專利名稱:半導(dǎo)體功率元件裝置及其封裝方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及用于降低導(dǎo)通電阻,提高導(dǎo)通電流及增加散熱效率的半導(dǎo)體功率元件裝置及其封裝方法,特別是指一種利用兩個(gè)漏級(jí)接點(diǎn)分別固定連接在第一、第二金屬導(dǎo)線架上的第一、第二兩個(gè)垂直式功率元件,相互重疊連接構(gòu)成并聯(lián)結(jié)構(gòu),并使該第一、第二導(dǎo)線架搭接成上、下雙金屬板,利用上層金屬板擴(kuò)大散熱的封裝表面。
背景技術(shù):
臺(tái)灣發(fā)明專利公告第426850號(hào)揭示了一種“瀑布堆棧式晶片模組”,其主要包括一積層板,該積層板上至少具有多個(gè)接點(diǎn);多個(gè)晶片,配置于該積層板上,其中每一晶片包括有多個(gè)焊墊;一重配置層,配置并電連接于這些焊墊上;一第一絕緣層,配置于上述重配置層與焊墊之間,且通過多個(gè)插塞使重配置層與焊墊成電氣性連接;多個(gè)凸塊接點(diǎn),分別配置于重配置層上的第一、第二區(qū)域,其中第一、第二區(qū)域中的凸塊接點(diǎn)以鏡像方式配置,且每兩個(gè)對(duì)應(yīng)的凸塊接點(diǎn)均通過重配層電連接。其中上述晶片分為第一、二列交錯(cuò)疊合,第一列晶片的第一區(qū)域面對(duì)第二列晶片的第二區(qū)域,而第一列晶片的第二區(qū)域面對(duì)第二列晶片的第一區(qū)域,且相對(duì)面的第二區(qū)域與第一區(qū)域?qū)?yīng)的凸塊接點(diǎn),分別以一導(dǎo)電凸塊連接。另外,二軟片式承載器,分別將該二列芯片的二端的芯片與積層板的接點(diǎn)電連接。
另外,臺(tái)灣發(fā)明專利公告第423082號(hào)揭示了一種“高積體的晶片疊上晶片封裝”,主要包括一晶片疊上晶片模組,該模組設(shè)有至少兩個(gè)在電氣上連接在一起的作用區(qū)的獨(dú)立晶片,其中該兩個(gè)晶片的作用區(qū)系相互面對(duì);以及一晶片疊上晶片組件連接裝置,用以在電氣上將所述晶片連接到外部電路。
目前公知的半導(dǎo)體功率元件裝置,諸如用于高速切換開關(guān)元件的功率金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET),用于電力切換開關(guān)的絕緣柵極雙極性晶體管(IGBT),雙極性面結(jié)型晶體管(BJT),功率二極管(DIODE),或整流器(RECTIFIER)等,傳統(tǒng)的單一功率元件裝置,漏級(jí)/源極(或集極/射極)的導(dǎo)通電阻(即,RDS-ON)較大,其相對(duì)功率損耗也大,并且伴隨產(chǎn)生較大熱量,進(jìn)而影響其產(chǎn)品使用壽命。因此,降低導(dǎo)通電阻、提高導(dǎo)通電流及增加散熱效率,提高產(chǎn)品特性,為高功率半導(dǎo)體領(lǐng)域所急欲解決的課題。但如果從傳統(tǒng)電路設(shè)計(jì)方面著手改善,不但增加功率組件電路及結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性,且研發(fā)時(shí)間長、成本非常高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種降低導(dǎo)通電阻,提高導(dǎo)通電流、增加散熱效率,且節(jié)省封裝體積的半導(dǎo)體功率元件裝置。
