專利名稱：用于運送物品的方法和設(shè)備的制作方法
發(fā)明的領(lǐng)域本發(fā)明涉及用于在制造環(huán)境下運送和存放物品的一種方法和一種設(shè)備，更具體而言，涉及用于運送和存放易于受到污染或靜電放電損壞的物品的一種方法和一種設(shè)備，該物品例如集成電路基片、平面顯示器、盤驅(qū)動器的基片或包裝好的集成電路。
發(fā)明的背景在加工制造的環(huán)境下，經(jīng)常需要將產(chǎn)品從一個加工區(qū)運送到另一個加工區(qū)。在運送過程中，某些物品對污染和靜電放電尤其敏感，因此這些物品通常會損壞。
例如，堆積在集成電路基片上的物品可能會破壞集成電路的完整性。另外，集成電路基片暴露于潮濕的條件下也會使其鋁線腐蝕，或使其感光性樹脂花紋膨脹或分層，同時暴露于氧氣中還可能使其暴露的表面產(chǎn)生不良氧化。另外，集成電路基片的靜電放電也會使集成電路不能工作。同樣，涂敷有碳涂層的盤驅(qū)動器介質(zhì)的完整性也會由于暴露于氧氣中而損壞，而暴露于氧氣中又會使碳涂層產(chǎn)生氧化，而且包裝好的集成電路也可能受到潮氣的危害，從而使包裝件斷裂。
一種用于在運送過程中保護這些敏感物品的方法是將物品放置在一個第一塑料袋中，接著將第一塑料袋放置在一個第二塑料袋中。但是，經(jīng)常會有一些來自外部環(huán)境的氣體污染物進入到這些塑料袋內(nèi)，這樣就使物品受到污染。另外，在雙層套袋操作的過程中，氣體污染物可能滯留在塑料袋中，并使物品受到污染。此外，塑料袋本身也可能漏入污染物并污染物品。
另一種方法是將物品放置在一個第一便攜容器中，接著將氮氣壓入該第一便攜容器中。出于安全的角度考慮，第一便攜式容器可安裝有一個減壓閥，以使其不會因意外而導(dǎo)致壓力過高。接下來，將第一便攜容器放置在一個第二便攜容器中，然后將氮氣壓入第二便攜容器中。出于安全的角度考慮，第二便攜容器也裝配有一個減壓閥，以使該容器不會因意外而導(dǎo)致過壓。接著，就可通過第一和第二便攜容器將物品運送到下一個目的地。在運送過程中，安裝到第二便攜容器上的氮氣瓶可用于確保第二便攜容器內(nèi)保持正壓力。第一容器和第二容器內(nèi)的氮氣正壓力可防止外界的氣態(tài)污染物進入到容器中。但這種雙容器操作過程不能完全防止氣態(tài)污染物夾帶在容器內(nèi)，這樣就可能使物品受到污染。另外，便攜式容器通常由金屬制成，而且不接地。因此，放置在容器中的物品經(jīng)常會由于物品和金屬容器之間的靜電放電而被損壞。
因此，就需要提供一種有效的方法來運送和存放敏感性物品，同時使由污染或靜電放電造成損壞的可能性最小。
附圖的簡要說明

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的車；圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的內(nèi)部容器；圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的，用于圖2所示的內(nèi)部容器的環(huán)境控制裝置的示意圖；圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的，用于圖2所示的內(nèi)部容器的環(huán)境控制裝置的示意圖；圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的一個外部容器；圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的，用于圖5所示的外部容器的環(huán)境控制裝置的示意圖；圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的再一實施例的，用于圖5所示的外部容器的環(huán)境控制裝置的示意圖；圖8示出了根據(jù)本發(fā)明的又一實施例的，用于圖5所示的外部容器的環(huán)境控制裝置的示意圖。
附圖的詳細說明本發(fā)明提供用于運送和存放物品的一種方法和一種設(shè)備，其特征在于，能夠使由于污染或靜電放電而產(chǎn)生的對物品的損壞最小，和基于這種方法和設(shè)備的用于制造物品的方法。在一個實施例中，車用于運送和存放集成電路基片。在可替換的實施例中，作為制造過程的部分，車被用于運送和存放易于受到污染或靜電放電的損壞的其它物品，例如平面顯示器、盤驅(qū)動器的基片或包裝好的集成電路。
圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于運送和存放物品的車5。車5包括一個第一容器10，該容器配裝在一個第二容器90內(nèi)。需要運送的物品放置在第一容器10內(nèi)，接著用惰性氣體對第一容器10進行清洗，以從第一容器10的內(nèi)部清除污染。完成清洗操作后，第一容器10放置在第二容器90內(nèi)。接下來，用惰性氣體對第二容器90進行清洗，以從第二容器90的內(nèi)部清除污染。接著，物品通過車5運送到選定的加工區(qū)域。車5能夠防止物品受到顆粒、潮氣或如氧氣這樣的活性氣體的污染。另外，車5還能夠為物品提供靜電放電(ESD)保護。
圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的第一容器10。在這個具體實施例中，第一容器10包括一頂部12、一底部14、側(cè)面16、一門18、一門框20、一門扣22、一個門密封件24、一可推手柄26、一個文件夾28、車輪30、擱板32和一個環(huán)境控制裝置34。環(huán)境控制裝置34位于一個形成于頂部12的一部分中的凹槽內(nèi)并可通過通道門36出入該控制設(shè)備34。門密封件24連接到門框20上并用于在門18和門框20之間形成密封。當(dāng)門18和門框20之間形成密封時，門扣22能夠使門18保持緊貼在門密封件24上。在一個實施例中，門密封件24是一個由鹵化彈性體例如氟橡膠制成的密封墊?？商鎿Q地，門密封件24可用其它也能夠在門18和門框20之間形成密封的材料制成，例如可由像Poron這樣的蜂窩狀氨基甲酸乙酯材料制成。可推手柄26安裝于第一容器10的一側(cè)16上，并且它用于操縱第一容器10。在一可替換的實施例中，第一容器10還包括一個第二可推手柄(未示出)，該第二可推手柄這樣安裝于第一容器10上，即它與可推手柄26相對。文件夾28安裝于第一容器10的一側(cè)16上并存放著放置在第一容器10內(nèi)的物品附帶的文件。在該具體實施例中，擱板32通過絕緣裝置38與側(cè)面16電絕緣，從而使擱板30的靜電放電最小。在一個實施例中，絕緣裝置38由超高分子量聚乙烯制成?？商鎿Q地，絕緣裝置38也可用其它絕緣材料形成。擱板32能夠可調(diào)地定位，以適應(yīng)不同的尺寸和形狀，并且在第一容器10內(nèi)，擱板32可以水平或垂直放置。擱板32可用多孔板、線型柵格或其組合結(jié)構(gòu)形成，以利于氣體在清洗過程中在第一容器10內(nèi)流動。在可替換的實施例中，擱板32還可用無孔板形成。在一個實施例中，頂部12、底部14、側(cè)面16、門18、門框20、門扣22、可推手柄26、文件夾28和擱板32均由鋁形成，目的是使第一容器10的重量最小。在可替換的實施例中，頂部12、底部14、側(cè)面16、門18、門框20、門扣22、可推手柄26、文件夾28和擱板32用其它材料制成，例如不銹鋼或材料的組合物，例如鋁和不銹鋼。
圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的環(huán)境控制裝置34的示意圖。在該具體的實施例中，環(huán)境控制裝置34包括一個快速斷開器40，一個壓力調(diào)節(jié)器42，一個清洗控制閥44和一個壓力傳感器46。在一個實施例中，清洗控制閥44是一個氣動閥，而壓力傳感器46是一個磁螺旋線圈(magnehelic)。如圖3所示，快速斷開器40的輸出端與壓力調(diào)節(jié)器42的輸入端相結(jié)合。壓力調(diào)節(jié)器42的輸出端與第一容器10的內(nèi)部相結(jié)合，還與清洗控制閥44的起動輸入端相結(jié)合。第一容器10的內(nèi)部與壓力傳感器46的輸入端相結(jié)合，其還與清洗控制閥44的流動輸入端相結(jié)合。清洗控制閥44的流動輸出端與包圍第一容器10的外部的周圍環(huán)境相結(jié)合。
在清洗過程中，一個外部氣體源33與快速斷開器40的輸入端相連接，并且來自外部氣體源33的氣體經(jīng)快速斷開器40流向壓力調(diào)節(jié)器42，此時其壓力減小到一個預(yù)定的值。在一個實施例中，壓力調(diào)節(jié)器42可將氣體壓力從接近80磅/英寸2減小到20磅/英寸2。來自壓力調(diào)節(jié)器42的氣體被輸送到第一容器10的內(nèi)部，并被運送至清洗控制閥44的起動輸入端。這樣就打開了清洗控制閥44，從而可以清洗第一容器10。更具體地說，其允許氣體從外部源33流過第一容器10，從而將污染物例如潮氣或像氧氣這樣的活性氣體從第一容器10的內(nèi)部清洗出去。這樣，就可通過清洗過程除去在第一容器10被密封時滯留在第一容器10內(nèi)的污染物。在一個實施例中，外部氣體源33將氮氣輸送給快速斷開器40的輸入端，這樣氮氣就被注入第一容器10的內(nèi)部，并在放置于容器內(nèi)的物品周圍形成了氮氣覆蓋層?？商鎿Q地，外部氣體源33也可提供其它惰性氣體，例如氬氣或氦氣。在清洗過程中，壓力傳感器46監(jiān)控著第一容器10內(nèi)的壓力。
