專利名稱：縱向耦合諧振器型表面波裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及縱向耦合諧振器型表面波裝置，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及改良鄰接的IDT(interdigtal transducer；叉指形換能器)的叉指電極構(gòu)造的縱向耦合諧振器型表面波裝置。
縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置由于橫向波模變成脈動(dòng)，以前，為了抑制橫波模，對(duì)IDT使用了進(jìn)行交叉寬度加權(quán)等加權(quán)的方法。但是，通過(guò)對(duì)IDT進(jìn)行加權(quán)，在抑制橫波模時(shí)，對(duì)主傳播波模的影響很大，難以得到所希望的濾波器特性。
另一方面，在特公平6-85492號(hào)公報(bào)所記載的彈性表面波諧振器中，為了抑制橫向波模脈動(dòng)，將IDT的電極指交叉寬度設(shè)為開(kāi)口長(zhǎng)的65～75％。特開(kāi)平9-260996號(hào)公報(bào)所記載的諧振器型彈性表面波濾波器，設(shè)IDT的電指指交叉寬度對(duì)開(kāi)口長(zhǎng)度的比率為75～85％，因此，能抑制橫向二次波模的脈動(dòng)。
如特公平6-85492號(hào)公報(bào)或特開(kāi)平9-260996號(hào)公報(bào)所記載的那樣，在降低電指交又寬度對(duì)開(kāi)口長(zhǎng)度的比率的結(jié)構(gòu)中，限定激勵(lì)表面波的區(qū)域，因而，同樣不能避免對(duì)主傳播波模的影響。
根據(jù)本申請(qǐng)的第1發(fā)明，提供一種縱向耦合諧振器型表面波裝置，該裝置具備表面波基板、和在上述表面波基板上沿表面波傳播方向配置的各自具有多根電極指的多個(gè)IDT，在相鄰的IDT的鄰接的電極指，在交叉寬度方向中央附近設(shè)置電不連接部，在該電不連接部沿交叉寬度方向配置至少1個(gè)浮置電極。
在第1發(fā)明的特定局面，設(shè)定上述電不連接部的交叉寬度方向的長(zhǎng)度為a、設(shè)定浮置電極長(zhǎng)度為b時(shí)，設(shè)b/a為0.575以上，因而，不僅能有效抑制橫波模脈動(dòng)，而且還能防止通帶高頻側(cè)插入損失的降低。
根據(jù)第2發(fā)明，提供一種縱向耦合諧振器型表面波裝置，該裝置具備表面波基板、和在上述表面波基板上沿表面波傳播方面配置的各自具有多根電極指的多個(gè)IDT，在相鄰的IDT的電極指中，在交叉寬度方向中央附近設(shè)置電不連接部。
在本發(fā)明(第1、第2發(fā)明)的其特定局面，電不連接部的交叉寬度方向兩側(cè)的各電極指部分各自連接相鄰IDT的一方或另一方。因而，在設(shè)置電不連接部的電極指中，在交叉寬度方向，按序配置與激勵(lì)有關(guān)部分、與激勵(lì)無(wú)關(guān)部分和與激勵(lì)有關(guān)部分，按照本發(fā)明能有效地抑制橫波模。
在本發(fā)明另外特定局面，設(shè)上述電不連接部的交叉寬度方向長(zhǎng)度為0.6λ以上，因此能更進(jìn)一步有效地抑制橫波模。
在本發(fā)明的其他特定局面，上述電不連接部的交叉寬度方向長(zhǎng)度對(duì)交叉寬度設(shè)為7.5～87.5％的范圍，因此能更進(jìn)一步有效地抑制橫波模。
在本發(fā)明的另外其他特定局面，上述表面波基板具有反射表面波的對(duì)置二端面，構(gòu)成端面反射型表面波裝置。因此，根據(jù)本發(fā)明，能提供不那么影響主傳播波模并有效抑制橫波模的端面反射型的表面波裝置。
在本發(fā)明的縱向耦合諧振器型表面波裝置中，也可以多級(jí)串聯(lián)連接縱向耦合諧振器型表面波裝置，此時(shí)，可以構(gòu)成至少一個(gè)縱向耦合諧振器型表面波裝置，以便按照本發(fā)明能抑制橫波模。
在本發(fā)明另外其他特定局面，提供具備本發(fā)明的縱向耦合諧振器型表面波裝置作為帶通濾波器的通信機(jī)。由于具備不那么影響主傳播波模又能有效抑制橫波型的縱向耦合諧振器型表面波裝置作為帶通濾波器，所以能提供通信性能優(yōu)良的通信機(jī)。
