專(zhuān)利名稱(chēng):光拾取裝置和光盤(pán)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及用于對(duì)具有多個(gè)信息記錄面的信息記錄介質(zhì)記錄和/或再現(xiàn)信息的光拾取裝置和光盤(pán)裝置。
背景技術(shù):
作為背景技術(shù),例如有日本特開(kāi)2005-203090 (專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。該公報(bào)中記載的課題為“提供一種光拾取器,在對(duì)單面具有多個(gè)記錄層的多層光盤(pán)進(jìn)行記錄和/或再現(xiàn)時(shí),能夠抑制鄰接層引起的干涉光,能夠改善基于DPP檢測(cè)的跟蹤誤差信號(hào)的波動(dòng)”,記載的解決手段為“具備在應(yīng)用于至少一面具有多個(gè)記錄層的光信息保存介質(zhì)時(shí),抑制鄰接層引起的干涉光被光檢測(cè)器接收的光學(xué)部件。由此,能夠抑制鄰接層引起的干涉光被光檢測(cè)器,特別是被第一和第二副光檢測(cè)器接收。,,此外,例如非專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的課題為“在對(duì)雙層光盤(pán)進(jìn)行記錄/再現(xiàn)時(shí),若含有從不同于目標(biāo)層的層反射的光的其他層雜散光入射到光探測(cè)器,則TE信號(hào)中會(huì)產(chǎn)生偏移。因此,對(duì)于無(wú)法解決其他層雜散光的現(xiàn)有結(jié)構(gòu),雙層光盤(pán)的TE信號(hào)的偏移比單層的情況大,妨礙進(jìn)行穩(wěn)定的控制”,記載的解決手段為“將跟蹤用光探測(cè)器配置在沒(méi)有其他層雜散光的區(qū)域”。此外,該結(jié)構(gòu)在日本特開(kāi)2004-281026(專(zhuān)利文獻(xiàn)2)中也有記載。另外,日本特開(kāi)2009-170060(專(zhuān)利文獻(xiàn)3)的摘要中,以“提供一種光學(xué)拾取裝置, 在多層光盤(pán)的記錄再現(xiàn)中,聚焦誤差信號(hào)和跟蹤誤差信號(hào)都不受來(lái)自其他層的雜散光的影響,能夠得到穩(wěn)定的伺服信號(hào)”為目的,記載了 “將來(lái)自多層光盤(pán)的反射光分割為多個(gè)區(qū)域, 分割后的光束在光檢測(cè)器上的不同位置聚焦,并且,用多個(gè)分割后的光束通過(guò)刀口法檢測(cè)聚焦誤差信號(hào),用多個(gè)分割后的光束檢測(cè)跟蹤誤差信號(hào)。另外,以使當(dāng)焦點(diǎn)聚焦在目標(biāo)層時(shí)來(lái)自其他層的雜散光不會(huì)入射到光檢測(cè)器的伺服信號(hào)用的受光面的方式配置光束的分割區(qū)域和受光面”。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2005-203090號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2004-281026號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)3 日本特開(kāi)2009-170060號(hào)公報(bào)非專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本電子信息通信學(xué)會(huì)信學(xué)技報(bào)CPM2005-149 (2005-10)
發(fā)明內(nèi)容
一般來(lái)說(shuō),光拾取裝置為了將光斑正確地照射在光盤(pán)內(nèi)的規(guī)定的記錄軌道上,通過(guò)檢測(cè)聚焦誤差信號(hào),使物鏡在聚焦方向上移位以在聚焦方向上進(jìn)行調(diào)整,此外,還檢測(cè)跟蹤誤差信號(hào),使物鏡在光盤(pán)半徑方向(Rad方向)上移位以進(jìn)行跟蹤調(diào)整。通過(guò)這些信號(hào)進(jìn)行物鏡的位置控制。上述伺服信號(hào)中,對(duì)于跟蹤誤差信號(hào)來(lái)說(shuō),在由2層以上記錄層構(gòu)成的多層光盤(pán)的情況下存在較大的課題。多層光盤(pán)中,除了在目標(biāo)記錄層上反射的信號(hào)光之外,在非目標(biāo)的多個(gè)記錄層上反射的雜散光也同樣入射到受光部上。當(dāng)信號(hào)光和雜散光都入射到受光部上時(shí),2個(gè)光束會(huì)發(fā)生干涉,其變動(dòng)成分會(huì)被檢測(cè)為跟蹤誤差信號(hào)。對(duì)于該課題,專(zhuān)利文獻(xiàn)1中通過(guò)使從多層光盤(pán)反射的光束的一部分衍射來(lái)使雜散光不會(huì)入射到受光部。但是,在層間隔較小時(shí),需要隨之增大衍射光柵的區(qū)域,存在利用專(zhuān)利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)不能同時(shí)實(shí)現(xiàn)避開(kāi)雜散光和檢測(cè)伺服信號(hào)的課題。此外,非專(zhuān)利文獻(xiàn)1(專(zhuān)利文獻(xiàn)幻中,在產(chǎn)生于聚焦誤差信號(hào)檢測(cè)用受光部的周?chē)木劢褂霉馐衼?lái)自其他層的雜散光的外側(cè),配置跟蹤誤差信號(hào)檢測(cè)用受光部。該結(jié)構(gòu)依賴(lài)于距離光盤(pán)表面最遠(yuǎn)的層和最近的層間的間隔,所以在多層光盤(pán)的情況下跟蹤誤差信號(hào)檢測(cè)用受光部的位置會(huì)遠(yuǎn)離聚焦誤差信號(hào)檢測(cè)用受光部,隨著光檢測(cè)器的尺寸變大,產(chǎn)生拾取裝置的尺寸的課題和成本的課題。本發(fā)明的目的在于,提供一種在對(duì)具有多個(gè)信息記錄面的信息記錄介質(zhì)進(jìn)行記錄 /再現(xiàn)的情況下,能夠得到穩(wěn)定的伺服信號(hào)并且能夠小型化的光拾取裝置和搭載有它的光
舟^晉
InL 且 O上述目標(biāo),例如能夠通過(guò)以下記載的技術(shù)內(nèi)容實(shí)現(xiàn)。即,本發(fā)明提供一種光拾取裝置,包括出射激光的半導(dǎo)體激光器;將從上述半導(dǎo)體激光器出射的光束照射在光盤(pán)的物鏡;用于驅(qū)動(dòng)上述物鏡的致動(dòng)器;使從上述光盤(pán)的信息記錄層反射的光束分束的第一衍射光柵和第二衍射光柵這至少2個(gè)衍射光柵;和具有檢測(cè)從上述第一衍射光柵和第二衍射光柵分束的光束的多個(gè)受光部的光檢測(cè)器,其中,上述第一衍射光柵,搭載在上述致動(dòng)器的可動(dòng)部。根據(jù)本發(fā)明,能夠提供一種在對(duì)具有多個(gè)信息記錄面的信息記錄介質(zhì)進(jìn)行記錄/ 再現(xiàn)的情況下,能夠得到穩(wěn)定的伺服信號(hào)并且能夠小型化的光拾取裝置和搭載有它的光盤(pán)
直ο
圖1是說(shuō)明實(shí)施例1中的光學(xué)系統(tǒng)的圖。圖2是表示實(shí)施例1中的偏振衍射光柵的圖案(pattern)與偏振衍射光柵上的光束的關(guān)系圖。圖3是表示實(shí)施例1中的衍射光柵的圖案與衍射光柵上的光束的關(guān)系的圖。圖4是表示實(shí)施例1中的光檢測(cè)器的受光部配置的圖。圖5是表示實(shí)施例1中用現(xiàn)有方式對(duì)層間隔較大的光盤(pán)進(jìn)行記錄/再現(xiàn)時(shí)的光檢測(cè)器上的信號(hào)光和雜散光的圖。圖6是表示實(shí)施例1中用現(xiàn)有方式對(duì)層間隔較小的光盤(pán)進(jìn)行記錄/再現(xiàn)時(shí)的光檢測(cè)器上的信號(hào)光和雜散光的圖。圖7是表示實(shí)施例1中用專(zhuān)利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)對(duì)層間隔較小的光盤(pán)進(jìn)行記錄/再現(xiàn)時(shí)的光檢測(cè)器上的信號(hào)光和雜散光的圖。圖8是表示用實(shí)施例1中的結(jié)構(gòu)對(duì)層間隔較小的光盤(pán)進(jìn)行記錄/再現(xiàn)時(shí)的光檢測(cè)器上的信號(hào)光和雜散光的圖。圖9是表示表示實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)中物鏡發(fā)生移位的情況下的衍射光柵上的光束的圖。圖10是表示實(shí)施例1中的衍射光柵的另一種的圖。
圖11是表示實(shí)施例1中的光檢測(cè)器的另一受光部配置的圖。圖12是表示實(shí)施例2中的衍射光柵的圖案與衍射光柵上的光束的關(guān)系的圖。圖13是表示實(shí)施例2中的光檢測(cè)器的受光部配置的圖。圖14是表示實(shí)施例3中的光檢測(cè)器的受光部配置的圖。圖15是表示實(shí)施例3中的光檢測(cè)器的另一受光部配置的圖。圖16是表示實(shí)施例3中的光檢測(cè)器的另一受光部配置的圖。圖17是表示實(shí)施例3中的光檢測(cè)器的另一受光部配置的圖。圖18是表示實(shí)施例4中的光檢測(cè)器的受光部配置的圖。圖19是表示實(shí)施例4中的光檢測(cè)器的另一受光部配置的圖。圖20是表示實(shí)施例5中的偏振衍射光柵的圖案與偏振衍射光柵上的光束的關(guān)系的圖。圖21是表示實(shí)施例5中的衍射光柵的圖案與衍射光柵上的光束的關(guān)系的圖。圖22是表示實(shí)施例5中的光檢測(cè)器的受光部配置的圖。圖23是表示用實(shí)施例5所示的結(jié)構(gòu)對(duì)層間隔較小的光盤(pán)進(jìn)行記錄/再現(xiàn)時(shí)的光檢測(cè)器上的信號(hào)光和雜散光的圖。圖M是表示實(shí)施例5中的光檢測(cè)器的另一受光部配置的圖。圖25是表示實(shí)施例6中的衍射光柵的圖案與衍射光柵上的光束的關(guān)系的圖。圖沈是表示實(shí)施例6中的光檢測(cè)器的受光部配置的圖。圖27是說(shuō)明實(shí)施例7中的光學(xué)再現(xiàn)裝置的圖。圖28是說(shuō)明實(shí)施例8中的光學(xué)記錄再現(xiàn)裝置的圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明2 物鏡,5 致動(dòng)器,10 光檢測(cè)器,11 偏振衍射光柵,25 偏振衍射光柵,35 :1/2 波片,50 半導(dǎo)體激光器,51 準(zhǔn)直透鏡,52 分束器,54 擴(kuò)束器,55 立起反射鏡,56 :1/4波片,170 光拾取裝置,171 主軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路,172 訪(fǎng)問(wèn)控制電路,173 致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電路,174 伺服信號(hào)生成電路,175 信息信號(hào)再現(xiàn)電路,176 控制電路,177 激光點(diǎn)亮電路, 178 信息記錄電路,179 球面像差修正元件驅(qū)動(dòng)電路,180 主軸電動(dòng)機(jī),Da Di 衍射光柵區(qū)域,Dab、Dcd 衍射光柵區(qū)域,DX, DY 偏振衍射光柵區(qū)域,al hl、a2 h2、abl、ab2、 cdl、cd2、r v、rl、r2、sl、s2、tl、t2、ul、u2、ial、ibl、icl、ia2、ib2、ic2、il、i2、i3、i4 受光部
具體實(shí)施例方式以下,使用附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式,但本發(fā)明并不限定于此。(實(shí)施例1)圖1表示本發(fā)明的第一實(shí)施例的光拾取裝置的光學(xué)系統(tǒng)。此處針對(duì)BD(Blu-ray Disc,藍(lán)光光盤(pán))進(jìn)行說(shuō)明,但也可以是DVD(Digital Versatile Disc,數(shù)字多用途光盤(pán)) 或其他記錄方式。另外,以下說(shuō)明中,光盤(pán)的層包括記錄型光盤(pán)中的記錄層,和再現(xiàn)專(zhuān)用的光盤(pán)的再現(xiàn)層。波長(zhǎng)大致405nm的P偏振的光束作為發(fā)散光從半導(dǎo)體激光器50出射。從半導(dǎo)體激光器50出射的P偏振的光束被1/2波片35變換為S偏振的光束。S偏振的光束在偏振分束器52上反射。在偏振分束器52上反射的光束被準(zhǔn)直透鏡51變換為大致平行的光束。 通過(guò)了準(zhǔn)直透鏡51的光束入射到擴(kuò)束器54。擴(kuò)束器M用于改變光束的發(fā)散、會(huì)聚狀態(tài),以此補(bǔ)償因光盤(pán)的覆蓋層的厚度誤差引起的球面像差。從擴(kuò)束器M出射的光束在立起反射鏡(stand-up mirror) 55上反射,經(jīng)過(guò)搭載于致動(dòng)器5的偏振衍射光柵25、1/4波片56、物鏡2而在光盤(pán)上聚光(聚焦)。此時(shí),偏振衍射光柵25具有對(duì)P偏振的光束起衍射作用的特性,對(duì)S偏振的光束不起衍射作用。此外,因?yàn)镾偏振的光束被1/4波片56變換為圓偏振的光束出射,所以在光盤(pán)上形成了圓偏振的1個(gè)光斑。在光盤(pán)上反射的圓偏振的光束,入射到物鏡2、1/4波片56。此時(shí),在1/4波片56 的作用下,圓偏振的光束被變換為P偏振的光束。P偏振的光束入射到偏振衍射光柵25。 圖2表示偏振衍射光柵25的圖案。此處,圖2的點(diǎn)GC表示入射到偏振衍射光柵的光束的中心,虛線(xiàn)ROl表示偏振衍射光柵25上的光束的外形。此外,斜線(xiàn)部區(qū)域表示與因光盤(pán)而衍射的光干涉的區(qū)域。偏振衍射光柵25分為區(qū)域DX和區(qū)域DY,入射到區(qū)域DX的P偏振的光束被衍射為士 1級(jí)衍射光。