具有分隔接觸的磁性疊層的制作方法
【專利摘要】本申請公開了具有分隔接觸的磁性疊層。根據(jù)一些實(shí)施例，可構(gòu)造一種用于二維讀取的裝置，其具有分別被配置成配合于數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)的毗鄰數(shù)據(jù)軌道的數(shù)個磁性疊層。每個磁性疊層可被設(shè)置在頂屏蔽和底屏蔽之間，同時每個屏蔽被分段成數(shù)個接觸，其數(shù)目不同于磁性疊層的數(shù)目。
【專利說明】具有分隔接觸的磁性疊層
[0001]概要
[0002]本公開的各實(shí)施例總地涉及能夠進(jìn)行二維數(shù)據(jù)感測的磁性傳感器。
[0003]根據(jù)一些實(shí)施例，數(shù)個磁性疊層可分別被配置成配合于數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)的毗鄰數(shù)據(jù)軌道。每個磁性疊層可被設(shè)置在頂屏蔽和底屏蔽之間，同時每個屏蔽被分段成數(shù)個接觸，其數(shù)目不同于磁性疊層的數(shù)目。
[0004]附圖簡述
[0005]圖1是數(shù)據(jù)存儲設(shè)備的示例性部分的框圖表示。
[0006]圖2給出根據(jù)實(shí)施例的在圖1中示出的數(shù)據(jù)存儲設(shè)備的一部分的俯視框圖表示。
[0007]圖3示出能在圖1的數(shù)據(jù)存儲設(shè)備中使用的示例性數(shù)據(jù)傳感器的一部分的示例框圖表示。
[0008]圖4示出根據(jù)各實(shí)施例構(gòu)造的示例性讀傳感器的一部分的框圖表示。
[0009]圖5示出根據(jù)各實(shí)施例構(gòu)造的示例性磁性元件的一部分的軸測圖。
[0010]圖6示出構(gòu)造成能在圖1的數(shù)據(jù)存儲設(shè)備中使用的示例性二維數(shù)據(jù)讀傳感器的俯視圖。
[0011]圖7是根據(jù)各個實(shí)施例構(gòu)造和運(yùn)作的示例性數(shù)據(jù)讀傳感器的示意圖。
[0012]圖8繪出來自示例性二維數(shù)據(jù)傳感器的性能數(shù)據(jù)。
[0013]圖9是根據(jù)各實(shí)施例執(zhí)行的讀傳感器制造例程的流程圖。
[0014]詳細(xì)描述
[0015]數(shù)據(jù)存儲產(chǎn)業(yè)不斷涌現(xiàn)出的方面已不斷地爭取具有更高的數(shù)據(jù)容量和更快的數(shù)據(jù)存取的設(shè)備。隨著旋轉(zhuǎn)的記錄介質(zhì)的數(shù)據(jù)軌道變得更小以適應(yīng)更大的數(shù)據(jù)容量，數(shù)據(jù)讀取和編程錯誤——例如側(cè)軌讀取和干擾——可能有害地影響信號保真度。二維磁記錄(TDMR)的使用可恢復(fù)信號保真度而無需額外的數(shù)據(jù)介質(zhì)革新，所述TDMR采用多數(shù)據(jù)軌道編碼，隨后通過讀取多個數(shù)據(jù)軌道而對其進(jìn)行解碼。然而，更小形狀因數(shù)的數(shù)據(jù)存儲設(shè)備已將越來越多的重點(diǎn)放在提供具有精確的對準(zhǔn)和互連的多個數(shù)據(jù)傳感器。因此，業(yè)界嘗試提供具有準(zhǔn)確的對準(zhǔn)和互連的二維數(shù)據(jù)傳感器，該二維數(shù)據(jù)傳感器能以減小的形狀因數(shù)構(gòu)造。
[0016]因此，數(shù)個磁性疊層可分別被配置成配合于數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)的毗鄰數(shù)據(jù)軌道，其中每個磁性疊層被設(shè)置在頂屏蔽和底屏蔽之間，而至少一個屏蔽被分段成數(shù)個接觸，其數(shù)目小于磁性疊層的數(shù)目。這種接觸配置可被調(diào)整以使接觸電氣分隔以實(shí)現(xiàn)二維數(shù)據(jù)感測。電接觸的減少使生產(chǎn)時間和精度減小，尤其是在形狀因數(shù)減小的環(huán)境下，因?yàn)榻佑|橫跨多個磁性疊層并具有較少的電氣隔絕溝隙。
