專利名稱：承載體、承載體搬運器和半導(dǎo)體搬運設(shè)備的對準方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于承載半導(dǎo)體襯底的承載體和用于搬運半導(dǎo)體襯底的設(shè)備，更具體而言，涉及用于半導(dǎo)體襯底承載體和搬運設(shè)備的對準方法和裝置。
背景技術(shù)：
諸如晶片的半導(dǎo)體襯底，通常在一般包括許多個設(shè)施的處理線中被處理。在圖1中示出了一個這樣的設(shè)施，一般地表示為10。設(shè)施10包括帶合適平臺(未示出)的轉(zhuǎn)移室11。幾個處理室(在此例子中是四個)12安裝在轉(zhuǎn)移室11的四個面處，在此例中，轉(zhuǎn)移室具有六個面。兩個裝載鎖定室(load lock chamber)13安裝在轉(zhuǎn)移室的另兩個面上，并連接到還在圖2中示出的微環(huán)境(也稱為制造接口(factory interface，F(xiàn)I))15。在14示意性地示出的機械手操作，以將晶片從裝載鎖定室13轉(zhuǎn)移到處理室12以及在處理室12之間轉(zhuǎn)移。這種設(shè)施的例子是可從加州Santa Clara的Applied Materials公司得到的Centura或者Endura。
一般地表示為15的微環(huán)境，用作晶片調(diào)度和操縱的潔凈環(huán)境。這樣的微環(huán)境可以是可從加州Fremont的Asyst Technologies公司得到的SMIF-300晶片管理系統(tǒng)。其包括外殼16和幾個(在此例子中是兩個)晶片艙裝載器21和22，后兩者分別用于晶片艙23和24(圖2)。每個晶片艙23、24包含一堆要由設(shè)施10處理的晶片。外殼16容納一個或多個機械手(在此例子中是兩個)25和27，以用于將晶片28從艙轉(zhuǎn)移到裝載鎖定室13。適合的軌道機械手可從加州Sunnyvale的Equipe Technologies公司得到。機械手19還被用來將晶片轉(zhuǎn)移到晶片對準器18以及從中轉(zhuǎn)移出來。
工作設(shè)施可以構(gòu)造得不同，例如可以包括其他元件，比如緩沖室、預(yù)潔凈和冷卻室、預(yù)處理和后處理室等等。
將晶片盤制成集成電路芯片通常涉及這樣的幾個步驟，其中盤片被反復(fù)地處理、存儲和傳送。由于盤片的精密特性及其極大的價值，所以優(yōu)選地在整個過程中完全地保護其不被污染。晶片承載體的一個目的就是提供針對這些污染物的保護。一種稱為艙或盒子的晶片承載體，可以完全密封晶片以方便這樣的保護。圖2中所示的晶片艙23、24示出了這種晶片艙的一個例子，其通常主要由塑料形成。
因為晶片盤的處理一般是自動化的，所以艙或承載體優(yōu)選地根據(jù)正使用的處理設(shè)備的規(guī)格而將晶片盤精確地對準。為了安裝和對準艙23、24，每個晶片艙裝載器21、22都具有裝載端口30、31，機械手25、27通過這些端口將晶片從艙轉(zhuǎn)移到裝載鎖定室。對準艙或其他承載體可用的容許偏差一般非常小，例如大約0.20mm，以用于處理設(shè)備和晶片盤之間的正確作用。已經(jīng)公開了國際公認的標準，其規(guī)定了許多這樣的容許偏差。例如，SEMI(半導(dǎo)體設(shè)備和材料國際組織，以前稱為半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會)E47.1-0699標準，部分規(guī)定了在IC制造設(shè)施中用來傳送和存儲300mm晶片的盒子和艙。
一種符合E47.1的艙或盒子稱為前開式通用艙(Front-openingUnivervisal Pod，F(xiàn)OUP)，并具有不可拆卸的盒子和與裝載端口匹配的前開式接口，所述裝載端口符合名為“Provisional Specification for 300mmFront-Opening Interface Mechanical Standard(FIMS)”的SEMI E62。更具體而言，該艙具有位于其前側(cè)的門，所述前側(cè)對應(yīng)于存取有晶片的盒子的前側(cè)。在此標準中，艙門垂直于晶片并平行于指定的正向基準平面(facialdatum plane)，以使得門及其框架可以與符合SEMI E62的FIMS端口匹配。為了正確地匹配，門及其框架應(yīng)該具有這樣的表面，所述表面與用于SEMI E62所限定的真空應(yīng)用的密封區(qū)和保留空間匹配，并正確地鎖到端口上。艙的門和壁通常用塑料制造。
從艙到工具裝載端口(或者搬運器上的套件)的物理對準機構(gòu)包括如圖10和圖11a-11b中100a-100c(部分剖視的)所示的容座，其位于諸如艙103的每個艙的底壁102上。通常，這些容座是與艙的底壁一體模鑄或鑄造或者用塑料鑄造?；蛘?，每個容座可以單獨形成并安裝到艙壁102的下側(cè)。諸如鉚釘、螺栓或螺釘?shù)暮线m的緊固件可以穿過容座每一側(cè)上的凸緣，以將容座固定到艙的下側(cè)。還可將容座粘接或焊接到艙下側(cè)。
如圖11a-11b最清楚示出的，用容座100a代表的每個艙容座都具有倒V字形的槽108，槽108形成在容座的下側(cè)并被定位來與諸如銷110a的運動耦合銷(kinematic coupling pin)匹配，銷110a位于工具裝載端口的支撐板111上。容座100a-100c要與三個或六個如SEMI E57所規(guī)定的耦合銷來匹配，SEMI E57名為“Provisional Mechanical Specification for KinematicCouplings Used to Align and Support 300mm Wafer Carriers”1997；1990并通過引用而整體結(jié)合進來。在SEMI E57中，推薦每個V形槽沿著與如圖10所示的名義(nominal)晶片中心線相垂直并共面的直線來延伸。即使當槽縮小或者稍微不對準時(例如當它們并不都排列在名義晶片中心線上時)，這些槽也將提供足夠的對準。
