專(zhuān)利名稱(chēng)：彈簧載荷修正方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種彈簧載荷修正方法。例如，可以被利用于高精度地制造 支撐電腦或各種再生，記錄裝置的磁記錄裝置的硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器(HDD)等磁頭 的板簧(懸浮架)。
背景技術(shù)：
以前，彈簧載荷的測(cè)定被廣泛地應(yīng)用。以下，作為彈簧的一個(gè)實(shí)例，以 支撐硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器磁頭的懸浮架為例進(jìn)行說(shuō)明。隨著硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器記錄密度的飛躍發(fā)展，對(duì)支撐磁頭的懸浮架制造精度要 求相當(dāng)嚴(yán)格。磁頭的在信息記錄再現(xiàn)時(shí)的浮起量，受到靜止?fàn)顟B(tài)的載荷值的 影響。因此，懸浮頭載荷對(duì)磁頭的浮起姿勢(shì)或浮起特性具有很大影響。為此， 在每個(gè)懸浮架的制造工序中，必須進(jìn)行上述懸浮頭負(fù)荷的測(cè)定及修正。圖18是停止磁盤(pán)21旋轉(zhuǎn)時(shí)的懸浮架200狀態(tài)。懸浮架200，通過(guò)板簧 部202將承載梁203設(shè)在被支撐體24所支撐的支承板201上。在承載梁203 上，安裝著撓曲部件(flexure) 209，并在其前端部設(shè)有包含磁頭的滑觸頭 210。在撓曲部件209的前端部，靠接著被設(shè)于承載梁203上的拱形凸部208a。在撓曲部件209的上面，粘貼著構(gòu)成磁頭的滑觸頭210?；|頭210， 滑動(dòng)于磁盤(pán)21表面。在滑觸頭210的內(nèi)部，包含讀寫(xiě)磁頭(未圖示)。磁頭 當(dāng)中，相對(duì)于磁盤(pán)21的滑動(dòng)面是滑觸頭210。在撓曲部件209上，靠接著 被設(shè)于承載梁203前端的拱形凸部208a。拱形凸部208a是滑觸頭210的轉(zhuǎn) 動(dòng)支點(diǎn)。撓曲部件209，被板簧部202彈性地支撐。因此，當(dāng)磁盤(pán)21的旋轉(zhuǎn)停止時(shí)，撓曲部件209受到承載梁203的板簧202的彎曲力，將滑觸頭210壓 在磁盤(pán)21上。這樣，把在滑觸頭210與停止轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的磁盤(pán)21接觸時(shí)的接觸 載荷稱(chēng)為上述磁頭載荷?；|頭210，當(dāng)磁盤(pán)21高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，受到產(chǎn)生于磁盤(pán)21表面上的空氣 流的影響。即，滑觸頭210受到來(lái)自空氣流的浮力而浮起，這樣滑觸頭210 進(jìn)行對(duì)磁盤(pán)21的信息記錄再現(xiàn)。該浮起量，收到浮力與懸浮架的彎曲力平 衡的影響。該浮起量一般為數(shù)nm 數(shù)十nm。磁頭載荷，自以往以來(lái)以下述的方法測(cè)定。在以下的實(shí)例中，磁頭載荷的測(cè)定對(duì)象，是裝載了滑觸頭210的上述懸 浮架200。在以裝載了滑觸頭210的懸浮架200為測(cè)定對(duì)象時(shí)，只考慮滑觸 頭210的厚度(圖19的Z210)即可，并能以同樣的方法測(cè)定。在圖19中，符號(hào)200a表示自由時(shí)(無(wú)負(fù)荷狀態(tài))的懸浮架200。符號(hào) 200b，表示滑觸頭210與停止旋轉(zhuǎn)時(shí)的磁盤(pán)21接觸時(shí)的懸浮架200 (與圖 18狀態(tài)相同)。g卩，懸浮架200b通過(guò)滑觸頭210給予磁盤(pán)21的載荷為磁頭 載荷。符號(hào)Zf表示從被固定的支撐體24的基準(zhǔn)面25a到自由時(shí)的懸浮架200a 的撓曲部件209a的高度。符號(hào)Z21表示從基準(zhǔn)面25a到磁盤(pán)21的下面(與 磁盤(pán)21的接觸面)的高度。符號(hào)Zh表示將滑觸頭210壓在停止旋轉(zhuǎn)時(shí)的磁 盤(pán)21上的懸浮架200b的撓曲部件209b的距基準(zhǔn)面25a的高度。g卩，磁盤(pán) 21下面的高度Z21，其為(Zh+Z210)。根據(jù)上述說(shuō)明，在測(cè)定懸浮架200的磁頭載荷時(shí)，如圖19及圖20所示， 在測(cè)力計(jì)300的載荷測(cè)定頭310與撓曲部件209接觸的狀態(tài)下，使測(cè)力計(jì) 300下降，并將撓曲部件209 —直壓到高度Zh的位置，只要用測(cè)力計(jì)300 測(cè)定該狀態(tài)下來(lái)自撓曲部件209的載荷(反作用力)即可。以下，參照?qǐng)D 21更具體地說(shuō)明磁頭載荷的測(cè)定方法。(1) 首先，預(yù)先準(zhǔn)備已知磁頭載荷的懸浮架200 (校正工件)。(2) 然后，用工件夾鉗400夾持并從上方施壓，將該校正工件200 固定在基準(zhǔn)面401上。(3) 然后，用氣缸等上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)410將測(cè)力計(jì)420向上方移動(dòng)， 使測(cè)力計(jì)420的載荷測(cè)定頭425與校正工件200接觸。(4) 隨后， 一邊利用測(cè)力計(jì)420監(jiān)控輸出的載荷， 一邊使上升端 定程器430上下移動(dòng)，調(diào)整測(cè)力計(jì)420的高度，并將上升端定程器430的位 置固定在由測(cè)力計(jì)420輸出的載荷與校正工件200的已知載荷一致的位置(測(cè)力計(jì)420的高度調(diào)整結(jié)束)。(5) 然后，在下降測(cè)力計(jì)420的同時(shí)，使工件夾鉗400下降，并 拆下校正工件200。(6) 然后，用工件夾鉗400將測(cè)定對(duì)象的懸浮架200固定在基準(zhǔn)面401上。(7) 然后，使測(cè)力計(jì)420上升，且和上述(4) 一樣地與調(diào)整后 的上升端定程器430相靠。(8) 在上述(7)的狀態(tài)下由測(cè)力計(jì)420輸出的載荷，并被作為 測(cè)定對(duì)象懸浮架200的磁頭載荷而獲得。如上所述，當(dāng)測(cè)定懸浮架200的載荷時(shí)，將其測(cè)定結(jié)果與正確的載荷比 較，并將懸浮架200修正為正確的載荷。近年來(lái)，有提案提出用激光照射懸 浮架200，利用該部位的熱變形進(jìn)行載荷修正的技術(shù)。