專利名稱：帶狀工件輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種帶狀工件的輸送裝置，具體來講，本發(fā)明涉及這樣一種帶狀工件的輸送裝置，在所述的曝光工序等中，在預(yù)定的每個(gè)圖形區(qū)域，重復(fù)進(jìn)行帶狀工件的輸送與停止。
背景技術(shù)：
為了在有機(jī)化合物薄膜、薄金屬等較長連續(xù)工件(通常長度大致為100m左右，其表面上涂有抗蝕劑及感光性聚亞胺之類的感光樹脂。以下稱為帶狀工件)上形成多個(gè)各種電子元件等，將卷成輥狀的帶狀工件牽引出，在每個(gè)預(yù)定的圖形區(qū)域(帶狀工件上的各曝光區(qū)域)停止輸送，在將掩模(マスク)與帶狀工件上的各曝光區(qū)域位置對(duì)準(zhǔn)后進(jìn)行使掩模圖形在工件上曝光的曝光工序。


圖1表示具有現(xiàn)有的帶狀工件輸送裝置的曝光裝置的示意性構(gòu)造圖。(例如，參照專利文獻(xiàn)1)下面，將參照?qǐng)D1，對(duì)現(xiàn)有帶狀工件的輸送裝置進(jìn)行說明。
圖1中所示裝置，將掩模M的掩模圖形像依次沿帶狀工件W的長度方向投影并曝光。
10表示光照射部，其內(nèi)部設(shè)置有超高壓水銀燈等那樣的有效放射紫外線的燈，用于反射從該燈放射的紫外線的反射鏡，透鏡，可切斷光路并自由開關(guān)的遮光體(シヤツタ)。
M表示形成掩模圖形的掩模，被設(shè)置在能夠被從照射部10發(fā)出的光照射的位置。
20表示投影透鏡，用于投影被照射的掩模M的掩模圖形的像。
30表示將帶狀工件W向其長度方向輸送的帶狀工件輸送裝置，每一步將帶狀工件W的一段輸送到掩模M的掩模圖形像的投影位置。這里，31a表示通過運(yùn)送輥驅(qū)動(dòng)部33(如后所述)的驅(qū)動(dòng)力進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的運(yùn)送輥，31b表示與運(yùn)送輥31a共同挾持帶狀工件W的按壓輥。另外，32a表示在帶狀工件上施加拉力以防止其波動(dòng)的拉緊輥，32b表示與拉緊輥32a共同挾持帶狀工件W的按壓輥。進(jìn)而，33表示通過控制部34的控制信號(hào)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的運(yùn)送輥驅(qū)動(dòng)部，34表示內(nèi)部安裝了CPU、控制帶狀工件的輸送裝置30和光照射部10的控制部。
專利文獻(xiàn)1第2777835號(hào)專利公報(bào)40表示工作臺(tái)，用于真空吸附并固持輸送到投影位置(工作臺(tái)40上)的帶狀工件W的一段。這里，工作臺(tái)40表面由經(jīng)過化學(xué)鍍鎳處理的鋁塊構(gòu)成，呈比被固持的帶狀工件W寬度稍大的大致正方形的形狀。
41表示工作臺(tái)40的固持帶狀工件的面上設(shè)置的多個(gè)開口，42表示連接接頭43和開口41的通氣道，43表示將供給的真空和干燥空氣及氮?dú)獾葰怏w輸送到通氣道42的接頭。
51表示真空泵等供給真空的真空供給機(jī)構(gòu)，52表示壓縮機(jī)等供給干燥空氣及氮?dú)獾葰怏w的供氣機(jī)構(gòu)，51v、52v表示通過控制部34控制其開關(guān)的真空管(バルブ)。
