專利名稱：一種精確控制鋁線寬的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種硅片刻蝕的方法，尤其是一種在硅片刻蝕中精確控制鋁線寬的方法。
背景技術(shù)：
隨著集成電路的發(fā)展，對(duì)鋁線線寬及鋁線和鋁線之間間距的要求越來越高。在許多電路設(shè)計(jì)中，鋁線和鋁線之間的間距更是達(dá)到了0.1微米。這就要求刻蝕鋁的機(jī)器有很高的精度和穩(wěn)定性。但是在實(shí)際的生產(chǎn)過程中，總是存在各種各樣的影響因素影響到了刻蝕鋁的機(jī)器的性能。
請(qǐng)參閱圖1所示，其顯示在現(xiàn)有技術(shù)中的刻蝕鋁線的流程，其首先利用刻蝕鋁的機(jī)器進(jìn)行鋁線的刻蝕，在進(jìn)行一定情況下進(jìn)行線寬的測(cè)量，如果發(fā)生短路現(xiàn)象，工程師會(huì)進(jìn)行刻蝕程序的調(diào)整。然而，在通常的情況下，只有在一個(gè)LOT(一盒硅片)或者幾個(gè)LOT刻蝕完了之后，當(dāng)發(fā)現(xiàn)線寬異?；蛘哂卸搪番F(xiàn)象的時(shí)候，工程師才會(huì)去調(diào)整刻蝕鋁的機(jī)器，重新使其達(dá)到刻蝕的精度要求。但是，這個(gè)時(shí)候，由于短路現(xiàn)象已經(jīng)產(chǎn)生，可能已經(jīng)有了比較大的損失。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種精確控制鋁線寬的方法，其能夠有效防止鋁線與鋁線之間發(fā)生短路的現(xiàn)象，減小由于鋁線短路造成的損失。
為完成以上技術(shù)問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案，一種精確控制鋁線寬的方法，可以精確控制硅片刻蝕中鋁線的線寬，其首先進(jìn)行鋁線刻蝕，在每一次刻蝕后通過刻蝕鋁的機(jī)器上的自動(dòng)反饋系統(tǒng)進(jìn)行線寬測(cè)量，如果線寬符合要求則進(jìn)行下一片刻蝕，如果線寬不符合要求則由自動(dòng)反饋系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)整，根據(jù)調(diào)整后的參數(shù)進(jìn)行下一片刻蝕。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是當(dāng)鋁線線寬超出設(shè)計(jì)要求范圍，及時(shí)通過自動(dòng)反饋系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整刻蝕程序，防止了鋁線與鋁線間發(fā)生短路的現(xiàn)象，可以基本杜絕由于鋁線短路現(xiàn)象而造成的損失。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中控制鋁線寬的方法的流程圖。
圖2是本發(fā)明一種精確控制鋁線寬的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。
請(qǐng)參閱2所示，本發(fā)明一種精確控制鋁線寬的方法，在刻蝕鋁的機(jī)器上集成內(nèi)嵌式自動(dòng)反饋系統(tǒng)，在刻蝕中，包括以下步驟，首先利用刻蝕鋁的機(jī)器進(jìn)行第一片硅片的刻蝕程序，在刻蝕后進(jìn)行線寬測(cè)量，同時(shí)由自動(dòng)反饋系統(tǒng)讀取線寬的測(cè)量結(jié)果并將該結(jié)果與設(shè)計(jì)值比較。如果上述測(cè)量結(jié)果與設(shè)計(jì)值相符合，則刻蝕鋁的機(jī)器直接進(jìn)行一下片硅片的刻蝕；如果上述測(cè)量結(jié)果在與設(shè)計(jì)值比較時(shí)發(fā)現(xiàn)其偏離設(shè)計(jì)值，需要改變現(xiàn)在的鋁刻蝕的條件，則自反饋系統(tǒng)的反饋系統(tǒng)庫中讀取參數(shù)，選擇相應(yīng)的刻蝕鋁的機(jī)器的程序。接著，自動(dòng)反饋系統(tǒng)向刻蝕鋁的機(jī)器發(fā)送指令，使其在新的刻蝕程序下工作，進(jìn)行一下枚硅片的刻蝕。
綜上所述，本發(fā)明完成了發(fā)明人的發(fā)明目的，當(dāng)鋁線線寬超出設(shè)計(jì)要求范圍，及時(shí)通過自動(dòng)反饋系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整刻蝕程序，防止了鋁線與鋁線間發(fā)生短路的現(xiàn)象，可以基本杜絕由于鋁線短路現(xiàn)象而造成的損失。
權(quán)利要求
1.一種精確控制鋁線寬的方法，可以精確控制硅片刻蝕中鋁線的線寬，其特征在于首先進(jìn)行鋁線刻蝕，在每一次刻蝕后通過刻蝕鋁的機(jī)器上的自動(dòng)反饋系統(tǒng)進(jìn)行線寬測(cè)量，如果線寬符合要求則進(jìn)行下一片刻蝕，如果線寬不符合要求則由自動(dòng)反饋系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)整，根據(jù)調(diào)整后的參數(shù)進(jìn)行下一片刻蝕。
2.如權(quán)利要求1所述的精確控制鋁線寬的方法，其特征在于所述自動(dòng)反饋系統(tǒng)為內(nèi)嵌式自動(dòng)反饋系統(tǒng)。
全文摘要
本發(fā)明有關(guān)一種精確控制鋁線寬的方法，可以精確控制硅片刻蝕中鋁線的線寬，其首先進(jìn)行鋁線刻蝕，在每一次刻蝕后通過刻蝕鋁的機(jī)器上的自動(dòng)反饋系統(tǒng)進(jìn)行線寬測(cè)量，如果線寬符合要求則進(jìn)行下一片刻蝕，如果線寬不符合要求則由自動(dòng)反饋系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)整，根據(jù)調(diào)整后的參數(shù)進(jìn)行下一片刻蝕。通過上述方法可以防止鋁線與鋁線間發(fā)生短路的現(xiàn)象，基本杜絕由于鋁線短路現(xiàn)象而造成的損失。
文檔編號(hào)H01L21/306GK1787190SQ200410089228
公開日2006年6月14日 申請(qǐng)日期2004年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月8日
發(fā)明者周貫宇 申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司