專利名稱：半導(dǎo)體器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的示例性實(shí)施例 涉及半導(dǎo)體器件的刷新技術(shù)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體器件的存儲(chǔ)器單元包括用作開關(guān)的晶體管和用于儲(chǔ)存表示數(shù)據(jù)的電荷的電容器。根據(jù)在存儲(chǔ)器單元中的電容器中是否存在電荷來(lái)確定數(shù)據(jù)的‘高’(邏輯值1)狀態(tài)和‘低’(邏輯值0)狀態(tài)。即，在電容器的端電壓為高的情況下，存儲(chǔ)器單元被認(rèn)為儲(chǔ)存有高狀態(tài)的數(shù)據(jù)，而在電容器的端電壓為低的情況下，存儲(chǔ)器單元被認(rèn)為儲(chǔ)存有低狀態(tài)的數(shù)據(jù)。由于數(shù)據(jù)儲(chǔ)存是以將電荷積聚于電容器中的方式來(lái)執(zhí)行的，因此理論上不發(fā)生電力消耗。然而，由于儲(chǔ)存在電容器中的電荷的初始量因MOS晶體管的PN結(jié)等所導(dǎo)致的泄漏電流而改變，數(shù)據(jù)可能丟失。為了防止這種問(wèn)題，有必要在數(shù)據(jù)丟失之前從存儲(chǔ)器單元讀取數(shù)據(jù)，并根據(jù)讀取信息執(zhí)行正常的再充電操作。只有在周期性地重復(fù)此操作時(shí)，才能實(shí)質(zhì)地維持?jǐn)?shù)據(jù)的儲(chǔ)存。這種對(duì)存儲(chǔ)器單元再充電的過(guò)程稱為刷新操作。在現(xiàn)有的半導(dǎo)體器件中，如果從存儲(chǔ)控制器對(duì)半導(dǎo)體器件施加刷新命令，則半導(dǎo)體器件中的所有的存儲(chǔ)體同時(shí)地執(zhí)行刷新操作。例如，順序地激活存儲(chǔ)體O至7中的所有字線0至N并儲(chǔ)存數(shù)據(jù)。在現(xiàn)有的半導(dǎo)體器件中，因?yàn)橥瑫r(shí)刷新所有存儲(chǔ)體，因此本質(zhì)上一次消耗大量的電流。此外，由于同時(shí)刷新所有存儲(chǔ)體，在刷新操作期間可能無(wú)法執(zhí)行諸如讀取操作或?qū)懭氩僮鞯牟僮鳌?br>
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及一種半導(dǎo)體器件，在此半導(dǎo)體器件中根據(jù)存儲(chǔ)體組執(zhí)行刷新操作，并且不執(zhí)行刷新操作的一些存儲(chǔ)體組可以基于命令來(lái)執(zhí)行諸如讀取操作或?qū)懭氩僮鞯牟僮?。本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施例涉及通過(guò)允許在存儲(chǔ)體組的刷新操作時(shí)交替地刷新存儲(chǔ)體組中的存儲(chǔ)體，來(lái)減少半導(dǎo)體器件的電流消耗。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例，一種用于控制包括半導(dǎo)體器件的多個(gè)層疊芯片的刷新操作的系統(tǒng)包括各自包括至少兩個(gè)存儲(chǔ)體的多個(gè)存儲(chǔ)體組；和以一對(duì)一的方式與多個(gè)存儲(chǔ)體組相對(duì)應(yīng)的多個(gè)地址計(jì)數(shù)器，其中，被選擇的存儲(chǔ)體組的刷新操作是響應(yīng)于存儲(chǔ)體組刷新命令而被執(zhí)行的。當(dāng)施加存儲(chǔ)體組刷新命令時(shí)，與被選擇的存儲(chǔ)體組相對(duì)應(yīng)的地址計(jì)數(shù)器可以執(zhí)行地址計(jì)數(shù)。當(dāng)施加全存儲(chǔ)體刷新命令時(shí)，多個(gè)地址計(jì)數(shù)器可以執(zhí)行地址計(jì)數(shù)，且所有的存儲(chǔ)體組可以執(zhí)行刷新操作。 可以由存儲(chǔ)體組地址來(lái)選擇存儲(chǔ)體組。當(dāng)施加存儲(chǔ)體組刷新命令時(shí)，可以順序地刷新被選擇的存儲(chǔ)體組中的存儲(chǔ)體，而當(dāng)施加全存儲(chǔ)體刷新命令時(shí)，可以順序地刷新每個(gè)存儲(chǔ)體組中的存儲(chǔ)體。當(dāng)施加存儲(chǔ)體組刷新命令時(shí)，可以同時(shí)地刷新被選擇的存儲(chǔ)體組中的存儲(chǔ)體，而當(dāng)施加全存儲(chǔ)體刷新命令時(shí)，可以同時(shí)地刷新每個(gè)存儲(chǔ)體組中的所有存儲(chǔ)體。除被選擇的存儲(chǔ)體組之外的存儲(chǔ)體組可以根據(jù)命令來(lái)執(zhí)行激活、讀取或?qū)懭氩僮?。