專利名稱：：多層信息記錄介質(zhì)及其制造方法
技術領域：
：本申請以在日本于2005年5月17日申請的特愿2005—143746號的日本專利申請為優(yōu)先權(quán)的主張基礎，將該日本專利申請的內(nèi)容作為本申請說明書的一部分。本發(fā)明涉及以再生或者記錄再生為目的的多層信息記錄介質(zhì)及其制造方法。
背景技術：
：近年來，在信息記錄設備、視頻音響設備等的領域中，隨著必要的信息量的增大，數(shù)據(jù)訪問的容易程度、大容量數(shù)據(jù)的存儲、設備的小型化出色的光盤等信息記錄介質(zhì)備受矚目，可實現(xiàn)記錄信息的高密度化。例如，在光盤領域中，提出了以利用將激光的波長設為約400nm、用于聚焦激光的聚光透鏡的數(shù)值孔徑(NA)設為0.85的再生頭為前提，單層為25GB左右、雙層為50GB左右的記錄容量的光記錄介質(zhì)(例如參照專利文獻1)。下面利用圖2圖4，對專利文獻1中所記載的現(xiàn)有的多層信息記錄介質(zhì)的構(gòu)造及制造方法進行說明。圖2(a)(f)表示了用于制作現(xiàn)有的多層信息記錄介質(zhì)的基板制作用模具、即壓模(stamper)的制造方法。該壓模如下所述而形成。首先，在玻璃板201上涂敷光致抗蝕劑等感光材料，形成感光膜202(參照圖2(a))，然后通過激光203進行凹坑(pit)或?qū)虿鄣葓D案的曝光(參照圖2(b))。通過該曝光，形成了如圖2(b)所示被曝光的部分202a。曝光部202a的感光材料經(jīng)過顯影工序而被除去，從而可以制作形成了凹坑或?qū)虿鄣鹊膱D案204的光記錄原盤205(參照圖2(c))。在形成于該光記錄原盤205上的凹坑或?qū)虿鄣葓D案204之上，通過濺射或蒸鍍等方法形成導電膜206。由此，形成于感光膜202的凹坑或?qū)虿鄣葓D案204的形狀被轉(zhuǎn)印于導電膜206(參照圖2(d))。進而，為了增加導電膜206的剛性及厚度，形成了鍍膜207(參照圖2(e))。接著，通過從感光膜202與導電膜206的界面開始剝離導電膜206和鍍膜207，從而制作成壓模208(參照圖2(f))。圖3表示了現(xiàn)有的多層信息記錄介質(zhì)的剖面圖。該多層信息記錄介質(zhì)包括.*單面被轉(zhuǎn)印形成了由凹凸形狀構(gòu)成的凹坑或?qū)虿鄣男盘柮娴牡谝恍盘柣?01、在第一信號基板301的設置有凹凸形狀的信號面上層疊的第一薄膜層302、與第一薄膜層302密接的面相反的面被轉(zhuǎn)印形成了由凹凸形狀構(gòu)成的凹坑或?qū)虿鄣男盘柮娴牡诙盘柣?03、在第二信號基板303的設置有凹凸形狀的信號面上層疊的第二薄膜層304、與第二信號基板303對置配置的透明基板306、和為了粘貼第二薄膜層304與透明基板306而設置的透明層305。首先，利用圖2(f)所示的壓模208，通過射出壓縮成型等在第一信號基板301的一個面以凹凸形狀轉(zhuǎn)印形成了凹坑或?qū)虿?。在由如此形成的凹凸形狀?gòu)成的信號面之上層疊薄膜層。將在由該凹凸形狀構(gòu)成的信號面之上層疊了薄膜層后而得到的層稱為信息記錄層。其中，第一信號基板301的厚度為l.lmm左右。而且，第一薄膜層302包括記錄膜和反射膜，可以在第一信號基板301的形成了凹坑或?qū)虿鄣男盘柮鎮(zhèn)龋ㄟ^濺射或蒸鍍等方法形成。接著，按照下述步驟制作第二信號基板303。首先，在層疊了第一薄膜層302的第一信號基板301之上旋涂了光固化性樹脂之后，將在單面形成了凹坑或?qū)虿鄣男盘柮娴男盘栟D(zhuǎn)印基板按照其信號面與第一信號基板301對置的方式與光固化性樹脂層粘合。然后，在使光固化性樹脂發(fā)生了光固化之后，通過從和光固化性樹脂所構(gòu)成的樹脂層的界面剝離信號轉(zhuǎn)印基板，可以獲得形成有信號面的樹脂層即第二信號基板。在該第二信號基板303上，可以通過與第一薄膜層302的形成方法相同的方法形成第二薄膜層304。最后，由相對記錄再生光透明的(具有透過性)材料構(gòu)成透明基板306，其厚度為O.lmm左右。透明層305為了相互粘結(jié)透明基板306、層疊基板307而設置，由光固化性樹脂或感壓粘結(jié)劑等粘結(jié)劑形成。如此制作的多層信息記錄介質(zhì)的記錄再生，通過從透明基板306側(cè)入射記錄再生激光而進行。圖4(a)(j)是對與上述不同的現(xiàn)有的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法進行表示的圖。利用圖4(a)(j)對該制造方法進行說明。首先，通過真空吸附(vacuum)等機構(gòu)將第一信號基板401固定在旋轉(zhuǎn)臺403上(參照圖4(a))。然后，在第一信號基板401的形成了凹坑或?qū)虿鄣牡谝恍盘柮娴拿嫔?，通過利用濺射或蒸鍍等方法層疊含有記錄膜材料或反射膜材料的第一薄膜層402，形成第一信息記錄層。在旋轉(zhuǎn)臺403固定的第一信號基板401上的第一薄膜層402之上，通過分配器將光固化性樹脂A404以同心圓狀向第一信號基板的內(nèi)周部供給(參照圖4(b))，通過使旋轉(zhuǎn)臺403自轉(zhuǎn)(spinning)，來進行光固化性樹脂A404的涂敷。涂敷后的光固化性樹脂A404基于離心力被除去多余的樹脂和氣泡。此時，通過任意設定光固化性樹脂A404的粘度、自轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速、時間、進行自轉(zhuǎn)的周圍的氣氛(溫度與濕度等)，可以將所涂敷的光固化性樹脂A404的涂敷厚度控制為所期望的厚度。在停止自轉(zhuǎn)之后，所涂敷的光固化性樹脂A404通過光照射機405的光照射而被固化(參照圖4(c))。接著，為了在第一信號基板401上形成第二信息記錄面，將單面形成有凹坑或?qū)虿鄣男盘柮娴霓D(zhuǎn)印基板406固定到旋轉(zhuǎn)臺407上(參照圖4(d))。在固定于旋轉(zhuǎn)臺407的轉(zhuǎn)印基板406之上，利用分配器以同心圓狀向轉(zhuǎn)印基板406的內(nèi)周部供給光固化性樹脂B408(參照圖4(e))，并通過使旋轉(zhuǎn)臺407自轉(zhuǎn)來進行光固化性樹脂B408的涂敷。所涂敷的光固化性樹脂B408與光固化性樹脂A404同樣，可以控制成所期望的厚度。所涂敷的光固化性樹脂B408在停止自轉(zhuǎn)之后，通過光照射機409的光照射而被固化(參照圖4(f))。2枚基板410、411在一個旋轉(zhuǎn)臺403之上按照雙方光固化后的樹脂層404、408對置的方式，隔著光固化性樹脂C412而重合(參照圖4(g))，在一體化的狀態(tài)下基于旋轉(zhuǎn)臺403使其自轉(zhuǎn)。在光固化性樹脂C412基于自轉(zhuǎn)而被控制成所期望的厚度之后，利用光照射機405的光照射被固化(參照圖4(h))。在基板410、411通過光固化性樹脂C412而被一體化之后，從轉(zhuǎn)印基板406與光固化后的樹脂層408的界面剝離轉(zhuǎn)印基板406。由此，在第一信號基板401上形成了第二信號面。這里所采用的光固化性樹脂A404選擇與第一薄膜層402和光固化性樹脂C412的粘結(jié)性良好的樹脂。而且，光固化性樹脂B408選用了與轉(zhuǎn)印基板405的剝離型良好、且與光固化性樹脂C412的粘結(jié)性也良好的樹脂。這些光固化性樹脂A、B、C可以使用不同種類的樹脂，也可以使用相同種類的樹脂。另外，為了盡量將樹脂層形成得薄，將各光固化性樹脂的粘度設定為約0.15Pa's。接著，在形成于第一信號基板401之上的第二信號面，通過濺射或蒸鍍等方法形成含有記錄膜材料或反射膜材料的第二薄膜層413，成為第二信息記錄層。最后，在對第二薄膜層413和透明基板414進行粘合之際，形成相對記錄再生光幾乎透明(幾乎透過)的透明層415。在光固化性樹脂滴落到第二薄膜層413上之后，該透明層415通過自轉(zhuǎn)，來除去混入到光固化性樹脂中的氣泡和控制厚度，并在涂敷了樹脂之后照射光，通過使其固化而形成(參照圖4(i))。專利文獻1:特開2002—092969號公報然而，如果通過旋涂法形成用于分離多個信息記錄層的透明樹脂層，則會產(chǎn)生周方向細微的膜厚變動、半徑方向大的膜厚變動，尤其在進行多層層疊之際，基于各樹脂層膜厚變動的疊加，會導致信息記錄介質(zhì)整體的厚度不均增大。而且，由于光固化性樹脂涂敷到信號基板的端面為止，所以，當停止自轉(zhuǎn)通過光照射使樹脂固化時，在信號基板的外周端部會因為表面張力而產(chǎn)生光固化性樹脂的隆起，導致信號基板外周端部的膜厚增大(參照圖4(j))。