專利名稱：半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于除去微環(huán)境方式下半導(dǎo)體凈化室用半導(dǎo)體收納容器(FOUP)內(nèi)的水分和化學(xué)氣體、以凈化空氣的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體IC電路的細(xì)分，300mm晶片的制造生產(chǎn)線的制造環(huán)境也在發(fā)生重大變革，設(shè)置在制造生產(chǎn)線上的凈化室已從過去的提高整體潔凈度的球形房間式，改為僅提高晶片周圍潔凈度的微環(huán)境方式。
對于早期生產(chǎn)所用的上述微環(huán)境方式下半導(dǎo)體凈化室，為降低生產(chǎn)成本，凈化室整體的潔凈度比原來的技術(shù)要低，晶片的運(yùn)送是在密閉型收納容器內(nèi)完成的。這種晶片收納容器被稱為FOUP，其規(guī)格成為了國際標(biāo)準(zhǔn)。
然而，上述國際標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體晶片收納容器存在對水和化學(xué)氣體的密封不完全，以及在常規(guī)的凈化室中長時間放置后，凈化室內(nèi)的水分和化學(xué)氣體會從設(shè)在上述的半導(dǎo)體晶片收納容器底板上的呼吸口侵入至該半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)，附著在晶的表面，導(dǎo)致加工工序產(chǎn)率降低的問題。
此外，形成了有機(jī)物膜的晶片加工工序中，由于其收納在晶片收納容器內(nèi)，而附著上該晶片收納容器內(nèi)壁上的化學(xué)氣體。在接下來的工序中，被加工的晶片表面上又再次附著上附著在上述的晶片收納容器內(nèi)壁上的化學(xué)氣體成分，從而導(dǎo)致加工工序的產(chǎn)率降低。
另外，加工工序中水分也會侵入晶片收納容器內(nèi)，使晶片表面形成氧化膜，從而導(dǎo)致半導(dǎo)體IC的特性變差。
由于以前沒有人使用過，過去的專利文獻(xiàn)也完全沒有公開過一種能在除去半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)的水分和化學(xué)氣體的同時，凈化空氣，然后再次將凈化后的空氣送入半導(dǎo)體晶片收納容器半導(dǎo)體晶片收納容器空氣凈化裝置，因此，有必要對其進(jìn)行研究。。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明的空氣凈化裝置的外殼內(nèi)分別設(shè)有備有鼓風(fēng)機(jī)和鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動裝置的鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部、備有除塵用過濾器的除塵用過濾部以及除去水分和化學(xué)氣體用的過濾部，而且上述外殼的上表面上設(shè)有突出的吸氣嘴和供氣嘴；將底板上設(shè)有多個呼吸口的半導(dǎo)體晶片收納容器，裝載在上述的空氣凈化裝置上，使上述的空氣凈化裝置的上表面上突出的吸氣嘴和供氣嘴分別與上述的半導(dǎo)體晶片收納容器底板的兩個呼吸口連接，通過該空氣凈化裝置的作用，將該半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)的空氣從一個呼吸口排出，并由吸氣嘴吸入上述空氣凈化裝置，除去水分、化學(xué)氣體、塵埃，成為潔凈空氣，而上述除去了水分、化學(xué)氣體、塵埃的潔凈空氣則從另一個呼吸口送回上述半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)，并隨著半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)的空氣循環(huán)來達(dá)到凈化空氣、保持其潔凈狀態(tài)的目的。
由于本發(fā)明采用了上述的手段，從設(shè)在半導(dǎo)體晶片收納容器底板上的一個呼吸口將半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)的空氣排出，并吸進(jìn)由鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部、除塵用過濾部以及除去水分和化學(xué)氣體用過濾部構(gòu)成的空氣凈化裝置中，通過該空氣凈化裝置來除去水分、化學(xué)氣體和塵埃，使之成為潔凈空氣，再將其強(qiáng)行從半導(dǎo)體晶片收納容器的另一個呼吸口送回半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)，這樣隨著半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)的空氣循環(huán)，可凈化空氣、保持空氣的潔凈狀態(tài)，從而防止晶片表面附著上水分、化學(xué)氣體和塵埃，其結(jié)果是提高了加工工序的產(chǎn)率，使到生產(chǎn)效率得到了提高。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例1的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置從正面觀察的縱剖面圖。
圖2是本發(fā)明實(shí)施例1的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置從右側(cè)面觀察的縱剖面圖。