本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施例旨在提供一種半導(dǎo)體器件，所述半導(dǎo)體器件包括 各自包括至少兩個(gè)存儲(chǔ)體的多個(gè)存儲(chǔ)體組；以一對(duì)一的方式與多個(gè)存儲(chǔ)體組相對(duì)應(yīng)的多個(gè)地址計(jì)數(shù)器；以及以一對(duì)一的方式與多個(gè)地址計(jì)數(shù)器相對(duì)應(yīng)的多個(gè)地址選擇器，其中，被選擇的存儲(chǔ)體組的地址選擇器響應(yīng)于存儲(chǔ)體組刷新命令來(lái)選擇由地址計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)的地址，且多個(gè)地址選擇器響應(yīng)于全存儲(chǔ)體刷新命令來(lái)分別選擇由地址計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)的地址。多個(gè)地址選擇器可以響應(yīng)于激活命令來(lái)選擇從半導(dǎo)體器件的外部輸入的地址。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例的半導(dǎo)體器件的圖；圖2是說(shuō)明圖1所示的存儲(chǔ)體組的結(jié)構(gòu)的圖；圖3是說(shuō)明圖2所示的存儲(chǔ)體組的操作的圖；圖4是根據(jù)另一個(gè)示例性實(shí)施例的圖2所示的存儲(chǔ)體激活電路的圖；圖5是說(shuō)明圖2所示的具有圖4所示的存儲(chǔ)體激活電路的存儲(chǔ)體組的操作的圖； 以及圖6是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例的針對(duì)半導(dǎo)體器件中的每個(gè)存儲(chǔ)體組執(zhí)行個(gè)別操作這一情況的圖。
具體實(shí)施例方式下面將參照附圖更加詳細(xì)地描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以用不同的方式來(lái)實(shí)施，并且不應(yīng)當(dāng)被理解為限于本文所提出的實(shí)施例。確切地說(shuō)，提供這些實(shí)施例是為了使得本說(shuō)明書將是清楚且完整的，并且將會(huì)向本領(lǐng)域技術(shù)人員完全傳達(dá)本發(fā)明的范圍。在本說(shuō)明書中，相同的附圖標(biāo)記在本發(fā)明的各個(gè)附圖和實(shí)施例中表示相同的部件。圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例的半導(dǎo)體器件的圖。參見(jiàn)圖1，半導(dǎo)體器件包括多個(gè)存儲(chǔ)體組BGO至BG3、多個(gè)地址計(jì)數(shù)器110_BG0至 110_BG3、多個(gè)位地址選擇器120_BG0至120_BG3、存儲(chǔ)體組選擇器130、命令譯碼器140、存儲(chǔ)體組地址緩沖器101、存儲(chǔ)體地址緩沖器102、地址緩沖器103和命令緩沖器104。多個(gè)存儲(chǔ)體組BGO至BG3中的每個(gè)包括至少兩個(gè)存儲(chǔ)體。存儲(chǔ)體組BGO至BG3 一起形成通過(guò)存儲(chǔ)體組刷新命令執(zhí)行刷新操作的單位。在圖1所示的示例性實(shí)施例中， 半導(dǎo)體器件劃分成四個(gè)存儲(chǔ)體組BGO至BG3，其中存儲(chǔ)體組BGO包括四個(gè)存儲(chǔ)體BANKO至BANK3，存儲(chǔ)體組BGl包括四個(gè)存儲(chǔ)體BANK4至BANK7，存儲(chǔ)體組BG2包括四個(gè)存儲(chǔ)體BANK8 至BANK11，且存儲(chǔ)體組BG3包括四個(gè)存儲(chǔ)體BANK12至BANK15。其他實(shí)施例可以具有包括更多或更少個(gè)存儲(chǔ)體的更多或更少個(gè)存儲(chǔ)體組。存儲(chǔ)體組地址緩沖器101被配置為緩沖從半導(dǎo)體器件的外部輸入的存儲(chǔ)體組地址BG_A<0 1>，且鎖存并輸出所緩沖的存儲(chǔ)體組地址。在圖1中，用BG_LA<0 1>表示鎖存的存儲(chǔ)體組地址。由于鎖存的存儲(chǔ)體組地址BG_LA<0:1>用于半導(dǎo)體器件中，因此在下文中， 鎖存的存儲(chǔ)體組地址BG_LA<0 1>被稱為存儲(chǔ)體組地址。存儲(chǔ)體組地址BG_LA<0 1>是用于選擇多個(gè)存儲(chǔ)體組BGO至BG3中的一個(gè)的地址。存儲(chǔ)體地址緩沖器102被配置為緩沖從半導(dǎo)體器件的外部輸入的存儲(chǔ)體地址BK_ A<0:1>，且鎖存并輸出所緩沖的存儲(chǔ)體地址。在圖1中，用BK_LA<0:1>表示鎖存的存儲(chǔ)體地址。由于鎖存的存儲(chǔ)體地址BK_LA<0:1>用于半導(dǎo)體器件中，因此在下文中，鎖存的存儲(chǔ)體地址BK_LA<0 1>被稱為存儲(chǔ)體地址。