此處,區(qū)域DX的衍射效率例如為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 1。此外,入射到區(qū)域DY的P偏振的光束,透過(guò)該區(qū)域或是作為0級(jí)衍射光從該區(qū)域出射。從偏振衍射光柵25出射的光束,經(jīng)過(guò)立起反射鏡55、擴(kuò)束器M、準(zhǔn)直透鏡51、分束器52,入射到衍射光柵11。圖3表示衍射光柵11的圖案。此處,圖3的虛線(xiàn)表示透過(guò)偏振衍射光柵25的區(qū)域DY或作為0級(jí)衍射光從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射的光束,點(diǎn) GCl表示該光束的中心,點(diǎn)劃線(xiàn)表示偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的+1級(jí)衍射光,兩點(diǎn)劃線(xiàn)表示偏振衍射光柵區(qū)域DX的-1級(jí)衍射光。衍射光柵11大致分為區(qū)域D1、D2、D3。而區(qū)域 D2分為區(qū)域Da、Db、DC、Dd、De、Df、Dg、Dh。各區(qū)域按照光盤(pán)的衍射光劃分,分為光盤(pán)的士 1 級(jí)衍射光入射的Da、Db、Dc、Dd(衍射光柵區(qū)域B),光盤(pán)的0級(jí)衍射光入射的De、Dh(衍射光柵區(qū)域A)和光盤(pán)的0級(jí)衍射光入射的Df、Dg (衍射光柵區(qū)域C)。此處,入射到區(qū)域Dl和區(qū)域D3的光束,透過(guò)該區(qū)域或者作為0級(jí)衍射光出射。由此可知,在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的光束直接透過(guò)衍射光柵11。此外,入射到區(qū)域 D2的光束,按照區(qū)域Da、Db、DC、Dd、De、Df、Dg、Dh的光柵槽間距和槽方向相應(yīng)地發(fā)生衍射。 此處,例如使區(qū)域D2的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=7 0 3。從衍射光柵11出射的光束,入射到光檢測(cè)器10的受光部。圖4表示光檢測(cè)器10 的受光部配置和信號(hào)光。在光檢測(cè)器10上,配置有多個(gè)受光部,由衍射光柵11分割后的光束照射到各受光部。偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的+1級(jí)衍射光、-1級(jí)衍射光,入射到受光部il、i2。此外,入射到偏振衍射光柵25的區(qū)域DY,在衍射光柵11區(qū)域Da、Db、DC、Dd、De、 Df、Dg、DMi^t&+l級(jí)衍射光,入射到受光部&1、131、(31、(11、61、打41、111。此外,在區(qū)域 Da、Db、Dc、Dd衍射的-1級(jí)衍射光,入射到聚焦誤差信號(hào)檢測(cè)用的受光部r、s、t、u、ν的暗線(xiàn)部(dark line),在區(qū)域De、Df、Dg、Dh衍射的-1級(jí)衍射光分別入射到受光部e2、f2、g2、 h2。對(duì)于從受光部&1、131、(;1、(11、61、打41、111、62^242、112、1~、8、扒11、¥、士1、土2得到的信號(hào) A1、B1、C1、D1、E1、F1、G1、H1、E2、F2、G2、H2、R、S、T、U、V、II、12,通過(guò)進(jìn)行以下運(yùn)算生成聚焦誤差信號(hào)(FEQ、跟蹤誤差信號(hào)(TEQ和RF信號(hào)(RF)。(式1)
FES = (R+T+V) - (S+U)TES = {(A1+B1)-(C1+D1)}-kX {(E1+E2+F1+F2) - (G1+G2+H1+H2)}RF = A1+B1+C1+D1+E1+F1+G1+H1+I1+I2
此外,跟蹤檢測(cè)方法也可以使用以下運(yùn)算。(式2)TES= {(A1+E1+B1+F1) - (C1+G1+D1+H1)}-k X {(E2+F2) - (G2+H2)}其中,k是用于在物鏡發(fā)生移位時(shí)不會(huì)使跟蹤誤差信號(hào)中產(chǎn)生DC成分的系數(shù)。此處,聚焦誤差檢測(cè)方式是刀口檢測(cè)方式。此處,對(duì)于專(zhuān)利文獻(xiàn)1和專(zhuān)利文獻(xiàn)2的課題進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。首先,說(shuō)明專(zhuān)利文獻(xiàn)1 的課題。專(zhuān)利文獻(xiàn)1中,使用DPP法作為跟蹤誤差信號(hào)檢測(cè)方式,在光盤(pán)上照射3個(gè)光斑并檢測(cè)它們的反射光。此外,使用像散法作為聚焦誤差檢測(cè)方式。作為與現(xiàn)有的DPP法不同的結(jié)構(gòu),特征在于在物鏡的正下方配置偏振衍射光柵。該偏振衍射光柵,以使對(duì)多層光盤(pán)進(jìn)行記錄/再現(xiàn)時(shí)來(lái)自其它層的雜散光不會(huì)入射到光檢測(cè)器的受光部上的方式配置光柵的區(qū)域。此處,說(shuō)明現(xiàn)有的DPP法的信號(hào)光與雜散光的關(guān)系。圖5、圖6表示使用現(xiàn)有的像散法時(shí)的檢測(cè)器上的信號(hào)光和雜散光的幾何光學(xué)計(jì)算結(jié)果。用以下條件進(jìn)行計(jì)算。計(jì)算條件波長(zhǎng)405nmNA :0. 85檢測(cè)倍率22倍此處,圖5表示在距離光盤(pán)表面75 μ m位置和100 μ m位置上存在層的層間隔為 25 μ m的情況。圖5A表示對(duì)75 μ m位置進(jìn)行再現(xiàn)時(shí)的信號(hào)光和來(lái)自IOOym位置的雜散光, 圖5B表示對(duì)100 μ m位置進(jìn)行再現(xiàn)時(shí)的信號(hào)光和來(lái)自75 μ m位置的雜散光。其中,為了簡(jiǎn)化說(shuō)明,對(duì)于信號(hào)光表示了 3個(gè)光束,對(duì)于雜散光僅表示光量大的主光束的雜散光。圖5的結(jié)果,是與專(zhuān)利文獻(xiàn)1相同的結(jié)果。因此,即使是如專(zhuān)利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)也能夠避開(kāi)雜散光。接著,圖6表示在距離光盤(pán)表面90 μ m位置和85 μ m位置上存在層的層間隔為 5 μ m的情況。圖6A表示對(duì)85 μ m位置進(jìn)行再現(xiàn)時(shí)的信號(hào)光和來(lái)自90 μ m位置的雜散光, 圖6B表示對(duì)90 μ m位置進(jìn)行再現(xiàn)時(shí)的信號(hào)光和來(lái)自85 μ m位置的雜散光。根據(jù)圖5和圖 6的結(jié)果,可知檢測(cè)器面上的雜散光的大小依賴(lài)于光盤(pán)的層間隔。因此,在光盤(pán)層間隔變小的情況下,為了用專(zhuān)利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)使雜散光不會(huì)入射到受光部,需要增大衍射光柵的中央?yún)^(qū)域。并且,專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載有“因?yàn)楸粚?duì)象層反射的0級(jí)光與被鄰接層反射的0級(jí)光的光量差較大,所以對(duì)于利用DPP法檢測(cè)跟蹤誤差信號(hào)時(shí)使用的差信號(hào),S卩(B+C)-(A+D)信號(hào),鄰接層引起的0級(jí)光不會(huì)造成較大影響”,但實(shí)際上,在多層光盤(pán)的情況下多個(gè)層的反射光會(huì)入射到0級(jí)光的受光部,而層間隔減小致使光量相對(duì)于0級(jí)光來(lái)說(shuō)增大,所以即使對(duì)于光量較大的0級(jí)光而言,也會(huì)造成較大影響。因此,為了對(duì)層間隔較小的多層光盤(pán)也能得到穩(wěn)定的DPP信號(hào),需要有使雜散光不會(huì)入射到所有3光束的受光部的結(jié)構(gòu)。此外,專(zhuān)利文獻(xiàn) 1的結(jié)構(gòu)的像散法中也存在課題。像散法是通過(guò)故意附加像散來(lái)檢測(cè)聚焦誤差信號(hào)的方法。但是,在層間隔較小的情況下,像散法的雜散光受到像散的影響,光檢測(cè)器上的光斑不成圓形,而是會(huì)變形。因此,為了分離信號(hào)光和雜散光,需要進(jìn)一步擴(kuò)大偏振衍射光柵的區(qū)域??紤]了以上內(nèi)容的結(jié)果為圖7。圖7表示在與圖6相同的條件下用專(zhuān)利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)避開(kāi)雜散光的情況。圖7A表示對(duì)85 μ m位置進(jìn)行再現(xiàn)時(shí)的信號(hào)光和來(lái)自位置90 μ m的雜散光,圖7B表示對(duì)90 μ m位置進(jìn)行再現(xiàn)時(shí)的信號(hào)光和來(lái)自85 μ m位置的雜散光。其中, 此時(shí)的圖2所示的偏振衍射光柵的中央?yún)^(qū)域的大小,相對(duì)于有效直徑而言,為(XH,XV)= (1. 00,0. 67),可知需要使信號(hào)光的大部分光束衍射。如圖7所示,可知其他層的雜散光不會(huì)入射到受光部上,但與此同時(shí)信號(hào)光的在光盤(pán)切線(xiàn)(Tan)方向上延伸的中央?yún)^(qū)域也不會(huì)入射到受光部。若像這樣,信號(hào)光的在Tan 方向上延伸的中央?yún)^(qū)域不入射到受光部,則不能得到穩(wěn)定的像散法的聚焦誤差信號(hào)。此處, 考慮例如單純使用從偏振衍射光柵的中央?yún)^(qū)域衍射的光束進(jìn)行聚焦誤差信號(hào)檢測(cè)作為解決方案,但因?yàn)橐韵略虿荒軌驒z測(cè)出穩(wěn)定的聚焦誤差信號(hào)。在BD這種高NA的系統(tǒng)的情況下,需要對(duì)保護(hù)層厚度誤差引起的球面像差進(jìn)行修正。因此,一般通過(guò)改變?nèi)肷涞轿镧R的光束的會(huì)聚、發(fā)散狀態(tài)而由物鏡產(chǎn)生抵消保護(hù)層厚度誤差的球面像差,由此檢測(cè)出穩(wěn)定的再現(xiàn)信號(hào)。但是,在將衍射光柵配置在與物鏡相同的位置時(shí),入射到衍射光柵的光束的會(huì)聚、發(fā)散狀態(tài)會(huì)隨著記錄/再現(xiàn)的層的變化而變化。在入射到衍射光柵的光束的會(huì)聚、發(fā)散狀態(tài)變化時(shí),從衍射光柵出射后的衍射方向不同,所以光檢測(cè)器上的信號(hào)光的位置會(huì)變化。因此,聚焦誤差信號(hào)會(huì)隨著光盤(pán)再現(xiàn)層的變化而變化,不能夠?qū)Ω鲗訖z測(cè)出穩(wěn)定的聚焦誤差信號(hào)。如上所述,在層間隔較小的情況下專(zhuān)利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)不能同時(shí)實(shí)現(xiàn)聚焦誤差信號(hào)檢測(cè)和跟蹤誤差信號(hào)檢測(cè)(避開(kāi)來(lái)自其他層的雜散光)。對(duì)此專(zhuān)利文獻(xiàn)1中沒(méi)有記載。接著,說(shuō)明單光束法(1光束方式)的課題。如非專(zhuān)利文獻(xiàn)1和專(zhuān)利文獻(xiàn)2所述的單光束法,對(duì)光盤(pán)上照射1個(gè)光束,將其反射光利用衍射光柵分割為多個(gè)區(qū)域,并用各受光部檢測(cè)分割后的光束,由此生成信號(hào)。作為課題可以列舉層間隔較小時(shí)必須增大衍射光柵的中央?yún)^(qū)域、當(dāng)為了使物鏡追蹤軌道而使其在半徑方向上移位(位移)時(shí)雜散光成分也會(huì)隨之移動(dòng)。關(guān)于中央?yún)^(qū)域的內(nèi)容與專(zhuān)利文獻(xiàn)1相同,但關(guān)于雜散光成分的移動(dòng)則在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中沒(méi)有記載。這是因?yàn)閷?zhuān)利文獻(xiàn)1的偏振衍射光柵是與物鏡一起移位的可動(dòng)部配置, 而相對(duì)的,非專(zhuān)利文獻(xiàn)1和專(zhuān)利文獻(xiàn)2的衍射光柵是固定部配置的,有很大不同。在可動(dòng)部配置的情況下,即使物鏡移位,衍射光柵的配置位置相對(duì)于物鏡有效直徑也不會(huì)發(fā)生變化, 所以雜散光位置也會(huì)發(fā)生不變化。另一方面,在固定部配置的情況下,當(dāng)物鏡移位時(shí),衍射光柵位置相對(duì)于物鏡有效直徑會(huì)發(fā)生變化,所以雜散光的位置也會(huì)表現(xiàn)為變化。此時(shí),雖然可以考慮使單光束法用的衍射光柵為可動(dòng)部配置,但是因以下列舉的問(wèn)題不能實(shí)現(xiàn)。在為了進(jìn)行球面像差修正而使光束的會(huì)聚、發(fā)散狀態(tài)變化時(shí),入射到衍射光柵的光束的會(huì)聚、發(fā)散狀態(tài)也隨之會(huì)變化。若入射到衍射光柵的光束的會(huì)聚、發(fā)散狀態(tài)發(fā)生變化,則從衍射光柵出射后的衍射方向也會(huì)變化,所以光檢測(cè)器上的聚光位置會(huì)變化。因此, 如果不使受光部相對(duì)于衍射方向增大,就不能得到穩(wěn)定的再現(xiàn)信號(hào)和伺服信號(hào)。另外,專(zhuān)利文獻(xiàn)1僅使光束的會(huì)聚、發(fā)散狀態(tài)的變化較小的中央部發(fā)生衍射,而相對(duì)的,單光束法使光束的全部區(qū)域的光束發(fā)生衍射,所以到達(dá)衍射光柵的光的會(huì)聚、發(fā)散狀態(tài)有很大不同,其影響也變大。