專利名稱：薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角修正方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角修正方法及裝置。
背景技術(shù)：
在浮起型磁頭裝置中，為了實(shí)現(xiàn)高密度記錄再生，高精度地保持由頭支撐裝置支撐的磁頭的靜止姿態(tài)角是基本的要求事項(xiàng)。在磁頭裝置的靜止姿態(tài)角中包含俯仰角和滾動角。
但是，磁頭裝置由于是通過粘接劑將磁頭粘接在頭支撐裝置(吊架)的一端上的構(gòu)造，所以因該粘接構(gòu)造，有時(shí)會發(fā)生靜止姿態(tài)角從規(guī)定的角度偏離的情況。
磁頭裝置是將經(jīng)過復(fù)雜的過程制造的昂貴的磁頭以高精度安裝在昂貴的磁頭支撐裝置上而構(gòu)成的，在磁頭裝置的階段中，不允許使靜止姿態(tài)角不在規(guī)定的角度內(nèi)而作為不合格品處理。
作為用來修正靜止姿態(tài)角偏離的修正機(jī)構(gòu)，已知有通過使用推壓夾具的機(jī)械推壓的修正機(jī)構(gòu)。在該使用推壓夾具的靜止姿態(tài)角修正方法中，通過以安裝在承載梁的自由端側(cè)的撓性體的軸線上的1點(diǎn)為支點(diǎn)推壓另1點(diǎn)，使撓性體彎曲，由此來修正磁頭的靜止姿態(tài)角。
但是，即使通過機(jī)械推壓對撓性體施加了較大的彎曲位移，也由于撓性體所具有的復(fù)原力使彎曲復(fù)原。這意味著必須以比施加規(guī)定的靜止姿態(tài)角的彎曲位移大很多的彎曲位移來使撓性體彎曲。
如果對撓性體施加較大的彎曲位移，則有可能在從承載梁對撓性體施加負(fù)荷的突起部(凹坑)和撓性體之間產(chǎn)生間隙，而發(fā)生所謂的凹坑浮起。如果發(fā)生了凹坑浮起，則不能從承載梁對撓性體施加負(fù)荷，不能確保規(guī)定的磁頭浮起特性。
作為解決上述問題點(diǎn)的手段，特許文獻(xiàn)1、2公開了通過對撓性體或承載梁施加用來進(jìn)行靜止姿態(tài)角修正的彎曲、對彎曲區(qū)域照射激光、將應(yīng)力釋放、而以接近于被施加的彎曲角度的角度彎曲的技術(shù)。
的確，根據(jù)該現(xiàn)有技術(shù)，對于頭(ヘツド)支撐裝置，能夠得到僅通過以較小的彎曲角度來彎曲，就能夠確保較大的靜止姿態(tài)角變化量的優(yōu)良的效果。
特許文獻(xiàn)1特開2001-357644號公報(bào)特許文獻(xiàn)2特開2001-357645號公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的課題是對上述現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)一步加以改良，提供一種僅通過對撓性體賦予較小的彎曲位移就能夠自動地執(zhí)行確保較大的靜止姿態(tài)角的變化量的操作的磁頭的靜止姿態(tài)角修正方法及裝置。
為了解決上述課題，在有關(guān)本發(fā)明的靜止姿態(tài)角修正方法中，在修正安裝在頭臂(ヘツドア一ム)組裝體的撓性體上的薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角時(shí)，將與上述薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角的值對應(yīng)的修正條件賦予等級來預(yù)先存儲。接著，測量上述薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角，根據(jù)對應(yīng)于該測量值的上述修正條件，對上述撓性體施加用來進(jìn)行靜止姿態(tài)角修正的彎曲，對上述撓性體的產(chǎn)生了彎曲的區(qū)域照射激光。
在對撓性體施加用來進(jìn)行靜止姿態(tài)角修正的彎曲時(shí)，在撓性體中產(chǎn)生對應(yīng)于彎曲的應(yīng)力。在本發(fā)明中，對撓性體的產(chǎn)生了彎曲的區(qū)域照射激光。由此，被照射了激光的產(chǎn)生了彎曲的區(qū)域中的應(yīng)力在伴隨著激光的照射的熱的作用下被釋放。因此，在該受到激光照射的區(qū)域中，撓性體的復(fù)原量變小，以接近于被施加的彎曲角度的角度彎曲。這意味著即使對撓性體施加的彎曲變化量較小、也能夠?qū)闲泽w賦予較大的彎曲角度。由此，僅通過以較小的彎曲角度彎曲撓性體，就能夠確保較大的靜止姿態(tài)角變化量。
