專(zhuān)利名稱(chēng)：流體可變電容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的背景技術(shù)和概述本發(fā)明總體上涉及RF電容器，尤其涉及具有高體積密度的可變RF電容器。
通過(guò)利用等離子來(lái)進(jìn)行材料加工例如等離子沉積和濺射已經(jīng)為人所知很多年了。這些工藝通常需要產(chǎn)生出與等離子腔室相配合的RF功率信號(hào)。由于等離子腔室的高度非線性的輸入阻抗，所以在RF電源、RF發(fā)生器和等離子腔室之間通常安裝有匹配網(wǎng)絡(luò)。該匹配網(wǎng)絡(luò)在材料加工順序過(guò)程中被有效地控制以減小在整個(gè)加工過(guò)程中出現(xiàn)的由等離子腔室輸入阻抗的變化而施加在RF發(fā)生器上的電應(yīng)力。該匹配網(wǎng)絡(luò)有利于RF能量從發(fā)生器穩(wěn)定地流到等離子腔室，從而使系統(tǒng)功率效率提高并降低成本，而且還降低了RF發(fā)生器的輸出功率能力。普通的匹配網(wǎng)絡(luò)通常包括至少具有一個(gè)可變電容器的π形濾波器，根據(jù)等離子腔室輸入阻抗的改變來(lái)對(duì)其進(jìn)行控制。在匹配網(wǎng)絡(luò)中所采用的普通可變電容器包括一種馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的軸，用來(lái)控制該裝置的電容。這些電容器通常采用空氣或真空電介質(zhì)來(lái)構(gòu)成。
由于施加在電容器上的電壓相對(duì)較高并且真空和空氣的介電常數(shù)較低，所以普通的可變電容器需要相當(dāng)大的體積。另外，施加在電容器上的高電壓需要額外的體積以保持所要求的電介質(zhì)耐電壓性。
雖然在RF電路中可以采用普通的空氣和真空可變電容器來(lái)提供可變的電容，但是它們并不能證明能夠使要得到預(yù)定電容所要求的體積最小。另外，普通的空氣可變電容器可靠性相對(duì)相當(dāng)?shù)汀Ｆ胀ǖ目諝饪勺冸娙萜鹘?jīng)常會(huì)在片與片之間出現(xiàn)由環(huán)境條件例如濕度的改變所引起的電弧放電，這就降低了該電容器的擊穿電壓。同樣，普通的真空可變電容器經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)過(guò)早損壞以及由于導(dǎo)熱性差而導(dǎo)致的過(guò)熱所引起的漏電波紋(bellows)。
本發(fā)明的流體可變電容器能夠提高體積密度、耐電壓性和可靠性，并節(jié)約了成本。該可變電容器包括一個(gè)殼體，該殼體裝有導(dǎo)電的定片和動(dòng)片。一種電介質(zhì)流體將定片和動(dòng)片隔開(kāi)。一種運(yùn)動(dòng)裝置與動(dòng)片相連，用來(lái)使動(dòng)片相對(duì)于定片移動(dòng)，從而使在這些片之間形成的電容改變。
為了更完整地理解本發(fā)明、其目的和優(yōu)點(diǎn)，可以參考以下的說(shuō)明書(shū)和附圖。
簡(jiǎn)要的


圖1A所示為包含了本發(fā)明的當(dāng)前優(yōu)選實(shí)施方案的等離子加工系統(tǒng)；圖1B-1D所示為根據(jù)本發(fā)明的引導(dǎo)的流體可變電容器的幾個(gè)濾波器結(jié)構(gòu)；圖2的方框圖顯示出根據(jù)本發(fā)明的引導(dǎo)的流體可變電容器的一個(gè)圖5A和5B顯示出根據(jù)本發(fā)明的引導(dǎo)的匹配網(wǎng)絡(luò)的當(dāng)前優(yōu)選實(shí)施方案的二維視圖。
