專利名稱：襯底輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使玻璃襯底在輸送路徑上浮起而進行輸送的襯底輸送裝置，該玻璃襯底是用于例如大型液晶顯示(下面，省略為LCD)和等離子顯示面板(下面，省略為PDP)等平板顯示器(下面，省略為FPD)等。
背景技術(shù)：
近年來，為了對應(yīng)屏幕的大型化和減少成本的要求，F(xiàn)PD領(lǐng)域中FPD制造工藝中所處理的玻璃襯底的大小有日益大型化的傾向。作為FPD制造工藝中輸送大型玻璃襯底的方法，已知有采用使用了滾筒的滾動輸送機構(gòu)。
例如在專利公開公報2000-193604號和專利公開公報2000-9661號中記載著輸送大型玻璃襯底的技術(shù)。前者通過使一對支撐滾筒機構(gòu)僅接觸被檢查襯底(相當于玻璃襯底)下面的左右兩側(cè)來進行支撐，且通過與玻璃襯底的左右端對接的一對限制滾筒機構(gòu)來限制左右方向的位置。另外，由于玻璃襯底的中間部分因重力而向下方彎曲，所以為了限制該玻璃襯底的彎曲，而向玻璃襯底的下面噴射壓力空氣。
后者通過滾動輸送部將玻璃襯底輸送到缺陷檢查部，定位玻璃襯底，并通過夾持機構(gòu)夾持玻璃襯底的端部來進行缺陷檢查。缺陷檢查時，為了不接觸地支撐玻璃襯底，從空氣浮起臺上設(shè)置的排氣口中排出高壓空氣后，將玻璃襯底的高度保持為一定。
但是，前者的玻璃襯底的輸送由于使用了一對支撐滾筒機構(gòu)和一對限制滾筒機構(gòu)，故若高速輸送玻璃襯底，則在與滾筒接觸的玻璃襯底的滾動面上產(chǎn)生了滾筒的摩擦痕跡。
后者為了通過滾動輸送部來輸送玻璃襯底，與前者相同，若高速輸送玻璃襯底，則在與滾筒接觸的玻璃襯底的滾動面上產(chǎn)生了滾筒的摩擦痕跡。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種在非接觸狀態(tài)下進行輸送，可進行不刮傷玻璃襯底的高速輸送的襯底輸送裝置。
根據(jù)本發(fā)明的主要觀點，提供了一種襯底輸送裝置，包括襯底浮起機構(gòu)，其沿搬送路徑設(shè)置、使襯底在輸送路徑上浮起；輸送機構(gòu)，其保持由襯底浮起機構(gòu)浮起的襯底的兩端部，并沿輸送路徑進行輸送。


圖1是表示本發(fā)明涉及的襯底輸送裝置的第一實施例的平面結(jié)構(gòu)圖；圖2是同一裝置的側(cè)面結(jié)構(gòu)圖；圖3是同一裝置中，在襯底裝載臺1上浮起的玻璃襯底的示意圖；圖4是同一裝置中的玻璃襯底的空氣輸送動作的示意圖；圖5是同一裝置中的定位動作的示意圖；圖6是同一裝置中的定位動作的示意圖；圖7是同一裝置中的定位動作的示意圖；圖8是同一裝置中的定位動作后的輸送玻璃襯底輸送的示意圖；圖9是表示本發(fā)明涉及的襯底輸送裝置的第二實施例的結(jié)構(gòu)圖；圖10是同一裝置中的在浮起塊上形成的多個槽的示意圖。
具體實施例方式
下面，參照

本發(fā)明的第一實施例。
圖1是將襯底(基板)輸送裝置適用于大型LCD和PDP等的FPD工序的成線(インライン)檢查情況下的平面結(jié)構(gòu)圖，圖2是同一裝置的側(cè)面結(jié)構(gòu)圖。
將搬入用的襯底裝載臺1設(shè)置在減振臺2上。該襯底裝載臺1裝載所搬入的玻璃襯底3，其寬度(與輸送方向C垂直的方向)形成為比玻璃襯底3的寬度稍短。在該襯底裝載臺1的上面設(shè)置兼用作空氣上吹和吸入的多個空氣孔4。另外，這些空氣孔4也可大致有規(guī)則地設(shè)置在襯底裝載臺1的整個面上。該襯底裝載臺1上，在相對于輸送方向C為平行方向且相隔預定間隔地形成兩條槽5。另外，在襯底裝載臺1上設(shè)置玻璃襯底3搬入時升降的多個抬升銷(リフトピン)6。
在襯底裝載臺1的相對于輸送方向C垂直方向的入口側(cè)設(shè)置搬入用輸送機器人7。該搬入用輸送機器人7通過圖中未示的多關(guān)節(jié)臂使兩個手臂8旋轉(zhuǎn)、前進與后退，同時從盒子中取出未檢查的玻璃襯底3，并搬入到襯底裝載臺1上。
在襯底裝載臺1的出口側(cè)，沿輸送方向C并列設(shè)置輸送架臺9。該輸送架臺9形成為長度從玻璃襯底3的搬入側(cè)到搬出側(cè)。將該輸送架臺9裝載在減振臺10上。
從該輸送架臺9上的搬入側(cè)到搬出側(cè)，貫穿該搬入側(cè)與搬出側(cè)的全長設(shè)置浮起塊11。該浮起塊11形成為其寬度(相對于輸送方向C的垂直方向)比玻璃襯底3的寬度稍短。在該浮起塊11的上面設(shè)置兼用作空氣上吹和吸入的多個空氣孔12。另外，也可在浮起塊11的整個面上大致均勻地設(shè)置這些空氣孔12。在該浮起塊11上，與輸送方向C為平行方向且相隔預定的間隔地形成兩條槽13。浮起塊11的表面高度與襯底裝載臺1的表面高度大致相同。
在輸送架臺9的輸送方向C上的大致中間位置上設(shè)置對以一定速度進行輸送的玻璃襯底3進行各種檢查的檢查部E。該檢查部E例如將顯微鏡、線傳感器(ラインセンサ)或CCD攝像機等各種檢查用設(shè)備14搭載在門型臂15上。例如，檢查用設(shè)備14通過所排列的多個線傳感器取得玻璃襯底3的圖像數(shù)據(jù)。并且，通過圖像處理該圖像數(shù)據(jù)等來進行例如玻璃襯底3的圖像檢查、缺陷檢查等。
