專利名稱：懸架用基板、懸架、帶磁頭懸架和硬盤驅(qū)動器以及懸架用基板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及懸架(suspension)用基板、懸架、帶磁頭懸架和硬盤驅(qū)動器以及懸架用基板的制造方法，特別涉及在可提高電學(xué)特性的同時使浮動塊(slider)的浮起特性穩(wěn)定的懸架用基板、懸架、帶磁頭懸架和硬盤驅(qū)動器以及懸架用基板的制造方法。
背景技術(shù)：
一般地，硬盤驅(qū)動器(HDD)具備懸架，該懸架安裝有對存儲數(shù)據(jù)的磁盤進行數(shù)據(jù)的寫入和讀取的磁頭浮動塊。該懸架具備懸架用基板，該懸架用基板具有彈性金屬層和在彈性金屬層上通過絕緣層而層疊的多個(例如，4條 6條)的布線，通過使各布線流通電信號，從而對磁盤進行數(shù)據(jù)的寫入或讀取。近年來，要求使傳輸線路高速化、增大信息處理量并且提高處理速度。為此，需要提高阻抗等的基板的電特性。為了應(yīng)對該要求，已知有使一對布線的每一條通過橋路徑而分支(分岔)成為兩個布線部分，將一條布線的布線部分和另一布線的布線部分交替配置的懸架用基板(例如，參照特開平10-124837號公報)。

發(fā)明內(nèi)容
在該特開平10-1M837號公報中所示的橋路徑，跨越另一布線地進行連接。但是， 此類橋路徑通過采用將布線彼此層疊的多層結(jié)構(gòu)而構(gòu)成。因此，存在懸架用基板的層構(gòu)成變得復(fù)雜，且制造工序變得繁雜的問題。于是，為了不增加布線的層數(shù)地構(gòu)成橋路徑，想到使用彈性金屬層的方法。該情況下，將彈性金屬層分離成為主體部分和與主體部分絕緣的島狀的分離部分，將該分離部分用作下層布線，從而可構(gòu)成橋路徑。但是，為了提高對磁盤的數(shù)據(jù)寫入速度，而對多條布線中的一對寫入用布線的阻抗減小的要求變強。因此，為了提高作為硬盤的性能，將一對寫入用布線如上述那樣分支來
交替配置變得重要。然而，一對寫入用布線相對于通過浮動塊的中心的縱向軸線在單側(cè)配置。該情況下，作為寫入用布線的下層布線而使用的島狀的分離部分也相對于該縱向軸線在單側(cè)配置。因此，彈性金屬層成為相對于縱向軸線在一方側(cè)配置的結(jié)構(gòu)，在浮動塊的浮起特性的穩(wěn)定性方面產(chǎn)生問題。本發(fā)明考慮這些方面而完成，其目的是提供可提高電特性并使浮動塊的浮起特性穩(wěn)定的懸架用基板、懸架、帶磁頭懸架和硬盤驅(qū)動器以及懸架用基板的制造方法。
本發(fā)明，作為第一解決手段，提供一種懸架用基板，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，其特征在于，具備絕緣層；彈性材料層，其設(shè)置在絕緣層的一個面且具有導(dǎo)電性；和多條布線，其設(shè)置在絕緣層的另一面，其中，多條布線中的一條布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部，彈性材料層具有彈性材料層主體、和從彈性材料層主體分離且互相分離的第一彈性材料層分離體以及第二彈性材料層分離體，在絕緣層上設(shè)置貫穿該絕緣層的一對導(dǎo)電連接部，該一條布線的一個分割布線部通過一個導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接，其他的分割布線部通過其他的導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接，第一彈性材料層分離體相對于縱向軸線在一側(cè)配置，第二彈性材料層分離體相對于縱向軸線在另一側(cè)配置。再有，在上述第一解決手段中，優(yōu)選的是，第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體相對于縱向軸線互相線對稱地配置。再有，在上述第一解決手段中，優(yōu)選的是，第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體配置在比所安裝的浮動塊更靠前端側(cè)。再有，在上述第一解決手段中，優(yōu)選的是，第一彈性材料層分離體的與縱向軸線相反側(cè)和前端側(cè)、以及第二彈性材料層分離體的與縱向軸線相反側(cè)和前端側(cè)沒有被彈性材料層主體包圍。再有，在上述第一解決手段中，優(yōu)選的是，彈性材料層主體具有支承所安裝的浮動塊的舌部和在舌部的兩側(cè)離間地設(shè)置且沿縱向軸線延伸的一對懸臂梁(outrigger)部，各布線在舌部與各懸臂梁部之間配置，第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體配置在比對應(yīng)的懸臂梁部更靠前端側(cè)。再有，在上述第一解決手段中，優(yōu)選的是，彈性材料層的彈性材料層主體具有支承所安裝的浮動塊的舌部和在舌部的兩側(cè)離間地設(shè)置且沿縱向軸線延伸的一對懸臂梁部，各布線以及第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體相對于對應(yīng)的懸臂梁部在與縱向軸線相反側(cè)配置。再有，在上述第一解決手段中，優(yōu)選的是，第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體沿縱向軸線形成為矩形形狀，在第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體中，與縱向軸線相反側(cè)、且前端側(cè)的角部分別被倒角。本發(fā)明，作為第二解決手段，提供一種懸架用基板，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，其特征在于，具備絕緣層；彈性材料層，其設(shè)置在絕緣層的一個面且具有導(dǎo)電性；和多條布線，其設(shè)置在絕緣層的另一面，其中，多條布線中的一條布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部，彈性材料層具有彈性材料層主體和從彈性材料層主體分離的彈性材料層分離體，在絕緣層上設(shè)置貫穿該絕緣層的一對導(dǎo)電連接部，該一條布線的一個分割布線部通過一個導(dǎo)電連接部與彈性材料層分離體連接，其他的分割布線部通過其他的導(dǎo)電連接部與彈性材料層分離體連接，彈性材料層分離體在縱向軸線上配置。再有，在上述第二解決手段中，優(yōu)選的是，彈性材料層分離體配置在比所安裝的浮動塊更靠前端側(cè)。再有，在上述第二解決手段中，優(yōu)選的是，彈性材料層分離體由彈性材料層主體包圍。再有，在上述第一解決手段和第二解決手段中，優(yōu)選的是，彈性材料層的厚度比布線的厚度大。再有，在上述第一解決手段和第二解決手段中，優(yōu)選的是，該一條布線和另一布線構(gòu)成一對寫入用布線，該另一布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部，該一條布線的分割布線部和該另一布線的分割布線部交替地配置。再有，在上述第一解決手段和第二解決手段中，優(yōu)選的是，多條布線中的一條布線是用于實現(xiàn)所安裝的浮動塊的接地的接地用布線，在絕緣層上設(shè)置有貫穿該絕緣層的一對接地連接部，該接地用布線通過各接地連接部與彈性材料層主體連接，一個接地連接部相對于縱向軸線在一側(cè)配置，另一接地連接部相對于縱向軸線在另一側(cè)與該一個接地連接部線對稱地配置。本發(fā)明，作為第三解決手段，提供一種懸架用基板，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，其特征在于，具備絕緣層；彈性材料層，其設(shè)置在絕緣層的一個面且具有導(dǎo)電性；和多條布線，其設(shè)置在絕緣層的另一面，其中，多條布線中的一條布線是用于實現(xiàn)所安裝的浮動塊的接地的接地用布線，在絕緣層上設(shè)置有貫穿該絕緣層的一對接地連接部，接地用布線通過各接地連接部與彈性材料層連接，一個接地連接部相對于縱向軸線在一側(cè)配置，另一接地連接部相對于縱向軸線在另