[0017]盡管可利用多個數(shù)據(jù)傳感器以在數(shù)個數(shù)據(jù)存儲環(huán)境中讀和寫數(shù)據(jù)，然而圖1總地示出數(shù)據(jù)存儲設(shè)備的示例性數(shù)據(jù)換能部分100。在可將各實(shí)施例投入實(shí)踐的環(huán)境中示出了換能部分100。然而要理解，本公開的各實(shí)施例不受這種環(huán)境的限制并可實(shí)現(xiàn)以通過多個數(shù)據(jù)傳感器執(zhí)行二維數(shù)據(jù)存取。
[0018]圖1所示數(shù)據(jù)存儲設(shè)備的換能部分100具有致動組件102，該致動組件102將換能頭104定位在存在于磁性存儲介質(zhì)108上的經(jīng)編程數(shù)據(jù)位106之上。存儲介質(zhì)108被附接至主軸馬達(dá)110，該主軸馬達(dá)110在使用過程中旋轉(zhuǎn)以產(chǎn)生空氣承載表面(ABS) 112，在ABSl 12上面，致動組件102的滑塊部分114飛行以將包括換能頭104的頭萬向架組件(HGA)116定位在介質(zhì)108的合需部分之上。
[0019]換能頭104可包括一個或多個換能元件，例如磁寫入器和/或磁響應(yīng)性讀取器，它們工作以分別進(jìn)行編程和從存儲介質(zhì)108讀取數(shù)據(jù)。如此，致動組件102的受控制運(yùn)動導(dǎo)致?lián)Q能器與在存儲介質(zhì)表面上定義的數(shù)據(jù)軌道(未示出)的對準(zhǔn)，以寫入、讀取和重寫數(shù)據(jù)。
[0020]圖2示出能用于圖1的換能部分100中的數(shù)據(jù)感測組件120的俯視圖。數(shù)據(jù)換能組件120的致動部分122被配置成具有至少滑塊124和負(fù)載梁126，該負(fù)載梁126用關(guān)節(jié)連接以提供對數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)130的各個數(shù)據(jù)軌道128的存取。如圖所示，致動部分122的旋轉(zhuǎn)能修正滑塊124相對于數(shù)據(jù)軌道128的角取向，這可被稱為部分122的歪斜角。
[0021]隨著數(shù)據(jù)軌道128由于數(shù)據(jù)存儲容量的增加而變得越來越小，在滑塊124上對準(zhǔn)多個數(shù)據(jù)傳感器的精確度變得非常重要。在數(shù)據(jù)傳感器同時從牽涉到不同歪斜角的毗鄰數(shù)據(jù)軌道128讀數(shù)據(jù)的情形下，多個數(shù)據(jù)傳感器的對準(zhǔn)因?yàn)槎S數(shù)據(jù)讀取而進(jìn)一步被強(qiáng)調(diào)。也就是說，因此較小的數(shù)據(jù)軌道128與增加的滑塊124圍長的組合由于存在多個換能元件可能導(dǎo)致數(shù)據(jù)軌道128和滑塊124對于各種歪斜角的不對準(zhǔn)。因此，用盡可能小的多個數(shù)據(jù)換能元件構(gòu)造滑塊124允許用于減小的形狀因數(shù)環(huán)境中，但數(shù)據(jù)傳感器對準(zhǔn)的難度也隨之增大。
[0022]圖3示出能被用于圖1的數(shù)據(jù)存儲設(shè)備以提供二維數(shù)據(jù)存取的數(shù)據(jù)元件140的一部分的俯視圖。數(shù)據(jù)元件140具有對稱地繞樞轉(zhuǎn)點(diǎn)144定位的多個讀傳感器142，該樞轉(zhuǎn)點(diǎn)144充當(dāng)數(shù)據(jù)元件140的旋轉(zhuǎn)中心。該讀傳感器142繞作為中心的樞轉(zhuǎn)點(diǎn)144的配置允許同時主動使用每個讀傳感器142以對不同數(shù)據(jù)軌道上的數(shù)據(jù)位進(jìn)行并發(fā)存取，這些數(shù)據(jù)位可被處理以增加讀回數(shù)據(jù)率。