因此，在利用激光向介質(zhì)進行記錄信號的記錄再生之際，因膜厚變動而產(chǎn)生的球面像差，會對光斑的光圈變動、光斑在信息記錄層上的聚焦控制、使光斑追蹤信號列的追蹤控制造成影響。另外，由于需要逐層實施旋涂，所以，難以縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。鑒于此，研究了通過旋涂法之外的方法來進行制作用于分離信息記錄層的樹脂層的工序。一般在制造塑料板或薄膜的方法中，主要有以下的方法。(1)提高樹脂溫度，從T型模具(dies)推出溶液狀態(tài)的樹脂的方法(T型模法)。(2)通過凹版輥(gmvureroll)從涂敷劑槽中汲取涂敷劑，并利用刮板除去過剩的量，使涂敷劑轉(zhuǎn)印到承載于旋轉(zhuǎn)輥上的支承體的凹版式涂敷法。(3)在輥子之間進行壓延的壓延(calender)法。(4)使溶解于有機溶劑或水的溶液在支承臺上流淌的澆鑄法(castingmethod)。這里，由于每當制造多層記錄信息介質(zhì)時都在信號基板上直接形成樹脂層，所以，不會對信號基板和層疊在信號基板上的信息記錄層自身施加熱及物理上的負載，必須進行樹脂等的涂敷。對于這一方面而言，適合采用(4)的澆鑄法。但是，如果單一采用澆鑄法，則難以實現(xiàn)上述超過50GB的多層信息記錄介質(zhì)所要求程度的厚度均勻性。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明用于解決上述的現(xiàn)有問題，其目的在于，提供一種可在多個信息記錄層之間均勻且高速地形成樹脂層、及減少裝置設備的維護頻度、降低制造成本的多層信息記錄介質(zhì)及其制造方法。為了解決上述的現(xiàn)有課題，本發(fā)明所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法是具有2個以上的信息記錄層，在所述各信息記錄層之間形成有樹脂層的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，所述制造方法包括支承基板的工序；向所述基板之上供給樹脂的工序；和在所述基板的上方，按照刮漿板的最下部與所述基板的面保持一定間隔的方式，使所述刮漿板在所述基板的整個區(qū)域上移動，來除去所述樹脂的多余量的工序。優(yōu)選所述基板設置有涂敷所述樹脂的樹脂涂敷區(qū)域、和不涂敷樹脂的非樹脂涂敷區(qū)域。該情況下，所述樹脂涂敷區(qū)域相對所述樹脂的接觸角比所述非樹脂涂敷區(qū)域相對所述樹脂的接觸角小。而且，優(yōu)選在向所述基板上供給樹脂的工序之前，還包括對所述基板的規(guī)定區(qū)域進行相對所述樹脂的接觸角增大的疏油化處理的工序。在進行所述疏油化處理的工序中，可以在所述基板的所述規(guī)定區(qū)域形成金屬膜。該情況下，優(yōu)選所述金屬膜的主要成分至少含有Au、Cu、Ni中的任意一種。并且，在進行所述疏油化處理的工序中，可以在所述基板的所述規(guī)定區(qū)域，粘接厚度比形成的樹脂層薄的疏油性密封帶。另外，進行所述疏油化處理的所述規(guī)定區(qū)域是所述基板的內(nèi)周部及外周部。在使所述刮漿板在所述基板的整個區(qū)域上移動，來除去所述樹脂的多余量的工序中，按照所述刮漿板的底面部相對所述基板的面平行，且所述刮漿板的底面部與所述基板的面保持一定間隔的方式，使所述刮漿板在所述基板的整個區(qū)域上移動。而且，所述樹脂可以是紫外線固化樹脂。并且，在保持所述基板的工序中，可以在基板保持臺上保持所述基板。該情況下，優(yōu)選所述基板保持臺的內(nèi)徑大于所述基板的內(nèi)徑，所述基板保持臺的外徑小于所述基板的外徑。進而，優(yōu)選所述基板保持臺相對所述樹脂具有疏油性。而且，所述基板可以是具有信號面的信號轉(zhuǎn)印基板。該情況下，還可以包括將形成有信息記錄層的信號基板按照所述信息記錄層與所述信號轉(zhuǎn)印基板對置的方式，粘貼到所述信號轉(zhuǎn)印基板的涂敷了所述樹脂的面的工序；使所述信號轉(zhuǎn)印基板與所述信號基板之間的樹脂層固化的工序；和從與固化后的樹脂層的界面剝離所述信號轉(zhuǎn)印基板的工序。并且，可以在真空氣氛中進行所述信號轉(zhuǎn)印基板與形成有所述信息記錄層的信號基板的貼合工序。其中，所述信號轉(zhuǎn)印基板可以是聚烯烴樹脂。而且，所述基板可以是形成有信號面的信號基板。該情況下，還包括:將具有信號面的信號轉(zhuǎn)印基板按照所述信號面與所述信號基板對置的方式，貼合到所述信號基板的涂敷了所述樹脂的面的工序；使所述信號基板與所述信號轉(zhuǎn)印基板之間的樹脂層固化的工序；和從與固化后的樹脂層的界面剝離所述信號轉(zhuǎn)印基板的工序。并且，可以在真空氣氛中進行所述信號基板與具有所述信號面的所述信號轉(zhuǎn)印基板的貼合。進而，本發(fā)明所涉及的多層信息記錄介質(zhì)，其特征在于，通過上述本發(fā)明所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法制成。由此，可提供一種各信息記錄層間的樹脂層厚度的均勻性出色，穿過從光源到各信息記錄層的介質(zhì)為止的光路長變動少，可抑制因光學像差引起光斑的光圈變動，并可以使聚焦控制、追蹤控制穩(wěn)定的多層信息記錄介質(zhì)。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的多層信息記錄介質(zhì)及其制造方法，可實現(xiàn)各信息記錄層間的樹脂層厚度均勻性出色、并能良好地進行信號的記錄再生的多層信息記錄介質(zhì)。圖1(a)是表示在本發(fā)明實施方式1的樹脂涂敷工序中，向基板上供給樹脂的工序的剖面圖，(b)是(a)的俯視圖。(c)是表示使刮漿板(squeegee)移動，將殘余部分的樹脂除去的工序的剖面圖，(d)是(c)的俯視圖。(e)是表示跨越中心孔使刮漿板移動之際的狀態(tài)的剖面圖，(f)是(e)的俯視圖。圖2(a)(f)是用于對現(xiàn)有的多層信息記錄介質(zhì)進行制作的基板制作用模具的制造方法的各工序的剖面圖。圖3是現(xiàn)有的多層信息記錄介質(zhì)的剖視圖。圖4(a)(j)是現(xiàn)有的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的各工序的剖面圖。圖5是表示本發(fā)明的實施方式1所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的構(gòu)造的剖面圖。圖6是針對信息記錄介質(zhì)進行一次記錄情況下的薄膜層(信息記錄膜)的構(gòu)成進行表示的剖面圖。圖7A是表示本發(fā)明實施方式1中的向第一信號基板轉(zhuǎn)印樹脂的工序中的一道工序的剖面圖。圖7B是表示本發(fā)明實施方式1中的向第一信號基板轉(zhuǎn)印樹脂的工序中的一道工序的剖面圖。圖7C是表示本發(fā)明實施方式1中的向第一信號基板轉(zhuǎn)印樹脂的工序中的一道工序的剖面圖。圖7D是表示本發(fā)明實施方式1中的向第一信號基板轉(zhuǎn)印樹脂的工序中的一道工序的剖面圖。圖8A是表示本發(fā)明實施方式4中多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的向樹脂層進行信號轉(zhuǎn)印工序的一道工序的剖面圖。圖8B是表示本發(fā)明實施方式4中多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的向樹脂層進行信號轉(zhuǎn)印工序的一道工序的剖面圖。圖8C是表示本發(fā)明實施方式4中多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的向樹脂層進行信號轉(zhuǎn)印工序的一道工序的剖面圖。圖8D是表示本發(fā)明實施方式4中多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的向樹脂層進行信號轉(zhuǎn)印工序的一道工序的剖面圖。圖9(a)是表示在本發(fā)明實施方式4的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的透明層樹脂涂敷工序中，向基板上供給樹脂的工序的剖面圖，(b)是(a)的俯視圖。