2、Z工作臺33)以及光學(xué)系統(tǒng)工作臺2進(jìn)行最佳的位置調(diào)整。
[0063]在S202，參照橫向照相機(jī)25的監(jiān)視器畫面，使標(biāo)記50與更換前的磁頭11的磁頭表面60對齊并保存為Z坐標(biāo)。參照圖5 (a)。
[0064]在S203，參照光學(xué)系統(tǒng)工作臺驅(qū)動控制電路41的控制值，保存光學(xué)系統(tǒng)工作臺2的當(dāng)前的Z位置。
[0065]在S204，操作者將磁頭11更換為11’，安裝在載置臺33上。
[0066]在S205，參照橫向照相機(jī)25的監(jiān)視器畫面，使標(biāo)記50’移動到更換后的磁頭11’的磁頭表面60’，登錄該Z坐標(biāo)。參照圖5(b)。另外，使X工作臺31和Y工作臺32移動，進(jìn)行調(diào)整使得磁頭11’的希望的測定位置(屏蔽部13)與懸臂10的前端部一致。
[0067]在S206，作為針對更換前磁頭11的標(biāo)記50和針對更換后的磁頭11’的標(biāo)記50’的相對位置關(guān)系，計算Z坐標(biāo)的偏離量ΔΖ。通過像素(Pixel)單位表示從監(jiān)視器畫面讀取的Z坐標(biāo)的值。參照圖5(c)。
[0068]在S207，使用通過像素單位表示的Y坐標(biāo)的相對位置關(guān)系、考慮了畫面放大率的I個像素的分辨率(像素間隔)的值，計算通過實(shí)際的距離值表示的相對位置關(guān)系。
[0069]在S208，光學(xué)系統(tǒng)工作臺驅(qū)動控制電路41使光學(xué)系統(tǒng)工作臺2移動到對在S103保存的當(dāng)前的光學(xué)系統(tǒng)工作臺2的位置加上在S207計算出的Z坐標(biāo)的相對位置關(guān)系(偏咼量ΔΖ)后的位置。
[0070]在S209，結(jié)束與磁頭更換相伴的工作臺位置調(diào)整，繼續(xù)進(jìn)入到磁頭的檢查工序。
[0071]如此根據(jù)本實(shí)施例，能夠不觀察照相機(jī)圖像而自動地執(zhí)行與磁頭更換相伴的光學(xué)系統(tǒng)工作臺2的位置調(diào)整，作業(yè)效率得到提高。
[0072]附圖標(biāo)記的說明
[0073]1:熱輔助磁頭檢查裝置、2:光學(xué)系統(tǒng)工作臺、3:測定系統(tǒng)工作臺、4:控制部、10、10’:懸臂、11、11’:熱輔助磁頭、12:探針單元、20:近場光檢測系統(tǒng)、21:光檢測器、22:帶針孔鏡、23:成像鏡頭系統(tǒng)、24:中繼鏡頭系統(tǒng)、25:橫向照相機(jī)、30:載置臺、31:X工作臺、32:Y工作臺、33:Z工作臺、34:激振部、35:上照相機(jī)、36:激光光源、37:位移傳感器、41:光學(xué)系統(tǒng)工作臺驅(qū)動控制電路、43:測定系統(tǒng)工作臺驅(qū)動控制電路、50、50’:標(biāo)記、60:磁頭表面、61:激光發(fā)光位置、62:電極。
【主權(quán)項】