圖3是本發(fā)明實(shí)施例1的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置從左側(cè)面觀察的縱剖面圖。
圖4是本發(fā)明實(shí)施例1的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置的橫剖面圖。
圖5是可裝載在本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置上的半導(dǎo)體晶片收納容器的縱剖面圖。
圖6是可裝載在本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置上裝載的半導(dǎo)體晶片收納容器的底面圖。
圖7顯示了本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置的使用狀態(tài)的切去一部分后的縱剖面圖。
圖8是本發(fā)明實(shí)施例2的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置的從右側(cè)面觀察的縱剖面圖。
圖9是本發(fā)明實(shí)施例2的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置的橫剖面圖。
圖1-9中各附圖標(biāo)記的含義如下M---半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置1---鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部2---除塵用的過濾部3---除去水分和化學(xué)氣體用的過濾部4---第一外殼6---鼓風(fēng)機(jī)7---鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動裝置
9---吸氣嘴15---供氣嘴16---第二外殼17---粒狀濾材28---連接固定用具51---半導(dǎo)體晶片收納容器58a、58b---呼吸口60---底板63---潔凈空氣具體實(shí)施方式
本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置的工作方式是從設(shè)在半導(dǎo)體晶片收納容器底板上的一個呼吸口將半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)的空氣排出，并吸進(jìn)空氣凈化裝置中，通過該空氣凈化裝置來除去水分、化學(xué)氣體和塵埃，使之成為潔凈空氣，再將其強(qiáng)行從另一個呼吸口送回半導(dǎo)體晶片收納容器，隨著半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣的循環(huán)來凈化空氣，從而保持了半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)的空氣潔凈狀態(tài)。
實(shí)施例1用圖1-圖4來詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施例1。圖1是本發(fā)明半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置從正面觀察的縱剖視圖。
圖2是其從右側(cè)面觀察的縱剖視圖。圖3是其從左側(cè)面觀察的縱剖視圖。圖4是其橫剖面視圖。
如圖1-圖4所示，本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置M，由鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1、除塵用的過濾部2以及除去水分和化學(xué)氣體用的過濾部3構(gòu)成。
上述的鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1和除塵用過濾部2，分別設(shè)在由隔板5將方形的第一外殼4分隔成兩個隔室，即第一隔室5a和第二隔室5b中。
在上述的隔室5a內(nèi)設(shè)置的鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1中，備有鼓風(fēng)機(jī)6和驅(qū)動該鼓風(fēng)機(jī)6的驅(qū)動裝置7；并且在鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1一側(cè)的上述第一外殼4的上面板4a上設(shè)置了吸氣開口8，設(shè)置該吸氣開口8的目的是將半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)的空氣吸入；同時還在該吸氣用開口8外周邊緣上設(shè)置了突出的吸氣嘴9。另外，在鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1一側(cè)的第一外殼4的背面板4b上部設(shè)置了送氣開口10，設(shè)置該送氣開口10的目的是將由上述的鼓風(fēng)機(jī)6加壓后的空氣53送入除去水分和化學(xué)氣體用的過濾部3；還在上述的鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1一側(cè)的第一外殼4的前面板4c外部，設(shè)置了鼓風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)及停止開關(guān)11。
