘴組件1103和打開/關閉部分1222構成。打開/關閉部分1222由用于打開和關閉噴嘴1102的開口1115的擋板1223以及用于(沿X方向)驅(qū)動擋板1223的驅(qū)動部分1225構成。
控制部分1235連接到用于控制打開/關閉部分1222的擋板1223的驅(qū)動部分1225，并連接到激光裝置1117，并且使開始驅(qū)動擋板1223到打開位置的時機和激光裝置1117開始激光輻射的時機同步。
此外，噴嘴1102容納部1113的內(nèi)部也構成激光束通過的激光路徑。在本發(fā)明的實施例3中，構件布置成使得釬料供給部分1101的激光引導路徑1119、噴嘴主體1105的內(nèi)部空間1109、噴嘴1102的容納部1113、以及開口1115的各自的中心軸處在同一直線上。因此，已經(jīng)通過激光引導路徑1119的激光束進入內(nèi)部空間1109，并在施加到釬焊球1107之前穿過噴嘴1102的容納部1113。
此外，當釬料供給部分連接到噴嘴組件時，除了開口1115之外，激光引導路徑1119、內(nèi)部空間1109、以及容納部1113均處于密封狀態(tài)。
在上述釬焊設備中，輸送釬焊球1107的步驟如下。驅(qū)動抽吸部分1133以通過抽吸將釬焊球1107保持在凹座1131中。通過抽吸保持釬焊球1107的釬料供給部分1101沿X方向上移動，且釬料供給部分1101連接到噴嘴組件1103。該狀態(tài)如圖4所示。接下來，撤消從抽吸部分1133施加到釬焊球1107的抽吸力。然后，氣體供給部分1135操作，以向釬焊球1107施加壓縮氣體，并且將釬焊球1107引導到內(nèi)部空間1109。釬焊球1107通過內(nèi)部空間1109和噴嘴1102的容納部1113并到達開口1115附近的部分，以利用擋板1223和噴嘴1102進行保持。
使用上述構造的釬料供給部分1101的釬焊設備的操作如下。
當釬焊球1107的傳輸步驟完成后，對裝有釬焊球1107的釬焊設備1100進行定位。移動釬焊設備，使得噴嘴開口1115位于這樣一位置，即該位置沿相對于水平方向H呈傾斜角α的方向與凹槽1159寬度方向的大致中心位置間隔開預定距離，所述凹槽由熔化的釬焊球1107將要粘附的滑動器電極1153和彎曲件電極1157形成。作為移動機構，使用例如可沿三個軸向(X軸，Y軸，Z軸)移動的公知的機構。
將從抽吸部分1133施加到釬焊球1107上的抽吸力撤消，與此同時，通過抽吸路徑1129向釬焊球1107施加來自氣體供給部分1135的壓縮氣體。由凹座1131保持的釬焊球1107沿開口1115的方向移動，并定位在擋板1223上，從而關閉開口1115。
接著，當擋板1223的驅(qū)動部分1225被驅(qū)動時，擋板1223移動以打開開口1115。打開開口1115后，進行激光輻射以熔化釬焊球1107。壓縮氣體的施加可在打開擋板之前和之后的適當時候進行。即，在打開擋板之前，通過向釬焊球施加壓縮氣體而將釬焊球定位在擋板上。在打開擋板之后，利用壓縮氣體將釬焊球從開口1115噴射到噴嘴1102的外部。
從激光裝置1117發(fā)出的激光束穿過激光傳輸部分1127、激光引導路徑1119、以及內(nèi)部空間1109，然后施加在從開口1115中噴射出的固態(tài)釬焊球上并使該釬焊球熔化。
熔化的釬焊球1107粘附到預定部分(凹槽部1159)，從而完成釬焊。
在配備有上述釬料供給部分的釬焊設備中，可以將釬焊球保持在密閉的空間里，因此可以可靠和容易地將用于噴射的壓縮氣體的壓力值設定為預定值，從而可以可靠地噴射釬焊球。
此外，無論從釬焊設備中噴射出的釬焊球的方向怎樣，都可以使釬焊球到達給定的釬焊位置。
(打開/關閉部分的結構)下面將參照

可應用于本發(fā)明實施例1到3中的打開/關閉部分結構的具體示例。