當(dāng)對第一容器10進行清洗達預(yù)定的時間量后，外部氣體源33與快速斷開器40的輸入端斷開。此時，作用于清洗控制閥44的起動輸入端上的氣體壓力開始下降，而一旦該壓力下降到低于一個預(yù)定的值，那么清洗控制閥44就會關(guān)閉。應(yīng)該知道，清洗控制閥44還起到一個減壓閥的作用。具體而言，清洗過程也會使第一容器10增壓，而且如果第一容器10內(nèi)的最終正壓力在外部氣體源33斷開后高于一個預(yù)定的值，那么清洗控制閥44將保持開啟狀態(tài)，直到第一容器10內(nèi)的壓力下降到一個預(yù)定的值以下。在一個實施例中，如果第一容器10內(nèi)的壓力高于約0.045磅/英寸2，那么清洗控制閥44仍保持開啟狀態(tài)。
圖4示出了一個根據(jù)本發(fā)明的一個可替換的實施例的，用于第一容器10的環(huán)境控制裝置的示意圖。在該具體的實施例中，環(huán)境控制裝置54包括一個快速斷開器60、一個壓力調(diào)節(jié)器62、一個清洗控制閥64、一個壓力傳感器66、一個過濾器68和一個電離裝置70。在一個實施例中，清洗控制閥64是一個氣動閥，壓力傳感器66是一個磁螺旋線圈，并且電離裝置70是一個成一行的化學(xué)電離器。在一可替換的實施例中，電離裝置70是一個電動電離器，該電動電離器可由一個位于第一容器10上的電池或一個外部電源提供動力。如圖3所示，快速斷開器60的輸出端與壓力調(diào)節(jié)器62的輸入端相結(jié)合。壓力調(diào)節(jié)器62的輸出端與過濾器68的輸入端相結(jié)合，而且其還與清洗控制閥64的起動輸入端相結(jié)合。過濾器68的輸出端與電離裝置70的輸入端相結(jié)合，而電離裝置70的輸出端與第一容器10的內(nèi)部相結(jié)合。第一容器10的內(nèi)部與壓力傳感器66的輸入端相結(jié)合，其還與清洗控制閥64的流動輸入端相結(jié)合。清洗控制閥64的流動輸出端與包圍第一容器10的外部的環(huán)境相連通。
在該實施例中，通過過濾器68對來自壓力調(diào)節(jié)器62的氣體進行過濾，以除去任何可能存在于由外部氣體源33供給的氣體中的顆粒和/或不需要的微量氣體。完成過濾后，氣體被電離裝置70所電離，并且形成的電離氣體被注入第一容器10的內(nèi)部。該電離氣體清除了可能存在于第一容器10內(nèi)的靜電電荷，從而為放置在容器內(nèi)的物品提供靜電放電保護。
圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的第二容器90。在該具體的實施例中，第二容器90包括一個頂部92、一個底部94、側(cè)面96、一門98、一門框100、一門扣102、一門密封件104、一個可推手柄106、一個文件夾108、車輪110、車輪導(dǎo)向件112、一環(huán)境控制裝置114和減震器118。環(huán)境控制裝置114定位在一個形成于頂部92的一部分內(nèi)的凹槽中，而且可通過通道門116出入該裝置。門密封件104與門框100相連接并用于在門98和門框100之間形成密封。當(dāng)門98和門框100之間形成密封時，門扣102使門98保持緊貼在門密封件104上。在一個實施例中，門密封件104是一個由鹵化彈性體例如氟橡膠制成的密封墊?？商鎿Q地，門密封件104可用其它也能夠在門98和門框100之間形成密封的材料制成，例如由像Poron這樣的蜂窩狀的氨基甲酸乙酯材料制成?？赏剖直?06安裝于第二容器90的一側(cè)96上并用于操縱第二容器90。在一可替換的實施例中，第二容器90還包括一個第二可推手柄(未示出)，該第二可推手柄這樣安裝于第二容器90上，即它與可推手柄106相對。文件夾108安裝于第二容器90的一個側(cè)面96上，該文件夾內(nèi)存放著放置在第一容器10內(nèi)的物品附帶的文件。車輪導(dǎo)向件112和減震器118用于在第二容器90內(nèi)與第一容器10對中并固定第一容器10。在一個實施例中，減震器118由超高分子量聚乙烯制成。或者，減震器118也可用其它材料制成，例如由像Poron這樣的蜂窩狀氨基甲酸乙酯材料制成。在一個實施例中，頂部92、底部94、側(cè)面96、門98、門框100、門扣102、可推手柄106、文件夾108和車輪導(dǎo)向件112均由鋁制成，目的是使第二容器90的重量最小。或者，頂部92、底部94、側(cè)面96、門98、門框100、門扣102、可推手柄106、文件夾108和車輪導(dǎo)向件112也可用其它材料形成，例如不銹鋼，或材料的組合物，例如鋁和不銹鋼。
圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的環(huán)境控制裝置114的示意圖。在該具體的實施例中，環(huán)境控制裝置114包括一個快速斷開器116、一個止回閥118、一個儲氣瓶120、一止回閥122、一限流器124、一個壓力調(diào)節(jié)器126、一個清洗控制閥128和一個壓力傳感器130。在一個實施例中，清洗控制閥128是氣動閥，而壓力傳感器130則是一個磁螺旋線圈。如圖6所示，快速斷開器116的輸出端與止回閥118的輸入端相結(jié)合，而且還與止回閥122的輸入端相結(jié)合。止回閥118的輸出端與儲氣瓶120的輸入端相結(jié)合。儲氣瓶120的輸出端與限流器124的輸入端相結(jié)合。止回閥122的輸出端和限流器124的輸出端與壓力調(diào)節(jié)器126的輸入端相結(jié)合。壓力調(diào)節(jié)器126的輸出端與第二容器90的內(nèi)部相結(jié)合，而且還與清洗控制閥128的起動輸入端相結(jié)合。第二容器90的內(nèi)部與壓力傳感器130的輸入端相結(jié)合，而且還與清洗控制閥128的流動輸入端相結(jié)合。清洗控制閥128的流動輸出端與包圍第二容器90的外部的周圍環(huán)境相結(jié)合。
在清洗過程中，一個外部氣體源132與快速斷開器116的輸入端相連接，并且來自外部氣體源132的氣體經(jīng)快速斷開器116流向壓力調(diào)節(jié)器126，此時其壓力下降到一個預(yù)定的值。此外，流過快速斷開器116的氣體還充填到儲氣瓶120內(nèi)。在一個實施例中，壓力調(diào)節(jié)器126可將氣體壓力從接近80磅/英寸2減小到20磅/英寸2。來自壓力調(diào)節(jié)器126的氣體被運送到第二容器90的內(nèi)部，而且還被輸送至清洗控制閥128的起動輸入端。這樣就打開了清洗控制閥128，從而能夠?qū)Φ诙萜?0進行清洗。更具體地說，其允許氣體從外部源132流過第二容器90，從而將污染物例如潮氣或像氧氣這樣的活性氣體從第二容器90的內(nèi)部清除出去。這樣，通過清洗過程就可除去當(dāng)?shù)诙萜?0被密封時滯留在第二容器90內(nèi)的污染物。在一個實施例中，外部氣體源132將氮氣運送到快速斷開器116的輸入端，這樣氮氣就被注入到第二容器90的內(nèi)部，而且還會包圍第一容器10形成一個氮氣覆蓋層。可替換地，外部氣體源132還可以供給其它惰性氣體，例如氬氣或氦氣。在清洗過程中，壓力傳感器130監(jiān)控著第二容器90內(nèi)的壓力。
當(dāng)?shù)诙萜?0被清洗達一預(yù)定的時間量后，外部氣體源132與快速斷開器116的輸入端斷開。此時，作用于清洗控制閥128的起動輸入端上的氣體壓力開始下降，而一旦氣體壓力下降到低于一個預(yù)定的值，那么清洗控制閥128就會關(guān)閉。應(yīng)該理解，清洗控制閥128還起到一個減壓閥的作用。具體而言，清洗過程還會使第二容器90增壓，而且如果當(dāng)外部氣體源132斷開后，第二容器90內(nèi)的最終正壓力高于一個預(yù)定的值，那么清洗控制閥128就會保持開啟狀態(tài)，直到第二容器90內(nèi)的壓力下降到低于該預(yù)定的值。在一個實施例中，如果第二容器90內(nèi)的壓力高于約0.045磅/英寸2，那么清洗控制閥128就保持開啟狀態(tài)。
當(dāng)外部氣體源132與快速斷開器116斷開后，由儲氣瓶120供給的氣體仍然能夠使第二容器90內(nèi)保持正壓力。這樣，在輸送過程中，儲氣瓶120就用于在第二容器90內(nèi)保持一個正壓力。應(yīng)該注意到，限流器124能夠防止清洗控制閥128被通過儲氣瓶120供給的氣體所啟動。
應(yīng)該理解，還可以類似于根據(jù)圖6所述的方式將環(huán)境控制裝置34和環(huán)境控制裝置54修改成包括一儲氣瓶。
圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的一可替換的實施例的，用于第二容器90的環(huán)境控制裝置150的示意圖。在該具體的實施例中，環(huán)境控制裝置150包括，快速斷開器152、止回閥154、儲氣瓶156、止回閥158、限流器160、壓力調(diào)節(jié)器162、清洗控制閥164、壓力傳感器166、過濾器168和電離裝置170。在一個實施例中，清洗控制閥164是一個氣動閥，壓力傳感器166是一個磁螺旋線圈，而電離裝置170是一個成一行的化學(xué)電離器。在一可替換的實施例中，電離裝置170是一個電動電離器，該電動電離器可由一個位于第二容器90上的電池或一個外部電源提供動力。如圖7所示，快速斷開器152的輸出端與止回閥154的輸入端相結(jié)合，而且其還與止回閥158的輸入端相結(jié)合。止回閥154的輸出端與儲氣瓶156的輸入端相結(jié)合。儲氣瓶156的輸出端與限流器160的輸入端相結(jié)合。止回閥158的輸出端和限流器160的輸出端與壓力調(diào)節(jié)器162的輸入端相結(jié)合。壓力調(diào)節(jié)器162的輸出端與過濾器168的輸入端相結(jié)合，而且其還與清洗控制閥164的起動輸入端相結(jié)合。過濾器168的輸出端與電離裝置170的輸入端相結(jié)合，而電離裝置170的輸出端與第二容器90的內(nèi)部相結(jié)合。第二容器90的內(nèi)部與壓力傳感器166的輸入端相結(jié)合，而且其還與清洗控制閥164的流動輸入端相結(jié)合。清洗控制閥164的流動輸出端與包圍第二容器90的外部的周圍環(huán)境相結(jié)合。
