專(zhuān)利名稱(chēng)：微鏡檢測(cè)方法及其檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種微鏡檢測(cè)方法及其檢測(cè)裝置，特別是涉及一種檢測(cè)微鏡組件在組裝后的傾斜度的微鏡檢測(cè)方法及其檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
微機(jī)電技術(shù)發(fā)展已久，且逐漸應(yīng)用于一般生活用品或是電子產(chǎn)品之中。而美國(guó)德州儀器公司開(kāi)發(fā)的數(shù)字微鏡組件DMD(Digital MicromirrorDevice)，即為一種用于投影設(shè)備的反射組件。由數(shù)字微鏡組件技術(shù)所設(shè)計(jì)的投影機(jī)，稱(chēng)為數(shù)碼光輸投影機(jī)(DLP，Digital Light Processing)，以數(shù)字微鏡組件作為成像儀器，反射光投射圖像到屏幕。其關(guān)鍵組件數(shù)字微鏡組件是由德州儀器公司開(kāi)發(fā)研制的一種半導(dǎo)體組件，每一個(gè)數(shù)字微鏡組件芯片包含成千上萬(wàn)的微小的正方形反射鏡片，又稱(chēng)微鏡。這些微鏡按照行列緊密排列，每個(gè)微鏡代表一個(gè)像素，并可由相應(yīng)的內(nèi)存在開(kāi)或關(guān)的兩種狀態(tài)下控制切換轉(zhuǎn)動(dòng)，從而控制光的反射。
數(shù)碼光輸投影機(jī)的光學(xué)組件繁多，由于數(shù)碼光輸投影機(jī)要求的分辨率及成像力都特別嚴(yán)格，故制造時(shí)的精度及公差都很難掌握。尤其微鏡組件裝設(shè)于鏡頭承座上時(shí)相對(duì)于鏡頭光軸的傾斜度，其直接關(guān)系著成像品質(zhì)的好壞。但因微鏡組件為微米制造，所以很難以一般的測(cè)量方法測(cè)量其傾斜度。因此鏡頭成品的特性及其品質(zhì)，往往需通過(guò)實(shí)際成像之后才能檢測(cè)。若在完整組裝完畢后才得知鏡頭有缺陷，則需重新拆開(kāi)及組裝，耗費(fèi)龐大的時(shí)間及人力。因此，需要能在組裝過(guò)程中，實(shí)時(shí)檢測(cè)其組裝狀況的微鏡檢測(cè)方法及其檢測(cè)裝置，以確保鏡頭的品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明即為了要能實(shí)時(shí)檢測(cè)鏡頭的組裝狀況，而提供的一種微鏡檢測(cè)方法，其包括下述步驟，先將微鏡組件設(shè)于承座的微鏡承靠面。再利用光源朝向微鏡組件射出光束。光束從微鏡組件反射至靶面，并在該靶面上投射出一第二光點(diǎn)。測(cè)量該第二光點(diǎn)相對(duì)于基準(zhǔn)點(diǎn)的距離X，并由此計(jì)算微鏡組件在承座上的傾斜度。
本發(fā)明也提供一種可供上述檢測(cè)的微鏡檢測(cè)裝置，包括一靶面以及一光源。光源朝向該微鏡組件射出一光束，該光束從該微鏡組件反射至該靶面。
應(yīng)用本發(fā)明的微鏡檢測(cè)方法，可快速有效地測(cè)量微鏡組件裝設(shè)于鏡頭承座上時(shí)相對(duì)于鏡頭光軸的傾斜度。因此，可以在鏡頭的裝配過(guò)程中，直接檢測(cè)微鏡組件的組裝狀況，從而校正微鏡組件的傾斜狀況，提高產(chǎn)品合格率。


圖1a為現(xiàn)有承座的立體；圖1b為現(xiàn)有承座的后側(cè)視圖；圖2a為本發(fā)明的微鏡檢測(cè)裝置的示意圖；圖2b為本發(fā)明的微鏡檢測(cè)裝置的靶面的示意圖；圖3a為本發(fā)明的微鏡檢測(cè)裝置的示意圖；圖3b為本發(fā)明的微鏡檢測(cè)裝置的夾具的示意圖；圖4為本發(fā)明的傾斜度計(jì)算方式的輔助說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式
