專(zhuān)利名稱(chēng):一種用于太陽(yáng)能電池基片刻蝕的等離子體刻蝕機(jī)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于太陽(yáng)能電池基片刻蝕的等離子體刻蝕機(jī)，包括刻蝕機(jī)主體和電池片入口，該刻蝕機(jī)主體頂部中間位置設(shè)有平行與電池片入口的中間擋板；中間擋板的兩端分別垂直設(shè)有側(cè)面蓋板；刻蝕機(jī)主體平行于中間擋板的兩個(gè)頂邊上分別設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)槽；轉(zhuǎn)動(dòng)槽內(nèi)分別活動(dòng)連接位于中間擋板兩側(cè)的蓋板；刻蝕機(jī)主體內(nèi)設(shè)有緊貼刻蝕機(jī)主體內(nèi)側(cè)壁的“日”字形引流槽。本實(shí)用新型自動(dòng)回流原液，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，不僅大大提高了生產(chǎn)效率，而且延長(zhǎng)了機(jī)器使用壽命，提高了原液的利用效率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種用于太陽(yáng)能電池基片刻蝕的等離子體刻蝕機(jī)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池基片刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于太陽(yáng)能電池基片刻蝕的等離子體刻蝕機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]在太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)制造工藝中，要用到一個(gè)關(guān)鍵設(shè)備就是刻蝕機(jī)。使用刻蝕機(jī)的目的是清洗太陽(yáng)電池背面的一些雜質(zhì)離子或者利用化學(xué)反應(yīng)去除太陽(yáng)電池背面一些不需要的物質(zhì)?？涛g機(jī)的原理是在一個(gè)長(zhǎng)方體的槽體內(nèi)裝入反應(yīng)用的化學(xué)藥品原液，太陽(yáng)能電池在刻蝕機(jī)內(nèi)部通過(guò)時(shí)，其背面與原液接觸進(jìn)行反應(yīng)，達(dá)到刻蝕、清洗的目的。
[0003]在這一過(guò)程中，因?yàn)榭涛g機(jī)內(nèi)部填充的原液是具有揮發(fā)性的化學(xué)藥品，原液在反應(yīng)中極易揮發(fā)并凝結(jié)在刻蝕機(jī)的蓋板上，傳統(tǒng)的刻蝕機(jī)蓋板平行于刻蝕機(jī)槽體設(shè)計(jì)，當(dāng)蓋板上凝結(jié)的原液足夠多時(shí)，就會(huì)在太陽(yáng)能電池片刻蝕過(guò)程中滴落到太陽(yáng)能電池的正面，而造成太陽(yáng)能電池的報(bào)廢。為了避免這種現(xiàn)象的產(chǎn)生，在生產(chǎn)過(guò)程中通常采用的做法是刻蝕機(jī)使用一段時(shí)間后，取下蓋板擦拭干凈原液后繼續(xù)使用，既導(dǎo)致了生產(chǎn)效率的極度低下，又縮短了刻蝕機(jī)的使用壽命，并且造成了原液的極大浪費(fèi)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，提供一種設(shè)計(jì)合理，提高生產(chǎn)效率，延長(zhǎng)使用壽命，提高原液利用率，可自動(dòng)回流原液的用于太陽(yáng)能電池基片刻蝕的的等離子體刻蝕機(jī)。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所述的一種用于太陽(yáng)能電池基片刻蝕的等離子體刻蝕機(jī)，包括刻蝕機(jī)主體和電池片入口，其特征在于:所述刻蝕機(jī)主體頂部中間位置設(shè)有平行與所述電池片入口的中間擋板;所述中間擋板的兩端分別垂直設(shè)有側(cè)面蓋板;所述刻蝕機(jī)主體平行于所述中間擋板的兩個(gè)頂邊上分別設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)槽;所述轉(zhuǎn)動(dòng)槽內(nèi)分別通過(guò)連接件活動(dòng)連接位于所述中間擋板兩側(cè)的蓋板;所述刻蝕機(jī)主體內(nèi)設(shè)有緊貼刻蝕機(jī)主體內(nèi)側(cè)壁的“日”字形引流槽。
[0006]所述中間擋板的高度大于等于所述刻蝕機(jī)主體長(zhǎng)度的二分之一，該中間擋板的寬度等于所述刻蝕機(jī)主體的寬度。
[0007]所述蓋板的蓋板外表面與連接蓋板內(nèi)表面的連接邊之間的夾角α為45°角。
[0008]所述引流槽的四個(gè)頂角上設(shè)有回流孔。
