專利名稱：測(cè)試插件用襯底的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)量LSI芯片等半導(dǎo)體器件的各種電氣特性的測(cè)試插件的襯底。
背景技術(shù)：
以往的測(cè)試插件用襯底的結(jié)構(gòu)如圖4所示，設(shè)有備有與檢測(cè)半導(dǎo)體器件用測(cè)量?jī)x器相接觸的第1連接電極3′的第1主面1a′和有依靠配線與該第1連接電極通導(dǎo)的第2連接電極4′的第2主面1b′的主襯底1′，備有與被檢測(cè)對(duì)象物(半導(dǎo)體器件)接觸的測(cè)頭相連接的的第4連接電極6′的第2主面2b′和有依靠配線與該第4連接電極4′通導(dǎo)的第3連接電極5′的第1主面2a′的副襯底2′，主襯底1′與副襯底2′之間設(shè)有中間襯底7′，一端從中間襯底7′朝向主襯底1′的第2連接電極4′與其接觸、另一端朝向副襯底2′的第3連接電極5′與其接觸并呈“く”字形的連接卡9′。
然而，采用這種測(cè)試插件用襯底，當(dāng)連接卡9′一端與主襯底1′的第2連接電極4′接觸、另一端與副襯底2′的第3連接電極5′接觸時(shí)，作為彼此相對(duì)的兩個(gè)電極間導(dǎo)電的導(dǎo)電元件的連接卡9′和支撐連接卡9′的支持襯底7′，在結(jié)構(gòu)上至少存在兩個(gè)通電吸附的點(diǎn)，即連接卡9′的一前端與主襯底1′的第2主面接觸的部位及連接卡9′的另一前端與副襯底2′的第1主面接觸的部位，因此，存在有各端難以正常地接觸、電氣穩(wěn)定性降低、容易產(chǎn)生接觸電阻使整體導(dǎo)電不良的問(wèn)題。而且，由于彎曲形成的連接卡9′在變長(zhǎng)、方向、傾斜等不正常的狀態(tài)下被支持襯底7′支撐著，因此，出現(xiàn)了連接卡9′的前端位置不正確而造成多發(fā)導(dǎo)電不良的問(wèn)題。
例如，如果主襯底1′與副襯底2′之間的間隔過(guò)寬，則呈倒“く”字形、由細(xì)絲構(gòu)成的連接卡9′的兩端，分別與主襯底1′的第2連接電極4′、副襯底2′的第3連接電極5′之間不能形成足夠的接觸壓，從而造成產(chǎn)生接觸電阻、接觸不穩(wěn)定、導(dǎo)電不良的原因。
反之，如果主襯底1′與副襯底2′之間的間隔過(guò)窄，則呈倒“く”字形、由細(xì)絲構(gòu)成的連接卡9′的兩端，彎曲程度大而前端位置不穩(wěn)定，就有可能分別脫離與主襯底1′的第2連接電極4′接觸的接觸范圍、副襯底2′的第3連接電極5′接觸的接觸范圍，此時(shí)也不能滿足應(yīng)保持的接觸，形成導(dǎo)電不良的原因。
還有，不論主襯底1′與副襯底2′之間的間隔如何，作為細(xì)絲構(gòu)成的連接卡9′所造成的線路電阻經(jīng)常存在，構(gòu)成發(fā)生導(dǎo)電不良的原因。而且，由于采用的細(xì)絲結(jié)構(gòu)，因此受到振動(dòng)或沖擊也容易出現(xiàn)接觸不良。
發(fā)明專利內(nèi)容因此，本發(fā)明是為了解決以往的測(cè)試插件用襯底存在課題的內(nèi)容，本發(fā)明的目的在于提供可以抑制主襯底與副襯底之間接觸不良、具有電氣接觸穩(wěn)定性高、可靠性高的測(cè)試插件用襯底。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的測(cè)試插件用襯底，是由與檢測(cè)半導(dǎo)體器件的測(cè)量?jī)x器接觸的主襯底、安裝有與半導(dǎo)體器件接觸的測(cè)頭的副襯底、使二者通電的導(dǎo)電元件組成的測(cè)試插件用襯底；其結(jié)構(gòu)是主襯底和副襯底固定連接，主襯底與副襯底相對(duì)的面上的電極與副襯底與主襯底相對(duì)的面上的電極之間通電。
