專利名稱：全金屬板條波導(dǎo)氣體激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光器，具體講涉及一種全金屬板條波導(dǎo)氣體激光器。
背景技術(shù)：
射頻橫向氣體放電技術(shù)與光學(xué)波導(dǎo)技術(shù)的結(jié)合，推動(dòng)了波導(dǎo)CO2激光器技術(shù)的迅速發(fā)展。在過去的十幾年里，射頻橫向激勵(lì)單波導(dǎo)CO2激光器技術(shù)經(jīng)歷了從全陶瓷波導(dǎo)結(jié)構(gòu)、陶瓷與金屬夾心波導(dǎo)結(jié)構(gòu)到全金屬波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的發(fā)展過程。在全陶瓷波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中(見圖1a)，方形波導(dǎo)是由四塊真空陶瓷構(gòu)成，置于二個(gè)金屬電極之間，放電激勵(lì)在波導(dǎo)內(nèi)形成一增益通道區(qū)。全陶瓷波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)是光波損耗小。隨著波導(dǎo)CO2激光器技術(shù)的發(fā)展，為了提高增益冷卻效果及降低成本和簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，陶瓷與金屬夾心波導(dǎo)結(jié)構(gòu)被提了出來(見圖1b)。在金屬和陶瓷夾心波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中，二個(gè)金屬電極和二個(gè)真空陶瓷板構(gòu)成了波導(dǎo)放電激勵(lì)通道。為了更進(jìn)一步降低器件成本以及易模塊化生產(chǎn)，1988年美國(guó)Synrad公司提出一種射頻激勵(lì)大口徑全金屬通道CO2激光器技術(shù)[1](見圖1c)。在這種技術(shù)中，波導(dǎo)通道是由四根經(jīng)過陽(yáng)極氧化表面處理的鋁合金電極構(gòu)成的，側(cè)壁電極接地，上下電極相位差180度，形成四電極放電形式。1991年北京理工大學(xué)的辛建國(guó)等人研制成一種射頻橫向二電極放電激勵(lì)全金屬波導(dǎo)結(jié)構(gòu)CO2激光器技術(shù)[2](見圖1d)。在這種結(jié)構(gòu)中，上下電極和波導(dǎo)側(cè)壁均為鋁合金，在波導(dǎo)側(cè)壁與上下電極間留有厚0.1mm的氣體間隙，根據(jù)氣體放電的巴邢原理，在極小氣體間隙間，氣體擊穿電壓較高。因而適當(dāng)設(shè)計(jì)波導(dǎo)通道口徑尺寸，可將氣體放電激勵(lì)限制在波導(dǎo)通道內(nèi)。
國(guó)際上目前報(bào)道的擁有射頻激勵(lì)全金屬CO2激光器技術(shù)的僅兩家，美國(guó)Synrad公司的射頻激勵(lì)四電極大口徑全金屬通道CO2激光器和北京理工大學(xué)的射頻橫向激勵(lì)二電極全金屬波導(dǎo)結(jié)構(gòu)CO2激光器。
但到目前為止，國(guó)內(nèi)外所報(bào)道的面增比板條波導(dǎo)射頻激勵(lì)擴(kuò)散型冷卻CO2激光器均采用的是金屬與陶瓷夾心結(jié)構(gòu)。從技術(shù)上說，金屬與陶瓷夾心結(jié)構(gòu)波導(dǎo)射頻激勵(lì)擴(kuò)散型冷卻CO2激光器利用陶瓷來電隔離放電電極，以使在金屬與陶瓷夾心結(jié)構(gòu)的波導(dǎo)內(nèi)產(chǎn)生氣體放電形成增益區(qū)；而全金屬波導(dǎo)結(jié)構(gòu)射頻激勵(lì)擴(kuò)散型冷卻CO2激光器利用氣體放電的巴邢原理，將氣體放電抑制在全金屬波導(dǎo)內(nèi)形成增益區(qū)。兩種技術(shù)的增益區(qū)形成原理根本不同。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種全金屬板條波導(dǎo)激光器，利用氣體放電的巴邢原理和采用射頻橫向氣體放電激勵(lì)在金屬波導(dǎo)內(nèi)形成激光增益。構(gòu)成一種射頻橫向氣體放電激勵(lì)的板條全金屬波導(dǎo)氣體激光器。該種激光器與陶瓷結(jié)構(gòu)板條波導(dǎo)及陶瓷和金屬夾心結(jié)構(gòu)板條波導(dǎo)激光器相比，可降低器件成本和可形成模塊化生產(chǎn)。