如圖10最清楚示出的，SEMI E57標準定義了三組運動耦合銷位置，其中每組中有兩個可能的銷位置。位于外側(cè)位置上的銷被指定為主銷并在110a示出。在傳統(tǒng)的裝載端口中，每個裝載端口將具有以如圖10所示的三角圖案排列的三個這樣的主銷110a-110c。三個主運動耦合銷形成套件112，其上可以如圖10中的部分剖視所示地布置艙的容座100a-100c。
每組可能的銷位置還包括內(nèi)側(cè)的位置。位于內(nèi)側(cè)位置上的銷被指定為輔助銷并在110d-110f部分剖視示出。在傳統(tǒng)的艙搬運器或者其他傳送機械手或裝載端口中，搬運器應(yīng)該具有以三角形圖案排列的三個這樣的輔助銷110d-110f，以形成套件，其上可以如圖10中的部分剖示來布置艙的容座100a-100c。每個主銷和輔助銷的位置都相對于在SEMI E57中定義的三個正交基準平面來規(guī)定水平基準平面(horizontal datum plane)、正向基準平面和側(cè)向基準平面(bilateral datum plane)。
這些現(xiàn)有運動耦合銷的形狀也在SEMI E57中規(guī)定了。如其中所提出并在圖11a和11b中最清楚示出的，每個銷110a-110c(或者110d-110f)都繞其豎直中心軸線120徑向?qū)ΨQ。每個銷包括一般呈圓柱形的基部122和位于銷的頂端的一般呈球形的頂部124。形成球形頂部124來幫助與平板的接觸。位于球形部分124和圓柱形部分122之間的是中間的倒角截頭圓錐表面126，其被成形來幫助與成角度的匹配表面的接觸。倒角表面126具有如半徑130a和130b所示的彎曲半徑。
在SEMI E57之內(nèi)還可構(gòu)思出其他匹配方案，例如晶片承載體容座中金字塔形的開口。還可想到前開式的盒子和艙可能需要在側(cè)面接觸銷，以提供對前機械接口的壓力。當設(shè)計在晶片承載體底部上容座的匹配特征時，SEMI E57推薦設(shè)計者遵循這本書中所給出的推薦，即由制造工程師協(xié)會的Dr.Alexander H.Slocum在1992年所出的、項目代碼2597的、題為“Precision Machine Design”的書(最初由Prentice-Hall在1992年出版)。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的承載體對準工具系統(tǒng)提供了一種工具和使用該工具的方法，其模仿具有可拆卸門的襯底承載體的門。該工具允許在開始襯底處理之前，將開門器機構(gòu)與承載體在其上被支撐、被測試和校正的裝載端口或其他搬運器對準，直到達到正確的對準。
在一個實施例中，所述工具系統(tǒng)包括具有多個可拆卸插入件的框架組件，所述插入件模仿用于容納定位銷的門孔，還模仿用于容納開門器機構(gòu)鑰匙的門鑰匙孔。因為插入件在框架組件中可滑動地拆卸，可以在減小損壞開門器機構(gòu)的危險的同時測試對準。在本發(fā)明的另一個方面中，各組鑰匙孔和定位銷孔插入件可以被設(shè)置成具有不同尺寸的鑰匙孔和定位銷孔。于是，可以按照不同的容許偏差級別來測試和校正對準。
在另一方面中，包括門模仿構(gòu)件和艙容座模仿構(gòu)件的框架組件的各個部件可以被構(gòu)造成可拆卸的，以方便替換其他部件來模仿其他標準。此外，可以輕易更換磨損的部件。
本發(fā)明還有其他方面在下面討論。因此應(yīng)理解到前面僅僅是本發(fā)明的一些實施例和某些方面的簡短概要。本發(fā)明的其他實施例和方面參見以下。還應(yīng)理解可以在不偏離本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思或范圍的情況下，對所公開的實施例進行很多改變。因此前面的概要并不意于限制本發(fā)明的范圍。相反，本發(fā)明的范圍僅僅由所附權(quán)利要求及其等同方案所確定。


圖1是與根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的計量工具系統(tǒng)結(jié)合使用的處理設(shè)施的示意俯視圖。
圖2是圖1的處理設(shè)施的微環(huán)境的示意圖。
圖3a是根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的計量工具系統(tǒng)的主視圖。
圖3b是圖3a的計量工具系統(tǒng)的俯視圖。
圖3c是圖3a-3b的計量工具系統(tǒng)的側(cè)視圖。
圖4是圖3a-3c的計量工具系統(tǒng)的容座的示意圖。
圖5是圖3a-3c的計量工具系統(tǒng)的定位銷對準插入件的示意圖。
圖6a和6b是與圖3a-3c的計量工具系統(tǒng)的定位銷對準插入件對準的定位銷的側(cè)視部分剖視圖。
圖7a-7c是與圖3a-3c的計量工具系統(tǒng)的診斷定位銷對準插入件對準的定位銷的示意主視圖。
圖8是圖3a-3c的計量工具系統(tǒng)的鑰匙對準插入件的示意圖。
圖9a和9b是與圖3a-3c的計量工具系統(tǒng)的鑰匙對準插入件對準的鑰匙的側(cè)視部分剖視圖。
圖10是示出主要和輔助現(xiàn)有技術(shù)的運動銷的位置的示意圖。
圖11是置于現(xiàn)有技術(shù)的運動銷上的承載體容座的斷裂正視圖。
圖12是置于現(xiàn)有技術(shù)的運動銷上的承載體容座的斷裂側(cè)視圖。
具體實施例方式
根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的承載體對準工具系統(tǒng)，在圖3a、3b和3c中一般地示為200。承載體對準工具200包括計量承載體框架組件210，其以基本類似于諸如圖2的承載體23的實際晶片承載體的方式，被固定到工具端口或其他承載體搬運器的承載體平臺，并由此模擬晶片承載體23。例如，計量承載體架在承載體工具端口的耦合器銷110a-110c上，以將計量承載體相對于工具端口對準。此外，在一個實施例中，計量框架組件210的尺寸和重量接近于裝滿晶片的生產(chǎn)晶片盒。