在該實施例中，來自壓力調(diào)節(jié)器162的氣體通過過濾器168過濾，以除去任何可能存在于由外部氣體源132供給的氣體中的顆粒和/或不需要的微量氣體。完成過濾后，氣體被電離裝置170電離，并且形成的電離氣體被注入第二容器90的內(nèi)部。電離氣體清除了可能存在于第二容器90內(nèi)的靜電電荷，從而為放置在第一容器10內(nèi)的物品提供了進一步的靜電放電保護。
圖8示出了根據(jù)本發(fā)明的一可替換的實施例的，用于第二容器90的環(huán)境控制裝置180的示意圖。在該具體的實施例中，環(huán)境控制裝置180包括快速斷開器182、止回閥184、儲氣瓶186、止回閥188、限流器190、壓力調(diào)節(jié)器192、清洗控制閥194、壓力傳感器196和入口控制閥198。在該具體的實施例中，入口控制閥是一電子閥。如圖8所示，快速斷開器182的輸出端與閥198的輸入端相結(jié)合，并且入口控制閥198的輸出端與止回閥184的輸入端及止回閥188的輸入端相結(jié)合。止回閥184的輸出端與儲氣瓶186的輸入端相結(jié)合。儲氣瓶186的輸出端與限流器190的輸入端相結(jié)合。止回閥188的輸出端和限流器190的輸出端與壓力調(diào)節(jié)器192的輸入端相結(jié)合。壓力調(diào)節(jié)器192的輸出端與第二容器90的內(nèi)部及清洗控制閥194的起動輸入端相結(jié)合。第二容器90的內(nèi)部與壓力傳感器196的輸入端及清洗控制閥194的流動輸入端相結(jié)合。清洗控制閥194的流動輸出端與包圍第二容器90的外部的周圍環(huán)境相連通。壓力傳感器196與入口控制閥198用電結(jié)合。在一個實施例中，環(huán)境控制裝置180由一個設(shè)置于第二容器90上的電池(未示出)提供動力。在一可替換的實施例中，環(huán)境控制裝置180由外部電源提供動力。
在該實施例中，壓力傳感器196監(jiān)控著第二容器90內(nèi)的壓力，并且當(dāng)檢測到一個預(yù)定的壓力時，壓力傳感器196就會向入口控制閥198發(fā)送一個使入口控制閥198關(guān)閉的信號。此時，作用于清洗控制閥194的起動輸入端上的氣體壓力開始下降，并且一旦該壓力下降到低于一個預(yù)定的值，那么清洗控制閥194就會關(guān)閉。在一個實施例中，如果第二容器90內(nèi)的壓力高于約0.045磅/英寸2，那么清洗控制閥194保持開啟狀態(tài)。
當(dāng)外部氣體源132與快速斷開器182斷開后，由儲氣瓶186供給的氣體來保持第二容器90內(nèi)的壓力。這樣，在運送過程中，儲氣瓶186就會使第二容器90加壓或清洗第二容器90。應(yīng)該注意，限流器190可防止清洗控制閥194被由儲氣瓶186運送的氣體所啟動。
應(yīng)該理解，也可以類似于根據(jù)圖7所述的方式將環(huán)境控制裝置180修改成包括一過濾器和一電離裝置。此外，還應(yīng)該理解，環(huán)境控制裝置34和環(huán)境控制裝置54還可以類似于根據(jù)圖8所述的方式修改成包括一個與壓力傳感器相對應(yīng)的電子閥。
下面將對一種用于運送放置于車5內(nèi)的物品的方法作出詳細的說明。應(yīng)該知道，本發(fā)明可應(yīng)用于各種不同物品的制造，例如集成電路，計算機硬盤，液晶顯示器(LCD)，平面顯示器，成像裝置(例如電荷耦合裝置(charge coupled devices)(CCD)，熱成像裝置)，紅外傳感器或其它類型的傳感器，航天組件，子配件和裝置，光學(xué)儀器和裝置(例如衍射光柵(defraction gratings)、透鏡)及其它用影印法制成的物品。在一個實施例中，一個集成電路基片放置在容器10內(nèi)，而且關(guān)閉第一容器10的門18并使門18密封貼靠到門密封件24上。接著，用外部氣體源33供給的惰性氣體清洗第一容器10。在一個實施例中，外部氣體源33輸送氮氣到快速斷開器52，這樣氮氣就被注入第一容器10的內(nèi)部，以便清洗第一容器10。當(dāng)?shù)谝蝗萜?0被清洗達一個預(yù)定的時間量后，清洗控制閥44關(guān)閉。接著，外部氣體源33與第一容器10斷開，然后將第一容器10裝入第二容器90內(nèi)。應(yīng)該理解，可用一個斜面或一個提升機構(gòu)例如升降機將第一容器10放置在第二容器90內(nèi)。當(dāng)?shù)谝蝗萜?0放置在第二容器90內(nèi)后，關(guān)閉第二容器90的門102并使門102密封貼靠到門密封件104上。接著，用外部氣體源132供給的惰性氣體對第二容器90進行清洗。在一個實施例中，外部氣體源132向快速斷開器116輸送氮氣，這樣氮氣就被注入第二容器90的內(nèi)部，從而清洗第二容器90。當(dāng)?shù)诙萜?0被清洗達一預(yù)定的時間量后，清洗控制閥128關(guān)閉。接著，外部氣體源132與第二容器90斷開。然后，將包括有集成電路基片的車5運送到下一加工區(qū)。在運送過程中，儲氣瓶120保持第二容器90內(nèi)的正壓力。
