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一種電荷泵電路的制作方法

文檔序號(hào):12888620閱讀:293來源:國(guó)知局
一種電荷泵電路的制作方法與工藝
本發(fā)明涉及一種電荷泵電路,特別是涉及一種p型鏡像位閃存的電荷泵電路。
背景技術(shù)
:在半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置中,電可擦可編程只讀存儲(chǔ)器(eeprom)(flashmemory)是一種易失性存儲(chǔ)器,且屬于可擦除可編程只讀存儲(chǔ)器(erasableprogrammableread-onlymemory,eprom)。電可擦可編程只讀存儲(chǔ)器(eeprom)的優(yōu)點(diǎn)是其可針對(duì)整個(gè)存儲(chǔ)器區(qū)塊進(jìn)行擦除,且擦除速度快,約需一至兩秒。因此,近年來,電可擦可編程只讀存儲(chǔ)器(eeprom)已運(yùn)用于各種消費(fèi)性電子產(chǎn)品中,例如:數(shù)碼相機(jī)、數(shù)碼攝影機(jī)、移動(dòng)電話或筆記本電腦等。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種鏡像位n型電可擦可編程只讀存儲(chǔ)器單元的結(jié)構(gòu)示意圖。該鏡像位n型電可擦可編程只讀存儲(chǔ)器單元,包括:p型半導(dǎo)體襯底(p_sub),其上設(shè)置n-well(n阱);第一位線bl0和第二位線bl1,分別連接于n-well(n阱)的兩側(cè);第一浮柵cg0與第二浮柵cg1,設(shè)置于n-well(n阱)上方及位于第一位線bl0和第二位線bl1之間;字線wl,位于第一浮柵cg0和第二浮柵cg1之間?,F(xiàn)有技術(shù)之n型電可擦可編程只讀存儲(chǔ)器的閃存單元操作模式及其電壓列表如下表1所示:表1閃存單元操作模式及其電壓列表(v1≤v2)現(xiàn)有技術(shù)中,為了節(jié)省電路面積,p型鏡像位閃存的電荷泵電路往往進(jìn)行共享。在現(xiàn)有技術(shù)中,該p型鏡像位閃存的電荷泵電路一般包括4個(gè)電荷泵和兩個(gè)串并轉(zhuǎn)換單元以及外圍電路(圖1中未示出),即如圖2(圖2為現(xiàn)有技術(shù)之p型鏡像位閃存的電荷泵電路的結(jié)構(gòu)示意圖)所示之電荷泵1、電荷泵2、電荷泵3、電荷泵4、串并轉(zhuǎn)換單元5以及串并轉(zhuǎn)換單元6,電荷泵1的輸出vp1以及電荷泵2的輸入連接至串并轉(zhuǎn)換單元1,電荷泵1的輸出vp1可以經(jīng)由串并轉(zhuǎn)換單元5進(jìn)行輸出,電荷泵3的輸出vp3和電荷泵4的輸入連接至串并轉(zhuǎn)換單元5,于需要時(shí)(例如編程以及擦除時(shí)),電荷泵1和電荷泵2串聯(lián),即電荷泵1的輸出vp1經(jīng)由串并轉(zhuǎn)換單元5連接至電荷泵2的輸入以獲得高壓(大約~8v),于需要時(shí)(例如擦除),電荷泵3和電荷泵4串聯(lián),即電荷泵3的輸出vp3經(jīng)由串并轉(zhuǎn)換單元6連接至電荷泵4的輸入以獲得負(fù)高壓(大約~-7v),其他操作模式下的電壓均需要較大輸出電流,因此需要電荷泵并聯(lián)使用,此時(shí)電荷泵1的輸出vp1僅僅經(jīng)由串并轉(zhuǎn)換單元5輸出而不需要連接至電荷泵2的輸入,并且電荷泵1的輸出vp1和電荷泵2的輸出vp2并聯(lián)連接(其并聯(lián)電路圖中未示出),電荷泵3的輸出vp3僅僅經(jīng)由串并轉(zhuǎn)換單元6輸出而不需要連接至電荷泵4的輸入,并且電荷泵3的輸出vp3和電荷泵4的輸出并聯(lián)連接(其并聯(lián)電路圖中未示出)。具體地,讀出時(shí),電荷泵1和電荷泵2并聯(lián)以獲得較強(qiáng)驅(qū)動(dòng)能力,vp1=vp2=v2,電荷泵3和電荷泵4并聯(lián)以獲得較強(qiáng)驅(qū)動(dòng)能力,vp3=v1;編程時(shí),電荷泵3和電荷泵4并聯(lián)以獲得較強(qiáng)驅(qū)動(dòng)能力,vp1=vp3=v5,電荷泵1和電荷泵2串聯(lián)以獲得高壓(~8v),vp2=v3;擦除時(shí),電荷泵1和電荷泵2串聯(lián)以獲得高壓(大約~8v),vp2=v8,電荷泵3和電荷泵4串聯(lián)以獲得負(fù)高壓(大約~-7v),vn=v6。較低電壓v1、v2、v5需要大電流,v8、v3需要高電壓但不需要大驅(qū)動(dòng)能力;電荷泵1和2需要大容量(bigcapability),電荷泵3和4需要小容量(smallcapability),但需要滿足讀出時(shí)生成電壓v1的大電流需求。