一側(cè)配置。再有，在上述第三解決手段中，優(yōu)選的是，一對接地連接部相對于縱向軸線互相線對稱地配置。本發(fā)明提供一種懸架，其特征在于具有上述任一懸架用基板。本發(fā)明提供一種帶磁頭懸架，其特征在于，具有上述任一懸架和在該懸架上安裝的浮動塊。本發(fā)明提供一種硬盤驅(qū)動器，其特征在于，具有上述任一帶磁頭懸架。本發(fā)明，作為第四解決手段，提供一種懸架用基板的制造方法，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，該制造方法的特征在于，具備準(zhǔn)備層疊體的工序，該層疊體具有絕緣層；彈性材料層，其設(shè)置在絕緣層的一個面且具有導(dǎo)電性；和布線材料層，其設(shè)置在絕緣層的另一面；以一條布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部的方式由布線材料層形成多條布線且在各分割布線部形成一對布線通孔的工序；在絕緣層中的與一對布線通孔對應(yīng)的位置形成一對絕緣通孔的工序；在各布線通孔和各絕緣通孔中形成導(dǎo)電連接部的工序；和由彈性材料層形成彈性材料層主體、從彈性材料層主體分離且互相分離的第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體的工序，其中，該一條布線的一個分割布線部通過一個導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接，其他的分割布線部通過其他的導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接，第一彈性材料層分離體相對于縱向軸線在一側(cè)配置，第二彈性材料層分離體相對于縱向軸線在另一側(cè)配置。本發(fā)明，作為第五解決手段，提供一種懸架用基板的制造方法，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，該制造方法的特征在于，具備準(zhǔn)備彈性材料層的工序；在彈性材料層上形成具有一對絕緣通孔的絕緣層的工序；在絕緣層上以一條布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部的方式形成多條布線，且在各絕緣通孔中形成導(dǎo)電連接部的工序；和由彈性材料層形成彈性材料層主體、從彈性材料層主體分離且互相分離的第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體的工序，其中，該一條布線的一個分割布線部通過一個導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接，其他的分割布線部通過其他的導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接，第一彈性材料層分離體相對于縱向軸線在一側(cè)配置，第二彈性材料層分離體相對于縱向軸線在另一側(cè)配置。再有，在上述第四解決手段和第五解決手段中，優(yōu)選的是，第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體相對于縱向軸線互相線對稱地配置。本發(fā)明，作為第六解決手段，提供一種懸架用基板的制造方法，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，該制造方法的特征在于，具備準(zhǔn)備層疊體的工序，該層疊體具有絕緣層；彈性材料層，其設(shè)置在絕緣層的一個面且具有導(dǎo)電性；和布線材料層，其設(shè)置在絕緣層的另一面；以一條布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部的方式由布線材料層形成多條布線且在各分割布線部形成一對布線通孔的工序；在絕緣層中的與一對布線通孔對應(yīng)的位置形成一對絕緣通孔的工序；在各布線通孔和各絕緣通孔中形成導(dǎo)電連接部的工序；和由彈性材料層形成彈性材料層主體、和從彈性材料層主體分離的彈性材料層分離體的工序，其中，該一條布線的一個分割布線部通過一個導(dǎo)電連接部與彈性材料層分離體連接，其他的分割布線部通過其他的導(dǎo)電連接部與彈性材料層分離體連接，彈性材料層分離體在縱向軸線上配置。本發(fā)明，作為第七解決手段，提供一種懸架用基板的制造方法，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，該制造方法的特征在于，具備準(zhǔn)備彈性材料層的工序；在彈性材料層上形成具有一對絕緣通孔的絕緣層的工序；在絕緣層上以一條布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部的方式形成多條布線，且在各絕緣通孔中形成導(dǎo)電連接部的工序；和由彈性材料層形成彈性材料層主體、和從彈性材料層主體分離的彈性材料層分離體的工序，其中，該一條布線的一個分割布線部通過一個導(dǎo)電連接部與彈性材料層分離體連接，其他的分割布線部通過其他的導(dǎo)電連接部與彈性材料層分離體連接，彈性材料層分離體在縱向軸線上配置。根據(jù)上述第一、二、四至七的解決手段，可將多條布線中的一條布線分支而布線， 且可提高縱向軸線兩側(cè)的彈性材料層的形狀的平衡，來提高懸架用基板的空氣阻力平衡和質(zhì)量平衡。因此，可提高電特性且使所安裝的浮動塊的浮起特性穩(wěn)定。根據(jù)上述第三解決手段，用于實現(xiàn)所安裝的浮動塊的接地的接地用布線通過在縱向軸線兩側(cè)配置的一對接地連接部與彈性材料層連接。由此，可使懸架用基板的柔軟性相對于縱向軸線線對稱，且可提高懸架用基板的空氣阻力平衡和質(zhì)量平衡，并使所安裝的浮動塊的浮起特性穩(wěn)定。根據(jù)本發(fā)明，可提高電特性并使浮動塊的浮起特性穩(wěn)定。


圖1是表示本發(fā)明的第一實施方式的懸架用基板的一個實例的俯視圖。圖2是在本發(fā)明的第一實施方式的懸架用基板中表示頭部的放大俯視圖。圖3是圖1的后視圖。圖4是圖2的P部詳細(xì)圖。圖5是圖4的A-A線剖視圖。圖6是表示本發(fā)明的第一實施方式的懸架的一個實例的俯視圖。圖7是表示本發(fā)明的第一實施方式的帶磁頭懸架的一個實例的俯視圖。圖8是表示本發(fā)明的第一實施方式的硬盤驅(qū)動器的一個實例的立體圖。圖9(a) (g)是表示本發(fā)明的第一實施方式的懸架用基板的制造方法的圖。圖10(a) (C)是表示本發(fā)明的第一實施方式的懸架用基板的制造方法的圖。圖11(a)、(b)是表示本發(fā)明的第一實施方式的懸架用基板的制造方法的變形例的圖。圖12(a) (g)是表示本發(fā)明的第一實施方式的懸架用基板的制造方法的另一變形例的圖。圖13是在本發(fā)明的第一實施方式的懸架用基板中表示頭部的第一變形例的放大俯視圖。圖14是在本發(fā)明的第一實施方式的懸架用基板中表示頭部的第二變形例的放大俯視圖。
圖15是在本發(fā)明的第一實施方式的懸架用基板中表示頭部的第三變形例的放大俯視圖。圖16是在本發(fā)明的第二實施方式的懸架用基板中表示頭部的放大俯視圖。圖17是在本發(fā)明的第三實施方式的懸架用基板中表示頭部的放大俯視圖。
