專利名稱：光刻工藝中將磁頭長(zhǎng)形條連接起來(lái)的方法及磁頭制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于信息記錄磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器內(nèi)的磁頭的制造方法，具體地，
本發(fā)明涉及一種在制造磁頭的光刻工藝(photolithography process )中將》茲頭長(zhǎng) 形條(slider row bar)連接起來(lái)的方法。
背景技術(shù)：
一種常見(jiàn)的信息存儲(chǔ)設(shè)備是磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其使用磁性媒介來(lái)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)及 設(shè)置于該磁性媒介上方的可移動(dòng)讀寫(xiě)頭來(lái)選擇性地從磁性媒介比如磁盤(pán)上讀取 數(shù)據(jù)或?qū)?shù)據(jù)寫(xiě)在磁性媒介上。
圖la所示為傳統(tǒng)的磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器200,磁盤(pán)101安裝在主軸馬達(dá)102上并由 其旋轉(zhuǎn)。音圈馬達(dá)臂104上承載有磁頭折片組合100。所述磁頭折片組合100包 括具有讀寫(xiě)傳感器的磁頭103。 一音圈馬達(dá)控制音圈馬達(dá)臂104的運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而控 制磁頭103在磁盤(pán)101表面磁軌之間的移動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)磁頭103的讀寫(xiě)傳感器 在磁盤(pán)101上數(shù)據(jù)的讀寫(xiě)。在運(yùn)行狀態(tài)時(shí)，包含讀寫(xiě)傳感器的磁頭103與磁盤(pán) 101之間形成空氣動(dòng)力性接觸，并產(chǎn)生升力。該升力與大小相等方向相反的由磁 頭折片組合100的懸臂施加的彈力互相平衡，進(jìn)而導(dǎo)致在馬達(dá)臂104的整個(gè)徑 向行程中，旋轉(zhuǎn)的磁盤(pán)101的表面上方形成并維持預(yù)定的飛行高度。
圖lb展示了圖la所示磁頭從底部觀察的立體圖。如圖所示，該磁頭103 的一個(gè)側(cè)邊上形成磁性讀寫(xiě)頭116，用于實(shí)現(xiàn)磁頭相對(duì)于磁盤(pán)101的數(shù)據(jù)讀寫(xiě)操 作。所述磁頭103具有面向磁盤(pán)101的空氣承載面(air bear surface, ABS ) 117。 當(dāng)磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器運(yùn)行時(shí)，所述磁頭103的空氣承載面117與高速旋轉(zhuǎn)的磁盤(pán)101 之間產(chǎn)生空氣動(dòng)力學(xué)接觸，從而使^茲頭103動(dòng)態(tài)地懸浮于》茲盤(pán)101上方而實(shí)現(xiàn) 數(shù)據(jù)讀寫(xiě)操作。
7為使磁頭相對(duì)于磁盤(pán)順利地進(jìn)行數(shù)據(jù)讀寫(xiě)操作，磁頭必須具有良好的飛行 穩(wěn)定性，即，當(dāng)磁頭飛行于磁盤(pán)上方時(shí)，磁頭的飛行高度必須保持恒定的數(shù)值。 假如磁頭的飛行穩(wěn)定性差，則飛行高度不定，即有時(shí)飛行高度變得較高而有時(shí) 該飛行高度變得較低。如果飛行高度太高，則磁頭可能無(wú)法順利地完成讀寫(xiě)操
作；如果飛行高度太低，則磁頭可能刮傷磁盤(pán)，導(dǎo)致磁盤(pán);^/或磁頭損壞。
可以理解地，磁頭空氣承載面的加工精度是影響上述飛行穩(wěn)定性的一個(gè)關(guān) 鍵因素。這里，簡(jiǎn)要介紹磁頭空氣承載面的形成工藝。 一般來(lái)講，磁頭的空氣
承載面是依次經(jīng)過(guò)光刻工藝及真空蝕刻工藝(vacuum etchingprocess)而形成的。 首先，在空氣承載面形成面(ABS-forming surface )上覆蓋光阻層(photo-resist coating);然后，通過(guò)曝光而將空氣承載面圖案(ABSpattern)轉(zhuǎn)印到上述光阻 層，形成與空氣承載面圖案(ABS pattern)相對(duì)應(yīng)的可移除區(qū)域；接下來(lái)，通 過(guò)顯影(developing)工序?qū)⑺隹梢瞥齾^(qū)域移除；最后，借助離子束蝕刻所述 空氣承載面形成面上未被光阻層覆蓋的部分，從而形成空氣承載面。
本技術(shù)領(lǐng)域中，磁頭加工流程通常是針對(duì)一組磁頭長(zhǎng)形條進(jìn)行的，其中每 個(gè)磁頭長(zhǎng)形條可構(gòu)造多個(gè)磁頭體。根據(jù)不同的產(chǎn)品類型， 一個(gè)磁頭長(zhǎng)形條可制 成30-100個(gè)磁頭體。這些磁頭長(zhǎng)形條通過(guò)粘結(jié)劑互相封裝在一起而形成長(zhǎng)形條 組合。當(dāng)加工完畢后，這些長(zhǎng)形條組合互相分離，每個(gè)長(zhǎng)形條被切割形成單獨(dú) 磁頭。
