專利名稱：真空中的襯底保持方法和裝置、液晶顯示裝置制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在真空中粘合2塊襯底的真空中襯底保持方法、液晶顯示裝置制造方法和襯底保持裝置。
背景技術(shù)：
在液晶顯示板的制造中，必須使用密封材料以幾微米程度的極為靠近的間隔粘合設(shè)有透明電極和薄膜晶體管陣列等的2塊玻璃襯底，并且在該間隔內(nèi)填充液晶后，進行密封。
已有的液晶填充和密封，例如采用以下的方法。
首先，常壓下，在襯底內(nèi)的液晶單元的外周形成設(shè)有液晶注入口的密封材料，粘合2塊襯底，并進行加壓、硬化處理。其次，按規(guī)定的單元尺寸將所述粘合的襯底截斷，使所述注入口來到玻璃邊緣。進而，對截斷成規(guī)定尺寸的液晶單元用已有的液晶注入方式從所述注入口往該單元內(nèi)封入液晶。
上述液晶封入方式中，需要分別進行粘合2塊襯底的工序和封入液晶的工序。因此，為了能對其同時進行，最近通過將液晶滴落到形成所述密封的襯底后，在真空中粘合2塊襯底，同時進行襯底粘合和液晶封入。
具體而言，上述真空裝置中的液晶封入，是在真空下對進行粘合的任一塊襯底涂敷密封材料，將液晶滴落到任一塊襯底，并粘合2塊襯底。
可是，上述真空下的滴落粘合中，存在以下課題。
即，所述封入工序本身在真空裝置內(nèi)進行，作為配置在上部的襯底的保持，不能使用真空吸附方法。雖然考慮使用靜電吸盤保持襯底的方法，但由于在保持襯底時施加高電壓，存在襯底上形成的TFT(Thin Film Transistor薄膜晶體管)元件的特性變化的問題。
為了解決此問題，在例如日本國公開專利公報“專利公開2001-133745公報”(
公開日期2001年5月18日)中提出將粘結(jié)片等粘結(jié)材料用作在真空中襯底保持。
利用此方法，即使襯底規(guī)模大型化、薄化，也可方便地在真空中高精度粘合襯底。
然而，上述已有的公報中記載的在真空中的襯底保持方法中，沒有具體載明使用的粘結(jié)片。
作為一般粘結(jié)片考慮，可考慮粘結(jié)劑涂敷帶等。然而，用這種粘結(jié)劑涂敷帶保持襯底時，存在粘結(jié)劑粘附在襯底上的問題。粘結(jié)力太強時，粘固襯底后，粘結(jié)片不剝離襯底，因而存在從襯底剝掉粘結(jié)片時可能損傷襯底的問題。
粘合上下液晶玻璃襯底時，這兩塊襯底的間隔為2～9微米，非常窄。此間隔的大小造成液晶顯示亮度變化等，影響液晶顯示板的性能、質(zhì)量。因此，重要的是在粘合液晶玻璃襯底時，以整個襯底上均勻的高度和按壓力進行粘合，然而，粘結(jié)帶之類的材料中，厚度非固定，不能對整個襯底給出均勻的按壓力。
本發(fā)明是鑒于上述已有技術(shù)的問題而完成的，其目的在于，提供能夠防止粘結(jié)劑粘附在襯底上，同時還能在粘固襯底后方便地將粘結(jié)片從襯底上剝離的真空中的襯底保持方法、液晶顯示裝置制造方法和襯底保持裝置。
本發(fā)明的另一目的在于，提供在整個襯底授給均勻的按壓力并且能按均勻的襯底間隔粘合襯底的真空中襯底保持方法、液晶顯示裝置制造方法和襯底保持裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的真空中襯底保持方法為了解決上述課題，其特征在于，利用以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片保持襯底。
本發(fā)明的液晶顯示裝置制造方法為了解決上述課題，包含的工序在進行粘合的2塊襯底中任一塊襯底上涂敷固定所述2塊襯底用的密封材料，并將液晶滴落到任一塊襯底，從而在真空中粘合2塊襯底，其特征在于，粘合所述襯底時，利用以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片保持配置在上側(cè)的襯底，在真空中粘合2塊襯底。
本發(fā)明的在真空中保持襯底的襯底保持裝置，為了解決上述課題，其特征在于，設(shè)置用于保持所述襯底的以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片。
采用所述發(fā)明，用以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片保持襯底，該以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片在兩端具有CH2-，在真空中保持襯底時，能獲得適度粘附性和解附性。
即，不像涂敷粘結(jié)劑的雙面膠帶那樣，粘結(jié)劑粘附在襯底上，而且也不會因附著力太強而粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片不能剝離襯底。
因此，能提供防止粘結(jié)劑粘附在襯底上，并且同時能在襯底粘固后方便地將粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片從襯上剝離的真空中襯底保持方法、液晶顯示裝置制造方法和襯底保持裝置。
尤其在制造液晶顯示裝置時，本發(fā)明由于不使用靜電吸盤保持襯底，能防止保持襯底時施加的高電壓帶來的TFT(Thin Film Transistor薄膜晶體管)元件的特性變化。由于用以包含二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片保持襯底，真空室內(nèi)的襯底保持裝置不復(fù)雜。
又，本發(fā)明在真空中的襯底保持方法，在上述真空中的襯底保持方法中，其特征為所述二烯類樹脂由不飽和聚丁二烯組成。
本發(fā)明液晶顯示裝置制造方法，在上述液晶顯示裝置中，其特征為所述二烯類樹脂由不飽和聚丁二烯組成。
本發(fā)明的襯底保持裝置，在上述襯底保持裝置中，其特征為所述二烯類樹脂由不飽和聚丁二烯組成。
根據(jù)上述本發(fā)明，二烯類樹脂由不飽和聚丁二烯組成。
此不飽和聚丁二烯在真空中保持襯底時，二烯類樹脂中能獲得適度的粘附性和解附性。即使在真空中，粘附性也不降低，同時也穩(wěn)定，不產(chǎn)生氣體。即便沾上灰塵，進行水洗后使其干燥，則粘附力恢復(fù)。
本發(fā)明的襯底保持裝置，在上述襯底保持裝置中，其特征為設(shè)置具有對所述粘結(jié)襯墊的墊片貫通自如的貫通孔而且在襯底側(cè)具有平面的載置臺。
根據(jù)上述本發(fā)明，載置臺設(shè)置貫通孔，并使此貫通孔能對粘結(jié)襯墊的墊片貫通自如。
因此，能根據(jù)真空中保持所需的時間，設(shè)定貫通孔的直徑和通過該貫通孔的粘結(jié)襯墊的墊片粘結(jié)面寬度。
粘結(jié)襯墊的墊片相對于載置臺伸出時，不能對整個襯底施加均勻的壓力。
這方面，本發(fā)明由于載置臺的貫通孔能對粘結(jié)襯墊的墊片貫通自如，在用粘結(jié)襯墊保持襯底時，能使該粘結(jié)襯墊的墊片不伸出載置臺。
因此，能以接觸具有平面的載置臺的狀態(tài)，用粘結(jié)襯墊保持該襯底，從而能使整個襯底接觸載置臺。結(jié)果，例如在粘裝襯底時按壓襯底之際，能防止襯底上接觸墊片的部分受力不均勻。
又，本發(fā)明的襯底保持裝置，在上述襯底保持裝置中，其特征為所述貫通孔可往用粘結(jié)襯墊的墊片保持的襯底噴出氣體。
根據(jù)上述發(fā)明，貫通孔可往用粘結(jié)襯墊的墊片保持的襯底噴出氣體，因而可通過此貫通孔往襯底噴氣體，以剝下襯底。
因此，便于進行襯底解附，同時能防止解附時襯底損傷。
上述在真空中的襯底保持方法和襯底保持裝置，其結(jié)構(gòu)為所述粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片在粘結(jié)面具有凹凸形狀。
又，本發(fā)明的液晶顯示裝置制造方法，包含的工序在進行粘合的2塊襯底中任一塊襯底上涂敷固定所述2塊襯底用的密封材料，并將液晶滴落到任一塊襯底，從而在真空中粘合2塊襯底，在結(jié)構(gòu)上做成粘合所述襯底時，利用以含有二烯類樹脂的材料成型而且粘結(jié)面具有凹凸形狀的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片保持配置在上側(cè)或下側(cè)的任一塊襯底或者2塊襯底，在真空中粘合2塊襯底。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片中與保持的襯底接觸的是凹凸形狀的凸部，在從兩側(cè)按壓并粘合用粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片保持的襯底時，凸部可適當(dāng)產(chǎn)生形變。因此，與使用粘結(jié)面為平坦面、沒有凹凸形狀的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片相比，能在整個襯底上授給均勻的按壓力，將襯底粘合成襯底間隔均勻。
