壓電促動器及其制造方法、磁盤裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及壓電促動器及其制造方法、以及搭載了壓電促動器的磁盤裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)中，在磁盤裝置中，為了使磁性頭部高精度地移動至盤上的期望位置，搭載了使磁性頭部大致移動至期望位置的附近的第I促動器、和使磁性頭部從通過第I促動器移動的位置開始向期望位置微量移動的第2促動器。
[0003]例如，圖19是表示現(xiàn)有技術(shù)的磁盤裝置結(jié)構(gòu)的俯視圖。如圖19所示，磁性頭部(未圖示)設(shè)置在與懸架200的一端側(cè)連接的平衡環(huán)210，作為第I促動器的音圈電機250設(shè)置在懸架支撐部件230中。在懸架200與懸架支撐部件230之間，設(shè)有作為第2促動器的壓電促動器100。
[0004]壓電促動器100具備由鋯鈦酸鉛(PZT)等壓電陶瓷構(gòu)成的長方體形狀的壓電體、和分別在壓電體的互相對置的兩個面設(shè)置的外部電極，若對外部電極施加電壓，則壓電體伸縮。
[0005]在現(xiàn)有技術(shù)的磁盤裝置中，設(shè)有由覆蓋壓電促動器100的表面的樹脂構(gòu)成的涂層101，通過涂層101，防止從壓電促動器100的壓電體脫落壓電陶瓷的微細(xì)粒子。由此，在驅(qū)動壓電促動器100時，因壓電促動器100的壓電體的伸縮等而使壓電陶瓷的微細(xì)粒子從壓電體脫落，脫落的粒子附著于磁性頭部、磁性記錄圓板310，從而防止向磁性記錄圓板310的信息寫入或來自磁性記錄圓板310的信息讀出的可靠性的降低。(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0006]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:JP特開2002-163870號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明要解決的課題
[0010]涂層101是在懸架200與懸架支撐部件230之間安裝壓電促動器100之后設(shè)置的。因此，用于涂層101的樹脂有可能附著在磁盤裝置內(nèi)的不期望的部位(例如，磁性頭部附近)上。此外，磁盤裝置的制造工序變得復(fù)雜，良品率的降低、制造成本的上升等成為原因。
[0011]此外，專利文獻(xiàn)I公開了，用于涂層101的樹脂優(yōu)選使用未固化狀態(tài)的粘度為100mPa.s以下的低粘度樹脂，低粘度環(huán)氧樹脂系粘接劑最佳，低粘度環(huán)氧樹脂系粘接劑由含有量小于20%的環(huán)氧低聚物和含有量為80%以上的環(huán)氧單體構(gòu)成，至少包含在熱或者光下進行反應(yīng)的聚合開始劑、催化劑、添加劑。
[0012]但是，在樹脂的未固化狀態(tài)的粘度為100?100mPa.s程度的情況下，樹脂無法進入到在壓電體的表面存在多個的微細(xì)的凹部的底部，涂層101容易被剝離。若涂層101被剝離，則壓電體的表面被曝光，有時會從被曝光的部分脫落壓電陶瓷的粒子。
[0013]此外，樹脂的未固化狀態(tài)的粘度越高ο，覆蓋壓電體表面的涂層101就越厚。若涂層101厚，則涂層101會阻礙壓電促動器100的位移，導(dǎo)致壓電促動器100的位移特性劣化，有時使磁性頭部移動的精度會下降。
[0014]本發(fā)明鑒于上述情況而完成，提供一種能夠可靠地防止來自壓電體的壓電陶瓷粒子的脫落的壓電促動器及其制造方法、以及搭載壓電促動器的磁盤裝置。
[0015]用于解決課題的手段
[0016]本發(fā)明為了解決上述課題，提供如下構(gòu)成的壓電促動器。
[0017]本發(fā)明的壓電促動器具備(a)長方體形狀的壓電體，由壓電陶瓷構(gòu)成，具有互相對置的2個主面和連接所述2個主面的4個側(cè)面；(b)外部電極，設(shè)置于所述主面；(c)凹部，形成于所述4個側(cè)面；和(d)涂層，設(shè)置于所述4個側(cè)面，且由樹脂構(gòu)成。所述涂層覆蓋所述4個側(cè)面中的所述凹部。
[0018]在上述構(gòu)成中，壓電體的主面以及側(cè)面的6個面被外部電極和涂層覆蓋著。涂層覆蓋著壓電體的凹部，因此不易剝離。由于能夠可靠地保持壓電體的6個面被外部電極和涂層覆蓋的狀態(tài)，因此能夠可靠地防止來自壓電體的壓電陶瓷的粒子的脫落。