本發(fā)明提供的半導(dǎo)體功率元件裝置包括第一與第二兩個(gè)垂直式功率元件,所述功率元件的柵極區(qū)與柵極區(qū)、源極區(qū)與源極區(qū)相對(duì)應(yīng)地重疊連接在一起,并接引出有接腳;上述功率元件的漏級(jí),分別連接在第一和第二兩金屬導(dǎo)線架上,其中第一導(dǎo)線架的一端包含有一接腳,第二導(dǎo)線架的一端包含有垂直于該導(dǎo)線架延伸的側(cè)壁與平行于該導(dǎo)線架的搭接面,兩導(dǎo)線架搭接成上、下雙金屬板,利用上層金屬板擴(kuò)大散熱的封裝表面。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種用于降低導(dǎo)通電阻,提高導(dǎo)通電流及增加散熱效率,并且節(jié)省封裝體積的半導(dǎo)體功率元件裝置的封裝方法。
上述封裝方法的步驟包括將第一與第二兩個(gè)垂直式功率元件對(duì)稱地固定在第一與第二兩導(dǎo)線架上,漏級(jí)接點(diǎn)分別與導(dǎo)線架形成電氣性連接;其中第一導(dǎo)線架的一端形成擴(kuò)大的設(shè)接面,另一端延伸出一接腳和兩個(gè)分離的接腳;第二導(dǎo)線架的一端包含有垂直于該導(dǎo)線架延伸的側(cè)壁與平行于該導(dǎo)線架的搭接面,另一端延伸出一接腳搭接面;將第一功率元件的柵極與源極接點(diǎn)通過金屬線分別與兩個(gè)分離的接腳形成電氣性連接;通過錫爐,用錫球移載裝置將錫球移植在第一、第二功率元件的柵極與源極接點(diǎn),及第一導(dǎo)線架接腳與第二導(dǎo)線架的搭接面上;將第二導(dǎo)線架翻轉(zhuǎn)連接在第一導(dǎo)線架上,并使第二功率元件與第一功率元件的柵極與柵極、源極與源極接點(diǎn)相對(duì)重疊連接;通過烤箱,加熱并加壓使錫球熔融,而使第一、第二功率元件及第一、第二導(dǎo)線架相對(duì)焊接在一起;用塑膠鑄模材料封裝,使第一及第二導(dǎo)線架在半導(dǎo)體功率元件裝置表面形成上、下雙金屬板,利用上層金屬板擴(kuò)大散熱的封裝表面。
本發(fā)明將兩個(gè)功率元件結(jié)合成一個(gè)并聯(lián)結(jié)構(gòu)的方式,不但制造簡單,且該半導(dǎo)體功率元件裝置的導(dǎo)通電阻值也可降低二分之一,其并聯(lián)電路的電流承受值加倍,由兩個(gè)導(dǎo)線架構(gòu)成上、下雙金屬板擴(kuò)大了散熱的封裝表面,從上層金屬板通過外部空氣散熱的效率達(dá)到加倍效果,并且節(jié)省封裝空間。
圖1(A)為顯示本發(fā)明的半導(dǎo)體功率元件裝置頂面的立體圖。
圖1(B)為顯示本發(fā)明的半導(dǎo)體功率元件裝置底面的立體圖。
圖1(C)為顯示本發(fā)明的半導(dǎo)體功率元件裝置封裝前的分解狀態(tài)立體圖。
圖2為封裝本發(fā)明半導(dǎo)體功率元件裝置的中間步驟側(cè)視圖,其中塑膠模鑄材料以點(diǎn)劃線表示。
圖3(A)至圖3(E)為本發(fā)明半導(dǎo)體功率元件裝置的封裝步驟示意圖。
圖4為本發(fā)明半導(dǎo)體功率元件裝置的電子電路圖。
圖5為本發(fā)明半導(dǎo)體功率元件裝置的等效電路圖。
圖6為本發(fā)明半導(dǎo)體功率元件裝置另一種實(shí)施型態(tài)示意圖。
圖7為本發(fā)明半導(dǎo)體功率元件裝置另一種封裝型態(tài)示意圖。
圖8為本發(fā)明實(shí)施在平面式布局的半導(dǎo)體功率元件裝置的實(shí)施型態(tài)示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明所涉及的半導(dǎo)體功率元件裝置,諸如用于電子電路元件的功率金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管,或者絕緣柵極雙極性晶體管等,為垂直式布局,即漏級(jí)(Drain)/或集極(Collector)在下面,而源極(Source)/或射極(Emitter)與柵極(Gate)在上面的布局方式,其中該功率元件也可以是二極管、整流器以及雙極性面結(jié)型晶體管。以下將配合附圖實(shí)施例說明本發(fā)明應(yīng)用于降低導(dǎo)通電阻,提高導(dǎo)通電流及增加散熱效率,并且節(jié)省封裝空間的半導(dǎo)體功率元件裝置及其封裝方法。