還能利用凹凸形狀調(diào)整對保持的襯底的粘附力。因此，能防止對保持的襯底作用過度的粘附力而使剝開襯底和粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片時襯底產(chǎn)生大應(yīng)力的事態(tài)。
上述真空中的襯底保持方法、液晶顯示裝置制造方法和襯底保持裝置中，結(jié)構(gòu)上也可為所述粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片的凹凸形狀的凸部的粘結(jié)面上形成比所述凸部細(xì)微的微細(xì)凸部。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，凸部的粘結(jié)面形成微細(xì)凸部，從而可利用此微細(xì)凸部調(diào)整與襯底的接觸面積，即凸部上的粘附力。因此，能防止為了調(diào)整凸部上的粘附力而凸部粘結(jié)面過度變小、造成從凸部對襯底局部施加過度的按壓力的事態(tài)或凸部剛性過度降低的事態(tài)。
上述真空中的襯底保持方法、液晶顯示裝置制造方法和襯底保持裝置中，結(jié)構(gòu)上也可為排列所述凸部，使其構(gòu)成蜂窩狀六角形的至少一部分邊，以形成六角形。
結(jié)構(gòu)上又可為排列所述凸部，使其構(gòu)成蜂窩狀六角形的1條邊。
結(jié)構(gòu)上又可為所述凸部包含蜂窩狀六角形的頂點。
結(jié)構(gòu)上還可為所述凸部具有將蜂窩狀六角形的頂點作為中心往3方向延伸以構(gòu)成相鄰3個六角形的至少一部分邊的形狀。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在利用粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片粘結(jié)并保持襯底，從而例如分別從兩側(cè)按壓并粘合2塊襯底時，便于在粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片中密集配置凸部，以免由凸部的凹凸圖案產(chǎn)生液晶單元厚度不勻。而且，在如上文所述那樣粘合襯底時，對襯底進行對位的情況下，與僅按單一方向排列時相比，凸部不容易產(chǎn)生歪斜，便于襯底對位。
上述襯底保持裝置結(jié)構(gòu)上也可為在真空中進行襯底保持動作。這樣利用粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片粘結(jié)并保持襯底的襯底保持裝置即使在真空中也能適當(dāng)保持襯底，不會使液晶襯底等襯底受到靜電吸盤中成為問題的電損傷，適合在真空中使用。
本發(fā)明的襯底保持裝置，其特征在于，用具有撓性并在解除外力時可保持一定形狀而且本身具有粘附性的粘結(jié)構(gòu)件保持襯底。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，其適合的襯底保持裝置不產(chǎn)生涂敷粘結(jié)劑的膠帶等中產(chǎn)生的粘結(jié)劑粘附在保持的襯底上的問題，而且容易獲得在保持襯底而且脫離襯底方面適度的粘附力。
由以下所示的記載會充分理解本發(fā)明進一步的其它目的、特征和優(yōu)點。在下面參照附圖的說明中會明白本發(fā)明的利益。


圖1示出本發(fā)明一實施方式，是示出在真空中的襯底保持方法的正視圖。
圖2是示出用所述真空中的襯底保持方法和液晶顯示裝置的制造方法制造的液晶顯示裝置的組成的截面圖。
圖3是示出所述液晶顯示裝置中液晶顯示板封入液晶材料的工序的立體圖。
圖4是示出所述液晶顯示裝置中液晶顯示板封入液晶材料的工序的立體圖。
圖5(a)是示出設(shè)在上載置臺的粘結(jié)襯墊的正視圖。
圖5(b)是示出設(shè)在上載置臺的粘結(jié)襯墊的仰視圖。
圖6(a)是示出另一粘結(jié)襯墊的截面圖，圖6(b)是示出另一粘結(jié)襯墊的仰視圖。
圖7(a)是示出粘結(jié)片的截面圖，圖7(b)是示出粘結(jié)片的仰視圖。
圖8是示出又一粘結(jié)襯墊的截面圖。
圖9(a)～(c)是示出襯底粘結(jié)保持工序的截面圖。
圖10(a)是示出襯底粘合工序中襯底導(dǎo)入前的狀態(tài)的截面圖，圖10(b)是示出襯底粘合裝置中導(dǎo)入上襯底的狀態(tài)的截面圖，圖10(c)是示出襯底粘合裝置中導(dǎo)入下襯底的狀態(tài)的截面圖，圖10(d)是示出粘合過程中的截面圖。
圖11(a)是示出襯底粘合工序中按壓完成狀態(tài)的截面圖，圖11(b)是示出解除粘結(jié)襯墊的粘結(jié)后使上載置臺上升的狀態(tài)的截面圖，圖11(c)是示出從粘合裝置排出粘合襯底的狀態(tài)的截面圖。
圖12是示出硅球的組成的立體圖。
圖13是示出本發(fā)明另一實施方式的襯底粘合裝置的縱截面圖。
圖14(a)是示出具有圖13所示襯底粘合裝置的上襯底保持裝置的粘結(jié)片的俯視圖，圖14(b)是圖14(a)的放大圖，圖14(c)是圖14(b)的X-X線向視截面圖。
圖15(a)是圖14(b)所示凸部的粘結(jié)面的放大圖，圖15(b)是圖15(a)的Y-Y線向視截面圖。
圖16(a)是示出圖13所示襯底粘合裝置的下襯底保持裝置的俯視圖，圖16(b)是圖16(a)所示的下襯底保持裝置的縱截面圖。
圖17(a)是示出使用圖13所示的襯底粘合裝置的襯底粘合工序中襯底導(dǎo)入前的狀態(tài)的截面圖，圖17(b)是示出襯底粘合裝置中導(dǎo)入上襯底的狀態(tài)的截面圖，圖17(c)是示出襯底粘合裝置中導(dǎo)入下襯底的狀態(tài)的截面圖。
圖18(a)是后續(xù)于圖17(c)所示狀態(tài)的狀態(tài)，是示出關(guān)閉真空室的門并對真空室內(nèi)抽真空的狀態(tài)的截面圖，圖18(b)是示出襯底按壓完成狀態(tài)的截面圖，圖18(c)是示出解除下襯底保持裝置的粘結(jié)襯墊與下側(cè)襯底的粘結(jié)的狀態(tài)的截面圖。
圖19(a)是后續(xù)于圖18(c)所示狀態(tài)的狀態(tài)，是示出使上襯底保持裝置移動上升的狀態(tài)的截面圖，圖19(b)是示出從真空室內(nèi)取出襯底的狀態(tài)的截面圖。
圖20(a)是示出成為圖14所示粘結(jié)片的比較例的粘結(jié)片的俯視圖，圖20(b)是圖20(a)的放大圖，圖20(c)是圖20(b)中Z-Z線向視截面圖。
圖21(a)是示出成為圖14所示粘結(jié)片的另一比較例的粘結(jié)片的俯視圖，圖21(b)是圖21(a)的放大圖，圖21(c)是圖21(b)中ZZ-ZZ線向視截面圖。
圖22(a)是示出另一例圖13所示襯底粘合裝置的上襯底保持裝置具有的粘結(jié)片的俯視圖，圖22(b)是圖22(a)的放大圖，圖22(c)是圖22(b)的XX-XX線向視截面圖。
最佳實施方式下面利用實施例和比較例進一步詳細(xì)說明本發(fā)明，但本發(fā)明不受它們?nèi)魏蜗薅ā?br> 實施方式1根據(jù)圖1至圖12說明本發(fā)明的一種實施方式如下。
本實施方式的液晶顯示裝置的液晶顯示板10，例如圖2所示，使作為配置像素電極2以便能利用施加電場個別驅(qū)動像素區(qū)的液晶材料1的襯底的玻璃襯底3與作為配置對置電極4的玻璃襯底5對置，按一定的厚度夾持液晶材料1，并且用密封材料6固定并粘合周邊部。所述液晶顯示部10還設(shè)置偏振片7、8和鋁等組成的反射片9，同時又設(shè)置(未圖示的)相位差片、光擴散片、濾色片層等(未圖示)。在所述玻璃襯底3方，設(shè)置(未圖示的)TFT(Thin FilmTransistor薄膜晶體管)元件等驅(qū)動用元件。然后，此液晶顯示板10連接驅(qū)動用電路等(未圖示)，從而構(gòu)成液晶顯示裝置。
但是，本發(fā)明的液晶顯示裝置中，未必限于此，液晶顯示板10還可設(shè)置其它構(gòu)件，或者將所述液晶顯示板10的反射片9代之以和背后照明單元等組合構(gòu)成等，可根據(jù)需要添加或省略各構(gòu)件。