在輸送架臺9的出口側(cè)，沿輸送方向C并列設(shè)置搬出用的襯底裝載臺16。將該襯底裝載臺16設(shè)置在減振臺17上。該襯底裝載臺16為了搬出從浮起塊11輸送來的玻璃襯底3而進行暫時裝載，其寬度(相對于輸送方向C的垂直方向)形成為比玻璃襯底3的寬度稍短。在該襯底裝載臺16的上面設(shè)置兼用作空氣上吹和吸入的多個空氣孔18。另外，也可在襯底裝載臺16的整個面上大致有規(guī)則地設(shè)置這些空氣孔18。該襯底裝載臺16上相對于輸送方向C為平行方向且相隔預定間隔地形成兩條槽19。另外，在襯底裝載臺16上設(shè)置玻璃襯底3搬出時升降的多個抬升銷20。襯底裝載臺16的表面高度與浮起塊11的表面高度大致相同。
在襯底裝載臺16的與輸送方向C為垂直方向的出口側(cè)上設(shè)置搬出用輸送機器人21。該搬出用輸送機器人通過圖中未示的多關(guān)節(jié)臂使兩個手臂旋轉(zhuǎn)、前進和后退，同時將檢查完的玻璃襯底3容納到盒子內(nèi)。
在輸送架臺9和減振臺17上，沿輸送方向C彼此平行地設(shè)置多組夾著浮起塊11和襯底裝載臺16的各一對滑塊23～28。一對滑塊23、24和27、28設(shè)置在一對滑塊25、26的更外側(cè)。另外，將這些滑塊23～28的高度位置設(shè)置為相同。
將一對滑塊23、24設(shè)置在輸送架臺9入口側(cè)的定位(アライメント)部A上。在這些滑塊23、24上分別可移動地設(shè)置成為一對的各輸送端部29、30。這些輸送端部29、30具有分別可沿上下方向伸縮且自由旋轉(zhuǎn)地設(shè)置的各臂29a、30a；在這些臂29a、30a的前端部設(shè)置的，分別吸附保持玻璃襯底3背面的兩端部的各吸附襯墊29b、30b；設(shè)置在各輸送端部29、30內(nèi)，且使各臂29a、30a沿與輸送方向C垂直的方向移動的各推桿(プランジヤ)。
將一對滑塊25、26設(shè)置在定位部(校準部)A的出口側(cè)與輸送架臺9的出口側(cè)之間。在這些滑塊25、26上分別可移動地設(shè)置成為一對的各輸送端部31、32。這些輸送端部31、32與各輸送端部29、30相同，具有各臂31a、32a和各吸附襯墊31b、32b。
將一對滑塊27、28設(shè)置在輸送架臺9的出口側(cè)與襯底裝載臺16的出口側(cè)之間。在這些滑塊27、28上分別可移動地設(shè)置成為一對的各輸送端部33、34。這些輸送端部33、34與各輸送端部29、30相同，具有各臂33a、34a和各吸附襯墊33b、34b。
另外，由于一對滑塊23、24和27、28被設(shè)置在一對滑塊25、26的更外側(cè)，所以設(shè)定各臂29a、30a、33a、34a的長度，使得各滑塊23、24和27、28的各吸附襯墊29b、30b、33b、34b的位置與各滑塊25、26的各吸附襯墊31b、32b的位置相同。
另外，若為可沿XY方向微小移動用于保持玻璃襯底3的各臂29a、30a、31a、32a、33a、34a的結(jié)構(gòu)，則這些輸送端部29、30、31、32、33、34也可以是任意結(jié)構(gòu)。
在浮起塊11上的定位部A上設(shè)置3個定位傳感器43～45。這些定位傳感器43～45檢測玻璃襯底3的彼此正交的兩條邊(縱、橫)的各個邊緣，并輸出表示其邊緣位置的檢測信號。這些定位傳感器43～45是分別按線狀排列多個檢測元件的線傳感器。
定位傳感器43在浮起塊11寬度方向的中間位置，沿與輸送方向C相同方向地設(shè)置線檢測方向。該定位傳感器43在定位部A中檢測浮起停止的玻璃襯底3在輸送方向C的前側(cè)邊緣。
在浮起塊11的側(cè)面相隔預定間隔設(shè)置各定位傳感器44、45。沿使線檢測方向相對于輸送方向C為垂直的方向來設(shè)置這些定位傳感器44、45。這些定位傳感器44、45在定位部A中檢測浮起停止的玻璃襯底3在與輸送方向C相同方向上的邊緣。
另一方面，壓縮空氣供給部46通過管道與搬入用的襯底裝載臺1、浮起塊11、搬出用的襯底裝載臺16的各空隙部連通，并分別有選擇地供給壓縮空氣而從各空氣孔4、12、18上吹壓縮空氣，并在搬入用的襯底裝載臺1、浮起塊11或搬出用的襯底裝載臺16上使玻璃襯底3浮起。另外，壓縮空氣供給部46從各空氣孔4、12、18上吹具有除電效果的空氣、例如由等離子或負離子離子化后的空氣。
真空吸附部47通過管道與搬入用的襯底裝載臺1、浮起塊11、搬出用的襯底裝載臺16的各空隙部連通，并分別有選擇地抽成真空，而經(jīng)各空氣孔4、12、18使玻璃襯底3吸附保持在搬入用的襯底裝載臺1和搬出用的襯底裝載臺16上。
另外，真空吸附部47通過配管分別連通各吸附襯墊29b、30b、31b、32b、33b、34b，通過將這些吸附襯墊29b、30b、31b、32b、33b、34b抽成真空，而吸附保持玻璃襯底3。
移動控制部48分別在各滑塊23、24、25、26、27、28上移動控制各輸送端部29、30、31、32、33、34。
姿態(tài)識別部49輸入從三個定位傳感器43～45分別輸出的各檢測信號，根據(jù)由這些檢測信號所示的玻璃襯底3三個位置上的邊緣位置信息，識別玻璃襯底3的姿態(tài)。
姿態(tài)控制部50為了將由姿態(tài)識別部49所識別的玻璃襯底3的姿態(tài)定位到基準位置，而沿輸送方向C、相對于輸送方向C垂直的方向移動控制一對輸送端部31、32。
接著，說明如上所述構(gòu)成的裝置的動作。
各輸送端部29、30移動到各滑塊23、24上的搬入側(cè)，而停止待機。