(c)是表示在本發(fā)明實施方式4的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的樹脂涂敷工序中，使刮漿板移動來除去剩余部分的樹脂的工序的剖面圖，(d)是(c)的俯視圖。(e)是表示在本發(fā)明實施方式4的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的樹脂涂敷工序中，當超過中心孔使刮漿板移動時的狀態(tài)的剖面圖，(f)是(e)的俯視圖。圖10是表示在基板上被實施了疏油化處理的非樹脂涂敷區(qū)域、和未被實施疏油化處理后的樹脂涂敷區(qū)域的俯視圖。圖IIA是表示本發(fā)明實施方式1的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的疏油化處理工序之中，準備基板的工序的俯視圖。圖IIB是表示本發(fā)明實施方式1的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的疏油化處理工序之中，掩蓋(mask)樹脂涂敷區(qū)域的工序的俯視圖。圖IIC是表示本發(fā)明實施方式1的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的疏油化處理工序之中，形成疏油性材料的工序的俯視圖。圖IID是表示本發(fā)明實施方式1的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的疏油化處理工序之中，除去掩模的工序的俯視圖。圖12A是在非樹脂涂敷區(qū)域中，相對樹脂的接觸角增大、表示疏油性的示意圖。圖12B是在樹脂涂敷區(qū)域中，相對樹脂的接觸角減小、表示相對樹脂的潤濕性良好的示意圖。圖中101—信號轉(zhuǎn)印基板，102—信號面，103—工作臺(table)，104、104a、104b—非樹脂涂敷區(qū)域，105—樹脂涂敷區(qū)域，106—紫外線固化樹脂/紫外線固化樹脂的樹脂層(未固化狀態(tài))，107—刮漿板，108一空間，109—掩模，IIO—疏油性材料，201—玻璃板，202—感光膜，203_激光，204—凹坑(pit)或?qū)虿鄣鹊膱D案，205—光記錄原盤，206—導電膜，207—鍍膜，208_壓模，301—第一信號基板，302—第一薄膜層，303—第二信號基板，304—第二薄膜層，305—透明層，306—透明基板，307—層疊基板，401—第一信號基板，402—第一薄膜層，403—旋轉(zhuǎn)臺，404—光固化性樹脂A/光固化后的樹脂層，405—光照射機，406—轉(zhuǎn)印基板，407—旋轉(zhuǎn)臺，408—光固化性樹脂B/光固化后的樹脂層，409—光照射機，410—基板，411_基板，412—光固化性樹脂C/光固化后的樹脂層，413—第二薄膜層，414一透明基板，415—透明層，501—第一信號基板，502—第一薄膜層，503—第二信號基板，504—第二薄膜層，505—第三信號基板，506—第三薄膜層，507—第四信號基板，508—第四薄膜層，509一透明層，601—第一信號基板，602—凹坑或?qū)虿鄣鹊男盘柮妫?03—反射膜，604—電介體膜，605—記錄膜，606—電介體膜，701—真空槽，703—真空泵，704—加壓板，705—紫外線照射裝置，801—真空槽，804_加壓板，805—紫外線照射裝置，806—樹脂層，901—第一信號基板，902—記錄面上，903—基盤保持臺，904—非樹脂涂敷區(qū)域，905—樹脂涂敷區(qū)域，卯6—紫外線固化樹脂，907—刮漿板，908—中心孔。具體實施例方式下面，參照附圖對本發(fā)明的實施方式所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法進行說明。雖然本實施方式將針對光盤形狀的信息記錄介質(zhì)的構(gòu)造例進行說明，但并非限定于光盤的形狀，例如也適用于存儲卡等一般的信息記錄介質(zhì)。(實施方式1)圖5是本發(fā)明實施方式1的多層信息記錄介質(zhì)的剖面圖。該多層信息記錄介質(zhì)包括第一信號基板501，其作為在單面形成有以凹凸形成的凹坑或?qū)虿鄣鹊男盘柮娴幕?；在第一信號基?01的信號面上配置的第一薄膜層502;在與第一信號基板501相反側(cè)的面形成有以凹凸形成的凹坑或?qū)虿鄣鹊男盘柮娴牡诙盘柣?03;配置在第二信號基板503的信號面上的第二薄膜層504;在與第二信號基板503相反側(cè)的面形成有以凹凸形成的凹坑或?qū)虿鄣鹊男盘柮娴牡谌盘柣?05;配置在第三信號基板505的信號面上的第三薄膜層506;在與第三信號基板505相反側(cè)的面形成有以凹凸形成的凹坑或?qū)虿鄣鹊男盘柮娴牡谒男盘柣?07;在第四信號基板507的信號面上配置的第四薄膜層508;及配置在第四薄膜層508之上的透明層509。第一信號基板501由外徑0)為120mm、厚1.01.1mm左右的聚碳酸酯或丙烯酸類樹脂的圓板形成，使得信息記錄介質(zhì)的張力與剛性良好，并且與CD、DVD、Blu—rayDisc等光盤在機械結(jié)構(gòu)上具有互換性。對于該第一信號基板501而言，通過利用圖2(f)所示的現(xiàn)有壓模，并基于射出壓縮成型等的樹脂成形，制作成在單面以凹凸形成的凹坑或?qū)虿鄣鹊男盘柮?。在各信號基板的中心部設置有當播放器記錄再生信號時，用于保持并使光盤旋轉(zhuǎn)而采用的直徑O為15mm的中心孔(未圖示)。在本實施方式中，使用聚碳酸酯制的基板作為第一信號基板501。在第一信號基板501上，順次層疊通過涂敷紫外線固化樹脂并使其固化而制造的樹脂層(圖5中的信號基板503、505、507與透明層509)。因此，例如在使信號面朝上的情況下，層疊后的信息記錄介質(zhì)的形狀會基于紫外線固化樹脂特有的特征、即固化收縮而產(chǎn)生凹形狀的翹曲。所以，對于第一信號基板501而言，通過預先使信號面朝上而以凸形狀形成翹曲，可以抵消由樹脂層構(gòu)成的各信號基板503、505、507與透明層509在層疊后的信息記錄介質(zhì)的翹曲，從而層疊后的信息記錄介質(zhì)可以平坦地成形。另外，這里所說的信號基板503、505、507是由樹脂層構(gòu)成的，信號面被轉(zhuǎn)印到樹脂層。在信息記錄介質(zhì)是再生專用型(ROM)的情況下，第一薄膜層502相對再生用的激光具有近似全反射的特性。例如利用濺射或蒸鍍等方法，由Al、Ag、Au、Si、Si02等金屬或半導體、電介體形成薄膜。另一方面，在信息記錄介質(zhì)是一次記錄(WriteOnce)型的情況下，利用圖6對必要的薄膜層(記錄膜)的詳細構(gòu)成進行下述說明。首先，針對在第一信號基板601上形成的凹坑或?qū)虿鄣鹊男盘柮?02，通過濺射或蒸鍍等方法，依次層疊由AlCr構(gòu)成的反射膜603、由ZnS構(gòu)成的電介體膜604、由TeOPd構(gòu)成的記錄膜605、由ZnS構(gòu)成的電介體膜606。這里，第一薄膜層502包括上述反射膜603、電介體膜604、記錄膜605、電介體膜606。另外，雖然這里使用了AlCr作為反射膜603，但也可以與ROM同樣，采用以Ag或Au等金屬為主要成分的材料。而且，還可以采用包括色素膜等的構(gòu)成作為薄膜層。針對第二薄膜層504及第三薄膜層506、第四薄膜層508而言，也可以形成與上述第一薄膜層502同樣的薄膜。也可以基于記錄再生之際的光學特性調(diào)整反射膜603的厚度，或者除去反射膜603自身、調(diào)整電介體膜604和記錄膜605的厚度。優(yōu)選第二信號基板503相對記錄再生光是透明的(具有高的透過性)，例如是通過涂敷以丙烯酸樹脂為主成分的紫外線固化樹脂并使其固化而形成的樹脂層。由于紫外線固化樹脂具備在紫外線頻帶具有吸收光波長，在任意的機會下通過照射紫外線可以使其固化的特征，所以，在樹脂層的形狀控制中十分有效。該由樹脂層構(gòu)成的第二信號基板503通過所述步驟形成。首先，在第一薄膜層502上涂敷了液體的紫外線固化樹脂之后，壓入具有以凹凸形狀形成的凹坑或?qū)虿鄣鹊男盘柮娴男盘栟D(zhuǎn)印基板，通過照射紫外線使其固化之后，從與固化后的紫外線固化樹脂所構(gòu)成的樹脂層的界面剝離信號轉(zhuǎn)印基板。由此，形成了樹脂層(第二信號基板)。這里，涂敷紫外線固化樹脂的區(qū)域比第一信號基板501的外徑小，而且比第一信號基板501的中心孔形成得大(未圖示)。另外，針對第三信號基板505及第四信號基板507而言，也以與上述第二信號基板503同樣的方法及形狀形成。