在上述的第二隔室5b內(nèi)設(shè)置的除塵用過濾部2，備有除塵用過濾器12；且在該除塵用過濾部2側(cè)面的第一外殼4的背面板4b的下方，設(shè)置了進(jìn)氣口13，其目的是使來自除去水分和化學(xué)氣體用過濾部3的、已除去水分和化學(xué)氣體后的空氣54進(jìn)入；還在上述的除塵用過濾部2的第一外殼4的上面板4a上，設(shè)置了由上述的除塵用過濾器12向半導(dǎo)體晶片收納容器51供給除塵后的潔凈空氣63的供氣開口14；同時，還在該供氣開口14的外周邊緣上設(shè)置了突出的供氣嘴15。上述的除塵用過濾器12，雖然沒有作特別的限定，但優(yōu)選采用高性能過濾器。還有，上述的吸氣嘴9和供氣嘴15，與后面將要提到的半導(dǎo)體晶片收納容器51上設(shè)置的多個呼吸口中的兩個呼吸口58a、58b的位置相對應(yīng)。
在方形的第二外殼16內(nèi)，上述的除去水分和化學(xué)氣體用的過濾部3，設(shè)置了填充有如沸石、活性炭等粒狀濾材17的粒狀濾材收納容器18，以吸收、除去水分和化學(xué)氣體。
上述的粒狀濾材收納容器18，由鋁等金屬板制成，其設(shè)有方形的中空部19，該中空部19的厚度為上述第二外殼16深度的一半，在其外側(cè)面穿有多個通氣小孔20，同時，其四周外側(cè)的中央設(shè)有嵌合突起21，并在該中空部19內(nèi)填充有粒狀的濾材17。
此外，上述的第二外殼16的內(nèi)壁中央設(shè)置有凹部22，通過該凹部22與粒狀濾材收納容器18的嵌合突起21相嵌合，使粒狀濾材收納容器18被固定設(shè)置在第二外殼16內(nèi)；同時，上述粒狀濾材收納容器18將上述的第二外殼16上下劃分成第一空間部23和第二空間部24。
在與上述的第一外殼4的送氣開口10對應(yīng)的、第二外殼16的前面板16a的上方，將被鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1的鼓風(fēng)機(jī)6加壓后的空氣53，通過開口的進(jìn)氣25向上述的第一空間部23供氣；同時，在與上述進(jìn)氣口13對應(yīng)的第二外殼16的前面板16a的下方，將被上述的粒狀濾材17吸收了水分和化學(xué)氣體后的空氣54，通過供氣開口26從第二空間部24向上述的除塵用過濾部2供氣；由鼓風(fēng)機(jī)6加壓后的空氣53向第一空間部23壓送，然后上述的空氣53從上述的粒狀濾材收納容器18上游側(cè)的通風(fēng)小孔20流入粒狀濾材17，其中的水分和化學(xué)氣體被吸收附著后，該空氣53從下游的通風(fēng)小孔20噴向第二空間部24。
還有，在圖2和圖3中，既可以是第一空間部23與鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1相連通，第二空間部24與除塵用過濾部2連通；也可以反過來是第一空間部23與除塵用過濾部2連通，第二空間部24與鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1相連通。
一方面，上述的第一外殼4中設(shè)置的鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1和除塵用過濾部2，以及第二外殼16中設(shè)置的除去水分和化學(xué)氣體用過濾部3，為了使該鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1和除塵用過濾部2的送氣開口10和進(jìn)氣口13能分別與上述的除去水分和化學(xué)氣體用過濾部3的進(jìn)氣口25和供氣開口26緊密連通并固定，在上述的開口10、13、25、26的外周邊緣上設(shè)置墊圈27，并且外殼4、16的外側(cè)接合部附近分別用連接固定用具28拴緊，使上述的兩外殼4和16固定為一體，同時，將上述的鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1和除塵用過濾部2的送氣開口10和進(jìn)氣口13分別與上述除去水分和化學(xué)氣體用過濾部3的進(jìn)氣口25和供氣開口26連接。
當(dāng)上述的兩外殼4和16用連接固定用具28拴緊，外殼4和16連接固定為一體；隨著上述的連接固定用具28的拴緊狀態(tài)的解除，外殼4和16隨即分離開來。由于上述的外殼4和16具有可分離的結(jié)構(gòu)，因此，對于在上述兩外殼4和16設(shè)置內(nèi)的鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1和除塵用過濾部2以及除去水分和化學(xué)氣體用過濾部3，可容易地分別進(jìn)行修理、檢測和維護(hù)。
如圖5和圖6所示，是可以與上述結(jié)構(gòu)的對半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣進(jìn)行凈化的裝置M相連接的半導(dǎo)體晶片收納容器。即半導(dǎo)體晶片收納容器51，分別設(shè)有門安裝凸緣55、門56、運(yùn)送懸架57以及兩個呼吸口58a、58b，同時，上述的呼吸口58a、58b上分別設(shè)有過濾器59a、59b，并且在底板60的下表面上設(shè)置了為將半導(dǎo)體晶片收納容器51放置在圖中未示的臺板上而設(shè)置的載置盤61，而且，在上述的半導(dǎo)體晶片收納容器51內(nèi)收納晶片62。
上述結(jié)構(gòu)的對半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣進(jìn)行凈化的裝置M的上表面，載有半導(dǎo)體晶片收納容器51，上述的半導(dǎo)體晶片收納容器51通過上述的載置盤61放置在對半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣進(jìn)行凈化的裝置M上，如圖7所示，鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1和除塵用過濾部2的吸氣嘴9和供氣嘴15，被套入并緊密連結(jié)固定在設(shè)于半導(dǎo)體晶片收納容器51的底板60上各呼吸口58a、59b的底部開口的內(nèi)周邊緣。此外，現(xiàn)已被使用的半導(dǎo)體晶片收納容器51的底板60上設(shè)有3個以上的呼吸口，但本發(fā)明僅使用其中的2個呼吸口。