作為這樣的修正技術(shù)，有特公平7—77063號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)2)所公 開(kāi)的以下技術(shù)。即，用激光照射彈簧臂的寬度方向以進(jìn)行載荷修正，以獲得 規(guī)定的接觸壓力。專(zhuān)利文獻(xiàn)1特開(kāi)平6—44760號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2特公平7—77063號(hào)公報(bào)希望在更高精度地測(cè)定彈簧載荷的基礎(chǔ)上進(jìn)行修正。另外，希望高精度地求得彈簧載荷的必要修正量。并且，希望只高精度地修正彈簧載荷的必要修正量。特別是，在支撐磁頭的懸浮架上，對(duì)磁頭載荷要求極高的精度。由該懸 浮架所求出的載荷，以往，對(duì)于例如為3 土 1.5 (gf)或2.5 土 0.4 (gf)左 右，近年來(lái)被高精度地提高到例如0.4 土 0.04 (gf)的水平。對(duì)于上述的要求，用以往的彈簧載荷修正方法則不能充分地對(duì)應(yīng)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種能以更高精度修正彈簧載荷的彈簧載荷修 正方法。本發(fā)明所涉及的是測(cè)定彈簧特性系數(shù)并計(jì)算各個(gè)彈簧自由高度的偏差， 通過(guò)與其自由高度一致，而高精度與載荷一致的修正方法。本發(fā)明的彈簧載荷修正方法，使作為測(cè)定對(duì)象的彈簧在位于規(guī)定高度時(shí) 產(chǎn)生規(guī)定的載荷，其特征在于，具有(i)求出所述彈簧的彈簧特性系數(shù)的步驟、(j)根據(jù)所述彈簧特性系數(shù)，求出所述彈簧位于所述高度時(shí)的所述載荷 的步驟、(k)用所述載荷測(cè)定結(jié)果，修正所述彈簧的步驟。 在上述中，所謂的彈簧高度，是彈簧被固定在基準(zhǔn)面上時(shí)距彈簧的基準(zhǔn) 面的高度。根據(jù)本發(fā)明，在測(cè)量彈簧的彈簧特性系數(shù)的基礎(chǔ)上，根據(jù)其彈簧 特性系數(shù)，可求出在規(guī)定高度下的載荷，所以能進(jìn)行更高精度的測(cè)定。本發(fā)明的彈簧載荷修正方法，是包括設(shè)置有磁頭的懸浮架本體和末端引 板部的懸浮架的彈簧載荷修正方法，該末端引板部，與懸浮架本體具有高度 差，其特征在于，具有(t)求出所述彈簧的彈簧特性系數(shù)的步驟、(U)將載荷測(cè)定頭與所述末端引板部接觸并測(cè)定所述末端引板部的載 荷的步驟、(V)測(cè)定在實(shí)行所述(U)時(shí)的所述磁頭高度的步驟、(W)在以所述(U)測(cè)定的載荷值上乘上所述載荷測(cè)定頭與拱形凸部位 置的杠桿比并計(jì)算出在所述磁頭位置的載荷的步驟、(X)根據(jù)所述懸浮架的彈簧特性系數(shù)，修正所述(V)的高度誤差部分 的載荷的步驟。本發(fā)明的彈簧載荷修正方法，使作為測(cè)定對(duì)象的彈簧在位于規(guī)定高度時(shí) 產(chǎn)生規(guī)定的載荷，其特征在于，具有(bf) 將載荷測(cè)定裝置直接或間接地與所述彈簧接觸的步驟、(bg) 對(duì)載荷測(cè)定裝置直接或間接地與所述彈簧接觸部分的高度進(jìn)行測(cè) 定的步驟、(bh) 用所述高度的測(cè)定結(jié)果，測(cè)定所述彈簧在所述規(guī)定高度時(shí)的所述 載荷的步驟、(bi) 用所述載荷測(cè)定結(jié)果，修正所述彈簧的步驟。 本發(fā)明的彈簧載荷修正方法，使作為測(cè)定對(duì)象的彈簧在位于規(guī)定高度時(shí)產(chǎn)生規(guī)定載荷，其特征在于，具有(bj)使載荷測(cè)定裝置與所述彈簧接觸的步驟、(bk)測(cè)定與所述載荷測(cè)定裝置接觸的所述彈簧高度的步驟、(bl)用所述高度的測(cè)定結(jié)果，測(cè)定所述彈簧在位于所述規(guī)定高度時(shí)的所述載荷的步驟、(bm)用所述載荷的測(cè)定結(jié)果，修正所述彈簧的步驟。


圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明彈簧載荷修正方法的一實(shí)施例優(yōu)點(diǎn)的圖。圖2是表示本發(fā)明的彈簧載荷修正方法的一實(shí)施例的側(cè)視圖。 圖3是本發(fā)明彈簧載荷修正方法的其他實(shí)施例一個(gè)工序的側(cè)視圖。 圖4是本發(fā)明彈簧載荷修正方法的其他實(shí)施例其他工序的側(cè)視圖。 圖5是本發(fā)明彈簧載荷修正方法的其他實(shí)施例又一工序的側(cè)視圖。 圖6是本發(fā)明彈簧載荷修正方法的其他實(shí)施例中所使用的載荷一高度 曲線(xiàn)的曲線(xiàn)圖。圖7是在本發(fā)明彈簧載荷修正方法的又一實(shí)施例中所使用的載荷一高度曲線(xiàn)的曲線(xiàn)圖上表示在設(shè)定的高度上的載荷值的圖。圖8是在本發(fā)明彈簧載荷修正方法的又一實(shí)施例中所使用的載荷一高度曲線(xiàn)的曲線(xiàn)圖上表示修正量的圖。圖9是用于說(shuō)明本發(fā)明彈簧載荷修正方法的又一實(shí)施例的具體順序圖。 圖10是用于說(shuō)明本發(fā)明彈簧載荷修正方法的又一實(shí)施例效果的圖。 圖11是用于說(shuō)明本發(fā)明彈簧載荷修正方法的又一實(shí)施例效果的其他的圖。圖12是用于說(shuō)明本發(fā)明彈簧載荷修正方法的又一實(shí)施例效果的另外的圖。圖13是用于說(shuō)明本發(fā)明彈簧載荷修正方法的又一實(shí)施例效果的另外的圖。圖14是用于說(shuō)明本發(fā)明彈簧載荷修正方法的又一實(shí)施例效果的另外的 曲線(xiàn)圖。圖15是用于說(shuō)明本發(fā)明彈簧載荷修正方法的又一實(shí)施例效果的另外的 曲線(xiàn)圖。圖16是表示本發(fā)明彈簧載荷修正方法的又一實(shí)施例的側(cè)視圖。 圖17是用于說(shuō)明本發(fā)明彈簧載荷修正方法的又一實(shí)施例的俯視圖。 圖18是表示使用以往的一般懸浮架實(shí)施例的側(cè)視圖。 圖19是表示以往的一般懸浮架自由時(shí)高度的示意圖。 圖20是表示以往的一般懸浮架磁頭載荷的一個(gè)測(cè)定方法的示意圖。 圖21是表示以往的一般懸浮架磁頭的其他測(cè)定方法的示意圖。 圖中IO—工件夾鉗部，21—磁盤(pán)，24—支撐體，25a—基準(zhǔn)面，30— 激光位移測(cè)定計(jì)，50—?dú)w零用規(guī)尺，51—面，200—懸浮架，200a—自由時(shí) 的懸浮架，200b—滑觸頭與磁盤(pán)接觸時(shí)的懸浮架，201—底板，202—板簧部， 203—承載梁，208a—拱形凸部，209—撓曲部件，210—滑觸頭，300—測(cè)力 計(jì)，300a—測(cè)力計(jì)本體，310—載荷測(cè)定頭，320—框體，330—激光被照射 部，400—工件夾鉗，401—基準(zhǔn)面，410—上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)，420—測(cè)力計(jì)，425 —載荷測(cè)定頭，430—上升端定程器，600—末端引板，F(xiàn)—用撓曲部件對(duì)測(cè) 力計(jì)的加壓點(diǎn)，Z21—從基準(zhǔn)面到磁盤(pán)下面的高度，Z210—滑觸頭的高度， Zf—從基準(zhǔn)面到自由時(shí)的懸浮架的撓曲部件的高度，Zh—將滑觸頭壓在磁盤(pán) 上的懸浮架的撓曲部件距基準(zhǔn)面的高度，ct一彎曲量，ST—目標(biāo)高度。