如圖1(A)至圖1(C)和圖2所示,本發(fā)明的半導(dǎo)體功率元件裝置1,其包括第一功率元件Q1與第二兩個(gè)功率元件Q2,所述功率元件Q1、Q2的柵極區(qū)G1與柵極區(qū)G2,源極區(qū)S1與源極區(qū)S2相對(duì)應(yīng)地重疊連接在一起,并分別連接接腳G、S;上述功率元件Q1、Q2的漏級(jí)D1、D2,分別連接在第一金屬導(dǎo)線架10與第二兩金屬導(dǎo)線架20上。其中第一導(dǎo)線架10的一端包含有一接腳D,另一端朝外延伸出固定的設(shè)接面11,并設(shè)有固定孔12;第二導(dǎo)線架20的一端包含有垂直于該導(dǎo)線架延伸的側(cè)壁21和平行于該導(dǎo)線架的搭接面22,與第一導(dǎo)線架10的設(shè)接面11搭接,另一端伸設(shè)有一接腳D′,與第一導(dǎo)線架10的接腳D搭接。因此,兩個(gè)功率元件Q1、Q2實(shí)質(zhì)上結(jié)合形成一個(gè)并聯(lián)結(jié)構(gòu),并且該第一導(dǎo)線架10及第二導(dǎo)線架20搭接形成上、下雙金屬板,利用上層金屬板擴(kuò)大散熱的封裝表面。
如圖3(A)至圖3(E)所示,上述半導(dǎo)體功率元件裝置1封裝方法的步驟包括步驟一如圖3(A)所示,先將第一功率元件Q1與第二功率元件Q2對(duì)稱地固定在第一導(dǎo)線架10與第二兩導(dǎo)線架20上,漏級(jí)接點(diǎn)D1、D2分別與導(dǎo)線架10、20形成電氣性連接;其中第一導(dǎo)線架10的一端延伸出一接腳D和兩個(gè)分離的接腳G、S;第二導(dǎo)線架20的一端包含有垂直于該導(dǎo)線架延伸的側(cè)壁21和平行于該導(dǎo)線架的搭接面22,另一端延伸出一接腳D′。
步驟二如圖3(B)所示,將第一功率元件Q1的柵極G1與源極S1接點(diǎn)用金屬線分別與接腳G、S形成電氣性連接。
步驟三如圖3(C)所示,通過錫爐,用錫球移載裝置(圖中未示出)將錫球30分別移植在第一、第二功率元件Q1、Q2的柵極G1、G2與源極S1、S2接點(diǎn),及第一導(dǎo)線架20的接腳D與第二導(dǎo)線架10的搭接面22和接腳D′上。
步驟四如圖3(D)所示,將第二導(dǎo)線架20翻轉(zhuǎn)連接在第一導(dǎo)線架10上,并使第二功率元件Q2的柵極區(qū)G2和源極區(qū)S2分別與第一功率元件Q1的柵極區(qū)G1和源極區(qū)S1的接點(diǎn)相對(duì)重疊連接;再通過烤箱(圖中未示出),加熱并加壓使錫球30熔融,將第一、第二功率元件Q1、Q2及第一、第二導(dǎo)線架10、20相對(duì)焊接在一起。
步驟五如圖3(E)所示,用塑膠鑄模材料40封裝,使第一及第二導(dǎo)線架10、20在半導(dǎo)體功率元件裝置1表面形成上、下雙金屬板,利用上層金屬板擴(kuò)大散熱的封裝表面。
如上所述,利用本發(fā)明的半導(dǎo)體功率元件裝置及其封裝方法,實(shí)質(zhì)上是將兩個(gè)功率元件通過金屬焊接材料焊接結(jié)合形成一個(gè)并聯(lián)結(jié)構(gòu),并因此可以產(chǎn)生如下的功效(1)電流從漏級(jí)端D流至源極端S時(shí),流經(jīng)并聯(lián)電路,因而可承受電流ID加倍,如圖4所示。