優(yōu)選實(shí)施方案的詳細(xì)說(shuō)明參照?qǐng)D1A，該圖顯示出用于加工集成電路和光盤(pán)等的等離子加工系統(tǒng)10。雖然本發(fā)明是以等離子加工系統(tǒng)10來(lái)進(jìn)行描述，但是應(yīng)該理解的是，該特定的系統(tǒng)只是用于舉例說(shuō)明。該加工系統(tǒng)10包括用于產(chǎn)生出RF功率信號(hào)的RF發(fā)生器12，其通過(guò)匹配網(wǎng)絡(luò)16而與等離子腔室14相聯(lián)。在RF發(fā)生器12和匹配網(wǎng)絡(luò)16之間連接有相位/幅度傳感器13，用來(lái)感知RF發(fā)生器12的輸出特性。匹配網(wǎng)絡(luò)16設(shè)有用來(lái)匹配等離子腔室14和RF發(fā)生器12的阻抗的可控濾波器。在匹配網(wǎng)絡(luò)16中還包括一個(gè)電感器(未示出)和兩個(gè)流體可變電容器(未示出)。與等離子腔室相連的控制器24確定了等離子腔室14和RF發(fā)生器12的阻抗匹配?？刂破?4響應(yīng)于所確定的匹配阻抗來(lái)控制流體可變電容器。
參照?qǐng)D1B-1D，這些視圖顯示出根據(jù)本發(fā)明的引導(dǎo)的幾個(gè)可選匹配網(wǎng)絡(luò)濾波器結(jié)構(gòu)。在圖1B中所示為一種π形濾波器結(jié)構(gòu)20，在圖1C中所示為一種L形濾波器結(jié)構(gòu)21，并且在圖1D中所示為一種T形濾波器結(jié)構(gòu)23。這些濾波器結(jié)構(gòu)中的每一個(gè)都是由一個(gè)電感器18和兩個(gè)流體可變電容器20構(gòu)成的。所有這些濾波器結(jié)構(gòu)還可以包括串聯(lián)電容器25以阻擋直流偏壓。
參照?qǐng)D2，該圖所示為根據(jù)本發(fā)明的引導(dǎo)而構(gòu)成的流體可變電容器26的實(shí)施方案的方框圖。該流體可變電容器26包括定片28和動(dòng)片30。定片28的至少一個(gè)表面和動(dòng)片30的一個(gè)表面是由導(dǎo)電材料如銅、鋼、鋁、銀和錫制成的。片28和30被布置成使它們表面的一部分相互重疊，從而在它們之間形成電容器。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)該認(rèn)識(shí)到，在片28和30之間形成的電容可以從以下等式中計(jì)算出來(lái)C＝keA/d，其中C為電容，k為電介質(zhì)的相對(duì)介電常數(shù)，e為電容率常數(shù)，A為片28和30的重疊表面面積，并且d為片28和30之間的距離或間隔。因此，改變重疊表面面積或改變片28和30之間的距離會(huì)使電容成反比變化。片28和30可以被布置成如圖3A-3K中所示的多種片結(jié)構(gòu)。這些片結(jié)構(gòu)包括平行的片狀半圓盤(pán)(圖3A-3B)，平行的片狀半圓柱(圖3C)平行片狀板(圖3D)，同軸圓筒(圖3E)，可沿著縱向方向移動(dòng)的平行盤(pán)(圖3F)，蝶形結(jié)構(gòu)(圖3G)，差動(dòng)電容器結(jié)構(gòu)(圖3H)，具有預(yù)定的最小電容的改進(jìn)的蝶形結(jié)構(gòu)(圖3I)，帶有內(nèi)馬達(dá)的同軸圓筒(圖3J)和磁耦合運(yùn)動(dòng)裝置(圖3K)。
另外該流體可變電容器26還可以包括相對(duì)于動(dòng)片30布置的第二定片29，這樣在它們之間形成了一個(gè)電容器。從而形成兩個(gè)串聯(lián)電容器；第一個(gè)電容器形成在定片28和動(dòng)片30之間，第二個(gè)電容器形成在動(dòng)片30和第二定片29之間。采用這種結(jié)構(gòu)時(shí)，將第三導(dǎo)線與第二定片29相連?？梢圆挥玫诙?dǎo)線或者將其用作用于選擇形成在定片28和第二定片29之間的一部分有效電容的分接頭。
這些片28和30被裝在殼體32中，該殼體裝有流體電介質(zhì)34例如道氏粒(Dow Corning)561。該流體電介質(zhì)34將片28和30隔開(kāi)，從而提高了抗電壓擊穿能力和電容，并且改善了熱散失。該流體電介質(zhì)在25攝氏度和100Hz下的介電常數(shù)為大于1.5，優(yōu)選大約為2.71或更大。另外，該流體電介質(zhì)的電介質(zhì)強(qiáng)度至少為100伏/密耳，優(yōu)選為350伏/密耳或更大。該流體電介質(zhì)的熱導(dǎo)率至少為0.026W/mK，優(yōu)選大于或等于0.15W/mK。