搬入用輸送機器人7旋轉(zhuǎn)、前進和后退手臂8，而從盒子中取出未檢查的玻璃襯底3，并輸送到襯底裝載臺1的上方。并且，襯底裝載臺1的各抬升銷6升高。搬入用輸送機器人7使手臂8下降而將玻璃襯底3裝載在各抬升銷6上。通過各抬升銷6下降，將玻璃襯底3裝載在襯底裝載臺1上。由于玻璃襯底3的寬度比襯底裝載臺1的寬度長，所以從襯底裝載臺1突出玻璃襯底3的兩端部分。
接著，各輸送端部29、30使各臂29a、30a升高，使各吸附襯墊29b、30b吸附從襯底裝載臺1突出的玻璃襯底3的背面。這些吸附襯墊29b、30b的吸附位置是玻璃襯底3中的沒有形成電路圖案(パタ一ン)的背面端部，例如，是向輸送方向C成為玻璃襯底3前側(cè)的背面的兩端部。這時，各吸附襯墊29b、30b在吸附于玻璃襯底3的背面的狀態(tài)下升高為僅比襯底裝載臺1的表面高度高的位置上。
并且，壓縮空氣供給部46通過配管向襯底裝載臺1的空隙部供給壓縮空氣，而從空氣孔4中上吹壓縮空氣。這時，壓縮空氣因使用具有除電效果的離子化后的空氣，而可中和玻璃襯底的靜電，阻止玻璃襯底3上的帶電。
通過壓縮空氣的上吹，在襯底裝載臺1和玻璃襯底3之間形成空氣層，如圖3所示，玻璃襯底3從襯底裝載臺1的表面浮起。這時，從各空氣孔4上吹出的空氣在襯底裝載臺1和玻璃襯底3之間通過各槽5從空氣層流出。因此，由于空氣流通，而不滯留在襯底裝載臺1和玻璃襯底3之間，所以玻璃襯底3保持水平度地在襯底裝載臺1上浮起。
接著，移動控制部48如圖4所示，分別以同一速度使具有吸附于玻璃襯底3背面的各吸附襯墊29b、30b的各輸送端部29、30(臂29a、30a)同步，而在各滑塊23、24上沿輸送方向C移動。
由此，玻璃襯底3在浮起并與襯底裝載臺1上面和浮起塊11上面為完全非接觸的狀態(tài)下，通過各輸送端部29、30牽引，而沿輸送方向C高速輸送。通過該高速輸送，玻璃襯底3到達浮起塊11上的定位部A。
到達定位部A時，玻璃襯底3如圖5所示，有相對輸送方向C傾斜的情況。定位部A中的定位傳感器43檢測在定位部A中浮起停止的玻璃襯底3在輸送方向C的前側(cè)一邊的邊緣，而輸出其檢測信號。
另外，各定位傳感器44、45檢測在定位部A中浮起停止的玻璃襯底3在與輸送方向C為相同方向的另一邊的邊緣而輸出其檢測信號。
姿態(tài)識別部49輸入從三個定位傳感器43～45分別輸出的各檢測信號，根據(jù)由這些檢測信號所示的玻璃襯底3的在三個位置上的邊緣位置信息，來識別玻璃襯底3的姿態(tài)。這時，玻璃襯底3相對輸送方向C，前端側(cè)的右端部比左端部向前側(cè)突出，相對輸送方向C向左側(cè)傾斜。
接著，姿態(tài)控制部50從由姿態(tài)識別部49得到的玻璃襯底3的姿態(tài)識別結(jié)果中，首先，如圖5所示，使一個輸送端部30相對輸送方向C向反方向(后側(cè))微小移動。由此，玻璃襯底3以吸附襯墊29a為中心軸沿箭頭F方向旋轉(zhuǎn)，而相對輸送方向C平行地進行配置。
再次，姿態(tài)識別部49輸入從三個定位傳感器43～45分別輸出的各檢測信號來識別玻璃襯底3的姿態(tài)。該識別的結(jié)果，玻璃襯底3如圖6所示，左端部靠近滑塊23側(cè)。
姿態(tài)控制部50如圖6所示，驅(qū)動一個輸送端部29的推桿，而沿箭頭H方向(相對于輸送方向C垂直的方向)伸長臂29a，并且，與其同步，驅(qū)動另一輸送端部30的推桿而沿箭頭H方向縮短臂30a，并沿箭頭H方向移動玻璃襯底3從而使玻璃襯底3的中心位置與輸送路徑的中心位置匹配。
之后，姿態(tài)控制部50使各輸送端部29、30同步地向前側(cè)移動，使得玻璃襯底3的前端部與定位傳感器43的中心一致。這時，各輸送端部29、30例如如圖7所示，沿箭頭N方向微小移動。
結(jié)果，如圖7所示，定位玻璃襯底3，使得基準位置、即相對于輸送方向C平行、且玻璃襯底3的中心與輸送路徑的中心位置大致一致。另外，基準位置是在三個定位傳感器43～45中玻璃襯底3的各邊緣位置以傳感器中心分別檢測的地方。
玻璃襯底3的定位終止時，移動控制部48如圖4所示，沿與輸送方向C相反的方向分別以同一速度使各輸送端部31、32同步，并在各滑塊25、26上移動。
這些輸送端部31、32到達玻璃襯底3的下方時，在各滑塊25、26上的襯底傳遞基準位置上停止，使各臂31a、32a升高，而使各吸附襯墊31b、32b吸附玻璃襯底3的背面。這些吸附襯墊31b、32b的吸附位置是向玻璃襯底3中的輸送方向C成為前側(cè)的背面兩端部。
這些吸附襯墊31b、32b吸附玻璃襯底3時，解除各輸送端部29、30的各吸附襯墊29a、30b的吸附后，各臂29a、30a下降。
由此，玻璃襯底3的吸附保持從各輸送端部29、30傳遞到各輸送端部31、32。各輸送端部29、30在各滑塊23、24上沿與輸送方向C相反的方向(后側(cè))移動，而停止在搬入用的襯底裝載臺1的襯底傳遞基準位置上后，進行待機。若玻璃襯底3的傳遞終止時，各輸送端部31、32如圖8所示，以同一速度同步，并沿輸送方向C在各滑塊25、26上移動。由此，在浮起塊11上浮起的玻璃襯底3通過各輸送端部31、32牽引，沿輸送方向C高速輸送，而到達檢查部E。
檢查部E中，壓縮空氣供給部46停止向浮起塊11的各空氣孔4的壓縮空氣的供給。
接著，進行從壓縮空氣供給部46向真空吸附部47的切換。該真空吸附部47通過配管對浮起塊11的各空氣孔12抽真空，而使玻璃襯底3吸附保持在浮起塊11上。另外，這時，解除吸附保持玻璃襯底3的背面的各吸附襯墊31b、32b的吸附后，各臂31a、31b下降。