(2)源極與漏級(jí)間的導(dǎo)通電阻值RDS(ON)變小,約為原來二分之一(如圖5所示),即該兩功率元件的導(dǎo)通電阻值RDS1(RDS1=Δf(VG1)]]>,是VG1的函數(shù)),及RDS2(RDS2=Δf(VG2)]]>,為VG2的函數(shù))的并聯(lián)電阻值。
(3)崩潰電壓不變。
(4)封裝后體積不變。
(5)第一及第二導(dǎo)線架在半導(dǎo)體功率元件裝置表面形成上、下雙金屬板,利用上層金屬板擴(kuò)大散熱的封裝表面,如圖1(A)及圖1(B)所示,提高了散熱效率。
另外,又如圖6所示,因應(yīng)半導(dǎo)體功率元件裝置微小化,在細(xì)微加工制程中實(shí)際上可應(yīng)用的空間極其有限,為避免柵極G1與接腳G連接時(shí)金屬線跨越源極S1區(qū)而造成短路,因此功率元件Q1、Q2的排列,可將柵極G1區(qū)設(shè)置成與接腳G相同方向且距離最短。
圖7為本發(fā)明半導(dǎo)體功率元件裝置1另一種封裝型態(tài),此實(shí)施例與其他實(shí)施例的不同之處在于,封裝時(shí)將第二導(dǎo)線架20(上層金屬板)表面用塑膠鑄模材料40絕緣,避免該上層金屬板被誤觸,并且可利用該表面標(biāo)示元件型號(hào)等。
圖8為本發(fā)明在平面式布局的半導(dǎo)體功率元件裝置1的封裝型態(tài)。本實(shí)施例的構(gòu)造及封裝方法如同上述實(shí)施例,因此不再贅述,本實(shí)施例與其他實(shí)施例的不同之處在于,將第一導(dǎo)線架10上的第一功率元件Q1的柵極G1、漏級(jí)D1與源極S1接點(diǎn)分別用金屬線與接腳G、D、S形成電氣性連接;將第二導(dǎo)線架20上的第二功率元件Q2的柵極G2、漏級(jí)D2與源極S2接點(diǎn),重疊連接在第一導(dǎo)線架10上第一功率元件Q1相應(yīng)的柵極G1、漏級(jí)D1與源極S1接點(diǎn)上。如此同樣地可以達(dá)到本發(fā)明的目的與功效。
綜上所述,利用本發(fā)明用于降低導(dǎo)通電阻,提高導(dǎo)通電流及增加散熱效率,并且節(jié)省封裝空間的半導(dǎo)體功率元件裝置及其封裝方法,不但可大幅縮短研發(fā)時(shí)間,降低生產(chǎn)成本外,更可使半導(dǎo)體功率元件裝置的導(dǎo)通電阻值降低二分之一,其并聯(lián)電路承受電流值流經(jīng)值加倍,兩個(gè)導(dǎo)線架構(gòu)成上、下雙金屬板,利用上層金屬板擴(kuò)大散熱的封裝表面,提高了散熱效率,且節(jié)省了封裝空間。
上述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例,并不局限本發(fā)明的封裝型式及其實(shí)施范圍,即不偏離本發(fā)明的范圍所作的類似變化與修飾,應(yīng)仍屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
1.一種用于降低導(dǎo)通電阻、提高導(dǎo)通電流及增加散熱效率的半導(dǎo)體功率元件裝置的封裝方法,其步驟包括將第一與第二兩個(gè)垂直式功率元件對(duì)稱地固定在第一與第二兩導(dǎo)線架上,漏級(jí)接點(diǎn)分別與導(dǎo)線架形成電氣性連接;其中第一導(dǎo)線架的一端形成擴(kuò)大的設(shè)接面,另一端延伸出一接腳和兩個(gè)分離的接腳;第二導(dǎo)線架的一端包含有垂直于該導(dǎo)線架延伸的側(cè)壁與平行于該導(dǎo)線架的搭接面,另一端延伸出一接腳搭接面;將第一功率元件的柵極與源極接點(diǎn)通過金屬線分別與兩個(gè)分離的接腳形成電氣性連接;通過錫爐,用錫球移載裝置將錫球移植在第一、第二功率元件的柵極與源極接點(diǎn),及第一導(dǎo)線架接腳與第二導(dǎo)線架的搭接面上;將第二導(dǎo)線架翻轉(zhuǎn)連接在第一導(dǎo)線架上,并使第二功率元件與第一功率元件的柵極與柵極、源極與源極接點(diǎn)相對(duì)重疊連接;通過烤箱,加熱并加壓使錫球熔融,而使第一、第二功率元件及第一、第二導(dǎo)線架相對(duì)焊接在一起;用塑膠鑄模材料封裝,使第一及第二導(dǎo)線架在半導(dǎo)體功率元件裝置表面形成上、下雙金屬板,利用上層金屬板擴(kuò)大散熱的封裝表面。