專利名稱：薄膜式晶圓測(cè)試裝置暨其探針感測(cè)傳輸結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體晶圓測(cè)試的裝置，特別是一種針對(duì)晶圓切割成晶粒前，所預(yù)先作良率測(cè)試的薄膜式晶圓測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
就半導(dǎo)體制程而言，所謂的IC封裝制程是將一整塊晶圓先施以布局設(shè)計(jì).顯影.蝕刻等一連串制程，待其進(jìn)行封裝作業(yè)后，再將該晶圓切割成若干晶粒，最后變成所謂的IC組件。一般而言，在晶圓未切割前，對(duì)單顆晶粒的測(cè)試稱為“晶圓檢測(cè)”，即利用探針對(duì)晶圓施以電路測(cè)試，由于芯片的設(shè)計(jì)愈趨于復(fù)雜，故晶圓檢測(cè)關(guān)系到晶圓生產(chǎn)良率高低，因此已經(jīng)成為整個(gè)制造過程中最關(guān)鍵的因素。
請(qǐng)參閱圖1，未切割的晶圓外表面覆設(shè)有一“薄墊層(pad)”，該薄墊層上并形成一保護(hù)的“氧化膜”，同時(shí)并利用若干縱、橫分布的切割道區(qū)隔出復(fù)數(shù)晶粒單元，當(dāng)晶圓置于測(cè)試平臺(tái)上時(shí)，通過測(cè)試用的“探針卡”的“探針”刺穿其外層的氧化膜，觸及該薄墊層而達(dá)到導(dǎo)電測(cè)試。
請(qǐng)參閱圖2，由先前技術(shù)可知，傳統(tǒng)探針卡90的若干探針91分布于一基板92外緣，且令各該探針91一端焊固于該基板92上，另端的適當(dāng)處則利用一環(huán)氧層93與基板92固接，且該端的端緣并拗折一角度而形成針尖911，當(dāng)該探針卡90進(jìn)行晶圓的導(dǎo)電測(cè)試時(shí)，藉該等針尖911穿刺晶圓的氧化膜而達(dá)到導(dǎo)電測(cè)試的目的。但是，此習(xí)用探針卡在測(cè)試的使用上，因?yàn)槠浣Y(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的不良，而產(chǎn)生諸多缺失1.探針容易損耗、維修不易，探針卡是介于自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)與IC芯片間的精密適配卡，每支細(xì)微的探針都被精密的排列在其外表面，且所有探針的針尖“真平面度”及尖端到彎曲點(diǎn)的長(zhǎng)度、前端彎曲角度，乃至于針點(diǎn)直線性等，皆有一定的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格，但卻容易因測(cè)試使用不當(dāng)或正常使用次數(shù)到達(dá)一定量時(shí)，形成探針結(jié)構(gòu)上的損壞，例如針尖長(zhǎng)度(Tip Length)、位置基準(zhǔn)(Alig nment)及水平基準(zhǔn)(Planariy)產(chǎn)生偏差等，而容易對(duì)晶圓的測(cè)試造成不良影響(如第2點(diǎn)所述內(nèi)容)，同時(shí)，探針的修護(hù)亦非常不易，不僅需要專業(yè)的人員、器具進(jìn)行維修，且，維修的過程亦冗長(zhǎng)繁瑣，修護(hù)后的結(jié)構(gòu)品質(zhì)亦無法穩(wěn)定維持，形成使用上的一大缺失。