具體實(shí)施方式
以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。另外，本發(fā)明不局限于該實(shí)施例。 本實(shí)施例作為本發(fā)明的彈簧載荷修正方法的一個(gè)實(shí)施例，對(duì)懸浮架載荷 的修正方法進(jìn)行說(shuō)明。在本實(shí)施例中，首先，測(cè)定作為測(cè)定對(duì)象的懸浮架載 荷，然后，修正懸浮架載荷，使其成為被設(shè)定的合適的載荷值。在進(jìn)行該修 正時(shí)，首先，高精度地測(cè)定作為測(cè)定對(duì)象的懸浮架載荷是最低條件。 首先，從本實(shí)施例的前提進(jìn)行說(shuō)明。在圖20所示的以往彈簧載荷測(cè)定方法中，用圖1來(lái)說(shuō)明其不能進(jìn)行高精度的測(cè)定。以往，如圖3所示，在測(cè)定懸浮架200的磁頭載荷時(shí)，是以將測(cè)力計(jì) 300的載荷測(cè)定頭310與撓曲部件209接觸的狀態(tài)下，使測(cè)力計(jì)300下降， 并將撓曲部件209 —直壓到高度Zh的位置，用測(cè)力計(jì)300測(cè)定該狀態(tài)下來(lái) 自撓曲部件209的載荷。但是在實(shí)際的測(cè)定中，如圖1所示，測(cè)力計(jì)300的前端(載荷測(cè)定頭 310的部分)接受來(lái)自撓曲部件209的載荷并彎曲，只是該彎曲部分，使撓 曲部件209從基準(zhǔn)面25a再離開(kāi)a的量。在上述中，在對(duì)撓曲部件209施壓 下降到高度Zh的位置時(shí)，以往是根據(jù)測(cè)力計(jì)300框體320的高度，而確定 撓曲部件209的下壓量(測(cè)力計(jì)300的高度)。這樣，由于是根據(jù)測(cè)力計(jì)300框體320的高度來(lái)決定下壓量，所以沒(méi)有 考慮測(cè)力計(jì)300前端部的彎曲。因此，實(shí)際上，測(cè)力計(jì)300測(cè)定的是在距基 準(zhǔn)面25a的高度(Zh+a)上的載荷，其輸出的是比真正在測(cè)定高度Zh的實(shí)際載荷小的載荷。另外，在懸浮架200上，由于具有自由時(shí)的高度Zh的公差或長(zhǎng)度方向 的長(zhǎng)度公差等，所以，測(cè)力計(jì)300前端部的彎曲量a也因各懸浮架200而異， 對(duì)撓曲部件209高度的影響也不同。如上所述，用以往的方法，不能正確地進(jìn)行測(cè)定。以下用具體的數(shù)值驗(yàn)證。使用額定容量為10gf、額定位移量為土 0.4mm的測(cè)力計(jì)，測(cè)定2，5gf 的懸浮架。另夕卜，懸浮架的彈簧特性系數(shù)為2.3gf/mm。以該設(shè)定來(lái)測(cè)定2.7gf 的懸浮架，則0.4: 10=X: (2.7—2.5)X=0.008 (測(cè)力計(jì)的前端，退讓0.008mm地彎曲)以此，換算成載荷值，則P^.008X2.3岣.018gf測(cè)力計(jì)的輸出載荷，比實(shí)際載荷小了 0.02gf。在懸浮架上，載荷公差為土 0.04gf。這時(shí)，不能實(shí)用地測(cè)定。如上所述，由于受到彈簧載荷而使測(cè)力計(jì)300的前端部彎曲，妨礙了彈簧載荷的高精度的測(cè)定。這時(shí)，考慮使用測(cè)力計(jì)的前端部難于彎曲(彎曲量小)的測(cè)力計(jì)，可正確地測(cè)定彈簧的載荷。但是，使用彎曲特性小的測(cè)力計(jì)與彎曲特性大的測(cè)力計(jì)，并分別測(cè)定同樣的懸浮架200，則彎曲特性小的測(cè)力計(jì)的輸出程度，比彎曲特性大的測(cè)力計(jì)的輸出程度小。由于利用彎曲特性小的測(cè)力計(jì)的輸出程度小，因此，難于 顯示出零載荷(無(wú)載荷)時(shí)與有載荷時(shí)之差。當(dāng)無(wú)載荷時(shí)與有載荷時(shí)的輸出程度之差小時(shí)，易于受到雜波的影響(SN比差)，不能高精度地進(jìn)行測(cè)定。 如上所述，彎曲量和SN比呈權(quán)衡選擇的關(guān)系。因此，即使是彎曲量大 的測(cè)力計(jì)，也需要能以高精度進(jìn)行測(cè)定的彈簧載荷測(cè)定方法。 (第l實(shí)施例)圖2是表示本實(shí)施例的彈簧載荷修正方法一個(gè)工序的、彈簧載荷測(cè)定方 法的示意圖。如圖2所示，設(shè)有裝卡測(cè)定對(duì)象的懸浮架200的工件夾鉗部10、能 沿支柱22上下移動(dòng)的測(cè)力計(jì)300、測(cè)量測(cè)力計(jì)300前端部(載荷測(cè)定頭310 的部分)高度的測(cè)量機(jī)構(gòu)30。另外，在本實(shí)施例中，使用測(cè)力計(jì)300作為 載荷測(cè)定裝置的一例，但本發(fā)明的載荷測(cè)定裝置，不局限于測(cè)力計(jì)300。該測(cè)力計(jì)300，優(yōu)選使用測(cè)定本身不受高度或載荷影響的激光等的非接 觸型位移測(cè)定計(jì)30。該測(cè)定機(jī)構(gòu)30的位置被固定，當(dāng)改變測(cè)力計(jì)300前端 部的高度時(shí)，則改變了例如從激光位移測(cè)定計(jì)30照射出激光并接受其反射 的位置(返回位置、返回角度)，以此檢測(cè)出測(cè)力計(jì)300前端部的高度。在本實(shí)施例的彈簧載荷測(cè)定工序中，以測(cè)定測(cè)力計(jì)300前端的高度，求 出包含彎曲部分a的撓曲部件209的高度Zh+a。這時(shí)，測(cè)量位置，是撓曲部件209對(duì)測(cè)力計(jì)300的加壓點(diǎn)F。由于載荷測(cè)定頭310及測(cè)力計(jì)本體300a的厚度是一定的，所以能根據(jù) 在測(cè)力計(jì)本體300a的上面(用撓曲部件209對(duì)測(cè)力計(jì)300的加壓點(diǎn)F的正 上方)照射激光并其反射的受光位置，可以求出撓曲部件209的高度Zh十然后，根據(jù)利用激光位移測(cè)定計(jì)30檢測(cè)出的測(cè)力計(jì)300前端部的高度， 調(diào)整測(cè)力計(jì)的高度(這時(shí)，使其下降)，將撓曲部件209 (用撓曲部件209 對(duì)測(cè)力計(jì)300的加壓點(diǎn)F)的高度定為Zh。