同時(shí)，為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的測(cè)試插件用襯底，是由與檢測(cè)半導(dǎo)體器件的測(cè)量?jī)x器接觸的主襯底、安裝有與半導(dǎo)體器件接觸的測(cè)頭的副襯底、使二者通電的導(dǎo)電元件組成的測(cè)試插件用襯底；主襯底與副襯底相對(duì)的面上的電極和副襯底與主襯底相對(duì)的面上的電極之間，采用導(dǎo)電材料保持電氣連接。
而且，為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的測(cè)試插件用襯底，是由與檢測(cè)半導(dǎo)體器件的測(cè)量?jī)x器接觸的主襯底、安裝有與半導(dǎo)體器件接觸的測(cè)頭的副襯底、使二者通電的導(dǎo)電元件組成的測(cè)試插件用襯底，主襯底和副襯底之間采用電氣絕緣的粘合劑進(jìn)行固定連接。
并且，為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的測(cè)試插件用襯底的結(jié)構(gòu)，主襯底做成圓形或橢圓形形狀，副襯底做成圓形、橢圓形或方形形狀。
進(jìn)而，為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的測(cè)試插件用襯底，其結(jié)構(gòu)是上述副襯底不與主襯底相對(duì)的面上設(shè)有多個(gè)插孔，被檢測(cè)對(duì)象物的插頭能夠插入該副襯底的插孔內(nèi)。


圖1表示本發(fā)明實(shí)施例的斷面結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。
圖2表示本發(fā)明其他實(shí)施例的斷面結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。
圖3表示本發(fā)明襯底的其他實(shí)施例的說(shuō)明圖。
圖4表示以往的測(cè)試插件用襯底的斷面結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。
符號(hào)說(shuō)明A 測(cè)試插件1、1′ 主襯底1a、1a′主襯底的第1主面1b、1b′主襯底的第2主面2、2′ 副襯底2a、2a′副襯底的第1主面2b、2b′副襯底的第2主面3、3′ 第1連接電極4、4′ 第2連接電極5、5′ 第3連接電極6、6′ 第4連接電極7′ 中間襯底8 通孔9、9′ 連接卡10 導(dǎo)電材料11 粘合劑12 插孔21 第1副襯底22 第2副襯底23 第6連接電極218 第1副襯底用通孔228 第2副襯底用通孔具體實(shí)施方式
下面，根據(jù)附圖就本發(fā)明的實(shí)施例做一說(shuō)明。
附圖中，圖1為表示本發(fā)明實(shí)施例的斷面結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖，圖2為表示本發(fā)明其他實(shí)施例的斷面結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖，圖3為表示本發(fā)明其他實(shí)施例的斷面結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖，圖4為表示以往的測(cè)試插件用襯底的斷面結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。