2.探針受損影響測(cè)試準(zhǔn)度，若無定期維修探針卡將導(dǎo)至測(cè)試良率的下降，這是因?yàn)樘结樶樇馕恢闷苹蛱结標(biāo)交鶞?zhǔn)偏差，或基板及探針本身受到污染所致。而典型的針尖位置偏移可能會(huì)造成接觸斷路、短路及破壞薄墊層周圍的氧化膜。而針尖水平基準(zhǔn)偏移將導(dǎo)致高接觸抗阻、接觸短路、不一致參數(shù)測(cè)量、信號(hào)及電源傳導(dǎo)失敗等。至于探針卡受污染時(shí)，則會(huì)產(chǎn)生高接觸抗阻、高泄漏電流、接觸短路及不良的信號(hào)與電流傳導(dǎo)現(xiàn)象。
3.探針結(jié)構(gòu)不易高密度化，習(xí)用探針卡受限于探針呈“傾角式”的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，不僅使用時(shí)會(huì)有上述的缺失產(chǎn)生，同時(shí)，其探針設(shè)置時(shí)的密度亦無法有效提升，一般薄墊層的大小(pad size)最少在70um以上，且隨著制程精密度的不斷進(jìn)步，薄墊層與薄墊層間的間距亦會(huì)相對(duì)縮小，但是，習(xí)用探針結(jié)構(gòu)并無法跟上半導(dǎo)體制程精密度提升的腳步。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的是提供一種薄膜式晶圓測(cè)試裝置暨其探針感測(cè)傳輸結(jié)構(gòu)，是測(cè)試晶圓良率的測(cè)試裝置，其探針卡上探針結(jié)構(gòu)的設(shè)置更為穩(wěn)固、不易磨損、偏移，且可呈高密度化設(shè)置，同時(shí)導(dǎo)電傳輸效率更好、穩(wěn)定性更佳。
本發(fā)明的另一目的是使晶圓測(cè)試裝置的組成結(jié)構(gòu)更為精巧、穩(wěn)定性更高，不僅不易磨損，且更換零件或維修作業(yè)上亦更為簡(jiǎn)便、省時(shí)。
為此，本發(fā)明提供的薄膜式晶圓測(cè)試裝置暨探其針感測(cè)傳輸結(jié)構(gòu)包含一基板，該基板上適處設(shè)有一定位空間及若干鎖孔，可供鎖設(shè)一緩沖接固組件及感測(cè)傳輸組件，并通過該感測(cè)傳輸組件接組一探針卡，其中該緩沖接固組件由一接固本體及固定接座組成，且該固接本體的外表面適當(dāng)處設(shè)有若干彈件容槽，用以供復(fù)數(shù)緩沖組件容設(shè)其中，令該接固本體與固定接座間存在一緩沖空間。而該感測(cè)傳輸組件的組成包括一傳輸座及傳輸界面，該傳輸座固設(shè)于該基座背緣處，其上貫穿成型有若干等間距排列的感測(cè)彈性梢孔，可供感測(cè)彈性梢容設(shè)于內(nèi)，該傳輸界面則利用固定板固設(shè)于該傳輸座背面處，其外表面設(shè)有若干相鄰的傳輸導(dǎo)線，而內(nèi)緣則穿透形成一略小于該探針卡框緣的界面置槽，藉該探針卡外框緣貼覆、固設(shè)于該界面置槽周圍板面處，令該探針卡與傳輸界面呈導(dǎo)電結(jié)合，令該等感測(cè)彈性梢一端各自與一傳輸導(dǎo)線接觸，而另端則與觸抵該基板相對(duì)應(yīng)的外緣面，藉此，不僅令該探針卡的探針與晶圓作檢測(cè)接觸時(shí)能提升感測(cè)傳輸?shù)臏?zhǔn)確度與穩(wěn)定性，并降低損耗頻率，同時(shí)，亦能提升探針設(shè)置的密度，以及維修的簡(jiǎn)便性。
通過下面的結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的詳細(xì)說明，可以使本發(fā)明的上述及其它目的與優(yōu)點(diǎn)變得更加清楚。


圖1是習(xí)用探針卡的探針結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明的立體組合外觀示意圖；圖3是本發(fā)明的立體分解示意圖；圖4是本發(fā)明的組合剖面示意圖；圖5是本發(fā)明配合控制機(jī)臺(tái)的使用示意圖；圖6是本發(fā)明測(cè)試晶圓良率作業(yè)的示意圖。
