專利名稱：支撐架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明提供一種支撐物品，特別是一種用來(lái)支撐曝光機(jī)的光軸傳輸管路的支撐架。
背景技術(shù)：
目前應(yīng)用于晶圓廠的高能曝光機(jī)，多半是將光源產(chǎn)生器等附屬機(jī)臺(tái)與步進(jìn)機(jī)(stepper)、掃描機(jī)(scanner)等主機(jī)工作機(jī)臺(tái)分開(kāi)置放，以避免工作人員或主機(jī)工作機(jī)臺(tái)遭受到光源產(chǎn)生器所產(chǎn)生的高溫、微粒(particles)、噪音(noise)、震動(dòng)(vibration)及高能輻射的影響，造成損害，而且因主機(jī)工作機(jī)臺(tái)必需放置在無(wú)塵室，以避免污染微粒，確保工藝良品率，然而無(wú)塵室的建構(gòu)成本昂貴，故現(xiàn)行的規(guī)劃方式大多是將曝光機(jī)的光源產(chǎn)生器與主機(jī)工作機(jī)臺(tái)分開(kāi)置放于不同樓層，以節(jié)省較多空間來(lái)放置更多主機(jī)工作機(jī)臺(tái)，進(jìn)而大幅降低廠務(wù)營(yíng)運(yùn)的成本。此外，分開(kāi)樓層放置的光源產(chǎn)生器與主機(jī)工作機(jī)臺(tái)間，除放置光軸傳輸管路與傳遞透鏡組(lens)外，仍會(huì)夾雜放置許多其它傳輸管路造成管路重迭的現(xiàn)象，因此，在曝光機(jī)的應(yīng)用方面，即需一支撐架，用以支撐設(shè)置于曝光機(jī)的光源產(chǎn)生器與主機(jī)工作機(jī)臺(tái)間的光軸傳輸管路并固定及置放機(jī)臺(tái)本身的電器線路與其它傳輸管路。
請(qǐng)參考圖1，圖1為傳統(tǒng)曝光機(jī)裝設(shè)位置的示意圖。如圖1所示，光源產(chǎn)生器110與主機(jī)工作機(jī)臺(tái)120分別放置于第一樓層130與第二樓層131，光源產(chǎn)生器110經(jīng)由一光軸傳輸管路140及透鏡組(未圖示)傳輸激光等曝光光源至主機(jī)工作機(jī)臺(tái)120，以供給主機(jī)工作機(jī)臺(tái)120足夠的曝光能量。而置于第一樓層130的光源產(chǎn)生器110與置于第二樓層131的曝光主機(jī)工作機(jī)臺(tái)120之間，除放置光軸傳輸管路140外，仍設(shè)置有許多機(jī)臺(tái)本身的電器線路150、151與其它傳輸管路(圖未示)。傳統(tǒng)支撐曝光機(jī)的結(jié)構(gòu)即利用一支撐板160與多個(gè)嵌合組件161、162，來(lái)支撐、固定及置放光軸傳輸管路140、機(jī)臺(tái)本身的電器線路150、151與其它傳輸管路。
然而，因上述的支撐板160與多個(gè)嵌合組件161、162大多是在廠房建構(gòu)完成的后才再架設(shè)上去，且置放光源產(chǎn)生器110與主機(jī)工作機(jī)臺(tái)120兩樓層間又具有會(huì)影響支撐板160架構(gòu)的其它傳輸管路，因此造成傳統(tǒng)技術(shù)的支撐結(jié)構(gòu)有支撐效果不佳與裝設(shè)不易等缺點(diǎn)，在有如地震、人為碰觸、施工等外在因素所造成的震動(dòng)情況下，非常容易受外力而發(fā)生偏移或扭曲，影響光軸傳輸管路140及透鏡組的設(shè)定位置，使得進(jìn)入主機(jī)工作機(jī)臺(tái)120的曝光光源有光軸偏移的現(xiàn)象產(chǎn)生，造成光源曝光強(qiáng)度及均勻性不佳，進(jìn)而影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的線寬(critical dimension，CD)及產(chǎn)能(throughput)。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種支撐架，用以支撐曝光機(jī)的光源產(chǎn)生器與主機(jī)工作機(jī)臺(tái)間的光軸傳輸管路，以解決上述傳統(tǒng)技術(shù)支撐光軸傳輸管路效果不佳的問(wèn)題。