但是,若增大受光部,則必然會(huì)致使多層(其它層)的雜散光入射。因此,難以如專(zhuān)利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)那樣使衍射光柵與物鏡一起移位。對(duì)此,不論是非專(zhuān)利文獻(xiàn)1的像散法的檢測(cè)方式還是如日本特開(kāi)2009-170060 (專(zhuān)利文獻(xiàn)幻的刀口檢測(cè)法的檢測(cè)方式都是同樣的。因此,存在非常難以使單光束法用的衍射光柵成為可動(dòng)部配置的課題。對(duì)此,本實(shí)施例的結(jié)構(gòu),通過(guò)使用2個(gè)衍射光柵,即使對(duì)于層間隔較小的多層光盤(pán)也可以得到穩(wěn)定的聚焦誤差信號(hào)、跟蹤誤差信號(hào)。以下對(duì)此進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明中,使用偏振衍射光柵25和衍射光柵11這2個(gè)衍射光柵。在光盤(pán)上反射的光束中,僅有入射到偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的光束被衍射。之后,光束入射到衍射光柵11。此時(shí),在衍射光柵區(qū)域DX衍射的光束,入射到衍射光柵11的區(qū)域D1、D3。此處,光束從衍射光柵區(qū)域D1、D3透射或是作為0級(jí)衍射光出射,所以將透過(guò)衍射光柵11入射到光檢測(cè)器10的受光部。此外,入射到偏振衍射光柵25的區(qū)域DY的光束,從該區(qū)域透過(guò)或是作為0級(jí)衍射光從偏振衍射光柵25出射,入射到衍射光柵11的區(qū)域D2。在衍射光柵11的區(qū)域D2中,入射的光束在區(qū)域D2的區(qū)域Da、Db、Dc、Dd、De、Df、Dg、Dh發(fā)生衍射,入射到光檢測(cè)器10的受光部。通過(guò)像這樣僅使入射到偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的光束衍射,能夠解決單光束法的課題即雜散光的位置隨著物鏡的移位而變化。不過(guò),在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的光束也會(huì)入射到衍射光柵11這一情況會(huì)成為課題,但對(duì)此本實(shí)施例中通過(guò)使其透過(guò)或作為0級(jí)衍射光從衍射光柵11的區(qū)域D1、D3出射而解決課題。此外,由于偏振衍射光柵 25僅使光束的會(huì)聚、發(fā)散狀態(tài)變化較小的中央部的區(qū)域DX衍射,所以衍射角的變化減少, 同時(shí),通過(guò)在光束的衍射方向上增大對(duì)在區(qū)域DX衍射的光束進(jìn)行檢測(cè)的受光部il、i2,使得無(wú)論對(duì)哪一層進(jìn)行記錄/再現(xiàn),信號(hào)光都會(huì)入射到上述受光部。此外,雖然來(lái)自多層(其它層)的雜散光會(huì)入射到對(duì)在區(qū)域DX衍射的光束進(jìn)行檢測(cè)的受光部il、i2,但是并不會(huì)被檢測(cè)為有影響的跟蹤誤差信號(hào),所以在實(shí)用上沒(méi)有問(wèn)題。此外,從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射的光束,如圖4所示,因衍射光柵11而在區(qū)域Da、Db、Dc、Dd衍射的光束由在Tan方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè),在區(qū)域De、Df、Dg、Dh衍射的光束由在Rad方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè)。由此能夠有效地避開(kāi)雜散光。詳情記載在專(zhuān)利文獻(xiàn)3中。此時(shí),關(guān)于聚焦誤差信號(hào),能夠不使用如專(zhuān)利文獻(xiàn)1的采用3個(gè)光束的像散法, 而是使用將1個(gè)光束分割的刀口檢測(cè)法來(lái)檢測(cè)出穩(wěn)定的聚焦誤差信號(hào)。此外,因?yàn)楸緦?shí)施例是對(duì)1個(gè)光束進(jìn)行分離,所以不需要如專(zhuān)利文獻(xiàn)1那樣針對(duì)3個(gè)光束避開(kāi)雜散光,所以也不需要增大衍射光柵的中央?yún)^(qū)域。圖8表示用本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)對(duì)層間隔為5 μ m的光盤(pán)進(jìn)行記錄、再現(xiàn)的情況下的光檢測(cè)器上的信號(hào)光與雜散光的關(guān)系。圖8A表示對(duì)85 μ m位置進(jìn)行再現(xiàn)時(shí)的信號(hào)光和來(lái)自 90 μ m位置的雜散光,圖8B表示對(duì)90 μ m位置進(jìn)行再現(xiàn)時(shí)的信號(hào)光和來(lái)自85 μ m的雜散光。 使用以下條件進(jìn)行計(jì)算。計(jì)算條件波長(zhǎng)405nmNA :0. 85檢測(cè)倍率20倍此時(shí)圖2所示的偏振衍射光柵的中央?yún)^(qū)域的大小,相對(duì)于有效直徑而言,為(XH, XV) = (0.40,0. 55),與專(zhuān)利文獻(xiàn)1相比,能夠用非常小的區(qū)域避開(kāi)雜散光。
根據(jù)圖8可知即使層間隔變小也能夠分離雜散光。此外,因?yàn)榧词刮镧R移位雜散光的位置也不會(huì)變化,所以雜散光不會(huì)入射到受光部。通過(guò)這樣的結(jié)構(gòu),能夠分離信號(hào)光和雜散光。另外,關(guān)于跟蹤誤差信號(hào),與專(zhuān)利文獻(xiàn)3相同,所以作為避開(kāi)雜散光的結(jié)構(gòu)的本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu),即使對(duì)于層間隔較小的多層光盤(pán),也能夠得到穩(wěn)定的跟蹤誤差信號(hào)。接著,說(shuō)明隨著物鏡移位的雜散光移動(dòng)。圖9表示物鏡從圖3的狀態(tài)移位的情況下的衍射光柵11與光束的位置關(guān)系。實(shí)線(xiàn)表示衍射光柵11的分割線(xiàn),虛線(xiàn)表示衍射光柵 11上的光束(信號(hào)光、雜散光)的外形。由該圖可知,隨著物鏡的移位,信號(hào)光和雜散光在半徑方向上移動(dòng)。此處,即使信號(hào)光的外形在衍射光柵上移動(dòng),信號(hào)光也在光檢測(cè)器面上會(huì)聚,所以檢測(cè)器面上的光束的位置不會(huì)移動(dòng)。此外,關(guān)于雜散光,入射到衍射光柵11的區(qū)域 Dl、D3和D2的區(qū)域Da、Db、Dc、Dd的雜散光的光束,即使物鏡移位,衍射光柵的區(qū)域也不發(fā)生變化。因此,對(duì)于入射到衍射光柵11的區(qū)域D1、D3和D2的區(qū)域Da、Db、Dc、Dd的雜散光的光束,在檢測(cè)器面上雜散光也不會(huì)變化。相對(duì)的,對(duì)于入射到衍射光柵11的區(qū)域D2的區(qū)域De、Df、Dg、Dh的雜散光的光束,可知伴隨物鏡的移位存在區(qū)域間的變化。因此,對(duì)于入射到衍射光柵11的區(qū)域D2的區(qū)域De、Df、Dg、Dh的雜散光的光束,在檢測(cè)器面上雜散光會(huì)發(fā)生變化。本實(shí)施例中,利用該特性避開(kāi)雜散光。如上所述,本實(shí)施例中,在衍射光柵11的區(qū)域Da、Db、Dc、Dd衍射的光束由在Tan 方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè),在區(qū)域De、Df、Dg、Dh衍射的光束由在Rad方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè)。此時(shí),入射到雜散光伴隨物鏡移位而變化的衍射光柵11的區(qū)域D2的區(qū)域De、Df、Dg、 Dh的雜散光的光束,隨著物鏡移位而變化。但是,本發(fā)明的情況下,入射到衍射光柵11的區(qū)域D2的區(qū)域De、Df、Dg、Dh的光束在Rad方向上排列配置,在Tan方向上避開(kāi)雜散光,所以即使物鏡在Rad方向上移位雜散光也不會(huì)入射到受光部。此外,入射到除此以外的區(qū)域的雜散光,因?yàn)榧词刮镧R移位雜散光也不會(huì)變化,所以雜散光不會(huì)入射到受光部。此外,在例如非專(zhuān)利文獻(xiàn)1、專(zhuān)利文獻(xiàn)2和專(zhuān)利文獻(xiàn)3那樣的結(jié)構(gòu)(衍射光柵固定部配置)的情況下, 因?yàn)槿肷涞窖苌涔鈻?1的區(qū)域D2的區(qū)域De、Df、Dg、Dh的信號(hào)光的光束的區(qū)域會(huì)伴隨物鏡移位而發(fā)生變化,所以為了避開(kāi)(避免)雜散光需要增大偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的寬度XH。但是,若增大偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的寬度XH,則隨著物鏡移位,難以得到穩(wěn)定的聚焦誤差信號(hào)、跟蹤誤差信號(hào)。與此相對(duì)的,本實(shí)施例的情況下,雜散光不會(huì)隨著物鏡移位而移動(dòng),所以不需要增大偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的寬度XH。此時(shí),從避開(kāi)(回避)雜散光的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選偏振衍射光柵25上相對(duì)于有效直徑的區(qū)域DX的寬度XV (相當(dāng)于XV/有效直徑),大于衍射光柵11上相對(duì)于有效直徑的區(qū)域 D2的寬度GV(相當(dāng)于GV/有效直徑)。這是因?yàn)?,?dāng)偏振衍射光柵25上相對(duì)于有效直徑的區(qū)域DX的寬度XV,小于衍射光柵11上相對(duì)于有效直徑的區(qū)域D2的寬度GV的情況下,入射到衍射光柵11的區(qū)域Da、Db、Dc、Dd的光束的一部分會(huì)隨著物鏡移位而發(fā)生區(qū)域間的變化。不過(guò),也能夠通過(guò)擴(kuò)大在Tan方向上排列的受光部的間隔來(lái)應(yīng)對(duì)。以上,通過(guò)像本實(shí)施例這樣使用2個(gè)衍射光柵的結(jié)構(gòu),即使對(duì)于多層光盤(pán)也能夠檢測(cè)出穩(wěn)定的聚焦誤差信號(hào)、跟蹤誤差信號(hào)。另外,本實(shí)施例中,衍射光柵11的區(qū)域1、3為Rad方向,但也可以如圖10所示為 Tan方向,只要與其相應(yīng)地配置受光部即可。此外,本實(shí)施例中,衍射光柵11配置在透過(guò)分束器后的位置,但若使衍射光柵11為偏振衍射光柵,則即使配置在透過(guò)分束器前的位置也可以得到同樣的效果。本實(shí)施例的偏振衍射光柵25和衍射光柵11的衍射效率只是一個(gè)示例,例如偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的衍射效率也可以為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光= 0:0:1。該情況下,衍射光柵11可以是D1、D2這2個(gè)區(qū)域。此外,也可以使衍射光柵11 的區(qū)域D2的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 1。另外,本實(shí)施例中,光在衍射光柵11的區(qū)域D1、D3透過(guò)或是作為0級(jí)衍射光檢測(cè),但不限于此,例如從縮小檢測(cè)器的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),也可以使衍射光柵11的區(qū)域Dl的衍射效率為+1級(jí)衍射光0 級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 0,D3的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=0 0 1,由此使在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的士 1級(jí)光的受光部相互接近。此外,本實(shí)施例的受光部配置是一個(gè)例子,例如圖11的受光部配置也可以得到相同的效果。此外,受光部的形狀也可以不是正方形,而是長(zhǎng)方形、圓形、橢圓形。并且從輸出針(Pin)數(shù)和S/N的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),也可以將受光部之間接線(xiàn)。本實(shí)施例中,檢測(cè)衍射光柵11 的區(qū)域D2的衍射光的受光部配置為H字形,但也可以配置為I字形或T字形等。(實(shí)施例2)圖12、圖13表示本發(fā)明的第二實(shí)施例的光拾取裝置的衍射光柵11和光檢測(cè)器10 的受光部。其中,衍射光柵11的圖案和光檢測(cè)器10的受光部配置與實(shí)施例1不同,除此以外是與實(shí)施例1相同的結(jié)構(gòu)。與實(shí)施例1的圖1相同,波長(zhǎng)大致405nm的P偏振的光束作為發(fā)散光從半導(dǎo)體激光器50出射。從半導(dǎo)體激光器50出射的P偏振的光束被1/2波片變換為S偏振的光束。 S偏振的光束在偏振分束器52上反射。在偏振分束器52上反射的光束被準(zhǔn)直透鏡51變換為大致平行的光束。通過(guò)了準(zhǔn)直透鏡51的光束入射到擴(kuò)束器M。擴(kuò)束器M用于改變光束的發(fā)散、會(huì)聚狀態(tài),以此補(bǔ)償因光盤(pán)的覆蓋層的厚度誤差引起的球面像差。