(結構示例1)根據(jù)結構示例1的打開/關閉部分是利用電磁線圈型致動器作為驅(qū)動源的直接作用類型。圖5是在處于開口關閉狀態(tài)的安裝有電磁線圈型致動器的打開/關閉部分的正視圖。根據(jù)結構示例1的打開/關閉部分2122具有用于關閉噴嘴2102的開口2116的擋板2123；驅(qū)動部分，即通過沿X方向移動擋板2123實現(xiàn)打開和關閉開口的電磁線圈型致動器2125；用于保持擋板2123和電磁線圈型致動器2125的打開/關閉部分的主體2201；用于使擋板2123沿水平方向往復運動的導向裝置2226；以及由打開/關閉部分的主體2201支承且用于保持導向裝置2226的臂件2203。
此外，設有連接到電磁線圈型驅(qū)動器中的活動芯部的桿2205。
此外，臂件2203的一端固定到打開/關閉部分的主體2201。臂件2203的另一端通過導向裝置連接到致動器2125的桿2205的一端以及擋板2123。因此，當桿2205(沿X方向)往復運動時，擋板2123通過導向裝置2226也沿X軸方向往復運動。
當收到控制部分的驅(qū)動信號時，具有上述結構的打開/關閉部分2122沿X方向移動(至圖5中的右側)以打開開口2116，或向左移動以關閉開口2116。
(結構示例2)根據(jù)結構示例2的打開/關閉部分是利用壓電致動器的樞軸類型打開/關閉部分。圖6是使用安裝有壓電致動器的打開/關閉部分的噴嘴組件的剖面圖。在圖6所示的狀態(tài)中，開口3115由打開/關閉部分3222關閉。噴嘴組件3103基本具有與圖4中的噴嘴組件1103相同的結構，因此只說明它們之間的差別。
構成打開/關閉部分3222的擋板3223和用于驅(qū)動該擋板3223的驅(qū)動部分即壓電致動器3225連接到噴嘴主體3105的外圍。
擋板3223具有基本呈L形的構型，并且具有用于關閉噴嘴3107的開口3115的扁平部分3223a，和通過彎曲部與扁平部分3223a相連的擋板主體部分3223b。擋板主體部分3223b具有連接到下述固定塊3237上的銷3237b的開口3223c。
將擋板3223固定到噴嘴3107的固定塊3237由與噴嘴3107的外圍一致的柱狀孔部以及通過螺釘或類似物固定的裂口緊固部分構成。其外徑略小于擋板3223開口3223c直徑的銷3237b從塊件3237a伸出，并且擋板3223可以將銷3237b作為軸而繞其轉(zhuǎn)動。擋板3223通過銷3237b的作用連接到塊件3237a。
此外，驅(qū)動部分即壓電致動器3225的一端連接到擋板3223。致動器3225是通常所說的彎曲致動器，其中壓電元件3233和3235連接到板狀金屬薄片3231的任一側。致動器的另一端通過固定在噴嘴主體3105上部的第二固定塊3239的作用固定到噴嘴主體3105。
當致動器處于正常位置(圖6所示狀態(tài))時，擋板3233關閉開口3115。為了打開開口3115，向壓電元件3233和3235施加電壓，以使一個壓電元件3233收縮(如箭頭D所示)并使另一壓電元件3235膨脹(如箭頭E所示)，從而使致動器3225朝著噴嘴主體3105彎曲(如箭頭Y所示)。連接到致動器3225的擋板3233繞銷3223c轉(zhuǎn)動(如箭頭Z所示)，以打開開口3107。
(結構示例3)根據(jù)結構示例3的打開/關閉部分是使用另一種壓電致動器的樞轉(zhuǎn)型打開/關閉部分。圖7是該打開/關閉部分的正視圖。在圖7所示的狀態(tài)中，開口4107由擋板4223關閉。在圖7中，只用虛線示出噴嘴組件的噴嘴4107。由于這里的噴嘴組件與圖4中的噴嘴組件具有相同的結構，因此省略對其的說明。
打開/關閉部分4222具有擋板4223和壓電致動器4225，該壓電致動器4225是用于驅(qū)動擋板4223的驅(qū)動部分。擋板4223具有基本為L形的構型，并且具有用于關閉開口4107的扁平部分4223a和連接到下述板簧4229的固定部分4223b。
致動器4225是通常所說的堆疊型壓電致動器。致動器4225由一端開口的筒狀殼體4227、安裝在殼體4227內(nèi)部的堆疊型壓電元件(未示出)以及伸出部4231構成，該伸出部連接到壓電元件并從殼體4227的開口伸出并且是可動的。殼體4227的與其開口端相對的封閉的另一端固定到打開/關閉部分的主體4235。螺旋彈簧4233懸置在板簧4229的彎曲部分4229a和打開/關閉部分的主體4235之間，以便沿致動器4227的縱向延伸。預載荷通過螺旋彈簧4233施加給壓電元件。
