專利名稱：可變形鏡及具有該可變形鏡的光學(xué)拾取裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種允許鏡面形狀變化的可變形鏡，尤其是涉及一種在構(gòu)成該可變形鏡的壓電元件和其它部件之間的結(jié)合結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還涉及一種光學(xué)拾取裝置，該光學(xué)拾取裝置設(shè)置有具有這種結(jié)合結(jié)構(gòu)的可變形鏡。
背景技術(shù)：
當(dāng)使用光學(xué)拾取裝置從例如CD(壓縮盤(pán))或DVD(數(shù)字多用盤(pán))等光盤(pán)中讀取信息或者向其寫(xiě)入信息的時(shí)候，光學(xué)拾取裝置的光軸和盤(pán)面之間的關(guān)系理論上應(yīng)當(dāng)是垂直的。然而在現(xiàn)實(shí)中，當(dāng)光盤(pán)旋轉(zhuǎn)的時(shí)候，它們的關(guān)系并非總是保持垂直。結(jié)果，對(duì)于諸如CD或DVD之類的光盤(pán)而言，當(dāng)其盤(pán)面相對(duì)于光軸變?yōu)閮A斜的時(shí)候，激光的光路會(huì)彎折從而產(chǎn)生彗形像差。
當(dāng)產(chǎn)生彗形像差的時(shí)候，照在光盤(pán)上的激光點(diǎn)會(huì)偏離正確位置；并且不利地是，當(dāng)彗形像差比允許值大時(shí)，就無(wú)法準(zhǔn)確地讀寫(xiě)信息?，F(xiàn)有技術(shù)中已經(jīng)提出了一些方法，以利用作為矯正諸如彗形像差之類的波前像差的裝置的可變形鏡來(lái)矯正像差。
例如，JP-A-H05-333274提出了一種方法，其通過(guò)使用多個(gè)致動(dòng)器改變可變形鏡的鏡子本身的形狀來(lái)進(jìn)行相位控制。然而其缺點(diǎn)是，這種方法不適合用于諸如光學(xué)拾取裝置之類的小型部件中，因?yàn)檫@種方法沒(méi)有考慮布線和其它的因素。另外，無(wú)論是從技術(shù)上還是從成本上，都難以將那些用作致動(dòng)器的多層壓電元件小型化。
JP-A-2004-109562提出，用設(shè)置有壓電元件且具有單壓電晶片或者雙壓電晶片形狀的波前像差矯正鏡來(lái)矯正波前像差在降低電壓和小型化方面是有益的。JP-A-2004-109562還提出，在以該種方式構(gòu)造的可變形鏡中，鏡子和壓電元件通過(guò)粘合劑結(jié)合在一起。
然而，當(dāng)將設(shè)置有如圖4所示的通過(guò)利用壓電元件的側(cè)向位移而使鏡面變化的可變形鏡101的光學(xué)拾取裝置用于矯正波前像差時(shí)，將會(huì)產(chǎn)生下面的問(wèn)題。這里，圖4為示出了構(gòu)成可變形鏡101的部件的分解立體圖。
當(dāng)將由PZT(鋯鈦酸鉛，Pb(ZrXTi1-X)O3)形成的多個(gè)壓電元件104結(jié)合于由硅形成的鏡子部103和由玻璃形成的支撐基部102時(shí)，由于不同的物理性能，熱粘合(heat bonding)將導(dǎo)致結(jié)合部的結(jié)合強(qiáng)度不足。在這種情況下如圖5中所示，當(dāng)通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)壓電元件104使鏡子部103的鏡面變化時(shí)，所述多個(gè)壓電元件104和鏡子部103之間的多個(gè)結(jié)合部105a以及所述多個(gè)壓電元件104和支撐基部102之間的多個(gè)結(jié)合部105b被置于負(fù)載下。這里，圖5是沿圖4中b-b線剖開(kāi)的剖視圖，其中，示出了左側(cè)壓電元件和右側(cè)壓電元件104的膨脹狀態(tài)。