用流體電介質(zhì)34來(lái)代替空氣或真空具有許多優(yōu)點(diǎn)，例如單位體積的電容更大，耐電壓性更高，成本更低，改善了可靠性，并且由于使這些片與外部環(huán)境因素例如濕度隔離開(kāi)從而改善對(duì)電弧事件的系統(tǒng)響應(yīng)?？傻玫降母唠娙菔怯筛叩慕殡姵?shù)來(lái)提供的。更高的耐電壓性是通過(guò)提高該流體電介質(zhì)34的電介質(zhì)強(qiáng)度來(lái)提供的。改善對(duì)電弧事件的系統(tǒng)響應(yīng)是通過(guò)改善用于探測(cè)由于流體介質(zhì)的較高的導(dǎo)熱性而出現(xiàn)的電弧的響應(yīng)時(shí)間以及在動(dòng)片30快速移動(dòng)時(shí)出現(xiàn)的流體質(zhì)量增加的熄滅作用來(lái)提供的。
運(yùn)動(dòng)裝置36與動(dòng)片30相連以提供一種用于使動(dòng)片30相對(duì)于定片28移動(dòng)的裝置。在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案中，采用軸作為運(yùn)動(dòng)裝置。但是，本發(fā)明的范圍包括采用其它運(yùn)動(dòng)裝置例如桿和由磁鐵或馬達(dá)形成的磁耦合。本發(fā)明的范圍還包括將該運(yùn)動(dòng)裝置36設(shè)計(jì)成用來(lái)使動(dòng)片30移動(dòng)以使片28和30之間的重疊面積量改變，或者用來(lái)使動(dòng)片30移動(dòng)以使片28和30之間的距離改變，或者用來(lái)使動(dòng)片30移動(dòng)以使片28和30之間的重疊面積和距離都改變。該運(yùn)動(dòng)裝置36可以是導(dǎo)電的或是不導(dǎo)電的。由導(dǎo)電材料制成的運(yùn)動(dòng)裝置36形成一種用于與多個(gè)動(dòng)片30電連接的簡(jiǎn)便裝置。
馬達(dá)38與運(yùn)動(dòng)裝置36相連，從而該動(dòng)片30可以響應(yīng)于電信號(hào)來(lái)移動(dòng)。馬達(dá)38可以位于殼體32的外部或內(nèi)部。
參照?qǐng)D4，該圖所示為根據(jù)本發(fā)明的引導(dǎo)的流體可變電容器40的當(dāng)前優(yōu)選實(shí)施方案的方塊圖。外殼42為流體電介質(zhì)34和該流體可變電容器40的其它元件提供密封的環(huán)境。當(dāng)前優(yōu)選實(shí)施方案所采用的流體電介質(zhì)34優(yōu)選為道氏粒561，但是介電常數(shù)至少為1.5并且電介質(zhì)強(qiáng)度為至少100伏/密耳的其它流體電介質(zhì)也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。裝在該外殼42中的有定片28、動(dòng)片30、運(yùn)動(dòng)裝置36和馬達(dá)38，還有膨脹裝置44和傳感器46。
該優(yōu)選實(shí)施方案的定片28和動(dòng)片30被形成為一系列由導(dǎo)電材料如鋁、銅和銀制成的交錯(cuò)的平行片狀半圓盤(pán)。在該優(yōu)選的實(shí)施方案中，該導(dǎo)電材料為鋁化合物。運(yùn)動(dòng)裝置36由一種導(dǎo)電材料構(gòu)成并且穿過(guò)定片28的絕緣中央切口，從而與交錯(cuò)的動(dòng)片30相連。運(yùn)動(dòng)裝置36的另一端與馬達(dá)38相連，該馬達(dá)控制著動(dòng)片30的運(yùn)動(dòng)。在該優(yōu)選實(shí)施方案中的運(yùn)動(dòng)裝置36為動(dòng)片30提供轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)，從而使動(dòng)片30移動(dòng)以與定片28嚙合或脫離。另外為動(dòng)片30提供縱向運(yùn)動(dòng)從而使該動(dòng)片運(yùn)動(dòng)以增加或減小與定片28的距離，這也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。