[0023]讀傳感器142繞樞轉(zhuǎn)點(diǎn)144的對稱的取向允許多種不受限制的配置以適應(yīng)多個數(shù)據(jù)軌道的并發(fā)存取，不管數(shù)據(jù)軌道節(jié)距146如何。多個實(shí)施例將遠(yuǎn)端讀傳感器142和樞轉(zhuǎn)點(diǎn)之間的距離148配置成與數(shù)據(jù)軌道節(jié)距146相同，而一些實(shí)施例將每個讀傳感器142大致定位在軌道節(jié)距146背離側(cè)向毗鄰傳感器的半程處，該位置對應(yīng)于從每個讀傳感器142至軌道節(jié)距146的邊緣的距離150，大致為軌道節(jié)距146的1/4。其它實(shí)施例可進(jìn)一步將讀傳感器142中的一者或全部配置成具有大約一半軌道節(jié)距146的縱長度152。
[0024]由于每個傳感器142在越界到毗鄰數(shù)據(jù)軌道上之前沿同一軸154行進(jìn)的側(cè)向公差量，讀傳感器142相對樞轉(zhuǎn)點(diǎn)144的位置可使每個傳感器142僅存取一個數(shù)據(jù)軌道而不管歪斜角如何。盡管用與不同數(shù)據(jù)軌道對準(zhǔn)的多個數(shù)據(jù)傳感器142配置數(shù)據(jù)元件140可能是容易的，然而這一元件140的實(shí)際構(gòu)造可能遇上許多困難，這些困難至少部分地源自每個讀傳感器相對于微米級數(shù)據(jù)軌道的精確尺寸和位置。特殊的困難是用于多個讀傳感器142的電氣互連的構(gòu)造和操作。也就是說，與每個讀傳感器142電氣隔絕的連接可大為增加制造時間和成本，同時減少讀傳感器可靠性。
[0025]因此，數(shù)據(jù)讀取器可如圖4的示例性磁性元件160那樣構(gòu)造以提供多個磁性疊層162的準(zhǔn)確對準(zhǔn)和電氣隔絕而不會過度地增加制造時間或成本。如圖4所示，多個磁性疊層162可分別被配置成“三層”傳感器，該“三層”傳感器具有由非磁性間隔層166分隔的第一和第二磁性自由層164。這樣的三層傳感器配置可使前緣屏蔽168和后緣屏蔽170之間具有減小的間距，因?yàn)闆]有固定的磁性層或結(jié)構(gòu)被直接耦合至磁性疊層162。
[0026]盡管分隔的磁性疊層162沿共同側(cè)向平面的對準(zhǔn)可能是困難的，尤其是在形狀因數(shù)減小的環(huán)境中，然而磁性元件160能通過形成單個細(xì)長的分層(該分層隨后通過溝槽172被劃分成多個相應(yīng)的磁性疊層162)來規(guī)避磁性疊層162的對準(zhǔn)。形成溝槽172的尺寸、位置和方式不受限制并且可被配置成適應(yīng)任何數(shù)量的磁性疊層162，所述磁性疊層162與毗鄰疊層162具有有限的或完全的物理分隔。在圖4所示實(shí)施例中，每個溝槽連續(xù)地延伸過非磁性間隔層166和兩個磁性自由層164中的一個，使得底部自由層164的一部分與毗鄰磁性疊層162物理接觸。
[0027]這種物理接觸可提供磁性疊層162之間的可靠對準(zhǔn)而不會影響所連接的自由層166的獨(dú)立磁性操作。磁性疊層162的側(cè)向?qū)?zhǔn)提供了使用共同屏蔽168、170的機(jī)會，但也在電氣隔絕相應(yīng)的磁性疊層162方面產(chǎn)生困難。因此，每個屏蔽168、170被配置有電氣溝槽174，該電氣溝槽174物理和電氣地分隔各屏蔽168、170的各個部分以引導(dǎo)電流以預(yù)定的模式流過磁性疊層162。例如，電氣溝槽174可誘使讀電流通過每個磁性疊層，就像這些疊層162是串聯(lián)的或者這些疊層162是并聯(lián)的那樣。
[0028]盡管電氣溝槽174的數(shù)目、尺寸和制造不僅限于特定設(shè)計，但各實(shí)施例在屏蔽168、170中的一者或兩者中形成電氣溝槽174，該電氣溝槽174產(chǎn)生數(shù)個電接觸部分176，其數(shù)目小于磁性疊層162的數(shù)目。也就是說，后緣屏蔽170可保留作為直接接觸每個磁性疊層162的單個連續(xù)電接觸或通過電氣溝槽174被分割成兩個分隔的電接觸。通過電氣溝槽174的形成將屏蔽168、170配置成不同數(shù)量電接觸176的能力允許最少的制造加工以由于多個電接觸176提供每個磁性疊層162的獨(dú)立操作。