上述的基本步驟已經(jīng)在前面舉出的特許文獻(xiàn)1、2中公開。本發(fā)明的特征是包含了用來自動地執(zhí)行該基本步驟的步驟。即，將與薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角的值對應(yīng)的修正條件賦予等級、預(yù)先存儲。接著，測量上述薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角，根據(jù)對應(yīng)于該測量值的上述修正條件，對上述撓性體施加用來進(jìn)行靜止姿態(tài)角修正的彎曲，對上述撓性體的產(chǎn)生彎曲的區(qū)域照射激光。
根據(jù)該追加的步驟，能夠構(gòu)建以CPU(計(jì)算機(jī))為中心的磁頭靜止姿態(tài)角修正系統(tǒng)，自動地、再現(xiàn)性良好地修正薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角。
上述磁頭的靜止姿態(tài)角修正方法具體而言，是通過本發(fā)明所公開的磁頭靜止姿態(tài)角修正裝置來實(shí)施的。該磁頭靜止姿態(tài)角修正裝置具有修正裝置、激光振蕩裝置、測量裝置和計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。
上述修正裝置是對上述撓性體施加彎曲的裝置，上述激光振蕩裝置是對彎曲區(qū)域照射激光的裝置。上述測量裝置測量上述薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角。
上述計(jì)算機(jī)系統(tǒng)具有計(jì)算機(jī)(CPU)、和將與上述薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角的值對應(yīng)的修正條件賦予等級來預(yù)先存儲的存儲部，上述CPU從上述存儲部讀出與由上述測量裝置供給的測量值對應(yīng)的上述修正條件，將被讀出的修正條件供給到上述修正裝置中。上述修正裝置根據(jù)從上述計(jì)算機(jī)系統(tǒng)供給的修正條件，對上述撓性體施加彎曲。
根據(jù)上述磁頭靜止姿態(tài)角修正裝置可知，能夠構(gòu)建以CPU為中心的磁頭靜止姿態(tài)角修正系統(tǒng)，且自動地、再現(xiàn)性良好地修正薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角。
具體而言，上述修正裝置可以具有能夠?qū)⑶岸送茐涸谏鲜鰮闲泽w的表面上的多個(gè)可動性修正銷。在此情況下，上述修正條件可以包括上述修正銷對上述撓性體的抵接位置、上述修正銷的壓入量、和激光照射位置的條件。在上述修正條件中還可以包括激光的照射時(shí)間。
優(yōu)選的是，上述修正銷相對于上述撓性體的表面以規(guī)定的角度配置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，即使對于小型化的薄膜磁頭及撓性體，也能夠避免所設(shè)置的多個(gè)修正銷的相互接觸、重疊等的相互干涉。
上述靜止姿態(tài)角測量裝置除了使用CCD照相機(jī)以外，還可以使用激光自動準(zhǔn)直儀。從測量值的定量化的觀點(diǎn)出發(fā)，激光自動準(zhǔn)直儀是優(yōu)選的。
發(fā)明效果如以所述，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供僅通過對撓性體賦予較小的彎曲位移，就能夠自動地執(zhí)行確保較大的靜止姿態(tài)角的變化量的操作的磁頭的靜止姿態(tài)角修正方法及裝置。
對于本發(fā)明的其他目的、結(jié)構(gòu)及效果，參照作為實(shí)施方式的附圖來詳細(xì)地說明。


圖1是表示在有關(guān)本發(fā)明的靜止姿態(tài)角修正方法的實(shí)施中直接被使用的靜止姿態(tài)角裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