本發(fā)明提供了一種全金屬板條波導(dǎo)氣體激光器，所述激光器包括金屬中心電極1、金屬下電極2、兩金屬側(cè)壁3和電絕緣件4構(gòu)成板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)；設(shè)有沿金屬中心電極1長(zhǎng)度方向的、連接在金屬中心電極1和兩金屬側(cè)壁3間的匹配電感7；沿電極長(zhǎng)度方向設(shè)有置于金屬中心電極1下角棱B和兩金屬側(cè)壁3間的使其間具有一間隙的電絕緣件4；兩金屬側(cè)壁3和金屬下電極2直接相連；金屬下電極2與真空腔12內(nèi)壁直接相連或通過其他金屬部件和真空腔12內(nèi)壁相連；金屬中心電極1和電極連接桿10連接；電極連接桿10穿過真空隔離絕緣襯套11與外部器件相連。
本發(fā)明提供的一種優(yōu)選金屬板條波導(dǎo)氣體激光器，所述激光器包括金屬中心電極1、金屬下電極2、兩金屬側(cè)壁3和電絕緣件4構(gòu)成板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)；設(shè)有沿金屬中心電極1長(zhǎng)度方向的、連接在金屬中心電極1和兩金屬側(cè)壁3間的匹配電感7；沿電極長(zhǎng)度方向設(shè)有置于金屬中心電極1下角棱B和兩金屬側(cè)壁3間的使其間具有一間隙的電絕緣件4；兩金屬側(cè)壁3和金屬下電極2直接相連；金屬下電極2與真空腔12內(nèi)壁直接相連或通過其他金屬部件和真空腔12內(nèi)壁相連；金屬中心電極1和電極連接桿10連接；電極連接桿10穿過真空隔離絕緣襯套11與外部器件相連。沿電極長(zhǎng)度方向設(shè)有置于金屬中心電極1和金屬下擠壓板8或真空腔12內(nèi)壁間的使其間成一間隙的電絕緣件4；金屬下擠壓板8的斜面和金屬上擠壓板9的斜面直接相連；金屬上擠壓板9的平面與真空腔內(nèi)壁直接相連。
本發(fā)明提供的較優(yōu)選的金屬板條波導(dǎo)氣體激光器，所述激光器包括金屬中心電極1、金屬下電極2、兩金屬側(cè)壁3和電絕緣件4構(gòu)成板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)；設(shè)有沿金屬中心電極1長(zhǎng)度方向的、連接在金屬中心電極1和兩金屬側(cè)壁3間的匹配電感7；沿電極長(zhǎng)度方向設(shè)有置于金屬中心電極1下角棱B和兩金屬側(cè)壁3間的使其間具有一間隙的電絕緣件4；兩金屬側(cè)壁3和金屬下電極2直接相連；金屬下電極2與真空腔12內(nèi)壁直接相連或通過其他金屬部件和真空腔12內(nèi)壁相連；金屬中心電極1和電極連接桿10連接；電極連接桿10穿過真空隔離絕緣襯套11與外部器件相連。沿電極長(zhǎng)度方向設(shè)有置于金屬中心電極1和金屬下擠壓板8或真空腔12內(nèi)壁間的使其間成一間隙的電絕緣件4；金屬下擠壓板8的斜面和金屬上擠壓板9的斜面直接相連；金屬上擠壓板9的平面與真空腔內(nèi)壁直接相連。所述波導(dǎo)氣體放電區(qū)高為1-6mm，寬為2-200mm。
本發(fā)明提供的最優(yōu)選的金屬板條波導(dǎo)氣體激光器，所述激光器包括金屬中心電極1、金屬下電極2、兩金屬側(cè)壁3和電絕緣件4構(gòu)成波導(dǎo)氣體放電區(qū)；設(shè)有沿金屬中心電極1長(zhǎng)度方向的、連接在金屬中心電極1和兩金屬側(cè)壁3間的匹配電感7；沿電極長(zhǎng)度方向設(shè)有置于金屬中心電極1下角棱B和兩金屬側(cè)壁3間的使其間具有0.05-0.5mm間隙的電絕緣件4；兩金屬側(cè)壁3和金屬下電極2直接相連；金屬下電極2與真空腔12內(nèi)壁直接相連或通過其他金屬部件和真空腔12內(nèi)壁相連；金屬中心電極1和電極連接桿10連接；電極連接桿10穿過真空隔離絕緣襯套11與外部器件相連。沿電極長(zhǎng)度方向設(shè)有置于金屬中心電極1和金屬下擠壓板8或真空腔12內(nèi)壁間的使其間成0.05-0.5mm間隙的電絕緣件4；金屬下擠壓板8的斜面和金屬上擠壓板9的斜面直接相連；金屬上擠壓板9的平面與真空腔內(nèi)壁直接相連。所述波導(dǎo)氣體放電區(qū)高為1-6mm，寬為2-200mm。