[0009]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0010]本實(shí)用新型由于采用上述結(jié)構(gòu)，揮發(fā)到蓋板、側(cè)面蓋板及中間擋板的原液最終沿板壁回落到引流槽內(nèi)，再通過(guò)回流孔回流到刻蝕機(jī)內(nèi)部，不用定期擦拭，可見(jiàn)，一種用于太陽(yáng)能電池基片刻蝕的等離子體刻蝕機(jī)，自動(dòng)回流原液，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，不僅大大提高了生產(chǎn)效率，而且延長(zhǎng)了機(jī)器使用壽命，提高了原液的利用效率。
【附圖說(shuō)明】

[0011 ]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0012]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)不意圖。
[0013]圖2為本實(shí)用新型蓋板示意圖。
[0014]圖中:1.刻蝕機(jī)主體，2.引流槽，3.轉(zhuǎn)動(dòng)槽，4.中間擋板，5.蓋板，6.連接件，7.蓋板外表面，8.側(cè)面蓋板，9.電池片入口，1.連接蓋板內(nèi)表面的連接邊。
【具體實(shí)施方式】
[0015 ]如圖1、2所示一種用于太陽(yáng)能電池基片刻蝕的等離子體刻蝕機(jī)，包括刻蝕機(jī)主體I和電池片入口 9，該刻蝕機(jī)主體I頂部中間位置設(shè)有平行與電池片入口 9的中間擋板4 ；中間擋板4的兩端分別垂直設(shè)有側(cè)面蓋板8;刻蝕機(jī)主體I平行于中間擋板4的兩個(gè)頂邊上分別設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)槽3 ；轉(zhuǎn)動(dòng)槽3內(nèi)分別通過(guò)連接件6活動(dòng)連接位于中間擋板4兩側(cè)的蓋板5 ；刻蝕機(jī)主體I內(nèi)設(shè)有緊貼刻蝕機(jī)主體內(nèi)側(cè)壁的“日”字形引流槽2。
[0016]上述中間擋板4的高度大于等于刻蝕機(jī)主體I長(zhǎng)度的二分之一，該中間擋板4的寬度等于刻蝕機(jī)主體I的寬度。
[0017]上述蓋板5的蓋板外表面7與連接蓋板內(nèi)表面的連接邊10之間的夾角α為45°角。
[0018]上述引流槽2的四個(gè)頂角上設(shè)有回流孔(圖中未畫(huà)出)。
[0019]太陽(yáng)能電池刻蝕前，先將蓋板5合在中間擋板4上，形成密閉環(huán)境;在太陽(yáng)能電池蝕刻的過(guò)程中，太陽(yáng)能電池在滾輪的作用下，勻速經(jīng)過(guò)刻蝕機(jī)主體I，在刻蝕機(jī)內(nèi)太陽(yáng)能電池背面與原液接觸，進(jìn)行反應(yīng)，揮發(fā)后的原液會(huì)在蓋板5內(nèi)表面、側(cè)面蓋板8和中間擋板4表面凝結(jié)，然后順著蓋板5內(nèi)表面、?面蓋板8和中間擋板4流向“日”字形回流槽2中，回流槽2中的原液再通過(guò)回流孔回流進(jìn)入刻蝕機(jī)內(nèi)部，進(jìn)行再利用；當(dāng)刻蝕機(jī)內(nèi)部需要檢修或添加反應(yīng)原液時(shí)，揭開(kāi)蓋板5即可。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于太陽(yáng)能電池基片刻蝕的等離子體刻蝕機(jī)，包括刻蝕機(jī)主體(I)和電池片入口(9)，其特征在于:所述刻蝕機(jī)主體(I)的頂部中間位置設(shè)有平行與所述電池片入口(9)的中間擋板(4);所述中間擋板(4)的兩端分別垂直設(shè)有側(cè)面蓋板(8);所述刻蝕機(jī)主體(I)平行于所述中間擋板(4)的兩個(gè)頂邊上分別設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)槽(3);所述轉(zhuǎn)動(dòng)槽(3)內(nèi)分別通過(guò)連接件(6)活動(dòng)連接位于所述中間擋板(4)兩側(cè)的蓋板(5);所述刻蝕機(jī)主體(I)內(nèi)設(shè)有緊貼刻蝕機(jī)主體內(nèi)側(cè)壁的“日”字形引流槽(2)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于太陽(yáng)能電池基片刻蝕的等離子體刻蝕機(jī)，其特征在于:所述中間擋板(4)的高度大于等于所述刻蝕機(jī)主體(I)長(zhǎng)度的二分之一，該中間擋板(4)的寬度等于所述刻蝕機(jī)主體(I)的寬度。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于太陽(yáng)能電池基片刻蝕的等離子體刻蝕機(jī)，其特征在于:所述蓋板(5)的蓋板外表面(7)與連接蓋板內(nèi)表面的連接邊(10)之間的夾角α為45°角。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于太陽(yáng)能電池基片刻蝕的等離子體刻蝕機(jī)，其特征在于:所述引流槽(2)的四個(gè)頂角上設(shè)有回流孔。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK205723585SQ201620364614
【公開(kāi)日】2016年11月23日
【申請(qǐng)日】2016年4月27日
【發(fā)明人】祁正榮, 張康
【申請(qǐng)人】酒泉職業(yè)技術(shù)學(xué)院