而本發(fā)明的又一目的在于實(shí)時(shí)檢測(cè)光軸的偏移，一但當(dāng)光軸產(chǎn)生偏移時(shí)，便可迅速發(fā)出一警告信號(hào)，用以警告工作人員注意調(diào)整或直接暫停半導(dǎo)體工藝，以避免制造出品質(zhì)不佳的產(chǎn)品。
依據(jù)本發(fā)明的目的，本發(fā)明公開(kāi)一用來(lái)支撐曝光機(jī)的光軸傳輸管路的支撐架，其包括有至少一個(gè)設(shè)置于曝光機(jī)的光源產(chǎn)生器與主機(jī)工作機(jī)臺(tái)之間的H型鋼，用以支撐曝光機(jī)的光軸傳輸管路，至少一個(gè)設(shè)于H型鋼的第一部位的支撐組件，一設(shè)于H型鋼的第二部位的信號(hào)發(fā)射器，以及一設(shè)于H型鋼的第三部位的信號(hào)接收器，用來(lái)檢測(cè)光軸的偏移。
由于本發(fā)明利用H型鋼作為支撐架，因此具有剛性強(qiáng)、體積小、材料規(guī)格容易取得、安裝容易、且固定效果好等優(yōu)點(diǎn)，故能有效避免因外在震動(dòng)造成的支撐效果不佳而引起光軸偏移，進(jìn)而確保曝光光源能穩(wěn)定地進(jìn)入主機(jī)工作機(jī)臺(tái)。再者，本發(fā)明更利用信號(hào)發(fā)射器與信號(hào)接收器來(lái)對(duì)支撐架的結(jié)構(gòu)位置進(jìn)行一檢測(cè)機(jī)制，以在一發(fā)生光軸偏移的時(shí)候，便能立即產(chǎn)生一警告信號(hào)予工作人員或直接暫停曝光工藝，進(jìn)而避免因光軸偏移而制造出品質(zhì)不佳的產(chǎn)品，造成不必要的損失。此外，因本發(fā)明的H型鋼拆裝容易、組合機(jī)動(dòng)性高，故可減低管路重迭機(jī)會(huì)，以大幅節(jié)省移動(dòng)管路的時(shí)間。
為使更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征及技術(shù)內(nèi)容，以下即借由一實(shí)施方式來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。然而，以下所附的優(yōu)選實(shí)施方式及附圖僅供參考及說(shuō)明之用，而非用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。


圖1為傳統(tǒng)曝光機(jī)裝設(shè)位置的示意圖。
圖2為本發(fā)明的支撐架的立體示意圖。
圖3為如圖2所示的支撐架的側(cè)視圖。
圖4為本發(fā)明的支撐架的應(yīng)用示意圖。
圖5為本發(fā)明的支撐架的前視圖。
符號(hào)說(shuō)明

具體實(shí)施方式
請(qǐng)參考圖2、圖3與圖4，圖2為本發(fā)明的支撐架250的立體示意圖，圖3為圖2所示的支撐架250的側(cè)視圖，圖4為本發(fā)明的支撐架250的應(yīng)用示意圖。如圖2和圖3所示，支撐架250包括有多個(gè)平行設(shè)置的H型鋼260、261及支撐組件262～267，其中支撐組件262～267用以使H型鋼260、261與樓層固定接合，并支撐H型鋼260、261，舉例來(lái)說(shuō)，如圖4所示，多個(gè)支撐組件262～264的一端設(shè)于H型鋼260的第一部位，例如底端部，另一端設(shè)于樓層230的地板上，如此設(shè)計(jì)使得H型鋼260與樓層230可良好地固定接合，并有效地支撐H型鋼260。