形成所述液晶顯示板10時，如圖3所示，在玻璃襯底3的周邊涂敷密封材料6，同時將液晶材料1滴落到該玻璃襯底3的密封材料6的內(nèi)部，如圖4所示，從上方按壓玻璃襯底3，從而如圖2所示，以封入液晶材料1的狀態(tài)粘合2塊玻璃襯底3、5。密封材料6的涂敷和液晶材料1的滴落可在任一塊襯底3、5。
這里，所述液晶材料1的封入工序中，要求不使氣泡混入。因此，在真空裝置內(nèi)進行液晶材料1的封入工序，但這時怎樣保持玻璃襯底成為問題。這方面，本實施方式中，如圖1所示，利用粘結(jié)襯墊20……，例如保持作為上側(cè)襯底的玻璃襯底5。
即，粘結(jié)襯墊20如圖5(a)、(b)所示，由壁薄幾毫米的圓柱狀體組成，同時橡膠狀地具有彈性。此粘結(jié)襯墊20有多個，局部安裝并固定在作為載置臺的上載置臺32上?？蓪⒄辰Y(jié)襯墊20的粘結(jié)面的面積設(shè)定成能把玻璃襯底5保持真空中粘合所需的時間以上。
粘結(jié)襯墊20不限于此方式，也可采用其它方式。例如，如圖6(a)、(b)所示，可為將平板部21b與墊片部21a……形成為一體的粘結(jié)襯墊21，以具有從平板部21b的表面局部圓柱狀伸出的多個墊片21a……。這時，在粘結(jié)襯墊21柔軟的情況下，能以加大平板部21b的厚度，或?qū)⒄辰Y(jié)襯墊21安裝固定在所述上載置臺32，或者裝定在硬平板上等方式進行使用。
未必如所述粘結(jié)襯墊29和粘結(jié)襯墊21那樣，限于圓柱狀的墊片形狀，也可由粘結(jié)片22組成，如圖7(a)、(b)所示。這時，在粘結(jié)片22柔軟的情況下，能以加大粘結(jié)片22的厚度，或?qū)⒄辰Y(jié)片22安裝固定在所述上載置臺32，或者裝定在硬平板上等方式進行使用。
如圖8所示，還可為粘結(jié)襯墊23，該粘結(jié)襯墊23在上載置臺32設(shè)置貫通孔32a，同時將比該上載置臺32厚的圓柱狀墊片23a固定在硬質(zhì)襯底23b上，并且所述圓柱狀墊片23a能自由插入所述貫通孔32a。由此，如圖9(a)、(b)、(c)所示，在保持玻璃襯底5時，將玻璃襯底5剝離粘結(jié)襯墊23時能方便地剝掉。
即，如圖9(a)所示，在真空室內(nèi)，初始狀態(tài)為粘結(jié)襯墊23的墊片23a的下端面比上載置臺32的平面組成的下表面32b深入的狀態(tài)。從該狀態(tài)開始，將玻璃襯底5配置在上載置臺32的下方，對其進行真空吸附，從而如圖9(b)所示，玻璃襯底5被吸引到載置臺32的下表面32b側(cè)，與下表面32b對接。然后，如圖9(c)所示，使粘結(jié)襯墊下降，讓墊片23a的下端面接觸玻璃襯底5，從而能用粘結(jié)襯墊23保持玻璃襯底5。粘結(jié)襯墊23的下降最好盡可能抑制在維持玻璃襯底5與上載置臺32的下表面32b對接的狀態(tài)的范圍。這是為了使玻璃襯底5維持水平。
即便使真空室返回大氣壓狀態(tài)，也維持所述利用粘結(jié)襯墊23的玻璃襯底5的保持，玻璃襯底5不會從粘結(jié)襯墊20脫落。
另一方面，從粘結(jié)襯墊23摘下此粘結(jié)襯墊23保持的玻璃襯底5時，在將上載置臺32固定的狀態(tài)下，使粘結(jié)襯墊23上升，因而能方便地從粘結(jié)襯墊摘下玻璃襯底5。
接著，詳細(xì)說明本實施方式的粘結(jié)襯墊20、21、23和粘結(jié)片22的材料。
本實施方式的粘結(jié)襯墊20、21、23和粘結(jié)片22由用含有二烯類樹脂的材料成型物體組成，具體而言，由二烯類樹脂的不飽和聚丁二烯組成。
所述不飽和聚丁二烯在硬化前具有以下的化學(xué)式，CH2＝CH-CH＝CH2為含有2個不飽和雙鍵的二烯類樹脂。該不飽和聚丁二烯硬化時，化學(xué)式成為下式。
-CH2-CH＝CH-CH2-可認(rèn)為本實施方式的粘結(jié)襯墊20、21、23和粘結(jié)片22的粘附性取決于此化學(xué)式兩端的CH2-，真空中也起作用，但附著水分或帶有灰塵，表面被遮住時，粘附力不起作用。然而，即使帶有灰塵，進行水洗后使其干燥，粘附力就恢復(fù)。粘附力例如為100g/cm2以上。
此不飽和聚丁二烯的粘結(jié)襯墊20、21、23和粘結(jié)片22尺寸為A3以下，則可加工到例如片厚0.3mm～5mm左右，尺寸超過A3且為750mm×920mm以下，則可加工到例如片厚1mm～5mm左右。
說明以使用所述粘結(jié)襯墊23的襯底粘合裝置制造液晶顯示裝置的液晶顯示板10的方法。
如圖10(a)所示，作為襯底保持裝置的襯底粘合裝置30在真空室31內(nèi)具有按壓2塊玻璃襯底3、5中配置在上部的玻璃襯底5用的上載置臺32和設(shè)置成可在該上載置臺32的貫通孔32a中上下移動且使不飽和聚丁二烯成型后得到的粘結(jié)襯墊23。其下方設(shè)置載置另一玻璃襯底3用的下載置臺33。所述上載置臺32可在上下方向移動，同時粘結(jié)襯墊23也能與該上載置臺32分開地上下移動。
該圖10(a)中省略使真空室31為真空用的真空管道。
這時，在真空室31內(nèi)的襯底粘合裝置30的側(cè)方準(zhǔn)備配有所述像素電極2(未圖示)的玻璃襯底3和配有所述對置電極4(未圖示)的玻璃襯底5。該玻璃襯底3中，在其周圍涂敷密封材料6，同時形成往其內(nèi)側(cè)中央部滴落液晶材料1的狀態(tài)。該圖中，在玻璃襯底3涂敷密封材料6，但未必限于此，也可在玻璃襯底5上涂敷。
從該狀態(tài)開始，將玻璃襯底5移動到上載置臺32的下方，進行真空吸附，從而使玻璃襯底5與上載置臺32對接，如圖10(b)所示。此狀態(tài)下，使粘結(jié)襯墊23下降，與玻璃襯底5對接，從而將玻璃襯底5保持在粘結(jié)襯底23上。
這時，不飽和聚丁二烯的粘結(jié)襯墊23具有粘附性，即使在真空中粘附性也不降低。而且，在真空中也穩(wěn)定，不產(chǎn)生氣體，因而即使粘合玻璃襯底5和3時暴露在真空中也不成問題。又由于用粘結(jié)襯墊23完成玻璃襯底5的保持，即使解除真空吸附，襯底5也不會掉落。
粘結(jié)襯墊23的墊片23a伸出上載置臺32，則粘合時不能施加均勻的按壓力。而且，粘合后，玻璃襯底5中與墊片23a對接的部分造成液晶單元厚度不勻，因而盡可能消除墊片23a伸出上載置臺32。
接著，如圖10(c)所示，將玻璃襯底3移動到下載置臺33，在該載置臺33上載置玻璃襯底3。接著，又對真空室31內(nèi)部進行抽吸，以形成規(guī)定的真空度。該圖中，將下側(cè)的玻璃襯底3滯后于上側(cè)的玻璃襯底5導(dǎo)入襯底粘合裝置30，但未必限于此，也可使玻璃襯底3先于玻璃襯底5導(dǎo)入襯底粘合裝置30。
接著，如圖10(d)所示，使上載置臺32與粘結(jié)襯墊23合為一體地下降，一面對上下玻璃襯底5、3進行定位，一面進行粘合。這時，上側(cè)的玻璃襯底5受到粘結(jié)襯墊23保持，因而不會錯位。關(guān)于下側(cè)的玻璃襯底3，例如可用此粘結(jié)襯墊23，也可用機械方式保持得不錯位。
接著，如圖11(a)所示，進行按壓，直至形成玻璃襯底5與玻璃襯底3的間隔為一定的狀態(tài)，從而成為完成按壓的狀態(tài)。
然后，如圖11(b)所示，在使上載置臺32固定的狀態(tài)下，讓粘結(jié)襯墊23上升，從而解除粘結(jié)襯墊23與玻璃襯底5的粘結(jié)。其后，使上載置臺32上升。關(guān)于該完成粘合后的玻璃襯底5和3的剝離，也可通過從去除按壓力后的真空吸附用間隙，即上載置臺32的貫通孔32a中與墊片23a之間的間隙，施加氮氣或干燥空氣造成的后坐力，進行剝離。這時，在真空中進行的剝離比真空室31內(nèi)的壓力恢復(fù)到大氣壓后容易。
接著，使真空室31內(nèi)恢復(fù)大氣壓狀態(tài)后，如圖11(c)所示。從真空室31取出粘合的玻璃襯底3、5。接著，對粘合的玻璃襯底3、5施加紫外線照射和熱燒結(jié)，使密封材料6完全硬化。
此后，在玻璃襯底3、5安裝所述偏振片7、8和鋁組成的反射片9等，從而完成液晶顯示板10。同時，在該液晶顯示板10連接(未圖示的)驅(qū)動用電路等，從而完成液晶顯示裝置。
這樣，本實施方式的真空中襯底保持方法、液晶顯示裝置制造方法和襯底粘合裝置30中，使用以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊20、21、23和粘結(jié)片22，此二烯類樹脂兩端具有CH2-，在真空中保持玻璃襯底5時，能獲得適度的粘附性和解附性。
即，不會像涂敷粘結(jié)劑的雙面膠帶那樣，在玻璃襯底5上粘附粘結(jié)劑，并且不會因粘附力太強而不能從玻璃襯底5剝掉粘結(jié)襯墊20、21、23和粘結(jié)片22。
