專利名稱：掃描電子顯微鏡用的樣品夾的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及檢測(cè)半導(dǎo)體器件樣品用的樣品夾，特別涉及掃描電子顯微鏡用的樣品夾。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中，經(jīng)常要用掃描電子顯微鏡檢測(cè)半導(dǎo)體器件的加工工件，用掃描電子顯微鏡檢測(cè)經(jīng)過(guò)某個(gè)工藝步驟加工后的工件樣品，根據(jù)對(duì)工件樣品的檢測(cè)結(jié)果確定合適的工藝條件。
因此，要求用掃描電子顯微鏡又快又好地檢測(cè)半導(dǎo)體器件樣品，而且，不能損壞被檢測(cè)的半導(dǎo)體器件樣品，縮短檢測(cè)時(shí)間保證不損壞被檢測(cè)的半導(dǎo)體器件樣品對(duì)提高產(chǎn)品合格率縮短生產(chǎn)周期很重要。因此，要求掃描電子顯微鏡用的樣品夾使用方便和安全，而且要求樣品夾的使用壽命長(zhǎng)。
圖1顯示出現(xiàn)有的掃描電子顯微鏡用的樣品夾，每個(gè)樣品夾上可以?shī)A八個(gè)樣品，每個(gè)樣品都要用對(duì)應(yīng)的六角螺絲分別固定，因此，很費(fèi)時(shí)間，操作麻煩，使用壽命短，樣品表面容易出現(xiàn)充電現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有的掃描電子顯微鏡用的樣品夾存在的上述缺點(diǎn)，提出本發(fā)明。
本發(fā)明的目的是，提出一種掃描電子顯微鏡用的樣品夾。
圖2是按本發(fā)明的掃描電子顯微鏡用的樣品夾設(shè)置樣品前的俯視圖，本發(fā)明的掃描電子顯微鏡用的樣品夾包括一個(gè)底座1，底座上開(kāi)有按一定間隔的多個(gè)樣品放置槽2，樣品放置槽2的尺寸根據(jù)要放置的樣品尺寸確定；固定片3，設(shè)置在樣品放置槽2的一個(gè)側(cè)壁上；彈簧片4，設(shè)置在固定片3面向樣品放置槽2的側(cè)壁上；和固定螺桿5，按垂直于樣品放置槽2的長(zhǎng)度方向的底座中心軸設(shè)置，固定螺桿5穿過(guò)樣品放置槽2的側(cè)壁和固定片3中心的螺孔，將樣品放置槽2和固定片3平均分割成兩部分。固定片3上設(shè)置的多個(gè)彈簧片4具有向外突起的圓弧形，每個(gè)圓弧形的彈簧片4對(duì)應(yīng)一個(gè)待檢測(cè)的樣品。彈簧片4焊接在固定片3上。
圖3是按本發(fā)明的掃描電子顯微鏡用的樣品夾設(shè)置樣品后的俯視圖，如圖3顯示的，當(dāng)樣品放在樣品放置槽2中后，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)固定螺桿5，使與固定螺桿5用螺紋連接的固定片3向相對(duì)一側(cè)推進(jìn)，固定片3上設(shè)置的彈簧片4與樣品接觸時(shí)，彈簧片4變形，因而彈簧片4彈性壓緊樣品。要取下樣品時(shí)，只需要松開(kāi)固定螺桿5，使固定片3返回到原始位置，彈簧片4恢復(fù)原來(lái)的形狀即可取出樣品。
按本發(fā)明的掃描電子顯微鏡用的樣品夾，底座1上所開(kāi)的樣品放置槽2的數(shù)量可以根據(jù)需要確定，底座1可以用例如鋁的金屬板構(gòu)成；固定片3、彈簧片4和固定螺桿5用例如不銹鋼的合金材料構(gòu)成。
用按本發(fā)明的掃描電子顯微鏡用的樣品夾，不需要分別固定每個(gè)樣品，使用方便，節(jié)省時(shí)間，樣品夾的使用壽命長(zhǎng)。