本發(fā)明的全金屬板條波導(dǎo)激光器，其結(jié)構(gòu)由圖2和圖3所示。金屬中心電極1，金屬下電極2和兩金屬側(cè)壁3構(gòu)成板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)5，高H＝1-6mm，寬W＝2-200mm，即激光增益區(qū)。沿金屬中心電極1長(zhǎng)度方向，在金屬中心電極1和兩金屬側(cè)壁3之間連接數(shù)個(gè)匹配電感7，兩金屬側(cè)壁3和金屬下電極2直接相連，金屬下電極2置于金屬托板6之上并緊密連接。沿電極長(zhǎng)度方向有數(shù)個(gè)電絕緣件4置于金屬中心電極1的下角棱B(見圖4)和兩金屬側(cè)壁3(見圖5)之間，在金屬中心電極1和兩金屬側(cè)壁3之間形成0.05-0.5mm間隙。金屬中心電極1與電極連接桿10連接，電極連接桿10穿過真空隔離絕緣襯套11與真空腔12外的器件相連。金屬中心電極1的下角棱A和上角棱B的角度(見圖4)取值在20-80度之間。兩金屬側(cè)壁3的內(nèi)角棱C和外角棱D的角度(見圖5)取值在20-80度之間。沿電極長(zhǎng)度方向有數(shù)個(gè)電絕緣件4置于金屬中心電極1的上角棱A(見圖4)和金屬下擠壓板8(見圖6)或金屬真空腔12內(nèi)壁之間，在金屬中心電極1和金屬下擠壓板8或金屬真空腔12內(nèi)壁之間形成0.05-0.5mm的間隙。金屬下擠壓板8的兩個(gè)長(zhǎng)度方向的角棱E的角度(見圖6)取值在20-80度之間。金屬下擠壓板8和金屬上擠壓板9各有一個(gè)斜面，金屬下擠壓板8的斜面和金屬上擠壓板9的斜面直接相連(見圖3)。通過改變金屬下擠壓板8和金屬上擠壓板9的長(zhǎng)度方向的相對(duì)位置，可調(diào)節(jié)金屬下擠壓板8和金屬上擠壓板9疊加在一起的總高度，從而可將由金屬中心電極1，金屬下電極2，兩金屬側(cè)壁3，電絕緣件4，金屬托板6，匹配電感7，金屬下擠壓板8，金屬上擠壓板9和電極連接桿10構(gòu)成的組件固定于金屬真空腔12內(nèi)。
光學(xué)諧振腔輸出鏡片13安裝于輸出鏡片金屬固定架14內(nèi)，輸出鏡片金屬固定架14通過輸出鏡架金屬調(diào)節(jié)螺桿15與輸出鏡架金屬調(diào)節(jié)支撐架16相連接，輸出鏡架金屬調(diào)節(jié)支撐架16固定在金屬托板6上(如圖3所示)。光學(xué)諧振腔后反饋鏡片17安裝于后反饋鏡片金屬固定架18內(nèi)，后反饋鏡片金屬固定架18通過后反饋鏡架金屬調(diào)節(jié)螺桿19與后反饋鏡架金屬調(diào)節(jié)支撐架20相連接，后反饋鏡架金屬調(diào)節(jié)支撐架20固定在金屬托板6上。激光輸出窗口22真空封接在真空腔12前端面板上(如圖3所示)。
在本發(fā)明提供的激光器結(jié)構(gòu)中，由于板條波導(dǎo)是全金屬波導(dǎo)，所以其具有良好的導(dǎo)熱性和低成本的優(yōu)勢(shì)。當(dāng)采用鋁合金等金屬材料時(shí)，其零部件可采用擠壓成型的工藝，可實(shí)現(xiàn)模塊化生產(chǎn)，進(jìn)一步降低成本。與以往的全陶瓷波導(dǎo)結(jié)構(gòu)激光器件或陶瓷與金屬夾心波導(dǎo)結(jié)構(gòu)激光器件相比，有著成本低的較大優(yōu)勢(shì)。與以往的全金屬波導(dǎo)結(jié)構(gòu)激光器件相比，由于如金屬側(cè)壁3和金屬下電極2直接相連；金屬下擠壓板8的斜面和金屬上擠壓板9的斜面直接相連；金屬上擠壓板9的平面于真空腔內(nèi)壁直接相連，所以結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)單，導(dǎo)熱性能進(jìn)一步提高，利用射頻氣體放電激勵(lì)可形成板條型增益區(qū)，結(jié)合光學(xué)諧振腔可實(shí)現(xiàn)全金屬板條波導(dǎo)結(jié)構(gòu)激光器件。


