專利名稱：用于在基板上沉積有機(jī)材料的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于在基板上沉積有機(jī)材料的裝置。尤其是，本發(fā)明涉及一種用于在基板上沉積有機(jī)材料滴的裝置。
背景技術(shù)：
通常，顯示裝置利用由信息處理裝置處理的數(shù)據(jù)來顯示圖像。
不同類型的顯示裝置包括陰極射線管(CRT)裝置，液晶顯示器(LCD)裝置，有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)裝置，等離子體顯示板(PDP)，等等。CRT通過控制應(yīng)用到熒光層上的電子束來顯示圖像。LCD通過定向液晶來顯示圖像。OLED通過流經(jīng)有機(jī)發(fā)光層的電流來顯示圖像。PDP通過等離子體顯示圖像。
該OLED具有諸如厚度薄、高亮度、全色、低功耗、和低生產(chǎn)成本等特性。
該OLED包括在基板上以矩陣形狀排列的陽極，在基板上形成的并具有開口的有機(jī)層，通過開口使部分陽極暴露，在通過有機(jī)層暴露的陽極上形成的有機(jī)發(fā)光層，和在有機(jī)發(fā)光層上形成的陰極。
OLED的有機(jī)發(fā)光層包括空穴注入層(HIL)、發(fā)射材料層(EML)和電子注入層(EIL)。
通過諸如裂隙掩模(slit mask)、旋涂、卷裝進(jìn)出(roll-to-roll)、真空沉積等方法能形成該有機(jī)發(fā)光層。最近，使用滴落方法，其中將有機(jī)材料滴滴落到在有機(jī)層上形成的空穴中。
用于滴落有機(jī)材料滴的裝置典型的包括有機(jī)材料滴落單元和傳輸有機(jī)材料滴落單元的傳輸單元。在常規(guī)的裝置中，將有機(jī)材料一次注入以矩陣形狀排列的空穴中可能是困難的。常規(guī)裝置掃描有機(jī)材料空穴，并隨著滴落單元沿著該層穿過，將有機(jī)材料注入到空穴中。
當(dāng)注入到空穴中的有機(jī)材料的烘干時(shí)間不同時(shí)，每個(gè)空穴的有機(jī)發(fā)光層具有相互不同的輪廓，并且從有機(jī)發(fā)光層產(chǎn)生的光具有不同的亮度。因此，顯示質(zhì)量惡化。
最近，使用一種沿著層同時(shí)滴落有機(jī)材料以形成更均勻的發(fā)光層的裝置。
該裝置使用多個(gè)有機(jī)材料滴落單元和多個(gè)傳輸單元。該傳輸單元對(duì)應(yīng)于該有機(jī)材料滴落單元。然而，滴落有機(jī)材料的這種裝置具有更大的尺寸。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的滴落有機(jī)材料的示例性裝置包括滴落單元、傳輸單元和位置調(diào)整單元。滴落單元滴落有機(jī)材料滴。該傳輸單元沿著第一方向傳輸?shù)温鋯卧?。在滴落單元和傳輸單元之間設(shè)置位置調(diào)整單元以調(diào)整滴落單元的位置。
在根據(jù)本發(fā)明的滴落有機(jī)材料的另一示例性裝置中，裝置包括至少兩個(gè)滴落單元、一傳輸單元、一組合單元和一位置調(diào)整單元。這些滴落單元滴落有機(jī)材料滴。這些滴落單元可以串聯(lián)。該傳輸單元在第一方向傳輸?shù)温鋯卧２逶诘温鋯卧蛡鬏攩卧g的該組合單元將滴落單元與傳輸單元連接。位置調(diào)整單元設(shè)置在滴落單元和組合單元之間，以便調(diào)整滴落單元之間的距離，并調(diào)整滴落單元的位置。
在根據(jù)本發(fā)明的滴落有機(jī)材料的另一示例性裝置中，裝置包括第一滴落裝置、第二滴落裝置、第一位置調(diào)整單元和第二位置調(diào)整單元。該第一滴落裝置包括滴落有機(jī)材料滴的第一滴落單元，和連接第一滴落單元并沿著第一方向傳輸?shù)谝坏温鋯卧牡谝粋鬏攩卧?。該第二滴落裝置包括滴落有機(jī)材料滴的第二滴落單元，和連接第二滴落單元并沿著第一方向傳輸?shù)诙温鋯卧牡诙鬏攩卧?。第二滴落裝置沿著第二方向與第一滴落裝置間隔，該第二方向大致垂直于第一方向。該第一位置調(diào)整單元插在第一滴落單元和第一傳輸單元之間以調(diào)整第一滴落單元的位置。該第二位置調(diào)整單元插在第二滴落單元和第二傳輸單元之間以調(diào)整第二滴落單元的位置。
根據(jù)本發(fā)明的說明性實(shí)施例，沉積有機(jī)材料的裝置在目標(biāo)位置上精確沉積有機(jī)材料滴。
而且，傳輸單元迅速地移動(dòng)滴落單元，并且位置調(diào)整單元精確地調(diào)整滴落單元的位置。因此，減小了用于烘干注入到空穴中的有機(jī)材料的時(shí)差。