承載體對準工具系統(tǒng)200可以與具有一個或多個處理室以及一個或多個制造接口的處理系統(tǒng)一起使用，所述制造接口用于將工件從一個或多個承載體轉(zhuǎn)移一個或多個裝載鎖定室，所述一個或多個裝載鎖定室被耦合到一個或多個處理室。一旦某個搬運系統(tǒng)已經(jīng)正確地對準并校準，那么就可從工具端口上卸下計量承載體工具200，并可以使用由計量工具200模擬的標準工件承載體來開始對工件的處理。但是，優(yōu)選地是在開始處理產(chǎn)品工件之前，將特定處理系統(tǒng)的所有工具端口都正確地對準。
在圖示實施例中，計量承載體工具200可以精確地重復(fù)提供已發(fā)布和建立的300mm FOUP的機械尺寸標準。在一個實施例中，工具200的部件用相對堅硬并可機加工的材料形成，例如硬化鋼。應(yīng)認識到可以使用其他金屬和其他非金屬材料，這取決于具體的應(yīng)用。還應(yīng)認識到計量承載體工具200可以模擬其他標準的以及定制或者專用的承載體。
一方面，計量承載體工具200的框架組件210包括門模仿組件214(圖3a)，其用鋼或其他合適的材料精確制造，以模仿標準的300mmFOUP門的規(guī)定尺寸(包括容許偏差)。如以下更加詳細解釋的，門組件214可以被用來測試制造自動開門器，以符合SEMI或其他應(yīng)用規(guī)范。這種測試可以在制造開門機構(gòu)時進行，或者可以在制造半導(dǎo)體器件時使用開門器的現(xiàn)場進行。門組件214包括多個可拆卸和可互換的插入件218a-218d，以根據(jù)當時的具體需要，而幫助按照不同的容許偏差標準將開門機構(gòu)對準。插入件218a-218d具有這樣的開口，其被優(yōu)選地被精確定位和確定尺寸，以模仿制造接口的開門機構(gòu)所用的對準定位點和開啟特征。
插入件218a-218d也可由硬化鋼形成，并分別容納在門模仿組件214的門板構(gòu)件226(圖3a)的四個開口中。門板構(gòu)件226被接著固定到一般為矩形的前框架構(gòu)件230，其由框架組件210的底板構(gòu)件234(圖3b)支撐。被固定到底板構(gòu)件234和前框架構(gòu)件230的一對側(cè)邊支撐構(gòu)件238(圖3c)，提高了框架組件210的強度和剛性。這些板和支撐構(gòu)件可以用硬化鋼或其他材料形成，優(yōu)選地使用相對剛性的材料。
在圖示實施例中，門板構(gòu)件226被合適的插銷240固定到矩形前框架構(gòu)件230，插銷240允許從門組件上卸下門板構(gòu)件226并將替換的門板構(gòu)件226鎖在其位置中。替換的門板構(gòu)件可以模仿按不同標準制造的晶片承載體門，或者可以替換損壞或不能再用的門板。通過門板構(gòu)件226的外周上的周邊對準表面242和在前框架構(gòu)件230中形成來容納門板構(gòu)件226的凹口244，將替換的門板構(gòu)件相對于工具的前框架構(gòu)件230對準。還可通過穿過板226和框架230兩者的多個對準銷246，來幫助門板構(gòu)件226和前框架230之間的對準。還可使用對準銷250來幫助工具組件的其他部件之間的對準。
底板構(gòu)件234的底壁352具有被固定到承載體的底壁352的三個容座356a-356c(還在圖3a的部分剖視中示出)。在圖示實施例中，每個容座356a-356c形成為鋼或其他合適材料的可拆卸的單獨件(圖4)，其被容納在穿過底板構(gòu)件234的底壁352形成的一般為矩形的開口358中。諸如鉚釘、螺栓或螺釘?shù)暮线m的緊固件可以穿過容座每一側(cè)邊上的凸緣360的開口，以將容座固定到底板構(gòu)件的下側(cè)。緊固件優(yōu)選地是可拆卸的緊固件?；蛘?，容座可以與承載體工具一體形成。
為了使容座與工具框架精確地對準，每個容座都具有有四個對準表面372的塊狀部分370(圖4)，這四個對準表面372與在底板構(gòu)件234中形成矩形孔358的四個對準表面相接合。一旦容座磨損而不再符合可用標準，或者要模仿不同的標準，就可以卸下該容座并將替換容座緊固到框架上。通過提供諸如表面372的恰當?shù)膶时砻鎭砼c框架孔358的對準表面相接合，可以有助于該替換容座的正確對準。
三個承載體容座356a-356c被示為置于與圖10和11a-11b的耦合銷相同類型的三個支撐和對準耦合銷110a-110c之上。這三個耦合銷110a-110c被精確定位并固定到例如裝載端口21(圖1、2)的裝載端口的例如支撐板408的支撐構(gòu)件，以形成支撐承載體工具的套件。工具具有被固定到底板構(gòu)件234的壓制帽410，其可與裝載端口接合以將計量工具壓制到裝載端口的耦合銷上。
容座356a-356c在與耦合銷110a-110c接合時，將框架組件210的底板構(gòu)件234與工具端口的支撐平臺對準。因為門板構(gòu)件226被固定到前框架構(gòu)件230，而后者又被固定到底板構(gòu)件234，所以開口222a-222d同樣地相對于工具端口對準。同樣也可以使用其他類型的耦合件。例如，于2000年9月21日遞交的題為“METHOD AND APPARATUS FORALIGNMENT OF CARRIERS AND SEMICONDUCTOR PROCESSINGEQUIPMENT”、并被轉(zhuǎn)讓給本發(fā)明的受讓人的共同未決申請Serial No.09/668,012(Applied Materials案卷No.04674/IBSS/IBSS/DV)，描述了一種具有縱長形狀的耦合件，其被認為在保持充分符合合適標準同時，改進了承載體和處理設(shè)備之間的對準。