附圖標(biāo)記說明基板10；定位空間11；鎖孔12；第一鎖孔12A；第二鎖孔12B；定位孔13；感測(cè)彈性梢定位梢孔14；緩沖接固組件20；固定接座21；貫孔211；接固本體22；彈件容槽221；榫孔222；滑軌223；緩沖墊23；固定架24；緩沖墊限位槽241；榫梢242；緩沖組件25；線性導(dǎo)件26；導(dǎo)件鎖孔261；感測(cè)傳輸組件30；傳輸座31；感測(cè)彈性梢孔311；定位桿柱312；定位柱313；傳輸界面32；傳輸導(dǎo)線321；界面置槽322；感測(cè)彈性梢33；固定板34；接置板部341；穿孔342；定位通孔343；探針卡40；探針41；定位鎖件51；螺桿52；晶圓60；控制機(jī)臺(tái)70；屏幕71；緩沖空間L。
具體實(shí)施例方式
請(qǐng)參閱圖2～圖6所示的本發(fā)明薄膜式晶圓測(cè)試裝置暨其探針感測(cè)傳輸結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包含一基板10，一組設(shè)于該基板10上的緩沖接固組件20與感測(cè)傳輸件30，以及設(shè)于該感測(cè)傳輸組件30內(nèi)緣的探針卡40，其中
該基板10是一幾何形狀的PCB板，其上適處設(shè)有一穿透的定位空間11及若干鎖孔12與定位孔13，該等鎖孔12包含較大孔徑的第一鎖孔12A及較小孔徑的第二鎖孔12B，同時(shí)第二鎖孔12B與定位孔13呈相鄰的間隔設(shè)置。
緩沖接固組件20由一固定接座21、接固本體22、緩沖墊23及固定架24等構(gòu)件組成。其中該固定接座21概呈十字型，利用螺螺桿穿設(shè)其十字四角端位置后鎖設(shè)于該第一鎖孔12A處，將其固定于該該基板10上方，而該接固本體22一端自該基板10下方往上穿經(jīng)該定位空間11后，利用一定位鎖件51鎖接于該固定接座21下方，且該接固本體22的頂端面適當(dāng)處鉆設(shè)有復(fù)數(shù)彈件容槽221，令若干具彈性功能的緩沖組件25可容置于內(nèi)，藉該等緩沖組件25另端與該固定接座21的相對(duì)端面接抵，使得該接固本體22與該固定接座21鎖設(shè)結(jié)合時(shí)，其相接的端面間可存在一緩沖空間L。而該緩沖墊23及固定架24設(shè)于該接固本體22另端外緣面，該固定架24內(nèi)緣面形成有一透空的緩沖墊限位槽241，可供該緩沖墊23容置其中，同時(shí)，其外圍框板的二相對(duì)適處另凸設(shè)有榫梢242，當(dāng)該固定架24欲鎖固于該接固本體22上時(shí)，該等榫梢242恰可穿套于該接固本體22相對(duì)應(yīng)的榫孔222處，以準(zhǔn)確定位。
此外，該接固本體22二相對(duì)外側(cè)對(duì)的適處凸設(shè)有滑軌223，各滑軌223處可供嵌組一線性導(dǎo)件26，該線性導(dǎo)件26于該滑軌223上可作預(yù)定行程的滑動(dòng)，且，各該線性導(dǎo)件26外緣面處設(shè)有若干導(dǎo)件鎖孔261，令鎖設(shè)的螺桿52于該接固本體22與固定接座21鎖設(shè)結(jié)合的同時(shí)，得自該固定接座21相對(duì)應(yīng)外側(cè)的貫孔211穿設(shè)而鎖置于該導(dǎo)件鎖孔261處，以進(jìn)一步確保該接固本體22于晶圓測(cè)試裝置測(cè)試時(shí)緩沖移位的穩(wěn)定性。