通過參照附圖詳細(xì)地描述示例性實(shí)施例，本發(fā)明的上述和其他特征將變得顯而易見，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例描述滴落有機(jī)材料的裝置的示意圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例描述具有數(shù)據(jù)處理單元的滴落有機(jī)材料的裝置的示意圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例描述滴落有機(jī)材料的裝置的示意圖；圖4顯示了滴落有機(jī)材料的裝置中的傳輸單元的細(xì)節(jié)；圖5根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例顯示了具有導(dǎo)軌的滴落有機(jī)材料的裝置；圖6是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例描述滴落有機(jī)材料的裝置的示意圖；圖7是根據(jù)本發(fā)明的又一實(shí)施例描述滴落有機(jī)材料的裝置的示意圖；和圖8是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的滴落有機(jī)材料的裝置的透視圖。
具體實(shí)施例方式
圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實(shí)施例描述滴落有機(jī)材料的裝置的示意圖。參考圖1，裝置100包括滴落單元110、傳輸單元120和位置調(diào)整單元130。滴落單元110在基板10上沉積或滴落有機(jī)材料滴，如有機(jī)發(fā)光材料、濾色器的合成物等，以在基板10上形成有機(jī)圖案20。滴落單元110包括多個(gè)噴嘴112。使用通過噴嘴112滴落的有機(jī)材料形成有機(jī)圖案20。面向基板10設(shè)置這些噴嘴112。排列這些噴嘴112，使得噴嘴112之間的距離在幾微米到幾百微米的范圍內(nèi)。
滴落單元110還包括向滴落單元110提供有機(jī)材料的有機(jī)材料提供單元115。該有機(jī)材料提供單元115可包括有機(jī)材料容器114和導(dǎo)管113。通過導(dǎo)管113將有機(jī)材料容器114中的有機(jī)材料傳輸?shù)絿娮?12。該有機(jī)材料提供單元115還包括質(zhì)量流量控制器(MFC)。該MFC控制流過導(dǎo)管113的有機(jī)材料的量。
該傳輸單元120傳輸?shù)温鋯卧?10。當(dāng)?shù)温鋯卧?10到達(dá)預(yù)定點(diǎn)時(shí)，該傳輸單元120停止傳輸?shù)温鋯卧?10。為了精確地控制傳輸單元120在預(yù)定點(diǎn)處停止滴落單元110，該裝置100包括位置調(diào)整單元130。位置調(diào)整單元130調(diào)整該預(yù)定點(diǎn)，使得滴落單元能精確地滴落該有機(jī)材料。位置調(diào)整單元130可沿著與傳輸單元120移動(dòng)滴落單元110的方向相同的方向移動(dòng)滴落單元110。
參考圖2，位置調(diào)整單元130還包括位置測量單元132和數(shù)據(jù)處理單元134。該位置測量單元132使用位置探測裝置測量滴落單元110的位置。優(yōu)選地，該位置探測裝置獲得定位標(biāo)記30的圖像，并且位置測量單元132通過使用至少兩個(gè)定位標(biāo)記來測量滴落單元110的位置。電荷耦合器(CCD)攝像器可用作位置探測裝置。
該數(shù)據(jù)處理單元134從位置測量單元132接收包括滴落單元110的位置信息的位置數(shù)據(jù)，并且處理該位置數(shù)據(jù)以形成布置數(shù)據(jù)。該布置數(shù)據(jù)包括滴落單元110的信息。例如，該布置數(shù)據(jù)可表示滴落單元110是否位于合適的位置，或目標(biāo)位置和當(dāng)前位置之間的距離等。該布置數(shù)據(jù)應(yīng)用于位置調(diào)整單元130用于調(diào)整滴落單元110的位置。根據(jù)該實(shí)施例，通過位置測量單元132和數(shù)據(jù)處理單元134可以補(bǔ)償?shù)温鋯卧?10的位置。因此，能更精確地設(shè)置滴落單元110。
圖3是根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例描述滴落有機(jī)材料的裝置的示意圖。除了位置調(diào)整單元外，該實(shí)施例的滴落有機(jī)材料的裝置與上述實(shí)施例相同。如同在上述實(shí)施例中描述的一樣，相同的附圖標(biāo)記將用來指相同或類似的部分。