圖2是表示為了比較而準(zhǔn)備的已有例的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置的模式平面圖。
圖3是用于說(shuō)明本發(fā)明的第1實(shí)施例的縱向耦合諧振器型表面波裝置的電不連接部分的部分缺口放大圖。
圖4是用于說(shuō)明改變電不連接部長(zhǎng)度a時(shí)的傳播特性變化圖。
圖5是放大表示圖4結(jié)果的圖，是表示電不連接部長(zhǎng)度變化時(shí)的傳播特性的圖。
圖6是表示電不連接部長(zhǎng)度a和衰減量一頻率特性上所呈現(xiàn)的脈動(dòng)大小的關(guān)系的圖。
圖7是表示電不連接部長(zhǎng)度a和群延遲時(shí)間特性上呈現(xiàn)的脈動(dòng)大小的關(guān)系的圖。
圖8是用于說(shuō)明圖6所示的脈動(dòng)大小的評(píng)價(jià)方法的模式圖。
圖9是表示第2實(shí)施例的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置電極構(gòu)造的模式平面圖。


圖10是表示已有例和第2實(shí)施例的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置傳輸特性的圖。
圖11是表示第2實(shí)施例中改變電不連接部長(zhǎng)度a時(shí)的脈動(dòng)大小變化的圖。
圖12是表示在第2實(shí)施例中改變IDT電極指的對(duì)數(shù)和交叉寬度時(shí)電不連接部和傳輸特性上呈現(xiàn)的脈動(dòng)大小的關(guān)系的圖。
圖13是表示第3實(shí)施例的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置電極構(gòu)造的模式平面圖。
圖14是表示不設(shè)置電不連接部的已有縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置、設(shè)置電不連接部的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置、和在電不連接部配置各種長(zhǎng)度浮置電極的各縱向耦合諧振器彈性表面波裝置的衰減量頻率特性和群延遲時(shí)間頻率特性的圖。
圖15是改寫圖14所示結(jié)果的圖，橫軸是浮置電極長(zhǎng)度b對(duì)電不連接部長(zhǎng)度a的比例，是表示比b/a變化時(shí)的衰減量頻率特性上呈現(xiàn)的橫波模脈動(dòng)大小、群延遲時(shí)間頻率特性上呈現(xiàn)的橫波模脈動(dòng)大小和40MHz的損失變化的圖。
圖16是用于表示本發(fā)明的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置的變形例的部分缺口平面圖。
具體實(shí)施例以下，通過(guò)說(shuō)明本發(fā)明的具體實(shí)施例，可清楚地了解本發(fā)明。
圖1是模式地表示本發(fā)明第1實(shí)施例的縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器的平面圖?？v向耦合諧振器型彈性表面波濾波器1具有矩形表面波基板2。表面波基板2由壓電基板、在壓電基板上形成壓電薄膜而組成的基板、或在絕緣性基板上層疊壓電薄膜而組成的基板構(gòu)成。作為構(gòu)成壓電基板的壓電材料，可以用LiTaO3、LiNbO3或水晶等壓電單晶體、或鈦酸鉻酸系列陶瓷那樣的壓電陶瓷。作為壓電薄膜，可用Ta2O5或ZnO薄膜。
表面波基板2有矩形的平面形狀，有對(duì)置二端面2a、2b。端面2a、2b具有作為反射表面波的反射端面的功能。即，本實(shí)施例的縱向耦合諧振器型表面波裝置是端面反射型的表面波裝置。
在表面波基板2上形成IDT3、4。ITD3、4由鋁等的金屬膜構(gòu)成，在本實(shí)施例中，在壓電基板組成的表面波基板2上形成著IDT3、4?？墒?，表面波基板2有在絕緣基板或壓電基板上層疊壓電薄膜的構(gòu)造時(shí)，也可以形成IDT3、4，使其與壓電薄膜的上面和下面的其中一個(gè)連接。