圖2是適用于有關(guān)本發(fā)明的靜止姿態(tài)角修正方法的磁頭裝置的仰視圖。
圖3是表示修正裝置的例子的圖。
圖4是有關(guān)本發(fā)明的靜止姿態(tài)角修正方法的流程圖。
圖5是對與薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角的值相對應(yīng)的修正條件的附加等級表示其概念的圖表。
圖6是表示由圖3所示的靜止姿態(tài)角修正裝置所進(jìn)行的俯仰角修正方法的圖。
圖7是表示圖3所示的由靜止姿態(tài)角修正裝置所進(jìn)行的俯仰角修正方法的另一例的圖。
圖8是表示由靜止姿態(tài)角修正裝置所進(jìn)行的滾動角修正方法的圖。
圖9是表示由圖3所示的靜止姿態(tài)角修正裝置所進(jìn)行的滾動角修正方法的另一例的圖。
圖10是表示對撓性體的激光照射位置的圖。
圖11是表示有關(guān)本發(fā)明的靜止姿態(tài)角修正裝置的具體的構(gòu)造的正視圖。
圖12是圖11所示的靜止姿態(tài)角修正裝置的側(cè)視圖。
符號說明2薄膜磁頭12 撓性體91 激光振蕩裝置92 修正裝置93 測量裝置94 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)具體實(shí)施方式
圖1是表示在有關(guān)本發(fā)明的靜止姿態(tài)角修正方法的實(shí)施中，直接被使用的靜止姿態(tài)角裝置的結(jié)構(gòu)的圖，圖2是應(yīng)用了有關(guān)本發(fā)明的靜止姿態(tài)角修正方法的磁頭裝置的俯視圖。圖示的靜止姿態(tài)角修正裝置具有激光振蕩裝置91、修正裝置92、測量裝置93、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94，修正包含在磁頭裝置95中的薄膜磁頭2的靜止姿態(tài)角。
磁頭裝置95具有頭支撐裝置1和磁頭2。頭支撐裝置1具有承載梁11和撓性體12。承載梁11在通過中央的長度方向軸線L的自由端附近具有突起部111。圖示的承載梁11在寬度方向的兩側(cè)具有彎折部118(參照圖1)，通過該彎折部118使剛性增加。
撓性體12由較薄的彈簧板材構(gòu)成，一個(gè)面安裝在承載梁11的具有突起部111一側(cè)的面上，從突起部111承受推壓負(fù)荷。在撓性體12的另一個(gè)面上安裝有磁頭2。撓性體12在連接點(diǎn)13處通過點(diǎn)焊等手段貼合在承載梁11的具有突起部111一側(cè)上。也可以利用鉚接等手段來代替點(diǎn)焊。撓性體12在中央具有舌狀部120。舌狀部120的一端結(jié)合在撓性體12的橫框部121上。撓性體12的橫框部121的兩端與外框部123、124連接。在外框部123、124與舌狀部120之間，在舌狀部120的周圍形成有槽122。在舌狀部120的一個(gè)面上通過粘接劑等安裝有磁頭2，突起部111的前端接觸彈簧。
例如在工件隨行夾具971等上隔開間隔而配置有多個(gè)磁頭裝置95，磁頭裝置(工件)95及隨行夾具971裝載在輸送夾具973之上，通過推壓夾具972推壓在輸送夾具973之上。
圖1所圖示的靜止姿態(tài)角修正裝置用來修正上述磁頭裝置的薄膜磁頭2的靜止姿態(tài)角。在靜止姿態(tài)角中包含俯仰角及滾動角。俯仰角是與在承載梁11的長度方向軸線L(參照圖2)的方向上取的基準(zhǔn)線交叉的角度，滾動角是在長度方向軸線L的周圍取的角度。靜止姿態(tài)角受磁頭2在頭支撐裝置1上的組裝狀態(tài)、頭支撐裝置1的彎曲等的影響而產(chǎn)生各種變化。根據(jù)有關(guān)本發(fā)明的靜止姿態(tài)角修正方法及修正裝置，能夠?qū)㈧o止姿態(tài)角正確地設(shè)定為所要求的值。
激光振蕩裝置91對撓性體12的兩側(cè)以及將撓性體12連接在承載梁11的接合點(diǎn)13和磁頭2之間出現(xiàn)的撓性體12的區(qū)域照射激光LA。激光振蕩裝置91可以使用包括YAG激光的各種激光。圖示的激光振蕩裝置91具有激光振蕩部911和激光頭912。激光頭912在撓性體12上朝向被彎曲的部分。