附圖1.氣體激光器中現(xiàn)有波導(dǎo)結(jié)構(gòu)示意圖a.全陶瓷單通道波導(dǎo)結(jié)構(gòu)；b.陶瓷與金屬夾心結(jié)構(gòu)；c.全金屬四電極大口徑通道結(jié)構(gòu)；d.全金屬方波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。
附圖2A.全金屬板條波導(dǎo)結(jié)構(gòu)橫截面示意圖1.金屬中心電極；2.金屬下電極；3.金屬側(cè)壁；4.電絕緣件；5.板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)；6.金屬托板；7.匹配電感；8.金屬下擠壓板；9.金屬上擠壓板；10.電極連接桿；11.真空隔離絕緣襯套；12.金屬真空腔。
附圖2B.全金屬板條波導(dǎo)結(jié)構(gòu)橫截面示意圖1.金屬中心電極；2.金屬下電極；3.金屬側(cè)壁；4.電絕緣件；5.板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)；6.金屬托板；7.匹配電感；10.電極連接桿；11.真空隔離絕緣襯套；12.金屬真空腔。
附圖3A.全金屬板條波導(dǎo)結(jié)構(gòu)縱向截面示意圖1.金屬中心電極；3.金屬側(cè)壁；4.電絕緣件；6.金屬托板；7.匹配電感；8.金屬下擠壓板；9.金屬上擠壓板；12.金屬真空腔；13.光學(xué)諧振腔輸出鏡片；14.輸出鏡片金屬固定架；15.輸出鏡架金屬調(diào)節(jié)螺桿；16.輸出鏡架金屬調(diào)節(jié)支撐架；17.光學(xué)諧振腔后反饋鏡片；18.后反饋鏡片金屬固定架；19.后反饋鏡架金屬調(diào)節(jié)螺桿；20.后反饋鏡架金屬調(diào)節(jié)支撐架；21.電極連接桿連接口；22.激光輸出窗口；23.激光輸出光束。
附圖3B.全金屬板條波導(dǎo)結(jié)構(gòu)縱向截面示意圖1.金屬中心電極；2.金屬側(cè)壁；4.電絕緣件；6.金屬托板；7.匹配電感；12.金屬真空腔；13.光學(xué)諧振腔輸出鏡片；14.輸出鏡片金屬固定架；15.輸出鏡架金屬調(diào)節(jié)螺桿；16.輸出鏡架金屬調(diào)節(jié)支撐架；17.光學(xué)諧振腔后反饋鏡片；18.后反饋鏡片金屬固定架；19.后反饋鏡架金屬調(diào)節(jié)螺桿；20.后反饋鏡架金屬調(diào)節(jié)支撐架；21.電極連接桿連接口；22.激光輸出窗口；23.激光輸出光束。
附圖4.金屬中心電極1的角棱示意圖A.金屬中心電極上角棱；B.金屬中心電極下角棱；h1.金屬中心電極下角棱高度；d1.金屬中心電極下角棱寬度；h2.金屬中心電極上角棱高度；d2.金屬中心電極上角棱寬度；L1.金屬中心電極長(zhǎng)度；W1.金屬中心電極寬度；H1.金屬中心電極高度；21.電極連接桿連接口。
附圖5.金屬側(cè)壁3的角棱示意圖A.金屬側(cè)壁內(nèi)角棱；B.金屬側(cè)壁外角棱；h3.金屬側(cè)壁外角棱高度；d3.金屬側(cè)壁外角棱寬度；h4.金屬側(cè)壁內(nèi)角棱高度；d4.金屬側(cè)壁內(nèi)角棱寬度；L3.金屬側(cè)壁長(zhǎng)度；W3.金屬側(cè)壁寬度；H3.金屬側(cè)壁高度。
附圖6.金屬下擠壓板8的角棱示意圖A.金屬下擠壓板角棱；h5.金屬下擠壓板角棱高度；d5.金屬下擠壓板角棱寬度；L5.金屬下擠壓板長(zhǎng)度；W5.金屬下擠壓板寬度；H5.金屬下擠壓板高端高度；H6.金屬下擠壓板低端高度。
附圖7.金屬下電極2的示意圖L2.金屬下電極長(zhǎng)度；W2.金屬下電極寬度；H2.金屬下電極高度。
圖8.金屬托板6的示意圖L4.金屬托板長(zhǎng)度；W4.金屬托板寬度；H5.金屬托板高度。