1.一種熱輔助磁頭檢查裝置，其檢查熱輔助磁頭產(chǎn)生的磁場和近場光，其特征在于，具備: XY工作臺，載置上述熱輔助磁頭并將其在二維方向上進(jìn)行掃描； 懸臂，在前端具有磁性探針并通過預(yù)定頻率被激勵； Z工作臺，將上述懸臂保持在距離上述熱輔助磁頭的表面的預(yù)定高度； 磁頭磁場檢測系統(tǒng)，根據(jù)上述懸臂的位移量測定上述熱輔助磁頭產(chǎn)生的磁場； 近場光檢測系統(tǒng)，根據(jù)在上述懸臂位置產(chǎn)生的散射光測定上述熱輔助磁頭產(chǎn)生的近場光; 光學(xué)系統(tǒng)工作臺，搭載上述近場光檢測系統(tǒng)并使其在二維方向上移動； 圖像顯示部，通過照相機(jī)拍攝上述懸臂和上述熱輔助磁頭的位置關(guān)系來進(jìn)行顯示；以及 控制部，控制上述XY工作臺和上述光學(xué)系統(tǒng)工作臺，以使上述熱輔助磁頭和上述懸臂以及上述近場光檢測系統(tǒng)成為預(yù)定的位置關(guān)系， 在更換了上述懸臂時，上述控制部參照上述圖像顯示部計算上述懸臂的更換造成的位置偏離量，使上述光學(xué)系統(tǒng)工作臺移動計算出的位置偏離量。2.一種熱輔助磁頭檢查方法，其檢查熱輔助磁頭產(chǎn)生的磁場和近場光，其特征在于，具備: 通過預(yù)定頻率激勵在前端具有磁性探針的懸臂的步驟； 通過XY工作臺載置上述熱輔助磁頭并將其在二維方向上進(jìn)行掃描的步驟； 通過Z工作臺將上述懸臂保持在距離上述熱輔助磁頭的表面的預(yù)定高度的步驟； 通過磁頭磁場檢測系統(tǒng)，根據(jù)上述懸臂的位移量測定上述熱輔助磁頭產(chǎn)生的磁場的步驟； 通過近場光檢測系統(tǒng)，根據(jù)在上述懸臂位置產(chǎn)生的散射光測定上述熱輔助磁頭產(chǎn)生的近場光的步驟； 通過光學(xué)系統(tǒng)工作臺搭載上述近場光檢測系統(tǒng)并使其在二維方向上移動的步驟；通過照相機(jī)拍攝上述懸臂和上述熱輔助磁頭的位置關(guān)系來在圖像顯示部進(jìn)行顯示的步驟；以及 控制上述XY工作臺和上述光學(xué)系統(tǒng)工作臺，以使上述熱輔助磁頭和上述懸臂以及上述近場光檢測系統(tǒng)成為預(yù)定的位置關(guān)系的步驟， 在更換了上述懸臂時，參照上述圖像顯示部計算上述懸臂的更換造成的位置偏離量，使上述光學(xué)系統(tǒng)工作臺移動計算出的位置偏離量。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱輔助磁頭檢查方法，其特征在于， 在更換了上述懸臂時，為了調(diào)整上述熱輔助磁頭的位置而使上述XY工作臺移動，使上述光學(xué)系統(tǒng)工作臺移動該移動量。4.一種熱輔助磁頭檢查裝置，其檢查熱輔助磁頭產(chǎn)生的磁場和近場光，其特征在于，具備: XY工作臺，載置熱輔助磁頭并將其在二維方向上進(jìn)行掃描； 懸臂，在前端具有磁性探針并通過預(yù)定頻率被激勵； Z工作臺，將上述懸臂保持在距離上述熱輔助磁頭的表面的預(yù)定高度； 磁頭磁場檢測系統(tǒng)，根據(jù)上述懸臂的位移量測定上述熱輔助磁頭產(chǎn)生的磁場； 近場光檢測系統(tǒng)，通過上述懸臂使上述熱輔助磁頭產(chǎn)生的近場光成為散射光，經(jīng)由針孔對其進(jìn)行測定； 光學(xué)系統(tǒng)工作臺，搭載上述近場光檢測系統(tǒng)使其在三維方向上移動； 第一照相機(jī)，拍攝上述懸臂和上述熱輔助磁頭的XY方向的位置關(guān)系； 第二照相機(jī)，拍攝上述針孔和上述熱輔助磁頭的YZ方向的位置關(guān)系； 圖像顯示部，顯示上述第一照相機(jī)和上述第二照相機(jī)的圖像；以及控制部，控制上述XY工作臺和上述光學(xué)系統(tǒng)工作臺，以使上述熱輔助磁頭和上述懸臂以及上述近場光檢測系統(tǒng)成為預(yù)定的位置關(guān)系， 在更換了上述懸臂時，上述控制部參照在上述圖像顯示部顯示的上述第一照相機(jī)的圖像計算上述懸臂的更換造成的XY方向的位置偏離量，使上述光學(xué)系統(tǒng)工作臺在XY方向上移動計算出的位置偏離量， 并且，在更換了上述熱輔助磁頭時，上述控制部參照在上述圖像顯示部顯示的上述第二照相機(jī)的圖像計算上述熱輔助磁頭的更換造成的Z方向的位置偏離量，使上述光學(xué)系統(tǒng)工作臺在Z方向上移動計算出的位置偏離量。