若求出這時(shí)的測(cè)力計(jì)300的輸出 (載荷)，則可以求出該懸浮架200的磁頭載荷。另外，利用激光位移測(cè)定計(jì)30檢測(cè)出的高度位置，也可以用懸浮架200本身取代測(cè)力計(jì)300前端部的高度。這時(shí)，可以利用激光位移測(cè)定計(jì)30求 出撓曲部件209的載荷測(cè)定頭310接觸部位附近的高度。根據(jù)用激光位移測(cè) 定計(jì)30檢測(cè)出的撓曲部件209高度，調(diào)整測(cè)力計(jì)300的高度(這時(shí)，使其 下降)，將撓曲部件209 (用撓曲部件209對(duì)測(cè)力計(jì)300的加壓點(diǎn)F)的高度 定為Zh。若求出這時(shí)的測(cè)力計(jì)300的輸出(載荷)，則可以求出該懸浮架200 的磁頭載荷。在以往的測(cè)定方法中，由于必須縮小測(cè)力計(jì)300前端部的彎曲(退讓量) 來(lái)抑制測(cè)定誤差，所以必須使用彎曲特性極小的測(cè)力計(jì)。因此，在測(cè)定微小 載荷時(shí)，其輸出電壓變小且抗干擾性差。對(duì)此，在本實(shí)施例的彈簧載荷測(cè)定工序中，測(cè)量由撓曲部件209對(duì)測(cè)力 計(jì)300的加壓點(diǎn)F的高度(測(cè)力計(jì)300的前端部彎曲時(shí)的F高度Zh+ a )， 以此，能使用撓曲特性大的測(cè)力計(jì)，并擴(kuò)大了測(cè)力計(jì)的設(shè)計(jì)或選擇的自由度。 其結(jié)果是能進(jìn)行抗干擾的高精度的測(cè)定。然后，在本實(shí)施例中，如上所述，根據(jù)高精度測(cè)定的懸浮架200的載荷， 為了使被設(shè)定的載荷值達(dá)到目標(biāo)值而用激光(未圖示)修正懸浮架200，。在本實(shí)施例中，由于可以高精度地測(cè)定作為修正對(duì)象的懸浮架200修正 前的(或修正途中階段的)載荷，所以能正確地求出從其測(cè)定結(jié)果與設(shè)定值 (目標(biāo)值)的比較(差部分)而獲得的修正量，其結(jié)果是可以進(jìn)行高精度的 修正。(第2實(shí)施例) 參照?qǐng)D3 圖6，說(shuō)明第2實(shí)施例。 (作為第2實(shí)施例的彈簧載荷修正方法一個(gè)工序的彈簧載荷測(cè)定方法 的概述)以?shī)A持對(duì)應(yīng)于應(yīng)測(cè)定的磁頭載荷的高度上的產(chǎn)品設(shè)計(jì)上的目標(biāo)高度(S T)的兩點(diǎn)的高度(5H、 SL)測(cè)定載荷(PH、 PL)。這時(shí)，測(cè)力計(jì)300的 前端部，因載荷的反作用力而退讓?zhuān)瑴y(cè)定其前端部的高度。從測(cè)定的兩點(diǎn)作 成作為測(cè)定對(duì)象的懸浮架200的載荷一高度曲線(xiàn)圖(圖6)。在該曲線(xiàn)圖上 輸入目標(biāo)高度(ST)并算出該高度(ST)上的載荷(PA)，作為測(cè)定值。 以此，因直接測(cè)出變形部分的變位而變形不產(chǎn)生影響，并能不產(chǎn)生因測(cè)力計(jì) 300的前端部彎曲(變形)的誤差。以下，進(jìn)行具體地說(shuō)明。在第2實(shí)施例中，與第1實(shí)施例一樣，使用激光位移測(cè)定計(jì)30，并測(cè) 定測(cè)力計(jì)300前端部的高度。在第2實(shí)施例中，在不同高度的兩點(diǎn)測(cè)定載荷、及用撓曲部件209對(duì)測(cè) 力計(jì)300加壓點(diǎn)的高度組(一組)，根據(jù)其測(cè)定結(jié)果，作成載荷一高度(彎 曲)曲線(xiàn)圖。根據(jù)該載荷一高度曲線(xiàn)圖，利用計(jì)算求出規(guī)定高度(磁頭載荷 測(cè)定用的高度Zh)上的載荷值(磁頭載荷)。該計(jì)算出的規(guī)定高度上的載荷 值，是刪除了測(cè)力計(jì)300前端部彎曲(退讓)的正確的值。以下，具體說(shuō)明其順序。 (原點(diǎn)對(duì)正工序)如圖3所示，將歸零用規(guī)尺50裝在支撐體24上。歸零用規(guī)尺50，在 被裝在支撐體24上時(shí)，具有與基準(zhǔn)面25a相同高度的面51 。然后，調(diào)整測(cè)力計(jì)300的高度，并使測(cè)力計(jì)300的載荷測(cè)定頭310與歸 零用規(guī)尺50的面51接觸。然后，在測(cè)力計(jì)300的載荷測(cè)定頭310與歸零用規(guī)尺50的面51開(kāi)始接 觸的狀態(tài)下，從激光位移測(cè)定計(jì)30向測(cè)力計(jì)300的激光被照射部330照射 激光，記錄根據(jù)其反射而獲得的激光被照射部330的位置并作為高度0點(diǎn)(基準(zhǔn)點(diǎn))。這時(shí)，激光被照射部330，被設(shè)在正對(duì)測(cè)力計(jì)300的載荷測(cè)定頭310的 正上方位置，并成為激光照射的目標(biāo)，用于測(cè)量用撓曲部件209對(duì)測(cè)力計(jì) 300 (載荷測(cè)定頭310)加壓點(diǎn)F的高度。另外，載荷測(cè)定頭310的厚度、 測(cè)力計(jì)本體300a的厚度和激光被照射部330是一定的。從用激光位移測(cè)定 計(jì)30獲得的激光被照射部330的高度，減去載荷測(cè)定頭310厚度、測(cè)力計(jì) 本體300a厚度和激光被照射部330的共計(jì)厚度，可以求出用撓曲部件209 對(duì)測(cè)力計(jì)300加壓點(diǎn)F的高度。 (載荷測(cè)定工序)下面，如圖4及圖5所示，在高度不同的兩點(diǎn)，分別測(cè)定激光被照射部 330的高度及懸浮架200的載荷。圖4所示的激光被照射部330的高度，比 圖5實(shí)例的高。設(shè)圖4實(shí)例的激光被照射部330的高度為SH、懸浮架200 的載荷為PL，設(shè)圖5實(shí)例的激光被照射部330的高度作為SL、懸浮架200 的載荷作為PH，則如圖6所示，可在載荷一高度曲線(xiàn)圖上標(biāo)出。如圖6所示，求出用直線(xiàn)連接表示圖4實(shí)例測(cè)定結(jié)果的繪制點(diǎn)P2，及 表示圖5實(shí)例測(cè)定結(jié)果的繪制點(diǎn)P1的曲線(xiàn)La。該曲線(xiàn)La，現(xiàn)在，對(duì)應(yīng)于測(cè) 定的該懸浮架200的彈簧特性系數(shù)。這時(shí)，利用以直線(xiàn)連接兩點(diǎn)的繪制點(diǎn)，能獲得對(duì)應(yīng)于彈簧特性系數(shù)的曲線(xiàn)。