并且，優(yōu)選透明層509也相對記錄再生光是透明的(具有高的透過性)，例如采用以丙烯酸樹脂為主要成分的紫外線固化樹脂而形成。紫外線固化樹脂首先以液體的狀態(tài)(未固化狀態(tài))被使用，在被涂敷到第四薄膜層508上之后，通過紫外線照射而固化。所形成的透明層形成為覆蓋各信號基板與各薄膜層，并形成為在內(nèi)周部與外周部與第一信號基板501直接粘接。接著，利用圖1(a)圖1(f)，對本發(fā)明實施方式1所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法進行說明。圖1(a)是從側(cè)面對在澆鑄裝置(castingapparatus)中將樹脂供給到基板上的狀態(tài)進行觀察的概觀圖。圖1(b)是從上方觀察在裝載于裝置的基板上供給了樹脂的狀態(tài)的概觀圖。圖1(C)是從側(cè)面觀察開始涂敷樹脂的狀態(tài)的裝置及基板的概觀圖。圖1(d)是從上方觀察開始涂敷樹脂的狀態(tài)的裝置及基板的概觀圖。圖1(e)是越過中心孔、使刮漿板移動遍及基板整體一半以上的面積，來涂敷樹脂的狀態(tài)的裝置及基板的剖面圖。圖1(f)是從上方觀察在一半以上的面積涂敷了樹脂的狀態(tài)的裝置及基板的俯視圖。(a)首先如圖1(a)及圖1(b)所示，通過真空吸附等機構(gòu)將信號轉(zhuǎn)印基板101固定到作為基板保持臺的工作臺103。此時，基于真空吸附的減壓效果，將吸附吸引力調(diào)整為信號轉(zhuǎn)印基板1011不發(fā)生變形的程度。而且，在信號轉(zhuǎn)印基板101的表面上形成信號面102，在該面預先形成使在多層記錄介質(zhì)上形成的希望的槽或凹坑形狀反轉(zhuǎn)的槽或凹坑。并且，信號轉(zhuǎn)印基板101由聚烯烴材料形成，該材料是與通過涂敷紫外線固化樹脂106并使其固化而得到的樹脂層的剝離性良好的材料，所述信號轉(zhuǎn)印基板101形成為厚0.30.6mm。通過在信號轉(zhuǎn)印基板101中使用聚烯烴材料，可以與信號轉(zhuǎn)印基板101的成形時同樣地利用現(xiàn)有的壓模，基于射出壓縮成型等樹脂成形技術，容易地制造在單面以凹凸形成的凹坑或?qū)虿鄣鹊男盘柮妗Ａ硗?，聚烯烴材料還具有透過紫外線的特性，通過穿過信號轉(zhuǎn)印基板101并被實施紫外線照射，可以使所涂敷的紫外線固化樹脂高效固化。這里，使用在信號形成面102形成了深25nm的導向槽的信號轉(zhuǎn)印基板。如本實施方式所述，當采用澆鑄法(castingmethod)作為用于分離信息記錄層的樹脂層形成方法時，信號轉(zhuǎn)印基板101的厚度不均、及信號面102的面精度會直接對在信號轉(zhuǎn)印基板101上形成的樹脂層的厚度造成影響。因此，優(yōu)選工作臺103的平滑性高、且信號轉(zhuǎn)印基板101因吸附引起的變形盡量小。鑒于此，本實施方式中采用厚0.6mm(土5um)的信號轉(zhuǎn)印基板101，并使用設置有40個02mm的吸附孔的不銹鋼制工作臺103。此時，優(yōu)選工作臺103的內(nèi)徑大于信號轉(zhuǎn)印基板101的內(nèi)徑，工作臺103的外形小于信號轉(zhuǎn)印基板101的外形。這是為了防止剩余的樹脂與工作臺接觸。在剩余的樹脂與工作臺接觸的情況下，有可能會在信號轉(zhuǎn)印基板101的側(cè)面及背面附著樹脂。為了防止該情況，優(yōu)選使工作臺103的形狀小于信號轉(zhuǎn)印基板101。(b)接著，說明對非樹脂涂敷區(qū)域的內(nèi)周部104a和外周部104b實施疏油化處理。該疏油化處理是指，對于非樹脂涂敷區(qū)域104a、104b賦予紫外線固化樹脂的潤濕性比樹脂涂敷區(qū)域105差，接觸角(contactangle)大的疏油性。換言之，疏油化處理是指對非樹脂涂敷區(qū)域或樹脂涂敷區(qū)域的至少一方進行處理，以使非樹脂涂敷區(qū)域104a、104b對紫外線固化樹脂的接觸角比樹脂涂敷區(qū)域105對樹脂的接觸角大。這里所說的接觸角是指在樹脂(液體)的自由表面與基板相接的位置，液面與基板面所成的角度(處于液體內(nèi)部的角)。例如，圖12A中表示了在非樹脂涂敷區(qū)域中，相對樹脂的接觸角大、顯示疏油性的情況的一個例子。圖12B中表示了在樹脂涂敷區(qū)域，相對樹脂的接觸角小、對樹脂的潤濕性良好的情況的一個例子。一般來說，在以CD、DVD為代表的光盤中，基板內(nèi)周側(cè)的區(qū)域在再生信號時為了支承多層信息記錄介質(zhì)而作為所謂的箝位區(qū)域(clamparea)被使用，不會作為信號面而使用。而且，基板外周側(cè)的區(qū)域由于難以使導向槽或凹坑轉(zhuǎn)印到通過射出成型而制作的信號轉(zhuǎn)印基板的最外周部，所以，也不會作為信號面而被使用。因此，在信號轉(zhuǎn)印基板101中設置涂敷紫外線固化樹脂的樹脂涂敷區(qū)域105和不涂敷紫外線固化樹脂的非樹脂涂敷區(qū)域104a(內(nèi)周部)、104b(外周部)。在本實施方式中，對于非樹脂涂敷區(qū)域的內(nèi)周部104a而言，其范圍設定為在中心形成的015mm的孔的內(nèi)周側(cè)面部、及距離中心孔端面半徑為lOmm的范圍。另夕卜，非樹脂涂敷區(qū)域的外周部104b被設為從半徑59.0mm到半徑60.0mm的外周端、及盤外周部的外周側(cè)面部。該疏油化處理有各種方法，這里將說明通過涂敷疏油性材料，對非樹脂涂敷區(qū)域的內(nèi)周部104a和外周部104b賦予疏油性的方法。作為該疏油性材料例如可舉出高級脂肪羧酸、酰胺類、金屬鹽類、磷酸的芳香族、氟類樹脂、硅酮類樹脂等。另外，可以使用氟類樹脂(商品名PTFE、DuPont公司制造)。其中，當采用該氟類樹脂時，其厚度為3um以下。接著，利用圖11A圖IID對該疏油化處理的一個例子進行說明。i)首先，準備第一信號轉(zhuǎn)印基板101(圖11A)。在該第一信號轉(zhuǎn)印基板101中，例如將內(nèi)周部104a和外周部104b設為非樹脂涂敷區(qū)域，將除此之外的部分設為樹脂涂敷區(qū)域105。ii)預先將樹脂涂敷區(qū)域105設為掩模109(圖11B)。這是為了不對樹脂涂敷區(qū)域105涂敷疏油性材料。掩模的厚度可以為通常所使用的掩模的厚度，如果過厚則無法在邊界部分形成疏油性材料，因此，優(yōu)選掩模的厚度為500um以下。iii)將疏油性材料110噴涂到基板101上(圖11C)。其中，該噴涂的方法可以通過已知的方法來進行。iv)從樹脂涂敷區(qū)域105除去掩模109部分(圖11D)。通過以上的疏油化處理，可以不對樹脂涂敷區(qū)域105涂敷疏油性材料，而只對基板101的非樹脂涂敷區(qū)域的內(nèi)周部104a和外周部104b賦予疏油性。(c)進而如圖1(a)及圖1(b)所示，向具有實施了上述疏油化處理的內(nèi)周部104a和外周部104b的非樹脂涂敷區(qū)域、未被疏油化處理的樹脂涂敷區(qū)域105的信號轉(zhuǎn)印基板101上，供給紫外線固化樹脂106。考慮到密接性和固化時間，選擇在丙烯酸類低聚物中混入丙烯酸類單體，并添加了光聚合始發(fā)劑的丙烯酸類紫外線固化樹脂作為紫外線固化樹脂106。向信號轉(zhuǎn)印基板上供給紫外線固化樹脂的量，被預先設定為樹脂涂敷區(qū)域105的面積與所期望的厚度之積大的值。特別優(yōu)選按照不產(chǎn)生涂敷不均的方式，在樹脂涂敷區(qū)域105的幾乎整個面，預先涂敷比所期望的厚度多的固化樹脂。在本實施方式中，以涂敷厚20um的樹脂為目標。另外，在供給紫外線固化樹脂時，有時會產(chǎn)生信號轉(zhuǎn)印基板101與紫外線固化樹脂106之間的氣泡、紫外線固化樹脂106內(nèi)的氣泡、異物的混入，這些氣泡或異物將成為檢測到錯誤再生信號的原因。因此，在供給紫外線固化樹脂時，優(yōu)選利用分配器等緩慢地進行涂敷，以便不混入氣泡、異物。該紫外線固化樹脂的供給工序例如在幾秒間、具體約為2sec進行。(d)接著如圖1(c)及圖1(d)所示，將刮漿板107的最下部(底面部)設置到離開信號面102距離為20um的位置，使刮漿板107沿著圖中的箭頭方向遍及信號轉(zhuǎn)印基板101上平行移動。通過該刮漿板107可以除去紫外線固化樹脂106的多余量。由于刮漿板107的底面部為平坦的形狀，所以，刮漿板107會除去紫外線固化樹脂106的多余量而實現(xiàn)期望的樹脂厚度(20um)。優(yōu)選刮漿板107的材料為鋁或不銹鋼等金屬。在本實施方式中，采用了不銹鋼材料SUS304。