該感測(cè)傳輸組件30固設(shè)于該基板10背緣處，至少由傳輸座31及傳輸界面32組成。其中該傳輸座31鎖設(shè)于該基座10的第二鎖孔12B處，其上緣面適處貫穿成型有若干等間距排列的感測(cè)彈性梢孔311，以及定位桿柱312，各該感測(cè)彈性梢孔311內(nèi)可供容設(shè)一兼具彈力與導(dǎo)電傳輸功能的感測(cè)彈性梢33容設(shè)于內(nèi)，且該等成排的感測(cè)彈性梢孔311可視晶圓測(cè)試的需求，作單排或雙排以上的設(shè)置，進(jìn)一步配合探針卡40上探針41設(shè)置密度的增加，而提升晶圓測(cè)試的精密度，此外，該當(dāng)傳輸座31鎖固于該基板10的第二鎖孔12B處時(shí)，可同時(shí)藉由其上凸設(shè)的定位桿柱312插套于該基板10的定位孔13內(nèi)作精準(zhǔn)定位。
而該傳輸界面32固設(shè)于該傳輸座31背面處，其對(duì)應(yīng)該傳輪座31的外表面設(shè)有若干相鄰的傳輸導(dǎo)線321，且內(nèi)緣面適處并形成一略小于該探針卡40框緣的界面置槽322，該界面置槽322可供該探針卡40設(shè)置，各該傳輸導(dǎo)線321則分別各自與各該感測(cè)彈性梢33一端接觸，且令該等感測(cè)彈性梢33另端接抵基板10相對(duì)應(yīng)的外緣面；但是，為確保各該感測(cè)彈性梢33確實(shí)、穩(wěn)定與基板10接觸，該基板10相對(duì)應(yīng)的外表面形成若干凹圓狀的感測(cè)彈性梢定位梢孔14，以供該等感測(cè)彈性梢33端緣作感測(cè)定位。
該傳輸界面32通過固定板34定位、固設(shè)于該傳輸座31背緣處，該固定板34內(nèi)側(cè)延伸有一階段狀的接置板部341，而外圍板面適處則貫通有供螺桿穿設(shè)并鎖設(shè)于該傳輸座背緣適處的穿孔342，以及定位用的定位通孔343，該接置板部341恰可供該傳輸界面31的外側(cè)板面對(duì)齊設(shè)置而后結(jié)合固定，而該等定位通孔343則可于該固定板34鎖設(shè)結(jié)合于該傳輸座32上的同時(shí)，與凸設(shè)于該傳輸座32背緣面相對(duì)適處的定位柱313作定位式的嵌套結(jié)合，以確保該傳輸界面32固定于該傳輸座31上時(shí)，各該感測(cè)彈性梢33端緣能準(zhǔn)確與傳輸導(dǎo)線321接觸。
進(jìn)一步需要說明的是，本發(fā)明晶圓測(cè)試裝置的傳輸座31及固定板34在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上，呈對(duì)應(yīng)該探針卡40的矩形構(gòu)態(tài)；但是基于不同的設(shè)計(jì)或組裝需求，該傳輸座31及固定板34在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上可為一體成型結(jié)構(gòu)，或由若干塊狀構(gòu)件拼組而成。
該探針卡40是直接與晶圓作接觸的構(gòu)件，其設(shè)于該傳輸界面32與該接固本體22之間，令該緩沖墊23置于該探針卡40與接固本體22外緣面之間，該探針卡40受該固定架24的緩沖墊限位槽241所框覆，用以準(zhǔn)確固定該探針卡40的位置。藉該探針卡40外框緣貼覆、固設(shè)于該傳輸界面32的界面置槽322周圍板面處，令該探針卡40與傳輸界面32呈導(dǎo)電結(jié)合。該探針卡40最主要的特征是，其一外表面所設(shè)置的復(fù)數(shù)探針41呈直豎狀的凸立結(jié)構(gòu)，而能令該等探針41與晶圓作感測(cè)觸接時(shí)，不僅阻抗值小、不易磨損或產(chǎn)生偏移，同時(shí)，探針41設(shè)置可呈高密度化。