下面，當(dāng)要得到在該懸浮架200的規(guī)定高度的載荷時(shí)，只要在圖6所示 的曲線(xiàn)La上求出與對(duì)應(yīng)于其規(guī)定高度的S上的對(duì)應(yīng)的載荷P即可。相反地， 當(dāng)要得到在該懸浮架200的規(guī)定載荷的高度時(shí)，只要在圖6所示的曲線(xiàn)La 上，求出與對(duì)應(yīng)于其載荷P上對(duì)應(yīng)的規(guī)定高度的6即可。在獲得該懸浮架200的磁頭載荷時(shí)，高度S可以在設(shè)定了 ST= (Zh+ 載荷測(cè)定頭310的厚度+測(cè)力計(jì)本體300a的厚度+激光被照射部330的厚 度)的基礎(chǔ)上，從曲線(xiàn)La計(jì)算出載荷PA。下面，在用其他懸浮架200取代測(cè)定對(duì)象時(shí)，對(duì)于該取代的懸浮架200， 重新，與上述一樣，在高度不同的兩點(diǎn)分別測(cè)定激光被照射部330的高度及 懸浮架200的載荷，并將該兩點(diǎn)的測(cè)定結(jié)果在和圖6 —樣的載荷一高度曲線(xiàn) 圖上繪出，連接兩點(diǎn)并求出對(duì)應(yīng)于彈簧特性系數(shù)的曲線(xiàn)。根據(jù)該曲線(xiàn)，可以 求出該測(cè)定對(duì)象懸浮架200的規(guī)定高度下的載荷或規(guī)定的載荷下的高度。另外，利用激光位移測(cè)定計(jì)30檢測(cè)高度的部位，也可以用懸浮架200 本身取代激光被照射部330的高度。這時(shí)，可以用激光位移測(cè)定計(jì)30求出 撓曲部件209的載荷測(cè)定頭310接觸部位附近的高度。在高度不同的兩點(diǎn)， 分別測(cè)定懸浮架200本身的高度及懸浮架200的載荷。以懸浮架200本身的 高度作為SH， SL，繪成載荷一高度曲線(xiàn)圖。根據(jù)該載荷一高度曲線(xiàn)圖， 可以求出懸浮架200在規(guī)定高度時(shí)的載荷。然后，在本實(shí)施例中，如上所述，根據(jù)被高精度測(cè)定的懸浮架200的載 荷，用激光(未圖示)修正懸浮架200，使被設(shè)定的載荷值達(dá)到目標(biāo)值。根據(jù)第2實(shí)施例的載荷修正方法，可以求出刪除了測(cè)力計(jì)300前端部彎 曲部分的正確的載荷值。另外，由于在測(cè)定了各個(gè)彈簧(懸浮架200)的彈簧特性系數(shù)的基礎(chǔ)上， 根據(jù)其彈簧特性系數(shù)，求出在規(guī)定高度上的載荷，所以能進(jìn)行更高精度的測(cè) 定。例如，敘述關(guān)于HDD用懸浮架(懸浮架)200的載荷測(cè)定。HDD，隨著容量的高密度化進(jìn)程，對(duì)讀寫(xiě)信號(hào)影響大的載荷精度要求越來(lái)越嚴(yán)格。該懸浮架200的板簧部202 (參照?qǐng)D1)，用壓延或半蝕法成形，其板厚(參照 圖18的t)，由于在壓延時(shí)是百分之幾，在半蝕法成形時(shí)是百分之幾十的誤 差，所以難于計(jì)入(接收)載荷公差。對(duì)此，在本實(shí)施例中，只要在一個(gè)一 個(gè)地測(cè)定作為測(cè)定對(duì)象的懸浮架200的彈簧特性系數(shù)的基礎(chǔ)上，求出各個(gè)懸 浮架200在規(guī)定高度上的載荷，或規(guī)定載荷下的高度，則可有效地解決該板 厚偏差的問(wèn)題。在本實(shí)施例中，說(shuō)明的是懸浮架200的實(shí)例，但不局限于此， 一般在廣 范圍內(nèi)，對(duì)彈簧都能取得上述的效果。以往，如圖4所示，是將測(cè)力計(jì)420的前端與工件200的被測(cè)定部靠接， 將工件200或測(cè)力計(jì)420向載荷發(fā)生方向移動(dòng)到規(guī)定的高度并測(cè)定載荷。這 時(shí)，測(cè)力計(jì)420因彈簧200的反作用力而向相反方向彎曲。舉例說(shuō)明，當(dāng)載 荷為30gf時(shí)測(cè)力計(jì)420彎曲為0.012mm。如圖4所說(shuō)明的那樣，通常估計(jì) 該彎曲部分并預(yù)先決定規(guī)定高度。因此，在彈簧特性系數(shù)不同時(shí)，或載荷值 不同的時(shí)候不能正確地測(cè)定。并且，根據(jù)第2實(shí)施例，可以高速地測(cè)定微小的載荷。以下，說(shuō)明其效 果。在測(cè)定彈簧的微小載荷時(shí)，測(cè)定系的上下方向的振動(dòng)到收斂需要數(shù)秒鐘。 這是由于測(cè)定系的固有頻率低，振幅不易衰減所致。對(duì)此，在本實(shí)施例中， 只要能測(cè)定某時(shí)刻的高度及載荷的組合即可，所以即使殘留上下的振動(dòng)也無(wú) 妨。另外，由于測(cè)定了高度大不相同的兩點(diǎn)，所以能獲得顯示正確的彈簧特 性系數(shù)的曲線(xiàn)，并有利于進(jìn)行更高精度的測(cè)定。另外，在用電子天平方式時(shí)，由于彈簧達(dá)到平衡狀態(tài)需要數(shù)秒鐘，所以 不適用于高速測(cè)定。在本實(shí)施例中，由于可以高精度地測(cè)定作為修正對(duì)象的懸浮架200修正 前的(或修正途中階段的)載荷，所以能正確地求出根據(jù)其測(cè)定結(jié)果與設(shè)定 值(目標(biāo)值)的比較(差部分)而獲得的修正量，其結(jié)果是可以進(jìn)行高精度 的修正。另外，在分別求出不同兩點(diǎn)的高度及載荷且根據(jù)高度一載荷曲線(xiàn)圖求出 彈簧特性系數(shù)的第2實(shí)施例中，將測(cè)定了高度的對(duì)象作為測(cè)力計(jì)300的前端 部的高度，但與以往一樣，也可以是測(cè)力計(jì)300的筐體320。即使在該情況下，由于測(cè)定了多點(diǎn)的筐體320的高度及載荷并繪制成了高度一載荷曲線(xiàn) 圖，所以與以往相比，可以進(jìn)行更正確的載荷測(cè)定。 (第3實(shí)施例)以下，參照?qǐng)D7說(shuō)明第3實(shí)施例。在上述第1及第2實(shí)施例中，其特征是，可以高精度地測(cè)定被測(cè)定對(duì)象 的懸浮架200的載荷。第3實(shí)施例，是高精度地求出用于將懸浮架200的載 荷修正為目標(biāo)值的修正量的方法。在第3實(shí)施例中，利用第2實(shí)施例的載荷一高度曲線(xiàn)圖。第2實(shí)施例的 載荷一高度曲線(xiàn)圖的作成方法，如在第2實(shí)施例中所說(shuō)明的，在此省略其說(shuō) 明。以下，從作成了圖6所示的載荷一高度曲線(xiàn)圖(曲線(xiàn)La)以后的順序 說(shuō)明。在測(cè)定對(duì)象的各個(gè)懸浮架200上，設(shè)定了載荷修正后的目標(biāo)值。該目標(biāo) 值，作為規(guī)定高度(通常，是對(duì)應(yīng)于滑觸頭210與被停止旋轉(zhuǎn)的磁盤(pán)21接 觸狀態(tài)的高度)5T及在該高度ST所應(yīng)產(chǎn)生的載荷值(設(shè)定值)PT的、兩 個(gè)值ST、 PT的組合(組)被設(shè)定。