如圖1所示，測(cè)試插件A由備有與測(cè)試儀等檢測(cè)半導(dǎo)體器件用測(cè)量?jī)x器(圖示省略)電氣接觸的多個(gè)第1連接電極3，3的主襯底1、備有與被控測(cè)對(duì)象物(半導(dǎo)體器件，圖示省略)電氣接觸的多個(gè)第4連接電極6，6的副襯底2組成，該主襯底1與副襯底2之間，通過(guò)作為導(dǎo)電元件的導(dǎo)電材料10，10′保持通電。
如圖1所示，主襯底1在第1主面1a上裝有與上述測(cè)量?jī)x器(圖示省略)電氣接觸的多個(gè)第1連接電極3，3，在第2主面1b上裝有對(duì)于后述副襯底2保持通電的多個(gè)第2連接電極4，4，該第1連接電極3，3與第2連接電極4，4依靠主襯底1內(nèi)的配線維持導(dǎo)電。
主襯底1配置有第1主面1a的第1連接電極3，以使從第2主面1b的相鄰間隔窄的第2連接電極4向第1主面1a的相鄰間隔寬的第1連接電極3進(jìn)行間隔變換，與測(cè)量?jī)x器的電極保持電氣接觸。
主襯底1做成圓形或橢圓形形狀，按此形狀使第1主面1a的多個(gè)第1連接電極3的各配線線路的距離保持一定，抑制電阻的偏差。該主襯底1呈圓形或橢圓形形狀，但是也可做成近似于圓形或橢圓形形狀，，例如，也可做成八角形等多邊形、近乎圓形的形狀。
如圖1所示，副襯底2在與主襯底1的第2主面1b相對(duì)的第2主面1b上裝有多個(gè)第3連接電極5，5，在第2主面2b上裝有與被檢測(cè)對(duì)象物的電極(圖示省略)接觸的多個(gè)第4連接電極6，6，該第3連接電極5與第4連接電極6之間通過(guò)有導(dǎo)電性鍍層的通孔8導(dǎo)電。
該副襯底2上設(shè)有由貫穿襯底2內(nèi)的多個(gè)導(dǎo)電性鍍層組成的通孔8，通孔8的上端與副襯底2的第3連接電極5通電，其下端與副襯底2的第4連接電極6通電。
副襯底2可有如圖2所示結(jié)構(gòu)由第1副襯底21和第2副襯底22兩層組成，在各副襯底上錯(cuò)開(kāi)位置分別設(shè)置第1副襯底用通孔218和第2副襯底用通孔228，該第1副襯底用通孔218和第2副襯底用通孔228依靠第6連接電極23導(dǎo)電。
從而，通過(guò)將副襯底2做成兩層，使副襯底2內(nèi)的兩個(gè)通孔218、228的位置錯(cuò)開(kāi)，當(dāng)從主襯底1的第1連接電極3向副襯低2第4連接電極6進(jìn)行間隔變換時(shí)，在副襯底2內(nèi)可以進(jìn)行兩級(jí)間隔變換，因此，與直接借助一個(gè)通孔從主襯底1進(jìn)行間隔變換相比，可以將主襯底1中的集中配線分散于副襯底2，可以減輕主襯底1的配線負(fù)荷。而且，該副襯底2，在圖2中做成有第1副襯底21和第2副襯底22的兩層，但是也可做成三層。
雖然副襯底2做成圓形或橢圓形形狀，但是也可以如圖3所示那樣，根據(jù)被檢測(cè)對(duì)象物(，圖示省略)的形狀做成長(zhǎng)方形形狀；如果根據(jù)被檢測(cè)對(duì)象物(圖示省略)的形狀，也可以做成立方形或三角形、五角形等各種異型、方形形狀。
副襯底2也可按照組合法制作，通過(guò)在每一層絕緣襯底上形成絕緣層，制作導(dǎo)體電路圖案，層間疊加導(dǎo)體層進(jìn)行連接，實(shí)現(xiàn)多層化。
如圖1所示，主襯底1的第2主面1b的第2連接電極4，4與副襯底2的第1主面2a的第3連接電極5，5之間，通過(guò)釬焊、導(dǎo)電性樹(shù)脂等導(dǎo)電材料10，10通電。由于使用該導(dǎo)電材料10，10，接觸電阻和線路電阻都減少到可以忽略，可以大大提高主襯底1與副襯底2之間的電氣接觸的穩(wěn)定性。