首先，先說(shuō)明承座的構(gòu)造參照?qǐng)D1a，承座100包括一鏡頭承靠面110以及鏡頭承靠點(diǎn)111。參照?qǐng)D1b，其顯示承座100的A方向側(cè)視圖，承座100還包括一微鏡承靠面120，微鏡承靠面120上具有微鏡承靠點(diǎn)121以及開(kāi)口122。微鏡組件即由微鏡承靠點(diǎn)121設(shè)于微鏡承靠面120之上。而本發(fā)明所要檢測(cè)的，即為微鏡組件在裝設(shè)于微鏡承靠面120上時(shí)，是否有過(guò)度傾斜的情形。
以下先說(shuō)明本發(fā)明的微鏡檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)，再說(shuō)明使用該微鏡檢測(cè)裝置的微鏡檢測(cè)方法。
參照?qǐng)D2a，本發(fā)明的微鏡檢測(cè)裝置，包括一靶面150以及一光源140。光源朝向微鏡組件130射出一光束160，該光束160從該微鏡組件130反射至該靶面150。
參照?qǐng)D2b，靶面150上具有刻度以及一基準(zhǔn)點(diǎn)151。通過(guò)光束160從該微鏡組件130反射至該靶面150的第二光點(diǎn)152的相對(duì)于基準(zhǔn)點(diǎn)151的位置，可得知微鏡組件的傾斜狀況。
上述的光源140可以為激光。
上述的光源140可設(shè)于靶面150之上。
上述的靶面150其材質(zhì)可以為紙。
參照?qǐng)D3a，上述的微鏡檢測(cè)裝置可還包括一第一夾具185，用以?shī)A持該承座。以及一第二夾具180，用以?shī)A持該光源。該第一夾具185以及第二夾具180可設(shè)于底座170之上。
參照?qǐng)D3b，該第一夾具185以及第二夾具180該可具有一夾具主體181，一檔板182，一調(diào)制機(jī)構(gòu)183以及一固定件184。該檔板182設(shè)于該夾具主體181中。該調(diào)制機(jī)構(gòu)183穿過(guò)該夾具主體181并與該檔板182接觸，通過(guò)調(diào)整該調(diào)制機(jī)構(gòu)183，可調(diào)整該文件板182的位置，并將工件夾持于該檔板182與該夾具主體181之間。該固定件184設(shè)于該夾具主體181之下，夾具主體181由該固定件184固定在該底座170之上。
再參照?qǐng)D2a，本發(fā)明的微鏡檢測(cè)方法，包括下述步驟首先，先限定出光源140的位置。先將一標(biāo)準(zhǔn)鏡135設(shè)于該承座100的該微鏡承靠面120。標(biāo)準(zhǔn)鏡135為水平程度合于規(guī)定的鏡面，標(biāo)準(zhǔn)鏡135裝設(shè)于微鏡承靠面120時(shí)，即為預(yù)設(shè)的未傾斜狀況。再利用該光源140朝向該標(biāo)準(zhǔn)鏡135射出該光束160，該光束160從該標(biāo)準(zhǔn)鏡135反射至該靶面150，并在該靶面150上投射出一第一光點(diǎn)155，參照?qǐng)D2b。此時(shí)，調(diào)整該光源140的位置，使該第一光點(diǎn)155投射至該基準(zhǔn)點(diǎn)151。通過(guò)以上步驟，可限定光源140的標(biāo)準(zhǔn)位置。
接下來(lái)，進(jìn)行測(cè)量微鏡組件傾斜度的步驟，依然先參照?qǐng)D2a，先將微鏡組件130設(shè)于承座100的微鏡承靠面120。再利用光源140朝向微鏡組件130射出光束160。光束160從微鏡組件130反射至靶面150，并在該靶面150上投射出一第二光點(diǎn)152，參照?qǐng)D2b。測(cè)量該第二光點(diǎn)152相對(duì)于基準(zhǔn)點(diǎn)151的距離X，并由此計(jì)算微鏡組件130在承座100上的傾斜度。
其計(jì)算傾斜度的方式，參照第4圖，利用光源140與微鏡組件130的間的距離Y，以及第二光點(diǎn)152相對(duì)于基準(zhǔn)點(diǎn)151的距離X，以三角函數(shù)公式2θ=tan-1(XY),]]>可求得微鏡組件130的傾斜度角θ。利用傾斜度角θ以及微鏡組件130本身的長(zhǎng)度，可以得知所需要補(bǔ)償厚度T。因此可在微鏡組件130的傾斜方位墊入厚度為T(mén)的墊片，或是以其它方式進(jìn)行補(bǔ)償，以修正微鏡組件130的傾斜。