具體實施例方式第一實施方式使用圖1至圖10來說明本發(fā)明的第一實施方式的懸架用基板、懸架、帶磁頭懸架和硬盤驅(qū)動器以及懸架用基板的制造方法。如圖1所示，懸架用基板1形成為從所安裝后述的浮動塊72 (參照圖7)的頭部2 延伸到所連接外部連接基板101 (參照圖7)的尾部3，且具有通過所安裝的浮動塊72的中心的直線狀的縱向軸線(X)。在頭部2，設(shè)有與浮動塊72連接的多個磁頭端子5，在尾部3， 設(shè)有與外部連接基板101連接的多個外部設(shè)備連接端子6，磁頭端子5和外部設(shè)備連接端子 6通過后述的多個布線12分別連接。如圖1和圖5所示，懸架用基板1具備絕緣層10、在絕緣層10的一個面設(shè)置且具有導(dǎo)電性的彈性材料層(金屬支承基板)11和在絕緣層10的另一面設(shè)置的多條(例如，六條)布線12。這六條布線12中的兩條布線12構(gòu)成互相相鄰的一對寫入用布線15(第一寫入用布線20和第二寫入用布線25)，且另外的兩條布線12構(gòu)成互相相鄰的一對讀取用布線 16。如圖2和圖4所示，第一寫入用布線(一條布線)20具有從頭部2延伸的第一頭側(cè)布線部21和從該第一頭側(cè)布線部21分支的多條(例如，兩條)第一分割布線部22a、22b。 其中，第一頭側(cè)布線部21在絕緣層10的布線12側(cè)的面上與一個第一分割布線部2 的磁頭側(cè)端部連接。在各第一分割布線部22a、22b的磁頭側(cè)端部，設(shè)有用于形成后述的導(dǎo)電連接部34的磁頭側(cè)布線通孔30 (參照圖5)。此外，第一寫入用布線20還具有延伸到尾部3 的第一尾側(cè)布線部(未圖示)，各第一分割布線部22a、22b在絕緣層10的布線12側(cè)的面上與后述的第二頭側(cè)布線部26和第二分割布線部27a、27b同樣地與第一尾側(cè)布線部連接。第二寫入用布線(另一布線)25具有從頭部2延伸的第二頭側(cè)布線部沈和從該第二頭側(cè)布線部26分支的兩條第二分割布線部27a、27b。各第二分割布線部27a、27b在絕緣層10的布線12側(cè)的面上與第二頭側(cè)布線部沈連接。此外，第二寫入用布線25還具有延伸到尾部3的第二尾側(cè)布線部(未圖示)，各第二分割布線部27a、27b從第二尾側(cè)布線部分支而連接。即，第二尾側(cè)布線部和各第二分割布線部27a、27b的連接結(jié)構(gòu)成為與將第一頭側(cè)布線部21和第一分割布線部22a、22b連接的磁頭側(cè)分支部分同樣的結(jié)構(gòu)。這樣的第一寫入用布線20的各第一分割布線部22a、22b和第二寫入用布線25的各第二分割布線部27a、27b交替地配置。即，在兩個第一分割布線部22a、22b之間，介有一個第二分割布線部27a，在兩個第二分割布線部27a、27b之間，介有一個第一分割布線部 22b。再有，在圖1中，為了使附圖明了，省略了第一寫入用布線20和第二寫入用布線25的詳細(xì)形狀。如圖5所示，在絕緣層10上，設(shè)有貫穿絕緣層10的一對磁頭側(cè)絕緣通孔32。各磁頭側(cè)絕緣通孔32設(shè)置在與第一寫入用布線20的磁頭側(cè)分支部分對應(yīng)的位置(即，與磁頭側(cè)布線通孔30對應(yīng)的位置)。在各磁頭側(cè)布線通孔30和各磁頭側(cè)絕緣通孔32中，設(shè)有貫穿絕緣層10的導(dǎo)電連接部34。如圖2和圖3所示，彈性材料層11具有彈性材料層主體40、和從彈性材料層主體 40分離且互相分離的第一彈性材料層分離體41以及第二彈性材料層分離體42。第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42沿縱向軸線(X)形成為矩形形狀，第一彈性材料層分離體41相對于縱向軸線(X)在一側(cè)配置，第二彈性材料層分離體42相對于縱向軸線(X)在另一側(cè)與第一彈性材料層分離體41線對稱地配置。此外，第一彈性材料層分離體41在與第一寫入用布線20的磁頭側(cè)分支部分對應(yīng)的部分設(shè)置。再有，所謂線對稱當(dāng)然并不是嚴(yán)密地稱為線對稱這一意思，作為包括頭部2側(cè)的懸架用基板1的柔軟性可視為相對于縱向軸線(X)線對稱的程度的誤差的意思使用。如圖2和圖4所示，第一寫入用布線20的一個第一分割布線部2 通過一個導(dǎo)電連接部34與第一彈性材料層分離體41連接，另一第一分割布線部22b通過其他的導(dǎo)電連接部；34與第一彈性材料層分離體41連接。這樣，第一彈性材料層分離體41將各第一分割布線部22a、22b導(dǎo)通連接。再有，第二彈性材料層分離體42與任一布線12都不連接。如圖2和圖3所示，第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42配置在比所安裝的浮動塊72更靠懸架用基板1的前端側(cè)(與尾部3相反側(cè)，圖1至圖3的上側(cè))。 即，第一寫入用布線20的磁頭側(cè)分支部分在比浮動塊72更靠懸架用基板1的前端側(cè)接近該浮動塊72地配置。與之相伴，第二寫入用布線25的磁頭側(cè)分支部分也在比浮動塊72更靠懸架用基板1的前端側(cè)接近該浮動塊72地配置。此外，雖然未圖示，但優(yōu)選第一寫入用布線20和第二寫入用布線25的尾側(cè)分支部分，接近外部設(shè)備連接端子6地配置。由此，可使將各分割布線部22a、22b、27a、27b交替地配置的區(qū)域變長，且可進一步降低一對寫入用布線15的阻抗。彈性材料層主體40具有支承所安裝的浮動塊72的舌部40a和在舌部40a兩側(cè)離間地設(shè)置且沿縱向軸線(X)延伸的一對懸臂梁部40b。舌部40a和各懸臂梁部40b由連接部40c連接。各布線12在舌部40a和各懸臂梁部40b之間配置。即，如圖2所示，在一個 (圖2的右側(cè))懸臂梁部40b的縱向軸線⑴側(cè)(內(nèi)側(cè)，圖2的左側(cè))，配置一對寫入用布線15，在另一(圖2的左側(cè))的懸臂梁部40b的縱向軸線⑴側(cè)(內(nèi)側(cè)，圖2的右側(cè))，配置一對讀取用布線16 (內(nèi)線配置)。另外，第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42在比對應(yīng)的懸臂梁部40b靠前端側(cè)配置。即，第一彈性材料層分離體41的與縱向軸線(X)相反側(cè)(圖2的右側(cè))和前端側(cè)沒有被彈性材料層主體40包圍。同樣地，第二彈性材料層分離體42的與縱向軸線(X)相反側(cè)(圖2的左側(cè))和前端側(cè)沒有被彈性材料層主體40包圍。如圖1所示，在絕緣層10和彈性材料層主體40上，設(shè)有在安裝保持彈性材料層11 的后述的承載梁61時用于在與承載梁61之間進行校準(zhǔn)(對位)的兩個夾具孔38a和38b。 各夾具孔38a、38b在縱向軸線(X)上配置。S卩，該縱向軸線(X)通過各夾具孔38a、38b。在絕緣層10上，如圖5所示，設(shè)有覆蓋各布線12的保護層50。該保護層50具有使各導(dǎo)電連接部34向外方露出的開口部51。由此，各導(dǎo)電連接部34的上表面向外方露出。再有，在圖1至圖4中，為了使附圖明了，省略了保護層50。