據(jù)此，藉上述的構(gòu)件組成，不僅令晶圓良率的檢測(cè)作業(yè)更為準(zhǔn)確、穩(wěn)定，同時(shí)，晶圓測(cè)試裝置的維修亦甚為簡(jiǎn)便、省時(shí)省力；下面進(jìn)一步說明本發(fā)明探針測(cè)試程序及使用特點(diǎn)。
請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D5、圖6，本發(fā)明晶圓測(cè)試裝置進(jìn)行晶圓良率的測(cè)試作業(yè)時(shí)，其導(dǎo)電測(cè)試的程序?yàn)閷⒕A60置于控制機(jī)臺(tái)70上，藉該探針卡40上的探針41與晶圓接觸，若晶圓本身的電導(dǎo)性無瑕疵的話，每一探針41與晶圓所接觸而接收的感測(cè)數(shù)據(jù)，皆會(huì)自其各自所接觸的傳輸導(dǎo)線321傳經(jīng)由各感測(cè)彈性梢33及基板10，最后傳輸至控制機(jī)臺(tái)70，并利用屏幕71顯示出測(cè)試結(jié)果。同時(shí)，當(dāng)該等探針41與晶圓接觸時(shí)，因?yàn)樘结?1必須刺穿晶圓的氧化膜，而本測(cè)試裝置藉由其上設(shè)置的緩沖空間L及線性導(dǎo)件26的導(dǎo)引設(shè)計(jì)，故可充分確保該等探針41與晶圓接觸時(shí)的穩(wěn)固性及作動(dòng)的確實(shí)性。而利用此種裝置達(dá)成的晶圓良率測(cè)試目的的特點(diǎn)具有測(cè)試效果穩(wěn)定、不易磨損、使用者本身便可自行維修，不僅簡(jiǎn)易且迅速、簡(jiǎn)便，而不須仰賴特殊專業(yè)人員，且實(shí)際應(yīng)用上，基板10及緩沖接固組件20為公用構(gòu)件，使用者可通過更換感測(cè)傳輸組件30及探金針40即可達(dá)到不同的測(cè)試需求、探針可作高密度化設(shè)計(jì)且不易損傷，以及訊號(hào)頻寬大幅增加等，最終達(dá)到降低制造、生產(chǎn)成本，并提升測(cè)試品質(zhì)的穩(wěn)定性。
權(quán)利要求
1.一種薄膜式晶圓測(cè)試裝置，包括一基板，其上設(shè)有一定位空間及若干鎖孔；一緩沖接固組件，包含一鎖設(shè)于該基板上的固定接座，以及一端穿經(jīng)該定位空間與固定接座鎖設(shè)結(jié)合的接固本體，且該接固本體與固定接座之間設(shè)有緩沖組件，使該接固本體與固定接座間存在一緩沖空間；一感測(cè)傳輸組件，包含傳輸座及傳輸界面，該傳輸座固設(shè)于該基座背緣處，其上貫穿成型若干等間距排列的感測(cè)彈性梢孔，可供感測(cè)彈性梢容設(shè)于內(nèi)，該傳輸界面固設(shè)于該傳輸座背面處，其上設(shè)有若干相鄰的傳輸導(dǎo)線，令該等感測(cè)彈性梢一端各自與一傳輸導(dǎo)線接觸，而另端則觸抵該基板相對(duì)應(yīng)的外緣面；一探針卡，設(shè)于該傳輸界面與該接固本體之間，其一外表面豎設(shè)有復(fù)數(shù)呈凸立狀的探針。
2.依權(quán)利要求1所述的薄膜式晶圓測(cè)試裝置，其中該接固本體與該固定接座鎖設(shè)結(jié)合時(shí)，相接的端面間預(yù)留一預(yù)定空間，且該固接本體的端面適當(dāng)處設(shè)有若干彈件容槽，以供該緩沖組件容設(shè)，藉該等緩沖組件另端與該固定接座接抵，而形成緩沖空間。