而且，對于刮漿板107而言，優(yōu)選與其移動方向垂直的長度比信號轉(zhuǎn)印基板101的直徑長，比信號轉(zhuǎn)印基板的直徑長幾cm。而且，刮漿板107的底面部(最下部)與信號面102的距離、平行度、刮漿板107的底面部的平滑性，對所形成的樹脂層的厚度和厚度的均勻性直接產(chǎn)生影響。因此，在本實施方式中，按照刮漿板107的底面部的表面粗糙度的最大高度Rmax為1"m以下的方式實施加工。另外，為了提高樹脂層厚度的均勻性，反復調(diào)整刮漿板107的底面部相對信號轉(zhuǎn)印基板101的平行度。此時，由于信號轉(zhuǎn)印基板101由射出成型機制成，所以，利用相同的成型機、相同的模具制作的多個信號轉(zhuǎn)印基板101的厚度不均，分別具有同樣的方向性。而且，信號轉(zhuǎn)印基板101的厚度不均起因于設置于射出成型機的模具的平行度及平面度，在利用平面度十分小的模具進行射出成形的情況下，模具的平行度成為信號轉(zhuǎn)印基板101厚度不均的主要原因。因此，若沿著某一直徑方向觀察，則信號轉(zhuǎn)印基板101其直徑一方的最外周部的厚度最厚，其他的最外周部最薄。為此，在將信號轉(zhuǎn)印基板101設置于工作臺103時，優(yōu)選還考慮該信號轉(zhuǎn)印基板101厚度不均的方向，來設置刮漿板107。這樣，調(diào)整刮漿板107的底面部相對信號轉(zhuǎn)印基板101的平行度，以使通過涂敷紫外線固化樹脂并使其固化而形成的樹脂層的厚度均勻性增高。結(jié)果，例如在樹脂涂敷區(qū)域105整個面形成的厚度的平均值為20um。而且，樹脂層的厚度不均為土lym。另外，厚度的測量使用了根據(jù)分光高度計的波長特性變化來測量膜厚的光學式膜厚測量裝置(Steag公司制造、ETA—OptikGmbH)。另外，對于本發(fā)明的利用刮漿板107除去樹脂的多余量而言，與現(xiàn)有的旋涂法相比，由于當通過現(xiàn)有的旋涂法涂敷樹脂時，不對內(nèi)周部及外周部進行疏油化處理，所以，樹脂被供給到盤的端面為止，外周部不會被賦予疏油性，導致被供給的樹脂無法除去，因此，在盤的外周端具有外周端的樹脂厚度因表面張力而變厚的傾向(參照圖4(j))。另一方面，根據(jù)本實施方式的樹脂涂敷方法，由于不對外周端涂敷樹脂，所以，可減小外周部的隆起。此外，通過調(diào)整刮漿板107的底面部與信號面102的距離，可以控制所形成的樹脂層厚度的平均值。通過該調(diào)整，可以使樹脂層的形成厚度在10um25um之間變化。(e)然后，針對非樹脂涂敷區(qū)域的內(nèi)周側(cè)104a使刮漿板107通過，最終使刮漿板107通過信號轉(zhuǎn)印基板101的整個面。其中，圖1(e)及圖1(f)是刮漿板107通過內(nèi)周側(cè)的非樹脂涂敷區(qū)域104a之后的示意圖。當刮漿板107在信號形成面102上通過時，為了除去多余量的紫外線固化樹脂，由刮漿板107推出樹脂的多余量。從信號轉(zhuǎn)印基板101的外徑溢出的多余樹脂通過工作臺103的傾斜，在重力作用下向下部滑落。另外，為了提高該多余樹脂的回收效率，優(yōu)選預先對工作臺103的周圍進行減壓。而且，在本實施方式的信號轉(zhuǎn)印基板101上開有內(nèi)徑為10mm的孔，樹脂的多余量會在重力作用下從內(nèi)徑的孔落下。此時，為了促使多余量樹脂的下落，預先在工作臺之中設置空間108，將該部分設為低壓。具體而言，優(yōu)選通過泵(未圖示)預先對空間108進行減壓。由此，可防止落下的樹脂回跳到信號轉(zhuǎn)印基板101的背側(cè)。另外，對于刮漿板107的移動速度而言，雖然快速有利于生產(chǎn)節(jié)拍(tact)，但如果過快，則會在樹脂層中產(chǎn)生氣泡、或出現(xiàn)無法涂敷紫外線固化樹脂的缺陷區(qū)域。因此，優(yōu)選刮漿板107的移動速度為100mm/s以下。在本實施方式中，將紫外線固化樹脂的供給過程設為2sce、刮漿板的移動速度設為70mm/s、樹脂層的形成節(jié)拍設為4sec。其中，供給過程是指在使刮漿板移動之前，在盤(信號轉(zhuǎn)印基板101)上供給紫外線固化樹脂的上述工序(c)。通過上述工序，可以高速且高精度地形成厚度均勻性出色的紫外線固化樹脂的樹脂層106。另外，這里對載置一枚信號轉(zhuǎn)印基板101的情況進行了說明，但也可以預先將多枚信號轉(zhuǎn)印基板IOI排列在同一平面上，然后供給樹脂、使刮槳板移動，來除去多余量的樹脂。這樣，通過預先排列多枚基板，可以連續(xù)進行樹脂的涂敷工序，因此可提高效率。而且，由于一枚基板上的多余樹脂可以用于鄰接基板的涂敷，所以，可減少浪費。接著，說明將在信號轉(zhuǎn)印基板101上厚度均勻地形成的由紫外線固化樹脂構(gòu)成的樹脂層，轉(zhuǎn)移到第一信號基板501上，并且，對樹脂層進行信號轉(zhuǎn)印的信號轉(zhuǎn)印工序。圖7A圖7D是表示向未固化狀態(tài)的樹脂層實施信號轉(zhuǎn)印工序的各工序的例子的剖面圖。a)將紫外線固化樹脂的樹脂層(未固化狀態(tài))106的形成完成后的信號轉(zhuǎn)印基板101搬送到真空槽701中。此時，第一信號基板501也同時被搬送到真空槽701之中。第一信號基板501是在表面形成有由導向槽或凹坑構(gòu)成的信號層，并在其上層疊有第一薄膜層502的厚為l.lmm的基板。在信號轉(zhuǎn)印基板101的中心部設置有中心孔(參照圖7A)，用于通過中心凸起(centerboss)消除第一信號基板501和信號轉(zhuǎn)印基板101的偏心。b)然后，通過旋轉(zhuǎn)泵或直空泵(mechanicalboosterpump)等真空泵703等對真空槽701內(nèi)排氣，使其在短時間內(nèi)成為真空氣氛。當真空槽701內(nèi)達到100Pa以下的真空度時，將形成有紫外線固化樹脂的樹脂層(未固化狀態(tài))106的信號轉(zhuǎn)印基板101重合到第一信號基板501上。此時，通過在信號轉(zhuǎn)印基板101的上部設置的加壓板704對信號轉(zhuǎn)印基板101進行加壓，使得紫外線固化樹脂的樹脂層(未固化狀態(tài))106與第一信號基板501貼合。由于真空槽701內(nèi)是真空氣氛，所以，能夠以不會在紫外線固化樹脂的樹脂層106與第一信號基板501之間混入氣泡的狀態(tài)進行貼合(參照圖7B)。c)進而，從真空槽701取出貼合后的信號轉(zhuǎn)印基板101和第一信號基板501。然后，通過在信號轉(zhuǎn)印基板101的上部配置的紫外線照射裝置705照射紫外線(參照圖7C)。這樣，通過隔著信號轉(zhuǎn)印基板101照射整個面，可使紫外線固化樹脂的樹脂層(未固化狀態(tài))106固化，成為樹脂層503。d)接著，在信號轉(zhuǎn)印基板101與紫外線固化樹脂503之間吹入壓縮空氣(參照圖7C)，從紫外線固化樹脂的樹脂層106與信號轉(zhuǎn)印基板101的界面剝離信號轉(zhuǎn)印基板101(參照圖7D)。通過上述各工序，可以在第一信號基板501上的第一薄膜層502之上形成轉(zhuǎn)印了信號層的樹脂層(固化后)503。另外，可以與上述薄膜層及樹脂層的層疊同樣，在形成了樹脂層706的第一信號基板501之上進一步層疊多層的薄膜層及樹脂層。例如，可以通過反復執(zhí)行與第一薄膜層502同樣的基于濺射等方法形成薄膜層的工序；向上述信號轉(zhuǎn)印基板上涂敷紫外線固化樹脂的工序；和使上述信號轉(zhuǎn)印基板與信號基板對置而在樹脂層形成信號面的信號轉(zhuǎn)印工序，由此在第一信號基板501上設置4個信息記錄面。而且，對于作為再生面的透明層509(圖5)的形成而言，通過使用以相對記錄再生光近似透明(具有透過性)的丙烯酸為主要成分的紫外線固化樹脂，在涂敷了樹脂之后，由刮漿板除去多余樹脂而形成。該透明層509的厚度根據(jù)其間夾持的樹脂層的厚度而選定、形成，以使到距離透明層的表面最遠的第一信號基板501上的信息記錄層的厚度，成為能夠?qū)τ涗浽偕^的球面像差進行修正的范圍、即100um左右。例如，在樹脂層(第二信號基板503、第三信號基板505、第四信號基板507)的厚度分別為25um的情況下，按照透明層509的厚度=100"m—25umX3層=25um的方式進行選定。另夕卜，在樹脂層的厚度分別為10ym的情況下，按照透明層509的厚度=100um—10PmX3層=70um的方式進行選定。