再有，如圖9和圖10所示，在絕緣層10和布線12之間，可介有由鎳(Ni)、鉻(Cr) 或它們的合金(可以含有銅)構(gòu)成的金屬薄膜層36。該情況下，可提高絕緣層10和布線 12之間的粘附性。此外，如圖10所示，在各導(dǎo)電連接部34和布線12之間，也可介有通過施行鍍鎳以及鍍金(Au)而形成的鍍層37。其次，對各構(gòu)成部件詳細(xì)描述。作為絕緣層10的材料，只要是具有期望的絕緣性的材料，則沒有特別限定，但是， 優(yōu)選使用例如聚酰亞胺(PI)。再有，絕緣層10的材料可使用感光性材料也可使用非感光性材料。此外，絕緣層10的厚度優(yōu)選為5μπι 30μπι，特別優(yōu)選為5μπι 15μπι。由此，可確保彈性材料層11和各布線12之間的絕緣性能，且防止喪失作為懸架用基板1整體的剛性。各布線12作為用于傳輸電信號的導(dǎo)體而構(gòu)成，作為各布線12的材料，只要是具有期望的導(dǎo)電性的材料，則沒有特別限定，但是，優(yōu)選使用銅(Cu)。除了銅以外，也可使用具有類似于純銅的電特性的材料。這里，各布線12的厚度優(yōu)選為Iym 18 μπι，特別優(yōu)選為 5μπι 12μπι。由此，可確保各布線12的傳輸性能，且防止喪失作為懸架用基板1整體的柔軟性。作為各導(dǎo)電連接部34的材料，只要是具有期望的導(dǎo)電性的材料，則沒有特別限定，但是，可舉出鎳或銅，更優(yōu)選使用鎳。由此，即使在各導(dǎo)電連接部34的露出的上表面按壓導(dǎo)通檢查器(探針)的前端的情況下，也可防止導(dǎo)電連接部34的上表面變形。作為彈性材料層11的材料，只要是具有期望的導(dǎo)電性、彈性力和強度的材料，則沒有特別限定，但是，例如，可使用不銹鋼、鋁、鈹銅或其他的銅合金，優(yōu)選使用不銹鋼。再有，優(yōu)選彈性材料層11的厚度比布線12的厚度大。此外，彈性材料層11的厚度，作為一個實例可設(shè)為10 μ m 30 μ m、特別地設(shè)為15 μ m 25 μ m。作為保護層50的材料，優(yōu)選使用樹脂材料，例如聚酰亞胺。再有，保護層50的材料可使用感光性材料也可使用非感光性材料。保護層50的厚度優(yōu)選為2 μ m 30 μ m。其次，通過圖6來說明本實施方式的懸架61。圖6所示的懸架61，具有上述懸架用基板1 ；和在懸架用基板1的與所安裝后述的浮動塊72 (參照圖7)的面相反側(cè)的面設(shè)置且用于將浮動塊72相對于磁盤83 (參照圖8)保持的承載梁62。其次，通過圖7對本實施方式的帶磁頭懸架71進行說明。圖7所示的帶磁頭懸架 71具有上述懸架61和在懸架用基板1的頭部2安裝的浮動塊72。其次，通過圖8來說明本實施方式的硬盤驅(qū)動器81。圖8所示的硬盤驅(qū)動器81具有殼體82 ；在該殼體82中旋轉(zhuǎn)自如地安裝且存儲數(shù)據(jù)的磁盤83 ；使該磁盤83旋轉(zhuǎn)的主軸電機84 ；和帶磁頭懸架71，其包含設(shè)置成保持期望的浮動高度地接近磁盤83且對磁盤83 進行數(shù)據(jù)的寫入和讀取的浮動塊72。其中，將帶磁頭懸架71相對于殼體82移動自如地安裝，在殼體82中安裝有使帶磁頭懸架71的浮動塊72沿磁盤83上移動的音圈電機85。此外，帶磁頭懸架71通過臂86安裝在音圈電機85上。其次，對具有該構(gòu)成的本實施方式的作用即本實施方式的懸架用基板1的制造方法進行說明。再有，由于第二寫入用布線25的未圖示的第二尾側(cè)布線部和各第二分割布線部27a、27b的連接結(jié)構(gòu)成為與將第一頭側(cè)布線部21和各第一分割布線部22a、22b連接的磁頭側(cè)分支部分同樣的結(jié)構(gòu)，因此在這里省略說明。
首先，準(zhǔn)備層疊體13，該層疊體13具有絕緣層10、在絕緣層10的一個面設(shè)置的具有導(dǎo)電性的彈性材料層11和在絕緣層10的另一面設(shè)置的布線材料層12a。該情況下，首先，準(zhǔn)備彈性材料層11 (參照圖9 (a))，在該彈性材料層11上形成由非感光性材料構(gòu)成的絕緣層10(參照圖9(b))。其次，在絕緣層10上，形成金屬薄膜層 36 (參照圖9 (c))，在該金屬薄膜層36上，形成布線材料層1 (參照圖9 (d))。這里，布線材料層1 可通過電解鍍銅來形成。這樣，可得到層疊體13，該層疊體13具有絕緣層10、 彈性材料層11和布線材料層12a。再有，也可以并不在絕緣層10上形成金屬薄膜層36而是在絕緣層10上形成布線材料層12a，但是，通過介有金屬薄膜層36，可提高絕緣層10和布線材料層12a的粘附性。再有，也可以在絕緣層10上形成粘接劑層(未圖示)而不形成金屬薄膜層36，并通過該粘接劑層來形成布線材料層12a。接著，由層疊體13的布線材料層1 形成多條布線12 ( —對寫入用布線15和一對讀取用布線16)(參照圖9(e))。該情況下，通過照相化學(xué)腐蝕的方法來在布線材料層 1 上形成圖案狀的抗蝕劑(未圖示)，從抗蝕劑的開口部利用氯化鐵水溶液等蝕刻液來將金屬薄膜層36和布線材料層1 蝕刻。這樣，形成一對讀取用布線16和具有上述頭側(cè)布線部21J6及分割布線部22a、22b、27a、27b的寫入用布線20、25，且在各分割布線部22a、 22b、27a、27b形成布線通孔30。然后，除去抗蝕劑。其次，在絕緣層10上，形成覆蓋各布線12的保護層50 (參照圖9 (f))。該情況下， 首先，在絕緣層10上，形成由非感光性材料構(gòu)成的保護層50，在該保護層50上，形成圖案狀的抗蝕劑。其次，從圖案狀的抗蝕劑的開口部，利用有機堿液等蝕刻液來將保護層50蝕刻。 由此，在保護層50上形成開口部51。再有，保護層50的蝕刻也可用等離子蝕刻來進行。然后，除去抗蝕劑。然后，在絕緣層10的與布線通孔30對應(yīng)的位置，形成絕緣通孔32 (參照圖9 (g))。 該情況下，首先，形成圖案狀的抗蝕劑，從圖案狀的抗蝕劑的開口部利用有機堿液等蝕刻液來將絕緣層10蝕刻，在絕緣層10上形成絕緣通孔32。然后，除去抗蝕劑。再有，絕緣層10 的蝕刻也可用等離子蝕刻來進行。其次，在布線通孔30和絕緣通孔32中形成導(dǎo)電連接部34。該情況下，首先，在布線通孔30中，在各分割布線部22a、22b、27a、27b的露出的部分，以寫入用布線20、25為鍍覆用供電層，依次施行鍍鎳和鍍金，形成鍍層37(參照圖10(a))。優(yōu)選該鍍層37與對磁頭端子5和外部設(shè)備連接端子6施行的鍍覆處理同時地進行。由此，可高效地形成鍍層 37。其次，對絕緣通孔32和布線通孔30施行鍍鎳，形成由鎳構(gòu)成的導(dǎo)電連接部34(參照圖 10(b))。該情況下，導(dǎo)電連接部34通過鍍層37與分割布線部22a、22b、27a、27b連接。此外，從保護層50的開口部51，向外方露出導(dǎo)電連接部34的上表面。由此，從已露出的導(dǎo)電連接部；34的上表面，可進行分支的分割布線部22a、22b、27a、27b的斷線檢查。其次，彈性材料層11被分離為彈性材料層主體40 (參照圖2等)和第一彈性材料層分離體41以及第二彈性材料層分離體42(參照圖10(c))。該情況下，在彈性材料層11 上形成圖案狀的抗蝕劑，從該抗蝕劑的開口部利用氯化鐵水溶液等蝕刻液來將彈性材料層 11蝕刻，從而分離為彈性材料層主體40和各彈性材料層分離體41、42。然后，除去抗蝕劑。在這樣得到的懸架用基板1的下表面，安裝承載梁62從而可得到圖6所示的懸架 61。該情況下，使用夾具孔38a、38b和在承載梁61上設(shè)置的夾具孔(未圖示)來進行校準(zhǔn)。在該懸架61的頭部2，安裝浮動塊72從而得到圖7所示的帶磁頭懸架71。該情況下，將浮動塊72的浮動塊襯墊與各布線12連接。再有，該帶磁頭懸架71安裝在硬盤驅(qū)動器81的殼體82中，得到圖8所示的硬盤驅(qū)動器81。在圖8所示的硬盤驅(qū)動器81中進行數(shù)據(jù)的寫入和讀取時，通過音圈電機85來使帶磁頭懸架71的浮動塊72沿磁盤83上移動，保持期望的浮動高度地接近利用主軸電機84 旋轉(zhuǎn)的磁盤83。由此，在浮動塊72和磁盤83之間，進行數(shù)據(jù)的發(fā)送接收。其間，利用在懸架用基板1的頭部2和尾部3之間延伸的各布線12來傳輸電信號。