通過(guò)結(jié)合附圖進(jìn)行的以下描述可以更好地理解本發(fā)明目的和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)，附圖是說(shuō)明書(shū)的一個(gè)組成部分，附圖與說(shuō)明書(shū)的文字部分一起說(shuō)明本發(fā)明的原理和特征，附圖中顯示出代表本發(fā)明原理和特征的實(shí)施例。全部附圖中相同的部分用相同的參考數(shù)字指示。附圖中圖1是現(xiàn)有的掃描電子顯微鏡用的樣品夾的俯視圖；圖2是按本發(fā)明的掃描電子顯微鏡用的樣品夾裝樣品前的俯視圖；和圖3是按本發(fā)明的掃描電子顯微鏡用的樣品夾裝樣品后的俯視圖。
附圖中參考數(shù)字指示的另部件說(shuō)明1-底座；2-樣品放置槽；3-固定片；4-彈簧片；5-固定螺桿；6-長(zhǎng)螺；7-樣品。
具體實(shí)施例方式
以下通過(guò)實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明按本發(fā)明的掃描電子顯微鏡用的樣品夾的結(jié)構(gòu)及其使用。
如圖2顯示的，按本發(fā)明實(shí)施例1的掃描電子顯微鏡用的樣品夾包括一個(gè)底座1；底座1上按一定間隔開(kāi)的兩個(gè)樣品放置槽2；固定片3，設(shè)置在樣品放置槽2的一個(gè)側(cè)壁上；彈簧片4，設(shè)置在固定片3面向樣品放置槽2的側(cè)壁上；和固定螺桿5，固定螺桿5按垂直于樣品放置槽2的長(zhǎng)度方向的底座中心軸設(shè)置，固定螺桿5穿過(guò)樣品放置槽2的側(cè)壁和固定片3中心的螺孔，將樣品放置槽2和固定片3平均分割成兩部分。固定片3上設(shè)置的兩個(gè)彈簧片4具有向外突起的圓弧形，每個(gè)圓弧形的彈簧片4對(duì)應(yīng)一個(gè)待檢測(cè)的樣品。彈簧片4焊接在固定片3上。樣品放置槽2的尺寸根據(jù)要放置的樣品尺寸確定。
如圖3顯示的，當(dāng)樣品放在樣品放置槽2中后，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)固定螺桿5，使與固定螺桿5用螺紋連接的固定片3向相對(duì)一側(cè)推進(jìn)，固定片3上設(shè)置的彈簧片4與樣品接觸時(shí)，彈簧片4變形，因而彈簧片4彈性壓緊樣品。要取下樣品時(shí)，只需要松開(kāi)固定螺桿5，使固定片3返回到原始位置，彈簧片4恢復(fù)原來(lái)的形狀即可取出樣品。
底座1可以用例如鋁的金屬板構(gòu)成；固定片3、彈簧片4和固定螺桿5用例如不銹鋼的合金材料構(gòu)成。
按本發(fā)明實(shí)施例2的掃描電子顯微鏡用的樣品夾與按本發(fā)明實(shí)施例1的掃描電子顯微鏡用的樣品夾的結(jié)構(gòu)和各個(gè)另部件的構(gòu)成材料基本相同，只是底座1上所開(kāi)的樣品放置槽2的數(shù)量可以根據(jù)需要確定。
用按本發(fā)明的掃描電子顯微鏡用的樣品夾，不需要分別固定每個(gè)樣品，使用方便，節(jié)省時(shí)間，樣品夾的使用壽命長(zhǎng)。