第一導(dǎo)線48和第二導(dǎo)線50分別與定片28和動(dòng)片30電連接。傳感器46提供至少一個(gè)反映一個(gè)或多個(gè)周?chē)ぷ鳁l件例如溫度、壓力和液面的輸出。在該優(yōu)選實(shí)施方案中，傳感器46通過(guò)感知溫度來(lái)間接地感知電弧事件。來(lái)自傳感器46的輸出與馬達(dá)控制器56相連，該控制器響應(yīng)于傳感器輸出來(lái)控制馬達(dá)38。該馬達(dá)控制器56可以接收附加的輸入例如請(qǐng)求改變電容的匹配網(wǎng)絡(luò)信號(hào)。雖然在該優(yōu)選的實(shí)施方案中馬達(dá)控制器56位于外殼42的外面，但是將該馬達(dá)控制器56裝在外殼42的內(nèi)部也在本發(fā)明的范圍內(nèi)?？蛇x的電弧探測(cè)器54可以通過(guò)感知在第一導(dǎo)線48或第二導(dǎo)線50中的電流來(lái)實(shí)施。來(lái)自可選電弧探測(cè)器54的輸出與馬達(dá)控制器56相連。當(dāng)電弧事件出現(xiàn)時(shí)，靠近電弧事件的流體電介質(zhì)34隨著熱量被吸收而溫度升高。由于該流體的高導(dǎo)熱性，所以溫度的升高擴(kuò)散到其余的流體電介質(zhì)34。傳感器46探測(cè)該電介質(zhì)34的溫度的升高，并用響應(yīng)信號(hào)通知馬達(dá)控制器56。
安裝在外殼的壁中的密封連接器52為電信號(hào)進(jìn)出外殼42提供了一條通道。膨脹裝置44被設(shè)置在外殼42的內(nèi)部以補(bǔ)償由流體的溫度、壓力和數(shù)量的變化而引起的電介質(zhì)34的體積變化。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)該很容易認(rèn)識(shí)到，在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以有許多合適的膨脹裝置，包括可壓縮裝置和介質(zhì)以及氣囊等。
參照?qǐng)D5A和5B，這些圖顯示出根據(jù)本發(fā)明的引導(dǎo)的匹配網(wǎng)絡(luò)16的當(dāng)前優(yōu)選實(shí)施方案。匹配網(wǎng)絡(luò)16包括兩個(gè)流體可變電容器20和一個(gè)以π形過(guò)濾器結(jié)構(gòu)連接的電感器18。雖然本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例采用的是π形過(guò)濾器結(jié)構(gòu)，但是采用其它濾波器結(jié)構(gòu)例如L形濾波器和T形濾波器結(jié)構(gòu)也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。每個(gè)流體可變電容器20包括多個(gè)定片60和動(dòng)片62、與動(dòng)片62相連的運(yùn)動(dòng)裝置64、與運(yùn)動(dòng)裝置64相連的馬達(dá)68以及安裝結(jié)構(gòu)66。
定片60和動(dòng)片62被形成為一系列由鋁化合物制成的交錯(cuò)的平行片狀半圓盤(pán)。運(yùn)動(dòng)裝置64(對(duì)于圖5A，5B而言)由導(dǎo)電材料構(gòu)成并且穿過(guò)定片60的絕緣的中央切口，從而與交替的動(dòng)片62相連。該運(yùn)動(dòng)裝置64的另一端與馬達(dá)68相連，該馬達(dá)控制著動(dòng)片62的運(yùn)動(dòng)。在該優(yōu)選實(shí)施方案中的馬達(dá)68為DC步進(jìn)馬達(dá)，但是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)該認(rèn)識(shí)到，本發(fā)明的原理可以很容易延伸到包括可適用的馬達(dá)和促動(dòng)器在內(nèi)的多種馬達(dá)類(lèi)型。在該實(shí)施方案中的運(yùn)動(dòng)裝置64為動(dòng)片62提供轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)，從而使動(dòng)片62移動(dòng)以與定片60嚙合或脫離。