這樣，根據(jù)本實施方式，可將多條布線12中的第一寫入用布線20分支來布置，可提高第一寫入用布線20的電特性。特別地，將從第一寫入用布線20的第一頭側(cè)布線部21 分支的第一分割布線部22a、22b和從第二寫入用布線25的第二頭側(cè)布線部沈分支的第二分割布線部27a、27b交替地配置。由此，可增大第一寫入用布線20和第二寫入用布線25 之間的電容(線間容量)，減小各寫入用布線20、25的阻抗，提高電特性。此外，根據(jù)本實施方式，與第一寫入用布線20的各第一分割布線部22a、22b連接的第一彈性材料層分離體41，相對于通過所安裝的浮動塊72的中心的縱向軸線(X)在一側(cè)配置，第二彈性材料層分離體42相對于縱向軸線(X)在另一側(cè)配置。這樣，可將與布線12 相比面積和質(zhì)量較大的第一彈性材料層分離體41配置成不會相對于縱向軸線(X)偏向一側(cè)，可使彈性材料層U的形狀相對于縱向軸線(X)平衡良好，且使浮動塊72的浮起特性穩(wěn)定。特別地，根據(jù)本實施方式，第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42相對于縱向軸線(X)線對稱地配置，因此可使彈性材料層11的形狀相對于縱向軸線(X)成為線對稱從而提高平衡，且可使懸架用基板1的柔軟性相對于縱向軸線(X)成為線對稱。因此， 可提高懸架用基板1的空氣阻力平衡和質(zhì)量平衡，可使浮動塊72的浮起特性穩(wěn)定。此外，根據(jù)本實施方式，在彈性材料層主體40的各懸臂梁部40b的前端側(cè)，配置第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42，各彈性材料層分離體41、42沒有被彈性材料層主體40包圍。但是，當(dāng)頭部2的前端部的剛性不足時，磁盤83旋轉(zhuǎn)的期間，受到空氣軸承(空氣的氣流)的影響而使浮動塊72的浮起變得不穩(wěn)定。但是，通過如本實施方式那樣設(shè)置第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42，可對該前端部賦予剛性。因此，在使磁盤83旋轉(zhuǎn)的期間，可抑制因受到空氣軸承的影響而使懸架用基板1扭曲， 可使浮動塊72的浮起特性穩(wěn)定。此外，根據(jù)本實施方式，第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42配置在比所安裝的浮動塊72更靠前端側(cè)，第一寫入用布線20和第二寫入用布線25的磁頭側(cè)分支部分接近浮動塊72地配置。該情況下，可延長將各分割布線部22a、22b、27a、27b交替配置的區(qū)域，可進一步減小一對寫入用布線15的阻抗。另外，根據(jù)本實施方式，各第一分割布線部22a、22b通過貫穿絕緣層10的導(dǎo)電連接部34與從彈性材料層主體40分離的第一彈性材料層主體41連接。由此，可避免成為如布線12彼此層疊那樣的多層結(jié)構(gòu)，可將第一分割布線部22a、22b和第二分割布線部27a、 27b交替地配置。因此，可如上述那樣減小阻抗提高電特性，且容易地制造懸架用基板1。該情況下，也能夠減少制造成本。再有，根據(jù)本實施方式，第一寫入用布線20在其磁頭側(cè)分支部分通過第一彈性材料層分離體41而分支，且第二寫入用布線25通過與第一寫入用布線20的磁頭側(cè)分支部分
15同樣的結(jié)構(gòu)來在尾部3側(cè)分支。由此，可同樣地形成第一寫入用布線20和第二寫入用布線 25的路徑，可使阻抗大體相同。還有，根據(jù)本實施方式，彈性材料層11的厚度比布線12的厚度大。該情況下，在頭部2的前端部，設(shè)有比布線12厚的第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42， 因此能夠?qū)υ撉岸瞬抠x予剛性。因此，在使磁盤83旋轉(zhuǎn)的期間，可抑制空氣軸承的影響，使浮起特性穩(wěn)定。再有，根據(jù)本實施方式，從具有彈性材料層11和絕緣層10以及布線材料層1 的層疊體13，將布線材料層1 蝕刻從而通過除去法來形成布線12。由此，可提高各布線12 和絕緣層10之間的粘附性，且可使各布線12的厚度均勻。此外，在將彈性材料層11分離為彈性材料層主體40、第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42之前，對絕緣通孔32和布線通孔30施行鍍鎳從而形成了導(dǎo)電連接部34。因此，在進行鍍鎳時，可將整個彈性材料層11用作鍍覆用供電層，可提高鍍覆的作業(yè)性。還有，在本實施方式中，說明了將第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42相對于縱向軸線(X)互相線對稱地配置的實例。但是，不限于線對稱的配置，也可將第一彈性材料層分離體41相對于縱向軸線(X)配置在一側(cè)，將第二彈性材料層分離體42 相對于縱向軸線(X)配置在另一側(cè)。在該情況下，可提高縱向軸線(X)兩側(cè)的彈性材料層 11的形狀的平衡，可使浮動塊72的浮起特性穩(wěn)定。另外，在本實施方式中，說明了在布線通孔30中各寫入用布線20、25的露出的部分，形成由鍍鎳層或鍍金層構(gòu)成的鍍層37后，對絕緣通孔32和布線通孔30施行鍍鎳從而形成導(dǎo)電連接部34的實例。但是，并不限于此，在各寫入用布線20、25的露出的部分，可不形成鍍層37地將彈性材料層11作為鍍覆用供電層，來對絕緣通孔32和布線通孔30施行鍍鎳以形成導(dǎo)電連接部34(參照圖11(a))。再有，在該情況下，也優(yōu)選在形成導(dǎo)電連接部 34后，如圖11(b)所示，彈性材料層11分離為彈性材料層主體40、第一彈性材料層分離體 41和第二彈性材料層分離體42。再有，在本實施方式中，說明了各寫入用布線20、25具有兩個分割布線部22a、 22b、27a、27b的實例。但是，并不限于此，也可以各寫入用布線20、25具有三個以上的分割布線部，且各第一分割布線部和第二分割布線部交替地配置。該情況下，可進一步增大第一分割布線部20和第二分割布線部25之間的電容，進一步減小各寫入用布線20、25的阻抗。此外，該情況下，各頭側(cè)布線部2146和各分割布線部可用各種方式連接。例如，第一頭側(cè)布線部21可通過單一的第一彈性材料層分離體41與三個以上的分割布線部連接。作為其他方式，可使第一彈性材料層分離體41分離為兩個以上，并將第一頭側(cè)布線部21和各分割布線部連接。例如，也可以在第一頭側(cè)布線部21通過分離的一個彈性材料層分離體連接兩個分割布線部，該兩個分割布線部中的一個分割布線部和第三分割布線部通過已分離的其他彈性材料層分離體來連接。這樣，在使第一彈性材料層分離體41分離的情況下，優(yōu)選第二彈性材料層分離體42也同樣地分離為兩個以上，并將已分離的第一彈性材料層分離體41和已分離的第二彈性材料層分離體42配置成相對于縱向軸線(X)為線對稱。另外，在本實施方式中，說明了從具有彈性材料層11和絕緣層10以及布線材料層 12a的層疊體13，將布線材料層1 蝕刻而通過除去法來形成布線12的實例。但是，并不限于此，也可使用添加法來制作懸架用基板1。該情況下，首先，如圖12(a)所示，準(zhǔn)備彈性材料層11。其次，在彈性材料層11上，形成具有絕緣通孔32的絕緣層10 (參照圖12(b))。該情況下，首先，在彈性材料層11上，形成由非感光性材料構(gòu)成的絕緣層10，在該絕緣層10 上，形成圖案狀的抗蝕劑。其次，從抗蝕劑的開口部，利用有機堿液等蝕刻液來將絕緣層10 蝕刻，在絕緣層10上形成絕緣通孔32。然后，將抗蝕劑除去。