IDT3、4具有多根電極指3a～3e、4a～4d。表面波在與電極指正交方向、即連接端面2a、2b的方向傳播。表面波傳播方向最外側(cè)的電極指3a、4a要分別沿端面2a、2和上面形成的端邊形成。設(shè)表面波的波長(zhǎng)為λ時(shí)，將電極指3a、4a形成為λ/8的寬度。其余的電極指3b～3e、4b～4d具有λ/4的寬度。一般認(rèn)為電極指間區(qū)域的表面波傳播方向的距離為λ/4。因而，一般認(rèn)為IDT3、4金屬化比為0.5。
IDT3、4距離，即IDT3、4最鄰接的電極指3e、4d的中心間距離為0.20λ。因而，IDT3的IDT4側(cè)端部的電極指3e和IDT4的IDT3側(cè)端部的電極指4d如圖示那樣重合。
IDT3是輸入側(cè)的IDT，電極指的對(duì)數(shù)是3.5對(duì)，IDT4是輸出側(cè)的IDT，電極指的對(duì)數(shù)是2.5對(duì)。在IDT3、4，電極指交叉寬度都是8λ。
本實(shí)施例的特征在于，在IDT3、4鄰接的部分，在交叉寬度方向、即與表面波傳播方向正交的方向，在電極指3e、4d形成電不連接部A，而且在該電不連接部A形成浮置電極5。
即，如圖3放大表示那樣，在設(shè)置電極指3e、4d的部分，在電極指交叉寬度方向，形成著與激勵(lì)有關(guān)的電極指部分B、與激勵(lì)無(wú)關(guān)的電極指部分即不連接部A、以及與激勵(lì)有關(guān)的電極指部分D。電不連接部A由浮置電極5和浮置電極5的交叉寬度方向兩側(cè)的間隙6a、6b構(gòu)成。
本實(shí)施例的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置1由于具有上述電不連接部A和浮置電極5，能不那么影響主傳播波模地有效抑制橫波模。根據(jù)具體實(shí)施例對(duì)此進(jìn)行說(shuō)明。
為了比較，除了不設(shè)置電不連接部A和浮置電極5以外，準(zhǔn)備與上述實(shí)施例同樣地構(gòu)成的圖2所示的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置51。
在上述實(shí)施例的構(gòu)造中，制造如圖3所示的長(zhǎng)度c都固定為0.35λ、不連接部A的交叉寬度方向的長(zhǎng)度a為1λ、2λ、3λ、4λ、7λ和8λ+2c的各彈性表面波裝置。其中，a＝8λ+2c的c如圖3所示，表示交叉寬度區(qū)域的外側(cè)端和匯流條的間隔。因而，所謂a＝8λ+2c是相當(dāng)于在IDT3、4的匯流條間形成與交叉寬度相等長(zhǎng)度的浮置電極、和在該浮置電極指兩側(cè)形成長(zhǎng)度c的間隙6a、6b的構(gòu)造。
圖4和圖5表示如上述那樣得到的各彈性表面波裝置的傳輸特性。
從圖4和圖5就能明白那樣，在比較例即a＝0時(shí)，在響應(yīng)37.7MHz附近的38.0MHz附近出現(xiàn)因橫波模引起的脈動(dòng)。另外，長(zhǎng)度a變大時(shí)，37.7MHz附近的波模頻率向高頻側(cè)漂移時(shí)，也可知道38.0MHz附近的脈動(dòng)難以出現(xiàn)。即，可知道在a＝3λ附近兩者重疊，脈動(dòng)不顯著。a超過(guò)3λ時(shí)，在上述響應(yīng)的低頻率側(cè)出現(xiàn)上述脈動(dòng)。
圖4和圖5的曲線由于易于知道波模的狀態(tài)，所以是不采取阻抗匹配所測(cè)定的結(jié)果。圖6是表示在采取阻抗匹配狀態(tài)的長(zhǎng)度a與上述脈動(dòng)大小的關(guān)系圖，圖7是表示長(zhǎng)度a與群延遲時(shí)間特性上所表現(xiàn)的脈動(dòng)大小的關(guān)系圖。
如圖8所示，所謂圖6的脈動(dòng)大小是在傳輸特性曲線X中出現(xiàn)脈動(dòng)的部分和出現(xiàn)脈動(dòng)的部分的兩側(cè)出現(xiàn)的連接高峰的假想線Y之間的插入損失量。
從圖6和圖7就可明白那樣，由于設(shè)長(zhǎng)度a為0.6λ～7.0λ，即相對(duì)交叉寬度為7.5～87.5％，所以能有效地抑制認(rèn)為是橫波模型的脈動(dòng)。同樣，也能抑制群延遲時(shí)間特性上所現(xiàn)的脈動(dòng)。
圖9是模式地表示第2實(shí)施例的諧振器型彈性表面波裝置的電極構(gòu)造的平面圖。