3.依權(quán)利要求1所述的薄膜式晶圓測(cè)試裝置，其中該接固本體外側(cè)二相對(duì)適處凸設(shè)有一滑軌，使一線性導(dǎo)件可嵌設(shè)于該滑軌處，作預(yù)定行程的滑動(dòng)，且，各該線性導(dǎo)件外緣面處設(shè)有若干導(dǎo)件鎖孔，使鎖設(shè)的螺桿于該接固本體與固定接座鎖設(shè)結(jié)合的同時(shí)，得自該固定接座外側(cè)適處穿設(shè)而鎖置于該導(dǎo)件鎖孔內(nèi)。
4.依權(quán)利要求1所述的薄膜式晶圓測(cè)試裝置，其中該緩沖接固組件還包含一緩沖墊及固定架，該固定內(nèi)緣形成一透空的緩沖墊限位槽，令緩沖墊置于該探針卡與接固本體之間，且并被該固定架的緩沖墊限位槽所框覆，用以準(zhǔn)確定位探針卡的位置。
5.依權(quán)利要求1所述的薄膜式晶圓測(cè)試裝置，其中該傳輸界面通過固定板定位、固設(shè)于該傳輸座背緣處，該固定板內(nèi)側(cè)延伸有一階段狀的接置板部，而外圍板面適處則貫通有供螺桿穿設(shè)并鎖設(shè)于該傳輸座背緣適處的穿孔，以及定位用的定位通孔，該接置板部恰可供該傳輸界面的外側(cè)板面對(duì)齊設(shè)置而后結(jié)合固定，而該定位通孔則可于該固定板鎖設(shè)結(jié)合于該傳輸座上的同時(shí)，與凸設(shè)于該傳輸座背緣面相對(duì)適處的定位柱作定位式的嵌套結(jié)合，以確保該傳輸界面固定于該傳輸座上時(shí)，各該感測(cè)彈性梢端緣能準(zhǔn)確與傳輸導(dǎo)線接觸。
6.依權(quán)利要求1或5所述的薄膜式晶圓測(cè)試裝置，其中該傳輸座及固定板，呈對(duì)應(yīng)該探針卡形態(tài)的矩形構(gòu)態(tài)，為一體成型結(jié)構(gòu)，或由若干塊狀構(gòu)件拼組而成。
7.依權(quán)利要求1所述的薄膜式晶圓測(cè)試裝置，其中該傳輸界面內(nèi)緣穿透形成有一略小于該探針卡框緣的界面置槽，利用該探針卡外框緣貼覆、固設(shè)于該界面置槽周圍板面處，令該探針卡與傳輸界面呈導(dǎo)電結(jié)合。
8.依權(quán)利要求1所述的薄膜式晶圓測(cè)試裝置，其中該基板與該等感測(cè)彈性梢一端感測(cè)接觸的外表面適處，可形成凹圓狀的感測(cè)彈性梢定位梢孔，令感測(cè)彈性梢端緣確實(shí)與基板接觸。
9.一種薄膜式晶圓測(cè)試裝置探針感測(cè)傳輸結(jié)構(gòu)，包含用以檢測(cè)晶圓良率的晶圓測(cè)試裝置，該晶圓測(cè)試裝置上固設(shè)有一與晶圓作接觸感測(cè)的探針卡，其特征在于該探針卡利用一感測(cè)傳輸組件與該晶圓測(cè)試裝置結(jié)合，且其一外表面設(shè)置的探針呈凸立狀構(gòu)態(tài)；該感測(cè)傳輸組件包含傳輸座及傳輸界面，其中該傳輸座上貫設(shè)成型有若干等間距排列的感測(cè)彈性梢孔，各該感測(cè)彈性梢孔內(nèi)供一感測(cè)彈性梢容設(shè)，該傳輸界面則固設(shè)于該傳輸座背面處，其上形成有若干相鄰的傳輸導(dǎo)線，且內(nèi)緣并形成一略小于該探針卡框緣的界面置槽，令容設(shè)于該等感測(cè)彈性梢孔內(nèi)的感測(cè)彈性梢的一端各自與一傳輸導(dǎo)線接觸，而該探針卡利用其外框緣貼覆、固定于該傳輸界面的界面置槽周圍板面處，進(jìn)一步與該傳輸界面作導(dǎo)電結(jié)合。
10.依權(quán)利要求9所述的薄膜式晶圓測(cè)試裝置探針感測(cè)傳輸結(jié)構(gòu)，其中該傳輸界面通過固定板定位、固設(shè)于該傳輸座背緣處，該固定板內(nèi)側(cè)延伸有一階段狀的接置板部，而外圍板面適處則貫通有供螺桿穿設(shè)并鎖設(shè)于該傳輸座背緣適處的穿孔，以及定位用的定位通孔，該接置板部恰可供該傳輸界面的外側(cè)板面對(duì)齊設(shè)置而后結(jié)合固定，而該定位通孔可于該固定板鎖設(shè)結(jié)合于該傳輸座上的同時(shí)，與凸設(shè)于該傳輸座背緣面相對(duì)適處的定位柱作定位式的嵌套結(jié)合，以確保該傳輸界面固定于該傳輸座上時(shí)，各該感測(cè)彈性梢端緣能準(zhǔn)確與傳輸導(dǎo)線接觸。