圖2a-2b展示了用于形成磁頭的磁頭長(zhǎng)形條。如圖所示，磁頭長(zhǎng)形條2的寬 度為W,厚度為T。所述磁頭長(zhǎng)形條2具有空氣承載面形成面3。圖2c展示了 用于承載上述磁頭長(zhǎng)形條2的載體1。
圖3a-3b展示了一種傳統(tǒng)磁頭長(zhǎng)形條連接方法中長(zhǎng)形條組合的形成.圖3a展 示了一組封裝在一起并且粘結(jié)在載體1上的磁頭長(zhǎng)形條2。圖3b展示了圖3a中 沿Z-Z線的剖視圖。參考圖3b，所述磁頭長(zhǎng)形條2之間的間隙(未標(biāo)號(hào))內(nèi)形 成一組膠凹陷30。這些膠凹陷30是在上述封裝膠9固化過(guò)程中由于膠的自然收 縮而引起的。參考圖3a-3b，所述磁頭長(zhǎng)形條2的空氣承載面形成面3與膠凹陷 30共同構(gòu)成了磁頭長(zhǎng)形條組合的基本表面，在該基本表面上將涂設(shè)光阻層。參考圖3b,很容易理解，上述磁頭長(zhǎng)形條組合的基本表面的平面度主要取
決于兩個(gè)因素膠凹陷30及上述磁頭長(zhǎng)形條2的厚度一致性。首先，因?yàn)榇蓬^ 長(zhǎng)形條2具有很小的厚度(大約100~300微米)，因此很難提高磁頭長(zhǎng)形條2的厚 度一致性。再者，盡管連接膠的厚度能夠根據(jù)磁頭長(zhǎng)形條的厚度進(jìn)行改變，但 是膠水厚度變化不足以彌補(bǔ)磁頭長(zhǎng)形條厚度變化帶來(lái)的影響。例如當(dāng)磁頭長(zhǎng) 形條厚度變化30微米時(shí)，磁頭長(zhǎng)形條組合基本平面的平面度可能發(fā)生超過(guò)10 或者20微米的變化，這將不能夠適應(yīng)薄而高解析度的光阻層(photo-resist coating)涂布。另一方面，由于上述封裝膠9的內(nèi)在特性，膠凹陷30不可避免。 在傳統(tǒng)的磁頭長(zhǎng)形條連接工序中，由于每個(gè)磁頭長(zhǎng)形條2及位于其下面的連接 膠5具有不同的厚度(即磁頭長(zhǎng)形條2及連接膠5具有厚度差異)，同時(shí)由于存 在膠凹陷30，因此磁頭長(zhǎng)形條組合的基本表面的平面度嚴(yán)重降低。相應(yīng)地，形 成于磁頭長(zhǎng)形條組合的基本表面上的光阻層具有較差的平面度。
另外，連接膠的容量控制在現(xiàn)有技術(shù)中起著非常重要的作用，它有可能導(dǎo) 致加工過(guò)程不穩(wěn)定或者增加生產(chǎn)成本，太多或者太少的連接膠都可能給后續(xù)的 封裝過(guò)程帶來(lái)麻煩，而所述封裝過(guò)程在離子銑蝕刻或活性離子蝕刻中對(duì)磁頭長(zhǎng) 形條側(cè)面的保護(hù)起著不可或缺的作用。連接膠過(guò)少會(huì)在磁頭長(zhǎng)形條和支撐基底 之間形成一些空隙或洞穴，這些洞穴將容納一些空氣或者封裝膠，由于所述磁 頭長(zhǎng)條和支撐基底不能夠被紫外線穿透，所以容納在所述洞穴中的封裝膠不能 夠被紫外線固化，這樣，在光刻工藝(photolithography process)必不可少的烘 焙過(guò)程(大約70 120。C)中，所述容納在洞穴中的空氣和封裝膠有可能溢出，從 而導(dǎo)致產(chǎn)品瑕疵和收得率損失。連接膠過(guò)多會(huì)使一些連接膠進(jìn)入磁頭長(zhǎng)條之間 的間隙中，從而使得封裝膠不能完全填滿所述磁頭長(zhǎng)條間的間隙，而且所述封 裝膠和連接膠的混合物會(huì)在磁頭長(zhǎng)條間形成很難清除的膠水凸塊，同時(shí)也增加 了生產(chǎn)成本。
因此，在光刻工藝(photol他ography process)中，有必要提供一種改善的 磁頭長(zhǎng)形條連接方法，以克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種在光刻工藝中將磁頭長(zhǎng)形條連接起來(lái)的方
法，該方法能夠保證空氣承載面形成面(ABS-forming surface )平滑，避免封裝 膠滲出到磁頭長(zhǎng)形條的空氣承載面形成面(ABS-forming surface )上，并避免連 接膠和封裝膠混合形成難于清除的膠水凸塊。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種磁頭制造方法，其可以提高磁頭的加工精度。
為達(dá)到上述目的， 一種在光刻工藝中將磁頭長(zhǎng)形條連接起來(lái)的方法，包括 如下步驟(1 )形成具有粘性表面的支撐裝置；(2)提供一組具有用于形成空 氣承載面的第一表面及與該第一表面相反的第二表面的磁頭長(zhǎng)形條，并將所述 一組磁頭長(zhǎng)形條以第一表面面對(duì)粘性表面的方式固定到所述支撐裝置；(3)加 熱其上固定有磁頭長(zhǎng)形條的支撐裝置，并按壓所述^f茲頭長(zhǎng)形條的第二表面將所 述磁頭長(zhǎng)形條壓入所述粘性表面中；(4)借助封裝膠把所述磁頭長(zhǎng)形條互相連 接起來(lái)；(5 )提供一個(gè)載體并將所述載體固定到所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面上； (6)移除所述支撐裝置。