5.一種熱輔助磁頭檢查方法，其檢查熱輔助磁頭產(chǎn)生的磁場和近場光，其特征在于，具備: 通過預(yù)定頻率激勵在前端具有磁性探針的懸臂的步驟； 通過XY工作臺載置上述熱輔助磁頭并將其在二維方向上進(jìn)行掃描的步驟； 通過Z工作臺將上述懸臂保持在距離上述熱輔助磁頭的表面的預(yù)定高度的步驟； 通過磁頭磁場檢測系統(tǒng)，根據(jù)上述懸臂的位移量測定上述熱輔助磁頭產(chǎn)生的磁場的步驟； 通過近場光檢測系統(tǒng)，根據(jù)在上述懸臂位置產(chǎn)生的散射光測定上述熱輔助磁頭產(chǎn)生的近場光的步驟； 通過光學(xué)系統(tǒng)工作臺搭載上述近場光檢測系統(tǒng)并使其在三維方向上移動的步驟；通過第一照相機(jī)和第二照相機(jī)分別拍攝上述懸臂與上述熱輔助磁頭的XY方向的位置關(guān)系以及上述懸臂與上述熱輔助磁頭的YZ方向的位置關(guān)系來在圖像顯示部進(jìn)行顯示的步驟；以及 控制上述XY工作臺和上述光學(xué)系統(tǒng)工作臺，以使上述熱輔助磁頭和上述懸臂以及上述近場光檢測系統(tǒng)成為預(yù)定的位置關(guān)系的步驟， 在更換了上述懸臂時，上述控制部參照在上述圖像顯示部顯示的上述第一照相機(jī)的圖像計算上述懸臂的更換造成的XY方向的位置偏離量，使上述光學(xué)系統(tǒng)工作臺在XY方向上移動計算出的位置偏離量， 并且，在更換了上述熱輔助磁頭時，上述控制部參照在上述圖像顯示部顯示的上述第二照相機(jī)的圖像計算上述熱輔助磁頭的更換造成的Z方向的位置偏離量，使上述光學(xué)系統(tǒng)工作臺在Z方向上移動計算出的位置偏離量。
【專利摘要】熱輔助磁頭檢查裝置(1)具備：磁頭磁場檢測系統(tǒng)(36、37)，其根據(jù)懸臂(10)的位移量測定熱輔助磁頭(11)所產(chǎn)生的磁場；近場光檢測系統(tǒng)(20)，其根據(jù)在懸臂位置產(chǎn)生的散射光測定熱輔助磁頭(11)所產(chǎn)生的近場光；光學(xué)系統(tǒng)工作臺(2)，其搭載近場光檢測系統(tǒng)，在二維方向上移動；以及圖像顯示部，其通過照相機(jī)(35)拍攝懸臂和熱輔助磁頭的位置關(guān)系來進(jìn)行顯示。在更換了懸臂時，控制部(4)參照圖像顯示部計算懸臂的更換造成的位置偏離量，使光學(xué)系統(tǒng)工作臺(2)移動計算出的位置偏離量。由此，在測定由熱輔助磁頭產(chǎn)生的磁場和近場光的情況下，即使在更換懸臂時產(chǎn)生位置偏離也會自動地對其進(jìn)行調(diào)整。
【IPC分類】G01Q30/06, G11B5/31, G11B5/455
【公開號】CN105051815
【申請?zhí)枴緾N201480017624
【發(fā)明人】石井慎次郎, 村上真一郎
【申請人】株式會社日立高新技術(shù)
【公開日】2015年11月11日
【申請日】2014年1月22日
【公告號】WO2014156247A1