因此，可提供能防止玻璃襯底5上粘附粘結(jié)劑，同時可提供玻璃襯底5、3粘合后便于從玻璃襯底5剝掉粘結(jié)襯墊20、21、23和粘結(jié)片22的真空中的襯底保持方法、液晶顯示裝置制造方法和襯底粘合裝置30。
尤其在制造液晶顯示裝置時，本實施方式不使用靜電吸盤進行玻璃襯底5、3的保持，因而能防止保持玻璃襯底3時施加高電壓帶來的TFT(Thin FilmTransistor薄膜晶體管)元件的特性變化。又由于用以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊20、21、23和粘結(jié)片22保持玻璃襯底5，真空中的襯底粘合裝置30不復(fù)雜。
本實施方式的真空中的襯底保持方法、液晶顯示裝置制造方法和襯底粘合裝置30中，二烯類樹脂由不飽和聚丁二烯組成。
此不飽和聚丁二烯在二烯類樹脂中，真空中保持玻璃襯底5時，能獲得適度的粘附性和解附性。即使在真空中，粘附性也不會降低，同時還穩(wěn)定，不產(chǎn)生氣體等。即使沾上灰塵，進行水洗后使其干燥，粘附力就恢復(fù)。還對溶劑等藥劑具有高耐久性。
本實施方式的襯底粘合裝置30中，在上載置臺32設(shè)置貫通孔32a，并使粘結(jié)襯墊23的墊片23a能對該貫通孔32a貫通自如。
因此，可根據(jù)在真空中進行保持所需的時間，設(shè)定貫通孔32a的直徑和通過該貫通孔32a的粘結(jié)襯墊23的墊片23a的粘結(jié)面寬度。
粘結(jié)襯墊23的墊片23a伸出上載置臺32，則不能對整個玻璃襯底5施加均勻的按壓力。
這方面，本實施方式使粘結(jié)襯墊23的墊片23a對上載置臺32的貫通孔32a貫通自如，因而用粘結(jié)襯墊23保持玻璃襯底5時，能使該粘結(jié)襯墊23的墊片23a不伸出上載置臺32。
因此，能以對接具有平面的上載置臺32的狀態(tài)，用粘結(jié)襯墊23保持玻璃襯底5，從而能在上載置臺32對接整個玻璃襯底5。結(jié)果，在粘合玻璃襯底5和3時按壓玻璃襯底5之際，能防止玻璃襯底5中與墊片23a對接的部分不均勻。
本實施方式的襯底粘合裝置30中，貫通孔32a可往用粘結(jié)襯墊23的墊片23a保持的玻璃襯底5噴出氣體，能通過此貫通孔32a朝玻璃襯底5噴氣體，以剝掉玻璃襯底5。
因此，能方便地進行玻璃襯底5的解附，同時防止進行解附時損傷玻璃襯底5。
本實施方式中，作為襯底，說明了制造液晶顯示板10時的玻璃襯底5、3，但未必限于此，也能用于等離子顯示器(PDPPlasma Display Panel)襯底、EL(Electro Luminescence場致發(fā)光)襯底、等離子訪問(プラスマアドレス)(PALC)襯底、電場發(fā)射顯示器(FEDField Emission Display)襯底、硅球等各種襯底。如圖12所示，硅球是指裝在印刷電路板上的器件，通過配置在硅球表面的電極進行印刷電路板與硅球和硅球之間的連接。由此，立體連接載有存儲器、處理器各種功能的硅球，以構(gòu)筑成系統(tǒng)LSI。
實施例1為了證實上述實施方式中說明的不飽和聚丁二烯組成的粘結(jié)襯墊21的粘結(jié)效果，進行了實驗。
首先，作為粘結(jié)襯墊21的材料的不飽和聚丁二烯使用旭化成股份公司制的不飽和聚丁二烯樹脂(商品名“APR K-11”)。APR是注冊商標(biāo)。該不飽和聚丁二烯主要用作凸版印刷的版材。
使用所述不飽和聚丁二烯樹脂，首先在曝光裝置的玻璃片上依次形成負(fù)膜、掩膜、所述不飽和聚丁二烯樹脂、底膜后，用上側(cè)玻璃片按壓。
接著，用背面曝光首先形成背面析出層，接著，進行起伏曝光。由此，能形成急劇變化的起伏部，即墊片部分。然后，以洗滌液洗凈未硬化的樹脂。
接著，用暖風(fēng)使其干燥后，如果需要，就進行后曝光，使微細(xì)部分充分硬化。
由此，形成粘結(jié)襯墊20。使用此粘結(jié)襯墊20在真空室內(nèi)進行玻璃襯底5的保持時，判明滿足保持性能。還判明用該粘結(jié)襯墊20保持玻璃襯底5后的解附性也充分滿足。
又判明即使在真空中，粘附性也不降低，同時還穩(wěn)定，不產(chǎn)生氣體。進而，證實即使沾上灰塵，進行水洗后使其干燥，粘附力就恢復(fù)。解除真空吸附，玻璃襯底5也不脫落。
作為比較例，判明使用丙烯樹脂類粘結(jié)劑的雙面膠帶、膠簽在保持后的解附性上存在難點，并且粘結(jié)劑有可能殘留在玻璃襯底5上。研究過不飽和聚丁二烯、聚酯和聚氨酯的混合物，判明粘附性不充分。
實施方式2根據(jù)圖13至圖20說明本發(fā)明另一實施方式如下。
本實施方式中，形成圖2所示的液晶顯示板10時，如圖3所示，在玻璃襯底3的周邊涂敷密封材料6，同時將液晶材料1滴落到該玻璃襯底3的密封材料6的內(nèi)部，并按壓玻璃襯底3和5的至少一方，從而如圖2所示，以封入液晶材料1的狀態(tài)粘合2塊玻璃襯底3和5。可對任一塊玻璃襯底3、5進行密封材料6的涂敷和液晶材料的滴落。
這里，所述液晶材料1的封入工序中，要求不使氣泡混入。因此，在真空裝置內(nèi)進行液晶材料1的封入工序，但這時怎樣保持玻璃襯底成為問題。這方面，本實施方式中，如圖13所示，利用粘結(jié)襯墊51，例如保持作為上側(cè)襯底的玻璃襯底5，利用粘結(jié)襯墊52，例如保持作為下側(cè)襯底的玻璃襯底3。圖13是示出本實施方式的襯底粘合裝置的縱截面圖。
把粘結(jié)片51設(shè)置在上襯底保持裝置53的保持基體部54的下表面。保持基體部54在內(nèi)部具有空間部54a，還有從該空間部54a貫通到下表面的多個貫通孔54b，又有從空間部54a貫通到側(cè)面的真空抽吸孔54c。
另一方面，在下襯底保持裝置55的保持基體部56的構(gòu)成圓柱形的凸部57的上表面設(shè)置粘結(jié)襯墊52。保持基體部56在內(nèi)部具有空間部56a，還有從該空間部56a貫通到上表面的多個貫通孔56b，又有從空間部56a貫通到側(cè)面的真空抽吸孔56c。
把保持基體部56的凸部57和粘結(jié)襯墊52配置在貫通平板狀下載置臺58的圓柱孔狀開口部58a，通過保持基體部56上下移動，對開口部58a進行進入和退出動作。
粘結(jié)片51如其俯視圖的圖14(a)所示，在大致整下表面(即粘結(jié)面)形成多個凸部61，在這些凸部61的群中，以大致均等分散的狀態(tài)形成吸附襯墊部62。
如作為圖14(a)的放大圖的圖14(b)所示，將所述凸部61相連配置成蜂窩狀。即，其結(jié)構(gòu)為配置各凸部61，使其構(gòu)成六角形的1條邊，而且使這些凸部61形成的六角形的壁在相鄰的凸部61之間開放，不封閉成六角環(huán)狀。
另一方面，吸附襯墊部62的結(jié)構(gòu)為例如形成圓環(huán)狀，并且吸附襯墊部62伸出的壁封閉成環(huán)狀。在吸附襯墊部62的中心部形成使粘接片51往厚度方向貫通的貫通孔63。此貫通孔63與保持基體部54的貫通孔54b連通。
粘結(jié)片51具有作為圖14(b)的X-X線向視截面圖的圖14(c)所示的縱截面形狀。如該圖14(c)所示，粘結(jié)片51，其總厚度H為幾mm，凸部61的高度h為100μm～1mm，最好為300μm～500μm，并且橡膠狀地具有彈性。
粘結(jié)片51的凸部61的粘結(jié)面如圖15(a)、(b)所示，形成微小凸部64。圖15(a)是凸部61的粘結(jié)面的放大圖，圖15(b)是圖15(a)的Y-Y線向視截面圖。微小凸部64的深度d為10μm～100μm較佳，20μm～40μm更好。不形成微小凸部64時，凸部61的粘結(jié)面自然產(chǎn)生的凹凸中的凸部的高度為幾μm。
決定粘結(jié)片51中所述凸部61和微小凸部64的形狀(配置形狀)以及凸部61和微小凸部64的間距，以分別獲得真空中保持玻璃襯底5等襯底所需的粘附力、粘合上下襯底5、3時在粘結(jié)片51的凹凸圖案粘合后的玻璃襯底5、3中不產(chǎn)生液晶單元厚度不勻的間距以及粘合后的玻璃襯底5的良好解附性。
上文所述那樣將凸部61的配置形狀取為六角形，是由于以下的原因。一是因為便于密集配置凸部61，以免粘合襯底5、3時由粘結(jié)片51的凹凸圖案產(chǎn)生液晶單元厚度不勻。另一是因為玻璃襯底5和3在粘合過程中進行對準(zhǔn)時(玻璃襯底5和3對位時)，對準(zhǔn)容易穩(wěn)定(容易進行玻璃襯底5和3之間的對位)。
