專利名稱:一種用于離子注入機的有動密封結(jié)構(gòu)硅片定向裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提出了一種用于離子注入機的有動密封結(jié)構(gòu)硅片定向裝置，包括工作臺板；設(shè)有貫通軸孔的密封組件穿過所述工作臺板，其上端位于真空室內(nèi)，下端位于大氣區(qū)域；旋轉(zhuǎn)軸的中間部分安裝在所述軸孔內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸上端連接有定向圓盤而下端與升降驅(qū)動裝置和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接；位于所述工作臺板下方的密封組件部分設(shè)有和所述軸孔連通的差分抽氣口；所述工作臺板頂面裝有LED燈安裝組件；所述密封組件的上下兩端均設(shè)有密封壓蓋；本實用新型將較大體積的驅(qū)動裝置安裝在真空室外，通過密封組件保證真空室內(nèi)的真空度基本不受影響，解決了行業(yè)內(nèi)一直以來的設(shè)計難題。
【專利說明】一種用于離子注入機的有動密封結(jié)構(gòu)硅片定向裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種半導(dǎo)體器件制造控制系統(tǒng)，特別涉及一種用于離子注入機的有動密封結(jié)構(gòu)硅片定向裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，硅片能否穩(wěn)定的定向?qū)τ趥髌到y(tǒng)、離子注入系統(tǒng)愈發(fā)重要，對注入產(chǎn)品的質(zhì)量、效率和離子注入機的產(chǎn)業(yè)化有著很大的影響。硅片定向裝置在傳片系統(tǒng)和離子注入過程中起到至關(guān)重要的作用，硅片定向裝置是片庫、機械手、靶臺之間的媒介，硅片定向裝置定位的準確性與否直接關(guān)系到硅片放置靶臺的位置，從而關(guān)系到注入工藝的穩(wěn)定程度，同時硅片定向裝置的工作效率直接關(guān)系到整個注入工藝的效率，硅片定向裝置在離子注入機中的重要性顯而易見。目前，國內(nèi)對硅片定向裝置方面的研宄還比較少，尚無合適的設(shè)備出現(xiàn)，這是因為離子注入機的工作環(huán)境要求在真空室內(nèi)，而真空室往往體積有限，無法容納下常規(guī)定向裝置的的驅(qū)動部分(如驅(qū)動電機等)，設(shè)計上遇到了很大困難。
實用新型內(nèi)容
[0003]基于現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型要解決的問題是提供一種穩(wěn)定高效的用于離子注入機的有動密封結(jié)構(gòu)硅片定向裝置。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種用于離子注入機的有動密封結(jié)構(gòu)硅片定向裝置，包括工作臺板；設(shè)有貫通軸孔的密封組件穿過所述工作臺板，其上端位于真空室內(nèi)，下端位于大氣區(qū)域；旋轉(zhuǎn)軸的中間部分安裝在所述軸孔內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸上端連接有定向圓盤而下端與升降驅(qū)動裝置和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接；位于所述工作臺板下方的密封組件部分設(shè)有和所述軸孔連通的差分抽氣口 ；所述工作臺板頂面裝有LED燈安裝組件；所述密封組件的上下兩端均設(shè)有密封壓蓋；所述軸孔兩端設(shè)有用于安裝所述旋轉(zhuǎn)軸的軸套和密封圈，所述密封圈使軸孔與旋轉(zhuǎn)軸之間形成密封。
[0005]作為上述技術(shù)方案的進一步改進:
[0006]所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置包括旋轉(zhuǎn)電機、主動輪、從動輪和同步帶；所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸上安裝主動輪；所述旋轉(zhuǎn)軸下端安裝從動輪；所述主動輪和從動輪通過同步帶相連接。
[0007]所述升降驅(qū)動裝置包括升降電機和升降臂；所述升降臂的一端和所述升降電機的輸出軸連接，另一端活套在所述旋轉(zhuǎn)軸下端并由轉(zhuǎn)軸臺階限位。