檢查部E中，例如，使用具有線傳感器的檢查用設(shè)備14通過由玻璃襯底3的各種檢查取得的圖像數(shù)據(jù)進行玻璃襯底3的圖案檢查、缺陷檢查等。這時，通過使裝載了檢查用設(shè)備14的門型臂15相對輸送方向C沿前后方向移動，而由檢查用設(shè)備14對玻璃襯底3的整個面進行各種檢查。
檢查部E的檢查終止時，各輸送端部31、32使各臂31a、32a升高，而使各吸附襯墊31b、32b向玻璃襯底3的向輸送方向C吸附成為前側(cè)的背面的兩個端部。
并且，真空吸附部47停止對浮起塊11的各空氣孔12的抽真空。并且，進行從真空吸附部47向壓縮空氣供給部46的切換。該壓縮空氣供給部46向浮起塊11的各空氣孔12供給壓縮空氣，并從這些空氣孔12上吹離子化后的壓縮空氣，而使玻璃襯底3浮起。
另外，也可在浮起塊11上浮起玻璃襯底3的狀態(tài)下，沿輸送方向分別以一定速度使各輸送端部31、32同步，而在各滑塊23、24上移動，同時進行檢查部E的檢查。
之后，與上述相同，在浮起塊11上的玻璃襯底3通過壓縮空氣的上吹而完全浮起的狀態(tài)下，各輸送端部31、32在各滑塊25、26上移動，而沿輸送方向C高速輸送玻璃襯底3。
玻璃襯底3到達浮起塊11的出口側(cè)時，玻璃襯底3的吸附保持從各輸送端部31、32傳遞到各輸送端部33、34，并且壓縮空氣供給部向襯底裝載臺16的各空氣孔8供給壓縮空氣。與上述從各輸送端部29、30向各輸送端部31、32的傳遞同樣，進行從這些輸送端部31、32向各輸送端部33、34的玻璃襯底3的傳遞。
玻璃襯底3的傳遞終止時，各輸送端部33、34在各滑塊27、28上移動而沿輸送方向C輸送玻璃襯底3。并且，玻璃襯底3到達搬出用的襯底裝載臺16的上方時，各輸送端部33、34停止在襯底傳遞基準位置上。
襯底裝載臺16中各抬升銷20升高。壓縮空氣供給部46停止向襯底裝載臺16的各空氣孔18的壓縮空氣的供給，并且，各吸附襯墊33b、34b解除對玻璃襯底3的背面的吸附，而使各臂33a、34a下降。由此，將玻璃襯底3被裝載在各抬升銷20上。搬出用輸送機器人21使手臂22旋轉(zhuǎn)、前進和后退，而從各抬升銷20上取出檢查完的玻璃襯底3后容納在盒子內(nèi)。
之后，依次重復進行多個玻璃襯底3向襯底裝載臺1的搬入、空氣輸送、定位、檢查、從襯底裝載臺16的搬出。
這樣，上述第一實施例中，在從各襯底裝載臺1、16和浮起塊11上形成的多個空氣孔4、18、12上吹空氣而使玻璃襯底3浮起的狀態(tài)下，吸附保持玻璃襯底3在輸送方向C的前端部兩端而進行牽引，同時進行輸送。由此，可在浮起大型玻璃襯底3的狀態(tài)下，不刮傷玻璃襯底3，而進行高速輸送。
由于將多個空氣孔4、18、12有規(guī)則地設(shè)置在各襯底裝載臺1、16和浮起塊11的空氣輸送面上，且設(shè)置了各槽5、13、19，所以從多個空氣孔4、18、12上吹出的空氣流過各槽5、13、19，故玻璃襯底3和各襯底裝載臺1、16和浮起塊11之間不滯留空氣，而通過各槽5、13、19流過。由此，大型的玻璃襯底3可進行中央部分沒有隆起等的彎曲、保持很高的水平度地輸送。
各槽5、13、19在與輸送方向C相同的方向上形成，所以空氣的上吹壓力分布與輸送方向C一樣。由此，玻璃襯底3在輸送時，不沿上下方向振動，可在穩(wěn)定狀態(tài)下進行輸送。
玻璃襯底3的輸送分別吸附保持向玻璃襯底3的輸送方向C的前側(cè)的背面兩端側(cè)，而進行強制牽引，同時進行高速輸送。由此，玻璃襯底3可以在浮起狀態(tài)下進行不為蛇行等相對輸送方向C振動地穩(wěn)定輸送。另外，由于吸附保持玻璃襯底3的背面兩端側(cè)，所以不接觸玻璃襯底3上形成的電路圖案的部分，不會影響電路圖案。
這樣，由于可非接觸地高速輸送大型玻璃襯底3，所以在FPD制造等這樣的半導體制造領(lǐng)域中，可以滿足不使產(chǎn)品品質(zhì)劣化、而提高產(chǎn)品生產(chǎn)率的要求。
由于從各空氣孔4、18、12上吹離子化后的壓縮空氣，而高速輸送玻璃襯底3，所以可以中和靜電，阻止帶電到玻璃襯底3上。
由于定位部A中，在玻璃襯底3浮起的狀態(tài)下，通過三個定位傳感器43～45、姿態(tài)識別部49和姿態(tài)控制部50進行定位，所以可在浮起玻璃襯底3的非接觸狀態(tài)下，不刮傷大型的玻璃襯底3，而進行可靠的定位。
另外，該定位中，通過沿兩維方向微小移動輸送玻璃襯底3的各輸送端部29、30，使這些輸送端部29、30除了玻璃襯底3的輸送功能之外，可兼用作定位，并可接著玻璃襯底3的輸送連續(xù)進行定位，可以縮短定位所需的時間。
定位中，由于通過三個定位傳感器43～45識別玻璃襯底3的姿態(tài)，所以可以高精度地檢測玻璃襯底3的姿態(tài)。
進一步，由于三個定位傳感器43～45嵌入浮起塊11中，所以各定位傳感器43～45的基準位置不會有偏差，通?？梢愿鶕?jù)三點的邊緣位置信息高精度地定位各玻璃襯底3。
另外，上述第一實施例例如可設(shè)置多個檢查部E，可適用于設(shè)置了各種處理工藝的工序。
接著，說明本發(fā)明的第二實施例。另外，對與圖1相同的部分添加同一符號而省略其詳細說明。
圖9是襯底輸送裝置的結(jié)構(gòu)圖。該襯底輸送裝置設(shè)置了各輸送機器人7、21，使得搬入用和搬出用的各輸送機器人7、21的各手臂8、22的前進和后退方向成為與輸送方向C相同的方向，且可沿輸送方向C移動吸附保持在輸送架臺9上的玻璃襯底3的保持器(ホルダ)60。