[0029]能理解，圖4所示的電氣溝槽174設(shè)計將提供三個磁性疊層162的獨(dú)立操作所需的電接觸176的數(shù)目從6減小至4。屏蔽168、170的電接觸部分176的增加尺寸進(jìn)一步通過溝槽174相對簡單的布圖蝕刻提供可靠的磁性疊層162互連，與電接觸176對應(yīng)于每個磁性疊層162的更準(zhǔn)確尺寸設(shè)計相反。
[0030]由于電接觸176數(shù)目的如此減小，通過每個磁性疊層162的獨(dú)立數(shù)據(jù)位檢測可通過后繼的處理(例如通過控制器)來執(zhí)行。一些實(shí)施例用如圖5的示例性示意圖中所示的三個磁性疊層執(zhí)行獨(dú)立的數(shù)據(jù)位檢測。如圖所示，磁性元件180可具有類似圖4所示結(jié)構(gòu)構(gòu)造的三個磁性疊層182、184和186，其中在四個分隔的電接觸188、190、192和194中分別在前緣屏蔽和后緣屏蔽內(nèi)形成有額外的電氣溝槽。
[0031]各實(shí)施例可將因變于每個磁性疊層182、184和186的零場阻抗的偏置電流引入到一個或多個電接觸188、190、192和194。在相應(yīng)電接觸處的電流則可因變于組合的偏置電流。例如，在第二磁性疊層184處的電流可以是來自接觸190、192的總計偏置電流，而第一磁性疊層182處的電流僅為來自接觸188的偏置電流。這種偏置可允許通過電接觸之間的電壓差獨(dú)立地檢測出各磁性疊層中的電壓變化，所述電壓差例如是排它地從第二磁性疊層184提供數(shù)據(jù)信號的接觸190、192之間的電壓差。
[0032]然而，磁性疊層的電絕緣不一定非要對應(yīng)于磁性層的物理分隔。圖6示出示例性磁性元件200，其被配置成即使具有單個連續(xù)的磁性分層202也提供多個獨(dú)立的數(shù)據(jù)信號。分層202可被配置成如圖所示的三層讀傳感器，或能檢測磁性位的任何類型的磁阻分層。圖6的三層設(shè)計具有由非磁性間隔層206分隔的磁性敏感自由層204。
[0033]磁性分層202沒有物理分隔不意味著自由層204的不同部分無法具有不同的磁取向，例如與不同數(shù)據(jù)軌道的數(shù)據(jù)位對應(yīng)的取向。因此，磁性分層202橫跨多個數(shù)據(jù)軌道的定位可提供通過多個電接觸208同時獲得的多個數(shù)據(jù)位信號，這些電接觸208是通過用溝槽212物理地分隔至少一個屏蔽210來形成的。
[0034]兩個磁屏蔽210、214中僅一個的分隔可避免在通過并行電流微分法提供多信號的高效信號處理的同時對準(zhǔn)和分隔多個磁性疊層的困難。應(yīng)當(dāng)注意，各實(shí)施例在兩屏蔽210,214內(nèi)形成溝槽212以使磁性分層202與數(shù)目不同于物理分離的磁性疊層的數(shù)目的數(shù)個電接觸208接觸。
[0035]由于溝槽212的形成，各實(shí)施例進(jìn)一步形成溝槽側(cè)壁216，該溝槽側(cè)壁216可調(diào)節(jié)磁性疊層的電隔絕和同時操作。溝槽側(cè)壁216不僅限于特定的形狀，而可以是根據(jù)一些實(shí)施例的正交、非正交的直線形或曲線形。
[0036]轉(zhuǎn)向圖7,圖7示出根據(jù)各實(shí)施例的示例磁性元件220的俯視框圖表示。元件220被配置有三個磁性疊層222、224和226，其每一個至少部分地物理分隔并位于偏磁體228和空氣承載表面(ABS)之間。偏磁體228可被配置成一個或許多組件，所述組件通過提供預(yù)定量的磁通在每個磁性疊層222、224和226中誘導(dǎo)出默認(rèn)的磁化。
[0037]盡管偏磁體228可被分段成分離的多個部分，然而橫跨磁元件220的偏置寬度230和在磁性疊層222、224和226之后的偏置長度232連續(xù)延伸的連續(xù)偏磁體的形成能提供比將單獨(dú)的磁體用于各疊層的情形更為均一的偏磁化的作用。磁性疊層222、224和226之間的分隔間隙234可對應(yīng)于隔離溝槽(例如圖4的溝槽172)的形狀和尺寸。