[0008]所述密封組件由依次連接在一起且均設(shè)有對應(yīng)貫通軸孔的上密封座、中密封座和下密封座組成。
[0009]所述密封組件通過法蘭盤和所述工作臺板連接。
[0010]工作時，硅片置于定向圓盤上，升降驅(qū)動裝置中的升降電機的輸出軸旋轉(zhuǎn)一定角度，使升降臂上升或下降，從而通過旋轉(zhuǎn)軸和定向圓盤帶動硅片上下運動；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置中的旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸帶動主動輪旋轉(zhuǎn)，主動輪通過同步帶帶動從動輪旋轉(zhuǎn)，從而通過旋轉(zhuǎn)軸和定向圓盤帶動硅片旋轉(zhuǎn)運動，實現(xiàn)硅片在LED燈安裝組件中的定向。
[0011]密封組件的主要起密封作用和對旋轉(zhuǎn)軸的運動起導(dǎo)向作用。如圖6所示工作臺板上側(cè)為高真空區(qū)域，下側(cè)為大氣、部分區(qū)域為低真空區(qū)域。旋轉(zhuǎn)軸在密封組件中做旋轉(zhuǎn)和上下運動時必然會降低高真空區(qū)域的真空度，為了減少旋轉(zhuǎn)軸的運動對整體真空度的影響，密封組件上采用了差分抽氣設(shè)計原理，旋轉(zhuǎn)軸在運動過程中在部分區(qū)域產(chǎn)生了較低真空度，為了避免低真空區(qū)域?qū)Ω哒婵諈^(qū)域的影響，在低真空區(qū)域設(shè)計了差分抽氣口，利用差分抽氣泵對低真空區(qū)域進行抽氣，建立高真空，從而減小旋轉(zhuǎn)軸運動對高真空的影響。三個密封座的設(shè)計方便了安裝。
[0012]本實用新型將較大體積的驅(qū)動裝置安裝在真空室外，通過密封組件保證真空室內(nèi)的真空度基本不受影響，解決了行業(yè)內(nèi)一直以來的設(shè)計難題。
[0013]本實用新型能夠穩(wěn)定高效地實現(xiàn)硅片定位，是離子注入機中傳片、注入不可缺少的裝置，是低能大束流離子注入裝備中的關(guān)鍵裝置之一。
[0014]下面結(jié)合附圖詳細說明本實用新型，其作為本說明書的一部分，通過實施例來說明本實用新型的原理，本實用新型的其他方面、特征及其優(yōu)點通過該詳細說明將會變得一目了然。

【附圖說明】

[0015]構(gòu)成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當限定。
[0016]圖1為本實用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實用新型底部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為本實用新型中升降驅(qū)動裝置1、旋轉(zhuǎn)軸3、密封組件5和定向圓盤4的組合示意圖；
[0019]圖4為本實用新型中旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置2、旋轉(zhuǎn)軸3、密封組件5的組合示意圖；
[0020]圖5為本實用新型中LED燈安裝組件6的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖6本實用新型中密封組件5的剖面圖。
[0022]圖1-6中附圖標記的對應(yīng)關(guān)系為:
[0023]1-升降驅(qū)動裝置；2_旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置；3_旋轉(zhuǎn)軸；4_定向圓盤；5_密封組件；6_LED燈安裝組件；7_工作臺板；8_差分抽氣口 ；9_旋轉(zhuǎn)電機；10_主動輪；11_從動輪；12_同步帶；13_密封壓蓋；14_上密封座；15_中密封座；16_下密封座；17_軸套；18_密封圈；19-升降電機；20_升降臂；21_法蘭盤；22_轉(zhuǎn)軸臺階。

【具體實施方式】
[0024]需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實施例來詳細說明本實用新型。為敘述方便，下文中如出現(xiàn)“上”、“下”、“左”、“右”字樣，僅表示與附圖本身的上、下、左、右方向一致，并不對結(jié)構(gòu)起限定作用。