當(dāng)結(jié)合部的結(jié)合強(qiáng)度不足時(shí)，增加了在壓電元件104被驅(qū)動(dòng)時(shí)壓電元件104和鏡子部103之間的結(jié)合或者壓電元件104和支撐基部102之間的結(jié)合斷開(kāi)的可能性，從而減小了可變形鏡在機(jī)械強(qiáng)度方面的可靠性。而且，施加于結(jié)合部105a和105b上的負(fù)載隨著壓電元件104的膨脹量和壓縮量的增加而增加，從而使得壓電元件104的膨脹量和壓縮量不再增加，使像差矯正的范圍變窄。
有鑒于此，如JP-A-2004-109562提出，可以在鏡子部103和壓電元件104之間使用粘合劑來(lái)增加結(jié)合強(qiáng)度。然而在這種情況下，將會(huì)產(chǎn)生下面的問(wèn)題即當(dāng)鏡子部103由硅形成時(shí)，鏡子部103的導(dǎo)電性使得無(wú)需特意地形成電極。然而，當(dāng)將粘合劑應(yīng)用在鏡子部103和壓電元件104之間時(shí)，鏡子部103和壓電元件104之間的電導(dǎo)通被阻斷，這使得有必要特意形成電極部分。這樣，粘合劑的應(yīng)用使得可變形鏡的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，并由此不利地增加了部件的數(shù)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種可變形鏡，其在不增加部件數(shù)量的情況下能夠提高壓電元件和受到所述壓電元件作用的部件之間的結(jié)合強(qiáng)度，并且正確地矯正像差。本發(fā)明的另一目的是提供一種設(shè)置有該可變形鏡的光學(xué)拾取裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，提供一種可變形鏡，其包括支撐基部；鏡子部，其設(shè)置為面對(duì)該支撐基部，并且在該鏡子部的背對(duì)該支撐基部的一側(cè)上具有受光束照射的鏡面；以及壓電元件，所述壓電元件夾在該支撐基部和該鏡子部之間，并且改變?cè)撶R面的形狀。這里，通過(guò)施加熱和壓力使所述壓電元件通過(guò)金屬薄層結(jié)合至該支撐基部和該鏡子部中的至少其中之一。
在這種結(jié)構(gòu)下，由于通過(guò)置于壓電元件與支撐基部之間或壓電元件與鏡子部之間的金屬層增加了壓電元件與支撐基部之間的結(jié)合部的強(qiáng)度或壓電元件與鏡子部之間的結(jié)合部的強(qiáng)度，因此可以在結(jié)合部不使用粘合劑的情況下提供十分可靠地可變形鏡。而且，由于用于增加結(jié)合強(qiáng)度的金屬的薄層(金屬薄層)具有導(dǎo)電性，因此無(wú)需特意地在鏡子部或支撐基部上形成電極。這有助于簡(jiǎn)化布線和減少部件的數(shù)量。
另外，通過(guò)施加熱和壓力使所述壓電元件通過(guò)金屬薄層結(jié)合至在該支撐基部上形成的突起?？蛇x擇地，通過(guò)施加熱和壓力使所述壓電元件通過(guò)金屬薄層結(jié)合至在該鏡子部上形成的突起?？蛇x擇地，通過(guò)施加熱和壓力使所述壓電元件通過(guò)金屬薄層結(jié)合至在該支撐基部上形成的突起和在該鏡子部上形成的突起。這樣，當(dāng)在所述突起上形成金屬薄層時(shí)，可以省略在部件上形成掩模的工藝，從而使制造工藝更簡(jiǎn)便。
而且，該金屬薄層為金薄層，并且該金薄層在400℃至500℃范圍內(nèi)的溫度下暴露于熱和壓力下，這樣確保了在不使用粘合劑的情況下的牢固結(jié)合。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方案，提供了一種光學(xué)拾取裝置，該光學(xué)拾取裝置設(shè)置有如上所述的可變形鏡。