以上詳細(xì)描述了按本發(fā)明的掃描電子顯微鏡用的樣品夾。但是本發(fā)明不限于本文中的詳細(xì)描述。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)了解，本發(fā)明能以其他的形式實(shí)施。因此，按本發(fā)明的全部技術(shù)方案，所列舉的實(shí)施方式只是用于說(shuō)明本發(fā)明而不是限制本發(fā)明，并且，本發(fā)明不局限于本文中描述的細(xì)節(jié)。本發(fā)明要求保護(hù)的范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)界定。
權(quán)利要求
1.掃描電子顯微鏡用的樣品夾包括一個(gè)底座(1)，底座(1)上開(kāi)有按一定間隔的多個(gè)樣品放置槽(2)；固定片(3)，設(shè)置在樣品放置槽(2)的一個(gè)側(cè)壁上；彈簧片(4)，設(shè)置在固定片(3)面向樣品放置槽(2)的側(cè)壁上；其特征是，還包括固定螺桿(5)，固定螺桿(5)按垂直于樣品放置槽(2)的長(zhǎng)度方向的底座中心軸設(shè)置，固定螺桿(5)穿過(guò)樣品放置槽(2)的側(cè)壁和固定片(3)中心的螺孔，將樣品放置槽(2)和固定片(3)平均分割成兩部分，固定片(3)上設(shè)置的兩個(gè)彈簧片(4)具有向外突起的圓弧形，每個(gè)圓弧形的彈簧片(4)對(duì)應(yīng)一個(gè)待檢測(cè)的樣品，彈簧片(4)焊接在固定片(3)上。
2.按照權(quán)利要求1的樣品夾，其特征是，底座(1)上開(kāi)的樣品放置槽(2)的數(shù)量根據(jù)需要可以是多個(gè)。
3.按照權(quán)利要求1的樣品夾，其特征是，固定螺桿(5)用螺紋連接固定片(3)，旋轉(zhuǎn)固定螺桿(5)時(shí)，與固定螺桿(5)用螺紋連接的固定片(3)向相對(duì)一側(cè)推進(jìn)，固定片(3)上設(shè)置的彈簧片(4)與樣品接觸時(shí)，彈簧片(4)變形，因而彈簧片(4)彈性壓緊樣品。要取下樣品時(shí)，只需要松開(kāi)固定螺桿(5)，使固定片(3)返回到原始位置，彈簧片(4)恢復(fù)原來(lái)的形狀即可取出樣品。
4.按照權(quán)利要求1的樣品夾，其特征是，底座(1)可以用例如鋁的金屬板構(gòu)成；固定片(3)、彈簧片(4)和固定螺桿(5)用例如不銹鋼的合金材料構(gòu)成。
5.按照權(quán)利要求1的樣品夾，其特征是，樣品放置槽(2)的尺寸根據(jù)要放置的樣品尺寸確定。
全文摘要
掃描電子顯微鏡用的樣品夾包括一個(gè)底座1，底座1上開(kāi)有按一定間隔的多個(gè)樣品放置槽2；固定片3，設(shè)置在樣品放置槽2的一個(gè)側(cè)壁上；彈簧片4，設(shè)置在固定片3面向樣品放置槽2的側(cè)壁上；其特征是，還包括固定螺桿5，固定螺桿5按垂直于樣品放置槽2的長(zhǎng)度方向的底座中心軸設(shè)置，固定螺桿5穿過(guò)樣品放置槽2的側(cè)壁和固定片3中心的螺孔，將樣品放置槽2和固定片3平均分割成兩部分。固定片3上設(shè)置的兩個(gè)彈簧片4具有向外突起的圓弧形，每個(gè)圓弧形的彈簧片4對(duì)應(yīng)一個(gè)待檢測(cè)的樣品，彈簧片4焊接在固定片3上。
文檔編號(hào)H01L21/66GK1797734SQ20041009346
公開(kāi)日2006年7月5日 申請(qǐng)日期2004年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月22日
發(fā)明者陳強(qiáng), 鄒麗君, 秦立勇, 陳險(xiǎn)峰 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司