即，關(guān)于所述對準(zhǔn)，粘合上側(cè)的玻璃襯底5和下側(cè)的玻璃襯底3時，以液晶材料1和密封材料11為中介的狀態(tài)在水平方向?qū)υ搩烧哌M行對位。這種情況下，在玻璃襯底5與粘結(jié)片51之間施加水平方向的力。這時，在凸部61的配置不正等情況下，產(chǎn)生凸部61的歪斜，可能造成對準(zhǔn)不穩(wěn)定等不便。因此，將凸部61配置成六角形，則對360度方向，凸部61翻倒的剛性平衡良好，對準(zhǔn)容易穩(wěn)定。只要凸部61翻倒的剛性平衡良好，凸部61的配置形狀不限于六角形，也可為圓形、方形、其它多角形、直線狀、波狀線形或它們的組合。
粘結(jié)片51中，構(gòu)成六角形各邊的凸部61在其頂點成為各凸部61獨立的狀態(tài)，不是閉合成六角形的形狀。因此，粘結(jié)片51保持玻璃襯底5的狀態(tài)下，周圍為真空氛圍時，也能確保凸部61所形成的六角形的內(nèi)部空氣的退路。由此，能防止凸部61所形成的六角形內(nèi)部的空氣膨脹造成玻璃襯底5的保持狀態(tài)不穩(wěn)定的事態(tài)，進而防止玻璃襯底5脫落的事態(tài)。
凸部61的配置形狀只要能確?？諝獾耐寺?，不限于六角形。與保持基體部54的貫通孔54b連通的抽真空用的吸附襯墊部62為閉合狀態(tài)。凸部61和微小凸部64可借助例如使用歷來熟知的光刻制版的方法制作?；蛘撸部衫脵C械方法制作。
利用上襯底保持裝置53保持玻璃襯底5時，用襯底輸送手段，例如機器人手臂(未示出)等，在粘結(jié)片51的正下方準(zhǔn)備玻璃襯底5。接著，例如利用真空泵從保持基體部54的真空抽吸孔54c進行空間部54a內(nèi)的抽真空。由此，從粘結(jié)片51的貫通孔63進行抽真空，使玻璃襯底5吸附到吸附襯墊部62。該吸附后，利用粘結(jié)片51中的凸部61的粘結(jié)面(下表面)的粘附力將玻璃襯底5保持在粘結(jié)片51上。這時，也可用從上襯底保持裝置53往玻璃襯底5降落吸附腳(未示出)之類的局部吸附手段、使其粘附或真空吸附玻璃襯底5后上升到粘結(jié)片51的位置的各種輔助手段。
另一方面，使上襯底保持裝置53的粘結(jié)片51保持的玻璃襯底5脫離粘結(jié)片51時，在玻璃襯底5的正下方準(zhǔn)備襯底輸送手段，例如機器人手臂等(未示出)，同時從粘結(jié)片51的貫通孔63進行清洗，從而使玻璃襯底5脫離。這時，也可用從上襯底保持手段53往玻璃襯底5降落解附腳(未示出)之類的解附手段進行解附的各種輔助手段。
如作為下襯底保持裝置55的俯視圖的圖16(a)和作為下襯底保持裝置55的縱截面圖的圖16(b)所示，粘結(jié)襯墊52的外形為薄圓柱狀。在下襯底保持裝置55中分散設(shè)置多個粘結(jié)襯墊52，并且與粘結(jié)片51相同，其大致整個上表面(即粘結(jié)面)形成多個凸部61。上表面的中央部形成吸附襯墊部62，該吸附襯墊部62的中心部形成貫通孔63。將凸部61配置成與粘結(jié)片51時相同的形狀，吸附襯墊部62也為相同的形狀。
粘結(jié)襯墊52與粘結(jié)片51相同，如圖14(c)所示，總厚度H為幾mm，凸部61的高度為100μm～1mm，最好為300μm～500μm，并且橡膠狀地具有彈性。
如圖15(a)、(b)所示，與粘結(jié)片51時相同，也在粘結(jié)襯墊52的凸部61的粘結(jié)面形成微小凸部64。微小凸部64的深度d為10μm～100μm較佳，20μm～40μm更好。
由下襯底保持裝置55保持玻璃襯底3時，用襯底輸送手段，例如機器人手臂(未示出)，在下載置臺58的正上方準(zhǔn)備玻璃襯底3。接著，使升降腳(未示出)從下襯底保持裝置55往玻璃襯底3上升，以玻璃襯底3離開襯底輸送手段的狀態(tài)使襯底輸送手段避開讓路后，讓升降腳降落。這時，使粘結(jié)襯墊52上升，形成下載置臺58的上表面和粘結(jié)襯墊52的上表面為同一高度的面。接著，利用例如真空泵從保持基體部56的真空抽吸孔56c進行空間部56a內(nèi)的抽真空。由此，從粘結(jié)襯墊52的貫通孔63進行抽真空，將玻璃襯底3吸附在吸附襯墊部62上。該抽吸后，利用粘結(jié)襯墊52中的凸部61的粘結(jié)面(上表面)的吸附力將玻璃襯底3保持在粘結(jié)襯底52上，另一方面，使下襯底保持裝置55的粘結(jié)襯墊52保持的玻璃襯底3脫落粘結(jié)襯墊52時，以下載置臺58固定的狀態(tài)使粘結(jié)襯底52下降。由此，能方便地從粘結(jié)襯墊52摘下玻璃襯底3。這時，一起使用并從貫通孔63進行氣洗，則能方便地解附。
本實施方式的粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52的材料與上述粘結(jié)襯墊20、21、23和粘結(jié)片22相同，不涂敷粘結(jié)劑等，其本身具有粘結(jié)功能。具體而言，粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52由用含有二烯類樹脂的材料成型的物體組成，更具體地說，由作為二烯類樹脂的不飽和聚丁二烯組成。此不飽和聚丁二烯的功能等，如上文所述。
不飽和聚丁二烯組成的粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52尺寸為A3以下，則可加工到例如片厚0.3mm～5mm左右，尺寸超過A3且為750mm×920mm以下，則可加工到例如片厚1mm～5mm左右。
表1中示出不飽和聚丁二烯與液晶板用的玻璃襯底、稱為塑料液晶的液晶板用的PES(聚醚砜)襯底和液晶板用的環(huán)氧樹脂襯底的粘附力的測量結(jié)果。測量方法為試制平坦無凹凸形狀的20mm直徑的不飽和聚丁二烯制的粘結(jié)構(gòu)件，對上述各被粘物以1.96N的按壓力加壓10秒后，用測力儀測量垂直牽拉剝離時使用的拉力。表1的數(shù)值是將該測量值換算成每1平方米的粘附力的值。
表1不飽和聚丁二烯的粘附力(單位g/cm2)

下面，說明粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52中實際需要的粘附力及其調(diào)整方法。
要粘附的工件例如是比重為約2.8g/cm3、厚度為0.7mm的液晶用玻璃襯底5時，每1平方厘米的重量為約0.2g。粘結(jié)片51的粘附力有395g/cm2，因而粘附整個玻璃襯底5，其粘附力過剩，解附時對玻璃襯底5施加多余的應(yīng)力。因此，本實施方式的粘結(jié)片51中，使六角形的凸部61圖案的間距P(參考圖15)為8.66mm，長度L為2.2mm，寬度W為0.5mm，形成相當(dāng)于粘結(jié)片總面積(下表面的面積)的大致約5％的面積的凸部61，進而形成相當(dāng)于這些凸部61的整個下表面的10％的面積的微小凸部64。由此，作為整個粘結(jié)片51，僅0.5％的面積直接與玻璃襯底5接觸。粘結(jié)片51中形成上述那樣的凸部61，結(jié)果使粘結(jié)片51的平均粘附力為約2g/cm2。因此，本實施方式的粘結(jié)片51對粘附每1平方厘米的重量為約0.2g的玻璃襯底5，能兼顧充分的粘附力和使玻璃襯底5解附時能不在玻璃襯底5上產(chǎn)生多余應(yīng)力地得到解附的粘附力。
工件是比重為約1.9g/cm3、厚度為0.4mm的液晶用的環(huán)氧樹脂襯底時，每1平方厘米的重量為約0.08g。粘結(jié)片51的粘附力有183g/cm2，因而粘附整個環(huán)氧樹脂襯底，其粘附力同樣過剩，解附時對環(huán)氧樹脂襯底施加多余的應(yīng)力。因此，本實施方式的粘結(jié)片51中，使六角形的凸部61圖案的間距P(參考圖15)為8.66mm，長度L為2.2mm，寬度W為0.4mm，形成相當(dāng)于粘結(jié)片總面積(下表面的面積)的大致約4％的面積的凸部61，進而形成相當(dāng)于這些凸部61的整個下表面的10％的面積的微小凸部64。由此，作為整個粘結(jié)片51，僅0.4％的面積直接與玻璃襯底5接觸。粘結(jié)片51中形成上述那樣的凸部61，結(jié)果使粘結(jié)片51的平均粘附力為約0.8g/cm2。因此，本實施方式的粘結(jié)片51對粘附每1平方厘米的重量為約0.08g的環(huán)氧樹脂襯底，能兼顧充分的粘附力和使環(huán)氧樹脂襯底解附時能不在環(huán)氧樹脂襯底上產(chǎn)生多余應(yīng)力地得到解附的粘附力。