接著，在絕緣層10上，形成金屬薄膜層36 (參照圖12 (c))。該情況下，在絕緣通孔 32內(nèi)也形成金屬薄膜層36。其次，在絕緣層10上形成多個布線12( —對寫入用布線15和一對讀取用布線 16)，并且在絕緣通孔32中形成導(dǎo)電連接部34(參照圖12(d))。該情況下，首先，在絕緣層 10上，形成圖案狀的抗蝕劑，在抗蝕劑的開口部，通過電解鍍銅法來形成布線12。此時，在絕緣通孔32中，與寫入用布線20、25 —體地形成導(dǎo)電連接部34。然后，除去抗蝕劑。然后，將金屬薄膜層36中的露出的部分通過蝕刻來除去(參照圖12(e))。其次，在絕緣層10上，形成覆蓋各布線12的保護層50 (參照圖12(f))。該情況下，導(dǎo)電連接部34也被保護層50覆蓋。接著，彈性材料層11分離為彈性材料層主體40 (參照圖2等)和第一彈性材料層分離體41以及第二彈性材料層分離體42 (參照圖12(g))。該情況下，在彈性材料層11上，形成圖案狀的抗蝕劑，從該抗蝕劑的開口部，利用氯化鐵水溶液等蝕刻液來蝕刻彈性材料層11。由此，形成彈性材料層主體40和各彈性材料層分離體41、42。然后，除去抗蝕劑。這樣，根據(jù)圖12所示的方式，可在彈性材料層11上以圖案狀形成絕緣層10，并在該絕緣層10上通過添加法來形成布線12。另外，可與布線12同時地形成導(dǎo)電連接部34， 能夠簡化制造工序。再有，導(dǎo)電連接部34不向外方露出地被保護層50覆蓋。因此，由銅構(gòu)成的導(dǎo)電連接部34可防止腐蝕。此外，在圖12的方式中，說明了絕緣層10由非感光性材料構(gòu)成，形成圖案狀的抗蝕劑，并將絕緣層10通過蝕刻來圖案化成為期望形狀的實例。但是，并不限于此，也可以絕緣層10由感光性材料構(gòu)成，且不形成抗蝕劑地通過曝光、顯影成為圖案狀來而將絕緣層10 圖案化成為期望的形狀。另外，在圖9和圖12所示的方式中，可同樣地由感光性材料形成保護層50。另外，在本實施方式中，說明了如圖2和圖3所示那樣，第一彈性材料層分離體41 的與縱向軸線(X)相反側(cè)(圖2的右側(cè))和前端側(cè)沒有被彈性材料層主體40包圍，第二彈性材料層分離體42的與縱向軸線(X)相反側(cè)(圖2的左側(cè))和前端側(cè)沒有被彈性材料層主體40包圍的實例。但是，并不限于此，第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42也可以被對應(yīng)的懸臂梁部40b包圍。S卩，也可以如圖13所示，彈性材料層主體40的各懸臂梁部40b包圍第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42地與舌部40a 的前端部連接。該情況下，能夠?qū)︻^部2的前端部賦予剛性，在使磁盤83旋轉(zhuǎn)的期間，可進一步抑制受到空氣軸承的影響而使懸架用基板1翹曲的情況。因此，可進一步使浮動塊72 的浮起特性穩(wěn)定。此外，在本實施方式中，說明了各布線12配置在各舌部40a和各懸臂梁部40b之間的實例(內(nèi)線配置)。但是，并不限于此，也可以各布線12以及第一彈性材料層分離體 41和第二彈性材料層分離體42相對于對應(yīng)的懸臂梁部40b在與縱向軸線(X)相反側(cè)配置 (外線配置)。即，也可以如圖14所示，在一個(圖14的右側(cè))懸臂梁部40b的與縱向軸線⑴相反側(cè)(外側(cè)，圖14的右側(cè))配置一對寫入用布線15，且在另一(圖14的左側(cè))懸臂梁部40b的與縱向軸線(X)相反側(cè)(外側(cè)，圖14的左側(cè))配置一對讀取用布線16。在該情況下，第一彈性材料層分離體41的與縱向軸線(X)相反側(cè)(圖14的右側(cè))和前端側(cè)沒有被彈性材料層主體40包圍，第二彈性材料層分離體42的與縱向軸線(X)相反側(cè)(圖14 的左側(cè))和前端側(cè)沒有被彈性材料層主體40的懸臂梁部40b包圍。但是，通常，在成為外線配置的情況下，布線12配置在比懸臂梁部40b更靠與縱向軸線(X)相反側(cè)(外側(cè))，因此頭部2的前端部的剛性下降，受到空氣軸承的影響浮動塊2的浮起容易變得不穩(wěn)定。但是，如圖14所示，第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42相對于對應(yīng)的懸臂梁部40b配置在與縱向軸線(X)相反側(cè)(外側(cè))，因此能夠?qū)︻^部2的前端部賦予剛性。 因此，在使磁盤83旋轉(zhuǎn)期間，可抑制受到空氣軸承的影響而使懸架用基板1翹曲的情況，可使浮動塊72的浮起特性穩(wěn)定。此外，在圖14所示的實例中，能夠增大各布線12和所安裝的浮動塊72之間的距離，能夠減小各布線12的發(fā)熱對浮動塊72的影響。再有，在本實施方式中，如圖15所示，在第一彈性材料層分離體41和第二彈性材料層分離體42中，與縱向軸線(X)相反側(cè)、且前端側(cè)的角部也可以被倒角。即，也可以在第一彈性材料層分離體41中，在圖15的左上側(cè)的角部設(shè)置直線狀的倒角部43，且在第二彈性材料層分離體42中，在圖15的右上側(cè)的角部設(shè)置直線狀的倒角部43。該情況下，優(yōu)選如圖 15所示那樣，絕緣層10的對應(yīng)的角部也同樣地被倒角成直線狀。由此，可減小空氣軸承的影響，能夠使浮動塊72的浮起特性穩(wěn)定。第二實施方式其次，通過圖16來說明本發(fā)明的第二實施方式的懸架用基板。在圖16所示的第二實施方式中，彈性材料層分離體在縱向軸線上配置，該點為主要不同點，其他的構(gòu)成與圖1至圖10所示的第一實施方式大體相同。再有，在圖16中，對與圖1至圖10所示的第一實施方式相同的部分標(biāo)注相同標(biāo)記并省略詳細(xì)說明。在圖16所示的本實施方式中，彈性材料層11具有彈性材料層主體40和從彈性材料層主體40分離的矩形形狀的彈性材料層分離體90。彈性材料層分離體90在縱向軸線 (X)上配置。更具體地講，彈性材料層分離體90的中心軸線(通過一對導(dǎo)電連接部34的線)在縱向軸線⑴上配置。第一寫入用布線20的一個第一分割布線部2 通過一個導(dǎo)電連接部34與彈性材料層分離體90連接，另一第一分割布線部22b通過其他的導(dǎo)電連接部34與彈性材料層分離體90連接。這樣，彈性材料層分離體90導(dǎo)通連接了各第一分割布線部22a、22b。彈性材料層分離體90配置在比所安裝的浮動塊72更靠懸架用基板1的前端側(cè)， 第一寫入用布線20和第二寫入用布線25的磁頭側(cè)分支部分在比浮動塊72更靠懸架用基板1的前端側(cè)接近該浮動塊72地配置。在圖16所示的本實施方式中，與圖14所示的方式同樣地，各布線12相對于對應(yīng)的懸臂梁部40b在與縱向軸線(X)相反側(cè)(外側(cè))配置(外線配置)。另外，彈性材料層分離體90，如圖16所示，在浮動塊72的前端側(cè)被懸臂梁部40b包圍。該情況下，能夠?qū)︻^部2的前端部賦予剛性，在使磁盤83旋轉(zhuǎn)的期間，可進一步抑制受到空氣軸承的影響而使懸架用基板1翹曲的情況。因此，可使浮動塊72的浮起特性進一步穩(wěn)定。這樣，根據(jù)本實施方式，可將多條布線12中的第一寫入用布線20分支而布線，能夠提高第一寫入用布線20的電特性。另外，將從第一寫入用布線20的第一頭側(cè)布線部21 分支的第一分割布線部22a、22b和從第二寫入用布線25的第二頭側(cè)布線部沈分支的第二分割布線部27a、27b交替地配置。這樣，可增大第一寫入用布線20和第二寫入用布線25 之間的電容(線間容量)，減小各寫入用布線20、25的阻抗，提高電特性。此外，根據(jù)本實施方式，與第一寫入用布線20的各第一分割布線部22a、22b連接的彈性材料層分離體90，在通過所安裝的浮動塊72的中心的縱向軸線(X)上配置。