從擴(kuò)束器M出射的光束在立起反射鏡55上反射,經(jīng)過(guò)搭載于致動(dòng)器5的偏振衍射光柵25、1/4波片56、 物鏡2而在光盤(pán)上聚光(聚焦)。此時(shí),偏振衍射光柵25對(duì)P偏振的光束起衍射作用,對(duì)S 偏振的光束不起衍射作用。此外,因?yàn)镾偏振的光束被1/4波片56變換為圓偏振的光束出射,所以在光盤(pán)上形成了圓偏振的1個(gè)光斑。在光盤(pán)上反射的圓偏振的光束,入射到物鏡2、1/4波片56。此時(shí),在1/4波片56 的作用下,圓偏振的光束被變換為P偏振的光束。P偏振的光束入射到偏振衍射光柵25。 圖2表示偏振衍射光柵25的圖案。此處,圖2的點(diǎn)GC表示入射到偏振衍射光柵的光束的中心,虛線(xiàn)ROl表示偏振衍射光柵25上的光束的外形。此外,斜線(xiàn)部區(qū)域表示與因光盤(pán)而衍射的光干涉的區(qū)域。偏振衍射光柵25分為區(qū)域DX和區(qū)域DY,入射到區(qū)域DX的P偏振的光束被衍射為士 1級(jí)衍射光。此處,區(qū)域DX的衍射效率例如為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 1。此外,入射到區(qū)域DY的P偏振的光束,透過(guò)該區(qū)域或是作為0級(jí)衍射光從該區(qū)域出射。從偏振衍射光柵25出射的光束,經(jīng)過(guò)立起反射鏡55、擴(kuò)束器M、準(zhǔn)直透鏡51、分束器52,入射到衍射光柵11。圖12表示衍射光柵11的圖案。此處,例如使區(qū)域D2的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=7:0:3。此處,圖12的虛線(xiàn)表示透過(guò)偏振衍射光柵25的區(qū)域DY或作為0級(jí)衍射光從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射的光束,點(diǎn)GCl表示該光束的中心,點(diǎn)劃線(xiàn)表示偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的+1級(jí)衍射光,兩點(diǎn)劃線(xiàn)表示偏振衍射光柵區(qū)域DX的-1級(jí)衍射光。衍射光柵11大致分為區(qū)域D1、D2、D3。而區(qū)域D2分為區(qū)域Dab、DCd、De、Df、Dg、Dh。各區(qū)域按照光盤(pán)的衍射光劃分,分為光盤(pán)的士1級(jí)衍射光入射的Dab、Dcd(衍射光柵區(qū)域B),光盤(pán)的0級(jí)衍射光入射的De、Dh(衍射光柵區(qū)域 A)和光盤(pán)的0級(jí)衍射光入射的Df、Dg (衍射光柵區(qū)域C)。此處,入射到區(qū)域Dl和區(qū)域D3的光束,透過(guò)該區(qū)域或者作為0級(jí)衍射光出射。由此可知,在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的光束直接透過(guò)衍射光柵11。此外,入射到區(qū)域 D2的光束,按照區(qū)域Dab、Dcd, De、Df、Dg、Dh的光柵槽間距和槽方向相應(yīng)地發(fā)生衍射。從衍射光柵11出射的光束,入射到光檢測(cè)器10的受光部。圖13表示光檢測(cè)器10 的受光部配置和信號(hào)光。在光檢測(cè)器10上,配置有多個(gè)受光部,由衍射光柵11分割后的光束照射到各受光部。偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的+1級(jí)衍射光、-1級(jí)衍射光,入射到受光部il、i2。此外,從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射,在衍射光柵11區(qū)域Dab、DCd、De、Df、 Dg、Dh衍射的+1級(jí)衍射光,入射到受光部abl、cdl、el、fl、gl、hi。此外,在區(qū)域Dab、Dcd 衍射的-1級(jí)衍射光,入射到受光部ab2、cd2,在區(qū)域De、Df、Dg、Dh衍射的-1級(jí)衍射光入射到聚焦誤差信號(hào)檢測(cè)用的受光部rl、r2、si、s2、tl、t2、ul、u2的暗線(xiàn)部。對(duì)于從受光部 abl、cdl、el、fl、gl、hi、ab2、cd2、rl、r2、si、s2、tl、t2、ul、u2、 il、i2 得到的信號(hào) AB1、CD1、E1、F1、G1、H1、AB2、CD2、R1、R2、S1、S2、T1、T2、U1、U2、I1、12, 通過(guò)進(jìn)行以下運(yùn)算生成聚焦誤差信號(hào)(FEQ、跟蹤誤差信號(hào)(TEQ和RF信號(hào)(RF)。(式3)FES= (R1+S2+T2+U1) - (R2+S1+T1+U2)TES = {(AB1+AB2)_(CD1+CD2)}-kX {(E1+F1)-(G1+H1)}RF = AB1+AB2+CD1+CD2+E1+F1+G1+H1+I1+I2其中,k是用于在物鏡發(fā)生移位時(shí)不會(huì)使跟蹤誤差信號(hào)中產(chǎn)生DC成分的系數(shù)。此處,聚焦誤差檢測(cè)方式是刀口檢測(cè)方式。本實(shí)施例與實(shí)施例1相同,特征在于分別在可動(dòng)部和固定部配置衍射光柵。與實(shí)施例1的不同之處在于,衍射光柵11的區(qū)域Dab、Dcd的分割區(qū)域的不同,實(shí)施例1中分割為區(qū)域Da、Db和區(qū)域Dc、Dd,但本實(shí)施例中分割為區(qū)域Dab和區(qū)域Dcd。并且,通過(guò)對(duì)從區(qū)域Dab和Dcd衍射的光束分別用2個(gè)受光部進(jìn)行檢測(cè),能夠減少受光部數(shù)量,使檢測(cè)器比實(shí)施例1更加小型化。與實(shí)施例1相同,通過(guò)僅使入射到偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的光束衍射,能夠解決單光束法的課題即雜散光的位置隨著物鏡的移位而變化。不過(guò),在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的光束也會(huì)入射到衍射光柵11這一情況會(huì)成為課題,但對(duì)此本實(shí)施例中通過(guò)使其透過(guò)或作為0級(jí)衍射光從衍射光柵11的區(qū)域D1、D3出射而解決課題。此外,由于偏振衍射光柵25僅使光束的會(huì)聚、發(fā)散狀態(tài)變化較小的中央部的區(qū)域DX衍射,所以衍射角的變化減少,同時(shí),通過(guò)在光束的衍射方向上增大對(duì)在區(qū)域DX衍射的光束進(jìn)行檢測(cè)的受光部il、 2,使得無(wú)論對(duì)哪一層進(jìn)行記錄/再現(xiàn),信號(hào)光都會(huì)入射到上述受光部。此外,雖然來(lái)自多層(其它層)的雜散光會(huì)入射到對(duì)在區(qū)域DX衍射的光束進(jìn)行檢測(cè)的受光部il、i2,但是并不會(huì)被檢測(cè)為有影響的跟蹤誤差信號(hào),所以在實(shí)用上沒(méi)有問(wèn)題。
此外,從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射的光束,如圖12所示,因衍射光柵11而在區(qū)域Dab、Dcd衍射的光束由在Tan方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè),在區(qū)域De、Df、Dg、Dh衍射的光束由在Rad方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè)。由此能夠有效地避開(kāi)雜散光。對(duì)此由于采用與實(shí)施例1的圖8大致相同的受光部配置,所以可知能夠有效地避開(kāi)雜散光。以上,通過(guò)像本實(shí)施例這樣使用2個(gè)衍射光柵的結(jié)構(gòu),即使對(duì)于多層光盤(pán)也能夠檢測(cè)出穩(wěn)定的聚焦誤差信號(hào)、跟蹤誤差信號(hào)。此外,本實(shí)施例中,衍射光柵11配置在透過(guò)分束器后的位置,但若使衍射光柵11 為偏振衍射光柵,則即使配置在透過(guò)分束器前的位置也可以得到同樣的效果。另外,本實(shí)施例的偏振衍射光柵25和衍射光柵11的衍射效率只是一個(gè)示例,例如偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的衍射效率也可以為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=0 0 1。該情況下,衍射光柵11可以是D1、D2這2個(gè)區(qū)域。此外,也可以使衍射光柵11的區(qū)域D2的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 1。另外,本實(shí)施例中,光在衍射光柵11的區(qū)域Dl、D3透過(guò)或是作為0級(jí)衍射光檢測(cè),但不限于此,例如從縮小檢測(cè)器的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),也可以使衍射光柵11的區(qū)域Dl的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 0,D3的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=0:0:1, 由此使在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的士 1級(jí)光的受光部相互接近。此外,本實(shí)施例的受光部配置是一個(gè)例子,例如圖11的受光部配置也可以得到相同的效果。此外,受光部的形狀也可以不是正方形,而是長(zhǎng)方形、圓形、橢圓形。并且,從輸出針(Pin)數(shù)和S/N的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),也可以將受光部之間接線(xiàn)。(實(shí)施例3)圖14表示本發(fā)明的第三實(shí)施例的光拾取裝置的光檢測(cè)器10的受光部。其中,衍射光柵11和光檢測(cè)器10的受光部與實(shí)施例1不同,除此以外是與實(shí)施例1相同的結(jié)構(gòu)。與實(shí)施例1的圖1相同,波長(zhǎng)大致405nm的P偏振的光束作為發(fā)散光從半導(dǎo)體激光器50出射。從半導(dǎo)體激光器50出射的P偏振的光束被1/2波片變換為S偏振的光束。 S偏振的光束在偏振分束器52上反射。在偏振分束器52上反射的光束被準(zhǔn)直透鏡51變換為大致平行的光束。通過(guò)了準(zhǔn)直透鏡51的光束入射到擴(kuò)束器M。擴(kuò)束器M用于改變光束的發(fā)散、會(huì)聚狀態(tài),以此補(bǔ)償因光盤(pán)的覆蓋層的厚度誤差引起的球面像差。從擴(kuò)束器M出射的光束在立起反射鏡55上反射,經(jīng)過(guò)搭載于致動(dòng)器5的偏振衍射光柵25、1/4波片56、 物鏡2而在光盤(pán)上聚光(聚焦)。此時(shí),偏振衍射光柵25對(duì)P偏振的光束起衍射作用,對(duì)S 偏振的光束不起衍射作用。此外,因?yàn)镾偏振的光束被1/4波片56變換為圓偏振的光束出射,所以在光盤(pán)上形成了圓偏振的1個(gè)光斑。在光盤(pán)上反射的圓偏振的光束,入射到物鏡2、1/4波片56。此時(shí),在1/4波片56 的作用下,圓偏振的光束被變換為P偏振的光束。P偏振的光束入射到偏振衍射光柵25。 圖2表示偏振衍射光柵25的圖案。此處,圖20的點(diǎn)GC表示入射到偏振衍射光柵的光束的中心,虛線(xiàn)ROl表示偏振衍射光柵25上的光束的外形。此外,斜線(xiàn)部區(qū)域表示與因光盤(pán)而衍射的光干涉的區(qū)域。偏振衍射光柵25分為區(qū)域DX和區(qū)域DY,入射到區(qū)域DX的P偏振的光束被衍射為士 1級(jí)衍射光。此處,區(qū)域DX的衍射效率例如為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 1。另外,對(duì)在區(qū)域DX衍射的+1級(jí)衍射光和-1級(jí)衍射光,分別附加相反方向的離焦像差。此外,入射到區(qū)域DY的P偏振的光束,透過(guò)該區(qū)域或是作為0級(jí)衍射光從該區(qū)域出射。從偏振衍射光柵25出射的光束,經(jīng)過(guò)立起反射鏡55、擴(kuò)束器M、準(zhǔn)直透鏡51、分束器52,入射到衍射光柵11。圖3表示衍射光柵11的圖案。此處,圖3的虛線(xiàn)表示透過(guò)偏振衍射光柵25的區(qū)域DY或作為0級(jí)衍射光從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射的光束,點(diǎn)GCl 表示該光束的中心,點(diǎn)劃線(xiàn)表示偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的+1級(jí)衍射光,兩點(diǎn)劃線(xiàn)表示偏振衍射光柵區(qū)域DX的-1級(jí)衍射光。衍射光柵11大致分為區(qū)域D1、D2、D3。而區(qū)域D2分為區(qū)域Da、Db、Dc、Dd、De、Df、 Dg、Dh。各區(qū)域按照光盤(pán)的衍射光劃分,分為光盤(pán)的士 1級(jí)衍射光入射的區(qū)域Da、Db、Dc、 Dd (衍射光柵區(qū)域B),光盤(pán)的0級(jí)衍射光入射的區(qū)域De、Dh (衍射光柵區(qū)域A)和光盤(pán)的0 級(jí)衍射光入射的Df、Dg (衍射光柵區(qū)域C)。此處,入射到區(qū)域Dl和區(qū)域D3的光束,透過(guò)該區(qū)域或者作為0級(jí)衍射光出射。由此可知,在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的光束直接透過(guò)衍射光柵11。此外,入射到區(qū)域 D2的光束,按照區(qū)域Da、Db、DC、Dd、De、Df、Dg、Dh的光柵槽間距和槽方向相應(yīng)地發(fā)生衍射。 