當(dāng)然，通過調(diào)整凸部61和微小凸部64的面積比率和相對于工件尺寸的粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52的尺寸，除上述玻璃襯底5和環(huán)氧樹脂襯底外，也可適應(yīng)表1所記載的PES襯底等具有各種比重和形狀的工件。
接著，說明以使用所述粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52的襯底粘合裝置(襯底保持裝置)制造液晶顯示裝置的液晶顯示板10的方法。這里，如圖17(a)所示，使用的襯底粘合裝置70包含具有粘結(jié)片51的所述上襯底保持裝置53、具有粘結(jié)襯墊52的所述下襯底保持裝置55、下載置臺58和收裝它們的真空室71。上襯底保持裝置53和下襯底保持裝置55可上下移動。該圖中，省略使真空室71為真空的真空管道等。
首先，襯底粘合裝置70如圖17(a)所示，打開真空室71的門72，在真空室71內(nèi)將上襯底保持裝置53和下襯底保持裝置55配置成隔開規(guī)定間隔的狀態(tài)。又在真空室71的出入口73的測方按可搬入真空室71內(nèi)的狀態(tài)準(zhǔn)備2塊玻璃襯底3和5，即配置所述像素電極2的玻璃襯底3和配置所述對置電極4的玻璃襯底5。
這時，玻璃襯底3形成在周圍涂敷密封材料6并往其內(nèi)側(cè)中央部滴落液晶材料1的狀態(tài)。該圖中，在玻璃襯底3涂敷密封材料6，但未必限于此，也可在玻璃襯底5上涂敷。
接著，從上述狀態(tài)開始，用襯底輸送手段，例如機器人手臂等，將玻璃襯底5移動到粘結(jié)片51的正下方，同時從粘結(jié)片51的貫通孔63抽真空，從而如圖17(b)所示，使玻璃襯底5保持在粘結(jié)片51上。這時，也可用從上襯底保持裝置53往玻璃襯底5降落吸附腳(未示出)之類的局部吸附手段、使其粘附或真空吸附玻璃襯底5后上升到粘結(jié)片51的位置的各種輔助手段。
接著，用襯底輸送手段，例如機器人手臂(未示出)，將玻璃襯底3移動到下載置臺58的正上方，同時使升降腳(未示出)從下襯底保持裝置55往玻璃襯底3上升，以玻璃襯底3離開襯底輸送手段的狀態(tài)使襯底輸送手段避開讓路后，讓升降腳降落。這時，使粘結(jié)襯墊52上升，形成下載置臺58的上表面和粘結(jié)襯墊52的上表面為同一高度的面，并從該貫通孔63進行抽真空，從而如圖17(c)所示，使玻璃襯底3粘附并保持在粘結(jié)襯墊52上。
接著，如圖18(a)所示，關(guān)閉真空室71的門72，對真空室71內(nèi)部抽真空。這時，不飽和聚丁二烯組成的粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52具有粘附性，即使在真空中粘附性也不降低。而且，在真空中也穩(wěn)定，不產(chǎn)生氣體等，所以玻璃襯底5和3粘合時暴露在真空中也不成問題。玻璃襯底5、3由粘結(jié)片51保持，因而解除真空吸附也不會掉落。同樣，玻璃襯底3由粘結(jié)襯墊52保持，因而不會錯位。
接著，使具有粘結(jié)片51的上襯底保持裝置53下降。一面對上下玻璃襯底5、3進行定位，一面進行粘合。這時，上側(cè)的玻璃襯底5和下側(cè)的玻璃襯底3分別由粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52保持，因而不會錯位。
接著，如圖18(b)所示，進行按壓，直到成為玻璃襯底5與玻璃襯底3的間隔為一定，從而成為按壓完成狀態(tài)。
接著，如圖18(c)所示，以下載置臺58固定的狀態(tài)使粘結(jié)襯墊52(即下襯底保持裝置53)下降。由此，解除粘結(jié)襯墊52與玻璃襯底3之間的粘附。
接著，如圖19(a)所示，使上襯底保持裝置53移動上升。這時，由于玻璃襯底5粘附在粘結(jié)片51上，上文所述那樣粘合的玻璃襯底5和玻璃襯底3與上襯底保持裝置53一起移動上升。
在圖18(b)所示的按壓完成后至圖19(a)所示的上襯底保持裝置53的上升完成后的期間，真空室71內(nèi)為導(dǎo)入大氣或N2等清洗氣體并且用氣體的壓力按壓上下玻璃襯底5、3的狀態(tài)。
此狀態(tài)下，打開真空室71的門72，使襯底輸送手段，例如機器人手臂等(未示出)移動到粘合的玻璃襯底3、5的正下方，從粘結(jié)片51的貫通孔63進行氣洗，從而使玻璃襯底5脫離粘結(jié)片51。由此，使粘合的玻璃襯底5和3放置在襯底移動手段上；進而，如圖19(b)所示，利用襯底移動手段從真空室71取出。玻璃襯底5解附時，也可用從上襯底保持手段53往玻璃襯底5降落解附腳(未示出)之類的解附手段進行解附的各種輔助手段。
接著，對粘合的玻璃襯底3、5進行紫外線照射和熱燒結(jié)，從而使密封材料完全硬化。
然后，在玻璃襯底3、5安裝所述偏振片7、8以及鋁等組成的反射片9等，從而完成液晶顯示板10。又在該液晶顯示板10連接(未圖示的)驅(qū)動用電路等，從而完成液晶顯示裝置。
這樣，本實施方式的真空中襯底保持方法、液晶顯示裝置制造方法和襯底粘合裝置中，使用以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52，此二烯類樹脂兩端具有CH2-，在真空中保持玻璃襯底5、3時，能獲得適度的粘附性和解附性。
即，不會像涂敷粘結(jié)劑的雙面膠帶那樣，在玻璃襯底5、3上粘附粘結(jié)劑，并且不會因粘附力太強而不能剝離玻璃襯底5、3。
因此，可提供能防止玻璃襯底5、3上粘附粘結(jié)劑，同時玻璃襯底5、3粘合后便于從玻璃襯底5、3剝掉粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52。
本實施方式中，將粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52分別用于保持上側(cè)的玻璃襯底5和保持下側(cè)的玻璃襯底3，但也可為變換這些粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52的結(jié)構(gòu)。還可采取例如在下襯底保持裝置55組合固定狀態(tài)的粘結(jié)片和活動的粘結(jié)襯墊等配置。
本實施方式的結(jié)構(gòu)中，不使用靜電吸盤，因而以下各方面與前面的實施方式的情況相同能防止施加高電壓帶來的TFT元件特性變化；由于用含有二烯類樹脂的材料、進而用不飽和丁二烯形成粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52，真空中的襯底粘合裝置不復(fù)雜；在真空中能對玻璃襯底5、3獲得適度的粘附性和解附性；不產(chǎn)生氣體等，即使沾上灰塵，進行水洗后使其干燥，就使粘附力恢復(fù)等。又，不僅可用于液晶用的襯底，而且也能用于等離子顯示器襯底、EL襯底、PALC襯底、電場發(fā)射顯示器襯底、硅球等各種襯底。這點也相同。
實施例2為了證實上述實施方式所示的將凸部配置成六角形的粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52對玻璃襯底的均勻按壓功能，進行了比較試驗。
試驗時，作為對圖14(a)～圖14(c)所示的粘結(jié)片51的比較例，制成圖20(a)～圖20(c)所示的粘結(jié)片81。粘結(jié)片81如作為其俯視圖的圖20(a)所示，在下表面(即粘結(jié)面)將同方向作為縱向，并行設(shè)置相當(dāng)于粘接片51的凸部61的多個橢圓狀凸部82。如作為圖20(a)的放大圖的圖20(b)所示，凸部82形成伸出的臂閉合成環(huán)狀的結(jié)構(gòu)。即在粘結(jié)片81中，凸部為閉合得形成橢圓環(huán)狀的結(jié)構(gòu)。凸部82形成的橢圓形狀的中心部，如圖20(b)中的Z-Z線向視截面圖所示，形成厚度方向貫穿粘結(jié)片81的、抽真空用的貫通孔83。
各凸部82的橢圓形狀的長度L1為75mm，橢圓形狀的寬度L2為15mm，凸部82的伸出部分的寬度W1為0.6mm，X方向(橢圓形狀的寬度方向)的凸部82形成間距PX為25mm，Y方向(橢圓形狀的縱向)的凸部82的形成間距PY為100mm。由此，形成相當(dāng)于粘結(jié)片81的總面積(下表面的面積)的大致約4％的凸部82，進而形成相當(dāng)于這些凸部82的整個下表面的12.5％的面積的所述微小凸部64。因此，作為整個粘結(jié)片81，僅0.5％的面積直接與玻璃襯底5接觸。
所述各粘結(jié)片和粘結(jié)襯墊與上述實施例1時相同，也使用旭化成股份公司制的不飽和聚丁二烯樹脂(商品名“APRK-11”)，并利用同樣的方法制作。用上述圖17～圖19所示的方法進行玻璃襯底5和3的粘合。