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體功率元件裝置的封裝方法,其中功率元件包括功率二極管,整流器,垂直式及平面式功率金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管,雙極性面結(jié)型晶體管以及絕緣柵極雙極性晶體管。
3.一種用于降低導(dǎo)通電阻,提高導(dǎo)通電流及增加散熱效率的半導(dǎo)體功率元件裝置,其包括第一與第二兩個(gè)垂直式功率元件,所述功率元件的柵極區(qū)與柵極區(qū)、源極區(qū)與源極區(qū)相對(duì)應(yīng)地重疊連接在一起,并接引出有接腳;上述功率元件的漏級(jí),分別連接在第一和第二兩金屬導(dǎo)線架上,其中第一導(dǎo)線架的一端包含有一接腳,第二導(dǎo)線架的一端包含有垂直于該導(dǎo)線架延伸的側(cè)壁與平行于該導(dǎo)線架的搭接面,兩導(dǎo)線架搭接成上、下雙金屬板,利用上層金屬板擴(kuò)大散熱的封裝表面。
4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體功率元件裝置,其中第二導(dǎo)線架的一端延伸出一接腳,搭接在第一導(dǎo)線架的接腳上。
5.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體功率元件裝置,其中第一導(dǎo)線架的一端延伸出一用于固定的設(shè)接面。
6.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體功率元件裝置,其中第一、第二功率元件的柵極與源極接點(diǎn),及第一與第二導(dǎo)線架的搭接面上,通過金屬焊接材料焊接形成并聯(lián)結(jié)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體功率元件裝置,其中功率元件包括功率二極管,整流器,垂直式及平面式功率金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管,雙極性面結(jié)型晶體管以及絕緣柵極雙極性晶體管。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于降低導(dǎo)通電阻,提高導(dǎo)通電流及增加散熱效率的半導(dǎo)體功率元件裝置及封裝方法,該裝置將連接在第一、第二金屬導(dǎo)線架上的第一、第二兩個(gè)垂直式功率元件并聯(lián)連接,兩導(dǎo)線架搭接成的上、下雙金屬板,擴(kuò)大了散熱的封裝表面,該半導(dǎo)體功率元件裝置可以使導(dǎo)通電阻值降低二分之一,并聯(lián)電路所能承受的電流流經(jīng)值加倍,并提高了散熱效率,節(jié)省了封裝空間。
文檔編號(hào)H01L21/02GK1472784SQ0212699
公開日2004年2月4日 申請(qǐng)日期2002年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2002年7月30日
發(fā)明者蘇玉昆 申請(qǐng)人:華瑞股份有限公司