如圖5和6a-6b最清楚示出的，插入件218a具有包括一般為圓柱形的外表面500的插入體502，插入體502被門板構(gòu)件226的一般為圓柱形的開口222a所容納。插入件218a的插入體502從門板構(gòu)件226的后側(cè)503被插入至開口222a中，直到插入件218a后部的凸緣504與門板構(gòu)件226的后表面503接合。插入件218a的前表面506限定了一般為圓柱形的開口510a，其形狀和尺寸符合SEMI標準E62-0299對兩種FOUP門對準定位銷孔之一的規(guī)定，即Provisional Specification for 300-mm Front OpeningInterface Mechanical Standard(FIMS)，1997，1999。當插入件218a被插入門板構(gòu)件226的開口222a中時，插入開口510a按照SEMI標準E62-0299對兩種FOUP門對準定位銷孔之一的規(guī)定來定位。以類似的方式來構(gòu)造插入件218d，使得插入件218d的插入開口510d按照SEMI標準E62-0299對兩種FOUP門對準定位銷孔中另外一個的規(guī)定來定位。這樣，插入開口510a和510d就模仿了用于兩個定位銷的兩個SEMI E62-0299 FOUP門對準孔。
可以通過命令開門器機構(gòu)將開門器定位銷的頭部插入模仿FOUP式承載體門的兩個對準定位孔的兩個對準定位孔510a和510d，來測試承載體工具端口對制造接口FOUP開門機構(gòu)的對準。如果承載體工具端口的承載體支撐平臺相對于制造接口FOUP開門器機構(gòu)正確地對準，那么定位銷的頭部520將被容納進相應(yīng)的門對準定位銷孔，如圖6a中示的插入件218a的對準孔510a。相反，如果開門機構(gòu)和工具端口沒有對準，那么開門器機構(gòu)的頭部520將與對準插入件218a的前表面506接合，并開始將插入件218a推出門板構(gòu)件226的插入開口222a。插入件的這種移動向操作者清楚地表明了未對準情況。
在圖示實施例中，插入件優(yōu)選地不緊固到底板構(gòu)件，或者這樣來固定到門板構(gòu)件，使得插入件可以在相關(guān)聯(lián)的板構(gòu)件開口中自由滑動。于是，如果開門器機構(gòu)和承載體工具端口未正確對準，那么插入件可以自由滑動就指示未對準，同時減小了偶然損壞開門器機構(gòu)的危險。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，對準工具系統(tǒng)200對于每個板構(gòu)件開口222a和222d可以包括多個可拆卸的插入件。插入件可以在例如插入件的開口510a或510d的直徑上不同。因此例如，一組插入件218a和218d可以分別具有相對較大的開口510a或510d，例如直徑為0.3671英寸(9.32434mm)。這個直徑大大地大于(大約104％)在對門定位銷開口的SEMIE62-0299規(guī)范中規(guī)定的0.354331英寸(9mm)的直徑。如果具體應(yīng)用需要以相對較大的容許偏差來對準，則可以使用這些更大開口的插入件。另一組插入件218a和218d可以分別具有相對較小的開口510a或510d，例如0.3550英寸(9.017mm)，這仍然略大于(大約100.2％)規(guī)定的9mm開口。如果具體應(yīng)用需要以相對較小的容許偏差來對準，則可以使用這些插入件。還有一組插入件可以具有恰好0.354331英寸(9mm)的開口，即SEMI E62-0299規(guī)范中所規(guī)定的直徑。
取決于應(yīng)用，對準工具系統(tǒng)可以包括多個插入件的套件，其中插入件具有多種不同尺寸的開口，以提供所需要的對準類型。這些插入件可以以特定的順序使用，例如首先使用有較大開口的插入件來以相對大的容許偏差來對準機械手。然后，可以用具有較小開口的替換插入件來替換最初的插入件，以更小的容許偏差來對準機械手。
在圖5的實施例中，插入件218a具有在插入件218a的插入體502的圓柱表面500內(nèi)同心形成的定位銷開口510a。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，圖7a-7c圖示了可以包括在對準工具系統(tǒng)套件中的另一種插入件218e。插入件218e的前面600示為延伸穿過門框架組件的門板構(gòu)件226中的圓柱形開口222a。開口222a確定了由點601代表的中心縱軸。定位銷對準插入件218e具有一般為圓柱形的插入體602，其被相對于板構(gòu)件開口222a同心定位(與軸601共軸)。插入體602確定的定位銷開口610，一般也是圓柱形的，但并不同心定位在插入體602中。相反，定位銷開口610被偏軸定位，以使得開口610的一側(cè)邊612被定位成比插入開口510的相對一側(cè)邊618，離中心軸601更遠并更靠近插入體602的圓柱形體表面614。這樣一種偏心布置可以被用來測量開門器機構(gòu)定位銷和工具端口平臺之間不對準的方向，這在下面解釋。
圖7a圖示了被插入偏心插入開口510中的定位銷520(剖面示出)。銷520被示為具有中心軸630，其不與板構(gòu)件開口222a的中心軸601對準。因此，定位銷520未正確對準。這種不對準在圖7a中用向量632來表示，向量632具有由角度α所表示的不對準方向。該方向α可以通過將插入件218e沿諸如逆時針的第一方向旋轉(zhuǎn)來確定。因為開口510位置偏心，所以旋轉(zhuǎn)插入件218e將最終使得開口510的內(nèi)表面與定位銷520的外表面接觸，如圖7b所示(除非開口610太大)。
在圖示實施例中，開口610中離中心軸601最遠并最靠近插入體602的圓柱形體表面614的那一側(cè)邊612，被標上合適的標記，例如箭頭636。此外，門構(gòu)件226的面被標上合適的指示方向的標記，例如在640示出的角度標記。在圖7b的例子中，當沿逆時針方向旋轉(zhuǎn)插入件218e時，開口610的內(nèi)表面接觸定位銷520的外表面的點，被箭頭636表示為在0度的方向上。然后如圖7c所示，通過沿相反方向即順時針方向旋轉(zhuǎn)插入件218e，直到開口510的內(nèi)表面再次與定位銷520的外表面接觸，來進行第二次讀數(shù)。此時，開口610的內(nèi)表面接觸定位銷520的外表面的點，被箭頭636表示為在45度的方向上。因為開口610的對稱性，然后就可以確定不對準的方向α是這兩個位置的中間，即45減去0，被2除，也就是22又二分之一度。