此外，在該多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中，使由紫外線固化樹脂形成的各樹脂層的外徑小于第一信號基板501的外徑，內(nèi)徑大于第一信號基板501的內(nèi)徑。而且，通過使透明層509與各個樹脂層的區(qū)域相比向半徑方向外側(cè)形成得大，從而成為下述結(jié)構(gòu)由紫外線固化樹脂形成的各樹脂層被包裹在透明層509與第一信號基板501之間。并且，在介質(zhì)的外周部，通過將聚碳酸酯制的第一信號基板501和由紫外線固化樹脂形成的透明層509粘接，使得各樹脂層密閉，可防止各樹脂層和薄膜層的層間剝離。而且，根據(jù)本實施方式的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，在基板之上涂敷了樹脂之后，通過一邊將刮漿板的最下部與基板的面之間的間隔保持為一定，一邊使刮漿板遍布基板的整個面移動，不僅可使所形成的樹脂層的厚度均勻、抑制厚度不均，而且能夠除去多余量的樹脂。此時，優(yōu)選預先對第一信號轉(zhuǎn)印基板101的外周側(cè)面部實施疏油化處理。通過進行該疏油化處理，不僅可以抑制紫外線固化樹脂向非樹脂涂敷區(qū)域104侵入，而且，能夠防止紫外線固化樹脂回入到第一信號轉(zhuǎn)印基板101的背側(cè)。并且，可抑制外周部104b的樹脂層厚度的增加。進而，根據(jù)該多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，可以高速且均勻地形成多層信息記錄介質(zhì)的各樹脂層的厚度。此時，不會產(chǎn)生混入氣泡或未固化等不良情況，且可以向樹脂層高速地進行信號面的轉(zhuǎn)印。根據(jù)上述效果，可以制造能夠?qū)崿F(xiàn)良好的記錄、再生的多層信息記錄介質(zhì)。另外，在本實施方式中舉例說明了4層光信息記錄介質(zhì)的情況，但通過對第一信號基板501和各樹脂層的厚度、透明層的厚度進行調(diào)整，可以進一步制造多層的信息記錄介質(zhì)。(實施方式2)本發(fā)明的實施方式2所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中，和上述實施方式1的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法相比，其不同之處在于疏油化處理中，在非樹脂涂敷區(qū)域形成含有規(guī)定金屬元素的薄膜。另外，其他的樹脂層的形成等與上述實施方式1同樣。在該實施方式2所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中，作為疏油化處理采用磁控濺射裝置，在信號轉(zhuǎn)印基板的非樹脂涂敷區(qū)域形成了Au薄膜(厚度40nm)。下面，對疏油化處理中，在非樹脂涂敷區(qū)域形成包含規(guī)定金屬元素的薄膜的方法進行說明。i)首先，準備第一信號轉(zhuǎn)印基板101。在該第一信號轉(zhuǎn)印基板101中，例如將內(nèi)周部104a和外周部104b設為非樹脂涂敷區(qū)域，將除此之外的部分設為樹脂涂敷區(qū)域105。ii)樹脂涂敷區(qū)域105預先被掩模109覆蓋。這是為了不在樹脂涂敷區(qū)域105中形成含有規(guī)定金屬元素的薄膜。掩模的厚度可以是通常所使用的掩模的厚度，如果過后則無法在邊界部分形成金屬薄膜，因此，優(yōu)選掩模的厚度為500um以下。iii)接著將信號轉(zhuǎn)印基板101投入到磁控濺射裝置的腔內(nèi)，在暫時將腔內(nèi)保持為lXl(T'Pa以下的真空度之后，以利用泵使腔內(nèi)處于排氣的狀態(tài)導入Ar氣體。另外，上述的磁控濺射裝置使用ULVAC公司(7/1^:7夕社)制造的SME系列。iv)在腔內(nèi)的壓力以0.2Pa處于穩(wěn)定狀態(tài)之后，對目標施加三分鐘300W的直流電壓，在信號轉(zhuǎn)印基板101上形成期望厚度的Au薄膜。由于此處形成的All薄膜相對樹脂的接觸角比第一信號轉(zhuǎn)印基板101的材料(聚烯烴樹脂)大，所以，可以取得與上述實施方式l中的疏油化處理同樣的效果。另外，雖然這里在薄膜的制作中采用了磁控濺射裝置，但并不限定于此，例如也可以通過蒸鍍裝置等形成金屬薄膜。該情況下也可得到同樣的效果。v)從樹脂涂敷區(qū)域105除去掩模109部分。根據(jù)以上的疏油化處理，可以不對樹脂涂敷區(qū)域105涂敷Au薄膜，而僅對基板101的非樹脂涂敷區(qū)域的內(nèi)周部104a和外周部104b賦予疏油性。另外，可以利用英弘精機公司制造的自動接觸角測量裝置OCA20，來測量相對紫外線固化樹脂(日本化藥公司制造、DVD001)的接觸角。Au薄膜相對紫外線固化樹脂的接觸角為82度；第一信號轉(zhuǎn)印基板的材料(聚烯烴樹脂)相對紫外線固化樹脂的接觸角為24度。而且，如果利用Au以外的金屬也能夠得到70度以上的接觸角，則可以獲得大致相同的結(jié)果。本發(fā)明者對其他的金屬元素進行了探索，結(jié)果發(fā)現(xiàn)除了Au之外，Cu、Ni在疏油性效果上尤其出色。另外，疏油化處理中，可以利用這些金屬元素中的一種金屬元素形成薄膜，也可以利用兩種以上的金屬元素形成薄膜。并且，除了上述金屬元素之外，還可以形成導入了非金屬元素的薄膜。如上所述，通過在信號轉(zhuǎn)印基板101的非樹脂涂敷區(qū)域104形成Au薄膜，從而非樹脂涂敷區(qū)域104相對紫外線固化樹脂的接觸角將大幅增大。由此，可以不對非樹脂涂敷區(qū)域104涂敷紫外線固化樹脂，而僅對樹脂涂敷區(qū)域105以均勻的厚度涂敷紫外線固化樹脂。然后，與實施方式l同樣，利用信號轉(zhuǎn)印基板和信號基板的貼合裝置(圖7A、圖7B)，在真空氣氛中將由紫外線固化樹脂構(gòu)成的樹脂層(未固化狀態(tài))轉(zhuǎn)印到第一信號基板上，通過曝光使樹脂層固化，進而可以層疊信息記錄層。重復以上的工序直到得到所期望數(shù)量的信息記錄層，最后形成透明層，從而可制造多層記錄介質(zhì)。(實施方式3)在本發(fā)明實施方式3所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中，與上述實施方式1及2所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法相比，其不同之處在于疏油化處理中，在非樹脂涂敷區(qū)域粘貼規(guī)定的疏油性密封帶(Oilr印ellentseal)。另外，其他的樹脂層的形成等與上述實施方式1同樣。在該實施方式3所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中，在對信息轉(zhuǎn)印基板的非樹脂涂敷區(qū)域粘貼了疏油性密封帶之后，進行紫外線固化樹脂的涂敷。下面，對疏油化處理中，在非樹脂涂敷區(qū)域粘貼規(guī)定的疏油性密封帶的方法進行說明。i)首先，準備第一信號轉(zhuǎn)印基板101。在該第一信號轉(zhuǎn)印基板101中，例如將內(nèi)周部104a和外周部104b設為非樹脂涂敷區(qū)域，將除此之外的部分設為樹脂涂敷區(qū)域105。將信號轉(zhuǎn)印基板的非樹脂涂敷區(qū)域的外周部104b設為從半徑59.5mm到半徑60mm的外周端的范圍。另外，將信號轉(zhuǎn)印基板的非樹脂涂敷區(qū)域的內(nèi)周部104a設為距離在中心形成的O15mm的中心孔的端面半徑為lOmm的范圍。ii)接著，將疏油性密封帶粘貼到該第一信號轉(zhuǎn)印基板101的非樹脂涂敷區(qū)域104。這里所說的疏油性密封帶是表面被疏油化處理后的塑料膜。通過將該疏油性密封帶粘貼到規(guī)定區(qū)域，可以對該規(guī)定區(qū)域賦予疏油性。作為該疏油性密封帶的材料，可以采用聚乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯或聚酰亞胺等塑料薄膜。如果該疏油性密封帶的厚度比要形成的樹脂層的厚度厚，則由于刮漿板會與密封帶接觸，所以，無法形成所期望膜厚的樹脂層。因此，優(yōu)選粘貼到非樹脂涂敷區(qū)域104的疏油性密封帶的厚度比要形成的樹脂層的膜厚薄。另外，該實施方式3中采用的疏油性密封帶，是主要應用于電容器的密封帶，使用了由聚對苯二甲酸乙二醇酯材料構(gòu)成、厚度10um的密封帶。根據(jù)以上的疏油化處理，可以通過粘貼于非樹脂涂敷區(qū)域104的疏油性密封帶，僅對信號轉(zhuǎn)印基板101的非樹脂涂敷區(qū)域的內(nèi)周部104a和外周部104b賦予疏油性。