存儲(chǔ)體地址BK_LA<0 1>是用于從存儲(chǔ)體組BGO至 BG3中選擇一個(gè)存儲(chǔ)體的地址。地址緩沖器103被配置為緩沖從半導(dǎo)體器件的外部輸入的地址A<0:14>，且鎖存并輸出所緩沖的地址。在圖1中，用LA<0:14>表示鎖存的地址。由于鎖存的地址LA<0:14> 用于半導(dǎo)體器件中，因此在下文中，鎖存的地址LA<0:14>被稱為地址。地址LA<0:14>是用于在存儲(chǔ)體BANKO至BANK15中選擇要激活的字線的地址。命令緩沖器104被配置為緩沖從半導(dǎo)體器件的外部輸入的命令CMD，且將所緩沖的命令傳輸至命令譯碼器140。存儲(chǔ)體組選擇器130被配置為對(duì)存儲(chǔ)體組地址BG_LA<0 1>進(jìn)行譯碼，且選擇存儲(chǔ)體組BGO至BG3中的一個(gè)。如果選擇相應(yīng)的存儲(chǔ)體組，則激活從存儲(chǔ)體組選擇器130輸出的存儲(chǔ)體組選擇信號(hào)BG_SEL<0 3>。例如，如果選擇第一存儲(chǔ)體組BG0，則激活存儲(chǔ)體組選擇信號(hào)BG_SEL<0>。如果選擇第四存儲(chǔ)體組BG3，則激活存儲(chǔ)體組選擇信號(hào)BG_SEL<3>。命令譯碼器140被配置為對(duì)從命令緩沖器104接收的命令CMD進(jìn)行譯碼，并激活全存儲(chǔ)體刷新命令(all bank refresh command) REF_ALL、存儲(chǔ)體組刷新命令REF_ BG<0 3>、激活命令A(yù)CT、讀取命令RD、寫入命令WT等。存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0 3>用于刷新從存儲(chǔ)體組BGO至BG3中選擇的存儲(chǔ)體組。命令譯碼器140可以響應(yīng)于命令CMD和存儲(chǔ)體組選擇信號(hào)BG_SEL<0 3>而產(chǎn)生存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0 3>。例如，如果因?qū)γ頒MD的譯碼而識(shí)別出已經(jīng)施加了存儲(chǔ)體組刷新命令，且存儲(chǔ)體組選擇信號(hào)BG_SEL<2>被激活，則命令譯碼器140激活存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<2>以用于刷新存儲(chǔ)體組BG2。地址計(jì)數(shù)器110_BG0至110_BG3以一對(duì)一的方式支持存儲(chǔ)體組BGO至BG3。地址計(jì)數(shù)器110_BG0至110_BG3被配置為如果全存儲(chǔ)體刷新命令REF_ALL被激活或者來(lái)自于存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0:3>中的相應(yīng)存儲(chǔ)體組刷新命令被激活，則對(duì)地址進(jìn)行計(jì)數(shù)。例如，地址計(jì)數(shù)器110_BG2被配置為如果全存儲(chǔ)體刷新命令REF_ALL被激活或者存 儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<2>被激活，則對(duì)地址進(jìn)行計(jì)數(shù)。地址計(jì)數(shù)指的是通過(guò)將值順序地增加來(lái)確定地址的操作。例如，可以通過(guò)將值從0至214順序地增加來(lái)執(zhí)行地址計(jì)數(shù)，以確定所計(jì)數(shù)的地址 RAT<0:14>。地址選擇器120_BG0至120_BG3以一對(duì)一的方式支持存儲(chǔ)體組BGO至BG3。地址選擇器120_BG0至120_BG3被配置為如果全存儲(chǔ)體刷新命令REF_ALL被激活或者來(lái)自于存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0 3>中的相應(yīng)存儲(chǔ)體組刷新命令被激活，則選擇由地址計(jì)數(shù)器 110_BG0至110_BG3計(jì)數(shù)的地址RAT<0 14>，且將選擇的地址RAT<0 14>分別傳輸至存儲(chǔ)體組BGO至BG3中的存儲(chǔ)體。否則，地址選擇器120_BG0至120_BG3將從半導(dǎo)體器件的外部輸入的地址LA<0:14>(即，在地址緩沖器中接收的地址)傳輸至存儲(chǔ)體組BGO至BG3中的存儲(chǔ)體。地址選擇器120_BG0至120_BG3中的每個(gè)可以包括或門和多路復(fù)用器。下面 描述本發(fā)明的本示例性實(shí)施例的操作。