圖1A示出了構(gòu)成本發(fā)明實(shí)施的可變形鏡的部件的分解立體圖；圖1B為沿圖1A中a-a線剖開(kāi)的剖視圖；圖2示出了本發(fā)明實(shí)施的可變形鏡的壓電元件、鏡子部和支撐基部如何結(jié)合在一起的剖視圖；圖3示出了本發(fā)明實(shí)施的利用可變形鏡的光學(xué)拾取裝置的光學(xué)系統(tǒng)輪廓的示圖；圖4示出了構(gòu)成傳統(tǒng)可變形鏡1的部件的分解立體圖；以及圖5為沿圖4中b-b線剖開(kāi)的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
下文將參考

本發(fā)明的實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解的是，以下所述的實(shí)施例僅為示例，因此并不表示對(duì)于本發(fā)明實(shí)施的方式進(jìn)行任何限定。還應(yīng)當(dāng)理解的是，在附圖中，各部件的尺寸和厚度、形狀變化時(shí)發(fā)生的形狀變化量等等，都出于便于理解的目的而進(jìn)行了放大，因此這些尺寸與實(shí)際觀測(cè)到的尺寸并不相同。
圖1A示出了構(gòu)成本發(fā)明實(shí)施的可變形鏡的部件的分解立體圖，并且圖1B為沿圖1A中a-a線剖開(kāi)的剖視圖。
本發(fā)明的可變形鏡1被構(gòu)造為像差矯正鏡，其利用壓電元件4的豎直位移使形成在鏡子部3的頂側(cè)的鏡面的形狀變化。支撐基部2上安裝有多個(gè)壓電元件4和多個(gè)固定部件5。支撐基部2例如由諸如玻璃或陶瓷之類的絕緣材料形成。支撐基部2中形成有多個(gè)電極孔6，通過(guò)所述電極孔6將電壓供至壓電元件4。
鏡子部3反射從光源射入的光束。鏡子部3優(yōu)選由剛性的并且可以導(dǎo)電的材料形成，從而能將電壓供至壓電元件4。這種材料的實(shí)例包括硅以及諸如鋁和鐵之類的金屬。鏡子部3也可以由諸如玻璃之類的絕緣材料形成，盡管這樣鏡子部就不具有導(dǎo)電性。在鏡子部3是由諸如玻璃之類的絕緣材料形成的情況下，為了實(shí)現(xiàn)與壓電元件4電導(dǎo)通，有必要例如在鏡子部3的與其鏡面相對(duì)側(cè)上形成電極圖案。
鏡子部3可以由單一材料形成?？蛇x擇地，也可以由硅形成鏡子部3的基底部，然后通過(guò)鋪設(shè)鋁涂層或類似物來(lái)覆蓋該基底部的頂側(cè)以形成鏡面。也可以在基底部上形成多個(gè)層。
如圖1A所示，壓電元件4夾在支撐基部2和鏡子部3之間，并且四個(gè)壓電元件沿十字形方向?qū)ΨQ地設(shè)置在支撐基部2上。根據(jù)施加于壓電元件4的電壓的方向，壓電元件4膨脹和壓縮。用于向壓電元件4供電的電極例如為由導(dǎo)電的鏡子部3構(gòu)成的公共電極和由在支撐基部2的表面上圖案化形成的單獨(dú)電極。壓電元件4例如由諸如PZT之類的壓電陶瓷形成；然而，這些壓電元件4也可以由其它任何的材料形成。
在這個(gè)實(shí)施例中，壓電元件4為矩形柱狀；然而，這些壓電元件并不局限于此特定形狀，而且可以根據(jù)本發(fā)明的目的進(jìn)行改變。例如，壓電元件4可以為圓柱形，或可以形成為在壓電元件4與鏡子部3或支撐基部2相接觸的部分形成有突起。除了本實(shí)施例中具體描述的以外，可以任意設(shè)置具有任意數(shù)量的壓電元件4。然而，為了在各位置均勻地改變鏡子部3的鏡面形狀，優(yōu)選將多個(gè)壓電元件4對(duì)稱設(shè)置；當(dāng)考慮到鏡子部3的尺寸和其他因素時(shí)，優(yōu)選沿著十字形方向?qū)ΨQ地設(shè)置四個(gè)壓電元件4。更優(yōu)選的是，使壓電元件4在俯視時(shí)，相對(duì)于通過(guò)鏡子部3的鏡面中心的軸線對(duì)稱設(shè)置。在設(shè)置多個(gè)壓電元件4的情況下，優(yōu)選單獨(dú)調(diào)整各壓電元件4的高度，以防止鏡子部3的鏡面發(fā)生畸變。