在上述結構中，當電壓施加到壓電元件上時，壓電元件膨脹，且如圖7所示伸出部4231將板簧的彎曲部分4229a向左擠壓，從而板簧的彎曲部分4229a逆時針傾斜(偏轉(zhuǎn))，并且如圖7所示連接到板簧彎曲部分的擋板4223向右轉(zhuǎn)動，從而打開開口4107。在沒有電壓施加到壓電元件的狀態(tài)，壓電元件恢復到正常(收縮)狀態(tài)，開口4107關閉。
(結構示例4)根據(jù)結構示例4的打開/關閉部分是其中通過回轉(zhuǎn)擋板而實現(xiàn)打開/關閉的回轉(zhuǎn)型打開/關閉部分。圖8是打開/關閉部分的正視圖。噴嘴組件5103基本具有與圖4所示噴嘴組件1103相同的結構，從而將省略對其的說明。
擋板5223的一端關閉噴嘴5102的開口5115，擋板5223的另一端由軸5225支承。軸5225連接到旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部分(未示出)，并且軸5225利用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部分沿箭頭R的方向旋轉(zhuǎn)(樞轉(zhuǎn))。在上述結構的打開/關閉部分中，噴嘴5102的開口5115根據(jù)軸5225的轉(zhuǎn)動位置通過擋板5223打開或關閉。當然，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部分(未示出)可以由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)例如脈沖電動機構成。但是，也可采用其中將直接作用型驅(qū)動系統(tǒng)如壓電致動器的運動轉(zhuǎn)化為旋轉(zhuǎn)運動的結構。
下面，將說明一個實施例，其中利用本發(fā)明實施例3的釬焊設備進行釬焊操作。
釬焊對象是平面尺寸為0.95mm×0.6mm的黃金電極。所用的釬焊球是直徑為110μm的球體。氮氣被用作壓縮氣體。從噴嘴前端到工件的釬焊位置的距離為0.5mm。使用的激光是波長為1064nm的YAG激光，且從開始輻射起激光束的輻射時間為0.3msec。在釬焊位置處激光束的光點直徑是φ200μm。
下表示出在上述條件下進行釬焊操作的實施例1至3的結果，其中從開口打開到激光輻射開始之間的時間段以及壓縮氣體的壓力值是變化的。

從上表可以看出，在全部實施例1至3中，可以在預定位置以符合要求的方式實現(xiàn)釬焊。
根據(jù)實施例1、2和3，提供一種釬焊方法和一種釬焊設備，其中固態(tài)釬料被保持在與基底間隔開預定距離的位置，且在該位置釋放對釬料的保持以便在空中對釬料施加熱輻射。因此，不需要保持熔化的釬料，從而可以防止用于保持釬料的裝置如噴嘴受到污染。
此外，利用與電極間隔開的釬料保持/釋放件來進行釬焊，因此可以防止釬料保持/釋放裝置與構成釬焊對象的電極接觸，從而可以防止電極或釬料保持件損壞。
雖然在上述實施例1、2和3中使用了激光裝置，但也可以利用鹵素光、熱空氣等來加熱和熔化釬焊球即釬料。此外，雖然在上述實施例中使用球狀釬焊球作為釬料，但釬料的構型不特別局限于球狀。
此外，雖然在上述實施例中，激光束的光軸、激光引導路徑的中心軸線、容納部的中心軸線、以及開口的中心軸線沿相同的方向彼此一致，這不應被限制性地理解。只要激光裝置可以沿從開口下落的釬焊球所走的路徑利用激光束進行掃描，則可以使用任何類型的(激光)裝置，當然也沒有必要使激光束的光軸與噴射后下落的釬焊球所走的路徑匹配。
此外，保持/釋放件不局限于上述實施例中的保持/釋放件。例如，作為噴嘴打開/關閉機構，也可以采用光圈(iris)結構或是由多個葉片構成的裂口端頭結構。
此外，有必要使釋放釬焊球與施加激光束同步，從而可以在釬焊球處于空中即在到達電極之前使其熔化。也就是說，只要釬焊球的釋放和激光輻射彼此基本同步，兩者中無論是哪個先執(zhí)行無關緊要。