此處,例如使區(qū)域D2的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 1。從衍射光柵11出射的光束,入射到光檢測(cè)器10的受光部。圖14表示光檢測(cè)器10 的受光部配置和信號(hào)光。在光檢測(cè)器10上,配置有多個(gè)受光部,由衍射光柵11分割后的光束照射到各受光部。偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的+1級(jí)衍射光和-1級(jí)衍射光,入射到聚焦誤差信號(hào)檢測(cè)用的ial、ibl、icl和ia2、ib2、ic2。此外,從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY 出射,在衍射光柵11區(qū)域Da、Db、Dc、DcUDe、Df、Dg、Dh衍射的+1級(jí)衍射光,入射到受光部 al、bl、cl、dl、el、fl、gl、hl。此外,在區(qū)域 Da、Db、Dc、DcU De、Df、Dg、Dh 衍射的 _1 級(jí)衍射光,入射到受光部 a2、b2、c2、d2、e2、f2、g2、h2。對(duì)于從受光部al、dl、el、fl、gl、hl、a2、b2、c2、d2、e2、f2、g2、h2、ial、ibl、icl、 ia2、ib2、ic2 得到的信號(hào) Al、Bi、Cl、Dl、El、Fl、Gl、HI、A2、B2、C2、D2、E2、F2、G2、H2、IA1、 IBU ICU IA2、IB2、IC2,通過(guò)進(jìn)行以下運(yùn)算生成聚焦誤差信號(hào)(FEQ、跟蹤誤差信號(hào)(TES) 和RF信號(hào)(RF)。(式4)FES= (IA1+IC1+IB2)-(IA2+IC2+IB1)TES= {(A1+A2+B1+B2) - (C1+C2+D1+D2)}-ktX {(E1+E2+F1+F2)-(G1+G2+H1+H2)}RF= (A1+A2+B1+B2) + (C1+C2+D1+D2)+(E1+E2+F1+F2) + (G1+G2+H1+H2)+ (IA1+IB2+IC2) + (IA2+IB1+IC1)其中,k是用于在物鏡發(fā)生移位時(shí)不會(huì)使跟蹤誤差信號(hào)中產(chǎn)生DC成分的系數(shù)。此處,聚焦誤差檢測(cè)方式是光斑尺寸檢測(cè)方式。本實(shí)施例與實(shí)施例1相同,特征在于在可動(dòng)部和固定部分別配置衍射光柵。與實(shí)施例1的不同在于,通過(guò)對(duì)入射到偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的光束附加離焦像差,使用在區(qū)域DX發(fā)生衍射的光束來(lái)檢測(cè)聚焦誤差信號(hào)。與實(shí)施例1相同,通過(guò)僅使入射到偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的光束衍射,能夠解決單光束法的課題即雜散光的位置隨著物鏡的移位而變化。不過(guò),在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的光束也會(huì)入射到衍射光柵11這一情況會(huì)成為課題,但對(duì)此本實(shí)施例中通過(guò)使其透過(guò)或作為0級(jí)衍射光從衍射光柵11的區(qū)域D1、D3出射而解決課題。此外,由于偏振衍射光柵25僅使光束的會(huì)聚、發(fā)散狀態(tài)變化較小的中央部的區(qū)域DX衍射,所以衍射角的變化減少,同時(shí),通過(guò)在光束的衍射方向上增大對(duì)在區(qū)域DX衍射的光束進(jìn)行檢測(cè)的受光部ial、 ia2、ia3、ibl、ib2、ib3,并使分割線(xiàn)沿光束的衍射方向,使得無(wú)論對(duì)哪一層進(jìn)行記錄/再現(xiàn),信號(hào)光都會(huì)入射到上述受光部。此外,雖然來(lái)自多層(其它層)的雜散光會(huì)入射到對(duì)在區(qū)域DX衍射的光束進(jìn)行檢測(cè)的受光部ial、ia2、ia3、ibl、ib2、ib3,但是并不會(huì)被檢測(cè)為有影響的跟蹤誤差信號(hào),所以在實(shí)用上沒(méi)有問(wèn)題。此外,從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射的光束,如圖14所示,因衍射光柵11而在區(qū)域Da、Db、Dc、Dd衍射的光束由在Tan方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè),在區(qū)域De、Df、Dg、Dh 衍射的光束由在Rad方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè)。由此能夠有效地避開(kāi)雜散光。對(duì)此由于采用與實(shí)施例1的圖8大致相同的受光部配置,所以可知能夠有效地避開(kāi)雜散光。以上,通過(guò)像本實(shí)施例這樣使用2個(gè)衍射光柵的結(jié)構(gòu),即使對(duì)于多層光盤(pán)也能夠檢測(cè)出穩(wěn)定的聚焦誤差信號(hào)、跟蹤誤差信號(hào)。此外,本實(shí)施例中,衍射光柵11配置在透過(guò)分束器后的位置,但若使衍射光柵11 為偏振衍射光柵,則即使配置在透過(guò)分束器前的位置也可以得到同樣的效果。此外,本實(shí)施例的受光部配置只是一個(gè)例子,例如圖15的受光部配置也可以得到相同的效果。此外,例如也可以根據(jù)衍射光柵11的區(qū)域Da、Db、Dc、Dd、De、Df、Dg、Dh的衍射光檢測(cè)出聚焦誤差信號(hào),與根據(jù)受光部ial、ia2、ia3、ibl、ib2、ib3檢測(cè)出的聚焦誤差信號(hào)進(jìn)行比較,由此檢測(cè)出球面像差信號(hào)。另外,例如可以使衍射光柵11的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 0,并如圖16、17配置受光部,以使光檢測(cè)器小型化。并且,本實(shí)施例中,光在衍射光柵11的區(qū)域D1、D3透過(guò)或是作為0級(jí)衍射光檢測(cè),但不限于此,例如從縮小檢測(cè)器的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),也可以使衍射光柵11的區(qū)域Dl的衍射效率為+1級(jí)衍射光0 級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 0,D3的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=0 0 1,由此使在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的士 1級(jí)光的受光部相互接近。此外,受光部的形狀也可以不是正方形,而是長(zhǎng)方形、圓形、橢圓形。并且,從輸出針(pin)數(shù)和S/N的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),也可以將受光部之間接線(xiàn)。(實(shí)施例4)圖18表示本發(fā)明的第四實(shí)施例的光拾取裝置的光檢測(cè)器10的受光部。其中,衍射光柵11的圖案和光檢測(cè)器10的受光部與實(shí)施例1不同,除此以外是與實(shí)施例1相同的結(jié)構(gòu)。與實(shí)施例1的圖1相同,波長(zhǎng)大致405nm的P偏振的光束作為發(fā)散光從半導(dǎo)體激光器50出射。從半導(dǎo)體激光器50出射的P偏振的光束被1/2波片變換為S偏振的光束。 S偏振的光束在偏振分束器52上反射。在偏振分束器52上反射的光束被準(zhǔn)直透鏡51變換為大致平行的光束。通過(guò)了準(zhǔn)直透鏡51的光束入射到擴(kuò)束器M。擴(kuò)束器M用于改變光束的發(fā)散、會(huì)聚狀態(tài),以此補(bǔ)償因光盤(pán)的覆蓋層的厚度誤差引起的球面像差。從擴(kuò)束器M出射的光束在立起反射鏡55上反射,經(jīng)過(guò)搭載于致動(dòng)器5的偏振衍射光柵25、1/4波片56、 物鏡2而在光盤(pán)上聚光(聚焦)。此時(shí),偏振衍射光柵25對(duì)P偏振的光束起衍射作用,對(duì)S偏振的光束不起衍射作用。此外,因?yàn)镾偏振的光束被1/4波片56變換為圓偏振的光束出射,所以在光盤(pán)上形成了圓偏振的1個(gè)光斑。在光盤(pán)上反射的圓偏振的光束,入射到物鏡2、1/4波片56。此時(shí),在1/4波片56 的作用下,圓偏振的光束被變換為P偏振的光束。P偏振的光束入射到偏振衍射光柵25。 圖2表示偏振衍射光柵25的圖案。此處,圖20的點(diǎn)GC表示入射到偏振衍射光柵的光束的中心,虛線(xiàn)ROl表示偏振衍射光柵25上的光束的外形。此外,斜線(xiàn)部區(qū)域表示與因光盤(pán)而衍射的光干涉的區(qū)域。偏振衍射光柵25分為區(qū)域DX和區(qū)域DY,入射到區(qū)域DX的P偏振的光束被衍射為士 1級(jí)衍射光。此處,區(qū)域DX的衍射效率例如為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 1。另外,對(duì)在區(qū)域DX衍射的+1級(jí)衍射光和-1級(jí)衍射光,分別附加相反方向的離焦像差。此外,入射到區(qū)域DY的P偏振的光束,透過(guò)該區(qū)域或是作為 0級(jí)衍射光從該區(qū)域出射。從偏振衍射光柵25出射的光束,經(jīng)過(guò)立起反射鏡55、擴(kuò)束器M、準(zhǔn)直透鏡51、分束器52,入射到衍射光柵11。圖12表示衍射光柵11的圖案。此處,圖12的虛線(xiàn)表示透過(guò)偏振衍射光柵25的區(qū)域DY或作為0級(jí)衍射光從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射的光束,點(diǎn) GCl表示該光束的中心,點(diǎn)劃線(xiàn)表示偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的+1級(jí)衍射光,兩點(diǎn)劃線(xiàn)表示偏振衍射光柵區(qū)域DX的-1級(jí)衍射光。衍射光柵11大致分為區(qū)域D1、D2、D3。而區(qū)域D2 分為區(qū)域Dab、DCd、De、Df、Dg、Dh。各區(qū)域按照光盤(pán)的衍射光劃分,分為光盤(pán)的士 1級(jí)衍射光入射的區(qū)域Dab、Dcd(衍射光柵區(qū)域B),光盤(pán)的0級(jí)衍射光入射的區(qū)域De、Dh (衍射光柵區(qū)域A)和光盤(pán)的0級(jí)衍射光入射的區(qū)域Df、Dg (衍射光柵區(qū)域C)。此處,入射到區(qū)域Dl和區(qū)域D3的光束,透過(guò)該區(qū)域或者作為0級(jí)衍射光出射。由此可知,在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的光束直接透過(guò)衍射光柵11。此外,入射到區(qū)域 D2的光束,按照區(qū)域Da、Db、DC、Dd、De、Df、Dg、Dh的光柵槽間距和槽方向相應(yīng)地發(fā)生衍射。 此處,例如使區(qū)域D2的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 1。從衍射光柵11出射的光束,入射到光檢測(cè)器10的受光部。圖18表示光檢測(cè)器10 的受光部配置和信號(hào)光。在光檢測(cè)器10上,配置有多個(gè)受光部,由衍射光柵11分割后的光束照射到各受光部。偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的+1級(jí)衍射光和-1級(jí)衍射光,入射到聚焦誤差信號(hào)檢測(cè)用的ial、ibl、icl和ia2、ib2、ic2。此外,從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY 出射,在衍射光柵11區(qū)域Dab、DccUDe、Df、Dg、Dh衍射的+1級(jí)衍射光,入射到受光部abl、 CdUeUfUgUhl0此外,在區(qū)域Dab、Dcd、De、Df、Dg、Dh衍射的-1級(jí)衍射光入射到受光部已匕2、0(12、62、€2、區(qū)2、1120對(duì)于從受光部abl、cdl、el、Π、gl、hi、ab2、cd2、e2、f2、g2、h2、ial、ibl、icl、 ia2、ib2、ic2 得到的信號(hào) AB1、CD1、El、Fl、Gl、HI、AB2、CD2、E2、F2、G2、H2、IAU IBU ICU IA2、IB2、IC2,通過(guò)進(jìn)行以下運(yùn)算生成聚焦誤差信號(hào)(FEQ、跟蹤誤差信號(hào)(TEQ和RF信號(hào) (RF)。(式5)FES= (IA1+IC1+IB2)-(IA2+IC2+IB1)TES = {(AB1+AB2)-(CD1+CD2)}-ktX {(E1+E2+F1+F2)-(G1+G2+H1+H2)}RF= (AB1+AB2) + (CD1+CD2)
