專利名稱:一種彈簧式引線防變形束源爐的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種彈簧式引線防變形束源爐。本實(shí)用新型屬于電阻加熱源【技術(shù)領(lǐng)域】。一種彈簧式引線防變形束源爐，其特點(diǎn)是：彈簧式引線防變形束源爐包括上加熱爐和下加熱爐，下加熱爐下部為底盤，底盤有支撐桿支撐加熱爐；上加熱爐和下加熱爐內(nèi)有加熱絲，上加熱爐加熱絲和下加熱爐加熱絲都有引線從底盤引出，上加熱爐引線為防止變形的彈簧式結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，可靠性高，安全性好，有效防止加熱絲短路或者與屏蔽短路，可以延長加熱源的壽命，提供穩(wěn)定的加熱時(shí)間，能為后續(xù)連續(xù)化生產(chǎn)提供有效保障等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】一種彈簧式引線防變形束源爐

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于電阻加熱源【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種彈簧式引線防變形束源爐。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，薄膜太陽能電池具有質(zhì)量輕、弱光性能好、溫度功率系數(shù)好等優(yōu)點(diǎn)，廣泛用在建筑、國防等領(lǐng)域。由于各種技術(shù)問題，目前國內(nèi)薄膜太陽電池還沒有產(chǎn)業(yè)化，比如CIGS薄膜太陽電池，蒸發(fā)Cu元素需要高溫，溫度要超過銅的熔點(diǎn)1083°C，要求蒸發(fā)源具有高的可靠性，工作時(shí)間至少要1500小時(shí)。
[0003]蒸發(fā)源有電阻加熱、激光加熱、電弧加熱等，電阻式蒸發(fā)源簡單、經(jīng)濟(jì)、可靠，被普遍應(yīng)用。電阻加熱式蒸發(fā)源的發(fā)熱材料一般選用W、Mo等高熔點(diǎn)金屬及Ni和N1-Cr合金。把它們加工成各種形狀，把待蒸發(fā)的材料放在其上，然后通大電流蒸發(fā)。比如蒸發(fā)Cu材料的加熱絲到達(dá)1135°C時(shí)，電流穩(wěn)定在9A的穩(wěn)定值。加熱絲加工成各種形狀的過程中，加熱絲上存在殘余應(yīng)力，以及熱脹冷縮現(xiàn)象的存在，長時(shí)間大電流通電導(dǎo)致加熱絲出現(xiàn)變形現(xiàn)象，致使蒸發(fā)源加熱絲短路或者與屏蔽短路，降低加熱源的壽命。
[0004]實(shí)用新型專利CN2425427公開了一種分子束源爐，其主要結(jié)構(gòu):由鉭筒、坩禍、加熱絲、爐座、測溫元件及支架組成，其中鉭筒為多層結(jié)構(gòu)，最外層鉭筒置坩禍于上爐座內(nèi)，最內(nèi)層鉭筒無上下底；加熱絲位于坩禍和最里層鉭筒之間，經(jīng)羅列安排兩兩依次穿插于絕緣環(huán)上的偏孔里。其主要優(yōu)點(diǎn)是保溫效果穩(wěn)定，生長薄膜質(zhì)量好，但其不足之處是:加熱絲容易與屏蔽短路，并且上加熱絲底部容易變形，與底部加熱絲短路或者與屏蔽短路。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型為解決公知技術(shù)中存在的技術(shù)問題而提供一種彈簧式引線防變形束源爐。
[0006]本實(shí)用新型的目的之一是提供一種具有結(jié)構(gòu)簡單，可靠性高，有效防止加熱絲短路或者與屏蔽短路，可以延長加熱源的壽命，提供穩(wěn)定的加熱時(shí)間，能為后續(xù)連續(xù)化生產(chǎn)打下一個(gè)好的基礎(chǔ)等特點(diǎn)的彈簧式引線防變形束源爐。
[0007]本束源爐加熱裝置的加熱爐分為上加熱爐和下加熱爐，上加熱爐加熱坩禍的上半部分，下加熱爐加熱坩禍的下半部分，上加熱爐的加熱溫度比下加熱爐高150 °C，加熱爐的外面是屏蔽，起到保溫作用。上加熱爐的加熱絲和下加熱爐的加熱絲都從底盤引出，品紅加熱絲引線是上加熱爐引線，虛線加熱絲引線是下加熱爐引線。上加熱爐加熱絲引線需要從下加熱爐的陶瓷固定片上引出。用三根支撐螺桿支撐加熱爐。底盤主要起到把束源爐固定在真空腔室壁上。
[0008]由于上下加熱爐存在溫差，容易引起上加熱絲引線變形，需要改變引線的引出結(jié)構(gòu)。
[0009]本實(shí)用新型即改變頂部加熱爐兩根接電極的加熱絲的形狀，在穿出底部加熱爐之前，把部分頂部加熱爐兩根接電極的加熱絲的形狀改為彈簧結(jié)構(gòu)。
[0010]將上加熱爐引線改為彈簧結(jié)構(gòu)，可以吸收溫差引線的形變，防止上加熱爐引線在下加熱爐內(nèi)部變形，可以有效屏蔽或者防止與下加熱爐爐絲短路。
[0011]本實(shí)用新型彈簧式引線防變形束源爐所采取的技術(shù)方案是:
[0012]一種彈簧式引線防變形束源爐，其特點(diǎn)是:彈簧式引線防變形束源爐包括上加熱爐和下加熱爐，下加熱爐下部為底盤，底盤有支撐桿支撐加熱爐；上加熱爐和下加熱爐內(nèi)有加熱絲，上加熱爐加熱絲和下加熱爐加熱絲都有引線從底盤引出，上加熱爐引線為防止變形的彈簧式結(jié)構(gòu)。
[0013]本實(shí)用新型彈簧式引線防變形束源爐還可以采用如下技術(shù)方案:
[0014]所述的彈簧式引線防變形束源爐，其特點(diǎn)是:底盤有三根支撐螺桿支撐加熱爐。
[0015]所述的彈簧式引線防變形束源爐，其特點(diǎn)是:上加熱爐引線位于下加熱爐和底盤之間部分為彈簧式結(jié)構(gòu)。
[0016]本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:
[0017]彈簧式引線防變形束源爐由于采用了本實(shí)用新型全新的技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下特點(diǎn):
[0018]1.與傳統(tǒng)的束源爐相比，束源爐加熱絲防變形防護(hù)，這在一定程度上有效防止了頂部加熱絲與屏蔽短路的現(xiàn)象。
[0019]2.與傳統(tǒng)的束源爐相比，束源爐加熱絲防變形防護(hù)，延長了束源爐的使用壽命，這為后續(xù)連續(xù)化生產(chǎn)打下一個(gè)好的基礎(chǔ)。