如果施加全存儲(chǔ)體刷新命令(即， REF_ALL被激活)，則所有的地址選擇器120_BG0至120_BG3選擇從與地址選擇器120_BG0 至120_BG3相對(duì)應(yīng)的地址計(jì)數(shù)器110_BG0至110_BG3輸出的所計(jì)數(shù)的地址RAT<0 14>，且將選擇的地址RAT<0 14>分別傳輸至第一存儲(chǔ)體組BGO中的存儲(chǔ)體BANKO至BANK3、第二存儲(chǔ)體組BGl中的存儲(chǔ)體BANK4至BANK7、第三存儲(chǔ)體組BG3中的存儲(chǔ)體BANK8至BANKll以及第四存儲(chǔ)體組BG4中的存儲(chǔ)體BANK12至BANK15。因此，在存儲(chǔ)體BANKO至BANK15中，利用所計(jì)數(shù)的地址RAT<0:14>來(lái)順序地激活字線，并執(zhí)行刷新操作。與此同時(shí)，如果施加存儲(chǔ)體組刷新命令，則僅在由存儲(chǔ)體組地址BG_LA<0:1>選擇的存儲(chǔ)體組中執(zhí)行刷新操作。例如，如果施加存儲(chǔ)體組刷新命令且選擇第三存儲(chǔ)體組 BG2 (即，REF_BG<2>被激活)，則地址選擇器120_BG2選擇從地址計(jì)數(shù)器110_BG2輸出的所計(jì)數(shù)的地址RAT<0 14>，且將所選擇的地址RAT<0 14>提供給存儲(chǔ)體BANK8至BANKl 1。因此，在存儲(chǔ)體BANK8至BANKll中，字線被順序地激活，并執(zhí)行刷新操作。此外，在第一存儲(chǔ)體組BG0、第二存儲(chǔ)體組BGl和第四存儲(chǔ)體組BG3中(即，在存儲(chǔ)體組中除第三存儲(chǔ)體組 BG2之外的每個(gè)中)，由于所計(jì)數(shù)的地址RAT<0 14>并不傳輸給存儲(chǔ)體BANKO至BANK7和存儲(chǔ)體BANK12至BANK15而外部輸入地址LA<0:14>傳輸至存儲(chǔ)體BANKO至BANK7和存儲(chǔ)體 BANK12至BANK15，因此不執(zhí)行刷新操作而根據(jù)外部輸入命令及地址執(zhí)行獨(dú)立的操作。艮口， 與第三存儲(chǔ)體組BG2的刷新操作無(wú)關(guān)地，第一存儲(chǔ)體組BG0、第二存儲(chǔ)體組BGl和第四存儲(chǔ)體組BG3可以執(zhí)行正常操作。在圖1中，因空間的原因省略了半導(dǎo)體器件的部分結(jié)構(gòu)。然而，參照?qǐng)D2將會(huì)理解所述結(jié)構(gòu)。圖2是說(shuō)明圖1所示的第一存儲(chǔ)體組的結(jié)構(gòu)的圖。參見(jiàn)圖2，第一存儲(chǔ)體組BGO包括分別用于激活存儲(chǔ)體BANKO至BANK3的字線WLO 至WLN的行譯碼器210_BK0至210_BK3。如圖2所示，由允許存儲(chǔ)體BANKO至BANK3處于激活狀態(tài)的存儲(chǔ)體激活電路220_BG0、地址計(jì)數(shù)器110_BG0和地址選擇器120_BG0來(lái)支持第一存儲(chǔ)體組BGO。存儲(chǔ)體激活電路220_BG0包括存儲(chǔ)體地址譯碼器221、激活信號(hào)發(fā)生器222和或門 223至227。存儲(chǔ)體地址譯碼器221被配置為對(duì)存儲(chǔ)體地址BK_LA<0 1>進(jìn)行譯碼，并激活存儲(chǔ)體選擇信號(hào)BK_SEL<0:3>中的一個(gè)。存儲(chǔ)體地址譯碼器221僅在存儲(chǔ)體組選擇信號(hào)BG_ SEL<0>被激活時(shí)操作。如果存儲(chǔ)體組選擇信號(hào)BG_SEL<0>被去激活，則存儲(chǔ)體地址譯碼器 221輸出處于去激活狀態(tài)的存儲(chǔ)體選擇信號(hào)BK_SEL<0 3>。激活信號(hào)發(fā)生器222被配置為響應(yīng)于激活信號(hào)ACT和存儲(chǔ)體選擇信號(hào)BK_SEL<0 3>來(lái)激活輸出信號(hào)RACTKO 3>中的一個(gè)， 且響應(yīng)于預(yù)充電信號(hào)PRE來(lái)去激活所激活的輸出信號(hào)RACTKO 3>，其中，所述激活信號(hào)ACT 是響應(yīng)于激活命令而激活的，所述預(yù)充電信號(hào)PRE是響應(yīng)于預(yù)充電命令而激活的。當(dāng)不必刷新時(shí)，輸出信號(hào)RACTKO3>作為存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACIXO3>被輸出，以激活存儲(chǔ)體BANKO至BANK3中的一個(gè)。如果全存儲(chǔ)體刷新命令REF_ALL或存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0>被激活(即，或門223至227的輸入中的一個(gè)處于高電平)，則存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACIXO :3>全部被激活。即，當(dāng)激活信號(hào)ACT被激活時(shí)，存儲(chǔ)體激活電路220_BG0響應(yīng)于存儲(chǔ)體地址BK_ LA<0:1>而激活存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACIXO:3>中的一個(gè)。