接著，對將疏油性密封帶粘貼到非樹脂涂敷區(qū)域104后的信號轉(zhuǎn)印基板101涂敷樹脂的工序進行說明。對將上述疏油性密封帶粘貼到該非樹脂涂敷區(qū)域104a、104b后的信號轉(zhuǎn)印基板101涂敷紫外線固化樹脂，并通過刮漿板除去樹脂的多余量。然后，除去粘貼于非樹脂涂敷區(qū)域104的疏油性密封帶。通過這些作業(yè)，可以不在非樹脂涂敷區(qū)域104a、104b上形成樹脂層，而在樹脂涂敷區(qū)域105上以均勻的厚度涂敷紫外線固化樹脂。然后，與實施方式1同樣，利用信號轉(zhuǎn)印基板和信號基板的貼合裝置(圖7A及圖7B)，在真空氣氛中將由紫外線固化樹脂構(gòu)成的樹脂層(未固化狀態(tài))106轉(zhuǎn)印到第一信號基板上，通過曝光使樹脂層固化，進而層疊薄膜層，形成信息記錄面，最后形成透明層，從而可以制造多層記錄介質(zhì)。另外，通過反復進行本實施方式的樹脂層的形成、信息記錄層的層疊，可以制造多層構(gòu)造的信息記錄介質(zhì)。根據(jù)本實施方式3，能夠只對樹脂涂敷區(qū)域以均勻的厚度簡單地涂敷紫外線固化樹脂，從而可以高速且均勻地形成多層信息記錄介質(zhì)的各樹脂層(信號基板)的厚度。而且，由于在真空氣氛下進行信號轉(zhuǎn)印基板101與第一信號基板501的貼合，所以，不會發(fā)生氣泡的混入或未固化等不良情況，且可以高速進行向樹脂層(未固化狀態(tài))的信號轉(zhuǎn)印。根據(jù)上述效果，可實現(xiàn)能夠良好地進行記錄、再生的多層信息記錄介質(zhì)。(實施方式4)在本發(fā)明的實施方式4所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中，和上述實施方式13所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法相比，其不同之處在于，特別在覆蓋表面的透明層的形成當中，利用刮漿板除去多余量的樹脂。具體而言，在該多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中，當形成覆蓋表面的透明層時，在涂敷了樹脂之后，一邊將配置在信號基板上的刮漿板的最下部與信號基板的面之間的間隔保持為一定，一邊遍及整個表面使刮漿板移動，來除去多余量的樹脂。而且，在該實施方式4中，與上述實施方式13所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法相比，其不同點還在于，將紫外線固化樹脂涂敷到第一信號基板501上的第一薄膜層502之上，而不是第一信號轉(zhuǎn)印基板101。其中，作為在第一信號基板501上形成樹脂層的方法，可以在第一信號基板501的第一薄膜層502之上涂敷紫外線固化樹脂之后貼合信號轉(zhuǎn)印基板101，或者也可與實施方式13同樣，在信號轉(zhuǎn)印基板101的信號面涂敷了紫外線固化樹脂之后粘合第一信號基板501。另外，每當涂敷紫外線固化樹脂時，對于針對非樹脂涂敷區(qū)域進行疏油化處理、來賦予疏油性的疏油化處理而言，可以采用與實施方式13同樣的方法。這里，針對與實施方式3同樣地向非樹脂涂敷區(qū)域粘貼疏油性密封帶的方法進行說明。i)首先，準備層疊了第一薄膜層502的第一信號基板501。在該第一信號基板501中，例如將內(nèi)周部104a和外周部104b設為非樹脂涂敷區(qū)域，將除此之外的部分設為樹脂涂敷區(qū)域105。ii)接著，在層疊有該第一薄膜層502的第一信號基板501上的外周部104b、及內(nèi)周部104a的非樹脂涂敷區(qū)域粘貼厚15"m的疏油性密封帶。通過以上的疏油化處理，可以利用粘貼在非樹脂涂敷區(qū)域104的疏油性密封帶，僅對信號轉(zhuǎn)印基板101的非樹脂涂敷區(qū)域的內(nèi)周部104a和外周部104b賦予疏油性。接著，說明對向非樹脂涂敷區(qū)域104粘貼了疏油性密封帶之后的信號基板501涂敷樹脂的工序。向?qū)⑸鲜鍪栌托悦芊鈳д迟N到該非樹脂涂敷區(qū)域104a、104b的第一信號基板501涂敷厚20um的紫外線固化樹脂，并通過刮漿板除去樹脂的多余量。然后，摘除在非樹脂涂敷區(qū)域104粘貼的疏油性密封帶。通過這些作業(yè)，能夠以均勻的厚度對樹脂涂敷區(qū)域105涂敷紫外線固化樹脂，而不會在非樹脂涂敷區(qū)域104a、104b形成樹脂層。之后，在形成了樹脂層(未固化狀態(tài))的第一信號基板501上，利用具有信號面的信號轉(zhuǎn)印基板101將信號面轉(zhuǎn)印給樹脂層。利用圖8A圖8D對該信號轉(zhuǎn)印工序進行說明。圖8A圖8D是表示實施方式4的向樹脂層(未固化狀態(tài))進行信號轉(zhuǎn)印工序的一個例子的剖面圖。a)在第一信號基板501上的第一薄膜層502上完成了紫外線固化樹脂的涂敷之后，搬送到真空槽801中。此時，信號轉(zhuǎn)印基板101也同時被搬送到真空槽801中。第一信號基板501是在表面形成有導向槽或凹坑等的信號面，其上形成有第一薄膜層502的厚l.lmm的基板。另一方面，在信號轉(zhuǎn)印基板101的中心部設置有中心孔(參照圖8A)，用于通過中心凸起消除第一信號基板501和信號轉(zhuǎn)印基板101的偏心。b)然后，通過旋轉(zhuǎn)泵或直空泵(mechanicalboosterpump)等真空泵803等對真空槽801內(nèi)排氣，使其在短時間內(nèi)成為真空氣氛。當真空槽801內(nèi)達到100Pa以下的真空度時，將信號轉(zhuǎn)印基板101重合到形成有由紫外線固化樹脂構(gòu)成的樹脂層(未固化狀態(tài))106的第一信號基板501上。此時，通過在信號轉(zhuǎn)印基板101的上部設置的加壓板804對信號轉(zhuǎn)印基板101進行加壓，將信號基板101的信號面轉(zhuǎn)印到由紫外線固化樹脂構(gòu)成的樹脂層(未固化狀態(tài))106。由于真空槽801內(nèi)是真空氣氛，所以，能夠以不會在樹脂層106與信號轉(zhuǎn)印基板101之間混入氣泡的狀態(tài)進行貼合(參照圖8B)。c)進而，從真空槽801取出貼合后的信號轉(zhuǎn)印基板101和第一信號基板501。然后，通過利用在信號轉(zhuǎn)印基板101的上部配置的紫外線照射裝置805，隔著信號轉(zhuǎn)印基板101對整個面照射紫外線，可以使由紫外線固化樹脂構(gòu)成的樹脂層固化，成為樹脂層503(參照圖8C)。d)接著，在信號轉(zhuǎn)印基板101與紫外線固化樹脂503之間吹入壓縮空氣(參照圖8C)，從紫外線固化樹脂的樹脂層106與信號轉(zhuǎn)印基板101的界面剝離信號轉(zhuǎn)印基板101(參照圖8D)。通過上述各工序，可形成信號面被轉(zhuǎn)印到第一信號基板501上的第一薄膜層502之上的樹脂層503。由此，可在第一信號基板501上形成第二信號面。然后，例如通過磁控濺射裝置在該第二信號面上形成第二薄膜層(信息記錄膜)。最后，利用圖9(a)(f)對形成覆蓋表面的透明層509的方法進行說明。圖9(a)(f)是表示在順次層疊了第二信號基板503(樹脂層)及第二薄膜層504(信息記錄層)的第一信號基板501上形成透明層509的工序圖。a)首先，在依次層疊了第二信號基板(樹脂層)及第二薄膜層(信息記錄層)的第一信號基板501中，設置形成透明層的樹脂涂敷區(qū)域、和不形成透明層的非樹脂涂敷區(qū)域。其中，形成透明層時的非樹脂涂敷區(qū)域與涂敷成為信號基板的樹脂層時的非樹脂涂敷區(qū)域不同。即，在涂敷成為第二信號基板的樹脂層之際，內(nèi)周部904a及外周部904b是非樹脂涂敷區(qū)域，但由于透明層還需要覆蓋外周部904b，所以，外周部904b成為樹脂涂敷區(qū)域。另一方面，由于樹脂涂敷到外周部904b為止，所以，外周側(cè)面部904c成為非樹脂涂敷區(qū)域。因此，該情況下，內(nèi)周部904a及外周側(cè)面部卯4c成為非樹脂涂敷區(qū)域。鑒于此，例如除去粘貼在外周部904b的疏油性密封帶，并對外周側(cè)面部卯4c粘貼疏油性的密封帶，來賦予疏油性。這樣，形成了相對紫外線固化樹脂的疏油性只有內(nèi)周部904a和外周側(cè)面部904c高的狀態(tài)。b)利用基板保持臺903并通過真空吸附對形成有第二薄膜層(信息記錄層)的第一信號基板901進行固定。然后，如圖9(a)及圖9(b)所示，將紫外線固化樹脂906供給到第一信號基板901的記錄面902上。