上述的吸氣嘴9和供氣嘴15，為保證與上述各呼吸口58a、59b的密封性，采用了橡膠等具有彈性的材料的同時，為了容易套入并緊密連結(jié)在該各呼吸口58a、59b的底部開口的內(nèi)周邊緣，采用形狀優(yōu)選為向上方走漸形成截頭圓錐形的。
下面，對本發(fā)明的對半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣進(jìn)行凈化的裝置的工作進(jìn)行說明。首先，啟動鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1的鼓風(fēng)機(jī)6，使上述半導(dǎo)體晶片收納容器51內(nèi)的空氣52，從吸氣嘴9、半導(dǎo)體晶片收納容器51的一側(cè)的呼吸口58a吸進(jìn)上述的鼓風(fēng)機(jī)6吸到鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1內(nèi)，然后該吸入的空氣53，通過鼓風(fēng)機(jī)6的作用由送氣開口10和進(jìn)氣口25，送入除去水分和化學(xué)氣體用過濾部3的第一空間部23，從粒狀濾材收納容器18的上游側(cè)的通風(fēng)小孔20，流入粒狀濾材17內(nèi)，與該粒狀濾材17相接觸，從而除去了空氣53中所含的水分和化學(xué)氣體，然后送入第二空間部24內(nèi)。
在此之后，排進(jìn)上述第二空間部24內(nèi)除去了水分和化學(xué)氣體的空氣54，由進(jìn)氣口25和進(jìn)氣口13流入除塵用過濾部2內(nèi)，該流入的空氣54由除塵用過濾器12過濾后，成為潔凈的空氣63，從供氣嘴15經(jīng)另一個呼吸口58b，向半導(dǎo)體晶片收納容器51內(nèi)供應(yīng)。
向上述的半導(dǎo)體晶片收納容器51內(nèi)供應(yīng)潔凈空氣63的同時，隨著該潔凈空氣63的供應(yīng)，半導(dǎo)體晶片收納容器51內(nèi)的壓力增加，從而防止了從外面來的水分和化學(xué)氣體的侵入，使得半導(dǎo)體晶片收納容器51內(nèi)保持了潔凈狀態(tài)。然后，重復(fù)進(jìn)行上述操作，使半導(dǎo)體晶片收納容器51內(nèi)的空氣不斷地得到循環(huán)清潔。
實(shí)施例2圖8是本發(fā)明的對半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣進(jìn)行凈化的裝置的實(shí)施例2的從左側(cè)面觀察的縱剖面圖。圖9是其橫剖面圖。上述的圖1-圖4所示的實(shí)施例1的對半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣進(jìn)行凈化的裝置M，其設(shè)有鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1和除塵用過濾部2的第一外殼4、以及設(shè)有除去水分和化學(xué)氣體用過濾部3的第二外殼16，可以由連接固定用具28連結(jié)固定或各自分離開。而圖8和圖9所示的實(shí)施例2，設(shè)有鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部1、除塵用過濾部2和除去水分和化學(xué)氣體用過濾部3的外殼4和16被固定為一個整體。另外，圖中29是粒狀濾材收納容器進(jìn)出蓋，開閉該粒狀濾材收納容器進(jìn)出蓋29，可供粒狀濾材收納容器18出入。
因此，實(shí)施例2中的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置M中，沒有象實(shí)施例1中的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置M那樣設(shè)置墊圈27和連接固定用具28；此外除了上述的粒狀濾材收納容器進(jìn)出蓋29以外，其他的結(jié)構(gòu)都與實(shí)施例1相同。實(shí)施例2的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置的工作，與上述的實(shí)施例1所示的大致相同，在空氣循環(huán)從而保持其潔凈這一點(diǎn)上，兩者完全相同，因此省略說明。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置，其特征在于，該半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置包括空氣凈化裝置和裝載在該空氣凈化裝置上的半導(dǎo)體晶片收納容器；其中，所述的空氣凈化裝置是在其外殼內(nèi)分別設(shè)置有備有鼓風(fēng)機(jī)和鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動裝置的鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部、備有除塵用過濾器的除塵用過濾部、除去水分和化學(xué)氣體用過濾部，而且所述外殼的上表面上設(shè)置有突出的吸氣嘴和供氣嘴；所述的半導(dǎo)體晶片收納容器的底板上設(shè)有多個呼吸口，且裝載在所述空氣凈化裝置上；所述空氣凈化裝置的上表面的吸氣嘴和供氣嘴，分別與所述半導(dǎo)體晶片收納容器底板上的兩個呼吸口連接，并通過所述空氣凈化裝置的工作，使從所述半導(dǎo)體晶片收納容器的一個呼吸口排出的空氣，由所述吸氣嘴吸入所述的空氣凈化裝置內(nèi)，成為除去了水分、化學(xué)氣體和塵埃的潔凈空氣后，再從所述半導(dǎo)體晶片收納容器的另一個呼吸口送入該半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)；隨著該半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)的空氣循環(huán)，使該半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)保持潔凈狀態(tài)。