另外，除去搬入用和搬出用的各襯底裝載臺1和16具有的各抬升銷6、20。由此，各輸送機器人7、21通過將各個手臂8、22伸入各襯底裝載臺1和16的各槽5、19內(nèi)，而直接在襯底裝載臺1上裝載玻璃襯底3，或直接從襯底裝載臺16中取出玻璃襯底3。
在搬送架臺9上，相對輸送方向C彼此平行地鋪設(shè)兩條軌道61。在這些軌道61上可移動地設(shè)置移動用浮起塊(下面，稱為保持器)60。
在保持器60的表面上在整個面上設(shè)置兼作空氣的上吹和吸入的多個空氣孔62。與襯底裝載臺1同樣，該保持器60形成為寬度比玻璃襯底3的寬度稍短，且保持器表面的高度形成為與襯底裝載臺1的表面高度大致相同。
輸送架臺9上，沿輸送方向C彼此平行地設(shè)置夾著保持器60的一對滑塊63、64。在搬入側(cè)的襯底裝載臺1和搬出側(cè)的輸送機器人21之間設(shè)置這些滑塊63、64。在這些滑塊63、64上分別可移動地設(shè)置成為一對的定位側(cè)的各輸送端部29、30與檢查側(cè)的各輸送端部31、32。
定位側(cè)的各輸送端部29、30在各滑塊63、64上的搬入側(cè)的輸送機器人7側(cè)的左側(cè)端部和定位部A的右側(cè)端部Aa之間往復移動。檢查側(cè)的各輸送端部31、32在各滑塊63、64上的定位部A的右側(cè)端部Aa和搬出用的襯底裝載臺16的右側(cè)端部之間往復移動。與上述第一實施例相同地進行從定位側(cè)的各輸送端部29、30向檢查側(cè)的各輸送端部31、32的玻璃襯底3傳遞。
接著，說明如上所述構(gòu)成的裝置的動作。
由輸送機器人7從盒子中搬入的玻璃襯底3在襯底裝載臺1上浮起，并與向輸送方向C的移動同步地通過各輸送端部29、30進行牽引，而輸送到在定位部A上待機的保持器60的上方。另外，各輸送端部29、30的吸附位置為玻璃襯底3的向輸送方向C成為前側(cè)的背面的兩端。
定位部A中，玻璃襯底3與上述第一實施例相同，在保持器60上通過各輸送端部29、30的微小運動進行定位。玻璃襯底3的定位終止時，從壓縮空氣供給部46切換到真空吸附部47，而將玻璃襯底3吸附保持在保持器60上。
這時，各輸送端部29、30解除對玻璃襯底3的吸附保持，而返回到各滑塊63、64上的搬入側(cè)輸送機器人7側(cè)的左側(cè)端部(襯底傳遞基準位置)。
接著，保持器60在吸附保持了玻璃襯底3的狀態(tài)下，沿輸送方向C移動。保持器11到達檢查部E時，與上述相同，在檢查部E中，進行玻璃襯底3的各種檢查。
對玻璃襯底3的檢查終止時，使在襯底傳遞基準位置上待機的各輸送端部31、32的各臂31a、32a升高，并通過各吸附襯墊31b、32b吸附保持玻璃襯底3的背面。這些輸送端部31、32的吸附位置為玻璃襯底3的向輸送方向C前側(cè)的背面的兩端。之后，從壓縮空氣供給部46向襯底裝載臺16供給壓縮空氣，而使玻璃襯底3從保持器60上浮起。該狀態(tài)下，玻璃襯底3通過各輸送端部31、32牽引，而高度輸送到襯底裝載臺16上。
搬出用輸送機器人21插入槽19內(nèi)，并升高一些，來吸附保持玻璃襯底3的背面。這時，從玻璃襯底3的背面解除各輸送端部31、32的吸附襯墊31b、32b的吸附。搬出用輸送機器人21使手臂22升高，并且，使手臂22旋轉(zhuǎn)、前進和后退，而從襯底裝載臺16上取出檢查完的玻璃襯底3，容納到盒子內(nèi)。
這樣，根據(jù)上述第二實施例，可以達到與上述第一實施形態(tài)相同的效果。另外，由于沒有搬入用和搬出用的各襯底裝載臺1和16中具有的各抬升銷6、20，所以可將時間縮短掉各抬升銷6、20的動作時間。
另外，本發(fā)明并不限于上述各實施形態(tài)，在實施階段可在不脫離其要旨的范圍內(nèi)有各種變形。
使玻璃襯底3浮起的方式并不限于向玻璃襯底3的背面噴射空氣，也可通過靜電方式浮起。在通過靜電方式浮起的情況下，可以進行對玻璃襯底3的除電。
輸送浮起的玻璃襯底3的方式并不限于例如在一對滑塊23、24上移動一對各輸送端部29、30，也可在各槽13內(nèi)可移動地設(shè)置具有各吸附襯墊的各輸送端部，并通過這些輸送端部吸附保持玻璃襯底3前端部的背面來進行輸送。
輸送玻璃襯底3時的吸附保持位置并不限于輸送方向C中的玻璃襯底3的前端部兩側(cè)，也可由玻璃襯底3的前端部兩端和后端部兩端來吸附保持，或由玻璃襯底3的相對兩邊的各中央部或沿兩邊的多個部位進行吸附保持。若由該玻璃襯底3的四個角、相對兩邊的中央部或沿兩邊的多個位置吸附保持玻璃襯底3，則不僅可向搬送方向C輸送，還可向與輸送方向C相反的方向輸送。另外，若玻璃襯底3的吸附保持位置是沒有形成電路圖案的部分，則也可以是玻璃襯底3的表面或背表面。
向襯底裝載臺1裝載玻璃襯底3或從襯底裝載臺16取出玻璃襯底3也可使用除各輸送機器人7、21之外的某種機構(gòu)，也可以是從其他線輸送空氣等的襯底浮起輸送單元。
上述實施形態(tài)中，雖然說明了大型LCD和PDP等的平板等制造工藝的成線檢查中的玻璃襯底3的輸送，但是并不限于此，也可適用于使半導體晶片等各種襯底和板狀的物體浮起來進行高速輸送的情況。另外，使玻璃襯底3浮起進行高速輸送的方式并不限于從襯底裝載臺1向保持器60上的輸送，還可適用于設(shè)置了多個可移動的保持器60情況下的各保持器間的輸送。
定位部A中所用的各定位傳感器43～45使用線傳感器，但是并不限于此，也可使用兩維CCD攝像機識別玻璃襯底3的邊緣位置。