[0038]在一些實(shí)施例中，分隔間隙234被調(diào)諧以提供預(yù)定的數(shù)據(jù)信號響應(yīng)。也就是說，電流可以根據(jù)分隔間隙234的尺寸改變的方式流過各電接觸。留意經(jīng)調(diào)整的分隔間隙234，圖8繪出與關(guān)于分離的磁性疊層或連續(xù)的磁性分層的橫道位置的36nm分隔間隙對應(yīng)的示例性數(shù)據(jù)信號強(qiáng)度。實(shí)線240和虛線242分別示出溝槽分隔電接觸的尺寸如何能確定多個磁性傳感器的橫道分辨率，不管這些傳感器是否物理分隔的。
[0039]圖9提供根據(jù)各實(shí)施例執(zhí)行的示例性數(shù)據(jù)元件制造例程260。一開始，例程260在步驟262設(shè)計具有數(shù)個磁性疊層和不同數(shù)目的電接觸的磁性元件。如圖4和圖6所示，電接觸的數(shù)目可小于或大于電氣或物理分隔的磁性疊層的數(shù)目。
[0040]數(shù)個磁性疊層和電接觸從步驟262通往步驟264，在步驟264中，在沒有溝槽的單個電接觸內(nèi)或在具有與溝槽側(cè)壁成角度或正交的溝槽形狀的一個以上電接觸內(nèi)形成前緣屏蔽。步驟266接著沉積一磁性分層，例如三層分層，所述三層分層與前緣屏蔽的一個或多個電接觸對準(zhǔn)。然后判斷268確定磁性分層是被物理分隔還是僅被電氣分隔成多個磁性疊層。盡管不需要，可進(jìn)一步作出判斷268，即物理溝槽是否延伸過磁性分層的諸個層中的一些或全部。
[0041]如果溝槽物理地將磁性分層分隔成多個獨(dú)立磁性疊層，則步驟270去除磁性分層的多個部分以形成具有側(cè)壁(包括矩形、帶角或彎曲的側(cè)壁)的溝槽。在磁性疊層物理分隔結(jié)束時或在根據(jù)判斷268將沒有溝槽形成的情況下，步驟272隨后沉積后緣屏蔽，該后緣屏蔽與或者作為單個電接觸或者作為通過以具有矩形、成角度或彎曲的側(cè)壁的溝槽形式去除后緣屏蔽材料形成的多個電接觸的磁性疊層對準(zhǔn)。[0042]隨著在步驟272結(jié)束時出現(xiàn)不同數(shù)量的電接觸和磁性疊層，因此步驟274可隨后在各電接觸之間形成電氣互連以允許磁性疊層的獨(dú)立操作。最后，步驟276將具有多個磁性疊層的磁性元件組裝到頭萬向架組件(HGA)上，該HGA可選擇性地將磁性疊層與數(shù)據(jù)介質(zhì)的毗鄰數(shù)據(jù)軌道對準(zhǔn)地定位以提供二維數(shù)據(jù)感測。
[0043]可以理解，例程260可制造具有多種配置的數(shù)據(jù)元件，該數(shù)據(jù)元件被調(diào)整以并發(fā)地從不同數(shù)據(jù)軌道讀取數(shù)據(jù)。然而，例程260不受圖9所示的步驟和判決限制，這些步驟和判決可被省去、改變和添加。例如，可在步驟272中形成后緣屏蔽之前緊鄰磁性分層地形成偏磁體。
[0044]本公開中描述的數(shù)據(jù)元件的磁性疊層和電接觸的各種結(jié)構(gòu)性配置允許至少二維的磁性讀取和由于從不同數(shù)據(jù)軌道同時讀取數(shù)據(jù)位造成的毗鄰軌道干擾消除。此外，調(diào)整電接觸和磁性疊層的數(shù)目的能力允許高效制造和與選擇的環(huán)境狀況對應(yīng)的元件操作，例如數(shù)據(jù)軌道節(jié)距和數(shù)據(jù)傳輸率。另外，盡管各個實(shí)施例已指向磁性感測，但應(yīng)當(dāng)理解，所要求保護(hù)的技術(shù)容易利用在任意數(shù)量的其他應(yīng)用中，例如數(shù)據(jù)編程。
[0045]將理解，盡管在先前描述中連同各實(shí)施例的結(jié)構(gòu)和功能的細(xì)節(jié)一起闡述了本公開的各實(shí)施例的許多特性，但是此詳細(xì)描述僅僅是示例性的，并且可以在細(xì)節(jié)上作出修改，尤其在由表達(dá)所附權(quán)利要求的術(shù)語的寬泛的一般含義所指示的盡可能范圍內(nèi)在本公開的原理內(nèi)對部件的結(jié)果和布置的諸方面作出修改。例如，在不偏離本發(fā)明技術(shù)的精神和范圍的情況下，特定元件可以取決于特定應(yīng)用而變化。
【權(quán)利要求】