在圖7a-7e的圖示中，以夸張的方式表示開口610的尺寸和偏心，以清楚地解釋可以操作診斷插入件的原理。在實際的實踐中，對于SEMIE62-0299的應(yīng)用，合適直徑的例子是0.5002英寸，合適的軸偏位移是0.007英寸。當然，插入件和開口的實際尺寸、形狀和位置可以變化，這取決于應(yīng)用。
如前所述，F(xiàn)OUP式承載體的門設(shè)計成被一對插銷鑰匙打開，這一對插銷鑰匙被開門器機構(gòu)插入承載體門的一對鑰匙孔中。插入件218b和218c模仿門的鑰匙孔，以允許測試開門機構(gòu)的插銷鑰匙和裝載端口之間的對準。
圖8和9a、9b示出了類似于插入件218a和218d的插入件218b，其具有一般為圓柱形外表面800的插入體802，插入體802被門板構(gòu)件226的一般為圓柱形的開口222b所容納。插入件218b的插入體802從門板構(gòu)件226的后側(cè)803被插入開口222b，直到插入件218b后部的凸緣804與門板構(gòu)件226的后表面803接合。插入件218b的前表面806限定了一般為矩形的開口810a，其形狀和尺寸符合SEMI標準E62-0299對兩種FOUP插銷鑰匙孔之一的規(guī)定。在此標準中，將開口810a的端部用在開口中心中以已定義半徑的曲線來倒角。插入件218b的凸緣804確定了開口808，其容納位于門板構(gòu)件226的后表面803上的定位銷809。當如圖9a所示，插入件218b被插入門板構(gòu)件226的開口222b中，并且定位銷809被插入凸緣開口808時，插入鑰匙開口810b按照對兩種FOUP門SEMI標準E62-0299對準鑰匙孔之一的規(guī)定來定位。以類似的方式來構(gòu)造插入件218c，使得插入件218c的插入開口810c按照SEMI標準E62-0299對兩種FOUP門鑰匙孔中另外一個的規(guī)定來定位。這樣，插入開口810b和810c就模仿了兩個SEMI E62-0299 FOUP門鑰匙孔，以容納制造接口開門機構(gòu)的兩個插銷鑰匙。
以類似于開門器定位銷的方式，可以通過操作開門器機構(gòu)將開門器插銷鑰匙的頭部插入模仿FOUP式承載體門的兩個鑰匙孔的兩個鑰匙孔810b和810c，來測試承載體工具端口與制造接口FOUP開門器機構(gòu)的對準。如果承載體工具端口相對于制造接口FOUP開門器機構(gòu)正確地對準，那么鑰匙的頭部820將被容納進相應(yīng)的門銷鑰匙孔，如圖9a中所示的鑰匙孔插入件218b的鑰匙孔810b。相反，如果開門機構(gòu)和工具端口沒有對準，那么開門器機構(gòu)的鑰匙頭部820將與鑰匙孔插入件218b的前表面806接合，并開始將插入件218b推出門板構(gòu)件226的開口222b。插入件的這種移動向操作者清楚地表明了鑰匙和鑰匙孔之門的未對準情況。
在圖示實施例中，類似于定位銷孔插入件，鑰匙孔插入件優(yōu)選地不緊固到底板構(gòu)件，或者這樣來固定到底板構(gòu)件，使得插入件可以在相關(guān)聯(lián)的板構(gòu)件開口中自由滑動。于是，如果開門器機構(gòu)和承載體工具端口未正確對準，那么插入件可以自由滑動就指示未對準，同時減小了偶然損壞開門器機構(gòu)的危險。
類似于定位銷插入件，對準工具系統(tǒng)200相對于每個板構(gòu)件開口222b和222c可以包括多個鑰匙孔插入件。鑰匙孔插入件可以在例如插入件的矩形開口810b或810c的尺寸上不同。因此例如，一組插入件218b和218c可以分別具有相對較大的開口810b和810c，例如寬度為0.2128英寸(5.40512mm，大約是5mm標準的108％)，長度由0.2697英寸(6.85038mm)的曲線中心半徑確定。如果具體應(yīng)用需要以相對較大的容許偏差來對準鑰匙和鑰匙孔，則可以使用這些插入件。另一組插入件218b和218c可以分別具有相對較小的開口810b和810c，例如寬度為0.2048英寸(5.20192mm，大約是5mm標準的104％)，長度由0.2697英寸(6.85038mm)的曲線中心半徑確定。如果具體應(yīng)用需要以相對較小的容許偏差來對準鑰匙和鑰匙孔，則可以使用這些插入件。還有一組插入件218b和218c可以分別具有與可用標準中所定義的那些相同的開口810b和810c，例如寬度為0.19685英寸(5mm)，長度由0.265748英寸(6.5mm)的曲線中心半徑確定。取決于應(yīng)用，對準工具系統(tǒng)可以包括具有多個插入件的套件，其中插入件具有多個不同尺寸和形狀的開口，以提供所需要的對準類型。
在圖5和8的實施例中，插入件具有在插入體的圓柱表面中同心形成的定位銷或鑰匙開口。應(yīng)認識到開口并不必須同心，插入體也不必是圓柱形的。例如，在插入件不必旋轉(zhuǎn)的應(yīng)用中，插入體可以是橢圓形或矩形或者具有另一種形狀，這取決于應(yīng)用。
在圖示實施例中，描述了一般地兼容于某些SEMI標準的承載體對準工具和方法。應(yīng)認識到根據(jù)本發(fā)明的承載體對準工具和方法可以符合其他標準和專用應(yīng)用。
當然應(yīng)理解對本發(fā)明不同方面的改進將對本領(lǐng)域技術(shù)人員是明顯的，有一些僅在研究之后才是明顯的，其他的則是常規(guī)機械設(shè)計的事情。其他實施例也是可能的，它們的具體設(shè)計取決于具體的應(yīng)用。照這樣，本發(fā)明的范圍不應(yīng)被這里所描述的具體實施例所限制，而應(yīng)僅僅由所附權(quán)利要求及其等同方案所確定。
權(quán)利要求
1.一種計量工具，用于對準具有接合構(gòu)件的機械手，所述接合構(gòu)件用于與位于工具裝載端口上的半導(dǎo)體襯底承載體接合，所述工具包括具有開口的框架；和可滑動地容納在所述框架開口中的可拆卸對準度量器構(gòu)件，所述對準度量器構(gòu)件具有開口以在被插入所述框架開口時容納所述機械手接合構(gòu)件。