為了在各襯底裝載臺1、16和浮起塊11上沒有玻璃襯底3中央部的彎曲，而保持水平度，分別設(shè)置了作為空氣的排氣通道(逃け道)的兩個槽5、13、19，但是如圖10所示，這些槽5、13、19也可相對輸送方向C平行地設(shè)置多個。由于這些槽5、13、19為從各空氣孔4、12、18上吹出的空氣排氣通道，所以可使槽的兩端在空氣中開放，或在槽內(nèi)設(shè)置貫通背面的圓形或條紋狀的空氣逃逸孔，使其可良好排出空氣。
另外，這些槽5、13、19的形狀也可以是四邊形、U字形、V字形、圓弧狀的凹狀。另外，這些槽5、13、19的寬度也可以是在各襯底裝載臺1、16和浮起塊11與玻璃襯底3之間形成空氣層而可浮起玻璃襯底3的寬度大小。
這些槽5、13、19的寬度形成為相對輸送方向C相同，施加給輸送方向C的玻璃襯底3的空氣壓力部分也可均勻。
另外，為了使玻璃襯底3的兩端沒有向下的彎曲，也可在各襯底裝載臺1、16和浮起塊11的兩端設(shè)置多個空氣噴出孔，分別向玻璃襯底3的兩端部噴射空氣。
上述第二實施例中，雖然各滑塊63、64延伸到搬出用的搬送機器人21側(cè)，但是，也可延伸到搬入用的輸送機器人7側(cè)。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明用于大型LCD和PDP等的FPD等工序中的成線檢查中的玻璃襯底的輸送，使各種襯底和板狀的物體浮起進行高速輸送等。
權(quán)利要求書(按照條約第19條的修改)1、(補正后)一種襯底輸送裝置，其是用于輸送平板顯示器制造工藝中所制造的襯底的，其特征在于，具有襯底浮起塊，其是形成為比上述襯底的寬度稍短、并用于浮起上述襯底的；襯底輸送機構(gòu)，其夾持上述襯底浮起塊、沿上述襯底的輸送方向可移動地設(shè)置，并吸附保持從上述襯底浮起塊向外側(cè)突出的上述襯底背面的兩端部，在浮起上述襯底的狀態(tài)下沿上述輸送方向進行輸送。
2、(補正后)如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述襯底輸送機構(gòu)，其是通過吸附襯墊來吸附保持在上述襯底表面形成的無圖案的上述襯底背面的兩端部的。
3、(補正后)如權(quán)利要求2所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述吸附襯墊吸附保持上述襯底背面的上述兩端部中的前端部和后端部。
4、(補正后)如權(quán)利要求2所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述吸附襯墊沿上述襯底背面的上述兩端部吸附保持多個地方。
5、(補正后)如權(quán)利要求2所述的襯底輸送裝置，其特征是，上述吸附襯墊在吸附到上述襯底背面的狀態(tài)下，上升為僅比上述襯底浮起塊表面略高。
6、(補正后)如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述襯底浮起塊在該襯底浮起塊的整個表面上規(guī)則地設(shè)有多個孔，并從這些孔上吹空氣、來空氣浮起上述襯底。
7、(補正后)如權(quán)利要求6所述的襯底輸送裝置，其特征在于，為了抑制向上述襯底下方的彎曲，上述襯底浮起塊在該襯底浮起塊的上述兩端部形成多個上吹空氣用的孔。
8、(補正后)如權(quán)利要求6所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述襯底浮起塊，在該襯底浮起塊表面上沿上述輸送方向至少形成一個空氣排氣槽。
9、(補正后)如權(quán)利要求8所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述空氣排氣槽在該排氣槽內(nèi)形成與外部連通的空氣排氣孔。
10、(補正后)如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述襯底浮起塊，形成放入輸送機器人的手臂的槽，該輸送機器人是用于搬入或搬出上述襯底的。
11、(補正后)如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述襯底浮起塊被配置在檢查位置，在上述襯底輸送時浮起該襯底，且在上述檢查位置的上述襯底的檢查中固定保持該襯底。
12、(補正后)如權(quán)利要求11所述的襯底輸送裝置，其特征在于，在上述檢查位置、具有跨過上述襯底浮起塊并在上述輸送方向上可移動的門型臂，上述門型臂搭載檢查用機器，該檢查用機器是用于在相對于上述襯底的輸送方向正交的方向上取得上述襯底的圖像數(shù)據(jù)的。
13、(補正后)如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，
在檢查位置配置上述襯底浮起塊，且在該檢查位置并跨過上述襯底浮起塊地設(shè)有門型臂，并在上述門型臂上搭載檢查用機器，該檢查用機器是用于在與上述襯底的輸送方向正交的方向上取得上述襯底的圖像數(shù)據(jù)的，上述檢查位置的上述襯底的檢查中，上述襯底輸送機構(gòu)，在浮起上述襯底的狀態(tài)下沿上述輸送方向移動，并通過上述檢查用機器來檢查上述襯底的表面。