由此， 可使彈性材料層11的形狀相對于縱向軸線(X)成為線對稱從而提高平衡，可使懸架用基板 1的柔軟性相對于縱向軸線(X)成為線對稱。因此，可提高懸架用基板1的空氣阻力平衡和質(zhì)量平衡，能夠使浮動塊72的浮起特性穩(wěn)定。第三實施方式其次，通過圖17來說明本發(fā)明的第三實施方式的懸架用基板。在圖17所示的第三實施方式中，接地用布線通過相對于縱向軸線互相線對稱地配置的一對接地連接部與彈性材料層連接，該點為主要不同點，其他構(gòu)成與圖1至圖10所示的第一實施方式大體相同。再有，在圖17中，對與圖1至圖10所示的第一實施方式相同的部分標(biāo)注相同標(biāo)記并省略詳細(xì)說明。如圖17所示，多條布線12中的一條布線12成為用于實現(xiàn)所安裝的浮動塊72的接地的接地用布線91。另外，在絕緣層10上設(shè)有貫穿絕緣層10的一對接地連接部(導(dǎo)電連接部34)92。接地用布線91通過各接地連接部92與彈性材料層11的彈性材料層主體 40 (舌部40a的前端部)連接。再有，在本實施方式中，沒有設(shè)置從彈性材料層主體40分離的彈性材料層分離體。一個接地連接部92相對于縱向軸線(X)在一側(cè)配置，另一接地連接部92相對于縱向軸線(X)在另一側(cè)與該接地連接部92線對稱地配置。這樣，根據(jù)本實施方式，用于實現(xiàn)浮動塊72的接地的接地用布線91通過相對于縱向軸線(X)互相線對稱地配置的一對接地連接部92與彈性材料層11連接。由此，可使懸架用基板1的柔軟性相對于縱向軸線(X)成為線對稱，可提高懸架用基板1的空氣阻力平衡和質(zhì)量平衡，能夠使浮動塊72的浮起特性穩(wěn)定。再有，在本實施方式中，說明了將一對接地連接部92相對于縱向軸線(X)互相線對稱地配置的實例。但是，并不限于此，也可將一個接地連接部92相對于縱向軸線(X)在一側(cè)配置，并將另一接地連接部92相對于縱向軸線(X)在另一側(cè)配置。在該情況下，能夠提高縱向軸線(X)兩側(cè)的懸架用基板1的空氣阻力平衡和質(zhì)量平衡，能夠使浮動塊72的浮起特性穩(wěn)定。以上，對本發(fā)明的實施方式進行了詳細(xì)說明，但是，本發(fā)明的懸架用基板、懸架、帶磁頭懸架和硬盤驅(qū)動器以及懸架用基板的制造方法毫不限于上述實施方式，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍可進行各種變更。例如，在上述第一實施方式或第二實施方式中，也可以如圖17所示的第三實施方式那樣，在與導(dǎo)電連接部34不同的位置相對于縱向軸線(X)互相線對稱地設(shè)置一對接地連接部92，用于實現(xiàn)浮動塊72的接地的接地用布線91通過各接地連接部92與彈性材料層主體40連接。在該情況下，也能夠使懸架用基板1的柔軟性相對于縱向軸線⑴為線對稱， 能夠使浮動塊72的浮起特性穩(wěn)定。
權(quán)利要求
1.一種懸架用基板，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，其特征在于，具備絕緣層；彈性材料層，其設(shè)置在絕緣層的一個面且具有導(dǎo)電性；和多條布線，其設(shè)置在絕緣層的另一面，其中，多條布線中的一條布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部，彈性材料層具有彈性材料層主體、和從彈性材料層主體分離且互相分離的第一彈性材料層分離體以及第二彈性材料層分離體，在絕緣層上設(shè)置有貫穿該絕緣層的一對導(dǎo)電連接部，該一條布線的一個分割布線部通過一個導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接，其他的分割布線部通過其他的導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接，第一彈性材料層分離體相對于縱向軸線在一側(cè)配置，第二彈性材料層分離體相對于縱向軸線在另一側(cè)配置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的懸架用基板，其特征在于，第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體相對于縱向軸線互相線對稱地配置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的懸架用基板，其特征在于，第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體配置在比所安裝的浮動塊更靠前端側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的懸架用基板，其特征在于，第一彈性材料層分離體的與縱向軸線相反側(cè)和前端側(cè)、以及第二彈性材料層分離體的與縱向軸線相反側(cè)和前端側(cè)沒有被彈性材料層主體包圍。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的懸架用基板，其特征在于，彈性材料層主體具有支承所安裝的浮動塊的舌部和在舌部的兩側(cè)離間地設(shè)置且沿縱向軸線延伸的一對懸臂梁部，各布線配置在舌部與各懸臂梁部之間，第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體配置在比對應(yīng)的懸臂梁部更靠前端側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的懸架用基板，其特征在于，彈性材料層的彈性材料層主體具有支承所安裝的浮動塊的舌部和在舌部的兩側(cè)離間地設(shè)置且沿縱向軸線延伸的一對懸臂梁部，各布線以及第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體相對于對應(yīng)的懸臂梁部配置在與縱向軸線相反側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的懸架用基板，其特征在于，第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體沿縱向軸線形成為矩形形狀， 在第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體中，與縱向軸線相反側(cè)、且前端側(cè)的角部分別被倒角。
8.一種懸架用基板，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，其特征在于，具備絕緣層；彈性材料層，其設(shè)置在絕緣層的一個面且具有導(dǎo)電性；和多條布線，其設(shè)置在絕緣層的另一面，其中，多條布線中的一條布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部，彈性材料層具有彈性材料層主體和從彈性材料層主體分離的彈性材料層分離體， 在絕緣層上設(shè)置有貫穿該絕緣層的一對導(dǎo)電連接部，該一條布線的一個分割布線部通過一個導(dǎo)電連接部與彈性材料層分離體連接，其他的分割布線部通過其他的導(dǎo)電連接部與彈性材料層分離體連接， 彈性材料層分離體在縱向軸線上配置。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的懸架用基板，其特征在于，彈性材料層分離體配置在比所安裝的浮動塊更靠前端側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的懸架用基板，其特征在于， 彈性材料層分離體被彈性材料層主體包圍。