再回到圖2a，本發(fā)明的檢測(cè)方法也可用于檢測(cè)承座100的平行度，其包括下述步驟首先將標(biāo)準(zhǔn)鏡135設(shè)于該承座100的微鏡承靠面120。再利用光源140朝向標(biāo)準(zhǔn)鏡135射出光束160，光束160從標(biāo)準(zhǔn)鏡135反射至靶面150，并在靶面150上投射出第一光點(diǎn)155(參照?qǐng)D2b)。然后調(diào)整光源140的位置，使第一光點(diǎn)155投射至基準(zhǔn)點(diǎn)151。再將該標(biāo)準(zhǔn)鏡135設(shè)于該承座100的鏡頭承靠面110(參照?qǐng)D2a)，該光束160從該標(biāo)準(zhǔn)鏡135反射至靶面150，并在靶150面上投射出第二光點(diǎn)152(參照?qǐng)D2b)。最后，測(cè)量第二光點(diǎn)152相對(duì)于該基準(zhǔn)點(diǎn)151的位置；并計(jì)算該微鏡承靠面120與該鏡頭承靠面110的平行度。
計(jì)算承座100平行度的方式，可與上述的計(jì)算微鏡組件傾斜度的方式相同，以三角函數(shù)的方式求得。
由于鏡頭承靠面110是否傾斜直接相關(guān)于鏡頭的光軸角度，因此可依照上述的承座平行度的檢測(cè)結(jié)果，對(duì)各部位組件的尺寸誤差進(jìn)行補(bǔ)償。
應(yīng)用本發(fā)明的微鏡檢測(cè)方法，可快速有效地測(cè)量微鏡組件裝設(shè)于鏡頭承座上時(shí)相對(duì)于鏡頭光軸的傾斜度。因此，可以在鏡頭的裝配過(guò)程中，直接檢測(cè)微鏡組件的組裝狀況，從而校正微鏡組件的傾斜狀況，提高產(chǎn)品合格率。
雖然結(jié)合以上較佳實(shí)施例揭露了本發(fā)明，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，仍可作一些更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種微鏡檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)一微鏡組件于一承座上的傾斜度，包括一靶面；以及一光源，該光源朝向該微鏡組件射出一光束，該光束從該微鏡組件反射至該靶面。
2.如權(quán)利要求1所述的微鏡檢測(cè)裝置，其中，該微鏡檢測(cè)裝置還包括一第一夾具，該第一夾具用以?shī)A持該承座。
3.如權(quán)利要求1所述的微鏡檢測(cè)裝置，其中，該微鏡檢測(cè)裝置還包括一第二夾具，該第二夾具用以?shī)A持該光源。
4.如權(quán)利要求1所述的微鏡檢測(cè)裝置，其中，該光源為一激光。
5.如權(quán)利要求1所述的微鏡檢測(cè)裝置，其中，該靶面的材質(zhì)為紙。
6.如權(quán)利要求1所述的微鏡檢測(cè)裝置，其中，該光源設(shè)于該靶面之上。
7.一種承座平行度檢測(cè)方法，包括下述步驟將一標(biāo)準(zhǔn)鏡設(shè)于該承座的一微鏡承靠面；利用一光源朝向該標(biāo)準(zhǔn)鏡射出一光束，該光束從該標(biāo)準(zhǔn)鏡反射至一靶面，并在該靶面上投射出一第一光點(diǎn)；調(diào)整該光源的位置，使該第一光點(diǎn)投射至一基準(zhǔn)點(diǎn)；將該標(biāo)準(zhǔn)鏡設(shè)于該承座的一鏡頭承靠面，該光束從該標(biāo)準(zhǔn)鏡反射至該靶面，并在該靶面上投射出一第二光點(diǎn)；測(cè)量該第二光點(diǎn)相對(duì)于該基準(zhǔn)點(diǎn)的位置；以及計(jì)算該微鏡承靠面與該鏡頭承靠面的平行度。
8.如權(quán)利要求7所述的承座平行度檢測(cè)方法，其中，該光源為一激光。
9.如權(quán)利要求7所述的承座平行度檢測(cè)方法，其中，該靶面的材質(zhì)為紙。
10.如權(quán)利要求7所述的承座平行度檢測(cè)方法，其中，該承座利用一第一夾具夾持。