如圖7所示，在圖6所示的載荷(P) —高度(5)坐標(biāo)上，繪制出上 述目標(biāo)值(ST、 PT)。然后，如圖8所示，在上述曲線(xiàn)La上代入目標(biāo)載荷值PT，并求出該載 荷上的高度SA。 AA與ST之差Sc為修正量。然后，固定其測(cè)定對(duì)象的懸浮架200并一邊測(cè)定自由高度， 一邊將其高 度只修正Sc的量。該修正，由激光照射進(jìn)行彎曲調(diào)整或由加熱使彈力減弱 是有效的。該Sc，是用于使載荷PA (參照?qǐng)D6)與目標(biāo)載荷值PT—致的自由高度的修正量。隨后，將彈簧的自由高度調(diào)整到其必要修正量Sc。該修正，由激光照射進(jìn)行彎曲調(diào)整或由加熱使彈力減弱是有效的。修正是進(jìn)行累計(jì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的修正用數(shù)據(jù)庫(kù)，同時(shí)進(jìn)行修正。例如在用激 光照射修正時(shí)，以將激光輸出能量、照射位置、照射形狀實(shí)行各種組合而進(jìn) 行多次修正，并將該照射條件及對(duì)應(yīng)的修正結(jié)果量作為數(shù)據(jù)庫(kù)累計(jì)。以該數(shù) 據(jù)庫(kù)為基礎(chǔ)，選擇對(duì)應(yīng)于實(shí)際必要修正量Sc的照射條件的組合，并以此進(jìn) 行照射，對(duì)載荷進(jìn)行修正。構(gòu)筑該數(shù)據(jù)庫(kù)的修正方法，不局限于激光照射，也可以應(yīng)用于通過(guò)調(diào)整(setting)的修正?？紤]調(diào)整的條件必要的載荷值或耐彈力減弱性等，進(jìn)行 預(yù)備實(shí)驗(yàn)并作成其設(shè)定條件及結(jié)果的數(shù)據(jù)庫(kù)，在可以測(cè)定必要修正量的階 段，根據(jù)數(shù)據(jù)庫(kù)決定調(diào)整的設(shè)定條件。對(duì)測(cè)定對(duì)象的懸浮架200 (彈簧)， 一個(gè)一個(gè)地進(jìn)行以上的操作。以此， 能進(jìn)行不被彈簧特性系數(shù)的誤差左右的高精度的載荷修正。若更詳細(xì)地說(shuō)明，則是即使在用上述激光照射、調(diào)整等的修正方法對(duì) 載荷進(jìn)行了修正，懸浮架200在修正前后，其彈簧特性系數(shù)也不變化。艮P， 對(duì)應(yīng)于彈簧載荷的、載荷(P) —高度(S )坐標(biāo)上的曲線(xiàn)La斜率，在修正 后也不變，修正后的懸浮架200的載荷(P)與高度(S)的關(guān)系，是與曲 線(xiàn)La平行的直線(xiàn)。從而，只要修懸浮架200、使其能正通過(guò)上述目標(biāo)值(S T、 PT)，且對(duì)應(yīng)于與曲線(xiàn)La平行的直線(xiàn)即可。這時(shí)，例如，在以10mg以下分辨率測(cè)定微小載荷時(shí)，由于輸出信號(hào)小 而難于以高速高精度進(jìn)行測(cè)定。另一方面，用千分尺容易測(cè)定高度S 。因此， 比起直接校正載荷的操作，可以方便且高速地迸行校正高度的操作。以下，參照?qǐng)D9說(shuō)明具體的順序。以下，將上述ST稱(chēng)為設(shè)定高度，將上述PT稱(chēng)為目標(biāo)載荷。 將載荷一高度曲線(xiàn)圖(曲線(xiàn))，設(shè)為y-ax+b。① 首先，求出通過(guò)Pl及P2兩點(diǎn)直線(xiàn)的斜率a (參照?qǐng)D9①)。<formula>formula see original document page 17</formula>)② 然后，代入Pl點(diǎn)并求出Y截距b (參照?qǐng)D9②)。 b=SL—aXPH③ 另外，在求出的式中代入PT并求出高度SA (參照?qǐng)D9④)。 SA=a*PT+b④ 求出使己求出的直線(xiàn)通過(guò)目標(biāo)點(diǎn)P3 (PT、 ST)的Y方向的移動(dòng)量 Sc (參照?qǐng)D9⑤)。該Sc相當(dāng)于自由高度的修正量。<formula>formula see original document page 17</formula>
⑤ 用修正后的載荷測(cè)定值(P'、 S')，求出高度修正后的新截距b'(參 照?qǐng)D9⑥)。<formula>formula see original document page 17</formula>(D將設(shè)定高度ST代入修正后的載荷一高度曲線(xiàn)圖，并求出載荷值PA' (參照?qǐng)D9⑦)。在上述中，懸浮架200的載荷修正，如下述地進(jìn)行。將測(cè)定對(duì)象的懸浮架200緊固，并將自由時(shí)的高度回零。在回零后修正 懸浮架200自由時(shí)的高度(自由高度)。其目標(biāo)修正量為上述5c。在該修正 中，由激光彎曲或加熱修正、冷作調(diào)整等是有效的。另外，在上述中，懸浮架200的自由時(shí)高度的測(cè)定及回零方法，是在上 述第2實(shí)施例的(原點(diǎn)對(duì)正工序)中，可以用「歸零用規(guī)尺50」取代「懸 浮架200」。根據(jù)本實(shí)施例的載荷修正方法，可以獲得如下效果。與高精度地測(cè)定載荷相比，高精度地測(cè)定高度更容易，并且可以進(jìn)行短 時(shí)間處理。因此，若以上述的順序計(jì)算出高度修正量(Sc)，并一邊實(shí)時(shí)地 測(cè)定(監(jiān)視)彈簧的高度， 一邊修正自由高度，則可以進(jìn)行高精度的載荷修 正。在本實(shí)施例中，是以懸浮架200為實(shí)例進(jìn)行的說(shuō)明，但不局限于此，一 般地對(duì)于廣泛的彈簧，都可以獲得上述的效果。與上述一樣，例如，敘述了關(guān)于HDD用懸浮架(懸浮架)200的修正。 如上所述，懸浮架200的板簧部202(參照?qǐng)D1)，其以壓延或半蝕法而形成， 其板厚(參照?qǐng)D18的0，在壓延或半蝕法時(shí)分別有偏差，所以難于掌握載 荷公差。對(duì)此，在本實(shí)施例中，若在測(cè)定了作為測(cè)定對(duì)象的懸浮架200的彈簧特 性系數(shù)的基礎(chǔ)上，求出并修正各個(gè)懸浮架200的每個(gè)修正量Sc，則可以刪 除該板厚的偏差，并能進(jìn)行高精度的載荷修正。以下，根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證第3實(shí)施例。圖IO表示在兩點(diǎn)分別測(cè)定IO個(gè)懸浮架200、求出彈簧特性系數(shù)并進(jìn)行 載荷修正時(shí)的修正結(jié)果。圖10的實(shí)驗(yàn)條件是，設(shè)定高度ST為0.48mm，這時(shí)的目標(biāo)載荷PT為 2.5gf。