在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述步驟(1 )中支撐裝置的形成包括如下步驟 (a)提供一個(gè)具有開(kāi)孔的框架；(b)提供具有作為所述粘性表面的粘性層及與 該粘性層疊壓在一起的非粘性層的薄膜，并將所述薄膜以所述粘性層面向框架 的方式覆蓋于框架；(c)提供一個(gè)真空移送夾具，該真空移送夾具具有基板及 從基板突出的突臺(tái)，所述突臺(tái)上具有一組真空孔；(d)將所述真空移送夾具裝 配到框架上，使所述突臺(tái)收容在框架的開(kāi)孔內(nèi)且與所述薄膜的非粘性層接觸。
較佳地，所述方法的步驟(1)后進(jìn)一步包括步驟將真空孔與非粘性層間 的空間抽成真空而產(chǎn)生空氣壓力，從而將薄膜壓在突臺(tái)上。
在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，所述步驟(3)包括(a)提供一加熱板并將 支撐裝置放置在所述加熱板上；(b)提供一容器并將所述容器以容器底面和所 述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面相接觸的方式放置在所述支撐裝置上；(c) 一段時(shí)間 后，依次從所述加熱板上移走所述容器和支撐裝置，并將支撐裝置的溫度冷卻到室溫。
較佳地，所述容器為裝滿液體的密封容器，所述容器的底面上包括有一彈 性薄膜，所述彈性薄膜和所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面相接觸。
較佳地，在將所述容器放置在所述支撐裝置上前，把所述容器預(yù)熱到與所
述加熱板一樣高的溫度，所述加熱板的溫度范圍為50~ 110°C。
在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，所述步驟(4)包括(a)提供一個(gè)具有開(kāi)口 的限膠板，并將該限膠板固定到所述薄膜的粘性層，使磁頭長(zhǎng)形條從所述開(kāi)口 暴露出來(lái)；(b)將封裝膠填入(dispensing)所述限膠板的開(kāi)口內(nèi)；(c)碾壓填 入在所述限膠板開(kāi)口內(nèi)的所述封裝膠，使所述封裝膠流動(dòng)到所述磁頭長(zhǎng)形條之 間的空間內(nèi)；(d)固化封裝膠，從而使所有磁頭長(zhǎng)形條互相連接起來(lái)。
在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，所述步驟(5)包括(a)提供一種快速固化 膠并將其涂到所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面；(b)借助所述快速固化膠將載體固 定到磁頭長(zhǎng)形條的第二表面。
在本發(fā)明的再一個(gè)實(shí)施例中，所述步驟(6)可以包括(a)將真空移送夾 具從框架移除；(b)將薄膜從磁頭長(zhǎng)形條移除。所述封裝膠可為任何適當(dāng)粘結(jié) 劑，比如氰基丙烯酸鹽粘合劑。
一種磁頭制造方法，包括如下步驟(1 )形成具有粘性表面的支撐裝置； (2 )提供一組具有用于形成空氣承載面的第一表面及與該第一表面相反的第二 表面的磁頭長(zhǎng)形條，并將所述一組磁頭長(zhǎng)形條以第一表面面對(duì)粘性表面的方式 固定到所述支撐裝置；(3)加熱其上固定有磁頭長(zhǎng)形條的支撐裝置，并按壓所 述^f茲頭長(zhǎng)形條的第二表面將所述^f茲頭長(zhǎng)形條壓入所述粘性表面中；(4)借助封 裝膠把所述磁頭長(zhǎng)形條互相連接起來(lái)；(5)提供一個(gè)載體并將所述載體固定到 所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面上；(6)移除所述支撐裝置；(7)蝕刻所述磁頭長(zhǎng) 形條的第一表面形成空氣承載面；(8)將所述磁頭長(zhǎng)形條切割成單獨(dú)的磁頭。
與傳統(tǒng)技術(shù)比較，由于以磁頭長(zhǎng)形條的空氣承載面形成面，而不是以其磁 頭安裝面作為基準(zhǔn)面，由磁頭長(zhǎng)形條的厚度差異導(dǎo)致的影響得以減小，甚至完 全避免。另外，由于支撐裝置的粘性表面加熱后軟化，在磁頭長(zhǎng)條形的第二表面施壓后能夠使磁頭長(zhǎng)形條的第一表面壓入該粘性表面，從而能夠避免封裝膠 滲入到磁頭長(zhǎng)形條的第一表面上去。更重要的，由于粘性層溶解于封裝膠中， 粘性層和封裝膠之間存在有難以去除的混合層，由于將所述磁頭長(zhǎng)形條壓入所 述粘性層，所述混合層能夠移入^f茲頭長(zhǎng)形條的間隔中，從而避免在^f茲頭長(zhǎng)形條 間產(chǎn)生凸起。即，所述磁頭長(zhǎng)形條組合(互相連接的磁頭長(zhǎng)形條)的空氣承載 面形成面的平面度得以大大提高，從而由本發(fā)明方法加工形成的》茲頭可以具有 優(yōu)良的飛行穩(wěn)定性，進(jìn)而磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)設(shè)備具有良好的飛行性能，磁盤(pán)及/或磁頭之 間也不會(huì)發(fā)生損壞。