修正裝置92對撓性體12施加用來進(jìn)行靜止姿態(tài)角修正的彎曲。圖3是表示修正裝置92的例子的圖。在該實(shí)施例中，修正裝置92具有4個(gè)修正銷922～925和4個(gè)驅(qū)動部932～935。修正銷922～925都是通過驅(qū)動部932～935被直線移動的可動銷，前端部被配置在能夠與撓性體12的外框部123、124接觸的位置上。修正銷922、924被配置在撓性體12的一面?zhèn)?安裝有磁頭2的那一面)，修正銷923、925配置在撓性體12的另一面?zhèn)?。在圖示中，修正銷922與修正銷923對置、修正銷924與修正銷925相對配置，但也可以不相對配置。即也可以配置在相互不同的位置上。
在圖示實(shí)施例中，修正銷922～925相對于撓性體12的面被傾斜地配置。如果是該配置，則即使對于平面面積很小的薄膜磁頭2及撓性體12，也能夠避免支撐相鄰的修正銷922、924的驅(qū)動裝置932、934在相對配置的端部上發(fā)生相撞等的干涉。在支撐相鄰的修正銷923、925的驅(qū)動裝置933、935的相互間也一樣。
測量裝置93檢測薄膜磁頭2的靜止傾斜角。測量裝置93朝向磁頭2的例如空氣軸承面(以下稱作ABS面)。由測量裝置93得到的檢測信號被供給到計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94中。圖示的測量裝置93具有信號處理部930、檢測部931。檢測部931具有例如CCD、激光自動準(zhǔn)直儀等角度檢測機(jī)構(gòu)。
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94具有CPU941、和將對應(yīng)于薄膜磁頭2的靜止姿態(tài)角的值的修正條件賦予等級來預(yù)先存儲的存儲部(例如ROM)942。CPU941從存儲部942讀出與從測量裝置93供給的測量值相對應(yīng)的修正條件，將讀出的修正條件供給到修正裝置92中。修正裝置92根據(jù)從計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94供給的修正條件，對撓性體12施加彎曲。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94是具有CPU及存儲器裝置的程序執(zhí)行裝置，除了個(gè)人電腦及微型計(jì)算機(jī)以外，例如也可以是具有稱作定序器(sequencer)的部件等的裝置。
接著，與前面所述的圖、特別是圖1一起，參照圖4對有關(guān)本發(fā)明的靜止姿態(tài)角修正方法進(jìn)行說明。圖4是有關(guān)本發(fā)明的靜止姿態(tài)角修正方法的流程圖。
首先，通過經(jīng)過工件隨行夾具971的設(shè)置、運(yùn)轉(zhuǎn)開始、工件隨行夾具送入、工件固定等的準(zhǔn)備階段，如圖1所圖示那樣，磁頭裝置95及工件隨行夾具971被裝載在輸送夾具973之上，受推壓夾具972推壓。
在此狀態(tài)下，通過測量裝置93檢測薄膜磁頭2的靜止傾斜角。靜止傾斜角是從由激光自動準(zhǔn)直儀等構(gòu)成的檢測部931對薄膜磁頭2的ABS面照射激光、捕捉其反射光來測量的。
由測量裝置93的檢測部931得到的檢測信號經(jīng)由信號處理部930被供給到計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94中。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94的CPU941從存儲部942讀出與從測量裝置93供給的測量值相對應(yīng)的修正條件，將讀出的修正條件供給到修正裝置92中。在修正裝置92中，根據(jù)從計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94供給的修正條件，對修正銷922～925賦予修正移動動作，由此對撓性體12施加彎曲。修正條件包括修正銷922～925相對于撓性體12的抵接位置、修正銷922～925的壓入量、和激光照射位置的條件。進(jìn)而，修正條件還可以包括激光LA的照射時(shí)間。
通過計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94進(jìn)行的修正條件的設(shè)定、以及修正銷的移動控制構(gòu)成了本發(fā)明的特征部分。接著對這一點(diǎn)進(jìn)行說明。