位置編號(hào)分別是10個(gè)作為測(cè)定對(duì)象懸浮架200的編號(hào)。圖10對(duì)應(yīng)于 上述的圖9。圖10的「修正結(jié)果」項(xiàng)，是只進(jìn)行「修正目標(biāo)」Sc部分修正的修正 結(jié)果。例如，在位置編號(hào)1上，只修正了一150um，但實(shí)際的修正結(jié)果顯示的是一155iim。關(guān)于10個(gè)懸浮架200，對(duì)于修正前的平均載荷2.824gf、標(biāo)準(zhǔn)偏差o 0.045，修正后的平均載荷為2.510gf、標(biāo)準(zhǔn)偏差o為0.014。圖11表示對(duì)與圖10所示不同的懸浮架200，以與圖10相同的實(shí)驗(yàn)條 件進(jìn)行修正的結(jié)果。圖11的10個(gè)懸浮架200，相對(duì)于修正前的平均載荷 2.731gf、標(biāo)準(zhǔn)偏差o 0.055，修正后的平均載荷為2.514gf、標(biāo)準(zhǔn)偏差o為 0.012。圖12表示對(duì)與圖10或圖11所示不同的懸浮架200，以與圖10相同的 實(shí)驗(yàn)條件進(jìn)行修正的結(jié)果。圖12的10個(gè)懸浮架200，相對(duì)于修正前的平均 載荷2.782gf、標(biāo)準(zhǔn)偏差o 0.037，修正后的平均載荷為2.510gf、標(biāo)準(zhǔn)偏差o 為0.006。圖12的最下欄，表示的是對(duì)圖10 圖12的共計(jì)30個(gè)懸浮架200的實(shí) 驗(yàn)結(jié)果。相對(duì)于修正前的平均載荷2.779gf、標(biāo)準(zhǔn)偏差0 0.059，修正后的平 均載荷為2.511gf、標(biāo)準(zhǔn)偏差o為0.011。如圖10 圖12所示，作為以目標(biāo)載荷2.5gf為目標(biāo)、分別對(duì)30個(gè)工件 修正時(shí)的結(jié)果，獲得了表示偏差的標(biāo)準(zhǔn)偏差o為O.Ollg。 2002年末的懸浮架 制造業(yè)界的最高水平，o為0.02gf左右，這顯示了本實(shí)施例的優(yōu)勢(shì)。在當(dāng)前 的實(shí)驗(yàn)中，使用的是分辨率為土2iim高度位移計(jì)，若使用更高精度的傳感 器，則可以進(jìn)行更精良的修正。在對(duì)圖10 圖12的30個(gè)工件進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的結(jié)果中，修正后的平均值為 2.510gf，比目標(biāo)載荷PT的2.5gf還高了 O.Olgf。這時(shí)，將表觀(guān)的目標(biāo)載荷降 低O.Olgf并進(jìn)行修正。圖13是這時(shí)的修正結(jié)果。圖13所示的是這時(shí)的結(jié)果， 雖然比實(shí)際的目標(biāo)載荷PT的2.5gf還低了 0.013gf，低得太多，但能以再累 計(jì)數(shù)據(jù)而提高精度。圖14是以修正前載荷與修正后載荷的所謂繪圖形式、表示圖10 圖13 的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。圖15是擴(kuò)大了圖14的繪圖群周?chē)氖緢D。在該圖上，方形記 號(hào)的點(diǎn)表示將圖13所示的表觀(guān)目標(biāo)時(shí)載荷減低0.01gf并進(jìn)行修正時(shí)的結(jié)果， 空白圈記號(hào)、黑圓點(diǎn)記號(hào)、三角記號(hào)的三個(gè)點(diǎn)，分別表示圖10 圖12的三 次實(shí)驗(yàn)結(jié)果。如圖14及圖15所示，對(duì)于從低于修正前載荷2.7gf到超過(guò)2. 8gf的點(diǎn)在X軸方向的廣泛分布，Y軸方向的修正后載荷，集中分布在目標(biāo)載荷2.5gf 的附近。因此，表明可以高進(jìn)度地進(jìn)行本實(shí)施例的修正。在以往的修正方法中，確認(rèn)的是載荷值，但在本實(shí)施例中，證明了以對(duì) 高度的管理可以任意地高精度地控制目標(biāo)載荷PT。 (第4實(shí)施例)在第4實(shí)施例中，使用了第3實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，并進(jìn)行彈簧(例如懸浮架 200)的校正。用于提高彈簧的彈性減弱性的調(diào)整(setting)是有效的方法。所謂調(diào)整， 是指在對(duì)彈簧施加載荷時(shí)在彈簧部附加殘留負(fù)方向的殘留應(yīng)力、提高耐彈性 減弱性能的方法。以往，不根據(jù)彈簧的個(gè)體差(圖1的彈簧部的厚度t等)，均勻地加載 荷到一定的高度，或均勻地施加一定的載荷。但是，以這種方法，殘留應(yīng)力 根據(jù)彈簧而有不同的結(jié)果。在本實(shí)施例中，由于彈簧自由高度及彈簧特性系數(shù)為已知，所以根據(jù)材 料力學(xué)通過(guò)計(jì)算可以求出彈簧部的厚度。其結(jié)果是，能進(jìn)行使殘留應(yīng)力達(dá)到 一定的調(diào)整。即，由于可以高精度地設(shè)定調(diào)整后的殘留應(yīng)力，所以可以提高 其歷時(shí)變化或耐彈性減弱性。 (第5實(shí)施例)在第5實(shí)施例中，使用了第3實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，并以一定的應(yīng)力進(jìn)行彈簧 (例如懸浮架200)的載荷修正。有以在冷或熱時(shí)緊固彈簧(例如懸浮架200)、減弱其彈力，使載荷與 目標(biāo)值一致的方法。以往，不管彈簧個(gè)體差異，而施加載荷均勻地達(dá)到一定 的高度，或均勻地施加一定的載荷。但是，以這種方法，由于緊固應(yīng)力因彈簧而異，所以難于高精度地進(jìn)行 修正。在本實(shí)施例中，由于彈簧的自由高度及彈簧特性系數(shù)為已知，所以利用 計(jì)算可以求出彈簧部的厚度。其結(jié)果是，能進(jìn)行使緊固應(yīng)力達(dá)到一定的調(diào)整。 以此，能進(jìn)行高精度的載荷修正。在上述第1 第5實(shí)施例中，對(duì)裝載滑觸頭210之前的上述懸浮架200, 測(cè)定了磁頭載荷。對(duì)此，在上述各實(shí)施例中，對(duì)裝載了滑觸頭210的懸浮架200，也能測(cè)定磁頭載荷。這時(shí)的測(cè)定方法，是在上述各實(shí)施例中說(shuō)明的內(nèi)容中，與測(cè)力計(jì)300的載荷測(cè)定頭310靠接的對(duì)象、不是撓曲部件209，而 是用被裝載于撓曲部件209上的滑觸頭210取而代之，并且，在利用激光位 移測(cè)定計(jì)30的測(cè)定結(jié)果時(shí)，只要加上滑觸頭210的厚度即可。