作為工件的玻璃襯底5、3，與上述工件相同，所使用的工件比重為約2.8g/cm3，厚度為0.7mm，每1平方厘米的重量為約0.2g。
此比較試驗的結(jié)果，凸部61配置成六角形的粘結(jié)片51中，如上文所述那樣，平均粘附力為約2g/cm2，能粘附并可靠地保持每1平方厘米的重量為約0.2g的玻璃襯底5，而且不產(chǎn)生凸部61的按壓不勻，即不產(chǎn)生液晶單元厚度不勻，能使玻璃襯底5和3良好粘合。
另一方面，具有凸部82的粘結(jié)片81中，雖然平均粘附力為約2g/cm2，能粘附并可靠地保持每1平方厘米的重量為約0.2g的玻璃襯底5，但是從貫通孔83真空排氣，以吸附襯底時，玻璃襯底5往橢圓形的凸部82的內(nèi)側(cè)產(chǎn)生變形，并且以該狀態(tài)進行粘合，因而對凸部82的內(nèi)側(cè)施加按壓不充分，粘合后的玻璃襯底5、3產(chǎn)生液晶單元厚度不勻，造成顯示欠佳。
實施例3進而，作為對圖14(a)～圖14(c)所示的粘結(jié)片51的比較例，制成圖21(a)～圖21(c)所示的粘結(jié)片91。粘結(jié)片91如作為其俯視圖的圖21(a)所示，在下表面(即粘結(jié)面)設(shè)置相當(dāng)于粘結(jié)片51的凸部61的多個凸部92。凸部92如作為圖21(a)的放大圖的圖21(b)所示，形成圓環(huán)狀，這些凸部92的中心，如圖21(b)中的ZZ-ZZ線向視截面圖所示，形成厚度方向貫穿粘接片91的抽真空用的貫通孔93。
各凸部的圓環(huán)狀頂點的外徑D1為3mm，內(nèi)徑D2為2mm，凸部92的形成間距PXY為28mm。由此，形成相當(dāng)于粘結(jié)片81的總面積(下表面的面積)的大致約0.5％的面積的凸部92，這些凸部92不形成微小凸部64。因此，作為整個粘結(jié)片91，僅0.5％的面積直接與玻璃襯底5接觸。
所述各粘結(jié)片和粘結(jié)襯墊與上述實施例1時相同，也使用旭化成股份公司制的不飽和聚丁二烯樹脂(商品名“APRK-11”)，并利用同樣的方法制作。用上述圖17～圖19所示的方法進行玻璃襯底5和3的粘合。
作為工件的玻璃襯底5、3，與上述工件相同，所使用的工件比重為約2.8g/cm3，厚度為0.7mm，每1平方厘米的重量為約0.2g。
此比較試驗的結(jié)果，凸部61配置成六角形的粘結(jié)片51中，如上文所述那樣，平均粘附力為約2g/cm2，能粘附并可靠地保持每1平方厘米的重量為約0.2g的玻璃襯底5，而且不產(chǎn)生凸部61的按壓不勻，即不產(chǎn)生液晶單元厚度不勻，能使玻璃襯底5和3良好粘合。
另一方面，具有凸部92的粘結(jié)片91中，平均粘附力為約2g/cm2，能粘附并可靠地保持每1平方厘米的重量為約0.2g的玻璃襯底5，并且從貫通孔93真空排氣，以吸附襯底時，不像粘結(jié)片81的橢圓形凸部82那樣玻璃襯底5往內(nèi)側(cè)產(chǎn)生變形。然而，粘合時的按壓集中在相當(dāng)于整個粘結(jié)片91的0.5％的凸部92上，因而該部分受到過分?jǐn)D壓，對其它部分加壓卻不充分，從而玻璃襯底5、3產(chǎn)生液晶單元厚度不勻，造成顯示欠佳。
因此，判明凸部配置成六角形的粘結(jié)片51和粘結(jié)襯墊52在獲得均勻的液晶單元厚度方面，適合粘合玻璃襯底5、3。
上述例子中，示出將凸部61排列成構(gòu)成蜂窩狀六角形的1條邊的情況。然而，凸部61不限于此，也可排列得構(gòu)成蜂窩狀六角形的至少一部分邊，以形成六角形。進一步說明其具體例子。
例如，代替所述粘結(jié)片51的粘結(jié)片101如作為其俯視圖的圖22(a)所示，在大致整個下表面(即粘結(jié)面)形成多個凸部111，這些凸部111的群中，以大致均等分散的狀態(tài)形成吸附襯墊部112。
如作為圖22(a)的放大圖的圖22(b)所示，將所述凸部111相連配置成蜂窩狀。即，各凸部具有的形狀為將蜂窩狀六角形的頂點作為中心往3個方向延伸，以構(gòu)成相鄰3個六角形的至少一部分邊。而且，凸部111包含蜂窩狀六角形的頂點。這些凸部111所形成的六角形的壁形成相鄰?fù)共?11之間開放不閉合成六角環(huán)狀的結(jié)構(gòu)。因此，與所述凸部61相同，將各凸部111排列得構(gòu)成蜂窩狀六角形的至少一部分邊，以形成六角形。
另一方面，吸附襯墊部112的結(jié)構(gòu)為例如形成圓環(huán)狀，并且吸附襯墊部112的伸出的壁閉合成環(huán)狀。吸附襯墊部112的中心部形成厚度方向貫穿粘結(jié)片101的貫通孔113。此貫通孔113與圖13所示的保持基體部54的貫通孔54b連通。
粘結(jié)片101具有作為圖22(b)的XX-XX線向視截面圖的圖14(c)所示的縱截面形狀。如該圖14(c)所示，粘結(jié)片101的總厚度H為幾mm的程度，其凸部111的高度h為100μm～1mm，300μm～500μm則更好，并且橡膠狀地具有彈性。
進而，在粘結(jié)片101的凸部111的粘結(jié)面上形成與所述粘結(jié)片51中的微小凸部64相同的微小凸部。該微小凸部的深度與所述微小凸部64的深度相同。
與所述粘結(jié)片51相同，也決定粘結(jié)片101的所述凸部111和微小凸部的形狀(配置形狀)以及凸部111和微小凸部的間距，以分別獲得在真空中保持玻璃襯底5等襯底所需的粘附力、粘合上下玻璃襯底5和3時在粘結(jié)片101的凹凸圖案粘合后的玻璃襯底5、3中不產(chǎn)生液晶單元厚度不勻的間距以及粘合后的玻璃襯底5的良好解附性。
上文所述那樣，使凸部111的配置形狀為六角形，與上述粘結(jié)片51時相同，一是為了便于密集配置凸部111，以免粘合上下玻璃襯底5、3時由粘結(jié)片101的凹凸圖案產(chǎn)生液晶單元厚度不勻。另一是在玻璃襯底5、3粘合過程中進行對準(zhǔn)時(玻璃襯底5和3對位時)，對準(zhǔn)容易穩(wěn)定(便于進行玻璃襯底5和3的對位)。
即，關(guān)于所述對準(zhǔn)，粘合上側(cè)的玻璃襯底5和下側(cè)的玻璃襯底3時，以液晶材料1和密封材料11為中介的狀態(tài)在水平方向?qū)υ搩烧哌M行對位。這種情況下，在玻璃襯底5與粘結(jié)片101之間施加水平方向的力。這時，在凸部111的配置不正等情況下，產(chǎn)生凸部111的歪斜，可能造成對準(zhǔn)不穩(wěn)定等不便。因此，將凸部111配置成六角形，則對360度方向，凸部61翻倒的剛性平衡良好，對準(zhǔn)容易穩(wěn)定。
粘結(jié)片101中，構(gòu)成六角形各邊的凸部111不是閉合成六角形的形狀，而是各凸部111處于獨立的狀態(tài)。因此，粘結(jié)片101保持玻璃襯底5的狀態(tài)下，即使周圍為真空氛圍時，也能確保凸部111所形成的六角形的內(nèi)部空氣的退路。由此，能防止凸部111所形成的六角形內(nèi)部的空氣膨脹造成玻璃襯底5的保持狀態(tài)不穩(wěn)定的事態(tài)，進而防止玻璃襯底5脫落的事態(tài)。
綜上所述，本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法，在進行粘合的2塊襯底內(nèi)的任一塊襯底上涂敷固定所述2塊襯底用的密封材料，并往任一塊襯底滴落液晶，裝配在真空中粘合2塊襯底的襯底，從而形成液晶顯示板，其中構(gòu)成在粘合所述襯底時，作為配置在上側(cè)的襯底的保持，利用以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片保持襯底，以在真空中粘合2塊襯底。
實施本發(fā)明的最佳實施方式一節(jié)中構(gòu)成的具體實施方式
或?qū)嵤├K究是闡明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容用的，不應(yīng)僅限于這種具體實例狹義地解釋本發(fā)明，在本發(fā)明的精神和以下記載的權(quán)利要求書的范圍內(nèi)，能進行各種變換并加以實施。
工業(yè)應(yīng)用性本發(fā)明的真空中的襯底保持方法，利用以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片保持襯底。
本發(fā)明的液晶顯示裝置制造方法，利用以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片保持配置在上側(cè)的襯底，在真空中粘合2塊襯底。
