專利名稱:半自動(dòng)硅表面織構(gòu)機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種制備在太陽(yáng)能領(lǐng)域的單晶硅表面織構(gòu)“絨面”的技術(shù)和設(shè)備,以增加光照面積,減少表面光反射,增加光電流。
背景技術(shù):
因?yàn)橄溲趸c(NaOH)溶液對(duì)硅(Si)材料具有選擇性腐蝕性能,而對(duì)(100)方向的硅單晶片,四個(gè)(110)方向腐蝕最快,因此在硅單晶表面會(huì)形成不同邊長(zhǎng)的正金字塔形狀(正方形底面的錐體),在中國(guó)俗稱“絨面”,而制成金字塔的形成,目前多半是手工操作,為了使硅單晶表面不出現(xiàn)“雨點(diǎn)”、“亮點(diǎn)”以及“金字塔”大小不均勻,在制作過(guò)程中必須將載有硅片的“花籃”不停地在稀氫氧化鈉(NaOH)溶液中上、下移動(dòng),一般制作一次“絨面”需40分鐘,甚至1小時(shí),手工操作勞動(dòng)強(qiáng)度很大,而且產(chǎn)品質(zhì)量不穩(wěn)定。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種半自動(dòng)硅表面織構(gòu)機(jī),設(shè)定一最佳時(shí)間控制程序,驅(qū)動(dòng)一電動(dòng)機(jī)間隙地工作,帶動(dòng)載有硅片的花籃在稀氫氧化鈉(NaOH)溶液中上、下移動(dòng),腐蝕硅片,形成金字塔形狀,具體方案是,電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)一轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸末端形成蝸桿,蝸桿與一齒輪嚙合,帶動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng),在齒輪的一側(cè)連接一傳動(dòng)臂,傳動(dòng)臂下端與一托盤連接,托盤固定在升降板上,升降板下面安裝若干吊勾,吊勾上掛著盛有硅片的花籃,花籃浸在稀氫氧化鈉溶液中,電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)后,傳動(dòng)臂作上、下運(yùn)動(dòng),帶動(dòng)花籃在稀氫氧化鈉溶液中上、下移動(dòng),電動(dòng)機(jī)由時(shí)間控制電路控制作間隙地工作,時(shí)間控制電路由數(shù)個(gè)時(shí)間繼電器SJ、數(shù)個(gè)中間繼電器J、熱繼電器RJ和開(kāi)關(guān)K構(gòu)成,按下列時(shí)間程序工作a,電動(dòng)機(jī)先連續(xù)工作8分鐘;b,電動(dòng)機(jī)從第8分鐘開(kāi)始,依序停止2分鐘后,再工作2分鐘,再停止2分鐘后,再工作2分鐘.....直至第30分鐘;c,電動(dòng)機(jī)從第30分鐘開(kāi)始,連續(xù)工作15分鐘后停止工作。
優(yōu)點(diǎn)是,省去人工操作,達(dá)到半自動(dòng)操作程度,大大提高了工作效率,改善了產(chǎn)品質(zhì)量。
附圖1是本實(shí)用新型的機(jī)械裝置示意圖。
附圖2是時(shí)間控制電路圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱附圖1所示,電動(dòng)機(jī)1帶動(dòng)一轉(zhuǎn)軸3,轉(zhuǎn)軸3裝在軸承座2上,轉(zhuǎn)軸3末端是蝸桿,蝸桿與一齒輪6嚙合,帶動(dòng)齒輪6轉(zhuǎn)動(dòng),在齒輪6的一側(cè)連接一傳動(dòng)臂4,傳動(dòng)臂4下端與一托盤12連接,托盤12固定在升降板9上,升降板9通過(guò)導(dǎo)向柱7、彈簧10與固定板8連接,下面安若干吊勾11,吊勾11上掛著盛有硅片15的花籃14,花籃14浸在稀氫氧化鈉溶液中,電動(dòng)機(jī)1轉(zhuǎn)動(dòng)后,傳動(dòng)臂4作上、下運(yùn)動(dòng),帶動(dòng)花籃14在稀氫氧化鈉溶液中上、下移動(dòng),電動(dòng)機(jī)1由時(shí)間控制電路控制作間隙地工作;請(qǐng)參閱附圖2,時(shí)間控制電路路由時(shí)間繼電器1SJ、2SJ、3SJ、4SJ、5SJ,中間繼電器J1、J2、J ,接觸器C,熱繼電器RJ,開(kāi)關(guān)K組成,電動(dòng)機(jī)采用防酸防堿電動(dòng)機(jī),電動(dòng)機(jī)M的三相繞組由熱繼電器RJ保護(hù),每個(gè)繞組還接有保險(xiǎn)絲RD。
權(quán)利要求1,一種半自動(dòng)硅表面織構(gòu)機(jī),包括時(shí)間控制電路和機(jī)械裝置,其特征在于電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)一轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸末端為蝸桿,蝸桿與一齒輪嚙合,帶動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng),在齒輪的一側(cè)連接一傳動(dòng)臂,傳動(dòng)臂下端與一托盤連接,托盤固定在升降板上,升降板下面安裝若干吊勾,吊勾上掛著盛有硅片的花籃,花籃浸在稀氫氧化鈉溶液中,電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)后,傳動(dòng)臂作上、下運(yùn)動(dòng),帶動(dòng)花籃在稀氫氧化鈉溶液中上、下移動(dòng),電動(dòng)機(jī)由時(shí)間控制電路控制作間隙地工作。
2,按權(quán)利要求1所述的半自動(dòng)硅表面織構(gòu)機(jī),其特征在于時(shí)間控制電路由數(shù)個(gè)時(shí)間繼電器SJ、數(shù)個(gè)中間繼電器J、熱繼電器RJ和開(kāi)關(guān)K構(gòu)成,按下列時(shí)間程序工作a,電動(dòng)機(jī)先連續(xù)工作8分鐘;b,電動(dòng)機(jī)從第8分鐘開(kāi)始,依序停止2分鐘后,再工作2分鐘,再停止2分鐘后,再工作2分鐘.....直至第30分鐘;c,電動(dòng)機(jī)從第30分鐘開(kāi)始,連續(xù)工作15分鐘后停止工作。
專利摘要本實(shí)用新型的目的是提供一種半自動(dòng)硅表面織構(gòu)機(jī),用一電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)一機(jī)械裝置,機(jī)械裝置上安裝有盛有硅片的花籃,花籃浸在稀氫氧化鈉(NaOH)溶液中,當(dāng)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),花籃在稀氫氧化鈉溶液中上、下移動(dòng),腐蝕硅片,形成金字塔形狀,電動(dòng)機(jī)由時(shí)間控制電路控制工作,設(shè)定一最佳時(shí)間控制程序,使電動(dòng)機(jī)作間隙地工作,達(dá)到腐蝕的硅片上的金字塔形狀質(zhì)量最佳。
文檔編號(hào)H01L31/0236GK2613052SQ0226090
公開(kāi)日2004年4月21日 申請(qǐng)日期2002年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月22日
發(fā)明者劉明義, 趙德慶, 郁飚, 王榮富, 吳曉平, 汪樂(lè), 胡宏勛 申請(qǐng)人:上海交大泰陽(yáng)綠色能源有限公司