在第2實(shí)施例的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置11，在由IDT3、4組成的縱向耦合諧振器彈性表面波濾波器部12的前級(jí)連接著沒(méi)有電不連接部的縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器部13。即，串聯(lián)連接著2個(gè)縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器部。
縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器13，除了沒(méi)有電不連接部外，除了輸入側(cè)的IDT13A的電極指對(duì)數(shù)是2.5對(duì)、IDT13B的電極指對(duì)數(shù)是3.5對(duì)以外，與縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器部12同樣構(gòu)成?？v向耦合諧振器型彈性表面波濾波器部12和第1實(shí)施例的縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器1同樣構(gòu)成。
如第2實(shí)施例的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置11那樣，本發(fā)明的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置也可以有將多個(gè)縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置形成多個(gè)串聯(lián)連接的構(gòu)成，該場(chǎng)合，在至少一個(gè)縱耦諧振器型彈性表面波濾波器部，根據(jù)本發(fā)明，可以構(gòu)成電不連接部，因此，能有效地抑制由橫波模31起的脈動(dòng)。
圖10是表示圖9所示的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置傳輸特性的圖。在圖10中，實(shí)線表示第2實(shí)施例的結(jié)果，虛線表示已有例的結(jié)果。這里，所謂已有例，是縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器部12除了沒(méi)有電不連接部和浮置電極外，具有與上述同樣構(gòu)成的構(gòu)造的。
從圖10就能清楚地知道，即使第2實(shí)施例，與沒(méi)有電不連接部和浮置電極的已有例相比，也能有效地抑制認(rèn)為是橫波模的脈動(dòng)。
圖11表示在第2實(shí)施例的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置11，在各種變更電不連接部長(zhǎng)度a時(shí)認(rèn)為具橫波模的脈動(dòng)的大小變化。脈動(dòng)的大小，與第1實(shí)施例時(shí)相同，如圖8所示那樣評(píng)價(jià)傳輸特性曲線上的脈動(dòng)大小。
從圖11能清楚地知道，若長(zhǎng)度a為0.6λ以上，就能有效抑制被認(rèn)為是橫波模的脈動(dòng)，更好為1.0λ以上，能更進(jìn)一步有效抑制不要的脈動(dòng)。
圖12是在第2實(shí)施例的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置，設(shè)縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器部13的輸入側(cè)IDT13A和縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器部輸出側(cè)IDT4A的電極指對(duì)數(shù)為3對(duì)，設(shè)另外的IDT13、3的電極指的對(duì)數(shù)為4對(duì)、電極指交叉寬度為4.5λ時(shí)，表示長(zhǎng)度a的變化和傳輸特性上出現(xiàn)的脈動(dòng)的關(guān)系圖。