【附圖說明】

[0020]圖1是本實(shí)用新型彈簧式引線防變形束源爐結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ] 圖2是傳統(tǒng)束源爐結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖中，1.坩禍位置，2.上加熱爐，3.外屏蔽，4.下加熱爐，5.支撐螺桿，6.上加熱爐引線，7.下加熱爐引線，8.底盤，9.傳統(tǒng)爐上加熱爐引線。

【具體實(shí)施方式】
[0023]為能進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的實(shí)用新型內(nèi)容、特點(diǎn)及功效，茲例舉以下實(shí)施例，并配合附圖詳細(xì)說明如下:
[0024]實(shí)施例1
[0025]參閱附圖1。
[0026]彈簧式引線防變形束源爐，加熱爐分為上加熱爐和下加熱爐，上加熱爐加熱坩禍的上半部分，下加熱爐加熱坩禍的下半部分，上加熱爐的加熱溫度比下加熱爐高150°C，加熱爐的外面是屏蔽，起到保溫作用。上加熱爐的加熱絲和下加熱爐的加熱絲都從底盤引出。用三根支撐螺桿支撐加熱爐。底盤主要起到把束源爐固定在真空腔室壁上。
[0027]本實(shí)施例用的穿插加熱絲的絕緣材料都是氮化硼陶瓷，用的加熱絲是合金加熱絲，上加熱絲的直徑大約為1mm，下加熱絲的直徑大約為0.8mm。束源爐上加熱絲穿過下加熱爐，長時(shí)間加熱容易與下加熱絲接觸，為防止與下加熱絲和屏蔽接觸，上加熱絲穿過下加熱爐后的部分纏繞成彈簧結(jié)構(gòu)，然后與外部的導(dǎo)線相連。
[0028] 本實(shí)施例具有結(jié)構(gòu)簡單，可靠性高，可以延長加熱源的壽命，提供穩(wěn)定的加熱時(shí)間，能為后續(xù)連續(xù)化生產(chǎn)打下一個(gè)好的基礎(chǔ)等積極效果。
【權(quán)利要求】
1.一種彈簧式引線防變形束源爐，其特征是:彈簧式引線防變形束源爐包括上加熱爐和下加熱爐，下加熱爐下部為底盤，底盤有支撐桿支撐加熱爐；上加熱爐和下加熱爐內(nèi)有加熱絲，上加熱爐加熱絲和下加熱爐加熱絲都有引線從底盤引出，上加熱爐引線為防止變形的彈簧式結(jié)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈簧式引線防變形束源爐，其特征是:底盤有三根支撐螺桿支撐加熱爐。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈簧式引線防變形束源爐，其特征是:上加熱爐引線位于下加熱爐和底盤之間部分為彈簧式結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】H01L31-18GK204271052SQ201420768168
【發(fā)明者】鄧朝文 [申請(qǐng)人]中國電子科技集團(tuán)公司第十八研究所