而上述的支撐組件262～267的數(shù)量及樣式更可視實(shí)際需求而為大小形狀不一、數(shù)量不等的組件，例如可為六個(gè)角支撐座，而角支撐座又可為L(zhǎng)型的角支撐座或直角三角形的角支撐座，用以固定H型鋼260、261于設(shè)置樓層230的地板上，而本發(fā)明的支撐組件的設(shè)置位置當(dāng)不僅限于上述的位置，亦可設(shè)置多個(gè)支撐組件(圖未示)，用來(lái)將H型鋼260、261固定于設(shè)置樓層的天花板上。
另外，支撐架250可另包括至少一如鉚釘或螺絲等的固定組件(圖未示)，用以將各H型鋼260、261與各支撐組件262～267固定連接，例如可透過(guò)鉚釘將該H型鋼260的底端部分別與支撐組件262～264的一端拴緊，以固定連接H型鋼260。
又如圖4所示，支撐架250更另可包括至少一個(gè)嵌合組件270、271及連接于二H型鋼之間的一固定板280、281，以嵌合光軸傳輸管路240與H型鋼260、261，然而本發(fā)明的嵌合組件270、271的結(jié)構(gòu)并不僅限于如圖4所示的結(jié)構(gòu)。接著，請(qǐng)參考圖5，圖5為本發(fā)明的支撐架的前視圖，如圖5所示，H型鋼260、261上設(shè)置有二個(gè)固定板280、281，其中固定板280、281可含有多個(gè)孔洞，透過(guò)嵌合組件270、271選擇嵌合固定板280、281上的孔洞，得以讓H型鋼260、261可以調(diào)整彼此之間的距離至適當(dāng)大小，以避開(kāi)機(jī)臺(tái)本身的電器線路與其它傳輸管路，并支撐光軸傳輸管路240。
此外，如圖3所示，本發(fā)明另有一信號(hào)發(fā)射器268設(shè)于H型鋼261的第二部位以及一與信號(hào)發(fā)射器268作用的信號(hào)接收器269設(shè)于H型鋼261的第三部位。其中，第二部位與第三部位分別位于H型鋼261的上方與下方，作為檢測(cè)H型鋼261的偏移、延展、扭曲等形變，進(jìn)而得以用來(lái)監(jiān)測(cè)固定于H型鋼260、261上的光軸傳輸管路240(如圖4所示)所可能產(chǎn)生的偏移。此外，并可使用上述的鉚釘或螺絲等固定組件來(lái)拴緊信號(hào)發(fā)射器268與H型鋼261或者拴緊信號(hào)接收器269與H型鋼261。而值得注意的是，本發(fā)明的信號(hào)發(fā)射器268與其相作用的信號(hào)接收器269不限于一組，且信號(hào)發(fā)射器268與信號(hào)接收器269所設(shè)置的第二部位與第三部位，并不局限位于同一H型鋼上，亦可分別各裝設(shè)于相異的H型鋼上，以檢測(cè)水平位置是否偏移，例如信號(hào)發(fā)射器268位于H型鋼261上而信號(hào)接收器269則設(shè)于H型鋼260同一水平面上。因此，當(dāng)H型鋼261或260因地震或其它外力發(fā)生形變或位移時(shí)，此時(shí)信號(hào)接收器269便會(huì)因接收不到信號(hào)發(fā)射器268所發(fā)送的訊號(hào)而可判知光軸產(chǎn)生偏移，進(jìn)而由電連接至信號(hào)接收器269的一控制單元發(fā)出一警告信號(hào)，用以警告工作人員來(lái)進(jìn)行檢查及校正的動(dòng)作，或直接傳輸至一控制訊號(hào)至曝光機(jī)中來(lái)暫停曝光工藝。此外，信號(hào)發(fā)射器268與信號(hào)接收器269更可分別設(shè)置于嵌和組件270、271所位在的固定板280、281上，然而，本發(fā)明當(dāng)不限于此。