此外，雖然在本說明書中電極的接合件是釬料，但這不應該被限制性地理解。例如，也可使用一些其它的金屬，例如黃金或合金。
此外，雖然在本說明書中供給到噴嘴中的氣體是惰性氣體(氮氣)，但也可利用可以還原接合件的氣體(例如氫氣)。
本發(fā)明在不脫離其實質(zhì)特征的情況下可以包括多種形式。因此，上述實施例僅作為示例給出，并且顯然不應限制性地理解。
本申請要求享有2005年3月30日提交的日本專利申請No.2005-97614以及2005年11月4日提交的日本專利申請No.2005-320252的優(yōu)先權，這兩篇申請的全文引用在此作為參考。
權利要求
1.一種用于將第一元件釬焊到第二元件的釬焊方法，包括如下步驟將固態(tài)釬料保持在從第一元件和第二元件將要彼此釬焊的釬焊位置垂直向上間隔開預定距離的位置；釋放對釬料的保持，以使釬料向垂直位于其下方的第二元件上的預定位置下落；以及通過使用熱輻射來向釬料施加熱量從而加熱釬料，其中，在釋放對釬料的保持后，對處于空中的釬料進行加熱，從而將第一元件釬焊到第二元件。
2.一種用于將電子元件釬焊到基底的釬焊方法，包括如下步驟將固態(tài)釬料保持在從電子元件和基底將要彼此釬焊的釬焊位置垂直向上間隔開預定距離的位置；釋放對釬料的保持，以使釬料向垂直位于其下方的基底上的預定位置下落；以及通過使用熱輻射來向釬料施加熱量從而加熱釬料，其中，在釋放對釬料的保持后，對處于空中的釬料進行加熱，從而將電子元件釬焊到基底。
3.一種用于將電子元件釬焊到基底的釬焊方法，包括如下步驟將固態(tài)釬料保持在從電子元件和基底將要彼此釬焊的釬焊位置垂直向上間隔開預定距離的位置；釋放對釬料的保持，以使釬料向垂直位于其下方的基底上的預定位置下落；以及通過向釬料施加熱輻射而加熱釬料，其中，通過使釋放步驟與加熱步驟同步來釋放釬料，并且對處于空中的釬料進行加熱，從而在釬焊位置將基底和電子元件彼此釬焊。
4.如權利要求1所述的釬焊方法，其特征在于，所述熱輻射是激光束。
5.如權利要求2所述的釬焊方法，其特征在于，所述熱輻射是激光束。
6.如權利要求3所述的釬焊方法，其特征在于，所述熱輻射是激光束。
7.如權利要求1所述的釬焊方法，其特征在于，在釋放步驟中向釬料施加壓縮空氣。
8.如權利要求2所述的釬焊方法，其特征在于，在釋放步驟中向釬料施加壓縮空氣。
9.如權利要求3所述的釬焊方法，其特征在于，在釋放步驟中向釬料施加壓縮空氣。
10.如權利要求4所述的釬焊方法，其特征在于，在釋放步驟中向釬料施加壓縮空氣。
11.如權利要求5所述的釬焊方法，其特征在于，在釋放步驟中向釬料施加壓縮空氣。
12.如權利要求6所述的釬焊方法，其特征在于，在釋放步驟中向釬料施加壓縮空氣。
13.一種用于將電子元件釬焊到基底的釬焊設備，包括保持/釋放裝置，該保持/釋放裝置用于將固態(tài)釬料保持在從電子元件和基底將要彼此釬焊的釬焊位置垂直向上間隔開預定距離的位置，并用于釋放對釬料的保持，以使釬料落在垂直位于其下方的基底上；加熱裝置，該加熱裝置用于通過使用熱輻射來向釬料施加熱量從而加熱釬料；以及控制裝置，該控制裝置用于使保持/釋放裝置對保持的釋放與加熱裝置的加熱同步；其中，釋放對釬料的保持并且對處于空中的釬料進行加熱，從而在釬焊位置將電子元件和基底彼此釬焊。
14.如權利要求13所述的釬焊設備，其特征在于，所述加熱裝置是激光裝置，所述熱輻射是激光束。
15.如權利要求13所述的釬焊設備，其特征在于，施加激光束的方向與釬料下落的方向相同。
16.如權利要求14所述的釬焊設備，其特征在于，施加激光束的方向與釬料下落的方向相同。
17.如權利要求13所述的釬焊設備，其特征在于，所述保持/釋放裝置是噴嘴，該噴嘴具有排出口、容納釬料并與排出口連通的容納室、以及用于打開和關閉排出口的打開/關閉部分；固態(tài)釬料設置在容納室中，排出口由打開/關閉部分關閉。
18.如權利要求14所述的釬焊設備，其特征在于，所述保持/釋放裝置是噴嘴，該噴嘴具有排出口、容納釬料并與排出口連通的容納室、以及用于打開和關閉排出口的打開/關閉部分；固態(tài)釬料設置在容納室中，排出口由打開/關閉部分關閉。