該主襯底1與副襯底2，在主襯底1的第2主面1b與相對(duì)的副襯底2的第1主面2a之間，除作為導(dǎo)電元件的導(dǎo)電材料10，10以外，填充絕緣性樹(shù)脂材料的粘合劑11，使主襯底1與副襯底2固定連接，在導(dǎo)電的同時(shí)，電極以外的部分絕緣。
該主襯底1的第2主面1b與副襯底2的第1主面2a之間，通過(guò)采用電氣絕緣的粘合劑11實(shí)現(xiàn)固定連接的結(jié)構(gòu)，主襯底1與副襯底2間的位置關(guān)系穩(wěn)定，可以提高依靠導(dǎo)電材料10，10實(shí)現(xiàn)的、主襯底1的第2連接電極4，4與副襯底2的第3連接電極5，5之間的電氣接觸穩(wěn)定性，進(jìn)而，提高二者為一體的測(cè)試插件的機(jī)械強(qiáng)度，進(jìn)一步提高反復(fù)使用的耐久性。
圖3表示襯底的另一實(shí)施例，在呈圓形的主襯底1的第2主面1b上，配置有呈四角形的副襯底2，在主襯底1與副襯底2二者之間的各電極(圖示省略)間布線，該副襯底2上設(shè)有多個(gè)插孔12，12，該主襯底1與副襯底2之間通過(guò)導(dǎo)電材料10通導(dǎo)，在主襯底1與副襯底2之間，除導(dǎo)電材料10，10外，填充絕緣性樹(shù)脂材料的粘合劑11進(jìn)行固定，被檢測(cè)對(duì)象物(圖示省略)的插頭(圖示省略)能夠插入副襯底2上的插孔12內(nèi)，也可利用形狀不同的被檢測(cè)對(duì)象物。
以上就本發(fā)明的代表性實(shí)施事例做了說(shuō)明，但是，本發(fā)明并非僅限定于這些實(shí)施事例的結(jié)構(gòu)；只要具備本發(fā)明所述的構(gòu)成條件且能實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，在具備以下效果的范圍內(nèi)，就可以做適當(dāng)?shù)淖兏右詫?shí)施。
發(fā)明的效果上述說(shuō)明已經(jīng)表明，本發(fā)明的測(cè)試插件用襯底的結(jié)構(gòu)，是由與檢測(cè)半導(dǎo)體器件的測(cè)量?jī)x器接觸的主襯底、安裝有與半導(dǎo)體器件接觸的測(cè)頭的副襯底、使二者通電的導(dǎo)電元件組成的測(cè)試插件用襯底；主襯底和副襯底固定連接，主襯底與副襯底相對(duì)的面上的電極和副襯底與主襯底相對(duì)的面上的電極通電；因此，可以期待獲得明顯的效果電氣接觸的穩(wěn)定性高、可抑制主襯底和副襯底之間的接觸不良、可靠性高。
而且，本發(fā)明的測(cè)試插件用襯底的結(jié)構(gòu)，是由與檢測(cè)半導(dǎo)體器件的測(cè)量?jī)x器接觸的主襯底、安裝有與半導(dǎo)體器件接觸的測(cè)頭的副襯底、使二者通電的導(dǎo)電元件組成的測(cè)試插件用襯底；主襯底與副襯底相對(duì)的面上的電極和副襯底與主襯底相對(duì)的面上的電極之間采用導(dǎo)電材料進(jìn)行電氣連接；因此，接觸電阻和線路電阻都減少到可以忽略，可以大大提高電氣接觸的穩(wěn)定性，抑制襯底間的通電不良，確?？煽啃愿?。
還有，本發(fā)明的測(cè)試插件用襯底的結(jié)構(gòu)，是由與檢測(cè)半導(dǎo)體器件的測(cè)量?jī)x器接觸的主襯底、安裝有與半導(dǎo)體器件接觸的測(cè)頭的副襯底、使二者通電的導(dǎo)電元件組成的測(cè)試插件用襯底，主襯底與副襯底之間使用電氣絕緣的粘合劑進(jìn)行固定連接，因此，主襯底與副襯底間的位置關(guān)系穩(wěn)定，可以提高依靠導(dǎo)電材料的、主襯底與副襯底之間的電氣接觸穩(wěn)定性，可以確保高的可靠性。并且，可能提高二者為一體的測(cè)試插件的機(jī)械強(qiáng)度，進(jìn)一步提高反復(fù)使用時(shí)的耐久性。