11.依權(quán)利要求9或10所述的薄膜式晶圓測(cè)試裝置探針感測(cè)傳輸結(jié)構(gòu)，其中該傳輸座或固定板呈對(duì)應(yīng)該探針卡形態(tài)的矩形構(gòu)態(tài)，可為一體成型結(jié)構(gòu)，或由若干塊狀構(gòu)件拼組而成。
12.一種薄膜式晶圓測(cè)試裝置探針感測(cè)傳輸結(jié)構(gòu)，包含一用以檢測(cè)晶圓良率的晶圓測(cè)試裝置，該晶圓測(cè)試裝置上固設(shè)有一與晶圓作接觸感測(cè)的探針卡，其特征在于該探針卡利用一感測(cè)傳輸組件與該晶圓測(cè)試裝置組設(shè)，且其一外表面設(shè)置的探針呈凸立狀構(gòu)態(tài)。
13.依權(quán)利要求12所述的薄膜式晶圓測(cè)試裝置探針感測(cè)傳輸結(jié)構(gòu)，其中該感測(cè)傳輸組件包含傳輸座及傳輸界面，該傳輸座上貫設(shè)成型有若干等間距排列的感測(cè)彈性梢孔，各該感測(cè)彈性梢孔內(nèi)供一感測(cè)彈性梢容設(shè)，該傳輸界面固設(shè)于該傳輸座背面處，其上形成有若干相鄰的傳輸導(dǎo)線，且內(nèi)緣并形成一略小于該探針卡框緣的界面置槽，令容設(shè)于該等感測(cè)彈性梢孔的感測(cè)彈性梢的一端各自與一傳輸導(dǎo)線接觸，而該探針卡藉其外框緣貼覆、固定于該傳輸界面的界面置槽周圍板面處，進(jìn)一步與該傳輸界面作導(dǎo)電結(jié)合。
14.依權(quán)利要求13所述的薄膜式晶圓測(cè)試裝置探針感測(cè)傳輸結(jié)構(gòu)，其中該傳輸界面通過固定板定位、固設(shè)于該傳輸座背緣處，該固定板內(nèi)側(cè)延伸有一階段狀的接置板部，外圍板面適處貫通有供螺桿穿設(shè)并鎖設(shè)于該傳輸座背緣適處的穿孔，以及定位用的定位通孔，該接置板部恰可供該傳輸界面的外側(cè)板面對(duì)齊設(shè)置而后結(jié)合固定，而該定位通孔則可于該固定板鎖設(shè)結(jié)合于該傳輸座上的同時(shí)，與凸設(shè)于該傳輸座背緣面相對(duì)適處的定位柱作定位式的嵌套結(jié)合，以確保該傳輸界面固定于該傳輸座上時(shí)，各該感測(cè)彈性梢端緣能準(zhǔn)確與傳輸導(dǎo)線接觸。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種薄膜式晶圓測(cè)試裝置暨其探針感測(cè)傳輸結(jié)構(gòu)，包括一基板，該基板可供一緩沖接固組件及感測(cè)傳輸組件鎖設(shè)、固定，并于該感測(cè)傳輸組件內(nèi)設(shè)一探針卡，令該探針卡與晶圓接觸作良率測(cè)試時(shí)，藉由緩沖接固組件的緩沖限位移動(dòng)特性，及感測(cè)傳輸組件的準(zhǔn)確、穩(wěn)定感測(cè)功效，使晶圓良率的檢測(cè)作業(yè)更為確實(shí)、迅速，同時(shí)，在維修上亦甚為簡(jiǎn)便、省時(shí)。
文檔編號(hào)H01L21/66GK1770415SQ20041008879
公開日2006年5月10日 申請(qǐng)日期2004年11月3日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月3日
發(fā)明者周萬全, 范偉芳 申請(qǐng)人:周萬全, 范偉芳