另外，由于磁頭長(zhǎng)形條的空氣承載面形成面緊緊地壓在夾具的突臺(tái)上，空 氣承載面形成面的膠收縮被所述突臺(tái)阻擋，因此，膠凹陷主要發(fā)生在磁頭長(zhǎng)形
條的第二表面(磁頭安裝面)；所以，由膠凹陷對(duì)空氣承載面形成面的綜合平面 度產(chǎn)生的影響得以大大減小。
通過(guò)以下的描述并結(jié)合附圖，本發(fā)明將變得更加清晰，這些附圖用于解釋 本發(fā)明的實(shí)施例。


圖la為傳統(tǒng)磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)設(shè)備的立體圖。 圖lb為圖la所示磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)設(shè)備的磁頭的立體圖。 圖2a為磁頭長(zhǎng)形條連接工序中使用的磁頭長(zhǎng)形條的立體圖。 圖2b為圖2a所示磁頭長(zhǎng)形條A部分的局部放大圖。 圖2c為傳統(tǒng)磁頭長(zhǎng)形條連接方法中使用的載體的立體圖。 圖3a展示了當(dāng)圖2b所示流程結(jié)束后互相封裝在一起且固定于載體上的一組 》茲頭長(zhǎng)形條。
圖3b展示了圖3a所示結(jié)構(gòu)沿Z-Z線的剖視圖。
圖4展示了本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所述將一組磁頭長(zhǎng)形條互相連接起來(lái)的流程 框圖。圖5a-5d為一系列視圖，展示了形成支撐裝置的流程，該支撐裝置用于將一 組^磁頭長(zhǎng)形條臨時(shí)地固定于其上。
圖6a-6c為一系列視圖，展示了將一組磁頭長(zhǎng)形條黏附到由圖5a-5d所示流 程形成的支撐裝置上的過(guò)程。
圖7展示了加熱、施壓將磁頭長(zhǎng)形條的第一表面壓入到支撐裝置的粘性表 面中的過(guò)程。
圖8展示了加熱和施壓過(guò)程后圖7a所示結(jié)構(gòu)沿S-S線的剖視圖。
圖9a-9d為一系列視圖，展示了將上述磁頭長(zhǎng)形條封裝起來(lái)的流程，這些磁 頭長(zhǎng)形條通過(guò)圖6a-6c所示流程而承載于所述支撐裝置上。
圖10a-10b展示了將載體安裝到磁頭長(zhǎng)形條背面的流程，這些磁頭長(zhǎng)形條通 過(guò)圖9a-9d所示的流程而互相封裝在一起。
圖lla-lld展示了將上述支撐裝置移除的流程。
圖12分別展示了由傳統(tǒng)方法及本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所述方法形成的磁頭長(zhǎng)形 條組合的表面掃描特性圖。
圖13展示了由傳統(tǒng)方法封裝的一組磁頭長(zhǎng)形條的待處理表面的膠凹陷。 圖14展示了由本發(fā)明方法封裝的一組磁頭長(zhǎng)形條的待處理表面的膠凹陷。 圖15展示了本發(fā)明 一個(gè)實(shí)施例所述磁頭加工流程框圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例，附圖中類似的組件標(biāo)號(hào)代表類似的組件。
現(xiàn)在描述本發(fā)明 一個(gè)實(shí)施例所述光刻工藝中將一組磁頭長(zhǎng)形條連接起來(lái)的 方法。參考圖4，該方法包括如下步驟形成具有粘性表面的支撐裝置(步驟 101 );提供一組具有用于形成空氣承載面的第一表面及與該第一表面相反的第 二表面的磁頭長(zhǎng)形條，并將所述一組磁頭長(zhǎng)形條以第一表面面對(duì)粘性表面的方 式固定到所述支撐裝置(步驟102);加熱其上固定有磁頭長(zhǎng)形條的支撐裝置，并按壓所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面將所述磁頭長(zhǎng)形條壓入所述粘性表面中(步
驟103 );借助封裝膠把所述磁頭長(zhǎng)形條互相連接起(步驟104);提供一個(gè)載體 并將所述載體固定到所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面上(步驟105);移除所述支撐 裝置(步驟106 )。
圖5a-5d展示了上述方法中形成支撐裝置的步驟101。如圖9a所示，提供具 有開(kāi)孔31且周緣具有一組螺孔11的框架10。所述框架IO可以由任何堅(jiān)硬材料， 比如鋼或陶資材料形成，以便提供足夠的剛度。同時(shí)提供由粘性層12b及疊壓 于該粘性層12b上的非粘性層12a構(gòu)成的薄膜12。通過(guò)將所述粘性層12b黏附 到框架10而將所述薄膜12附著到框架10，從而使框架10的開(kāi)孔31徹底被所 述薄膜12覆蓋。然后，如圖9b所示，所述薄膜12超過(guò)框架10周緣的部分被 切掉，從而使薄膜12具有與框架10 —致的形狀。