在全存儲(chǔ)體刷新操作(即，在REF_ ALL為‘高’的情況下)或第一存儲(chǔ)體組BGO的存儲(chǔ)體組刷新操作(即，在REF_BG<0>為‘高’ 的情況下)時(shí)，存儲(chǔ)體激活電路220_BG0激活所有的存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACIXO :3>。行譯碼器210_BK0至210_BK3被配置為如果接收的存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACT<0 3>被激活，則對(duì)接收的地址RA<0:14>進(jìn)行譯碼，并分別激活存儲(chǔ)體BANKO至BANK3的字線WLO 至WLN中的一個(gè)。由于上文已描述了地址計(jì)數(shù)器110_BG0和地址選擇器120_BG0的操作，因此此處
省略其描述。第二存儲(chǔ)體組、第三存儲(chǔ)體組和第四存儲(chǔ)體組BGl至BG3可以被配置為與圖2所示的第一存儲(chǔ)體組BGO的情況相似。圖3是說(shuō)明圖2所示的第一存儲(chǔ)體組BGO的操作的圖。參見(jiàn)圖3，當(dāng)激活信號(hào)ACT第一次被激活時(shí)，由存儲(chǔ)體地址BK_LA<0 1> (例如，BK_ LA<0:1>可以是諸如(0，1)的兩比特信號(hào))來(lái)選擇第二存儲(chǔ)體BANKl，以便激活存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACT<1>。在存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACT<1>的激活時(shí)間段期間，行譯碼器210_BK1激活由地址LA<0:14>選擇的字線。通過(guò)預(yù)充電信號(hào)PRE的激活來(lái)將存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACT<1>去激活。當(dāng)激活信號(hào)ACT第二次被激活時(shí)，由存儲(chǔ)體地址BK_LA<0 1> (例如，BK_LA<0 1> 可以是諸如(1，1)的兩比特信號(hào))來(lái)選擇第四存儲(chǔ)體BANK3，以便激活存儲(chǔ)體激活信號(hào) RACT<3>。在存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACT<3>的激活時(shí)間段期間，行譯碼器210_BK3激活由地址 LA<0:14>選擇的字線。通過(guò)預(yù)充電信號(hào)PRE的激活來(lái)將存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACT<3>去激活。如果存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0>被激活，則存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACT<0 3>全部被激活。此外，由地址計(jì)數(shù)器110_BG0計(jì)數(shù)的地址RAT<0:14>被提供給行譯碼器210_BK0至 210_BK3。因此，在存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0>的激活時(shí)間段期間，在存儲(chǔ)體BANKO至 BANK3中字線被順序地激活。與存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0>被激活的情況一樣，在全存儲(chǔ)體刷新命令REF_ ALL的激活時(shí)間段期間也執(zhí)行相同的操作。圖4是根據(jù)另一個(gè)示例性實(shí)施例的圖2所示的存儲(chǔ)體激活電路220_BG0的圖。 圖2所示的存儲(chǔ)體激活電路220_BG0被配置為在全存儲(chǔ)體刷新操作和存儲(chǔ)體組刷新操作之時(shí)，同時(shí)地激活存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACIXO :3>。圖4示出了存儲(chǔ)體激活電路220_BG0， 其在全存儲(chǔ)體刷新操作和存儲(chǔ)體組刷新操作之時(shí)，順序地激活存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACT<0:3>。參看圖4，根據(jù)另一個(gè)示例性實(shí)施例的存儲(chǔ)體激活電路BGO包括存儲(chǔ)體地址譯碼器221、激活信號(hào)發(fā)生器222、存儲(chǔ)體計(jì)數(shù)器410和選擇器420。