從圖12能清楚地知道，即使在使電極指的對(duì)數(shù)和電極指交叉寬度不同時(shí)，與圖11同樣地設(shè)a＝0.6λ以上，更好為1.0λ以上，就能有效地抑制被認(rèn)為是在傳輸特性上出現(xiàn)的橫波模的不要脈動(dòng)。
即，從圖11及圖12的比較能清楚地知道，即使是使IDT的電極指的對(duì)數(shù)和交叉寬度變化場(chǎng)合，通過(guò)設(shè)長(zhǎng)度a為0.6λ以上，更好為1.0λ以上，就能更有效進(jìn)一步抑制脈動(dòng)。
圖13是模式地表示第3實(shí)施例的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置的電極構(gòu)造的平面圖。在第3實(shí)施例的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置21中，省略第2實(shí)施例的縱向耦合共振型彈性表面波濾波器的浮置電極5。其他構(gòu)造與第2
從第3實(shí)施例能清楚那樣，在本發(fā)明，在電不連接部也可以不一定設(shè)置浮置電極指。即，電不連接部A也可以是不存在電極指部分的部分。
如上述那樣，在第1～第3實(shí)施例，通過(guò)在相鄰的IDT的相鄰電極指設(shè)置電不連接部，并且通過(guò)在電不連接部設(shè)置浮置電極，可有效地抑制被認(rèn)為是橫波模的脈動(dòng)。
圖14和圖15表示不設(shè)置不連接部的已有縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置、和根據(jù)本發(fā)明設(shè)置不連接部且使浮置電極的交叉寬度方向的長(zhǎng)度b對(duì)不連接部的長(zhǎng)度a的比b/a進(jìn)行各種變化時(shí)，以及和第3實(shí)施例那樣設(shè)置不連接部而不設(shè)置浮置電極的縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置的傳輸特性。
圖15是改畫圖14所示結(jié)果的圖，是表示在各縱向耦合諧振器型彈性表面波裝置中浮置電極長(zhǎng)度b/不連接部長(zhǎng)度a變化時(shí)的衰減量頻率特性上出現(xiàn)的脈動(dòng)大小(dB)、群延遲時(shí)間特性上出現(xiàn)的脈動(dòng)大小(n秒)和中心頻率＝40MHz的插入損失變化的圖。
從圖14和圖15可清楚地知道，相當(dāng)于不設(shè)置浮置電極的第3實(shí)施例的b/a＝0的場(chǎng)合，與設(shè)置浮置電極的場(chǎng)合同樣，能有效地抑制被認(rèn)為是橫波模的脈動(dòng)?？墒?，在不設(shè)置浮置電極時(shí)，通頻帶的高頻側(cè)的損失變大。因而，可知最好在電不連接部設(shè)置浮置電極。
在設(shè)置浮置電極時(shí)，從圖14和圖15的結(jié)果可知，浮置電極長(zhǎng)度b對(duì)不連接部長(zhǎng)度a的比b/a是0.575以上、即57.5％以上時(shí)，40MHz的損失變小。即，可邊改善脈動(dòng)邊使高頻側(cè)的通頻帶的插入損失比脈動(dòng)還小。因而，b/a希望是57.5％以上。
本發(fā)明不限定于第1～第3實(shí)施例。
例如，如圖16所示，在本發(fā)明也可以使相鄰的IDT3、4比第1～第3實(shí)施例更為分開(kāi)。即，在第1實(shí)施例，由于IDT3、4的間隔是0.2λ，IDT3、4的相鄰電極指3e、4d重合起來(lái)，但如圖16所示，可以使IDT3的電極指3e和IDT4的電極指4d隔開(kāi)，使其不重疊。這時(shí)，在相鄰的電極指3e、4d分別和上述實(shí)施例一樣，也可以設(shè)置電不連接部A和浮置電極5、5。即使在圖16所示的變形例也可以不一定設(shè)置浮置電極。
在第1、第2實(shí)施例和上述變形例，在電不連接部A設(shè)置1個(gè)浮置電極5，但在電不連接部A也可沿交叉寬度方向設(shè)置多個(gè)浮置電極5。
進(jìn)而，本發(fā)明不限于第1～第3實(shí)施例那樣的端面反射型的表面波裝置，也適用于在設(shè)置IDT區(qū)域的外側(cè)設(shè)置反射器的縱向耦合諧振器型表面波裝置。