2.如權(quán)利要求1所述的工具，其中所述對準度量器構(gòu)件具有前面，所述前面被定位成當所述機械手接合構(gòu)件相對于所述對準度量器構(gòu)件不對準時與所述機械手接合構(gòu)件相接合，所述對準度量器構(gòu)件在所述對準度量器構(gòu)件前面與所述機械手接合構(gòu)件相接合時滑動。
3.如權(quán)利要求1所述的工具，其中所述機械手接合構(gòu)件是定位銷，并且所述對準度量器構(gòu)件開口的尺寸和形狀，使得當所述對準度量器構(gòu)件開口相對于所述定位銷對準時容納所述定位銷。
4.如權(quán)利要求3所述的工具，其中所述對準度量器構(gòu)件開口是圓柱形。
5.如權(quán)利要求1所述的工具，其中所述框架開口是圓柱形的，并且所述可拆卸對準度量器構(gòu)件具有可滑動地被所述框架開口容納的圓柱形部分。
6.如權(quán)利要求1所述的工具，其中所述機械手接合構(gòu)件是門鑰匙，并且所述對準度量器構(gòu)件開口的尺寸和形狀，使得當所述對準度量器構(gòu)件開口相對于所述門鑰匙對準時容納所述門鑰匙。
7.如權(quán)利要求6所述的工具，其中所述對準度量器構(gòu)件開口是矩形的。
8.如權(quán)利要求6所述的工具，其中所述框架開口是圓柱形的，并且所述可拆卸對準度量器構(gòu)件具有可滑動地被所述框架開口容納的圓柱形部分，所述框架還具有對準銷和對準銷孔中的一個，并且所述對準度量器構(gòu)件具有所述對準銷和所述對準銷孔中的另一個，其中所述對準孔被定位成當所述對準銷被容納在所述對準孔時，所述對準度量器構(gòu)件與所述框架對準。
9.如權(quán)利要求1所述的工具，還包括多個可拆卸對準和支撐容座，其被緊固到所述框架，并被定位來支撐所述工具裝載端口上的所述框架。
10.如權(quán)利要求9所述的工具，其中所述容座中的每個都具有四個對準表面，并且所述框架對于每個容座具有四個對準表面，每個框架對準表面被定位成當相關(guān)聯(lián)的容座被緊固到所述框架時，與相關(guān)聯(lián)的容座對準表面接合以對準所述框架和所述相關(guān)聯(lián)容座。
11.如權(quán)利要求10所述的工具，其中每個容座具有提供所述四個容座對準表面的塊狀部分，并且其中所述框架對每個容座具有孔，其中每個框架孔確定了被定位來容納和對準相關(guān)聯(lián)的容座部分的所述四個框架對準表面。
12.如權(quán)利要求11所述的工具，還包括多個可拆卸的緊固件，用于當所述容座塊狀部分被容納在所述框架孔中時將每個可拆卸容座緊固到所述框架上。
13.如權(quán)利要求1所述的工具，其中所述框架包括基板、由所述基板承載的框架板、以及被可松開地緊固到所述框架板的可拆卸門板，其中所述門板確定了所述框架開口。
14.如權(quán)利要求13所述的工具，其中所述框架還包括多個對準銷，當所述門板被固定到所述框架板時，所述多個對準銷將所述門板與所述框架板對準。
15.如權(quán)利要求1所述的工具，其中所述框架開口確定了中心軸，并且所述對準度量器構(gòu)件開口確定了相對于所述框架開口中心軸偏移的中心軸，所述對準度量器構(gòu)件在所述框架開口中繞所述框架開口中心軸旋轉(zhuǎn)。
16.如權(quán)利要求15所述的工具，其中所述對準度量器構(gòu)件具有第一標記，并且所述框架具有與所述框架開口相鄰的第二標記，所述第一和第二標記提供對所述對準度量器構(gòu)件在所述框架開口中旋轉(zhuǎn)位置的指示。
17.如權(quán)利要求16所述的工具，其中所述標記中的至少一個包括以角度表示的角度位置標記。
18.一種用于對準開門機械手的計量工具，所述開門機械手具有用于與塑料前開式通用艙的塑料門的一對定位銷孔和一對插銷鑰匙孔分別接合的一對定位銷和一對插銷鑰匙，所述塑料前開式通用艙具有三個塑料容座，每個容座被布置在制造接口的工具裝載端口的對準和支撐耦合銷之上，所述計量工具包括具有帶三個金屬容座的金屬基板的金屬框架，每個容座被構(gòu)造并定位來模仿所述前開式通用艙容座中的一個，所述框架還具有由所述基板承載的金屬前板、以及一對金屬側(cè)邊支撐構(gòu)件，每個所述金屬側(cè)邊支撐構(gòu)件都相對于所述基板支撐所述前板，所述前板確定了至少四個圓柱開口；第一和第二圓柱形金屬可拆卸定位銷對準構(gòu)件，每個定位銷對準構(gòu)件被可滑動地容納在前板開口中并具有圓柱形開口，所述圓柱形開口的尺寸和形狀使其模仿前開式通用艙定位銷孔，并當所述定位銷對準構(gòu)件開口相對于機械手定位銷對準時容納機械手定位銷，每個定位銷對準構(gòu)件還具有前面，所述前面被定位成當機械手定位銷相對于相關(guān)聯(lián)的定位銷對準構(gòu)件開口不對準時與機械手定位銷接合，所述定位銷對準構(gòu)件在所述定位銷對準構(gòu)件前面與機械手定位銷相接合時滑動；和第一和第二圓柱形金屬可拆卸插銷鑰匙對準構(gòu)件，每個插銷鑰匙對準構(gòu)件被可滑動地容納在前板開口中并具有矩形開口，所述矩形開口的尺寸和形狀使其模仿前開式通用艙插銷鑰匙孔，并當所述插銷鑰匙對準構(gòu)件開口相對于機械手插銷鑰匙對準時容納機械手插銷鑰匙，每個插銷鑰匙對準構(gòu)件還具有前面，所述前面被定位成當機械手插銷鑰匙相對于相關(guān)聯(lián)的插銷鑰匙對準構(gòu)件開口不對準時與機械手插銷鑰匙接合，所述插銷鑰匙對準構(gòu)件在所述插銷鑰匙對準構(gòu)件前面與機械手插銷鑰匙相接合時滑動。
19.一種計量工具套件，用于對準具有接合構(gòu)件的機械手，所述接合構(gòu)件用于與位于工具裝載端口上的半導(dǎo)體襯底承載體接合，所述工具套件包括具有開口的框架；和多個可拆卸對準度量器構(gòu)件，每個對準度量器構(gòu)件有選擇地一次一個地插入所述框架開口和從中取出，每個構(gòu)件具有開口以在被插入所述框架開口時容納所述機械手接合構(gòu)件，其中所述構(gòu)件開口尺寸不同。
20.如權(quán)利要求19所述的工具套件，其中所述多個對準度量器構(gòu)件中的第一對準度量器構(gòu)件具有第一尺寸的構(gòu)件開口，所述多個對準度量器構(gòu)件中的第二對準度量器構(gòu)件具有尺寸約為所述第一尺寸的100.2％的構(gòu)件開口。