外殼74包圍著流體可變電容器20和電感器18。外殼74裝有一種流體電介質(zhì)70，所包圍的電容器20和電感器18被浸在其中。在當(dāng)前優(yōu)選實(shí)施方案中所采用的流體電介質(zhì)70優(yōu)選為道氏粒561，但是介電常數(shù)至少為1.5并且電介質(zhì)強(qiáng)度為至少100伏/密耳且導(dǎo)熱率至少為0.026W/mK的其它流體電介質(zhì)也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
安裝在每個(gè)電容器20上的有裝配架72，用來(lái)安裝裝有電感器18的底板。連接器76安裝在外殼74的壁中以便為電信號(hào)進(jìn)出外殼74提供一條通道。
參照?qǐng)D1、5A和5B，在工作中控制器24接收匹配信號(hào)例如傳遞系數(shù)，它指代RF發(fā)生器和等離子腔室之間的阻抗中的相對(duì)匹配。響應(yīng)于該匹配信號(hào)，控制器24確定出正確的匹配網(wǎng)絡(luò)阻抗特性以補(bǔ)償所指示的阻抗的不匹配?？刂破?4輸出用于驅(qū)動(dòng)流體可變電容器20和22的馬達(dá)的信號(hào)，從而獲得被確定的匹配網(wǎng)絡(luò)16的阻抗特性。
本發(fā)明的流體可變電容器包括一種介電常數(shù)和電介質(zhì)強(qiáng)度更高的液體電介質(zhì)。該流體可變電容器提供一種更小的物理設(shè)備，它能夠在比普通的可變電容器更高的電壓下工作。該液體電介質(zhì)使工作特性與周?chē)h(huán)境分開(kāi)。另外，通過(guò)該液體電介質(zhì)的較高的導(dǎo)熱性從而提高了該設(shè)備的熱工作性能。
因此從上面應(yīng)該理解的是，由于本發(fā)明的緣故，所以提供了一種用于工業(yè)加工的RF輸送系統(tǒng)的流體可變電容器，它能夠完全滿(mǎn)足其中的主要目的。同樣應(yīng)該了解并能夠想到的是，在不脫離本發(fā)明的情況下在所述的實(shí)施方案中可以作出許多改變和/或變化。因此，上述說(shuō)明和附圖很顯然只是優(yōu)選實(shí)施方案的示例性說(shuō)明，而不是為了進(jìn)行限制，并且本發(fā)明的實(shí)際宗旨和范圍將通過(guò)參照附屬的權(quán)利要求和它們合法的等效物來(lái)確定。
權(quán)利要求
1.一種可變電容器，包括導(dǎo)電的定片；導(dǎo)電的動(dòng)片；將所述定片和動(dòng)片隔開(kāi)的電介質(zhì)流體；裝著所述電介質(zhì)流體以及定片和動(dòng)片的殼體；以及運(yùn)動(dòng)裝置，用來(lái)使動(dòng)片相對(duì)于定片移動(dòng)，從而使在它們之間形成的電容改變。
2.如權(quán)利要求1所述的可變電容器，其中所述動(dòng)片可相對(duì)于定片沿著徑向方向移動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1所述的可變電容器，其中所述動(dòng)片可相對(duì)于定片沿著縱向方向移動(dòng)。
4.如權(quán)利要求1所述的可變電容器，還包括與運(yùn)動(dòng)裝置相連的馬達(dá)，用來(lái)將機(jī)械能傳送給動(dòng)片。
5.如權(quán)利要求1所述的可變電容器，還包括用來(lái)探測(cè)電弧事件的電弧探測(cè)器。
6.如權(quán)利要求5所述的可變電容器，其中電弧探測(cè)器從下列組中挑選出電介質(zhì)流體溫度傳感器、殼體溫度傳感器、殼體壓力傳感器以及電流傳感器。
7.如權(quán)利要求5所述的可變電容器，還包括連接在電弧探測(cè)器和馬達(dá)之間的控制器；該控制器響應(yīng)于被探測(cè)到的電弧而用信號(hào)通知馬達(dá)來(lái)驅(qū)動(dòng)動(dòng)片，從而熄滅該電弧。