c)接著，如圖9(c)及圖9(d)所示，一邊將刮漿板907的最下部與第一信號基板901的面之間的間隔保持為一定，一邊使刮漿板907移動，通過刮漿板907除去紫外線固化樹脂906的多余量。d)然后，如圖9(e)及圖9(f)所示，使刮漿板907通過非樹脂涂敷區(qū)域的內(nèi)周側(cè)904a，最終使刮漿板907通過第一信號基板901的整個面。其中，圖9(e)及圖9(f)是刮漿板907通過非樹脂涂敷區(qū)域的內(nèi)周部904a后的示意圖。此時，在粘貼有疏油性密封帶的內(nèi)周部904a及外周側(cè)面部904c的非樹脂涂敷區(qū)域，沒有涂敷樹脂906。而且，樹脂906的剩余部分從基板保持臺903(工作臺)的中心孔908、第一信號基板901(盤)的外側(cè)落下。e)使樹脂906光固化，成為透明層906。通過進行以上的工序，可得到以均勻的厚度形成了透明層906的多層信息記錄介質(zhì)。另夕卜，通過將刮漿板907的底面部與記錄面上902的距離設為75um，嚴格地保持平行度，例如能夠以士lum的精度形成75ym的透明層906。如上所述，本發(fā)明通過優(yōu)選實施方式進行了更加詳細的說明，但本發(fā)明并不限定于此，對于本領域人員而言，當然可以知曉在權(quán)利要求所記載的本發(fā)明的技術范圍內(nèi)，能夠進行大量的優(yōu)選變形例及修正例。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明所涉及的多層信息記錄介質(zhì)及其制造方法，作為在一個記錄介質(zhì)中具有多個信息記錄面的光盤等及其制造方法是有效的。而且，還可以應用到光盤之外的信息存儲卡等。權(quán)利要求1、一種多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，用于制造具有2個以上的信息記錄層并在所述各信息記錄層之間形成有樹脂層的多層信息記錄介質(zhì)，該多層信息記錄介質(zhì)的制造方法包括支承基板的工序；向所述基板之上供給樹脂的工序；和在所述基板的上方，按照刮漿板的最下部與所述基板的面保持一定間隔的方式，使所述刮漿板在所述基板的整個區(qū)域上移動，來除去所述樹脂的多余量的工序。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述基板具有涂敷所述樹脂的樹脂涂敷區(qū)域和不涂敷樹脂的非樹脂涂敷區(qū)域，所述樹脂涂敷區(qū)域相對所述樹脂的接觸角比所述非樹脂涂敷區(qū)域相對所述樹脂的接觸角小。3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，在向所述基板之上供給樹脂的工序之前，還包括對所述基板的規(guī)定區(qū)域進行相對所述樹脂的接觸角變大的疏油化處理的工序。4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，在進行所述疏油化處理的工序中，在所述基板的所述規(guī)定區(qū)域形成金屬膜。5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述金屬膜的主要成分至少含有Au、Cu、Ni中的任意一種。6、根據(jù)權(quán)利要求3所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，在進行所述疏油化處理的工序中，在所述基板的所述規(guī)定區(qū)域粘接厚度比形成的樹脂層薄的疏油性密封帶。7、根據(jù)權(quán)利要求3所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，進行所述疏油化處理的所述規(guī)定區(qū)域是所述基板的內(nèi)周部及外周部。8、根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，在使所述刮漿板在所述基板的整個區(qū)域上移動，來除去所述樹脂的多余量的工序中，按照所述刮漿板的底面部相對所述基板的面平行，且所述刮漿板的底面部與所述基板的面保持一定間隔的方式，使所述刮漿板在所述基板的整個區(qū)域上移動。9、根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述樹脂是紫外線固化樹脂。10、根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，在保持所述基板的工序中，在基板保持臺上保持所述基板。11、根據(jù)權(quán)利要求10所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述基板保持臺的內(nèi)徑大于所述基板的內(nèi)徑，所述基板保持臺的外徑小于所述基板的外徑。12、根據(jù)權(quán)利要求10所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述基板保持臺相對所述樹脂具有疏油性。13、根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述基板是具有信號面的信號轉(zhuǎn)印基板。14、根據(jù)權(quán)利要求13所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，還包括將形成有信息記錄層的信號基板按照所述信息記錄層與所述信號轉(zhuǎn)印基板對置的方式，粘貼到所述信號轉(zhuǎn)印基板的涂敷了所述樹脂的面的工序；使所述信號轉(zhuǎn)印基板與所述信號基板之間的樹脂層固化的工序；和從與固化后的樹脂層的界面剝離所述信號轉(zhuǎn)印基板的工序。15、根據(jù)權(quán)利要求14所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，在真空氣氛中進行所述信號轉(zhuǎn)印基板與形成有所述信息記錄層的信號基板的貼合工序。16、根據(jù)權(quán)利要求15所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述信號轉(zhuǎn)印基板是聚烯烴樹脂。17、一種多層信息記錄介質(zhì)，通過權(quán)利要求14所述的制造方法制成。18、根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述基板是形成有信號面的信號基板。19、根據(jù)權(quán)利要求18所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，還包括將具有信號面的信號轉(zhuǎn)印基板按照所述信號面與所述信號基板對置的方式，貼合到所述信號基板的涂敷了所述樹脂的面的工序；使所述信號基板與所述信號轉(zhuǎn)印基板之間的樹脂層固化的工序；和從與固化后的樹脂層的界面剝離所述信號轉(zhuǎn)印基板的工序。20、根據(jù)權(quán)利要求19所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于，在真空氣氛中進行所述信號基板與具有所述信號面的所述信號轉(zhuǎn)印基板的貼合工序。全文摘要一種多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，用于制造具有2個以上的信息記錄層并在所述各信息記錄層之間形成有樹脂層的多層信息記錄介質(zhì)，包括支承基板的工序；向所述基板上供給樹脂的工序；和在所述基板的上方，按照刮漿板的最下部與所述基板的面保持一定間隔的方式，使所述刮漿板在所述基板的整個區(qū)域上移動，來除去所述樹脂的多余量的工序。而且，所述基板具有涂敷所述樹脂的樹脂涂敷區(qū)域和不涂敷樹脂的非樹脂涂敷區(qū)域。該情況下，所述樹脂涂敷區(qū)域相對所述樹脂的接觸角比所述非樹脂涂敷區(qū)域相對所述樹脂的接觸角小。并且，在向所述基板上供給樹脂的工序之前，還包括對所述基板的規(guī)定區(qū)域進行相對所述樹脂的接觸角增大的疏油化處理的工序。文檔編號G11B7/26GK101176153SQ20068001670公開日2008年5月7日申請日期2006年5月15日優(yōu)先權(quán)日2005年5月17日發(fā)明者佃雅彥,富山盛央,留河優(yōu)子,錦織圭史申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社