[0025]如圖1-6所示，本實施例的用于離子注入機的有動密封結(jié)構(gòu)硅片定向裝置，包括工作臺板7 ;設(shè)有貫通軸孔的密封組件5穿過工作臺板7，其上端位于真空室內(nèi)，下端位于大氣區(qū)域；旋轉(zhuǎn)軸3的中間部分安裝在軸孔內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸3上端連接有定向圓盤4而下端與升降驅(qū)動裝置I和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置2連接；位于工作臺板7下方的密封組件5部分設(shè)有和軸孔連通的差分抽氣口 8 ;工作臺板7頂面裝有LED燈安裝組件6 ;密封組件5的上下兩端均設(shè)有密封壓蓋13 ;軸孔兩端設(shè)有用于安裝旋轉(zhuǎn)軸3的軸套17和密封圈18，密封圈18使軸孔與旋轉(zhuǎn)軸3之間形成密封。
[0026]旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置2包括旋轉(zhuǎn)電機9、主動輪10、從動輪11和同步帶12 ;旋轉(zhuǎn)電機9的輸出軸上安裝主動輪10 ;旋轉(zhuǎn)軸3下端安裝從動輪11 ;主動輪10和從動輪11通過同步帶12相連接。
[0027]升降驅(qū)動裝置I包括升降電機19和升降臂20 ;升降臂20的一端和升降電機19的輸出軸連接，另一端活套在旋轉(zhuǎn)軸3下端并由轉(zhuǎn)軸臺階22限位。
[0028]密封組件5由依次連接在一起且均設(shè)有對應(yīng)貫通軸孔的上密封座14、中密封座15和下密封座16組成。
[0029]密封組件5通過法蘭盤21和工作臺板7連接。
[0030]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于離子注入機的有動密封結(jié)構(gòu)硅片定向裝置，其特征在于:包括工作臺板(7);設(shè)有貫通軸孔的密封組件(5)穿過所述工作臺板(7)，其上端位于真空室內(nèi)，下端位于大氣區(qū)域；旋轉(zhuǎn)軸(3)的中間部分安裝在所述軸孔內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸(3)上端連接有定向圓盤(4)而下端與升降驅(qū)動裝置(I)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置(2)連接；位于所述工作臺板(7)下方的密封組件(5)部分設(shè)有和所述軸孔連通的差分抽氣口(8);所述工作臺板(7)頂面裝有LED燈安裝組件(6);所述密封組件(5)的上下兩端均設(shè)有密封壓蓋(13);所述軸孔兩端設(shè)有用于安裝所述旋轉(zhuǎn)軸(3)的軸套(17)和密封圈(18)，所述密封圈(18)使軸孔與旋轉(zhuǎn)軸(3)之間形成密封。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子注入機的有動密封結(jié)構(gòu)硅片定向裝置，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置(2)包括旋轉(zhuǎn)電機(9)、主動輪(10)、從動輪(11)和同步帶(12);所述旋轉(zhuǎn)電機(9)的輸出軸上安裝主動輪(10);所述旋轉(zhuǎn)軸(3)下端安裝從動輪(11);所述主動輪(10)和從動輪(11)通過同步帶(12)相連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子注入機的有動密封結(jié)構(gòu)硅片定向裝置，其特征在于:所述升降驅(qū)動裝置(I)包括升降電機(19)和升降臂(20);所述升降臂(20)的一端和所述升降電機(19)的輸出軸連接，另一端活套在所述旋轉(zhuǎn)軸(3)下端并由轉(zhuǎn)軸臺階(22)限位。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子注入機的有動密封結(jié)構(gòu)硅片定向裝置，其特征在于:所述密封組件(5)由依次連接在一起且均設(shè)有對應(yīng)貫通軸孔的上密封座(14)、中密封座(15)和下密封座(16)組成。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離子注入機的有動密封結(jié)構(gòu)硅片定向裝置，其特征在于:所述密封組件(5)通過法蘭盤(21)和所述工作臺板(7)連接。
【文檔編號】H01J37-20GK204271036SQ201420619232
【發(fā)明者】武文杰 [申請人]北京中科信電子裝備有限公司