然后，如圖5c-5d所示，提供真空移送夾具13。該真空移送夾具13具有基 板132及從該基板132延伸形成的突臺(tái)15。與所述框架10的螺孔11對(duì)應(yīng)，所 述基板132的周圍形成一組螺孔14。所述突臺(tái)15上形成一組真空孔16。然后 將所述真空移送夾具13裝配到框架10,使所述突臺(tái)15容納于開(kāi)孔31內(nèi)(參考 圖5a)，且突臺(tái)15被薄膜12的非粘性層12a覆蓋(參考圖5a),從而形成支撐 裝置300。所述真空移送夾具13可以借助一組螺釘(圖未示)穿過(guò)相應(yīng)的螺孔 11及14而裝配到所述框架10。最后，借助適當(dāng)設(shè)備比如泵將形成于所述真空 移送夾具13的真空孔16與薄膜12之間的空間抽成真空，從而產(chǎn)生空氣壓力將 所述薄膜12壓到所述突臺(tái)15。
圖6a-6c展示了上述方法中的步驟102。如圖所示，將一組》茲頭長(zhǎng)形條18 固定到上述支撐裝置300。每個(gè)磁頭長(zhǎng)形條18具有寬度W1及厚度T1。另外， 所述每個(gè)磁頭長(zhǎng)形條18具有用于形成空氣承載面的第一表面19(空氣承載面形 成面，參考圖lld)及與該第一表面19相對(duì)的第二表面182 (磁頭安裝面)。所 述第一表面19將在后續(xù)制造工序，比如光刻工序中被處理，從而在該表面上形 成空氣承載面圖案。在該步驟中，真空拾取頭17被重復(fù)使用，以便固定磁頭長(zhǎng)形條18并將其移動(dòng)到所述薄膜12的粘性層12b。然后，每個(gè)磁頭長(zhǎng)形條18被 黏附到粘性層12b上，且所述第一表面19黏附到該粘性層12b。
圖7和圖8展示了上述方法中的步驟103。如圖所示，首先將一支撐裝置 300方文置在所述加熱+反61上對(duì)粘性層12加熱以^l化所述粘性層12,所述加熱 板61的溫度范圍為50 110°C,該溫度可以根據(jù)加熱時(shí)間和粘性層61的特性予 以優(yōu)化。接著，將一密封的圓柱形容器62放置在所述支撐裝置300上，所述容 器62事先被預(yù)熱到與加熱板61相同的溫度，并且所述圓柱形容器62中裝滿了 液體63,所述圓柱形容器的底面上包括有一彈性薄膜64,所述彈性薄膜64和 所述磁頭長(zhǎng)形條18的第二表面182相接觸。最后，依次從所述加熱板61上移 走所述圓柱形容器62和支撐裝置300，并冷卻支撐裝置300的溫度到室溫。如 圖8所示，所述^f茲頭長(zhǎng)形條18的第一表面19在所述圓柱形容器62的重力作用 下能被壓入所述粘性層12中大約10-30微米的深度D。因此，能夠避免封裝 膠23滲入到磁頭長(zhǎng)形條18的第一表面19上去。更重要的，由于粘性層12溶 解于封裝膠23中，粘性層12和封裝膠23之間存在有難以去除的混合層，由于 將所述^f茲頭長(zhǎng)形條18壓入所述粘性層12b，所述混合層能夠移入^f茲頭長(zhǎng)形條18 的間隔中，從而能夠在磁頭長(zhǎng)形條18間避免凸起的產(chǎn)生或者產(chǎn)生大約2微米的 凹陷。
圖9a-9d展示了上述方法中步驟104的一系列視圖。首先，如圖9a所示， 用真空拾取頭20移動(dòng)具有開(kāi)口 211的限膠板(glue-restraining plate) 21,并將 該限膠板21粘接到所述薄膜12的粘性層12b上，從而使由所述粘性層12b固 持的磁頭長(zhǎng)形條18從所述開(kāi)口 211暴露出來(lái)。然后，如圖9b所示，借助點(diǎn)膠 4^22將一種封裝膠23，例如氰基丙烯酸鹽粘合劑(cyanoacrylate)涂設(shè)到所述 開(kāi)口 211內(nèi)。接下來(lái)，如圖9c-9d所示，碾壓所述容納于開(kāi)口 211內(nèi)的封裝膠 23,使得所述封裝膠23均勻地流動(dòng)到所有形成于磁頭長(zhǎng)形條18之間的間隙內(nèi)。 所述碾壓工序借助碾壓機(jī)(laminator) 270實(shí)現(xiàn)。具體地，所述碾壓才幾270包括 一對(duì)滾4侖27及位于該對(duì)滾輪27之間的線性薄膜(liner film )28。當(dāng)然，所述碾 壓機(jī)270也可以具有其它適當(dāng)結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)上述功能。當(dāng)4丸行碾壓工序時(shí)，所述線性薄膜28覆蓋于所述磁頭長(zhǎng)形條18的第二表面182，而所述兩個(gè)滾輪27則 沿著所述線性薄膜28滾動(dòng)，從而使得封裝膠23被擠壓。最后，將所述封裝膠 23固化，使得所有磁頭長(zhǎng)形條18互相粘結(jié)起來(lái)。
圖10a-10b展示了上迷方法中步驟105的一系列視圖。首先，如圖10a所示， 借助點(diǎn)膠機(jī)25將一種快速固化膠24涂到所述磁頭長(zhǎng)形條18的第二表面182上。 然后，如圖12b所示，用真空拾取頭27移動(dòng)載體26并通過(guò)上述快速固化膠24 而固定到所述磁頭長(zhǎng)形條18的第二表面182上，從而使整個(gè)磁頭長(zhǎng)形條18被 所述載體26徹底地覆蓋。