綜上所述，本發(fā)明的應(yīng)用如圖4所示，本發(fā)明的光源產(chǎn)生器210等附屬機(jī)臺(tái)與步進(jìn)機(jī)、掃描機(jī)等主機(jī)工作機(jī)臺(tái)220分別放置于第一樓層230與第二樓層231，光源產(chǎn)生器210系經(jīng)由一光軸傳輸管路240及透鏡組(圖未示)傳輸激光等曝光光源至主機(jī)工作機(jī)臺(tái)220，以供給主機(jī)工作機(jī)臺(tái)220足夠的曝光能量。由于置于第一樓層230的光源產(chǎn)生器210與置于第二樓層231的主機(jī)工作機(jī)臺(tái)220之間，除放置光軸傳輸管路240外，仍設(shè)置有許多機(jī)臺(tái)本身的電器線路與其它傳輸管路(圖未示)，而本發(fā)明的支撐架250由于可以透過(guò)選擇不同大小的H型鋼260、261或透過(guò)以嵌合組件270、271分別選擇不同固定板280、281之間孔洞的位置等方式，讓本發(fā)明得以調(diào)整H型鋼之間的距離至適當(dāng)大小，以避開(kāi)其它傳輸管路的架設(shè)。此外，本發(fā)明可將機(jī)臺(tái)本身的電器線路與其它傳輸管路固定在無(wú)光軸傳輸管路240通過(guò)的H型鋼260、261的其它側(cè)面，以避免其它傳輸管路影響已精確調(diào)校的光軸位置；而前述的曝光光源可為激光源、深紫外光(Deep-UV)、異步輻射X-光、固態(tài)激光(Solid-State Laser)、準(zhǔn)分子激光等。
相較于傳統(tǒng)的支撐結(jié)構(gòu)，本發(fā)明的支撐架利用H型鋼作為支撐架，不但具有結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、節(jié)省空間、安裝容易、固定效果好的優(yōu)點(diǎn)，并能大幅避免因外在震動(dòng)所造成的支撐效果不佳而導(dǎo)致進(jìn)入主機(jī)工作機(jī)臺(tái)的光源產(chǎn)生有光軸偏移的缺點(diǎn)。而倘若有震動(dòng)造成無(wú)法避免的光軸偏移時(shí)，信號(hào)接收器亦可由信號(hào)發(fā)射器得知光軸產(chǎn)生偏移，進(jìn)而發(fā)出一警告信號(hào)，用以警告工作人員或暫停半導(dǎo)體工藝，以避免因光軸偏移而制造出品質(zhì)不佳的產(chǎn)品，造成不必要的浪費(fèi)。此外，因H型鋼拆裝容易、組合機(jī)動(dòng)性高，故可減低與其它管路重迭機(jī)會(huì)，而在需增加或拆除管路時(shí)，因H型鋼可被輕易的拆裝組合，故需移動(dòng)的管路可被輕易移動(dòng)，進(jìn)而大幅節(jié)省移動(dòng)管路的時(shí)間。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，凡依本發(fā)明權(quán)利要求書(shū)所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
1.一種支撐架，該支撐架包括有至少一個(gè)H型鋼，用以支撐位于曝光設(shè)備的主機(jī)工作機(jī)臺(tái)與附屬機(jī)臺(tái)之間的光軸傳輸管路；至少一個(gè)支撐組件，設(shè)于該H型鋼的第一部位；一信號(hào)發(fā)射器，設(shè)于該H型鋼的第二部位；以及一信號(hào)接收器，設(shè)于該H型鋼的第三部位。
2.如權(quán)利要求1所述的支撐架，其中該信號(hào)接收器相作用于該信號(hào)發(fā)射器，用來(lái)檢測(cè)該支撐架所發(fā)生的形變，以檢測(cè)該光軸傳輸管路偏移的現(xiàn)象。
3.如權(quán)利要求1所述的支撐架，其中該支撐架另包括有一電連接至該信號(hào)接收器的控制單元，且當(dāng)該信號(hào)接收器接收不到該信號(hào)發(fā)射器所發(fā)送的訊號(hào)時(shí)，該控制單元會(huì)發(fā)出一警告信號(hào)。