21.如權(quán)利要求19所述的工具套件，其中所述多個對準度量器構(gòu)件中的第一對準度量器構(gòu)件具有第一尺寸的構(gòu)件開口，所述多個對準度量器構(gòu)件中的第二對準度量器構(gòu)件具有尺寸約為所述第一尺寸的104％的構(gòu)件開口。
22.如權(quán)利要求19所述的工具套件，其中所述多個對準度量器構(gòu)件中的第一對準度量器構(gòu)件具有第一尺寸的構(gòu)件開口，所述多個對準度量器構(gòu)件中的第二對準度量器構(gòu)件具有尺寸約為所述第一尺寸的108％的構(gòu)件開口。
23.一種計量工具，用于對準機械手，所述機械手具有用于與位于工具裝載端口上的襯底承載體門接合的一對定位銷和一對插銷鑰匙，所述計量工具包括置于所述工具裝載端口中并具有至少四個開口的框架；第一和第二可拆卸定位銷對準構(gòu)件，每個定位銷對準構(gòu)件被可滑動地容納在框架開口中并具有開口，所述開口的尺寸和形狀使其當所述定位銷對準構(gòu)件開口相對于機械手定位銷對準時容納機械手定位銷，每個定位銷對準構(gòu)件還具有前面，所述前面被定位成當機械手定位銷相對于相關(guān)聯(lián)的定位銷對準構(gòu)件開口不對準時與機械手定位銷接合，所述定位銷對準構(gòu)件在所述定位銷對準構(gòu)件前面與機械手定位銷相接合時滑動；和第一和第二可拆卸插銷鑰匙對準構(gòu)件，每個插銷鑰匙對準構(gòu)件被可滑動地容納在框架開口中并具有開口，所述開口的尺寸和形狀使其當所述插銷鑰匙對準構(gòu)件開口相對于機械手插銷鑰匙對準時容納機械手插銷鑰匙，每個插銷鑰匙對準構(gòu)件還具有前面，所述前面被定位成當機械手插銷鑰匙相對于相關(guān)聯(lián)的插銷鑰匙對準構(gòu)件開口不對準時與機械手插銷鑰匙接合，所述插銷鑰匙對準構(gòu)件在所述插銷鑰匙對準構(gòu)件前面與機械手插銷鑰匙相接合時滑動。
24.一種計量工具，用于對準具有承載體門鑰匙的機械手，所述承載體門鑰匙用于打開位于工具裝載端口上的襯底承載體的承載體門，所述計量工具包括承載體框架模仿裝置，用于置于所述工具裝載端口上并且用于模仿襯底承載體框架；和由所述承載體框架模仿裝置承載的門模仿裝置，用于模仿所述襯底承載體的門，所述門模仿裝置具有開口和可滑動地承載在所述門模仿裝置開口中并用于度量機械手門鑰匙的對準的可拆卸對準度量器裝置，所述對準度量器裝置包括用于模仿門鑰匙開口的開口裝置，其中當所述對準度量器開口裝置在與所述機械手承載體門鑰匙對準的情況下被承載時，所述對準度量器開口裝置容納所述機械手承載體門鑰匙，并且其中當所述對準度量器裝置開口在與所述機械手承載體門鑰匙不對準的情況下被承載時，所述對準度量器裝置響應(yīng)于與所述機械手承載體門鑰匙接合而滑動。
25.一種方法，用于將機械手接合構(gòu)件與位于工具裝載端口上的襯底承載體的承載體門的門開口對準，所述方法包括將模仿承載體框架的框架置于所述工具裝載端口上；將第一對準度量器插入件置于所述框架的開口中；以及驅(qū)動所述機械手接合構(gòu)件向著所述對準度量器插入件運動，其中當所述對準度量器中的開口與所述機械手接合構(gòu)件對準時，所述對準度量器開口容納所述機械手接合構(gòu)件，并且其中當所述對準度量器開口與所述機械手接合構(gòu)件不對準時，所述對準度量器插入件響應(yīng)于與所述機械手接合構(gòu)件接合而滑動。
26.如權(quán)利要求25所述的方法，其中所述機械手接合構(gòu)件是定位銷，并且所述對準度量器構(gòu)件開口的尺寸和形狀，使得當所述對準度量器構(gòu)件開口相對于所述定位銷對準時容納所述定位銷。
27.如權(quán)利要求26所述的方法，其中所述機械手接合構(gòu)件是門鑰匙，并且所述對準度量器構(gòu)件開口的尺寸和形狀，使得當所述對準度量器構(gòu)件開口相對于所述門鑰匙對準時容納所述門鑰匙。
28.如權(quán)利要求25所述的方法，還包括從所述框架上卸下對準和支撐容座；將替換對準和支撐容座緊固到所述框架；以及將所述框架替換對準和支撐容座定位在所述工具裝載端口上。
29.如權(quán)利要求28所述的方法，還包括將所述替換容座的四個對準表面與所述框架的四個對準表面接合，以在將所述替換容座緊固到所述框架之前來對準所述替換容座和所述框架。
30.如權(quán)利要求29所述的方法，其中所述替換容座具有提供所述四個容座對準表面的塊狀部分，并且其中所述框架具有確定所述四個框架對準表面的孔，所述對準表面接合的步驟包括將所述替換容座的所述塊狀部分定位在所述框架對準孔中。
31.如權(quán)利要求30所述的方法，其中所述緊固步驟包括當所述容座塊狀部分被容納在所述框架孔中時，將緊固所述替換容座的可拆卸緊固件緊固到所述框架上。
32.如權(quán)利要求25所述的方法，其中所述框架包括基板、由所述基板承載的框架板、以及被可松開地緊固到所述框架板的可拆卸門板，其中所述門板確定了所述框架開口，所述方法還包括從所述框架板上卸下所述門板，并將替換門板緊固到所述框架板上。
33.如權(quán)利要求32所述的方法，還包括在將所述替換門板緊固到所述框架板之前，使用對準銷來將所述替換門板與所述框架板對準。
34.如權(quán)利要求25所述的方法，還包括從所述框架上卸下所述第一對準度量器插入件并將替換對準度量器插入件置于所述框架開口中，其中所述替換對準度量器開口具有尺寸小于所述第一對準度量器插入件開口的開口，所述方法還包括驅(qū)動所述機械手接合構(gòu)件向著所述替換對準度量器插入件運動，其中當所述替換對準度量器中的所述開口與所述機械手接合構(gòu)件對準時，所述替換對準度量器開口容納所述機械手接合構(gòu)件，并且其中當所述替換對準度量器開口與所述機械手接合構(gòu)件不對準時，所述替換對準度量器插入件響應(yīng)于與所述機械手接合構(gòu)件接合而滑動。
35.如權(quán)利要求34所述的方法，其中所述第一對準度量器開口的尺寸是所述替換對準度量器開口的108％。