另夕卜，所述磁頭長(zhǎng)形條18與載體26之間可以設(shè)置彈性層29(參考圖lld)。 當(dāng)所述快速固化膠24由于自身特性而收縮時(shí)將產(chǎn)生收縮應(yīng)力。該收縮應(yīng)力將導(dǎo) 致載體26及承載于該栽體26上的磁頭長(zhǎng)形條18產(chǎn)生不利變形。所述彈性層29 有助于減小這種變形。另外，所述彈性層29同時(shí)作為所述快速固化膠24的固 化劑(curing agent )，以方便固化流程。應(yīng)當(dāng)注意，雖然在該實(shí)施例中使用彈性 層來(lái)吸收應(yīng)力；然而，當(dāng)應(yīng)力很微弱時(shí)也可以不使用該彈性層。
圖lla-lld展示了上述方法中步驟106的一系列視圖。首先，如圖lla所示， 將所述真空移送夾具13從框架IO拆除，從而形成組合800。較佳地，在將所述 真空移送夾具13從框架IO移除之前，可以消除施加到所述薄膜12的空氣壓力， 該空氣壓力使薄膜12抵壓到真空移送夾具13的突臺(tái)15上，從而使拆除流程變 得更加簡(jiǎn)單。然后，如圖llb所示，將所述組合800翻轉(zhuǎn)，4吏得所述薄膜12的 非粘性層12a面向上方。接下來(lái)，如圖llc所示，將所述薄膜12的非粘性層12a 從所述粘性層12b剝離，再借助適當(dāng)方式比如溶解法將粘性層12b從磁頭長(zhǎng)形 條18移除。通過(guò)移除薄膜12而形成組合900。
圖lld展示了圖llc所示組合900沿B-B線的剖視圖。如圖所示，所述磁 頭長(zhǎng)形條18借助封裝"交23而互相粘結(jié)在一起，從而形成磁頭長(zhǎng)形條組合，該 封裝膠23被所述限膠板21限制。所述載體26及彈性層29借助快速固化膠24 而固定到所述限膠板21。特別地，所述磁頭長(zhǎng)形條18的第一表面19之間互相 完美地對(duì)齊，因此具有較高的平面度。
16圖12分別展示了由傳統(tǒng)方法及本發(fā)明方法形成的磁頭長(zhǎng)形條組合的空氣承 載面形成面的表面掃描特性圖。如圖所示，代表本發(fā)明磁頭長(zhǎng)形條組合的表面
掃描特性的曲線80,比代表傳統(tǒng)方法^磁頭長(zhǎng)形條組合的表面掃描特性的曲線81 更加光滑。換句話說(shuō)，使用本發(fā)明方法可以獲得比傳統(tǒng)方法更加理想的》茲頭長(zhǎng) 形條組合表面平面度。
圖14展示了形成于磁頭長(zhǎng)形條組合的空氣承載面形成面的膠凹陷400。如 圖所示，該膠凹陷400的深度(以23R表示)僅僅為1微米，而傳統(tǒng)方法中形 成的膠凹陷30的深度(以9R表示，如圖13所示)為20微米。即，磁頭長(zhǎng)形 條組合比傳統(tǒng)方法產(chǎn)生的膠凹陷淺。
參考圖15，本發(fā)明的^f茲頭制造方法包括如下步驟形成具有粘性表面的支 撐裝置(步驟201);提供一組^磁頭長(zhǎng)形條，所述一組^磁頭長(zhǎng)形條具有用于形成 空氣承載面的第一表面及與該第一表面相反的第二表面，并將所述磁頭長(zhǎng)形條 以第一表面面對(duì)粘性表面的方式固定到支撐裝置；(步驟202);加熱其上固定有 磁頭長(zhǎng)形條的支撐裝置，并按壓所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面將所述磁頭長(zhǎng)形條 壓入所述粘性表面中(步驟203 )借助封裝膠將磁頭長(zhǎng)形條連接起來(lái)(步驟204); 提供載體并將該載體固定到所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面(步驟205 );移除所述
支撐裝置(步驟206);蝕刻所述磁頭長(zhǎng)形條的第一表面以形成空氣承載面(步 驟207);將所述磁頭長(zhǎng)形條切割成單獨(dú)的磁頭(步驟208)。
與傳統(tǒng)技術(shù)比較，由于以磁頭長(zhǎng)形條18的空氣承載面形成面19，而不是以 其磁頭安裝面作為基準(zhǔn)面，由磁頭長(zhǎng)形條的厚度差異導(dǎo)致的影響得以減小，甚 至完全避免。另外，由于^f茲頭長(zhǎng)形條18的空氣承載面形成面19緊緊地壓在夾 具13的突臺(tái)15上，空氣承載面形成面的膠收縮被所述突臺(tái)15阻擋，因此，膠 凹陷主要發(fā)生在磁頭長(zhǎng)形條的第二表面(磁頭安裝面)182;所以，由膠凹陷400
對(duì)空氣承載面形成面的綜合平面度產(chǎn)生的影響得以大大減小。再者，由于磁頭 長(zhǎng)形條19的第一表面19被壓入粘性層12b中，從而能避免封裝膠23滲入到磁 頭長(zhǎng)形條18的第一表面19上去。更重要的，由于粘性層12溶解于封裝膠23 中，粘性層12和封裝膠23之間存在有難以去除的混合層，由于將所述磁頭長(zhǎng)
1形條18壓入所述粘性層12b，所述混合層能夠移入^f茲頭長(zhǎng)形條18的間隔中，從 而能夠在磁頭長(zhǎng)形條18間避免產(chǎn)生凸起。即，所述磁頭長(zhǎng)形條組合(互相連接 的磁頭長(zhǎng)形條)的空氣承載面形成面19的平面度得以大大提高，從而由本發(fā)明 方法加工形成的磁頭可以具有優(yōu)良的飛行穩(wěn)定性，進(jìn)而磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)設(shè)備具有良好 的飛行性能，磁盤(pán)及/或磁頭之間也不會(huì)發(fā)生損壞。