當(dāng)車5到達下一加工區(qū)時，打開第二容器90，然后將第一容器10從第二容器90內(nèi)取出。可以再次使用斜面或提升機構(gòu)例如升降機將第一容器10從第二容器90內(nèi)取出。將第一容器10取出后，接著打開第一容器10，然后將放置在第一容器10內(nèi)的集成電路基片取出，并且對其進行進一步的處理。
很清楚，根據(jù)本發(fā)明，提供了用于運送和存放易于受到污染和靜電放電損壞的物品的一種設(shè)備和一種方法，尤其適用于這些物品的制造過程。作為一個實例，這種設(shè)備和方法可用于在運輸?shù)郊庸ふ镜那斑\送和存放物品，其中在該加工站，物品將得到加工處理。作為另一實例，這種設(shè)備和方法可用于從一個加工站到另一加工站運送和存放物品，從而能夠在相距很遠的加工站(其可包括加工站、檢測站、包裝站等)對物品進行加工操作，同時都可防止物品受到污染和靜電放電類型的損壞。根據(jù)本發(fā)明，可以更容易地實現(xiàn)分散的加工制造環(huán)境，在某些情況下，分散的加工制造環(huán)境存在明顯的成本優(yōu)勢或其它優(yōu)點。根據(jù)本發(fā)明的最佳實施例，能夠?qū)崿F(xiàn)這樣的制造方法。
盡管已參照附圖對本發(fā)明作出了說明和圖示，但本發(fā)明并非僅限于上述的實施例。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該知道，在本發(fā)明的范圍內(nèi)，可對其作出修改和變形。因此，本發(fā)明包括所有落入所附保護范圍內(nèi)的變形和修改。
權(quán)利要求
1.一種用于在制造環(huán)境下運送物品的車，其包括一個第一容器，該第一容器具有一個用于密封第一容器的門的第一密封件，和一個用于通過第一氣體清洗第一容器的第一環(huán)境控制裝置，該第一環(huán)境控制裝置包括一個用于控制第一氣體通過第一容器的流動的清洗控制閥；以及一個包圍第一容器的第二容器，該第二容器具有一個用于密封第二容器的門的第二密封件，和一個用于通過第二氣體清洗第二容器的第二環(huán)境控制裝置，該第二環(huán)境控制裝置包括一個用于控制第二氣體通過第二容器的流動的清洗控制閥。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其中該第二容器的特征還在于，其具有一個用于使第一容器在第二容器內(nèi)對中的設(shè)備。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的車，其特征在于，用于使第一容器對中的設(shè)備包括一個車輪導(dǎo)向件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其特征在于，該第二環(huán)境控制裝置包括一個氣瓶，該氣瓶安裝于第二容器上，用于保持第二容器內(nèi)的壓力。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其特征在于，第二環(huán)境控制裝置還包括一個用于過濾第二氣體的過濾器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其特征在于，第二環(huán)境控制裝置還包括一個用于電離第二氣體的電離裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其特征在于，第二環(huán)境控制裝置還包括一個用于檢測第二容器內(nèi)的壓力的壓力傳感器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其特征在于，第一環(huán)境控制裝置還包括一個用于過濾第一氣體的過濾器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其特征在于，第一環(huán)境控制裝置還包括一個用于電離第一氣體的電離裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其特征在于，第一環(huán)境控制裝置還包括一個用于檢測第一容器內(nèi)的壓力的壓力傳感器。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其特征在于，第一環(huán)境控制裝置還包括一個與清洗控制閥相結(jié)合的壓力調(diào)節(jié)器，其中來自壓力調(diào)節(jié)器的氣體啟動清洗控制閥。