從而，吸附固持工件W用的真空，從真空供給機(jī)構(gòu)51經(jīng)過真空管51v，配管管道50b，50a，接頭43，通氣道42供給到開口41，干燥空氣及氮?dú)獾葰怏w從供氣機(jī)構(gòu)52經(jīng)過真空管52v，配管管道50c、50a，接頭43，通氣道42供給到開口41。
然后，帶狀工件的輸送及停止和對(duì)帶狀工件的曝光，按以下順序進(jìn)行。
1.將帶狀工件W的一段(在帶狀工件的長度方向上，例如為380mm左右)輸送到工作臺(tái)40上時(shí)，由控制部34向真空管51v發(fā)送真空管打開信號(hào)。
真空管51v打開時(shí)，從真空供給機(jī)構(gòu)51向開口41供給真空，帶狀工件W被吸附保持到工作臺(tái)40上。
2.然后，由控制部34向光照射部10發(fā)送開始曝光信號(hào)。
用于曝光的光通過掩模M和投影透鏡20按預(yù)定的曝光時(shí)間照射帶狀工件W，對(duì)掩模M上形成的掩模圖形進(jìn)行曝光。
3.曝光完成后，由控制部34向真空管51v發(fā)送真空管關(guān)閉信號(hào)。
真空管52v關(guān)閉，解除了工作臺(tái)40對(duì)帶狀工件W的固持(通過真空吸附進(jìn)行的固持)。
4.接著，由控制部34向真空管52v發(fā)送真空管打開信號(hào)。
真空管52v打開，從供氣機(jī)構(gòu)52向開口41供給干燥空氣(或者氮?dú)饧跋∮袣怏w)，通過工作臺(tái)40向帶狀工件W送出干燥空氣。
送出干燥空氣時(shí)，在運(yùn)送輥31a的位置上，通過運(yùn)送輥31a與按壓輥31b雖然帶狀工件W被固定，拉緊輥32a與按壓輥32b是所謂的從動(dòng)輥，通過由帶狀工件W浮起產(chǎn)生的張力，拉緊輥32a與按壓輥32b稍稍旋轉(zhuǎn)使帶狀工件W松弛。
從而，帶狀工件W通過從開口41送出的干燥空氣的壓力松弛的同時(shí)，從工作臺(tái)40浮起。
5.為了將帶狀工件W的下一段輸送到工作臺(tái)40上，由控制部34向運(yùn)送輥驅(qū)動(dòng)部33發(fā)送開始驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
運(yùn)送輥驅(qū)動(dòng)部33開始驅(qū)動(dòng)(運(yùn)送輥31開始旋轉(zhuǎn))，帶狀工件W在沒有穿孔的情況下通過與運(yùn)送輥31a的摩擦進(jìn)行輸送，在有穿孔的情況下通過運(yùn)送輥31a上設(shè)置的鏈輪(未圖示)進(jìn)行輸送。
再者，帶狀工件W從工作臺(tái)40浮起的狀態(tài)下，進(jìn)行帶狀工件W的輸送，是為了防止帶狀工件W的內(nèi)表面與工作臺(tái)摩擦產(chǎn)生擦傷。
但是，近年來，作為帶狀工件W開始使用具有多個(gè)切孔的、及柔軟易變形的工件。
然而，如圖1所示，通過現(xiàn)有輸送裝置30的工作臺(tái)40來真空吸附固持具有多個(gè)切孔的帶狀工件W時(shí)，在工作臺(tái)40上設(shè)置的開口41與所述切孔有多個(gè)一致的情況下，真空吸附力變得不足而很難固持帶狀工件W，在想真空吸附固持易變形的帶狀工件W時(shí)，開口41部分的帶狀工件W被吸引而變形，從而引起曝光不良等問題。
這里，作為這種可以真空吸附固持帶狀工件W的工作臺(tái)如圖2所示。
圖2表示了帶狀工件的固持面由多孔的金屬燒結(jié)體形成的工作臺(tái)的截面構(gòu)造。