以上結(jié)合最佳實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描迷，但本發(fā)明并不局限于以上揭示 的實(shí)施例，而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本發(fā)明的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。
18
權(quán)利要求
1.一種在光刻工藝中將磁頭長(zhǎng)形條連接起來(lái)的方法，包括如下步驟(1)形成具有粘性表面的支撐裝置；(2)提供一組具有用于形成空氣承載面的第一表面及與該第一表面相反的第二表面的磁頭長(zhǎng)形條，并將所述一組磁頭長(zhǎng)形條以第一表面面對(duì)粘性表面的方式固定到所述支撐裝置；(3)加熱其上固定有磁頭長(zhǎng)形條的支撐裝置，并按壓所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面將所述磁頭長(zhǎng)形條壓入所述粘性表面中；(4)借助封裝膠把所述磁頭長(zhǎng)形條互相連接起來(lái)；(5)提供一個(gè)載體并將所述載體固定到所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面上；(6)移除所述支撐裝置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述步驟(1)中支撐裝置的 形成包括如下步驟(a) 提供一個(gè)具有開(kāi)孔的框架；(b) 提供具有作為所述粘性表面的粘性層及與該粘性層疊壓在一起的非粘 性層的薄膜，并將所述薄膜以所述粘性層面向框架的方式覆蓋于框架；(c) 提供一個(gè)真空移送夾具，該真空移送夾具具有基板及從基板突出的突 臺(tái)，所述突臺(tái)中具有一組真空孔；(d) 將所述真空移送夾具裝配到框架上， -使所述突臺(tái)收容在框架的開(kāi)孔內(nèi) 且與所述薄膜的非粘性層接觸。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于所述步驟(1)后進(jìn)一步包括 步驟將突臺(tái)與非粘性層間的空間抽成真空而產(chǎn)生空氣壓力，從而將薄膜壓在 所述突臺(tái)上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述步驟(3)包括(a) 提供一加熱板并將支撐裝置放置在所述加熱板上；(b) 提供一容器并將所述容器以容器底面和所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面相 接觸的方式放置在所述支撐裝置上；(c) 一段時(shí)間后，依次從所述加熱板上移走所述容器和支撐裝置，并將支 撐裝置的溫度冷卻到室溫。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于所述容器為裝滿液體的密封 容器，所述容器的底面上有一彈性薄膜，所述彈性薄膜和所述磁頭長(zhǎng)形條的第 二表面相4妄觸。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于在將所述容器放置在所述支 撐裝置上前，把所述容器預(yù)熱到與所述加熱板一樣高的溫度。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于所述加熱板的溫度范圍為 50 110。C。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述步驟(4)包括(a) 提供一個(gè)具有開(kāi)口的限膠板，并將該限膠板固定到所述薄膜的粘性層， 使磁頭長(zhǎng)形條從所述開(kāi)口暴露出來(lái)；(b) 將封裝膠填入所述限膠板的開(kāi)口內(nèi)；(c) 碾壓填入限膠板開(kāi)口內(nèi)的封裝膠，使所述封裝膠流到磁頭長(zhǎng)形條之間 的空間內(nèi)；(d) 固化所述封裝膠，從而使所有磁頭長(zhǎng)形條互相連接起來(lái)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述步驟(5)包括(a) 提供一種快速固化膠并將快速固化膠涂到所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面；(b) 借助所述快速固化膠將所述載體固定到所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表