如已經(jīng)敘述那樣，在靜止姿態(tài)角中包含有俯仰角及滾動角，靜止姿態(tài)角受薄膜磁頭2相對于頭支撐裝置1的組裝狀態(tài)、頭支撐裝置1的彎曲等的影響而產(chǎn)生各種各樣地變化。并且，俯仰角及滾動角以水平位置為基準(zhǔn)值0而取正及負(fù)的值。因而，俯仰角及滾動角必須設(shè)定為正或負(fù)的規(guī)定值。
作為其手段，在本發(fā)明中，將對應(yīng)于薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角的值的修正條件賦予等級，來將其預(yù)先存儲在存儲部942中。圖5是表示其概念的圖表，在縱軸中，將對應(yīng)于俯仰角的測量值的修正條件賦予等級為正側(cè)等級(m1～m9)及負(fù)側(cè)等級(-m1～-m9)。此外，在橫軸中，將對應(yīng)于滾動角的測量值的修正條件賦予等級為正側(cè)等級(n1～n9)及負(fù)側(cè)等級(-n1～-n9)。它們預(yù)先存儲在存儲部942中?？墒牵燃墧?shù)是任意的。并且，在從測量裝置93供給靜止傾斜角的信號時(shí)，通過CPU941從存儲部942讀出對應(yīng)于被供給的測量值的修正條件，將讀出的修正條件供給到修正裝置92中。
例如，在圖5所示的情況下，對應(yīng)于滾動角的測量值的修正條件是正側(cè)等級(n2)，對應(yīng)于俯仰角的測量值的修正條件是負(fù)側(cè)等級(-m4)，將它們從存儲部942讀出。
修正裝置92根據(jù)從計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94供給的修正條件，對支撐薄膜磁頭2的撓性體12施加彎曲。此時(shí)施加的彎曲，對于滾動角，是使正側(cè)等級(n2)在圖5的圖表上返回到原點(diǎn)OK的方向，對于俯仰角，是使負(fù)側(cè)等級(-m4)返回到原點(diǎn)OK的方向。將這樣的修正條件從計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94供給到修正裝置92中，在修正裝置92中執(zhí)行修正銷的移動控制。
接著，對使用修正銷的靜止姿態(tài)角修正方法進(jìn)行具體地說明。圖6、圖7是表示圖3所示的由修正裝置進(jìn)行的的俯仰角修正方法的圖。首先，如圖6所示，使修正銷923、925向方向P1直線地移動，通過其前端推壓撓性體12的外框部123、124，能夠修正俯仰角。將此情況下的俯仰角的修正方向P1設(shè)為正方向。
圖7表示將俯仰角向負(fù)方向P2修正的情況，使修正銷922、924向方向P2直線地移動，通過其前端推壓撓性體12的外框部123、124。由此，能夠?qū)⒏┭鼋窍蜇?fù)方向P2修正。
圖8、圖9是表示通過圖3所示的修正裝置92進(jìn)行的滾動角修正方法的圖。首先，如圖8所示，使修正銷923向方向P1直線移動，通過其前端推壓撓性體12的外框部123，同時(shí)使修正銷924向方向P2直線地移動，通過其前端推壓撓性體12的外框部124。由此，能夠?qū)L動角向方向R1修正。將此情況下的滾動角的修正方向R1設(shè)為正方向。
圖9表示將滾動角向負(fù)方向R2修正的情況，使修正銷922向方向P2直線地移動，通過其前端推壓撓性體12的外框部123，同時(shí)使修正銷925向方向P1直線地移動，通過其前端推壓撓性體12的外框部124。由此，能夠?qū)L動角向負(fù)方向R2修正。
在圖6～圖9所示的俯仰角及滾動角的修正過程中，激光振蕩裝置91對撓性體12的表面照射激光LA。激光LA如圖10所示，被照射在撓性體12的發(fā)生了彎曲的區(qū)域6上。激光LA的照射不是以一點(diǎn)，而是以某一長度并隔開間隔地對多個(gè)點(diǎn)(例如10點(diǎn))執(zhí)行的。激光LA也可以照射撓性體12的背面。
在通過圖6～圖9所圖示說明的操作對撓性體12施加機(jī)械彎曲的情況下，在撓性體12中產(chǎn)生對應(yīng)于彎曲的應(yīng)力。在本發(fā)明中，由于對撓性體12的產(chǎn)生了彎曲的區(qū)域6照射激光LA，所以被照射激光LA的區(qū)域6中的應(yīng)力在伴隨著激光LA的照射的熱的作用下被釋放。因此，在該受到了激光LA的照射的區(qū)域6中，撓性體12的復(fù)原量變小，以接近于被施加的彎曲角度的角度彎曲。這意味著即使對撓性體12施加的彎曲變化量較小，也能夠?qū)闲泽w12施加較大的彎曲角度。在撓性體12的受照射的區(qū)域6由不銹鋼構(gòu)成的情況下，優(yōu)選地使其表面溫度在例如噴吹N2的狀態(tài)下成為300～400℃而進(jìn)行激光照射。