11.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的懸架用基板，其特征在于， 彈性材料層的厚度比布線的厚度大。
12.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的懸架用基板，其特征在于， 該一條布線和另一布線構(gòu)成一對寫入用布線，該另一布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部， 該一條布線的分割布線部和該另一布線的分割布線部交替地配置。
13.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的懸架用基板，其特征在于，多條布線中的一條布線是用于實現(xiàn)所安裝的浮動塊的接地的接地用布線， 在絕緣層上設(shè)置有貫穿該絕緣層的一對接地連接部， 該接地用布線通過各接地連接部與彈性材料層主體連接，一個接地連接部相對于縱向軸線配置在一側(cè)，另一接地連接部相對于縱向軸線與該一個接地連接部線對稱地配置在另一側(cè)。
14.一種懸架用基板，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，其特征在于，具備絕緣層；彈性材料層，其設(shè)置在絕緣層的一個面且具有導(dǎo)電性；和多條布線，其設(shè)置在絕緣層的另一面，其中，多條布線中的一條布線是用于實現(xiàn)所安裝的浮動塊的接地的接地用布線， 在絕緣層上設(shè)置有貫穿該絕緣層的一對接地連接部， 接地用布線通過各接地連接部與彈性材料層連接，一個接地連接部相對于縱向軸線配置在一側(cè)，另一接地連接部相對于縱向軸線配置在另一側(cè)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的懸架用基板，其特征在于， 一對接地連接部相對于縱向軸線互相線對稱地配置。
16.一種懸架，其特征在于，具有權(quán)利要求1所述的懸架用基板。
17.—種帶磁頭懸架，其特征在于，具有權(quán)利要求16所述的懸架和安裝于該懸架的浮動塊。
18.—種硬盤驅(qū)動器，其特征在于，具有權(quán)利要求17所述的帶磁頭懸架。
19.一種懸架用基板的制造方法，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，該制造方法的特征在于，具備準(zhǔn)備層疊體的工序，該層疊體具有絕緣層；彈性材料層，其設(shè)置在絕緣層的一個面且具有導(dǎo)電性；和布線材料層，其設(shè)置在絕緣層的另一面；以一條布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部的方式由布線材料層形成多條布線且在各分割布線部形成一對布線通孔的工序； 在絕緣層中的與一對布線通孔對應(yīng)的位置形成一對絕緣通孔的工序； 在各布線通孔和各絕緣通孔中形成導(dǎo)電連接部的工序；和由彈性材料層形成彈性材料層主體、和從彈性材料層主體分離且互相分離的第一彈性材料層分離體以及第二彈性材料層分離體的工序，其中，該一條布線的一個分割布線部通過一個導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接，其他的分割布線部通過其他的導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接，第一彈性材料層分離體相對于縱向軸線配置在一側(cè)，第二彈性材料層分離體相對于縱向軸線配置在另一側(cè)。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的懸架用基板的制造方法，其特征在于，第一彈性材料層分離體和第二彈性材料層分離體相對于縱向軸線互相線對稱地配置。
21.一種懸架用基板的制造方法，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，該制造方法的特征在于，具備準(zhǔn)備彈性材料層的工序；在彈性材料層上形成具有一對絕緣通孔的絕緣層的工序；在絕緣層上以一條布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部的方式形成多條布線，且在各絕緣通孔中形成導(dǎo)電連接部的工序；和由彈性材料層形成彈性材料層主體、和從彈性材料層主體分離且互相分離的第一彈性材料層分離體以及第二彈性材料層分離體的工序，其中，該一條布線的一個分割布線部通過一個導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接，其他的分割布線部通過其他的導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接，第一彈性材料層分離體相對于縱向軸線配置在一側(cè)，第二彈性材料層分離體相對于縱向軸線配置在另一側(cè)。
22.一種懸架用基板的制造方法，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，該制造方法的特征在于，具備準(zhǔn)備層疊體的工序，該層疊體具有絕緣層；彈性材料層，其設(shè)置在絕緣層的一個面且具有導(dǎo)電性；和布線材料層，其設(shè)置在絕緣層的另一面；以一條布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部的方式由布線材料層形成多條布線且在各分割布線部形成一對布線通孔的工序； 在絕緣層中的與一對布線通孔對應(yīng)的位置形成一對絕緣通孔的工序； 在各布線通孔和各絕緣通孔中形成導(dǎo)電連接部的工序；和由彈性材料層形成彈性材料層主體、和從彈性材料層主體分離的彈性材料層分離體的工序，其中，該一條布線的一個分割布線部通過一個導(dǎo)電連接部與彈性材料層分離體連接，其他的分割布線部通過其他的導(dǎo)電連接部與彈性材料層分離體連接， 彈性材料層分離體在縱向軸線上配置。
23. 一種懸架用基板的制造方法，該懸架用基板從所安裝浮動塊的頭部延伸到所連接外部連接基板的尾部，并具有通過所安裝的浮動塊的中心的直線狀的縱向軸線，該制造方法的特征在于，具備準(zhǔn)備彈性材料層的工序；在彈性材料層上形成具有一對絕緣通孔的絕緣層的工序；在絕緣層上以一條布線具有從頭部延伸的頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部的方式形成多條布線，且在各絕緣通孔中形成導(dǎo)電連接部的工序；和由彈性材料層形成彈性材料層主體、和從彈性材料層主體分離的彈性材料層分離體的工序，其中，該一條布線的一個分割布線部通過一個導(dǎo)電連接部與彈性材料層分離體連接，其他的分割布線部通過其他的導(dǎo)電連接部與彈性材料層分離體連接， 彈性材料層分離體在縱向軸線上配置。
全文摘要
本發(fā)明涉及的懸架用基板具備絕緣層、彈性材料層和多條布線，多條布線中的一條布線具有頭側(cè)布線部和從頭側(cè)布線部分支的多個分割布線部。彈性材料層具有彈性材料層主體、和第一彈性材料層分離體以及第二彈性材料層分離體。該一條布線的分割布線部通過貫穿絕緣層的一對導(dǎo)電連接部與第一彈性材料層分離體連接。第一彈性材料層分離體相對于縱向軸線配置在一側(cè)，第二彈性材料層分離體相對于縱向軸線配置在另一側(cè)。
文檔編號G11B5/48GK102568495SQ20111044786
公開日2012年7月11日 申請日期2011年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月28日
發(fā)明者三浦陽一 申請人:大日本印刷株式會社