然而,現(xiàn)有技術(shù)中,雖然為了節(jié)省面積,電荷泵電路進(jìn)行共享,但由于操作模式的限制,電荷泵4在正電壓時(shí)(讀出和編程時(shí))需要大的驅(qū)動(dòng)能力,大的驅(qū)動(dòng)能力意味著較大面積,在負(fù)高壓時(shí)(擦除)則只需要小的驅(qū)動(dòng)能力,因此電荷泵4的面積則會(huì)被正電壓電荷泵限制而很大,從而導(dǎo)致面積的浪費(fèi)。因此,實(shí)有必要提出一種技術(shù)手段,以解決上述問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:為克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,本發(fā)明之目的在于提供一種電荷泵電路,其通過利用nmos管開關(guān)使得其輸出電壓幅值由第三電荷泵的輸出電壓控制,由于nmos管開關(guān)柵極沒有電流需求,因此負(fù)責(zé)生成無電流要求的負(fù)高壓的第三電荷泵面積可以減小,進(jìn)而進(jìn)一步節(jié)省了電路的面積。為達(dá)上述及其它目的,本發(fā)明提出一種電荷泵電路,包括第一電荷泵與第二電荷泵,用于產(chǎn)生輸出電壓較低但驅(qū)動(dòng)力要求大的電壓;第三電荷泵,用于產(chǎn)生輸出電壓較高正壓或負(fù)壓但驅(qū)動(dòng)力要求小的電壓;串并轉(zhuǎn)換單元,用于于需要時(shí)將第一電荷泵的輸出連接至第二電荷泵的輸入;一開關(guān),用于在第三電荷泵的輸出電壓的控制下產(chǎn)生幅值受控于在第三電荷泵輸出電壓的輸出電壓。進(jìn)一步地,所述開關(guān)在第三電荷泵輸出的正電壓的控制下產(chǎn)生幅值受控于第三電荷泵輸出正電壓的輸出電壓。進(jìn)一步地,該開關(guān)為nmos管開關(guān)。進(jìn)一步地,所述第三電荷泵在控制端的控制下輸出負(fù)高壓vn和正電壓vp。進(jìn)一步地,所述nmos管開關(guān)漏極接所述串并轉(zhuǎn)換單元輸出端,所述第三電荷泵輸出的正電壓vp連接至所述nmos管開關(guān)的柵極,所述nmos管開關(guān)的源極輸出所述電壓vp3,襯底接源極或地。進(jìn)一步地,所述第一電荷泵的輸出與第二電荷泵的輸入連接至所述串并轉(zhuǎn)換單元。進(jìn)一步地,所述串并轉(zhuǎn)換單元的輸出與第二電荷泵的輸出經(jīng)由并聯(lián)電路并聯(lián)連接。進(jìn)一步地,所述第一電荷泵與第二電荷泵為驅(qū)動(dòng)能力強(qiáng)的電荷泵。進(jìn)一步地,所述第三電荷泵為驅(qū)動(dòng)能力小的電荷泵。進(jìn)一步地,所述電荷泵電路應(yīng)用于p型鏡像位閃存。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明一種電荷泵電路通過利用nmos管開關(guān)使得其輸出電壓幅值由第三電荷泵的輸出電壓控制,由于nmos管開關(guān)柵極沒有電流需求,因此負(fù)責(zé)生成無電流要求的負(fù)高壓的第三電荷泵面積可以減小,進(jìn)而進(jìn)一步節(jié)省了電路的面積。附圖說明圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種鏡像位n型電可擦可編程只讀存儲(chǔ)器單元的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為現(xiàn)有技術(shù)之p型鏡像位閃存的電荷泵電路的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為本發(fā)明一種電荷泵電路的電路結(jié)構(gòu)圖。具體實(shí)施方式以下通過特定的具體實(shí)例并結(jié)合附圖說明本發(fā)明的實(shí)施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭示的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明亦可通過其它不同的具體實(shí)例加以施行或應(yīng)用,本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)亦可基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用,在不背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾與變更。圖3為本發(fā)明一種電荷泵電路的電路結(jié)構(gòu)圖。