而且，本發(fā)明的測(cè)試插件用襯底，將副襯底的形狀做成圓形、橢圓形或方形形狀，使其與被檢測(cè)對(duì)象物相符，將主襯底的形狀做成圓形或橢圓形形狀，至測(cè)量?jī)x器的配線等長(zhǎng)；因此，配線線路的距離保持一定，能夠抑制電阻的波動(dòng)，更準(zhǔn)確地進(jìn)行檢測(cè)。
再者，本發(fā)明的測(cè)試插件用襯底，由于采用了在副襯底上設(shè)有插孔、被檢測(cè)對(duì)象物的插頭能插入插孔的結(jié)構(gòu)，因此，就可能利用形狀各異的被檢測(cè)對(duì)象物。
權(quán)利要求
1.一種具有如下特點(diǎn)的測(cè)試插件用襯底是由與檢測(cè)半導(dǎo)體器件的測(cè)量?jī)x器接觸的主襯底、安裝有與半導(dǎo)體器件接觸的測(cè)頭的副襯底、使二者通電的導(dǎo)電元件組成的測(cè)試插件用襯底；該主襯底和該副襯底固定連接，該主襯底與副襯底相對(duì)的面上的電極和該副襯底與主襯底相對(duì)的面上的電極之間通電。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試插件用襯底，具有如下特點(diǎn)是由與檢測(cè)半導(dǎo)體器件的測(cè)量?jī)x器接觸的主襯底、安裝有與半導(dǎo)體器件接觸的測(cè)頭的副襯底、使二者通電的導(dǎo)電元件組成的測(cè)試插件用襯底；該主襯底與副襯底相對(duì)的面上的電極和該副襯底與主襯底相對(duì)的面上的電極之間，采用導(dǎo)電材料保持電氣連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的測(cè)試插件用襯底，具有如下特點(diǎn)是由與檢測(cè)半導(dǎo)體器件的測(cè)量?jī)x器接觸的主襯底、安裝有與半導(dǎo)體器件接觸的測(cè)頭的副襯底、使二者通電的導(dǎo)電元件組成的測(cè)試插件用襯底；該主襯底和該副襯底之間采用電氣絕緣的粘合劑進(jìn)行固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求3所述的測(cè)試插件用襯底，其特征是上述主襯底呈圓形或橢圓形形狀，上述副襯底呈圓形、橢圓形或方形形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求4所述的測(cè)試插件用襯底，其特征是上述副襯底不與主襯底相對(duì)的面上設(shè)有多個(gè)插孔，被檢測(cè)對(duì)象物的插頭能夠插入該副襯底的插孔內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供可以測(cè)量LSI芯片等半導(dǎo)體器件的各種電氣特性的測(cè)試插件的襯底。具有如下特征的測(cè)試插件用襯底是由與檢測(cè)半導(dǎo)體器件的測(cè)量?jī)x器接觸的主襯底、安裝有與半導(dǎo)體器件接觸的測(cè)頭的副襯底、使二者通電的導(dǎo)電元件組成的測(cè)試插件用襯底；該主襯底和該副襯底固定連接，該主襯底與副襯底相對(duì)的面上的電極和該副襯底與主襯底相對(duì)的面上的電極之間通電。
文檔編號(hào)H01L21/66GK1601717SQ200410070810
公開(kāi)日2005年3月30日 申請(qǐng)日期2004年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月12日
發(fā)明者中島雅成, 田中茂和 申請(qǐng)人:日本電子材料株式會(huì)社