對(duì)于IDT的個(gè)數(shù)，也可以在表面波傳播方向設(shè)置多個(gè)，不限于2個(gè)，也可以配置3個(gè)以上。進(jìn)而，在表面波傳播方向配置3個(gè)以上的IDT時(shí)，在相鄰的IDT的電極指設(shè)置電不連接的構(gòu)成不必要配置在全部IDT之間，可以配置在至少1個(gè)IDT之間的部分。
如以上那樣，就第1發(fā)明的縱向耦合諧振器型表面波裝置來(lái)說(shuō)，在相鄰IDT的鄰接著的電極指中，沿交叉寬度方向中央附近設(shè)置電不連接部，由于在該電不連接部，沿交叉寬度方向配置至少1個(gè)浮置電極，所以能有效地抑制橫波模引起的脈動(dòng)。而且，由于具有在相鄰電極指設(shè)置電不連接部和浮置電極的構(gòu)成，即由于不需要配置遍及IDT全體的特殊構(gòu)造，所以不那么影響主傳播波模，而且能夠抑制由橫波模引起的脈動(dòng)。
就第2發(fā)明的縱向耦合諧振器型表面波裝置來(lái)說(shuō)，備有表面波基板、和在上述表面波基板上沿表面波傳播方向配置且各自具有多根電極指的IDT，在相鄰的IDT的鄰接電極指，在交叉寬度方向中央附近設(shè)置電不連接部，能有效地抑制因橫波模引起的脈動(dòng)。而且，由于僅在相鄰的電極指設(shè)置電不連接部的構(gòu)成，即由于不需要配置遍及IDT全體的特殊構(gòu)造，所以不那么影響主傳播波模，而能抑制因橫波模引起的脈動(dòng)。
權(quán)利要求
1.一種縱向耦合諧振器型表面波裝置，其特征是，備有表面波基板以及在上述表面波基板上沿表面波傳播方向配置，并且分別具有多根電極指的多個(gè)IDT，在相鄰IDT的鄰接的電極指上，在交叉寬度方向中央附近設(shè)置電不連接部，在該電不連接部沿交叉寬度方向配置著至少1個(gè)浮置電極。
2.如權(quán)利要求1所述的縱向耦合諧振器型表面波裝置，其特征是，設(shè)上述電不連接部的交叉寬度方向的長(zhǎng)度為a，上述浮置電極的交叉寬度方向的長(zhǎng)度為b時(shí)，b/a為0.575以上。
3.一種縱向耦合諧振器型表面波裝置，其特征是，備有表面波基板以及在上述表面波基板上沿表面波傳播方向配置，并分別具有多根電極指的多個(gè)IDT，在相鄰的IDT的電極指上，在交叉寬度方向中央附近設(shè)置電不連接部。
4.如權(quán)利要求1所述的縱向耦合諧振器型表面波裝置，其特征是，上述電不連接部的交叉寬度方向兩側(cè)的各電極指部分分別連接相鄰的IDT的一方或另一方。
5.如權(quán)利要求1所述的縱向耦合諧振器型表面波裝置，其特征是，上述電不連接部的交叉寬度方向的長(zhǎng)度為0.6λ以上。
6.如權(quán)利要求1所述的縱向耦合諧振器型表面波裝置，其特征是，上述電不連接部的交叉寬度方向的長(zhǎng)度與交叉寬度之比是7.5～87.5％。
7.如權(quán)利要求1所述的縱向耦合諧振器型表面波裝置，其特征是，上述表面波基板具有反射表面波的對(duì)置的二端面，是端面反射型表面波裝置。
8.一種縱向耦合諧振器型表面波裝置，其特征是，多個(gè)縱向耦合諧振器型表面波裝置串聯(lián)連接，該多個(gè)縱向耦合諧振器型表面波裝置內(nèi)的至少一個(gè)是權(quán)利要求1所述的縱向耦合諧振器型表面波裝置。
9.一種通信機(jī)，具備權(quán)利要求1所述的縱向耦合諧振器型表面波裝置，以其作為帶通濾波器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種不怎么影響主傳播波模并能有效地抑制因橫波模引起的脈動(dòng)的縱向耦合諧振器型表面波裝置?？v向耦合諧振器型表面波裝置(1)，在表面波基板(2)上，沿表面波傳播方向配置分別具有多根電極指的IDT(3、4)，在相鄰的IDT(3、4)的鄰接電極指(3、4)，在交叉寬度方向中央附近設(shè)置電不連接部A，在該電不連接部A沿交叉寬度方向配置至少一個(gè)浮置電極(5)。
文檔編號(hào)H01L41/18GK1450685SQ0312269
公開(kāi)日2003年10月22日 申請(qǐng)日期2003年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月4日
發(fā)明者池浦守, 堀內(nèi)秀哉, 吾鄉(xiāng)純也, 門田道雄 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所