圖9.金屬上擠壓板9的示意圖L6.金屬下擠壓板長(zhǎng)度；W6.金屬下擠壓板寬度；H7.金屬下擠壓板低端高度；H8.金屬下擠壓板高端高度。
圖10.金屬真空腔12的示意圖L7.金屬真空腔長(zhǎng)度；W7.金屬真空腔外寬度；W8.金屬真空腔內(nèi)寬度；H9.金屬真空腔外高度；H10.金屬真空腔內(nèi)高度；11.真空隔離絕緣襯套。
附圖11.光學(xué)諧振腔與板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)5的相對(duì)位置示意圖板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)；13.光學(xué)諧振腔輸出鏡片；17.光學(xué)諧振腔后反饋鏡片；23.激光輸出光束；Lg.光學(xué)諧振腔長(zhǎng)度。
具體實(shí)施例方式在板條波導(dǎo)氣體激光器中，激光增益是一個(gè)板條狀增益。采用本發(fā)明的全金屬板條波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，利用射頻氣體放電激勵(lì)，可形成板條型激光增益體積，與光學(xué)諧振腔結(jié)合，可獲得有效的激光功率輸出(見圖2和圖3)。
其實(shí)例參數(shù)如下金屬中心電極1，金屬下電極2，兩金屬側(cè)壁3，金屬托板6，金屬下擠壓板8，金屬上擠壓板9，輸出鏡片金屬固定架14，后反饋鏡片金屬固定架18，輸出鏡架金屬調(diào)節(jié)支撐架16和后反饋鏡架金屬調(diào)節(jié)支撐架20均由防銹鋁合金制成，絕緣件4是由Al2O3真空瓷制成的薄片，電極連接桿10和匹配電感7由金屬銅制成，金屬真空腔12由鍛鋁合金制成。輸出鏡架金屬調(diào)節(jié)螺桿15和后反饋鏡架金屬調(diào)節(jié)螺桿19由銅合金制成。
金屬中心電極1長(zhǎng)L1為386mm，寬W1為40mm和高H1為20mm，上角棱A的角度為45°，上角棱A寬d2為2mm，高h(yuǎn)2為2mm。下角棱B的角度為45°，下角棱B的寬d1為2mm，高h(yuǎn)1為2mm(見圖4)；金屬下電極2長(zhǎng)L2為386mm，寬W2為24mm和高H2為17mm(見圖7)；金屬側(cè)壁3長(zhǎng)L3為386mm，寬W3為10mm和高H3為19mm，外角棱C的角度為45°，外角棱C寬d4為2mm，高h(yuǎn)4為2mm。內(nèi)角棱D的角度為45°，內(nèi)角棱D的寬d3為2mm，高h(yuǎn)3為2mm(見圖5)；金屬托板6長(zhǎng)L4為486mm，寬W4為36mm和高H4為8mm(見圖8)；金屬下擠壓板8長(zhǎng)L5為386mm，寬W5為40mm，高端高H5為2mm和低端高H6為25mm，角棱E的角度為45°，角棱E寬d5為2mm，高h(yuǎn)5為2mm(見圖6)；金屬上擠壓板9長(zhǎng)L6為386mm，寬W6為36mm，低端高H7為2mm和高端高H8為25mm(見圖9)；電絕緣件4是直徑為8mm，厚度為0.1mm的圓形薄片。金屬真空腔12長(zhǎng)L7為470mm，外寬W7為94mm，外高H9為94mm，內(nèi)寬W8為74mm，內(nèi)高H10為74mm(見圖10)。
光學(xué)諧振腔是一個(gè)離軸虛共焦非穩(wěn)腔，光學(xué)諧振腔輸出鏡片13是一個(gè)離軸凸面反射鏡，曲率半徑r為3280mm；光學(xué)諧振腔后反饋鏡片17是一個(gè)離軸凹面反射鏡，曲率半徑R為4100mm；光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)Lg為410mm(見圖11)。輸出光束尺寸為高為2mm，寬為4mm。
通過調(diào)節(jié)金屬下擠壓板8和金屬上擠壓板9的縱向相對(duì)位置，可調(diào)節(jié)金屬下擠壓板8和金屬上擠壓板9疊加在一起的總高度，從而將由金屬中心電極1，金屬下電極2，金屬側(cè)壁3，電絕緣件4，金屬托板6，匹配電感7，金屬下擠壓板8，金屬上擠壓板9和電極連接桿10構(gòu)成的組件固定于金屬真空腔12內(nèi)。以此形成一個(gè)高H為2mm，寬W為20mm的全金屬板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)5(見圖2和圖3)。