在安裝了滑觸頭210的狀態(tài)下，求出的測(cè)力計(jì)300前端部高度，也可以 考慮進(jìn)伴隨滑觸頭210安裝的高度(粘接劑的厚度等)，可以更準(zhǔn)確地測(cè)定 實(shí)際上滑觸頭210與磁盤(pán)21接觸時(shí)的磁頭載荷。 (第6實(shí)施例)參照?qǐng)D16及圖17，說(shuō)明第6實(shí)施例。在第6實(shí)施例中，使用了第3實(shí) 施例的結(jié)構(gòu)，并己知各個(gè)懸浮架200的彈簧特性系數(shù)。隨著HDD的高精度化，滑觸頭210的姿勢(shì)及載荷格外重要。以往，在將滑觸頭210貼在撓曲部件209上以后，將測(cè)力計(jì)300的載荷 測(cè)定頭310與滑觸頭210相靠并測(cè)定載荷。這時(shí)，滑觸頭210的靜止姿勢(shì)因 載荷測(cè)定頭310的影響而產(chǎn)生微妙的變化。這時(shí)，為了避免滑觸頭210的靜止姿勢(shì)的變化，有時(shí)將載荷測(cè)定頭310 與末端引板600相靠并測(cè)定載荷。該末端引板600，如圖17所示，是在停 止時(shí)將滑觸頭210從磁盤(pán)21的上方向磁盤(pán)21外邊緣的更外側(cè)退讓時(shí)，抬起 末端引板600、使懸浮架200機(jī)械地運(yùn)動(dòng)而使用的部件。將由載荷測(cè)定頭310 施加的加壓點(diǎn)設(shè)為末端引板600，是為了對(duì)懸浮架200靜止姿勢(shì)不產(chǎn)生影響。然而，在末端引板600與滑觸頭210之間具有高度差，且加工以后，不 能使該高差的高度方向偏差為零。例如，有土 20 25um的變動(dòng)。該末端 引板600的高度差的偏差成了誤差。并且粘貼滑觸頭210的粘接劑厚度也有 誤差。這時(shí)，在本實(shí)施例中，用以下的方法，可以推算出滑觸頭210的載荷。(1) 一邊用激光位移測(cè)定計(jì)30計(jì)測(cè)滑觸頭210 (磁頭)上面的高度， 一邊降低測(cè)力計(jì)300，求出正確設(shè)定高度上的載荷。(2) 用上述(1)的方法，測(cè)定不同的兩點(diǎn)，求出彈簧特性系數(shù)，以提 高測(cè)定精度。(3) 在求出彈簧特性系數(shù)的基礎(chǔ)上計(jì)算修正高度，并進(jìn)行高精度的載 荷修正。根據(jù)以上所述，可以不與滑觸頭210接觸，而推算出滑觸頭210的載荷。以上的本實(shí)施例的概要如下所述。隨著HDD的大容量化，懸浮架200的載荷變的小且精度高。以往，可 以用測(cè)力計(jì)300測(cè)定該載荷，但現(xiàn)在不能忽略因測(cè)力計(jì)300退讓的測(cè)定誤差。 在本實(shí)施例中，在測(cè)定載荷的同時(shí)，也測(cè)定測(cè)力計(jì)300的變位，并利用計(jì)算 處理繪制成高度一載荷曲線(xiàn)圖，從曲線(xiàn)圖推算出規(guī)定高度上的載荷。根據(jù)本發(fā)明，可以更高進(jìn)度地修正彈簧的載荷。
權(quán)利要求
1.一種彈簧載荷修正方法，使作為測(cè)定對(duì)象的彈簧在位于規(guī)定高度時(shí)產(chǎn)生規(guī)定的載荷，其特征在于，具有(i)求出所述彈簧的彈簧特性系數(shù)的步驟、(j)根據(jù)所述彈簧特性系數(shù)，求出所述彈簧位于所述高度時(shí)的所述載荷的步驟、(k)用所述載荷測(cè)定結(jié)果，修正所述彈簧的步驟。
2. —種彈簧載荷修正方法，是包括設(shè)置有磁頭的懸浮架本體和末端引 板部的懸浮架的彈簧載荷修正方法，該末端引板部，與懸浮架本體具有高度 差，其特征在于，具有(t)求出所述彈簧的彈簧特性系數(shù)的步驟、(U)將載荷測(cè)定頭與所述末端引板部接觸并測(cè)定所述末端引板部的載 荷的步驟、(V)測(cè)定在實(shí)行所述(U)時(shí)的所述磁頭高度的步驟、(W)在以所述(U)測(cè)定的載荷值上乘上所述載荷測(cè)定頭與拱形凸部位 置的杠桿比并計(jì)算出在所述磁頭位置的載荷的步驟、(X)根據(jù)所述懸浮架的彈簧特性系數(shù)，修正所述(V)的高度誤差部分 的載荷的步驟。
3. —種彈簧載荷修正方法，使作為測(cè)定對(duì)象的彈簧在位于規(guī)定高度時(shí) 產(chǎn)生規(guī)定的載荷，其特征在于，具有-(bf) 將載荷測(cè)定裝置直接或間接地與所述彈簧接觸的步驟、(bg) 對(duì)載荷測(cè)定裝置直接或間接地與所述彈簧接觸部分的高度進(jìn)行測(cè) 定的步驟、(bh) 用所述高度的測(cè)定結(jié)果，測(cè)定所述彈簧在所述規(guī)定高度時(shí)的所述 載荷的步驟、(bi) 用所述載荷測(cè)定結(jié)果，修正所述彈簧的步驟。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的彈簧載荷修正方法，其特征在于所述載荷 測(cè)定裝置的所述高度被測(cè)定的部分，受來(lái)自所述彈簧的載荷或反作用力而彎曲。
5. —種彈簧載荷修正方法，使作為測(cè)定對(duì)象的彈簧在位于規(guī)定高度時(shí) 產(chǎn)生規(guī)定載荷，其特征在于，具有(bj)使載荷測(cè)定裝置與所述彈簧接觸的步驟、 (bk)測(cè)定與所述載荷測(cè)定裝置接觸的所述彈簧高度的步驟、 (bl)用所述高度的測(cè)定結(jié)果，測(cè)定所述彈簧在位于所述規(guī)定高度時(shí)的 所述載荷的步驟、(bm)用所述載荷的測(cè)定結(jié)果，修正所述彈簧的步驟。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3 5中任意一項(xiàng)所述的彈簧載荷修正方法，其特征在于測(cè)定所述高度的部分，對(duì)應(yīng)于用于測(cè)定所述彈簧載荷的載荷測(cè)定頭的位置。
7. 根據(jù)權(quán)利要求3 5中任意一項(xiàng)所述的彈簧載荷修正方法，其特征在于在所述高度測(cè)定中，使用非接觸式位移測(cè)量計(jì)。
全文摘要
一種彈簧載荷修正方法，能以更高精度地修正彈簧載荷。所述彈簧載荷修正方法，使作為測(cè)定對(duì)象的彈簧在位于規(guī)定高度時(shí)產(chǎn)生規(guī)定的載荷；具有(i)求出所述彈簧的彈簧特性系數(shù)的步驟、(j)根據(jù)所述彈簧特性系數(shù)，求出所述彈簧位于所述高度時(shí)的所述載荷的步驟、(k)用所述載荷測(cè)定結(jié)果，修正所述彈簧的步驟。
文檔編號(hào)G11B21/21GK101221078SQ20071016013
公開(kāi)日2008年7月16日 申請(qǐng)日期2004年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月27日
發(fā)明者梅林彰 申請(qǐng)人:日本發(fā)條株式會(huì)社