存儲(chǔ)體地址譯碼器221和激活信號(hào)發(fā)生器222具有與圖2所示的存儲(chǔ)體地址譯碼器221和激活信號(hào)發(fā)生器222的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)。因此，在此示例性實(shí)施例中，存儲(chǔ)體計(jì)數(shù)器410和選擇器420是增加的部件。存儲(chǔ)體計(jì)數(shù)器410被配置為如果全存儲(chǔ)體刷新命令REF_ALL或存儲(chǔ)體組刷新命令 REF_BG<0>被激活，則順序地激活輸出信號(hào)RACTC<0:3>。即，存儲(chǔ)體計(jì)數(shù)器410的輸出信號(hào)以 RACTC<0>、RACTCX 1>、RACTC<2>、RACTC<3> 的順序被激活。選擇器420被配置為如果全存儲(chǔ)體刷新命令REF_ALL或存儲(chǔ)體組刷新命令REF_ BG<0>被激活，則輸出存儲(chǔ)體計(jì)數(shù)器410的輸出信號(hào)RACTC<0:3>作為存儲(chǔ)體激活信號(hào) RACIXO 3>，且如果全存儲(chǔ)體刷新命令REF_ALL和存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0>被去激活， 則輸出激活信號(hào)發(fā)生器222的輸出信號(hào)RACTI<0:3>作為存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACT<0:3>。選擇器420可以包括或門和多路復(fù)用器。在激活操作之時(shí)，圖4所示的存儲(chǔ)體激活電路220_BG0類似于圖2所示的存儲(chǔ)體激活電路220_BG0而操作。然而，在全存儲(chǔ)體刷新命令REF_ALL或存儲(chǔ)體組刷新命令REF_ BG<0>被激活的刷新操作 之時(shí)，存儲(chǔ)體激活電路220_BG0順序地激活第一存儲(chǔ)體組BGO中的存儲(chǔ)體BANKO至BANK3，使得可以順序地刷新存儲(chǔ)體BANKO至BANK3。在使用圖4所示的存儲(chǔ)體激活電路220_BG0的情況下，由于存儲(chǔ)體BANKO至BANK3 被順序地刷新，因此地址計(jì)數(shù)器110_BG0對(duì)地址RAT<0 14>計(jì)數(shù)不同的四次(即，存儲(chǔ)體 BANKO至BANK3中的每個(gè)一次)。圖5是說(shuō)明圖2所示的具有圖4所示的存儲(chǔ)體激活電路220_BG0的存儲(chǔ)體組BGO 的操作的圖。參見(jiàn)圖5，如果存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0>被激活，則存儲(chǔ)體激活信號(hào) RACKO:3>在存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0>的激活時(shí)間段期間被順序地激活。此外，當(dāng)存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACT<0>被激活時(shí)，執(zhí)行第一存儲(chǔ)體BANKO的刷新操作；當(dāng)存儲(chǔ)體激活信號(hào) RACT<1>被激活時(shí)，執(zhí)行第二存儲(chǔ)體BANKl的刷新操作；當(dāng)存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACT<2>被激活時(shí)，執(zhí)行第三存儲(chǔ)體BANK2的刷新操作；且當(dāng)存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACT<3>被激活時(shí)，執(zhí)行第四存儲(chǔ)體BANK3的刷新操作。即，響應(yīng)于當(dāng)存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0>激活時(shí)被順序地激活的相應(yīng)存儲(chǔ)體激活信號(hào)RACIXO :3>來(lái)順序地刷新存儲(chǔ)體BANKO至BANK3。在圖5的情況下，在刷新操作之時(shí)，由于存儲(chǔ)體BANKO至BANK3不是同時(shí)地刷新而是順序地刷新的，因此可以將存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0>的激活時(shí)間段控制為比圖3的情況下的存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG<0>的激活時(shí)間段長(zhǎng)。在全存儲(chǔ)體刷新命令REF_ALL的激活時(shí)間段期間，以與存儲(chǔ)體組刷新命令REF_ BG<0>被激活的情況類似的方式順序地刷新存儲(chǔ)體BANKO至BANK3。當(dāng)如圖5所示順序地刷新存儲(chǔ)體BANKO至BANK3時(shí)，與如圖3所示的同時(shí)地刷新存儲(chǔ)體BANKO至BANK3的情況相比，可以進(jìn)一步減少半導(dǎo)體器件中的瞬時(shí)電流消耗。