19.如權利要求15所述的釬焊設備，其特征在于，所述保持/釋放裝置是噴嘴，該噴嘴具有排出口、容納釬料并與排出口連通的容納室、以及用于打開和關閉排出口的打開/關閉部分；固態(tài)釬料設置在容納室中，排出口由打開/關閉部分關閉。
20.如權利要求16所述的釬焊設備，其特征在于，所述保持/釋放裝置是噴嘴，該噴嘴具有排出口、容納釬料并與排出口連通的容納室、以及用于打開和關閉排出口的打開/關閉部分；固態(tài)釬料設置在容納室中，排出口由打開/關閉部分關閉。
21.一種用于將第一元件接合到第二元件的接合方法，包括如下步驟將固態(tài)接合件保持在與第一元件和第二元件將要彼此接合的接合位置間隔開預定距離的位置；釋放對接合件的保持；將固態(tài)接合件噴射到接合位置上；以及通過使用熱輻射來向接合件施加熱量從而加熱接合件，其中，在釋放接合件后對其進行加熱，以將第一元件接合到第二元件上的接合位置。
22.如權利要求21所述的接合方法，其特征在于，在噴射步驟中，向接合件施加壓縮氣體，從而噴射出接合件。
23.一種用于將電子元件接合到基底的接合設備，包括保持/釋放裝置，該保持/釋放裝置用于將固態(tài)接合件可釋放地保持在與電子元件將要接合的基底上的接合位置間隔開預定距離的位置處；噴射裝置，該噴射裝置用于將接合件噴射到接合位置；加熱裝置，該加熱裝置用于通過使用熱輻射來向接合件施加熱量從而加熱接合件；控制裝置，該控制裝置用于使保持/釋放裝置對保持的釋放與加熱裝置的加熱同步；其中，在控制裝置釋放對接合件的保持后對接合件進行加熱，從而將電子元件接合到基底上的接合位置。
24.如權利要求23所述的接合設備，其特征在于，所述保持/釋放裝置通過直接作用系統(tǒng)來實現(xiàn)對接合件的保持或釋放。
25.如權利要求23所述的接合設備，其特征在于，所述保持/釋放裝置通過樞轉(zhuǎn)系統(tǒng)來實現(xiàn)對接合件的保持或釋放。
26.如權利要求23所述的接合設備，其特征在于，所述保持/釋放裝置通過回轉(zhuǎn)系統(tǒng)來實現(xiàn)對接合件的保持或釋放。
27.如權利要求24所述的接合設備，其特征在于，所述保持/釋放裝置具有噴嘴組件，該噴嘴組件具有開口和用于打開和關閉該開口的打開/關閉部分，該打開/關閉部分由壓電致動器驅(qū)動。
28.如權利要求25所述的接合設備，其特征在于，所述保持/釋放裝置具有噴嘴組件，該噴嘴組件具有開口和用于打開和關閉該開口的打開/關閉部分，該打開/關閉部分由壓電致動器驅(qū)動。
29.如權利要求26所述的接合設備，其特征在于，所述保持/釋放裝置具有噴嘴組件，該噴嘴組件具有開口和用于打開和關閉該開口的打開/關閉部分，該打開/關閉部分由壓電致動器驅(qū)動。
30.一種用于接合設備中的噴嘴單元，其中，第一元件和第二元件之間的接合通過在第一元件和第二元件將要彼此接合的接合位置處提供通過加熱而被熔化的接合件來實現(xiàn)，該噴嘴單元包括柱狀噴嘴組件，該柱狀噴嘴組件具有容納接合件的容納空間和允許將容納在容納空間中的接合件噴射在接合位置上的開口，所述開口的直徑大于接合件的直徑并且該開口與容納空間連通；以及用于將接合件可釋放地保持在容納空間中的保持/釋放裝置。
全文摘要
本發(fā)明涉及釬焊方法，釬焊設備，接合方法，接合設備，及噴嘴單元。本發(fā)明提供了一種用于接合設備中的噴嘴單元，其中，第一元件和第二元件之間的接合通過在第一元件和第二元件將要彼此接合的接合位置提供已通過加熱熔化的接合件來實現(xiàn)。噴嘴單元包括柱狀噴嘴組件，該柱狀噴嘴組件具有容納接合件的容納空間和允許將容納在容納空間中的接合件噴射在接合位置上的開口，所述開口的直徑大于接合件的直徑并且該開口與容納空間連通；以及用于將接合件可釋放地保持在容納空間中的保持/釋放裝置。
文檔編號G11B5/33GK1846919SQ20061008208
公開日2006年10月18日 申請日期2006年3月30日 優(yōu)先權日2005年3月30日
發(fā)明者和合達也, 水野亨, 進藤修 申請人:Tdk株式會社