+(E1+E2+F1+F2) + (G1+G2+H1+H2)+ (IA1+IB2+IC2) + (IA2+IB1+IC1)其中,k是用于在物鏡發(fā)生移位時(shí)不會(huì)使跟蹤誤差信號(hào)中產(chǎn)生DC成分的系數(shù)。此處,聚焦誤差檢測(cè)方式是光斑尺寸檢測(cè)方式。本實(shí)施例與實(shí)施例1相同,特征在于在可動(dòng)部和固定部分別配置衍射光柵。與實(shí)施例1的不同在于,通過(guò)對(duì)入射到偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的光束附加離焦像差,使用在區(qū)域DX衍射的光束檢測(cè)聚焦誤差信號(hào)。與實(shí)施例1相同,通過(guò)僅使入射到偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的光束衍射,能夠解決單光束法的課題即雜散光的位置隨著物鏡的移位而變化。不過(guò),在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的光束也會(huì)入射到衍射光柵11這一情況會(huì)成為課題,但對(duì)此本實(shí)施例中通過(guò)使其透過(guò)或作為0級(jí)衍射光從衍射光柵11的區(qū)域D1、D3出射而解決課題。此外,由于偏振衍射光柵25僅使光束的會(huì)聚、發(fā)散狀態(tài)變化較小的中央部的區(qū)域DX衍射,所以衍射角的變化減少,同時(shí),通過(guò)在光束的衍射方向上增大對(duì)在區(qū)域DX衍射的光束進(jìn)行檢測(cè)的受光部ial、 ia2、ia3、ibl、ib2、ib3,并使分割線(xiàn)沿光束的衍射方向,使得無(wú)論對(duì)哪一層進(jìn)行記錄/再現(xiàn),都能夠生成穩(wěn)定的聚焦誤差信號(hào)。此外,雖然來(lái)自其它層的雜散光會(huì)入射到對(duì)在區(qū)域DX 衍射的光束進(jìn)行檢測(cè)的受光部ial、ia2、ia3、ibl、ib2、ib3,但是并不會(huì)被檢測(cè)為有影響的跟蹤誤差信號(hào),所以在實(shí)用上沒(méi)有問(wèn)題。此外,從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射的光束,如圖18所示,因衍射光柵11而在區(qū)域Dab、Dcd衍射的光束由在Tan方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè),在區(qū)域De、Df、Dg、Dh衍射的光束由在Rad方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè)。由此能夠有效地避開(kāi)雜散光。對(duì)此由于采用與實(shí)施例1的圖8大致相同的受光部配置,所以可知能夠有效地避開(kāi)雜散光。以上,通過(guò)像本實(shí)施例這樣使用2個(gè)衍射光柵的結(jié)構(gòu),即使對(duì)于多層光盤(pán)也能夠檢測(cè)出穩(wěn)定的聚焦誤差信號(hào)、跟蹤誤差信號(hào)。此外,本實(shí)施例中,衍射光柵11配置在透過(guò)分束器后的位置,但若使衍射光柵11 為偏振衍射光柵,則即使配置在透過(guò)分束器前的位置也可以得到同樣的效果。此外,例如也可以根據(jù)衍射光柵11的區(qū)域De、Df、Dg、Dh的衍射光檢測(cè)出聚焦誤差信號(hào),與根據(jù)受光部 ial、ia2、ia3、ibl、ib2、ib3檢測(cè)出的聚焦誤差信號(hào)進(jìn)行比較,由此檢測(cè)出球面像差信號(hào)。 另外,例如可以使衍射光柵11的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光= 1:0: 0,并如圖19配置受光部,以使光檢測(cè)器小型化。并且,本實(shí)施例中,光在衍射光柵 11的區(qū)域D1、D3透過(guò)或是作為0級(jí)衍射光檢測(cè),但不限于此,例如從縮小檢測(cè)器的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),也可以使衍射光柵11的區(qū)域Dl的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 0,D3的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=0:0:1, 由此使在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的士 1級(jí)光的受光部相互接近。此外,受光部的形狀也可以不是正方形,而是長(zhǎng)方形、圓形、橢圓形。并且,從輸出針(pin)數(shù)和S/N的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),也可以將受光部之間接線(xiàn)。(實(shí)施例5)圖20、21、22表示本發(fā)明的第五實(shí)施例的光拾取裝置的偏振衍射光柵25、衍射光柵11和光檢測(cè)器10的受光部。其中,偏振衍射光柵25、衍射光柵11的圖案和光檢測(cè)器10 的受光部與實(shí)施例1不同,除此以外是與實(shí)施例1相同的結(jié)構(gòu)。
與實(shí)施例1的圖1相同,波長(zhǎng)大致405nm的P偏振的光束作為發(fā)散光從半導(dǎo)體激光器50出射。從半導(dǎo)體激光器50出射的P偏振的光束被1/2波片變換為S偏振的光束。 S偏振的光束在偏振分束器52上反射。在偏振分束器52上反射的光束被準(zhǔn)直透鏡51變換為大致平行的光束。通過(guò)了準(zhǔn)直透鏡51的光束入射到擴(kuò)束器M。擴(kuò)束器M用于改變光束的發(fā)散、會(huì)聚狀態(tài),以此補(bǔ)償因光盤(pán)的覆蓋層的厚度誤差引起的球面像差。從擴(kuò)束器M出射的光束在立起反射鏡55上反射,經(jīng)過(guò)搭載于致動(dòng)器5的偏振衍射光柵25、1/4波片56、 物鏡2而在光盤(pán)上聚光(聚焦)。此時(shí),偏振衍射光柵25對(duì)P偏振的光束起衍射作用,對(duì)S 偏振的光束不起衍射作用。此外,因?yàn)镾偏振的光束被1/4波片56變換為圓偏振的光束出射,所以在光盤(pán)上形成了圓偏振的1個(gè)光斑。在光盤(pán)上反射的圓偏振的光束,入射到物鏡2、1/4波片56。此時(shí),在1/4波片56 的作用下,圓偏振的光束被變換為P偏振的光束。P偏振的光束入射到偏振衍射光柵25。 圖20表示偏振衍射光柵25的圖案。此處,圖20的點(diǎn)GC表示入射到偏振衍射光柵的光束的中心,虛線(xiàn)ROl表示偏振衍射光柵25上的光束的外形。此外,斜線(xiàn)部區(qū)域表示與因光盤(pán)而衍射的光干涉的區(qū)域。偏振衍射光柵25分為區(qū)域DX和區(qū)域DY。并且,區(qū)域DX分為區(qū)域DX1、DX2、DX3、DX4,對(duì)角的區(qū)域彼此具有相同的光柵槽間距、光柵槽方向。此處,入射到區(qū)域DX的P偏振的光束被衍射為士 1級(jí)衍射光。此處,區(qū)域DX的衍射效率例如為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 1。此外,入射到區(qū)域DY的P偏振的光束,透過(guò)該區(qū)域或是作為0級(jí)衍射光從該區(qū)域出射。從偏振衍射光柵25出射的光束,經(jīng)過(guò)立起反射鏡55、擴(kuò)束器M、準(zhǔn)直透鏡51、分束器52,入射到衍射光柵11。圖21表示衍射光柵11的圖案。此處,圖21的虛線(xiàn)表示透過(guò)偏振衍射光柵25的區(qū)域DY或作為0級(jí)衍射光從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射的光束, 點(diǎn)GCl表示該光束的中心,點(diǎn)劃線(xiàn)表示偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的+1級(jí)衍射光,兩點(diǎn)劃線(xiàn)表示偏振衍射光柵區(qū)域DX的-1級(jí)衍射光。衍射光柵11大致分為區(qū)域D1、D2、D3。而區(qū)域D2分為區(qū)域Da、Db、Dc、Dd、De、Df、Dg、Dh。各區(qū)域按照光盤(pán)的衍射光劃分,分為光盤(pán)的士 1級(jí)衍射光入射的區(qū)域Da、Db、Dc、Dd (衍射光柵區(qū)域B),光盤(pán)的0級(jí)衍射光入射的區(qū)域 De、Dh (衍射光柵區(qū)域A)和光盤(pán)的0級(jí)衍射光入射的區(qū)域Df、Dg (衍射光柵區(qū)域C)。此處,入射到區(qū)域Dl和區(qū)域D3的光束,透過(guò)該區(qū)域或者作為0級(jí)衍射光出射。由此可知,在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的光束直接透過(guò)衍射光柵11。此外,入射到區(qū)域 D2的光束,按照區(qū)域Da、Db、DC、Dd、De、Df、Dg、Dh的光柵槽間距和槽方向相應(yīng)地發(fā)生衍射。 此處,例如使區(qū)域D2的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=7 0 3。從衍射光柵11出射的光束,入射到光檢測(cè)器10的受光部。圖22表示光檢測(cè)器10 的受光部配置和信號(hào)光。在光檢測(cè)器10上,配置有多個(gè)受光部,由衍射光柵11分割后的光束照射到各受光部。偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的區(qū)域DXl和區(qū)域DX3的+1級(jí)衍射光入射到受光部il,_l級(jí)衍射光入射到受光部i3。而區(qū)域DX2和區(qū)域DX4的+1級(jí)衍射光入射到受光部i2,-1級(jí)衍射光入射到受光部i4。此外,從偏振衍射區(qū)域25的區(qū)域DY出射,在衍射光柵11的區(qū)域Da、Db、Dc、Dd、De、Df、Dg、Dh衍射的+1級(jí)衍射光,入射到受光部al、bl、 cl、dl、el、fl、gl、hi。此外,在區(qū)域Da、Db、Dc、Dd衍射的-1級(jí)光,入射到聚焦誤差信號(hào)檢測(cè)用的受光部 r、s、t、u、v的暗線(xiàn)部,在區(qū)域De、Df、Dg、Dh衍射的-1級(jí)衍射光分別入射到受光部e2、f2、g2、h2。對(duì)于從受光部&1、131、(;1、(11、61、打、81、111、62、€2、82、112、1~、8、扒11、乂、il、i2、 i3、i4 得到的信號(hào) A1、B1、C1、D1、E1、F1、G1、H1、E2、F2、G2、H2、R、S、T、U、V、II、12、13、14, 通過(guò)進(jìn)行以下運(yùn)算生成聚焦誤差信號(hào)(FEQ、跟蹤誤差信號(hào)(TEQ和RF信號(hào)(RF)。(式6)FES = (R+T+V) - (S+U)TES = {(A1+B1)-(C1+D1)}-kX {(E1+E2+F1+F2) - (G1+G2+H1+H2)}RF = A1+B1+C1+D1+E1+F1+G1+H1+11+12+13+14此外,跟蹤檢測(cè)方法也可以使用以下運(yùn)算。(式7)TES= {(A1+E1+B1+F1) - (C1+G1+D1+H1)}-k X {(E2+F2) - (G2+H2)} 1其中,k是用于在物鏡發(fā)生移位時(shí)不會(huì)使跟蹤誤差信號(hào)中產(chǎn)生DC成分的系數(shù)。此處,聚焦誤差檢測(cè)方式是刀口檢測(cè)方式。本實(shí)施例與實(shí)施例1相同,特征在于在可動(dòng)部和固定部分別配置衍射光柵。與實(shí)施例1的不同在于偏振衍射光柵25的分割方法的不同。此處,說(shuō)明對(duì)偏振衍射光柵區(qū)域25 的區(qū)域DX進(jìn)行分割的理由。在實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)的情況下,在光盤(pán)層間隔較小時(shí)非常有利, 但是相對(duì)的,當(dāng)距離表面最遠(yuǎn)的層和最近的層之間的層間隔較大時(shí)需要增大受光部間隔。 這是因?yàn)椋?dāng)距離表面最遠(yuǎn)的層和最近的層之間的層間隔較大時(shí),檢測(cè)器面上的雜散光的大小也會(huì)變大。因此,從回避雜散光的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),需要將在區(qū)域DX衍射的光束的受光部配置得較遠(yuǎn)。與此相對(duì)的,本實(shí)施例中,通過(guò)將偏振衍射光柵25的區(qū)域DX分割為4部分,用相同的受光部檢測(cè)對(duì)角的區(qū)域,由此形成雜散光僅在對(duì)角的方向上產(chǎn)生的結(jié)構(gòu),所以無(wú)論層間隔較小還是較大都能夠同樣地回避雜散光。圖23表示用本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)對(duì)層間隔為 5μπι的光盤(pán)進(jìn)行記錄、再現(xiàn)的情況下的光檢測(cè)器上的信號(hào)光與雜散光的關(guān)系。圖23Α表示對(duì)85 μ m位置進(jìn)行再現(xiàn)時(shí)的信號(hào)光和來(lái)自90 μ m位置的雜散光,圖2 表示對(duì)90 μ m位置進(jìn)行再現(xiàn)時(shí)的信號(hào)光和來(lái)自85 μ m位置的雜散光。使用以下條件進(jìn)行計(jì)算。計(jì)算條件波長(zhǎng)405nmNA :0. 85檢測(cè)倍率20倍根據(jù)該結(jié)果可知,通過(guò)將偏振衍射光柵25的區(qū)域DX分割為4部分,并使對(duì)角的區(qū)域彼此為相同的光柵槽間距、光柵槽方向,能夠避免雜散光。此外還可知,在該結(jié)構(gòu)下當(dāng)距離表面最遠(yuǎn)的層和最近的層之間的層間隔變大的情況下,只發(fā)生雜散光的大小增大,所以雜散光不會(huì)入射到其他受光部。并且,由于偏振衍射光柵25與物鏡一起移位,因此即使物鏡移位也不會(huì)發(fā)生雜散光移動(dòng),所以能夠與物鏡移位無(wú)關(guān)地回避雜散光。此外,從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射的光束,如圖23所示,因衍射光柵11而在區(qū)域Da、Db、Dc、Dd衍射的光束由在Tan方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè),在區(qū)域De、Df、Dg、Dh衍射的光束由在Rad方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè)。