圖2所示的工作臺(tái)60具備被連接到輸送裝置30的接頭43的中空部60a(中空部60a由金屬燒結(jié)體61與將該金屬燒結(jié)體設(shè)置于其一側(cè)面的箱體62形成)，位于其上方的帶狀工件W的固持面由被成形為平板狀的多孔金屬燒結(jié)體61(例如將SUS304相當(dāng)物或SUS316L相當(dāng)物等由粒狀金屬高溫?zé)潭?形成。
所述工作臺(tái)60，工件W的固持面由多孔的金屬燒結(jié)體61形成，由此，通過在該金屬燒結(jié)階段生成的內(nèi)部連續(xù)空孔(以下稱為連續(xù)氣孔)，使中空部60a與金屬燒結(jié)體61的上方空間區(qū)域處于連通狀態(tài)。
從而，將所述工作臺(tái)60替換現(xiàn)有輸送裝置30的工作臺(tái)40使用的情況下，用于吸附固持工件W的真空和使工件W浮起的干燥空氣經(jīng)過配管管道50a、接頭43、中空部60a供給到金屬燒結(jié)體61上形成的多個(gè)連續(xù)氣孔。
而且，所述工作臺(tái)60具有以下優(yōu)點(diǎn)，金屬燒結(jié)體61表面的空孔部面積很大從而可以得到很大的真空吸附力，即使對(duì)具有多個(gè)切孔的帶狀工件W，也可以無位置偏差的進(jìn)行固持，另外因?yàn)槭峭ㄟ^金屬燒結(jié)體61表面的多個(gè)細(xì)微空孔來真空吸附帶狀工件W，所以即使真空吸附柔軟易變形的工件，也不會(huì)產(chǎn)生變形。
然而，將所述工作臺(tái)60替換現(xiàn)有輸送裝置30的工作臺(tái)40，在輸送帶狀工件W時(shí)，通過工作臺(tái)60的金屬燒結(jié)體將干燥空氣送向帶狀工件W時(shí)，會(huì)產(chǎn)生在帶狀工件W由內(nèi)表面上附著數(shù)μm大小的細(xì)微的粒子等問題。
基于以上事實(shí)，本發(fā)明的目的是提供一種帶狀工件的輸送裝置，其具備帶狀工件的固持面由多孔的燒結(jié)體形成的工作臺(tái)，在該輸送裝置，即使將帶狀工件浮起的干燥空氣(或者氮?dú)夂拖∮袣怏w)由工作臺(tái)向帶狀工件送出，在帶狀工件上也不會(huì)附著粒子。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的發(fā)明人確認(rèn)，僅限于介由工作臺(tái)60的金屬燒結(jié)體61向帶狀工件W送出干燥空氣的情況下，在帶狀工件W的內(nèi)表面附著粒子的情況，進(jìn)行了以下考察。
即，為將帶狀工件W固持在工作臺(tái)60上，向工作臺(tái)的中空部60a供給真空，則介由金屬燒結(jié)體可以真空吸附固持帶狀工件W。
這時(shí)，金屬燒結(jié)體61周圍及空氣中如存在粒子，這些粒子被吸附到金屬燒結(jié)體61上，如上所述，金屬燒結(jié)體61具有多個(gè)細(xì)微空孔，因此由于過濾的作用，在金屬燒結(jié)體61表面及內(nèi)部留有粒子。
然后，因?yàn)橐_始帶狀工件的輸送，介由金屬燒結(jié)體向帶狀工件W送出干燥空氣時(shí)，金屬燒結(jié)體61的表面及內(nèi)部留有的粒子與干燥空氣一起被送向帶狀工件W，附著在帶狀工件內(nèi)表面。
然而，本發(fā)明的發(fā)明人經(jīng)過上述考察，發(fā)現(xiàn)介由工作臺(tái)向帶狀工件W送出干燥空氣時(shí)，不介由金屬燒結(jié)體61送出干燥空氣，就可以防止粒子附著在帶狀工件W內(nèi)表面上，并基于此見解完成本發(fā)明。