4.如權(quán)利要求1所述的支撐架，其中該信號(hào)發(fā)射器與該信號(hào)接收器分別位于該H型鋼的二端。
5.如權(quán)利要求1所述的支撐架，其中該支撐架另包括至少一個(gè)嵌合組件，用以將該光軸傳輸管路固定于該H型鋼上。
6.如權(quán)利要求5所述的支撐架，其中該支撐架另包括至少一固定板，用以與該嵌合組件嵌合，進(jìn)而固定支撐該光軸傳輸管路。
7.如權(quán)利要求6所述的支撐架，其中該固定板包括有多個(gè)孔洞，且該嵌合組件可選擇嵌合該些孔洞而固定于該固定板上。
8.如權(quán)利要求1所述的支撐架，其中該支撐組件位于該H型鋼的底端部與建筑物的地板相接。
9.如權(quán)利要求1所述的支撐架，其中該支撐架另包括至少一個(gè)固定組件，用以結(jié)合該支撐組件而將該H型鋼固定于該第一樓層的地板上。
10.如權(quán)利要求9所述的支撐架，其中該固定組件為鉚釘或螺絲。
11.如權(quán)利要求1所述的支撐架，其中該支撐組件為角支撐座。
12.一種傳輸管路的支撐架，該支撐架包括有至少兩個(gè)H型鋼；多個(gè)支撐組件，設(shè)于該H型鋼的端部，用以固定該些H型鋼；一信號(hào)發(fā)射器，設(shè)于該H型鋼的第一部位；與該信號(hào)發(fā)射器相作用的一信號(hào)接收器，設(shè)于該H型鋼的第二部位；至少一固定板，連接該些H型鋼；以及至少一嵌合組件嵌合于該固定板上，用以固定支撐該傳輸管路。
13.如權(quán)利要求12所述的支撐架，其中該信號(hào)發(fā)射器與信號(hào)接收器分別位于該H型鋼的二端。
14.如權(quán)利要求12所述的支撐架，其中該支撐架另包括有一電連接至該信號(hào)接收器的控制單元，且當(dāng)該信號(hào)接收器接收不到該信號(hào)發(fā)射器所發(fā)送的訊號(hào)時(shí)，該控制單元會(huì)發(fā)出一警告信號(hào)。
15.如權(quán)利要求12所述的支撐架，其中該固定板包括有多個(gè)孔洞，且該嵌合組件可選擇嵌合該些孔洞而固定于該固定板上。
16.如權(quán)利要求12所述的支撐架，其中該支撐組件位于該H型鋼的底端部與建筑物的地板相接。
17.如權(quán)利要求12所述的支撐架，其中該支撐架另包括至少一個(gè)固定組件，用以結(jié)合該支撐組件而將該H型鋼固定于該第一樓層的地板上。
18.如權(quán)利要求17所述的支撐架，其中該固定組件為鉚釘或螺絲。
19.如權(quán)利要求12所述的支撐架，其中該信號(hào)發(fā)射器與該信號(hào)發(fā)射器設(shè)于不同的該些H型鋼上。
20.如權(quán)利要求12所述的支撐架，其中該支撐組件為角支撐座。
全文摘要
本發(fā)明提供一種支撐架，其包括有至少一個(gè)設(shè)置于曝光機(jī)的光源產(chǎn)生器與主機(jī)工作機(jī)臺(tái)之間的H型鋼(H－beam)用以支撐曝光機(jī)的光軸傳輸管路，至少一個(gè)設(shè)于H型鋼的第一部位的支撐組件，一設(shè)于該H型鋼的第二部位的信號(hào)發(fā)射器，以及一設(shè)于該H型鋼的第三部位的信號(hào)接收器，用來(lái)檢測(cè)光軸偏移的現(xiàn)象。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1763634SQ200410086159
公開(kāi)日2006年4月26日 申請(qǐng)日期2004年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月19日
發(fā)明者陳茂森, 王宏祺, 郭宗銘 申請(qǐng)人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司