由此能夠有效地避開(kāi)雜散光。因此,通過(guò)本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)能夠在避開(kāi)雜散光的同時(shí),實(shí)現(xiàn)光檢測(cè)器10的小型化。此處,雖然來(lái)自其他層的雜散光會(huì)入射到受光部il、i2、i3、i4,但是并不會(huì)被檢測(cè)為有影響的跟蹤誤差信號(hào),所以在實(shí)用上沒(méi)有問(wèn)題。以上,通過(guò)像本實(shí)施例這樣使用2個(gè)衍射光柵的結(jié)構(gòu),即使對(duì)于多層光盤(pán)也能夠檢測(cè)出穩(wěn)定的聚焦誤差信號(hào)、跟蹤誤差信號(hào)。此外,本實(shí)施例中,衍射光柵11配置在透過(guò)分束器后的位置,但若使衍射光柵11 為偏振衍射光柵,則即使配置在透過(guò)分束器前的位置也可以得到同樣的效果。另外,本實(shí)施例的偏振衍射光柵25和衍射光柵11的衍射效率只是一個(gè)示例,例如偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的區(qū)域DX1、DX2、DX3、DX4的衍射效率也可以為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光_1級(jí)衍射光=0 0 1。該情況下,衍射光柵11可以是D1、D2這2個(gè)區(qū)域。此外,也可以使衍射光柵11的區(qū)域D2的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1:0:1。 另外,本實(shí)施例中,光在衍射光柵11的區(qū)域D1、D3透過(guò)或是作為0級(jí)衍射光檢測(cè),但不限于此,例如從縮小檢測(cè)器的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),也可以使衍射光柵11的區(qū)域Dl的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 0,D3的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=0 0 1,由此使在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的士 1級(jí)光的受光部相互接近。此外,本實(shí)施例的受光部配置是一個(gè)例子,例如圖M的受光部配置也可以得到相同的效果。此外,也可以如實(shí)施例3和實(shí)施例4那樣對(duì)在偏振衍射光柵的區(qū)域DX衍射的光束附加離焦像差,通過(guò)光斑尺寸檢測(cè)方式檢測(cè)聚焦誤差信號(hào)。此外,偏振衍射光柵25的區(qū)域DXl和DX3、DX2和DX4,也不必一定為相同的光柵槽間距、光柵槽方向,例如也可以按衍射方向各自分離。而且,偏振衍射光柵25的區(qū)域DX不限定于分割為4部分。例如,在針對(duì)來(lái)自光盤(pán)表面的雜散光等來(lái)自限定層的雜散光的情況下,因?yàn)殡s散光的方向受到限定,所以也可以從回避該雜散光的目的出發(fā)分割為2部分。此外,受光部的形狀也可以不是正方形,而是長(zhǎng)方形、圓形、橢圓形。并且,從輸出針(pin)數(shù)和S/N的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),也可以將受光部之間接線(xiàn)。(實(shí)施例6)圖25、圖沈表示本發(fā)明的第六實(shí)施例的光拾取裝置的衍射光柵11、光檢測(cè)器10 的受光部。其中,偏振衍射光柵25、衍射光柵11的圖案和光檢測(cè)器10的受光部與實(shí)施例1 不同,除此以外是與實(shí)施例1相同的結(jié)構(gòu)。與實(shí)施例1的圖1相同,波長(zhǎng)大致405nm的P偏振的光束作為發(fā)散光從半導(dǎo)體激光器50出射。從半導(dǎo)體激光器50出射的P偏振的光束被1/2波片變換為S偏振的光束。 S偏振的光束在偏振分束器52上反射。在偏振分束器52上反射的光束被準(zhǔn)直透鏡51變換為大致平行的光束。通過(guò)了準(zhǔn)直透鏡51的光束入射到擴(kuò)束器M。擴(kuò)束器M用于改變光束的發(fā)散、會(huì)聚狀態(tài),以此補(bǔ)償因光盤(pán)的覆蓋層的厚度誤差引起的球面像差。從擴(kuò)束器M出射的光束在立起反射鏡55上反射,經(jīng)過(guò)搭載于致動(dòng)器5的偏振衍射光柵25、1/4波片56、 物鏡2而在光盤(pán)上聚光(聚焦)。此時(shí),偏振衍射光柵25對(duì)P偏振的光束起衍射作用,對(duì)S 偏振的光束不起衍射作用。此外,因?yàn)镾偏振的光束被1/4波片56變換為圓偏振的光束出射,所以在光盤(pán)上形成了圓偏振的1個(gè)光斑。
在光盤(pán)上反射的圓偏振的光束,入射到物鏡2、1/4波片56。此時(shí),在1/4波片56 的作用下,圓偏振的光束被變換為P偏振的光束。P偏振的光束入射到偏振衍射光柵25。 圖20表示偏振衍射光柵25的圖案。此處,圖20的點(diǎn)GC表示入射到偏振衍射光柵的光束的中心,虛線(xiàn)ROl表示偏振衍射光柵25上的光束的外形。此外,斜線(xiàn)部區(qū)域表示與因光盤(pán)而衍射的光干涉的區(qū)域。偏振衍射光柵25分為區(qū)域DX和區(qū)域DY。并且,區(qū)域DX分為區(qū)域DX1、DX2、DX3、DX4,對(duì)角的區(qū)域彼此具有相同的光柵槽間距、光柵槽方向。此處,入射到區(qū)域DX的P偏振的光束被衍射為士 1級(jí)衍射光。此處,區(qū)域DX的衍射效率例如為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 1。此外,入射到區(qū)域DY的P偏振的光束,透過(guò)該區(qū)域或是作為0級(jí)衍射光從該區(qū)域出射。從偏振衍射光柵25出射的光束,經(jīng)過(guò)立起反射鏡55、擴(kuò)束器M、準(zhǔn)直透鏡51、分束器52,入射到衍射光柵11。圖25表示衍射光柵11的圖案。此處,圖25的虛線(xiàn)表示透過(guò)偏振衍射光柵25的區(qū)域DY或作為0級(jí)衍射光從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射的光束, 點(diǎn)GCl表示該光束的中心,點(diǎn)劃線(xiàn)表示偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的+1級(jí)衍射光,兩點(diǎn)劃線(xiàn)表示偏振衍射光柵區(qū)域DX的-1級(jí)衍射光。衍射光柵11大致分為區(qū)域D1、D2、D3。而區(qū)域D2分為區(qū)域Dab、DccU De、Df、Dg、 Dh。各區(qū)域按照光盤(pán)的衍射光劃分,分為光盤(pán)的士 1級(jí)衍射光入射的區(qū)域Dab、Dcd(衍射光柵區(qū)域B),光盤(pán)的0級(jí)衍射光入射的區(qū)域De、Dh (衍射光柵區(qū)域A)和光盤(pán)的0級(jí)衍射光入射的區(qū)域Df、Dg (衍射光柵區(qū)域C)。此處,入射到區(qū)域Dl和區(qū)域D3的光束,透過(guò)該區(qū)域或者作為0級(jí)衍射光出射。由此可知,在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的光束直接透過(guò)衍射光柵11。此外,入射到區(qū)域 D2的光束,按照區(qū)域Dab、Dcd, De、Df、Dg、Dh的光柵槽間距和槽方向相應(yīng)地發(fā)生衍射。此處,例如使區(qū)域D2的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=7 0 3。從衍射光柵11出射的光束,入射到光檢測(cè)器10的受光部。圖沈表示光檢測(cè)器10 的受光部配置和信號(hào)光。在光檢測(cè)器10上,配置有多個(gè)受光部,由衍射光柵11分割后的光束照射到各受光部。偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的區(qū)域DXl和區(qū)域DX3的+1級(jí)衍射光入射到受光部il,_l級(jí)衍射光入射到受光部i3。而區(qū)域DX2和區(qū)域DX4的+1級(jí)衍射光入射到受光部i2,-1級(jí)衍射光入射到受光部i4。此外,從偏振衍射區(qū)域25的區(qū)域DY出射,在衍射光柵11的區(qū)域Dab、Dcd, De、Df、Dg、Dh衍射的+1級(jí)衍射光,入射到受光部abl、cdl、 el、fl、gl、hi。此外,在區(qū)域Dab、Dcd衍射的_1級(jí)衍射光,入射到受光部ab2、cd2,在區(qū)域De、Df、 Dg, Dh衍射的-1級(jí)衍射光入射到聚焦誤差信號(hào)檢測(cè)用的受光部rl、r2、si、s2、tl、t2、ul、 u2的暗線(xiàn)部。XiTyyv^7t^aUdUeUfUgUhUab2>cd2>rUr2> si、s2、tl、t2、ul、u2、il、 i2、i3、i4 得到的信號(hào) ABU CDU EU FU GU HI、AB2、CD2、RU R2、Si、S2、Tl、T2、Ul、U2、 I1、I2、I3、I4,通過(guò)進(jìn)行以下運(yùn)算生成聚焦誤差信號(hào)(FEQ、跟蹤誤差信號(hào)(TEQ和RF信號(hào) (RF)。(式8)FES= (R1+S2+T2+U1) - (R2+S1+T1+U2)TES = {(AB1+AB2)_(CD1+CD2)}
-kX {(E1+F1)-(G1+H1)}RF = AB1+AB2+CD1+CD2+E1+F1+G1+H1+11+12+13+14其中,k是用于在物鏡發(fā)生移位時(shí)不會(huì)使跟蹤誤差信號(hào)中產(chǎn)生DC成分的系數(shù)。此處,聚焦誤差檢測(cè)方式是刀口檢測(cè)方式。本實(shí)施例與實(shí)施例1相同,特征在于在可動(dòng)部和固定部分別配置衍射光柵。與實(shí)施例1的不同在于,衍射光柵11的區(qū)域Dab、Dcd的分割區(qū)域的不同和偏振衍射光柵25的分割方法的不同。實(shí)施例1中分割為區(qū)域Da、Db和區(qū)域Dc、Dd,但本實(shí)施例中分割為區(qū)域Dab和區(qū)域Dcd。并且,通過(guò)對(duì)從區(qū)域Dab和Dcd衍射的光束分別用2個(gè)受光部進(jìn)行檢測(cè),能夠減少受光部數(shù)量,使檢測(cè)器比實(shí)施例1更加小型化。而且,通過(guò)與實(shí)施例8同樣將偏振衍射光柵 25的區(qū)域DX分割為4部分,用相同的受光部檢測(cè)對(duì)角的區(qū)域,由此形成雜散光僅在對(duì)角的方向上產(chǎn)生的結(jié)構(gòu),所以無(wú)論層間隔較小還是較大都能夠同樣地回避雜散光。并且,由于偏振衍射光柵25與物鏡一起移位,因此即使物鏡移位也不會(huì)發(fā)生雜散光移動(dòng),所以能夠與物鏡移位無(wú)關(guān)地回避雜散光。此外,從偏振衍射光柵25的區(qū)域DY出射的光束,如圖沈所示, 因衍射光柵11而在區(qū)域Da、Db、Dc、Dd衍射的光束由在Tan方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè),在區(qū)域De、Df、Dg、Dh衍射的光束由在Rad方向上排列的檢測(cè)部檢測(cè)。由此能夠有效地避開(kāi)雜散光。因此,通過(guò)本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)能夠在避開(kāi)雜散光的同時(shí),實(shí)現(xiàn)光檢測(cè)器10的小型化。此處,雖然來(lái)自其他層的雜散光會(huì)入射到受光部il、i2、i3、i4,但是并不會(huì)被檢測(cè)為有影響的跟蹤誤差信號(hào),所以在實(shí)用上沒(méi)有問(wèn)題。以上,通過(guò)像本實(shí)施例這樣使用2個(gè)衍射光柵的結(jié)構(gòu),即使對(duì)于多層光盤(pán)也能夠檢測(cè)出穩(wěn)定的聚焦誤差信號(hào)、跟蹤誤差信號(hào)。此外,本實(shí)施例中,衍射光柵11配置在透過(guò)分束器后的位置,但若使衍射光柵11 為偏振衍射光柵,則即使配置在透過(guò)分束器前的位置也可以得到同樣的效果。另外,本實(shí)施例的偏振衍射光柵25和衍射光柵11的衍射效率只是一個(gè)示例,例如偏振衍射光柵25的區(qū)域DX的區(qū)域DX1、DX2、DX3、DX4的衍射效率也可以為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光_1級(jí)衍射光=0 0 1。該情況下,衍射光柵11可以是D1、D2這2個(gè)區(qū)域。此外,也可以使衍射光柵11的區(qū)域D2的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 1。 另外,本實(shí)施例中,光在衍射光柵11的區(qū)域D1、D3透過(guò)或是作為0級(jí)衍射光檢測(cè),但不限于此,例如從縮小檢測(cè)器的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),也可以使衍射光柵11的區(qū)域Dl的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=1 0 0,D3的衍射效率為+1級(jí)衍射光0級(jí)衍射光-1級(jí)衍射光=0 0 1,由此使在偏振衍射光柵25的區(qū)域DX衍射的士 1級(jí)光的受光部相互接近。此外,也可以如實(shí)施例3和實(shí)施例4那樣對(duì)在偏振衍射光柵的區(qū)域DX衍射的光束附加離焦像差,通過(guò)光斑尺寸檢測(cè)方式檢測(cè)聚焦誤差信號(hào)。此外,偏振衍射光柵25的區(qū)域 DXl和DX3、DX2和DX4,也不必一定為相同的光柵槽間距、光柵槽方向,例如也可以按衍射方向各自分離。