本發(fā)明的襯底保持裝置為了解決上述課題，設(shè)置保持襯底用的以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片。
因此，以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片兩端具有CH2-，在真空中保持襯底時能獲得適度的粘附性和解附性。
因而，具有的效果能提供能防止襯底上粘附粘結(jié)劑而且在襯底粘合后便于從襯底剝掉粘結(jié)襯墊和粘結(jié)片的真空中的襯底保持方法、液晶顯示裝置制造方法和襯底保持裝置。
本發(fā)明的液晶顯示裝置制造方法，構(gòu)成在粘合襯底時，利用以含有二烯類樹脂的材料成型而且粘結(jié)面具有凹凸形狀的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片，保持配置在上側(cè)或下側(cè)的任一方的襯底，或者保持雙方的襯底，以在真空中粘合2塊襯底。
由此，凹凸形狀的凸部可適度產(chǎn)生形變，與使用粘結(jié)面為平坦面、無凹凸形狀的粘結(jié)襯墊和粘結(jié)片時相比，可授給整個襯底均勻的按壓力，按均勻的襯底間隔粘合襯底。
又能利用凹凸形狀調(diào)整對保持的襯底的粘附力。因此，具有的效果為能防止對保持的襯底作用過度的粘附力，在剝開襯底與粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片時襯底上產(chǎn)生大應(yīng)力的事態(tài)。
本發(fā)明的襯底保持裝置的結(jié)構(gòu)為使用具有撓性、在解除外力時能保持一定的形狀而且以本身具有粘附性的粘結(jié)構(gòu)件保持襯底。
因此，具有以下效果不產(chǎn)生涂敷粘結(jié)劑的膠帶等中產(chǎn)生的在保持的襯底上粘附粘結(jié)劑的問題，又在保持襯底和解附襯底方面便于獲得適度的粘附力，適合作為保持襯底的裝置。
權(quán)利要求
1.一種在真空中的襯底保持方法，其特征在于，利用以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片保持襯底。
2.如權(quán)利要求1所述的在真空中的襯底保持方法，其特征在于，所述二烯類樹脂由不飽和聚丁二烯組成。
3.如權(quán)利要求1所述的在真空中的襯底保持方法，其特征在于，所述粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片在粘結(jié)面具有凹凸形狀。
4.如權(quán)利要求3所述的在真空中的襯底保持方法，其特征在于，所述粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片的凹凸形狀中的凸部的粘結(jié)面上形成比所述凸部細(xì)微的微細(xì)凸部。
5.如權(quán)利要求3所述的在真空中的襯底保持方法，其特征在于，排列所述凸部，使其構(gòu)成蜂窩狀六角形的至少一部分邊，以形成六角形。
6.如權(quán)利要求5所述的在真空中的襯底保持方法，其特征在于，排列所述凸部，使其構(gòu)成蜂窩狀的六角形的1條邊。
7.如權(quán)利要求5所述的在真空中的襯底保持方法，其特征在于，所述凸部包含蜂窩狀的六角形的頂點。
8.如權(quán)利要求7所述的在真空中的襯底保持方法，其特征在于，所述凸部具有將蜂窩狀的六角形的頂點作為中心，往3方向延伸以構(gòu)成相鄰的3個六角形的至少一部分邊的形狀。
9.一種液晶顯示裝置制造方法，包含在進行粘合的2塊襯底中的任一塊襯底上涂敷將所述2塊襯底加以固定用的密封材料，并將液晶滴落在任一塊襯底上，在真空中粘合2塊襯底的工序，其特征在于，粘合所述襯底時，利用以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片保持配置在上側(cè)的襯底，在真空中粘合2塊襯底。
10.如權(quán)利要求9中所述的液晶顯示裝置制造方法，其特征在于，所述二烯類樹脂由不飽和聚丁二烯組成。
11.一種液晶顯示裝置制造方法，包含在進行粘合的2塊襯底中的任一塊襯底上涂敷將所述2塊襯底加以固定用的密封材料，并將液晶滴落在任一塊襯底上，在真空中粘合2塊襯底的工序，其特征在于，粘合所述襯底時，利用以含有二烯類樹脂的材料成型而且粘結(jié)面具有凹凸形狀的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片，保持配置在上側(cè)或下側(cè)的任一塊襯底或者2塊襯底，在真空中粘合2塊襯底。
12.如權(quán)利要求11中所述的液晶顯示裝置制造方法，其特征在于，所述粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片的凹凸形狀中的凸部的粘結(jié)面上形成比所述凸部細(xì)微的微細(xì)凸部。
13.如權(quán)利要求11中所述的液晶顯示裝置制造方法，其特征在于，所述二烯類樹脂由不飽和聚丁二烯組成。
14.如權(quán)利要求11中所述的液晶顯示裝置制造的方法，其特征在于，排列所述凸部，使其構(gòu)成蜂窩狀的六角形的至少一部分邊，以形成六角形。
15.如權(quán)利要求14所述的液晶顯示裝置制造的方法，其特征在于，排列所述凸部，使其構(gòu)成蜂窩狀的六角形的1條邊。
16.如權(quán)利要求14所述的液晶顯示裝置制造的方法，其特征在于，所述凸部包含蜂窩狀的六角形的頂點。
17.如權(quán)利要求16所述的液晶顯示裝置制造的方法，其特征在于，所述凸部具有將蜂窩狀的六角形的頂點作為中心往3方向延伸以構(gòu)成相鄰的3個六角形的至少一部分邊的形狀。
18.在真空中保持襯底的襯底保持裝置，其特征在于，設(shè)置用于保持所述襯底的以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片。
19.如權(quán)利要求18中所述的襯底保持裝置，其特征在于，所述二烯類樹脂由不飽和聚丁二烯組成。
20.如權(quán)利要求18或19中所述的襯底保持裝置，其特征在于，設(shè)置具有對所述粘結(jié)襯墊的墊片貫通自如的貫通孔，而且在襯底一側(cè)具有平面的載置臺。
21.如權(quán)利要求20中所述的襯底保持裝置，其特征在于，所述貫通孔可向用粘結(jié)襯墊的墊片保持的襯底噴出氣體。
22.如權(quán)利要求18中所述的襯底保持裝置，其特征在于，所述粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片在粘結(jié)面上具有凹凸形狀。
23.如權(quán)利要求22中所述的襯底保持裝置，其特征在于，所述粘結(jié)襯墊或粘結(jié)片的凹凸形狀中的凸部的粘結(jié)面上形成比所述凸部細(xì)微的微細(xì)凸部。
24.如權(quán)利要求22中所述的襯底保持裝置，其特征在于，排列所述凸部，使其構(gòu)成蜂窩狀的六角形的至少一部分邊，以形成六角形。
25.如權(quán)利要求24中所述的襯底保持裝置，其特征在于，排列所述凸部，使其構(gòu)成蜂窩狀的六角形的1條邊。
26.如權(quán)利要求24中所述的襯底保持裝置，其特征在于，所述凸部包含蜂窩狀的六角形的頂點。
27.如權(quán)利要求26中所述的襯底保持裝置，其特征在于，所述凸部具有將蜂窩狀的六角形的頂點作為中心往3方向延伸以構(gòu)成相鄰的3個六角形的至少一部分邊的形狀。
28.如權(quán)利要求22中所述襯底保持裝置，其特征在于，在真空中進行襯底的保持動作。
29.一種襯底保持裝置，其特征在于，用具有可撓性并在解除外力時可保持一定形狀，而且其本身具有粘附性的粘結(jié)構(gòu)件保持襯底。
全文摘要
本發(fā)明的真空中的襯底保持方法利用以含有二烯類樹脂的材料成型的粘結(jié)襯墊(20)或粘結(jié)片保持玻璃襯底(5)。以此防止粘結(jié)劑粘附在襯底上，同時能在粘固襯底后方便地將粘結(jié)片從襯底上剝離。
文檔編號H01L21/68GK1639858SQ03805388
公開日2005年7月13日 申請日期2003年2月17日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月5日
發(fā)明者橫山直人, 森本光昭, 中原真, 村山孝夫, 平井明, 八幡聰 申請人:夏普株式會社, 日立產(chǎn)業(yè)有限公司