1.一種裝置，包括分別被配置成配合于數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)的毗鄰數(shù)據(jù)軌道的數(shù)個磁性疊層，每個磁性疊層被設(shè)置在前緣和后緣屏蔽之間，至少一個屏蔽被分段成數(shù)個接觸，所述接觸的數(shù)目不同于磁性疊層的數(shù)目，所述接觸被電氣分隔以實(shí)現(xiàn)二維數(shù)據(jù)感測。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述磁性疊層的數(shù)目小于所述電接觸的數(shù)目。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述磁性疊層的數(shù)目大于所述電接觸的數(shù)目。
4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，每個磁性疊層是三層傳感器，所述三層傳感器包括多個磁性自由層但沒有固定的磁性基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述前緣屏蔽和后緣屏蔽中的至少一個橫跨所述數(shù)個磁性疊層連續(xù)地延伸。
6.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述前緣屏蔽和后緣屏蔽中的至少一個被至少一個溝槽物理地分隔成多個電接觸部分。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述至少一個溝槽具有以非正交角形成的側(cè)壁。
8.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述至少一個溝槽具有形成為連續(xù)彎曲的側(cè)壁。
9.如權(quán)利要求1所 述的裝置，其特征在于，所述至少一個電接觸跨過多個磁性疊層。
10.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，每個磁性疊層被定位在空氣承載表面(ABS)上。
11.一種磁性元件，包括數(shù)個磁性疊層，所述磁性疊層的數(shù)目不同于從毗鄰所述數(shù)個磁性疊層的屏蔽分段出的電接觸的數(shù)目。
12.如權(quán)利要求11所述的磁性元件，其特征在于，偏磁體橫跨每個磁性疊層連續(xù)地延伸，與空氣承載表面(ABS)相對。
13.如權(quán)利要求11所述的磁性元件，其特征在于，至少一個電接觸的尺寸被設(shè)計成橫跨單個磁性疊層。
14.如權(quán)利要求11所述的磁性元件，其特征在于，所述多個磁性疊層由單個連續(xù)的磁性分層形成。
15.如權(quán)利要求11所述的磁性元件，其特征在于，每個讀傳感器被定位以同時地從毗鄰數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)上的毗鄰數(shù)據(jù)軌道存取用戶數(shù)據(jù)。
16.如權(quán)利要求11所述的磁性元件，其特征在于，所述數(shù)個磁性疊層被配置成執(zhí)行二維數(shù)據(jù)感測。
17.如權(quán)利要求11所述的磁性元件,其特征在于,每個磁性疊層通過溝槽與毗鄰的磁性疊層物理地分隔開。
18.如權(quán)利要求11所述的磁性元件，其特征在于，每個磁性疊層包括多個層，所述溝槽延伸通過所述多個磁性層中的一些，但不是全部。
19.一種換能頭，包括: 設(shè)置在空氣承載表面(ABS)上的前緣屏蔽和后緣屏蔽之間的數(shù)個磁性疊層；以及 提供數(shù)目與磁性疊層數(shù)目不同的數(shù)個電接觸的裝置。
20.如權(quán)利要求 19所述的換能頭，其特征在于，所述裝置包括延伸過所述前緣屏蔽和后緣屏蔽中的至少一個的物理溝槽。
【文檔編號】G11B5/60GK103632684SQ201310368249
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月22日
【發(fā)明者】H·S·埃德爾曼, V·B·薩波日尼克, M·S·U·帕特瓦里 申請人:希捷科技有限公司