而且,偏振衍射光柵25的區(qū)域DX不限定于分割為4部分。例如,在針對(duì)來(lái)自光盤(pán)表面的雜散光等來(lái)自限定層的雜散光的情況下,因?yàn)殡s散光的方向受到限定,所以也可以從回避該雜散光的目的出發(fā)分割為2部分。此外,受光部的形狀也可以不是正方形,而是長(zhǎng)方形、圓形、橢圓形。并且,從輸出針(pin)數(shù)和S/N的觀(guān)點(diǎn)出發(fā),也可以將受光部之間接線(xiàn)。(實(shí)施例7)實(shí)施例7中,說(shuō)明搭載了光拾取裝置170的光學(xué)再現(xiàn)裝置。圖27是光學(xué)再現(xiàn)裝置的概要結(jié)構(gòu)。光拾取裝置170中,設(shè)置有能夠沿光盤(pán)100的Rad方向驅(qū)動(dòng)的機(jī)構(gòu),根據(jù)來(lái)自訪(fǎng)問(wèn)控制電路172的訪(fǎng)問(wèn)控制信號(hào)相應(yīng)地進(jìn)行位置控制。從激光點(diǎn)亮電路(激光發(fā)光電路)177對(duì)光拾取裝置170內(nèi)的半導(dǎo)體激光器供給規(guī)定的激光驅(qū)動(dòng)電流,根據(jù)再現(xiàn)的情況,從半導(dǎo)體激光器以規(guī)定的光量出射激光。其中,激光點(diǎn)亮電路177也能夠組裝在光拾取裝置170內(nèi)。從光拾取器170內(nèi)的光檢測(cè)器10輸出的信號(hào),被發(fā)送到伺服信號(hào)生成電路174和信息信號(hào)再現(xiàn)電路175。用伺服信號(hào)生成電路174基于來(lái)自上述光檢測(cè)器10的信號(hào)生成聚焦誤差信號(hào)、跟蹤誤差信號(hào)和傾斜控制信號(hào)等伺服信號(hào),以此為基礎(chǔ),經(jīng)過(guò)致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)回路 173驅(qū)動(dòng)光拾取裝置170內(nèi)的致動(dòng)器,進(jìn)行物鏡的位置控制。上述信息信號(hào)再現(xiàn)電路175中,基于來(lái)自上述光檢測(cè)器10的信號(hào)再現(xiàn)光盤(pán)100中記錄的信息信號(hào)。由上述伺服信號(hào)生成電路174和信息信號(hào)再現(xiàn)電路175得到的信號(hào)的一部分被發(fā)送到控制電路176。該控制電路176上連接有主軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路171、訪(fǎng)問(wèn)控制電路172、 伺服信號(hào)生成電路174、激光點(diǎn)亮電路177、球面像差修正元件驅(qū)動(dòng)電路179等,進(jìn)行使光盤(pán)100旋轉(zhuǎn)的主軸電路180的旋轉(zhuǎn)控制、訪(fǎng)問(wèn)方向和訪(fǎng)問(wèn)位置的控制、物鏡的伺服控制、光拾取裝置170內(nèi)的半導(dǎo)體激光器發(fā)光光量的控制、對(duì)因光盤(pán)基板厚度的不同引起的球面像差進(jìn)行的修正等。(實(shí)施例8)實(shí)施例8中,說(shuō)明搭載了光拾取裝置170的光學(xué)記錄再現(xiàn)裝置。圖觀(guān)是光學(xué)記錄再現(xiàn)裝置的概要結(jié)構(gòu)。該裝置與上述圖27說(shuō)明的光學(xué)信息再現(xiàn)裝置的不同點(diǎn)在于,在控制電路176與激光點(diǎn)亮電路177之間設(shè)置信息信號(hào)記錄電路178,基于來(lái)自信息信號(hào)記錄電路178的記錄控制信號(hào)進(jìn)行激光點(diǎn)亮電路177的點(diǎn)亮控制,由此附加對(duì)光盤(pán)100寫(xiě)入規(guī)定信息的功能。此外,本發(fā)明不限定于上述實(shí)施例,包括各種變形例。例如,上述實(shí)施例是為了易于理解地說(shuō)明本發(fā)明而作出的詳細(xì)說(shuō)明,并不限定于必須具備說(shuō)明的所有結(jié)構(gòu)。此外,能夠?qū)⒛硞€(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的一部分置換為其他實(shí)施例的結(jié)構(gòu),并且也能夠在某個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)上添加其他實(shí)施例的結(jié)構(gòu)。此外,對(duì)于各實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的一部分,能夠添加、刪除、置換其他結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種光拾取裝置,其特征在于,包括 出射激光的半導(dǎo)體激光器;將從所述半導(dǎo)體激光器出射的光束照射在光盤(pán)的物鏡; 用于驅(qū)動(dòng)所述物鏡的致動(dòng)器;使從所述光盤(pán)的信息記錄層反射的光束分束的第一衍射光柵和第二衍射光柵這至少2 個(gè)衍射光柵;和具有檢測(cè)從所述第一衍射光柵和第二衍射光柵分束的光束的多個(gè)受光部的光檢測(cè)器, 其中,所述第一衍射光柵,搭載在所述致動(dòng)器的可動(dòng)部。
2.如權(quán)利要求1所述的光拾取裝置,其特征在于所述第一衍射光柵,被分割為包含入射到該衍射光柵的光束的光軸的第一區(qū)域和除此以外的第二區(qū)域,通過(guò)所述第一區(qū)域的第一光束和通過(guò)第二區(qū)域的第二光束的行進(jìn)方向互不相同。
3.如權(quán)利要求2所述的光拾取裝置,其特征在于所述第二光束,透過(guò)所述第二衍射光柵或作為0級(jí)衍射光從所述第二衍射光柵出射。
4.如權(quán)利要求2或3所述的光拾取裝置,其特征在于所述第一光束,至少被第一、第二衍射光柵中的第一衍射光柵改變光束的行進(jìn)方向, 所述第二光束,僅被第一、第二衍射光柵中的第二衍射光柵改變光束的行進(jìn)方向。
5.如權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于根據(jù)在所述第二衍射光柵衍射的光束,生成刀口檢測(cè)方式的聚焦誤差信號(hào)。
6.如權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于根據(jù)在所述第一衍射光柵衍射的光束,生成光斑尺寸檢測(cè)方式的聚焦誤差信號(hào)。
7.如權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于 根據(jù)在所述第二衍射光柵衍射的光束,生成跟蹤誤差信號(hào)。
8.如權(quán)利要求2 7中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于檢測(cè)在所述第一衍射光柵的第一區(qū)域衍射的光束的受光部中,與光束在所述第一區(qū)域衍射的方向大致平行的方向上的長(zhǎng)度,大于與其大致垂直的方向上的長(zhǎng)度。
9.如權(quán)利要求2 8中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于所述第一衍射光柵的第一區(qū)域,被相互大致垂直的2根分割線(xiàn)分割為4個(gè)區(qū)域,不相鄰的區(qū)域的光柵槽間距和槽方向大致相同。
10.如權(quán)利要求1 9中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于所述第二衍射光柵,被分為特性互不相同的第一區(qū)域、第二區(qū)域和第三區(qū)域這3個(gè)區(qū)域,所述第二衍射光柵的第一區(qū)域、第三區(qū)域,使入射的光束透過(guò)或作為0級(jí)衍射光出射, 所述第二衍射光柵的第二區(qū)域,使入射的光束衍射。
11.如權(quán)利要求1 9中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于所述第二衍射光柵,被分為特性互不相同的第一區(qū)域和第二區(qū)域這2個(gè)區(qū)域, 所述第二衍射光柵的第一區(qū)域,使入射的光束透過(guò)或作為0級(jí)衍射光出射, 所述第二衍射光柵的第二區(qū)域,使入射的光束衍射。
12.如權(quán)利要求10或11所述的光拾取裝置,其特征在于所述第二衍射光柵的第二區(qū)域具有衍射光柵區(qū)域A、衍射光柵區(qū)域B和衍射光柵區(qū)域C 這至少3個(gè)區(qū)域,被所述光盤(pán)上的軌道衍射的光盤(pán)衍射光中,0級(jí)光盤(pán)衍射光入射到所述衍射光柵區(qū)域A、衍射光柵區(qū)域C,至少士 1級(jí)光盤(pán)衍射光入射到所述衍射光柵區(qū)域B,所述衍射光柵區(qū)域B位于衍射光柵區(qū)域A和衍射光柵區(qū)域C之間。
13.如權(quán)利要求11所述的光拾取裝置,其特征在于相對(duì)于入射到所述第二衍射光柵的第二區(qū)域的光束的有效直徑的、所述衍射光柵區(qū)域 B的光盤(pán)切線(xiàn)方向上的寬度,小于相對(duì)于所述第一衍射光柵上的光束的、第一衍射光柵區(qū)域的光盤(pán)切線(xiàn)方向上的寬度。
14.如權(quán)利要求12或13所述的光拾取裝置,其特征在于檢測(cè)所述第二衍射光柵的第二區(qū)域的衍射光柵區(qū)域A和衍射光柵區(qū)域C的+1級(jí)光柵衍射光或-1級(jí)光柵衍射光的所述光檢測(cè)器的受光部,在與所述光盤(pán)的半徑方向大致一致的方向上大致直線(xiàn)地排列。
15.如權(quán)利要求12 14中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于檢測(cè)所述第二衍射光柵的第二區(qū)域的衍射光柵區(qū)域B的+1級(jí)光柵衍射光或-1級(jí)光柵衍射光的所述光檢測(cè)器的受光部,在與所述光盤(pán)的半徑方向大致一致的方向上大致直線(xiàn)地排列。
16.如權(quán)利要求1 15中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于檢測(cè)所述第二衍射光柵的第二區(qū)域的衍射光的所述光檢測(cè)器上的多個(gè)檢測(cè)部,排列為 I字形。
17.如權(quán)利要求1 15中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于檢測(cè)所述第二衍射光柵的第二區(qū)域的衍射光的所述光檢測(cè)器上的多個(gè)檢測(cè)部,排列為 H字形。
18.如權(quán)利要求1 15中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于檢測(cè)所述第二衍射光柵的第二區(qū)域的衍射光的所述光檢測(cè)器上的多個(gè)檢測(cè)部,排列為T(mén)字形。
19.如權(quán)利要求1 18中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于在所述第一衍射光柵的第一區(qū)域衍射的光束的衍射光量中,-1級(jí)衍射光量和+1級(jí)衍射光量大致相同,或大致全部為-1級(jí)衍射光量,或大致全部為+1級(jí)衍射光量。
20.如權(quán)利要求1 19中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于在所述第二衍射光柵的第二區(qū)域衍射的光束的衍射光量中,-1級(jí)衍射光量和+1級(jí)衍射光量大致相同,或大致全部為-1級(jí)衍射光量,或大致全部為+1級(jí)衍射光量。
21.如權(quán)利要求1 20中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于 所述第一衍射光柵的第一區(qū)域是偏振衍射光柵。
22.如權(quán)利要求1 21中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置,其特征在于 所述第一衍射光柵的第一衍射光柵區(qū)域,是附加離焦像差的全息衍射光柵。
23. 一種光盤(pán)裝置,其特征在于,包括 權(quán)利要求1 22中任意一項(xiàng)所述的光拾取裝置; 驅(qū)動(dòng)所述光拾取裝置內(nèi)的所述半導(dǎo)體激光器的激光點(diǎn)亮電路; 使用從所述光拾取裝置內(nèi)的所述光檢測(cè)器檢測(cè)出的信號(hào),生成聚焦誤差信號(hào)、跟蹤誤差信號(hào)的伺服信號(hào)生成電路;和再現(xiàn)光盤(pán)中記錄的信息信號(hào)的信息信號(hào)再現(xiàn)電路。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光拾取裝置和光盤(pán)裝置,在對(duì)層間隔較小的多層光盤(pán)進(jìn)行記錄/再現(xiàn)時(shí),聚焦誤差信號(hào)和跟蹤誤差信號(hào)都不受來(lái)自其它層的雜散光的影響,得到穩(wěn)定的伺服信號(hào)。使用第一、第二衍射光柵分離光束。第一衍射光柵是偏振衍射光柵,搭載在致動(dòng)器上。第二衍射光柵配置在固定部。第一衍射光柵具有包括光束的中心的第一區(qū)域和除此以外的第二區(qū)域,在從光盤(pán)反射的信號(hào)光中,入射到第一區(qū)域的光束發(fā)生衍射,入射到第二區(qū)域的光束直接透過(guò)。第二衍射光柵使在偏振衍射光柵的第一區(qū)域衍射的光束透過(guò),使在第二區(qū)域透過(guò)的光束發(fā)生衍射。
文檔編號(hào)G11B7/09GK102385881SQ20111007859
公開(kāi)日2012年3月21日 申請(qǐng)日期2011年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月3日
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