2.一種半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置，其特征在于，該半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置包括空氣凈化裝置和裝載在該空氣凈化裝置上的半導(dǎo)體晶片收納容器；其中，所述的空氣凈化裝置在其兩個外殼內(nèi)分別設(shè)有備有鼓風(fēng)機(jī)和鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動裝置的鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部、備有除塵用過濾器的除塵用過濾部和填充有粒狀過濾材料的除去水分和化學(xué)氣體用過濾部，所述的各外殼通過連接固定用具可自由地分離和連接固定，而且在所述的外殼的上表面上設(shè)置有突出的吸氣嘴和供氣嘴；所述的半導(dǎo)體晶片收納容器在底板上設(shè)有多個呼吸口，且裝載在所述空氣凈化裝置上；所述空氣凈化裝置的上表面的吸氣嘴和供氣嘴，分別與所述半導(dǎo)體晶片收納容器底板上的兩個呼吸口連接，并通過所述空氣凈化裝置的工作，使從所述半導(dǎo)體晶片收納容器的一個呼吸口排出的空氣，由所述吸氣嘴吸入所述空氣凈化裝置內(nèi)，成為除去了水分、化學(xué)氣體和塵埃的潔凈空氣后，再從所述半導(dǎo)體晶片收納容器的另一個呼吸口送入該半導(dǎo)體晶片收納容器；隨著該半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)的空氣循環(huán)，使該半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)保持潔凈狀態(tài)；所述的除去水分和化學(xué)氣體用過濾部能夠被容易地更換。
3.一種半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置，其特征在于，該半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置包括空氣凈化裝置和裝載在該空氣凈化裝置上的半導(dǎo)體晶片收納容器；其中，所述的空氣凈化裝置在其兩個外殼內(nèi)分別設(shè)有備有鼓風(fēng)機(jī)和鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動裝置的鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部、備有除塵用過濾器的除塵用過濾部和除去水分和化學(xué)氣體用過濾部，而且所述的各外殼被固定為一個整體，并在所述的外殼的上表面上設(shè)置有突出的吸氣嘴和供氣嘴；所述的半導(dǎo)體晶片收納容器的底板上設(shè)有多個呼吸口，且裝載在所述空氣凈化裝置上；所述空氣凈化裝置的上表面的吸氣嘴和供氣嘴，分別與所述半導(dǎo)體晶片收納容器底板上的兩個呼吸口連接，并通過所述空氣凈化裝置的工作，使從所述半導(dǎo)體晶片收納容器的一個呼吸口排出的空氣，由所述吸氣嘴吸入所述的空氣凈化裝置內(nèi)，成為除去了水分、化學(xué)氣體和塵埃的潔凈空氣后，再從所述半導(dǎo)體晶片收納容器的另一個呼吸口送入該半導(dǎo)體晶片收納容器；隨著該半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)的空氣循環(huán)，使該半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)保持潔凈狀態(tài)；所述的除去水分和化學(xué)氣體用過濾部能夠被容易地更換。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種將半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)的空氣凈化的半導(dǎo)體晶片收納容器內(nèi)空氣凈化裝置。該空氣凈化裝置是這樣工作的從半導(dǎo)體晶片收納容器(51)的底板(60)上設(shè)的一個呼吸口(58a)排出的、半導(dǎo)體晶片收納容器(51)內(nèi)的空氣，被吸入備有鼓風(fēng)機(jī)驅(qū)動部(1)、除塵用過濾部(2)以及除去水分和化學(xué)氣體用過濾部(3)的空氣凈化裝置(M)內(nèi)，通過該空氣凈化裝置(M)除去水分、化學(xué)氣體和塵埃后的潔凈空氣(63)，被強(qiáng)行從另一個呼吸口(58b)送入半導(dǎo)體晶片收納容器(51)，使半導(dǎo)體晶片收納容器(51)中空氣的不斷循環(huán)凈化，從而使半導(dǎo)體晶片收納容器(51)內(nèi)保持了潔凈狀態(tài)。
文檔編號H01L21/67GK1707179SQ20051000920
公開日2005年12月14日 申請日期2005年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月4日
發(fā)明者木崎原稔郎, 岡田誠, 堀部泰德 申請人:近藤工業(yè)株式會社, 日本劍橋過濾器株式會社