即，本發(fā)明的依次輸送帶狀工件的帶狀工件輸送裝置具備工作臺(tái)，該工作臺(tái)的所述帶狀工件的固持面由多孔的燒結(jié)體形成；箱體，所述燒結(jié)體位于其一側(cè)面；氣體送出口，其被設(shè)置于所述燒結(jié)體或者燒結(jié)體周圍；其特征在于，僅向所述箱體供給真空，向所述氣體送出口中供給氣體。
根據(jù)本發(fā)明的帶狀工件輸送裝置具備所述帶狀工件的固持面由多孔的燒結(jié)體形成的工作臺(tái)，所述燒結(jié)體位于其一側(cè)面的箱體，被設(shè)置于所述燒結(jié)體或者燒結(jié)體周圍的氣體送出口；由于僅向所述箱體供給真空，向所述氣體送出口中供給氣體，因此，帶狀工件的真空吸附介由多孔燒結(jié)體形成的工作臺(tái)進(jìn)行，向帶狀工件的氣體送出，僅由氣體送出孔進(jìn)行。
附圖的簡要說明圖1是表示了具備現(xiàn)有帶狀工件輸送裝置的曝光裝置的示意性構(gòu)造圖；圖2是表示了由多孔金屬燒結(jié)體形成帶狀工件的固持面的工作臺(tái)的截面構(gòu)造圖；圖3是表示了具備本發(fā)明實(shí)施例的帶狀工件輸送裝置的曝光裝置的示意性構(gòu)造圖；圖4是表示了本發(fā)明實(shí)施例的帶狀工件輸送裝置的工作臺(tái)的截面構(gòu)造圖；圖5是表示了本發(fā)明實(shí)施例的帶狀工件輸送裝置的其他工作臺(tái)的截面構(gòu)造圖。
符號(hào)的說明10光照射部；20投影透鏡；30，300帶狀工件輸送裝置；31a輸送輥；31b，32b按壓輥；40，60，70，80工作臺(tái)；33輸送輥驅(qū)動(dòng)部；34，340控制部；32a拉緊輥；41開口；42通氣道；43，431，432接頭；50a，50b，50c，500a，500b配管管道；51真空供給機(jī)構(gòu)；51v，52v真空管；52供氣機(jī)構(gòu)；60a，70a，80a中空部；61，71，81金屬燒結(jié)體；62，72，82箱體；M掩模；71a，81a貫穿孔；73，83金屬配管；W帶狀工件；發(fā)明的
具體實(shí)施例方式
圖3是表示了具備本發(fā)明實(shí)施例的帶狀工件輸送裝置的曝光裝置的示意性構(gòu)造圖，圖4是表示了本發(fā)明實(shí)施例的帶狀工件輸送裝置的工作臺(tái)的截面構(gòu)造圖。
上圖中，與圖1、2中相同的構(gòu)件使用同一符號(hào)表示。
參照?qǐng)D3、4就本發(fā)明實(shí)施例的帶狀工件輸送裝置進(jìn)行說明。
300表示將帶狀工件W向其長度方向輸送的本發(fā)明實(shí)施例的帶狀工件輸送裝置，340表示內(nèi)裝CPU、控制帶狀工件的輸送與曝光的控制部。
另外，70表示工作臺(tái)，用于真空吸附固持被輸送到掩模圖形的投影位置(工作臺(tái)70上)的帶狀工件的一段(帶狀工件W上的各曝光區(qū)域)。
這里，如圖4所示，工作臺(tái)70具備被連接到輸送裝置300的接頭431的中空部70a(中空部70a由金屬燒結(jié)體71與其一側(cè)面具有該金屬燒結(jié)體71的箱體72形成)，位于其上方的帶狀工件W的固持面由被成形為平板狀的多孔金屬燒結(jié)體71(例如將SUS304相當(dāng)物與SUS316L相當(dāng)物等由粒狀金屬高溫?zé)潭桑恍纬稍诠ぜ的固持面上的空孔換算成圓時(shí)的平均直徑為φ0.1mm～φ0.15mm，并以1000個(gè)/cm2～1500個(gè)/cm2的范圍而被形成，以使得所述空孔在工件固持面上的開口率為10％～20％)形成。
另外，所述中空部70a中設(shè)有連接配管管道500a的接頭431，通過真空管51V，可以從真空供給機(jī)構(gòu)51向中空部70a供給真空。