通過從電極連接桿10輸入射頻功率，在全金屬板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)5產(chǎn)生射頻氣體放電激勵(lì)，可形成板條型激光增益體積，與光學(xué)諧振腔結(jié)合，可獲得有效的激光功率輸出(見圖3和圖11)。
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進(jìn)行種種變更或修改，但這些變更和修改均在申請(qǐng)待批的權(quán)利要求書的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種全金屬板條波導(dǎo)氣體激光器，其特征在于，所述激光器包括金屬中心電極(1)、金屬下電極(2)、兩金屬側(cè)壁(3)和電絕緣件(4)構(gòu)成板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)；設(shè)有沿金屬中心電極(1)長(zhǎng)度方向的、連接在金屬中心電極(1)和兩金屬側(cè)壁(3)間的匹配電感(7)；沿電極長(zhǎng)度方向設(shè)有置于金屬中心電極(1)下角棱B和兩金屬側(cè)壁(3)間的使其間具有一間隙的電絕緣件(4)；兩金屬側(cè)壁(3)和金屬下電極(2)直接相連；金屬下電極(2)與真空腔(12)內(nèi)壁直接相連或通過其他金屬部件和真空腔(12)內(nèi)壁相連；金屬中心電極(1)和電極連接桿(10)連接；電極連接桿(10)穿過真空隔離絕緣襯套(11)與外部器件相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的金屬板條波導(dǎo)氣體激光器，其特征在于沿電極長(zhǎng)度方向設(shè)有置于金屬中心電極(1)和金屬下擠壓板(8)或真空腔(12)內(nèi)壁間的使其間具有一間隙的電絕緣件(4)；金屬下擠壓板(8)的斜面和金屬上擠壓板(9)的斜面直接相連；金屬上擠壓板(9)的平面與真空腔內(nèi)壁直接相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的金屬板條波導(dǎo)氣體激光器，其特征在于所述板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)高為1-6mm，寬為2-200mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3的金屬板條波導(dǎo)氣體激光器，其特征在于所述間隙為0.05-0.5mm。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種全金屬板條波導(dǎo)氣體激光器，所述激光器包括金屬中心電極1、金屬下電極2、兩金屬側(cè)壁3和電絕緣件4構(gòu)成板條波導(dǎo)氣體放電區(qū)；設(shè)有沿金屬中心電極1長(zhǎng)度方向的、連接在金屬中心電極1和兩金屬側(cè)壁3間的匹配電感7；沿電極長(zhǎng)度方向設(shè)有置于金屬中心電極1下角棱B和兩金屬側(cè)壁3間的使其間具有一間隙的電絕緣件4；兩金屬側(cè)壁3和金屬下電極2直接相連；金屬下電極2與真空腔12內(nèi)壁直接相連或通過其他金屬部件和真空腔12內(nèi)壁相連；金屬中心電極1和電極連接桿10連接；電極連接桿10穿過真空隔離絕緣襯套11與外部器件相連。這種激光器具有良好的導(dǎo)熱性和低成本的優(yōu)勢(shì)，結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)單。
文檔編號(hào)H01S3/038GK1501556SQ0214869
公開日2004年6月2日 申請(qǐng)日期2002年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月18日
發(fā)明者辛建國(guó), 鄔江興, 張志遠(yuǎn), 王偉平 申請(qǐng)人:北京礴德恒激光科技有限公司