如圖3所示,本能發(fā)明一種一種電荷泵電路,用于p型鏡像位閃存,其包括電荷泵1(可稱之為第一電荷泵)、電荷泵2(可稱之為第二電荷泵)、電荷泵3(可稱之為第三電荷泵)、串并轉(zhuǎn)換單元4以及開關(guān)mn1。其中,電荷泵1(第一電荷泵)、電荷泵2(第二電荷泵)為驅(qū)動(dòng)能力強(qiáng)的電荷泵電路,用于產(chǎn)生輸出電壓較低但驅(qū)動(dòng)力要求大的電壓,如讀出時(shí)的字線電壓vwl=v1、鏡像位閃存中未選中單元控制柵極電壓v2、編程時(shí)鏡像位閃存中被選中單元位線電壓v5;電荷泵3(第三電荷泵)為驅(qū)動(dòng)能力小的電荷泵電路,用于產(chǎn)生輸出電壓較高正壓或負(fù)壓但驅(qū)動(dòng)力要求小的電壓,如編程時(shí)的鏡像位閃存中被選中單元控制柵極電壓v3、擦除時(shí)鏡像位閃存中被選中和未選中單元控制柵極負(fù)高壓v6和字線電壓vwl=v8;串并轉(zhuǎn)換單元4為普通電路,用于于需要時(shí)將電荷泵1(第一電荷泵)的輸出連接至電荷泵2(第二電荷泵)的輸入;開關(guān)mn1,用于在電荷泵3(第三電荷泵)的輸出電壓vp的控制下產(chǎn)生幅值受控于在電荷泵3(第三電荷泵)的輸出電壓vp的輸出電壓,在本發(fā)明較佳實(shí)施例中,開關(guān)mn1為nmos管開關(guān),但本發(fā)明不以此為限,也可為其他形式的可實(shí)現(xiàn)上述目的的開關(guān)。電荷泵1(第一電荷泵)的輸出和電荷泵2(第二電荷泵)的輸入連接至串并轉(zhuǎn)換單元,電荷泵1(第一電荷泵)的輸出可以經(jīng)由串并轉(zhuǎn)換單元輸出電壓vp1,輸出電壓vp1和電荷泵2(第二電荷泵)的輸出vp2可以經(jīng)由并聯(lián)電路(圖中未示出)并聯(lián)連接,輸出電壓vp1同時(shí)連接至nmos開關(guān)mn1的漏極,電荷泵3在控制端的控制下可以輸出負(fù)高壓vn和電壓vp,電壓vp連接至nmos開關(guān)mn1的柵極,nmos開關(guān)mn1的源極(襯底接源極或地)輸出電壓vp3。vp3由vp1生成,其幅值由電荷泵3(第三電荷泵)的輸出vp控制,由于柵極沒有電流需求,因此負(fù)責(zé)生成無電流要求的負(fù)高壓vn的電荷泵3面積可以減小,具體地,讀出時(shí),電荷泵1和電荷泵2并聯(lián)以獲得較強(qiáng)驅(qū)動(dòng)能力,vp1=v1,電荷泵3產(chǎn)生柵端控制電壓vp而產(chǎn)生電壓vp3=v2;編程時(shí),電荷泵1和電荷泵2串聯(lián)以獲得高壓(~8v),vp2=v3,中間電壓vp1=v5;擦除時(shí),電荷泵1和電荷泵2串聯(lián)以獲得高壓(大約~8v),vp2=v8,電荷泵3獲得負(fù)高壓(大約~-7v),vn=v6。在本發(fā)明中,正負(fù)壓共享的電荷泵(第三電荷泵3)都只需要小的驅(qū)動(dòng),大的驅(qū)動(dòng)通過另外的電荷泵(第一電荷泵1和第二電荷泵2)完成,電壓值則受小驅(qū)動(dòng)電荷泵(第三電荷泵3)的輸出vp控制,本發(fā)明具體實(shí)施例中,本發(fā)明之電荷泵電路所應(yīng)用的閃存單元操作模式及其電壓列表如下表2所示:表2vwlvcg0vcg1vbl0vbl1readav10v200.8readbv1v2000.8progav4(~1.5v)v3(~8v)v5(~5v)v5(~5v)idp(24ua)progbv4(~1.5v)v5(~5v)v3(~8v)idp(24ua)v5(~5v)erasev8(~8v)v6(~-7v)v6(~-7v)00綜上所述,本發(fā)明一種電荷泵電路通過利用nmos管開關(guān)使得其輸出電壓幅值由第三電荷泵的輸出電壓控制,由于nmos管開關(guān)柵極沒有電流需求,因此負(fù)責(zé)生成無電流要求的負(fù)高壓的第三電荷泵面積可以減小,進(jìn)而進(jìn)一步節(jié)省了電路的面積。上述實(shí)施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效,而非用于限制本發(fā)明。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員均可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下,對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾與改變。因此,本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍,應(yīng)如權(quán)利要求書所列。當(dāng)前第1頁12
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