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其特征在于，第二環(huán)境控制裝置還包括一個與清洗控制閥相結(jié)合的壓力調(diào)節(jié)器，其中來自壓力調(diào)節(jié)器的氣體啟動清洗控制閥。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其特征在于，第一環(huán)境控制裝置還包括一個壓力傳感器和一個用于控制第一氣體的流動的入口控制閥，其中壓力傳感器能夠根據(jù)壓力傳感器檢測到第一容器內(nèi)的一個預(yù)定壓力使入口控制閥關(guān)閉。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其特征在于，第二環(huán)境控制裝置還包括一個壓力傳感器和一個用于控制第二氣體的流動的入口控制閥，其中壓力傳感器能夠根據(jù)壓力傳感器檢測到第一容器內(nèi)的一個預(yù)定壓力使入口控制閥關(guān)閉。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其中第一容器的特征還在于，其具有車輪。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其中第二容器的特征還在于，其具有車輪。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其中第一密封件的特征還在于，該密封件是一個第一密封墊。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車，其中第二密封件的特征還在于，該密封件是一個第二密封墊。
19.一種在制造環(huán)境下運送物品的方法，該方法包括以下步驟提供一個第一容器，該第一容器具有一個第一密封件和一個門；將物品放置在第一容器內(nèi)；將第一容器的門密封貼靠到第一容器的密封件上；用第一氣體清洗第一容器；提供一個第二容器，該第二容器具有一個第二密封件和一個門；將第一容器放置在第二容器內(nèi)；將第二容器的門密封貼靠到第二容器的密封件上；用第二氣體清洗第二容器；以及通過第一容器和第二容器運送物品。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中用第一氣體清洗第一容器的步驟的特征還在于，用一種惰性氣體清洗第一容器。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中用第一氣體清洗第一容器的步驟的特征還在于，用氮氣清洗第一容器。
22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中用第一氣體清洗第一容器的步驟的特征還在于，用已電離的氮氣清洗第一容器。
23.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其還包括用第一氣體使第一容器加壓的步驟。
24.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中用第二氣體清洗第二容器的步驟的特征還在于，用一種惰性氣體清洗第二容器。
25.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中用第二氣體清洗第二容器的步驟的特征還在于，用氮氣清洗第二容器。
26.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中用第二氣體清洗第二容器的步驟的特征還在于，用已電離的氮氣清洗第二容器。
27.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其還包括用第二氣體使第二容器加壓的步驟。
28.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中將物品放置在第一容器內(nèi)的步驟的特征還在于，將一集成電路基片放置在第一容器內(nèi)。
29.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中將物品放置在第一容器內(nèi)的步驟的特征還在于，將一個盤驅(qū)動器的基片放置在第一容器內(nèi)。
30.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中將物品放置在第一容器內(nèi)的步驟的特征還在于，將一個已包裝好的集成電路放置在第一容器內(nèi)。
31.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中第一密封件的特征還在于，該第一密封件是一個第一密封墊。
32.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中第二密封件的特征還在于，該第二密封件是一個第二密封墊。