受激光LA的照射的撓性體12的區(qū)域6是撓性體12與承載梁11的連接點(diǎn)13、以及在磁頭2之間出現(xiàn)的部分。在該部分撓性體12被彎曲。因此，撓性體12的彎曲角度原樣被反映為磁頭2的俯仰角。由此，能夠以撓性體12的較小的彎曲角度確保較大的俯仰角變化量。根據(jù)上述靜止姿態(tài)角修正裝置，構(gòu)建了以CPU941為中心的靜止姿態(tài)角修正系統(tǒng)，能夠自動、可靠地修正薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角。
如上述那樣，在將薄膜磁頭2的靜止姿態(tài)角修正后，再次通過測量裝置93檢測薄膜磁頭2的靜止傾斜角，由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94的CPU941判斷檢測到的靜止傾斜角是否在允許的角度范圍內(nèi)(圖5的原點(diǎn)OK)。在判斷的結(jié)果為檢測出的靜止傾斜角不在允許的角度范圍內(nèi)時(shí)，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94的CPU941再次對修正裝置92供給修正條件。修正裝置92根據(jù)從計(jì)算機(jī)系統(tǒng)94供給的修正條件，對修正銷922～925賦予修正移動動作，由此對撓性體12施加彎曲。接著，通過激光振蕩裝置91對撓性體12的彎曲部分照射激光LA。
重復(fù)上述的靜止姿態(tài)角的檢測、修正銷移動、激光照射的各過程，直到滾動角及俯仰角的修正條件達(dá)到圖5的原點(diǎn)OK。并且，在判斷檢測出的靜止傾斜角在允許的角度范圍內(nèi)(圖5的原點(diǎn)OK)時(shí)，修正結(jié)束，轉(zhuǎn)移到下個(gè)工件(磁頭裝置95)的處理，對該工件執(zhí)行上述的過程。在準(zhǔn)備的所有工件的處理結(jié)束后，將工件隨行夾具排出，結(jié)束運(yùn)轉(zhuǎn)，將工件隨行夾具取出。
圖11是表示有關(guān)本發(fā)明的靜止姿態(tài)角修正裝置的具體的構(gòu)造的正視圖，圖12是圖11所示的靜止姿態(tài)角修正裝置的側(cè)視圖。這些圖僅提取了機(jī)械的部分表示的圖。在圖中，對于與前面所示的附圖中出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)部分對應(yīng)的部分賦予相同的參照標(biāo)號。
激光振蕩裝置91以正交3軸X、Y、Z觀察，具備能夠向X軸(橫方向)及Y軸(進(jìn)深方向)的2軸方向移動的XY工作臺913，在該XY工作臺913之上裝載有激光頭912。激光頭912從下向上照射激光。激光振蕩部911(參照圖11)設(shè)置在任意的部位上。
修正裝置92具有4個(gè)修正銷922～925、和4個(gè)驅(qū)動部932～935。修正銷922～925都傾斜地被配置，保持傾斜的狀態(tài)，受驅(qū)動部932～935的作用向Y軸及Z軸的方向被驅(qū)動。
測量裝置93由激光自動準(zhǔn)直儀構(gòu)成，配置在與激光振蕩裝置91相反側(cè)，配置為，能夠向X軸、Y軸、Z軸、繞X軸θX、以及繞Y軸θY的各方向移動，由此能夠進(jìn)行位置調(diào)節(jié)。
作為工件的磁頭裝置95受工件隨行夾具971、推壓夾具972及輸送夾具973支撐，薄膜磁頭2被送入到受修正銷922～925推壓的位置、受激光振蕩裝置91的激光照射的位置、以及由測量裝置93測量靜止姿態(tài)角的位置。
根據(jù)圖11及圖12所示的靜止姿態(tài)角修正裝置，能夠自動、有效地執(zhí)行參照圖1～圖10說明的靜止姿態(tài)角修正。
以上參照優(yōu)選的實(shí)施例具體地說明了本發(fā)明的內(nèi)容，但只要是本領(lǐng)域的技術(shù)人員，能夠根據(jù)本發(fā)明的基本技術(shù)思想及指導(dǎo)，而取得各種變形的實(shí)施方式。例如修正裝置并不限于銷型，也可以是夾著撓性體將其彎曲的形式。