并且，所述平板狀金屬燒結(jié)體71的表面上，大致平均的設(shè)置有多個(gè)作為氣體送出口的口徑φ1mm左右的貫穿孔71a，各貫穿孔71a中，分別嵌入被分支的金屬配管73的一端。另外，金屬配管73的另一端上設(shè)置有連接著配管管道500b的接頭432，通過真空管52v將從供氣機(jī)構(gòu)52供給的干燥空氣供給到各貫穿孔71a。
從而，用于吸附固持工件W的真空，從真空供給機(jī)構(gòu)51經(jīng)過配管管道500a，接頭431，中空部70a被供給到金屬燒結(jié)體71上形成的多個(gè)連續(xù)氣孔中，使工件W浮起的干燥空氣，從供氣機(jī)構(gòu)52經(jīng)過配管管道500b、接頭432，金屬配管73被供給到各貫穿孔71a。
另外，金屬配管73雖被設(shè)置在中空部70a內(nèi)部，但因?yàn)榍度敫髫灤┛?1a中，不會(huì)將供給到貫穿孔71a的干燥空氣泄漏到中空部70a中?？傊錁?gòu)造不會(huì)將從供氣機(jī)構(gòu)52供給的干燥氣體通過燒結(jié)體71中形成的多個(gè)連續(xù)氣孔吹向工作臺(tái)70的外部。
而且，所述實(shí)施例中，揭示了將工作臺(tái)70的帶狀工件W的保持面由金屬制的多孔燒結(jié)體(金屬燒結(jié)體71)形成的情況，而在金屬燒結(jié)體以外，例如由聚乙烯樹脂、聚丙烯樹脂、氟樹脂制成的燒結(jié)樹脂，及氧化鋁成分、碳化硅成分制成的多孔陶瓷等，由這些也可以形成帶狀工件W的固持面。
但是，在所述實(shí)施例的情況下，具有加工順序的限制(研磨金屬燒結(jié)體71的表面之前將金屬配管73嵌入到貫穿孔71a。(為了以良好的平面度制成金屬燒結(jié)體71的表面)，隨著這個(gè)限制，燒結(jié)體(在所述實(shí)施例的情況下為金屬燒結(jié)體71)和配管管道(在所述實(shí)施例的情況下為金屬配管73)的熱膨脹系數(shù)要大致相同，必須選擇各自的材料。(研磨燒結(jié)體表面時(shí)，燒結(jié)體與配管變得溫度很高，雙方熱膨脹系數(shù)不一樣時(shí)，加工后在隨著溫度降低的收縮中產(chǎn)生差異，這是使燒結(jié)體表面平面度惡化的主要原因)然后，本發(fā)明實(shí)施例中帶狀工件輸送裝置的其他工作臺(tái)的截面構(gòu)造如圖5所示。
圖5所示的工作臺(tái)80如圖3中所示那樣，具備被連接到輸送裝置300的接頭431的中空部80a(中空部80a由金屬燒結(jié)體81與其一側(cè)面設(shè)有該金屬燒結(jié)體81的箱體82形成)，位于其上方的帶狀工件W的固持面呈平板狀，由多孔的金屬燒結(jié)體81形成。
另外，所述中空部80a中設(shè)有連接配管管道500a的接頭431，通過真空管51V，可以從真空供給機(jī)構(gòu)51向中空部80a供給真空。
并且，在所述平板狀金屬燒結(jié)體81的周圍，設(shè)置有多個(gè)作為氣體送出口的、內(nèi)徑φ1mm左右的金屬配管83，各金屬配管83的一端81a朝向帶狀工件W的內(nèi)表面。另外，金屬配管83的另一端設(shè)置有連接著配管管道500b的接頭432，通過真空管52v將從供氣機(jī)構(gòu)52供給的干燥空氣供給到各金屬培管83的一端81a。