11.如權(quán)利要求7所述的承座平行度檢測(cè)方法，其中，該光源設(shè)于該靶面之上。
12.如權(quán)利要求7所述的承座平行度檢測(cè)方法，其中，該光源利用一第二夾具夾持。
13.如權(quán)利要求12所述的承座平行度檢測(cè)方法，其中，調(diào)整該光源的位置，使該第一光點(diǎn)投射至該基準(zhǔn)點(diǎn)的步驟，通過(guò)調(diào)整該第二夾具而調(diào)整該光源的位置。
14.一種微鏡檢測(cè)方法，包括下述步驟將一微鏡組件設(shè)于一承座的一微鏡承靠面；利用一光源朝向該微鏡組件射出一光束，該光束從該微鏡組件反射至一靶面，并在該靶面上投射出一第二光點(diǎn)；測(cè)量該第二光點(diǎn)相對(duì)于一基準(zhǔn)點(diǎn)的距離X；以及計(jì)算該微鏡組件在該承座上的傾斜度。
15.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測(cè)方法，其中，在將該微鏡組件設(shè)于該承座的該微鏡承靠面的步驟之前，還包括下述步驟將一標(biāo)準(zhǔn)鏡設(shè)于該承座的該微鏡承靠面；利用該光源朝向該標(biāo)準(zhǔn)鏡射出該光束，該光束從該標(biāo)準(zhǔn)鏡反射至該靶面，并在該靶面上投射出一第一光點(diǎn)；調(diào)整該光源的位置，使該第一光點(diǎn)投射至該基準(zhǔn)點(diǎn)。
16.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測(cè)方法，其中，還包括一測(cè)量該光源與該微鏡組件之間距離Y的步驟。
17.如權(quán)利要求16所述的微鏡檢測(cè)方法，其中，計(jì)算該微鏡組件在該承座上的傾斜度的步驟，利用該光源與該微鏡組件之間距離Y以及該第二光點(diǎn)相對(duì)于一基準(zhǔn)點(diǎn)的距離X，以三角函數(shù)計(jì)算而達(dá)成。
18.如權(quán)利要求17所述的微鏡檢測(cè)方法，其中，2θ=tan-1(XY),]]>θ為該微鏡組件于該承座上的傾斜角。
19.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測(cè)方法，其中，該光源為一激光。
20.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測(cè)方法，其中，該靶面的材質(zhì)為紙，其上繪有刻度。
21.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測(cè)方法，其中，該承座利用一第一夾具夾持。
22.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測(cè)方法，其中，該光源設(shè)在該靶面之上。
23.如權(quán)利要求14所述的微鏡檢測(cè)方法，其中，該光源利用一第二夾具夾持。
24.如權(quán)利要求15所述的微鏡檢測(cè)方法，其中，調(diào)整該光源的位置，使該第一光點(diǎn)投射至該基準(zhǔn)點(diǎn)的步驟，通過(guò)調(diào)整該第二夾具而調(diào)整該光源的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種微鏡檢測(cè)方法，包括下述步驟，先將微鏡組件設(shè)于承座的微鏡承靠面。再利用光源朝向微鏡組件射出光束。光束從微鏡組件反射至靶面，并在該靶面上投射出一第二光點(diǎn)。測(cè)量該第二光點(diǎn)相對(duì)于基準(zhǔn)點(diǎn)的距離X，并由此計(jì)算微鏡組件于承座上的傾斜度。
文檔編號(hào)H01S5/00GK1570555SQ03147629
公開(kāi)日2005年1月26日 申請(qǐng)日期2003年7月15日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月15日
發(fā)明者郭建峰 申請(qǐng)人:明基電通股份有限公司