如圖1A和圖1B所示，多個(gè)固定部5夾在支撐基部2和鏡子部3之間，并且設(shè)置在俯視時(shí)沿十字形方向?qū)ΨQ設(shè)置的多個(gè)壓電元件4的外部。而且，固定部5的頂面結(jié)合于鏡子部3。在本實(shí)施例中，固定部5與支撐基部2分開(kāi)；可選擇地，支撐基部2和固定部5可以一體成形，或根據(jù)本發(fā)明的目的形成為其它任何形狀或進(jìn)行其它的改變。優(yōu)選的是，各固定部5的高度相等以防止鏡子部3的鏡面畸變，還優(yōu)選的是，調(diào)整固定部5和壓電元件4的高度之間的關(guān)系以使鏡面不產(chǎn)生畸變。
在該實(shí)施例中，如圖1所示，可變形鏡1整體上為長(zhǎng)方體形。然而，可變形鏡1的形狀并不限定于這種特定的形狀，而是可以根據(jù)本發(fā)明的目的進(jìn)行修改。例如，支撐基部2、鏡子部3或者其他任何部件都可以形成為圓形，并且支撐基部2可以形成為比鏡子部3大。
下面將參考圖2說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)造，在該構(gòu)造中，壓電元件4和鏡子部3之間的結(jié)合強(qiáng)度以及壓電元件4和支撐基部2之間的結(jié)合強(qiáng)度得以提高。圖2為圖1B的剖視圖，示出了在壓電元件4和鏡子部3結(jié)合在一起以及壓電元件4和支撐基部2結(jié)合在一起之前的狀態(tài)。
例如在該實(shí)施例中，金(Au)的薄層7形成在由PZT形成的壓電元件4的頂面4a和底面4b上。而且，金的薄層7形成在由硅形成的鏡子部3的底面3a上以及由玻璃形成的支撐基部2的頂面2a上。即，在各結(jié)合部結(jié)合在一起之前，鏡子部3和壓電元件4之間的結(jié)合部的成分為硅-金-鋯鈦酸鉛；壓電元件4和支撐基部2之間的結(jié)合部的成分為鋯鈦酸鉛-金-玻璃。
可以通過(guò)任何方式形成金的薄層7。例如，通過(guò)氣相沉積或者濺鍍來(lái)形成金的薄層7。
這些部件在形成有金的薄層7的各結(jié)合面處結(jié)合在一起。此時(shí)，這些部件優(yōu)選在400℃至500℃范圍內(nèi)，在熱和壓力的作用下結(jié)合在一起。例如，如表1所示，與這些部件在溫度為450℃時(shí)在熱和壓力的作用下結(jié)合在一起的情況相比，溫度越高，結(jié)合強(qiáng)度越低。另一方面，低于370℃的溫度會(huì)導(dǎo)致結(jié)合強(qiáng)度不足。采用拉伸強(qiáng)度試驗(yàn)(INSTRON公司的微量試驗(yàn)?zāi)Ｐ?848(Micro Tester Model 5848 of INSTRON Corp.))測(cè)量的結(jié)合強(qiáng)度如下表1

在該實(shí)施例中，支撐基部2由玻璃形成，鏡子部3由硅形成，壓電元件4由PZT形成，并且通過(guò)氣相沉積或者其它方式形成在這些部件的結(jié)合面上的金屬由金形成；但是并不局限于這些特定材料，而且只要在結(jié)合部的強(qiáng)度能夠增加的前提下就可以改變材料，而這也是本發(fā)明的一個(gè)目的。即，通過(guò)氣相沉積或其它方式形成在支撐基部2、鏡子部3和壓電元件4上的金屬并不局限于金，而且可以為例如Pt、Pd或?yàn)楹辖穑鏏u和Pd的合金。而且，鏡子部3也可以由硅以外的其它任何材料形成，例如，可以由Al形成。而且，壓電元件4可以由例如PZT以外的其它壓電陶瓷形成。