11. 一種磁頭制造方法，包括如下步驟(1) 形成具有粘性表面的支撐裝置；(2) 提供一組具有用于形成空氣承載面的第一表面及與該第一表面相反的 第二表面的磁頭長(zhǎng)形條，并將所述一組磁頭長(zhǎng)形條以第一表面面對(duì)粘性表面的方式固定到所述支撐裝置；(3) 加熱其上固定有^f茲頭長(zhǎng)形條的支撐裝置，并按壓所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面將所述磁頭長(zhǎng)形條壓入所述粘性表面中；(4) 借助封裝膠把所述磁頭長(zhǎng)形條互相連接起來(lái)；(5) 提供一個(gè)載體并所述載體其固定到所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面上；(6) 移除所述支撐裝置；(7) 蝕刻所述磁頭長(zhǎng)形條的第一表面以形成空氣承載面；(8) 將所述^f茲頭長(zhǎng)形條切割成單獨(dú)的磁頭。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于所述步驟(1)中支撐裝 置的形成包括如下步驟(a) 提供一個(gè)具有開(kāi)孔的框架；(b) 提供具有作為所述粘性表面的粘性層及與該粘性層疊壓在一起的非粘 性層的薄膜，并將所述薄膜以所述粘性層面向框架的方式覆蓋于框架；(c) 提供一個(gè)真空移送夾具，該真空移送夾具具有基板及從基板突出的突 臺(tái)，所述突臺(tái)中具有一組真空孔；(d) 將所述真空移送夾具裝配到框架，使突臺(tái)收容在框架的開(kāi)孔內(nèi)且與所 述薄膜的非粘性層接觸。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于所述步驟(1 )后進(jìn)一步包 括步驟將突臺(tái)與非粘性層間的空間抽成真空而產(chǎn)生空氣壓力，從而將薄膜壓 在所述突臺(tái)上。
14. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于所述步驟(3)包括(a) 提供一加熱板并將支撐裝置放置在所述加熱板上；(b) 提供一容器并將所述容器以容器底面和所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面相 接觸的方式放置在所述支撐裝置上；(c) 一段時(shí)間后，依次從所述加熱板上移走所述容器和支撐裝置，并將支 撐裝置的溫度冷卻到室溫。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于所述容器為裝滿液體的密 封容器，所述容器的底面上有一彈性薄膜，所述彈性薄膜和所述磁頭長(zhǎng)形條的 第二表面相接觸。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于在將所述容器放置在所述 支撐裝置上前，把所述容器預(yù)熱到與所述加熱板一樣高的溫度。
17. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于所述加熱板的溫度范圍為 50~110oC。
18. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于所述步驟(4)包括(a)提供一個(gè)具有開(kāi)口的限膠板，并將該限膠板固定到所述薄膜的粘性 層，使磁頭長(zhǎng)形條從所迷開(kāi)口暴露出來(lái)；(b )將封裝膠填入所述限膠板的開(kāi)口內(nèi)；(c) 碾壓填入限膠板開(kāi)口內(nèi)的封裝膠，使所述封裝膠流到磁頭長(zhǎng)形條之間 的空間內(nèi)；(d) 固化所述封裝膠，從而使所有磁頭長(zhǎng)形條互相連接起來(lái)。
19. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于所述步驟(5)包括(a) 提供一種快速固化膠并將快速固化膠涂到所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面；(b) 借助所述快速固化膠將所述載體固定到所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面。
20. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其特征在于所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面與載體之間夾設(shè)有用于吸收所述快速固化膠產(chǎn)生的收縮應(yīng)力的彈性層。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在光刻工藝中將磁頭長(zhǎng)形條連接起來(lái)的方法，包括如下步驟(1)形成具有粘性表面的支撐裝置；(2)提供一組具有用于形成空氣承載面的第一表面及與該第一表面相反的第二表面的磁頭長(zhǎng)形條，并將所述一組磁頭長(zhǎng)形條以第一表面面對(duì)粘性表面的方式固定到所述支撐裝置上；(3)加熱其上固定有磁頭長(zhǎng)形條的支撐設(shè)備，并按壓所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面將所述磁頭長(zhǎng)形條壓入所述粘性表面中；(4)借助封裝膠把所述磁頭長(zhǎng)形條互相連接起來(lái)；(5)提供一個(gè)載體并將所述載體固定到所述磁頭長(zhǎng)形條的第二表面上；(6)移除所述支撐裝置。本發(fā)明還揭露了一種磁頭制造方法。
文檔編號(hào)G11B5/127GK101615398SQ20081012506
公開(kāi)日2009年12月30日 申請(qǐng)日期2008年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月24日
發(fā)明者李泰文, 高詠平 申請(qǐng)人:新科實(shí)業(yè)有限公司