從而，所述工作臺(tái)80中，用于吸附固持工件W的真空，從真空供給機(jī)構(gòu)51介由配管管道500a、接頭431、中空部80a被供給到金屬燒結(jié)體81上形成的多個(gè)連續(xù)氣孔中，使工件W浮起的干燥空氣，從供氣機(jī)構(gòu)52介由配管管道500b、接頭432被供給到金屬配管83的一端81a。
另外，金屬配管83由被設(shè)置在金屬燒結(jié)體81的周圍，不會(huì)將供給到金屬配管83的一端81a的干燥空氣泄漏到中空部80a中?？傊錁?gòu)造不會(huì)將從供氣機(jī)構(gòu)52供給的干燥氣體通過燒結(jié)體81上形成的多個(gè)連續(xù)氣孔吹向工作臺(tái)80的外部。
而且，所述實(shí)施例中，雖揭示了將工作臺(tái)80的帶狀工件W的保持面由金屬制多孔燒結(jié)體(金屬燒結(jié)體81)形成的情況，但在金屬燒結(jié)體以外，例如由聚乙烯樹脂、聚丙烯樹脂、氟樹脂制成的燒結(jié)樹脂，及氧化鋁成分、碳化硅成分制成的多孔陶瓷等，也可以形成帶狀工件W的固持面。
然后，就帶狀工件的輸送、停止及向帶狀工件的曝光的順序進(jìn)行說明。
1.將帶狀工件W的一段(在帶狀工件的長度方向上，例如為380mm左右)輸送到工作臺(tái)70(80)上時(shí)，由控制部340向真空管51v發(fā)送真空管打開信號(hào)。
真空管51v打開時(shí)，從真空供給機(jī)構(gòu)51經(jīng)過中空部70a(80a)向金屬燒結(jié)體71(81)上形成的多個(gè)連續(xù)氣孔中供給真空，帶狀工件W被吸附保持在工作臺(tái)70(80)上。
2.然后，由控制部340向光照射部10發(fā)送開始曝光信號(hào)。
用于曝光的光通過掩模M和投影透鏡20按預(yù)定的曝光時(shí)間照射帶狀工件W，對(duì)掩模M上形成的掩模圖形進(jìn)行曝光。
3.曝光完成后，由控制部340向真空管51v發(fā)送真空管關(guān)閉信號(hào)。
真空管51v關(guān)閉，解除工作臺(tái)70(80)對(duì)帶狀工件W的固持(通過真空吸附進(jìn)行的固持)。
4.接著，由控制部340向真空管52v發(fā)送真空管打開信號(hào)。
真空管52v打開，從供氣機(jī)構(gòu)52經(jīng)由金屬配管73(83)向各貫穿孔71a(金屬配管83的一端81a)供給干燥空氣(或者氮?dú)饧跋∮袣怏w)，通過工作臺(tái)70(80)向帶狀工件W送出干燥空氣。
帶狀工件W通過從金屬燒結(jié)體71(81)上形成的多個(gè)連續(xù)氣孔送出的干燥空氣的壓力而松弛的同時(shí)，從工作臺(tái)70(80)浮起。
5.為了將帶狀工件W的下一段輸送到工作臺(tái)70(80)上，由控制部340向運(yùn)送輥驅(qū)動(dòng)部33發(fā)送開始驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
運(yùn)送輥驅(qū)動(dòng)部33開始驅(qū)動(dòng)(運(yùn)送輥31a開始旋轉(zhuǎn))，帶狀工件W以從工作臺(tái)70(80)浮起的狀態(tài)被輸送。
下面，將就本發(fā)明實(shí)施例的作用和效果進(jìn)行說明。
根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的帶狀工件W輸送裝置，吸附固持工件W用的真空，從真空供給機(jī)構(gòu)51經(jīng)由配管管道500a、接頭431、中空部70a(80a)被供給到金屬燒結(jié)體71(81)上形成的多個(gè)連續(xù)氣孔中，使工件W浮起的干燥空氣從供氣機(jī)構(gòu)52經(jīng)由配管管道500b、接頭432、金屬配管73(83)被供給到各貫穿孔71a(金屬配管83的一端81a)。