盡管該實(shí)施例處理的情況是金屬的薄層(金屬薄層)7形成在構(gòu)成結(jié)合部的相互面對(duì)的兩部件的兩個(gè)結(jié)合面上，諸如鏡子部3的底面3a和壓電元件4的頂面4a上等，然而并非必須在相互面對(duì)的兩部件的兩結(jié)合面上均形成金屬的薄層7。金屬的薄層7也可以形成在兩個(gè)結(jié)合面的其中之一上。而且，在該實(shí)施例中，金屬的薄層7并未通過(guò)氣相沉積或者其它方式形成在固定部5和鏡子部3之間的結(jié)合面上，然而，為了提高結(jié)合強(qiáng)度，金屬的薄層7也可以通過(guò)氣相沉積或者其它方式形成在固定部5和鏡子部3之間的結(jié)合面上。
如該實(shí)施例中所示，為了提高鏡子部3和壓電元件4之間的結(jié)合強(qiáng)度以及壓電元件4和支撐基部2之間的結(jié)合強(qiáng)度，當(dāng)金的薄層7形成于這些部件上的結(jié)合面上時(shí)，金的高導(dǎo)電性可使無(wú)須特意地形成向壓電元件4供電的電極。即，在壓電元件4的頂面處，鏡子部3的硅表面通過(guò)金作為公共電極，并且在壓電元件4的底面處，氣相沉積在玻璃表面上的金作為電極圖案，從而可以提供單獨(dú)電極。
如圖2中所示，在該實(shí)施例中，支撐基部2和鏡子部3分別具有部件2a和3a，部件2a和3a是支撐基部2和鏡子部3與壓電元件4相接觸的突出部。然而，應(yīng)當(dāng)理解的是，這并不意味著在實(shí)施中以任何方式限制它們的形狀。然而優(yōu)選的是，支撐基部2和鏡子部3中的其中之一具有形成為突起的結(jié)合部，或者支撐基部2和鏡子部3均具有形成為突起的結(jié)合部。其原因如下例如，在金被氣相沉積在支撐基部2或鏡子部3的結(jié)合面上時(shí)，通常需要在壓電元件4以外的位置上形成掩模以使金不氣相沉積在所述位置上。然而，通過(guò)如在該實(shí)施例中那樣將結(jié)合部形成為突起，就有可能在不形成掩模的情況下來(lái)氣相沉積金。這使得易于組裝可變形鏡1。
下面將闡述作為本發(fā)明另一實(shí)施例的、根據(jù)本發(fā)明的、利用可變形鏡的光學(xué)拾取裝置11。根據(jù)本發(fā)明的、整合有可變形鏡1的光學(xué)拾取裝置11包括構(gòu)造為例如如圖3中所示的光學(xué)系統(tǒng)。光學(xué)拾取裝置11的光學(xué)系統(tǒng)可以根據(jù)本發(fā)明的目的以任何方式構(gòu)造。
如圖3中所示的光學(xué)拾取裝置11設(shè)置有半導(dǎo)體激光器12、準(zhǔn)直透鏡13、分光器14、根據(jù)本發(fā)明的可變形鏡1、四分之一波片15、物鏡16、聚光透鏡18以及光電檢測(cè)器19。
從半導(dǎo)體激光器12發(fā)出的激光由準(zhǔn)直透鏡13轉(zhuǎn)變?yōu)槠叫泄馐?。該平行光束被傳送通過(guò)分光器14，在可變形鏡1上反射，隨后由四分之一波片15改變其偏振狀態(tài)，并且隨后由物鏡16聚焦在光盤(pán)17上。從光盤(pán)17反射的激光通過(guò)物鏡16和四分之一波片15，在可變形鏡1上反射，隨后由分光器14反射，并且隨后由聚光透鏡18聚光并引導(dǎo)至光電檢測(cè)器19。
在這個(gè)實(shí)施例中，可變形鏡1的功能一方面是作為傳統(tǒng)使用的凸鏡(raising mirror)。另一方面，在這個(gè)光學(xué)系統(tǒng)中，例如當(dāng)光盤(pán)17相對(duì)于激光光軸發(fā)生傾斜的時(shí)候，如前所述地會(huì)產(chǎn)生彗形像差，可改變變形鏡1的鏡面形狀以矯正這種彗形像差。就是說(shuō)，可變形鏡1還用來(lái)矯正像差。具體而言，當(dāng)基于從光電檢測(cè)器19獲得的信號(hào)，需要矯正諸如彗形像差之類的波前像差時(shí)，設(shè)置于光學(xué)拾取裝置11中的控制器(未示出)發(fā)送信號(hào)給可變形鏡1，以指示其改變鏡子部3的鏡面形狀，從而矯正該像差。