33.一種方法，其包括以下步驟提供一個第一容器，在第一位置上，該第一容器具有一個第一密封件和一個門；將一個需要處理的物品放置在第一容器內(nèi)；將第一容器的門密封貼靠到第一容器的密封件上；用第一氣體清洗第一容器；提供一個第二容器，該第二容器具有一個第二密封件和一個門；將第一容器放置在第二容器內(nèi)；將第二容器的門密封貼靠到第二容器的密封件上；用第二氣體清洗第二容器；通過第一容器和第二容器將物品運送到第二位置上；以及對物品進行加工制造處理。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其中用第一氣體清洗第一容器的步驟的特征還在于，用一種惰性氣體清洗第一容器。
35.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其中用第一氣體清洗第一容器的步驟的特征還在于，用氮氣清洗第一容器。
36.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其中用第一氣體清洗第一容器的步驟的特征還在于，用已電離的氮氣清洗第一容器。
37.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其還包括用第一氣體使第一容器加壓的步驟。
38.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其中用第二氣體清洗第二容器的步驟的特征還在于，用一種惰性氣體清洗第二容器。
39.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其中用第二氣體清洗第二容器的步驟的特征還在于，用氮氣清洗第二容器。
40.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其中用第二氣體清洗第二容器的步驟的特征還在于，用已電離的氮氣清洗第二容器。
41.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其還包括用第二氣體使第二容器加壓的步驟。
42.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其中將物品放置在第一容器內(nèi)的步驟的特征還在于，將一集成電路基片放置在第一容器內(nèi)。
43.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其中將物品放置在第一容器內(nèi)的步驟的特征還在于，將一個盤驅(qū)動器的基片放置在第一容器內(nèi)。
44.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其中將物品放置在第一容器內(nèi)的步驟的特征還在于，將一個已包裝好的集成電路放置在第一容器內(nèi)。
45.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其中第一密封件的特征還在于，該第一密封件是一個第一密封墊。
46.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其中第二密封件的特征還在于，該第二密封件是一個第二密封墊。
47.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其特征在于，該物品是從該組中選出的，該組包括集成電路，計算機硬盤，液晶顯示器，平面顯示器，成像裝置，傳感器，航空組件和光學(xué)儀器。
48.根據(jù)權(quán)利要求33所述的方法，其特征在于，可多次重復(fù)該步驟，其中加工制造該物品，其中加工制造是在兩個或多個相距很遠的位置上進行。
全文摘要
在一個實施例中,車(5)具有一個配裝在第二容器(90)內(nèi)的第一容器(10)并用于運送和存放集成電路基片。該集成電路基片放置在第一容器(10)內(nèi),而且第一容器(10)的門(18)被關(guān)閉并密封貼靠在門密封件(24)上。接下來,用氮氣對第一容器(10)進行清洗,以從第一容器(10)的內(nèi)部排出潮氣和活性氣體。完成清洗后,接著將第一容器(10)放置在第二容器(90)內(nèi)。然后,關(guān)閉第二容器(90)的門(102)并使門(102)密封貼靠到門密封件(104)上。接著,用氮氣對第二容器(90)進行清洗,以從第二容器(90)的內(nèi)部排出潮氣和活性氣體。接下來,包括有集成電路基片的車(5)運送到下一加工區(qū)域?？墒褂帽景l(fā)明的車設(shè)備制造集成電路和其它物品。
文檔編號H01L21/673GK1345463SQ00805463
公開日2002年4月17日 申請日期2000年3月23日 優(yōu)先權(quán)日1999年3月23日
發(fā)明者A·G·坦諾斯, K·馬克哈姆雷, J·米勒 申請人:聯(lián)合訊號公司