另外，其構(gòu)造不會(huì)將從供氣機(jī)構(gòu)52供給的干燥氣體通過燒結(jié)體71(81)上形成的多個(gè)連續(xù)氣孔而吹向工作臺(tái)70(80)的外部。
從而，為了開始帶狀工件W的輸送，即使介由金屬燒結(jié)體71(81)向帶狀工件W送出干燥空氣，也不會(huì)產(chǎn)生在帶狀工件W被真空吸附時(shí)留在金屬燒結(jié)體71(81)表面與內(nèi)部的粒子和干燥空氣一起送向帶狀工件W，并附著在帶狀工件內(nèi)表面的問題。
但是，工作臺(tái)80中，僅在金屬燒結(jié)體81的周圍設(shè)置金屬配管83。從而，在帶狀工件W的吸附面積較大(金屬燒結(jié)體81的面積較大)的情況下，即使將使帶狀工件W浮起的干燥空氣向帶狀工件W送出，帶狀工件W的中央部位也會(huì)垂下，輸送工件W時(shí)，恐怕會(huì)因?yàn)楣ぜ與金屬燒結(jié)體81摩擦而產(chǎn)生擦傷。
另一方面，工作臺(tái)70中，使帶狀工件浮起的干燥空氣通過在燒結(jié)體71上大致均勻設(shè)置的多個(gè)貫穿孔71a而被送出。從而，即使在帶狀工件W的吸附面積較大(金屬燒結(jié)體81的面積較大)的情況下，輸送工件W時(shí)，向燒結(jié)體71上的工件W整體送出空氣而使其處于從燒結(jié)體71浮起的狀態(tài)，因而不會(huì)使工件W因?yàn)榕c金屬燒結(jié)體71摩擦而產(chǎn)生擦傷。
如以上所述，本發(fā)明提供一種帶狀工件輸送裝置，其具備帶狀工件的固持面由多孔燒結(jié)體形成的工作臺(tái)，在該帶狀工件的輸送裝置中，即使使帶狀工件浮起的干燥空氣(或者氮?dú)饧跋∮袣怏w)從工作臺(tái)向帶狀工件送出，也不會(huì)使粒子附著在帶狀工件上。
權(quán)利要求
1.一種帶狀工件輸送裝置，其是依次輸送帶狀工件的帶狀工件輸送裝置，其特征在于，具備工作臺(tái)，該工作臺(tái)的所述帶狀工件的固持面由多孔的燒結(jié)體形成；箱體，在其一側(cè)面具有所述燒結(jié)體；氣體送出口，被設(shè)置于所述燒結(jié)體或者燒結(jié)體周圍；向所述箱體供給真空，向所述氣體送出口僅供給氣體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種帶狀工件輸送裝置，其目的是即使使帶狀工件浮起的干燥空氣(或者氮?dú)饧跋∮袣怏w)從工作臺(tái)向帶狀工件送出，也不會(huì)在帶狀工件上附著粒子。為達(dá)成此目的，本發(fā)明提供一種可以依次輸送帶狀工件的帶狀工件輸送裝置，其具備所述帶狀工件的固持面由多孔的燒結(jié)體形成的工作臺(tái)，所述燒結(jié)體位于其一側(cè)面的箱體，設(shè)置于所述燒結(jié)體或者燒結(jié)體周圍的氣體送出口，其特征在于，僅向所述箱體中供給真空，向所述氣體送出口中供給氣體。
文檔編號(hào)H01L21/027GK1497354SQ20031010121
公開日2004年5月19日 申請(qǐng)日期2003年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月9日
發(fā)明者高松大輔 申請(qǐng)人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社