14、(補正后)如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，在輸送架臺上可往復移動地設(shè)有上述襯底浮起塊，并在襯底的交接位置浮起上述襯底，同時，通過上述襯底輸送機構(gòu)來吸附保持交接后的上述襯底。
15、(補正后)如權(quán)利要求14所述的襯底輸送裝置，其特征在于，在上述輸送架臺上固定配置門型臂、以便跨過上述襯底浮起塊，上述門型臂搭載用于取得上述襯底的圖像數(shù)據(jù)的檢查用機器，并沿上述輸送方向移動用于吸附保持上述襯底的上述襯底浮起塊，而通過上述檢查用機器檢查上述襯底的表面。
16、(追加)如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述襯底浮起塊具有在浮起上述襯底的狀態(tài)下定位于基準位置的定位機構(gòu)。
17、(追加)如權(quán)利要求16所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述定位機構(gòu)，具有用于檢測在浮起上述襯底的狀態(tài)下彼此正交的兩邊的邊緣位置信息的多個傳感器，并根據(jù)由這些傳感器檢測出的上述邊緣位置信息來將上述襯底對位到上述基準位置。
18、(追加)如權(quán)利要求16所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述定位機構(gòu)分別保持浮起的上述襯底的兩端部，并沿上述輸送方向微小移動這些保持的至少一個而使上述襯底旋轉(zhuǎn)、從而將上述襯底定位到基準位置。
19、(追加)如權(quán)利要求16所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述定位機構(gòu)，通過上述襯底輸送機構(gòu)分別保持浮起的上述襯底的兩端部，并沿上述輸送方向微小移動這些保持的至少一個而使上述襯底旋轉(zhuǎn)，若旋轉(zhuǎn)的結(jié)果是上述襯底沒有被定位到上述襯底位置，則沿相對于上述輸送方向垂直的方向微小移動上述襯底，而將上述襯底定位到基準位置。
20、(追加)如權(quán)利要求18或19所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述定位機構(gòu)具有多個傳感器，用于檢測上述襯底彼此正交的兩邊的邊緣位置的；姿態(tài)識別部，根據(jù)由這些傳感器檢測出的上述襯底的兩邊的邊緣位置信息，來識別上述襯底的姿態(tài)；姿態(tài)控制部，是為了將由所述姿態(tài)識別部識別的上述襯底的姿態(tài)定位到所述基準位置，而移動控制上述輸送機構(gòu)的。
21、(追加)如權(quán)利要求20的襯底輸送裝置，其特征在于，上述多個傳感器是按線狀排列多個檢測元件的三個線傳感器；一個上述線傳感器在與上述輸送方向垂直方向的中央部、且沿與上述襯底的輸送方向相同的方向上設(shè)置線方向；兩個上述線傳感器與上述襯底的一個端側(cè)彼此相隔預定間隔，且沿與上述襯底的輸送方向垂直的方向設(shè)置線方向。
22、(追加)如權(quán)利要求20的襯底輸送裝置，其特征在于，上述姿態(tài)控制部通過沿上述輸送方向微小移動各輸送端部中的至少一個而旋轉(zhuǎn)上述襯底、從而與上述輸送方向平行地配置上述襯底，上述各輸送端部分別保持成為上述襯底的輸送方向前側(cè)的上述襯底的兩端側(cè)、且在沿上述輸送路徑的兩側(cè)配置的各滑塊上分別移動。
23、(追加)如權(quán)利要求11所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述姿態(tài)控制部通過沿上述搬送方向微小移動分別保持成為上述襯底的輸送方向的前側(cè)的上述襯底的兩端側(cè)、且在沿上述輸送路徑的兩側(cè)配置的各滑塊上分別移動的各襯底保持部中的至少一個，并旋轉(zhuǎn)上述襯底，從而與上述輸送方向平行地配置上述襯底；若上述襯底的旋轉(zhuǎn)結(jié)果是上述襯底沒有被定位到上述襯底位置，則沿相對上述輸送方向垂直的方向同步地微小移動上述各襯底保持部而使上述襯底對準上述輸送路徑的中心位置，從而將上述襯底定位到基準位置。
權(quán)利要求
1.一種襯底輸送裝置，其特征在于，包括襯底浮起機構(gòu)，其是沿搬送路徑設(shè)置的、用于使襯底在所述輸送路徑上浮起；輸送機構(gòu)，保持由所述襯底浮起機構(gòu)浮起的所述襯底的兩端部，并沿所述輸送路徑進行輸送。
2.如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述襯底浮起機構(gòu)至少上吹空氣而使所述襯底浮起。
3.如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述襯底浮起機構(gòu)通過空氣的上吹和空氣的吸入而使所述襯底浮起。
4.如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述襯底浮起機構(gòu)具有浮起塊；在所述浮起塊上形成的、至少對空氣進行上吹的多個孔；在所述浮起塊上沿所述襯底的輸送方向形成的所述空氣的排氣槽。
5.如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述輸送機構(gòu)具有沿所述輸送路徑的兩側(cè)配置的各滑塊；各輸送端部，分別可移動地設(shè)置在這些滑塊上，分別保持成為所述襯底的搬送方向的前側(cè)的所述襯底的兩端側(cè)。