[0019]在本發(fā)明的壓電促動器中，優(yōu)選還具備:增強部件，在至少一個所述外部電極的和與所述壓電體相連的面相反的一側(cè)的面沿著該面的周邊而設(shè)置，且由樹脂構(gòu)成。
[0020]此時，由于外部電極的端部被增強部件和涂層覆蓋，因此壓電促動器的角部的強度得到提高。
[0021]在優(yōu)選的一個方式中，與所述涂層一體地形成所述增強部件。
[0022]在本發(fā)明的壓電促動器中，優(yōu)選所述涂層是未固化狀態(tài)的粘度大于ImPa.s且小于10mPa.s的樹脂固化而成的。
[0023]若未固化狀態(tài)的樹脂的粘度大于ImPa.S，則能夠?qū)⑼繉釉O(shè)置成與壓電體的凹部的底部接觸。若未固化狀態(tài)的樹脂的粘度小于100mPa*s，則不會使壓電體的4個面中的涂層的厚度太厚。
[0024]在本發(fā)明的壓電促動器中，優(yōu)選所述涂層在所述4個側(cè)面上的厚度為Iym以下。
[0025]此時，通過涂層幾乎不會阻礙壓電促動器的位移，因此能夠提高壓電促動器的位移特性。
[0026]在本發(fā)明的壓電促動器中，優(yōu)選所述壓電體是通過切斷集合基板而形成的單片，所述4個側(cè)面是該單片的切斷面。
[0027]在本發(fā)明的壓電促動器中，優(yōu)選所述涂層與所述4個側(cè)面的所述凹部的底部接觸。
[0028]本發(fā)明提供一種搭載了上述的任一種結(jié)構(gòu)的壓電促動器的磁盤裝置。
[0029]此時，壓電促動器防止了來自壓電體的陶瓷粒子的脫落，因此在磁盤裝置搭載壓電促動器之后，無需在壓電促動器的表面進一步設(shè)置涂層。
[0030]此外，本發(fā)明為了解決上述課題而提供如下那樣構(gòu)成的壓電促動器的制造方法。
[0031]壓電促動器的制造方法具備第I至第6工序。在所述第I工序中，準(zhǔn)備在由壓電陶瓷構(gòu)成的壓電體母基板的相互對置的2個面分別設(shè)有金屬層的集合基板。在所述第2工序中，在所述集合基板上粘貼具有粘合性的薄膜，經(jīng)由所述薄膜而將所述集合基板固定于基準(zhǔn)面。在所述第3工序中，在被固定的所述集合基板上設(shè)置掩模。在所述第4工序中，與所述掩模一起切斷所述集合基板來形成槽，形成長方體形狀的多個單片。在所述第5工序中，在所述多個單片的切斷面涂敷未固化狀態(tài)的樹脂之后使其固化，由此設(shè)置涂層。在所述第6工序中，從所述單片去除所述掩模，從所述薄膜剝離所述單片。
[0032]根據(jù)上述方法，能夠制造壓電體的6個面中的互相對置的2個面被金屬層覆蓋而其他4個面被涂層覆蓋的壓電促動器。
[0033]在本發(fā)明的壓電促動器的制造方法中，所述未固化狀態(tài)的樹脂的粘度大于ImPa.s 且小于 10mPa.S。
[0034]優(yōu)選，在所述第I工序之后且在所述第2工序之前，具備:第7工序，在所述集合基板的至少一個所述金屬層上，以向在所述第4工序中形成所述槽的部分的兩側(cè)突出的方式設(shè)置由樹脂構(gòu)成的增強部件圖案。在所述第4工序中，將與所述掩模以及所述集合基板一起切斷的所述增強部件圖案作為增強部件。
[0035]此時，由于至少一個外部電極的端部被增強部件和涂層覆蓋，因此壓電促動器的角部的強度得到提高。
[0036]優(yōu)選，在所述第5工序中，所述未固化狀態(tài)的樹脂進入所述薄膜與所述集合基板或所述增強部件圖案之間的間隙后被固化，由此成為所述增強部件。
[0037]優(yōu)選，在所述第3工序中，所述掩模是第2薄膜，在所述第5工序中，所述未固化狀態(tài)的樹脂進入所述第2薄膜與所述集合基板或所述增強部件圖案之間的間隙后被固化，由此成為所述增強部件。
[0038]發(fā)明效果
[0039]根據(jù)本發(fā)明，能夠可靠地防止來自壓電體的壓電陶瓷粒子的脫落。
【附圖說明】
[0040]圖1是本發(fā)明的第I實施方式的壓電促動器的(a)俯視圖、(b)側(cè)視圖、(C)剖視圖、(d)剖視圖。
[0041]圖2是本發(fā)明的第I實施方式的壓電促動器的主要部分放大剖視圖。
[0042]圖3是表示本發(fā)明的第I實施方式的壓電促動器的制造工序的主要部分放大剖視圖。
[0043]圖4是表示本發(fā)明的第I實施方式的壓電促動器的制造工序的主要部分放大剖視圖。
[0044]圖5是表示本發(fā)明的第I實施方式的壓電促動器的制造工序的說明圖。
[0045]圖6是表示本發(fā)明的實施例1的壓電促動器和比較例I的壓電促動器的磁帶測試的結(jié)果的圖表。
[0046]圖7是實施例3的壓電促動器中的壓電體的側(cè)面的照片。
[0047]圖8是本