8.如權(quán)利要求1所述的可變電容器，其中定片和動(dòng)片基本上成形為半圓盤(pán)形狀，這樣，當(dāng)動(dòng)片相對(duì)于定片沿著徑向和縱向方向移動(dòng)時(shí)，這些片之間的電容將改變。
9.如權(quán)利要求1所述的可變電容器，還包括可操作用來(lái)補(bǔ)償電介質(zhì)流體體積的變化的膨脹裝置。
10.如權(quán)利要求4所述的可變電容器，它與電感器電連接，從而形成一種匹配網(wǎng)絡(luò)。
11.如權(quán)利要求4所述的可變電容器，其中所述匹配網(wǎng)絡(luò)包括至少兩個(gè)以一種濾波器結(jié)構(gòu)與電感器連接的可變電容器。
12.如權(quán)利要求1所述的可變電容器，其中所述運(yùn)動(dòng)裝置從以下組中挑選出軸、磁體和馬達(dá)。
13.一種可變電容器，包括導(dǎo)電的定片；導(dǎo)電的動(dòng)片；將所述定片和動(dòng)片隔開(kāi)的電介質(zhì)流體；裝著所述電介質(zhì)流體以及定片和動(dòng)片的殼體；與所述動(dòng)片相連的運(yùn)動(dòng)裝置；以及與所述運(yùn)動(dòng)裝置相連的馬達(dá)，其可操作用來(lái)使動(dòng)片相對(duì)于定片移動(dòng)，從而使在它們之間形成的電容改變。
14.如權(quán)利要求13所述的可變電容器，其中動(dòng)片可相對(duì)于定片沿著徑向方向移動(dòng)。
15.如權(quán)利要求13所述的可變電容器，其中馬達(dá)裝在所述外殼內(nèi)部。
16.如權(quán)利要求13所述的可變電容器，還包括一種用來(lái)探測(cè)在所述外殼內(nèi)出現(xiàn)的電弧事件的電弧探測(cè)器。
17.如權(quán)利要求16所述的可變電容器，其中所述電弧探測(cè)器從以下組中挑選出電介質(zhì)流體溫度傳感器、殼體溫度傳感器、殼體壓力傳感器以及電流傳感器。
18.如權(quán)利要求15所述的可變電容器，還包括連接在所述電弧探測(cè)器和馬達(dá)之間的控制器，該控制器可響應(yīng)于被探測(cè)到的電弧事件來(lái)控制馬達(dá)。
19.如權(quán)利要求13所述的可變電容器，其中所述電介質(zhì)流體的導(dǎo)熱性至少為0.026W/mK，介電常數(shù)至少為1.5，并且電介質(zhì)強(qiáng)度至少為100伏/密耳。
20.如權(quán)利要求19所述的可變電容器，它與一種電感器相連從而形成一種匹配網(wǎng)絡(luò)。
21.一種可變電容器，包括導(dǎo)電的定片；導(dǎo)電的動(dòng)片；將所述定片和動(dòng)片隔開(kāi)的電介質(zhì)流體，所述電介質(zhì)流體的導(dǎo)熱性至少為0.026W/mK，介電常數(shù)至少為1.5，并且電介質(zhì)強(qiáng)度至少為100伏/密耳；用于裝著所述電介質(zhì)流體以及定片和動(dòng)片的殼體；與所述動(dòng)片相連的運(yùn)動(dòng)裝置；與所述運(yùn)動(dòng)裝置相連的馬達(dá)，其可操作用來(lái)使動(dòng)片相對(duì)于定片移動(dòng)，從而使在它們之間形成的電容改變；用來(lái)探測(cè)電弧事件的電弧探測(cè)器；以及可響應(yīng)于所述電弧事件來(lái)控制馬達(dá)的控制器。
全文摘要
提供一種流體可變電容器,其體積密度、耐電壓性、可靠性都優(yōu)于普通的可變電容器,而且成本較低。該流體可變電容器包括一個(gè)殼體,該殼體裝有導(dǎo)電的定片和動(dòng)片。一種電介質(zhì)流體將所述定片和動(dòng)片隔開(kāi)。一運(yùn)動(dòng)裝置與所述動(dòng)片相連,用來(lái)使所述動(dòng)片相對(duì)于所述定片移動(dòng),從而使這些片之間所形成的電容改變。
文檔編號(hào)H01G5/00GK1347126SQ0113533
公開(kāi)日2002年5月1日 申請(qǐng)日期2001年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月29日
發(fā)明者維拉克·洛爾, 安東尼·R·A·基恩, 杰弗·C·塞勒斯 申請(qǐng)人:Eni技術(shù)公司