權(quán)利要求
1.一種靜止姿態(tài)角修正方法，修正安裝在頭臂組裝體的撓性體上的薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角，其特征在于，包括以下的步驟將與上述薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角的值對應(yīng)的修正條件賦予等級來預(yù)先存儲；測量上述薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角；根據(jù)對應(yīng)于該測量值的上述修正條件，對上述撓性體施加用于靜止姿態(tài)角修正的彎曲；對上述撓性體的產(chǎn)生彎曲的區(qū)域照射激光。
2.如權(quán)利要求1所述的靜止姿態(tài)角修正方法，其特征在于，上述修正條件包括修正銷對上述撓性體的抵接位置、上述修正銷的壓入量、和激光照射位置的條件。
3.如權(quán)利要求2所述的靜止姿態(tài)角修正方法，其特征在于，上述修正條件包括激光的照射時(shí)間。
4.一種靜止姿態(tài)角修正裝置，具有修正裝置、激光振蕩裝置、測量裝置和計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，修正安裝在頭臂組裝體的撓性體上的薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角，其特征在于，上述修正裝置是對上述撓性體施加彎曲的裝置；上述激光振蕩裝置是對彎曲區(qū)域照射激光的裝置；上述測量裝置是測量上述薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角的裝置；上述計(jì)算機(jī)系統(tǒng)具有CPU、和對與上述薄膜磁頭的靜止姿態(tài)角的值對應(yīng)的修正條件賦予等級、預(yù)先存儲的存儲部，上述CPU從上述存儲部讀出與由上述測量裝置供給的測量值對應(yīng)的上述修正條件，將讀出的修正條件供給至上述修正裝置；上述修正裝置根據(jù)從上述計(jì)算機(jī)系統(tǒng)供給的修正條件對上述撓性體施加彎曲。
5.如權(quán)利要求4所述的靜止姿態(tài)角修正裝置，其特征在于，上述修正裝置具有能夠?qū)⑶岸送茐涸谏鲜鰮闲泽w的表面上的多個(gè)可動性修正銷；上述修正條件包括上述修正銷對上述撓性體的抵接位置、上述修正銷的壓入量、和激光照射位置的條件。
6.如權(quán)利要求5所述的薄膜磁頭靜止姿態(tài)角修正裝置，其特征在于，上述修正銷相對于上述撓性體的表面以規(guī)定的角度被配置。
7.如權(quán)利要求5或6所述的靜止姿態(tài)角修正裝置，其特征在于，上述修正條件包括激光的照射時(shí)間。
8.如權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的靜止姿態(tài)角修正裝置，其特征在于，上述靜止姿態(tài)角測量裝置是激光自動準(zhǔn)直儀。
全文摘要
本發(fā)明提供一種僅通過對撓性體賦予較小的彎曲位移就能夠自動地執(zhí)行確保較大的靜止姿態(tài)角的變化量的操作的磁頭的靜止姿態(tài)角修正方法及裝置。將與薄膜磁頭(2)的靜止姿態(tài)角的值對應(yīng)的修正條件賦予等級、預(yù)先存儲在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)(94)的存儲部(942)中。通過測量裝置(93)測量薄膜磁頭(2)的靜止姿態(tài)角。將該測量值供給到計(jì)算機(jī)系統(tǒng)(94)，根據(jù)對應(yīng)于測量值的修正條件，通過修正裝置(92)對撓性體(12)施加用來進(jìn)行靜止姿態(tài)角修正的彎曲。接著，對撓性體(12)的產(chǎn)生彎曲的區(qū)域照射激光。
文檔編號G11B5/56GK1933006SQ20061015348
公開日2007年3月21日 申請日期2006年9月15日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月15日
發(fā)明者進(jìn)藤修, 水野亨, 鳥居孝男 申請人:Tdk株式會社