6.如權(quán)利要求5所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述各輸送端部具有分別吸附保持所述襯底的背面的兩端部的吸附襯墊。
7.如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述襯底浮起機構(gòu)具有在所述輸送路徑的全長上設(shè)置的浮起塊；在所述浮起上形成的、至少進行上吹空氣的多個孔；在所述浮起塊上沿所述襯底的輸送方向形成的所述空氣排氣槽；沿所述輸送路徑全長的兩側(cè)配置的多個滑塊；各吸附襯墊，分別在這些滑塊上可移動地設(shè)置，分別吸附保持成為所述襯底的輸送方向的前側(cè)的所述襯底背面的兩端側(cè)。
8.如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述襯底浮起機構(gòu)具有在所述輸送路徑的全長上設(shè)置的輸送架臺；可移動地設(shè)置在所述輸送架臺上的保持器；在所述保持器上形成的、至少對空氣進行上吹的多個孔；在所述保持器上沿所述襯底的輸送方向形成的所述空氣的排氣槽；沿所述輸送路徑全長的兩側(cè)配置的多個滑塊；各吸附襯墊，分別在這些滑塊上可移動地設(shè)置，分別吸附保持成為所述襯底的輸送方向的前側(cè)的所述襯底背面的兩端側(cè)。
9.如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述輸送機構(gòu)具有定位部，用于分別保持浮起的所述襯底的兩端側(cè)，并沿所述輸送方向微小移動該保持的至少一個而使所述襯底旋轉(zhuǎn)從而將所述襯底定位到基準位置。
10.如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述輸送機構(gòu)具有定位部，用于分別保持浮起的所述襯底的兩端側(cè)、并沿所述輸送方向微小移動該保持的至少一個而使所述襯底旋轉(zhuǎn)，若所述襯底的旋轉(zhuǎn)結(jié)果是所述襯底被定位到所述襯底位置，則沿與所述輸送方向垂直的方向微小移動所述襯底，而將所述襯底定位到基準位置。
11.如權(quán)利要求9或10所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述定位部具有多個傳感器，用于檢測所述襯底彼此正交的兩邊的邊緣位置的；姿態(tài)識別部，根據(jù)由這些傳感器檢測出的所述襯底的兩邊的邊緣位置信息，來識別所述襯底的姿態(tài)；姿態(tài)控制部，是為了將由所述姿態(tài)識別部識別的所述襯底的姿態(tài)定位為所述基準位置，而移動控制所述輸送機構(gòu)的。
12.如權(quán)利要求11所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述多個傳感器是按線狀排列多個檢測元件的三個線傳感器；一個所述線傳感器在與所述輸送方向垂直方向的中央部、且沿與所述襯底的輸送方向相同的方向上設(shè)置線方向；兩個所述線傳感器與所述襯底的一個端側(cè)彼此相隔預定間隔，且沿與所述襯底的輸送方向垂直的方向設(shè)置線方向。
13.如權(quán)利要求11所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述姿態(tài)控制部通過沿所述輸送方向微小移動各輸送端部中的至少一個而旋轉(zhuǎn)所述襯底、從而與所述輸送方向平行地配置所述襯底，所述各輸送端部分別保持成為所述襯底的為輸送方向前側(cè)的所述襯底的兩端側(cè)、且在沿所述輸送路徑的兩側(cè)配置的各滑塊上分別移動。
14.如權(quán)利要求11所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述姿態(tài)控制部通過沿所述搬送方向微小移動分別保持成為所述襯底的輸送方向的前側(cè)的所述襯底的兩端側(cè)、且在沿所述輸送路徑的兩側(cè)配置的各滑塊上分別移動的各襯底保持部中的至少一個，并旋轉(zhuǎn)所述襯底，從而與所述輸送方向平行地配置所述襯底；若所述襯底的旋轉(zhuǎn)結(jié)果是所述襯底被定位為所述襯底位置，則沿相對所述輸送方向垂直的方向同步地微小移動所述各襯底保持部而使所述襯底與所述輸送路徑的中心位置匹配，從而將所述襯底定位為基準位置。
15.如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于，所述輸送機構(gòu)向檢查部輸送從所述輸送路徑的搬入側(cè)搬入的所述襯底，在所述檢查部中對所述襯底的檢查終止后，向所述輸送路徑的搬出側(cè)輸送所述襯底。
全文摘要
本發(fā)明提供一種襯底輸送裝置，其是從各襯底裝載臺(1、16)和浮起塊(11)上形成的多個空氣孔(4、18、12)上吹空氣而使玻璃襯底(3)浮起，吸附保持該浮起的玻璃襯底(3)在輸送方向C上的前端部兩端而進行牽引，同時進行輸送。
文檔編號H01L21/67GK1646400SQ0380870
公開日2005年7月27日 申請日期2003年4月16日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月18日
發(fā)明者安田守, 藤崎暢夫 申請人:奧林巴斯株式會社