36.如權(quán)利要求34所述的方法，其中所述第一對準度量器開口的尺寸是所述替換對準度量器開口的104％。
37.如權(quán)利要求34所述的方法，其中所述第一對準度量器開口的尺寸是所述替換對準度量器開口的100.2％。
38.如權(quán)利要求25所述的方法，其中所述框架開口確定了中心軸，并且所述對準度量器構(gòu)件開口確定了相對于所述框架開口中心軸偏移的中心軸，所述對準度量器構(gòu)件在所述框架開口中繞所述框架開口中心軸旋轉(zhuǎn)，所述方法還包括沿第一旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)所述對準度量器構(gòu)件，直到所述接合構(gòu)件與所述對準度量器構(gòu)件開口的內(nèi)表面接合。
39.如權(quán)利要求38所述的方法，其中所述對準度量器構(gòu)件具有第一標記，并且所述框架具有與所述框架開口相鄰的第二標記，所述第二標記提供對所述對準度量器構(gòu)件的所述第一標記在所述框架開口中旋轉(zhuǎn)位置的指示，所述方法還包括當所述接合構(gòu)件與所述對準度量器構(gòu)件開口的內(nèi)表面接合時，記錄所指示的旋轉(zhuǎn)位置。
40.該方法，還包括沿與所述第一旋轉(zhuǎn)方向相反的第二旋轉(zhuǎn)方向來旋轉(zhuǎn)所述對準度量器構(gòu)件，直到所述接合構(gòu)件與所述對準度量器構(gòu)件開口的內(nèi)表面接合；以及當所述接合構(gòu)件與所述對準度量器構(gòu)件開口的內(nèi)表面接合時，記錄所指示的旋轉(zhuǎn)位置。
41.一種方法，用于將機械手定位銷和機械手插銷鑰匙與位于工具裝載端口上的半導(dǎo)體襯底承載體的承載體門對準，所述方法包括將模仿承載體框架的框架置于所述工具裝載端口上；將定位銷對準度量器插入件置于所述框架的開口中，其中所述定位銷對準度量器插入件具有開口，所述開口的尺寸和形狀使得當所述定位銷對準度量器插入件開口相對于所述機械手定位銷對準時容納所述機械手定位銷；驅(qū)動所述機械手定位銷向著所述定位銷對準度量器插入件運動，其中當所述定位銷對準度量器插入件開口與所述機械手定位銷對準時，所述定位銷對準度量器插入件開口容納所述機械手定位銷，并且其中當所述定位銷對準度量器插入件開口與所述機械手定位銷不對準時，所述定位銷對準度量器插入件響應(yīng)于與所述機械手定位銷接合而滑動；將插銷鑰匙對準度量器插入件置于所述框架的開口中，其中所述插銷鑰匙對準度量器插入件具有開口，所述開口的尺寸和形狀使得當所述插銷鑰匙對準度量器插入件開口相對于所述機械手插銷鑰匙對準時容納所述機械手插銷鑰匙；以及驅(qū)動所述機械手插銷鑰匙向著所述插銷鑰匙對準度量器插入件運動，其中當所述插銷鑰匙對準度量器插入件開口與所述機械手插銷鑰匙對準時，所述插銷鑰匙對準度量器插入件開口容納所述機械手插銷鑰匙，并且其中當所述插銷鑰匙對準度量器插入件開口與所述機械手插銷鑰匙不對準時，所述插銷鑰匙對準度量器插入件響應(yīng)于與所述機械手插銷鑰匙接合而滑動。
42.一種用于對準開門機械手的方法，所述開門機械手具有用于與塑料前開式通用艙的塑料門的一對定位銷孔和一對插銷鑰匙孔分別接合的一對定位銷和一對插銷鑰匙，所述塑料前開式通用艙具有三個塑料容座，每個容座被布置在制造接口的工具裝載端口的對準和支撐耦合銷之上，所述方法包括將具有三個金屬容座的金屬框架置于制造接口的工具裝載端口的多個對準和支撐耦合銷上，每個容座都被成形和定位來模仿所述工具裝載端口上的所述前開式通用艙容座中的一個；將金屬定位銷對準度量器插入件置于所述框架的開口中，其中所述定位銷對準度量器插入件具有開口，所述開口的尺寸和形狀使其模仿前開式通用艙定位銷孔，并且當所述定位銷對準度量器插入件開口相對于所述機械手定位銷對準時容納所述機械手定位銷；驅(qū)動所述機械手定位銷向著所述定位銷對準度量器插入件運動，其中當所述定位銷對準度量器插入件開口與所述機械手定位銷對準時，所述定位銷對準度量器插入件開口容納所述機械手定位銷，并且其中當所述定位銷對準度量器開口與所述機械手定位銷不對準時，所述定位銷對準度量器插入件響應(yīng)于與所述機械手定位銷接合而滑動；將金屬插銷鑰匙對準度量器插入件置于所述框架的開口中，其中所述插銷鑰匙對準度量器插入件所具有的開口的尺寸和形狀，使其模仿前開式通用艙插銷鑰匙孔，并且當所述插銷鑰匙對準度量器插入件開口相對于所述機械手插銷鑰匙對準時容納所述機械手插銷鑰匙；以及驅(qū)動所述機械手插銷鑰匙向著所述插銷鑰匙對準度量器插入件運動，其中當所述插銷鑰匙對準度量器插入件開口與所述機械手插銷鑰匙對準時，所述插銷鑰匙對準度量器插入件開口容納所述機械手插銷鑰匙，并且其中當所述插銷鑰匙對準度量器開口與所述機械手接合部件不對準時，所述插銷鑰匙對準度量器插入件響應(yīng)于與所述機械手插銷鑰匙接合而滑動。
43.一種計量工具套件，用于對準具有接合構(gòu)件的機械手，所述接合構(gòu)件用于與位于工具裝載端口上的襯底承載體接合，所述工具套件包括具有開口的框架；和多個可拆卸對準度量器構(gòu)件，每個對準度量器構(gòu)件有選擇地一次一個地插入所述框架開口和從中取出，每個構(gòu)件具有開口以在被插入所述框架開口時容納所述機械手接合構(gòu)件，其中所述構(gòu)件開口尺寸不同。
全文摘要
根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的承載體對準工具系統(tǒng)提供了一種工具和使用該工具的方法，其模仿具有可拆卸門的襯底承載體的門。該工具允許在開始襯底處理之前，將開門器機構(gòu)與承載體在其上被支撐、被測試和校正的裝載端口或其他搬運器對準，直到達到正確的對準。
文檔編號H01L21/67GK1599948SQ02824424
公開日2005年3月23日 申請日期2002年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月14日
發(fā)明者艾倫·里克·拉佩恩, 羅納德·維恩·肖爾 申請人:應(yīng)用材料公司