根據(jù)本發(fā)明，在將要結(jié)合在一起的各部件之間形成有金屬層，從而增加壓電元件和鏡子部之間的結(jié)合部的強(qiáng)度以及壓電元件和支撐基部之間的結(jié)合部的強(qiáng)度。從而可以提供在機(jī)械強(qiáng)度方面具有高可靠性的可變形鏡。
由于用于增加結(jié)合強(qiáng)度的金屬的薄層具有導(dǎo)電性，因此無(wú)需特意地在鏡子部和支撐基部上形成電極，以向壓電元件供電。這有助于簡(jiǎn)化布線和減少部件的數(shù)量。
鏡子部和支撐基部其中之一的結(jié)合部或者鏡子部和支撐基部?jī)蓚€(gè)的結(jié)合部形成為自該鏡子部和/或該支撐基部突出。這使得可以簡(jiǎn)化將金屬層通過(guò)氣相沉積或者其它方式形成在這些部件上的工藝。
采用根據(jù)本發(fā)明的利用如上所述可變形鏡的光學(xué)拾取裝置可以提供高的結(jié)合強(qiáng)度和增加鏡面的變形量，有助于正確地矯正像差。
權(quán)利要求
1.一種可變形鏡，其包括支撐基部；鏡子部，其設(shè)置為面對(duì)該支撐基部，并且在該鏡子部的背對(duì)該支撐基部的一側(cè)上具有受光束照射的鏡面；以及壓電元件，所述壓電元件夾在該支撐基部和該鏡子部之間，并且改變?cè)撶R面的形狀，其中，通過(guò)施加熱和壓力使所述壓電元件通過(guò)金屬薄層結(jié)合至該支撐基部和該鏡子部中的至少其中之一。
2.如權(quán)利要求1所述的可變形鏡，其中，通過(guò)施加熱和壓力使所述壓電元件通過(guò)金屬薄層結(jié)合至在該支撐基部中形成的突起。
3.如權(quán)利要求1所述的可變形鏡，其中，通過(guò)施加熱和壓力使所述壓電元件通過(guò)金屬薄層結(jié)合至在該鏡子部中形成的突起。
4.如權(quán)利要求1所述的可變形鏡，其中，通過(guò)施加熱和壓力使所述壓電元件通過(guò)金屬薄層結(jié)合至在該支撐基部中形成的突起和在該鏡子部中形成的突起。
5.如權(quán)利要求1所述的可變形鏡，其中，該金屬薄層為金薄層。
6.如權(quán)利要求2所述的可變形鏡，其中，該金屬薄層為金薄層。
7.如權(quán)利要求3所述的可變形鏡，其中，該金屬薄層為金薄層。
8.如權(quán)利要求4所述的可變形鏡，其中，該金屬薄層為金薄層。
9.如權(quán)利要求5所述的可變形鏡，其中，該金薄層在400℃至500℃之間的溫度下暴露于熱和壓力下。
10.如權(quán)利要求6所述的可變形鏡，其中，該金薄層在400℃至500℃之間的溫度下暴露于熱和壓力下。
11.如權(quán)利要求7所述的可變形鏡，其中，該金薄層在400℃至500℃之間的溫度下暴露于熱和壓力下。
12.如權(quán)利要求8所述的可變形鏡，其中，該金薄層在400℃至500℃之間的溫度下暴露于熱和壓力下。
13.一種光學(xué)拾取裝置，其包括如權(quán)利要求1所述的可變形鏡。
全文摘要
一種可變形鏡，其中設(shè)置有支撐基部；鏡子部，其設(shè)置為面對(duì)該支撐基部，并且在該鏡子部的背對(duì)該支撐基部的一側(cè)上具有受光束照射的鏡面；以及壓電元件，所述壓電元件夾在該支撐基部和該鏡子部之間，并且改變?cè)撶R面的形狀，其中，通過(guò)施加熱和壓力使所述壓電元件通過(guò)金屬薄層結(jié)合至該支撐基部和該鏡子部中的至少其中之一。
文檔編號(hào)G11B7/135GK1885089SQ20061009381
公開(kāi)日2006年12月27日 申請(qǐng)日期2006年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月20日
發(fā)明者長(zhǎng)島賢治, 藤井仁, 田中史記, 杉山進(jìn), 石井明, 田中克彥, 久瀨亙 申請(qǐng)人:船井電機(jī)株式會(huì)社