圖5未圖示一般的激活預(yù)充電操作。即使當(dāng)圖4所示的存儲(chǔ)體激活電路220_BG0 用于圖2所示的結(jié)構(gòu)時(shí)，也與圖3所示的情況類似地執(zhí)行激活預(yù)充電操作。圖6是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例的針對(duì)半導(dǎo)體器件中的每個(gè)存儲(chǔ)體組執(zhí)行個(gè)別操作的情況的圖。參見(jiàn)圖6，由用于指定第二存儲(chǔ)體組BGl的存儲(chǔ)體組地址BG_LA<0 1> (例如，存儲(chǔ)體組地址BG_LA<0:1>可以是諸如(0，1)的兩比特信號(hào))以及存儲(chǔ)體組刷新命令REF_BG來(lái)選擇第二存儲(chǔ)體組BGl，以便執(zhí)行第二存儲(chǔ)體組BGl的刷新操作。在執(zhí)行第二存儲(chǔ)體組BGl 的刷新操作的時(shí)間段601中，激活命令A(yù)CT和讀取命令RD與用于指定第三存儲(chǔ)體組BG2的存儲(chǔ)體組地址BG_LA<0:1>(例如，BG_LA<0:1> = (1,0)) 一起施加，以便執(zhí)行第三存儲(chǔ)體組 BG2的激活操作和讀取操作。
如上文所述，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例，以一對(duì)一的方式為存儲(chǔ)體組BGO 至BG3獨(dú)立地提供地址計(jì)數(shù)器110_BG0至110_BG3且個(gè)別地執(zhí)行存儲(chǔ)體組BGO至BG3的刷新操作，使得當(dāng)執(zhí)行特定存儲(chǔ)體組的刷新操作時(shí)，可以正常地執(zhí)行其他存儲(chǔ)體組的操作。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，在由存儲(chǔ)體組刷新命令選擇的存儲(chǔ)體組中執(zhí)行刷新操作。據(jù)此，不執(zhí)行刷新操作的存儲(chǔ)體組可以執(zhí)行正常操作(讀取操作、寫入操作等)。 此外，在刷新操作之時(shí)，可以順序地刷新存儲(chǔ)體組中的存儲(chǔ)體，因此可以減少在刷新操作期間的瞬時(shí)電流消耗。雖然已經(jīng)參照具體的實(shí)施例描述了本發(fā)明，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言明顯的是，在不脫離所附權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍的前提下，可以進(jìn)行各種變化和修改。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體器件，包括多個(gè)存儲(chǔ)體組，所述多個(gè)存儲(chǔ)體組各自包括至少兩個(gè)存儲(chǔ)體；和多個(gè)地址計(jì)數(shù)器，所述多個(gè)地址計(jì)數(shù)器以一對(duì)一的方式與所述多個(gè)存儲(chǔ)體組相對(duì)應(yīng)， 其中，被選擇的存儲(chǔ)體組的刷新操作是響應(yīng)于存儲(chǔ)體組刷新命令而執(zhí)行的。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件，其中，當(dāng)施加存儲(chǔ)體組刷新命令時(shí)，與被選擇的存儲(chǔ)體組相對(duì)應(yīng)的地址計(jì)數(shù)器執(zhí)行地址計(jì)數(shù)。
3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件，其中，當(dāng)施加全存儲(chǔ)體刷新命令時(shí)，所述多個(gè)地址計(jì)數(shù)器執(zhí)行地址計(jì)數(shù)且所有的存儲(chǔ)體組執(zhí)行刷新操作。
4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件，其中，由存儲(chǔ)體組地址來(lái)選擇所述存儲(chǔ)體組。
5.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件，其中，當(dāng)施加所述存儲(chǔ)體組刷新命令時(shí)，被選擇的存儲(chǔ)體組中的存儲(chǔ)體被順序地刷新，而當(dāng)施加所述全存儲(chǔ)體刷新命令時(shí)，每個(gè)存儲(chǔ)體組中的存儲(chǔ)體被順序地刷新。
6.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件，其中，當(dāng)施加所述存儲(chǔ)體組刷新命令時(shí)，被選擇的存儲(chǔ)體組中的存儲(chǔ)體被同時(shí)地刷新，而當(dāng)施加所述全存儲(chǔ)體刷新命令時(shí)，每個(gè)存儲(chǔ)體組中的所有存儲(chǔ)體被同時(shí)地刷新。
7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件，其中，除被選擇的存儲(chǔ)體組之外的存儲(chǔ)體組根據(jù)命令來(lái)執(zhí)行激活、讀取或?qū)懭氩僮鳌?br> 8.一種半導(dǎo)體器件，包括多個(gè)存儲(chǔ)體組，所述多個(gè)存儲(chǔ)體組各自包括至少兩個(gè)存儲(chǔ)體； 多個(gè)地址計(jì)數(shù)器，所述多個(gè)地址計(jì)數(shù)器以一對(duì)一的方式與所述多個(gè)存儲(chǔ)體組相對(duì)應(yīng)；以及多個(gè)地址選擇器，所述多個(gè)地址選擇器以一對(duì)一的方式與所述多個(gè)地址計(jì)數(shù)器相對(duì)應(yīng)，其中，被選擇的存儲(chǔ)體組的地址選擇器響應(yīng)于存儲(chǔ)體組刷新命令來(lái)選擇由地址計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)的地址，且所述多個(gè)地址選擇器響應(yīng)于全存儲(chǔ)體刷新命令來(lái)分別選擇由地址計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)的地址。
9.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體器件，其中，所述多個(gè)地址選擇器響應(yīng)于激活命令來(lái)選擇從所述半導(dǎo)體器件的外部輸入的地址。
10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件，還包括多個(gè)存儲(chǔ)體激活電路，所述多個(gè)存儲(chǔ)體激活電路以一對(duì)一的方式與所述多個(gè)存儲(chǔ)體組相對(duì)應(yīng)，其中，當(dāng)施加全存儲(chǔ)體刷新命令時(shí)或者當(dāng)施加相應(yīng)的存儲(chǔ)體組刷新命令時(shí)，所述多個(gè)存儲(chǔ)體激活電路將相應(yīng)的存儲(chǔ)體組的存儲(chǔ)體順序地激活。
11.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件，還包括多個(gè)存儲(chǔ)體激活電路，所述多個(gè)存儲(chǔ)體激活電路以一對(duì)一的方式與所述多個(gè)存儲(chǔ)體組相對(duì)應(yīng)，其中，當(dāng)施加全存儲(chǔ)體刷新命令時(shí)或者當(dāng)施加相應(yīng)的存儲(chǔ)體組刷新命令時(shí)，所述多個(gè)存儲(chǔ)體激活電路將相應(yīng)的存儲(chǔ)體組的存儲(chǔ)體同時(shí)地激活。
12.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體器件，其中，當(dāng)施加激活命令時(shí)，與由存儲(chǔ)體組地址選擇的存儲(chǔ)體組相對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)體激活電路對(duì)存儲(chǔ)體地址進(jìn)行譯碼并允許被選擇的存儲(chǔ)體組中的一個(gè)存儲(chǔ)體處于激活狀態(tài)。
13.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體器件，其中，在執(zhí)行被選擇的存儲(chǔ)體組的刷新操作的時(shí)間段期間，不執(zhí)行刷新操作的存儲(chǔ)體組根據(jù)命令來(lái)執(zhí)行激活、讀取或?qū)懭氩僮鳌?br> 14.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體器件，其中，當(dāng)施加所述存儲(chǔ)體組刷新命令時(shí)，由存儲(chǔ)體組地址來(lái)選擇存儲(chǔ)體組。
全文摘要
一種半導(dǎo)體器件，包括各自包括至少兩個(gè)存儲(chǔ)體的多個(gè)存儲(chǔ)體組；和以一對(duì)一的方式與多個(gè)存儲(chǔ)體組相對(duì)應(yīng)的多個(gè)地址計(jì)數(shù)器。被選擇的存儲(chǔ)體組的刷新操作是響應(yīng)于存儲(chǔ)體組刷新命令而被執(zhí)行的。
文檔編號(hào)G11C16/08GK102347075SQ201110007810
公開日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2011年1月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月30日
發(fā)明者姜龍求 申請(qǐng)人:海力士半導(dǎo)體有限公司