參考圖3，該實(shí)施例的滴落有機(jī)材料的裝置100包括多個(gè)位置調(diào)整單元130。為了圖解，顯示了兩個(gè)單元130a和130b。將位置調(diào)整單元130固定到傳輸單元120上，由此當(dāng)位置調(diào)整單元130移動(dòng)時(shí)，位置調(diào)整單元130之間的距離保持相同。每個(gè)滴落單元110連接相應(yīng)的位置調(diào)整單元130，并由相應(yīng)的位置調(diào)整單元控制。優(yōu)選地，滴落單元110相互之間分隔的距離等于滴落單元110的多個(gè)噴嘴112的寬度。
當(dāng)?shù)温鋯卧?10之間的距離與所需的距離不相同時(shí)，由滴落單元110的噴嘴112滴下的有機(jī)材料滴將變的不規(guī)則。位置調(diào)整單元130可用于調(diào)整滴落單元110之間的距離。
圖4根據(jù)該實(shí)施例顯示了傳輸單元120的更多細(xì)節(jié)。該傳輸單元120包括傳輸帶126和驅(qū)動(dòng)單元122和124。該傳輸帶126最好是閉合彎曲皮帶。該驅(qū)動(dòng)單元122和124設(shè)置在傳輸帶126的內(nèi)部，并且相互隔開，以便傳輸帶126具有預(yù)定張力。該驅(qū)動(dòng)單元122對(duì)應(yīng)于連接到馬達(dá)的主動(dòng)輥，并且該驅(qū)動(dòng)單元124對(duì)應(yīng)于從動(dòng)輥，反之亦然。該主動(dòng)輥122驅(qū)動(dòng)傳輸帶126，并且通過由主動(dòng)輥122驅(qū)動(dòng)的傳輸帶126，該從動(dòng)輥124旋轉(zhuǎn)。位置調(diào)整單元130固定在傳輸帶126上，并且滴落單元110安裝在位置調(diào)整單元130上。
在該實(shí)施例中，該傳輸帶126傳輸位置調(diào)整單元130和滴落單元110?？纱娴?，該傳輸單元120可以使用能使位置調(diào)整單元130往復(fù)運(yùn)動(dòng)的其他裝置，例如，液壓缸、滾珠螺旋裝置等。
如圖4所示，滴落有機(jī)材料的裝置使用傳輸帶126作為傳輸單元120來移動(dòng)位置調(diào)整單元130和滴落單元110。
參考圖5，當(dāng)傳輸單元120傳輸位置調(diào)整單元130和滴落單元110時(shí)，位置調(diào)整單元130和滴落單元110可以變換位置，使得滴落單元110不能將有機(jī)材料滴滴落在理想的位置上。為了穩(wěn)定調(diào)整單元130和滴落單元110，滴落有機(jī)材料的裝置可以包括引導(dǎo)位置調(diào)整單元130的導(dǎo)軌140。
可替代地，可以用另外的導(dǎo)軌(未示出)來引導(dǎo)滴落單元110。優(yōu)選地，位置調(diào)整單元130靠在導(dǎo)軌140上以防止位置調(diào)整單元130和滴落單元110的位置變換。導(dǎo)軌140可以是柱形桿狀。
圖6更詳細(xì)的顯示了滴落單元。滴落有機(jī)材料的裝置100還包括旋轉(zhuǎn)單元150。該旋轉(zhuǎn)單元150插入在位置調(diào)整單元130和滴落單元110之間。該旋轉(zhuǎn)單元150相對(duì)于基板10旋轉(zhuǎn)滴落單元110。該旋轉(zhuǎn)單元150包括馬達(dá)(未示出)和齒輪(未示出)。
用于注射有機(jī)材料的噴嘴112具有的噴嘴之間的距離小于基板10上空穴20之間的距離。根據(jù)該實(shí)施例，使用旋轉(zhuǎn)單元150，有助于在空穴中沉積有機(jī)材料滴，該空穴的距離小于滴落單元110的噴嘴112之間的距離。
圖7是根據(jù)本發(fā)明的又一示例性實(shí)施例描述滴落有機(jī)材料的裝置的示意圖。參考圖7，滴落有機(jī)材料的裝置100包括滴落單元110、傳輸單元120、組合單元160和位置調(diào)整單元130。
滴落有機(jī)材料的裝置100包括至少一個(gè)滴落單元110。在這個(gè)說明性實(shí)施例中，沿著行進(jìn)的路徑設(shè)置并排排列的兩個(gè)滴落單元110。每個(gè)滴落單元110包括多個(gè)噴嘴112。噴嘴112雖然呈線性排列，但也能按陣列來排列(未示出)。噴嘴112之間的距離在幾微米到幾百微米的范圍內(nèi)。有機(jī)材料提供單元115向滴落單元110提供有機(jī)材料。該有機(jī)材料提供單元115可以包括有機(jī)材料容器114和導(dǎo)管113。通過導(dǎo)管113將有機(jī)材料容器114中的有機(jī)材料傳送給噴嘴112。該有機(jī)材料提供單元115還包括質(zhì)量流量控制器(MFC)。該MFC控制流經(jīng)導(dǎo)管113的有機(jī)材料的量。
滴落單元110可以與旋轉(zhuǎn)單元150結(jié)合。該旋轉(zhuǎn)單元150相對(duì)于基板10旋轉(zhuǎn)滴落單元110。該旋轉(zhuǎn)單元150包括馬達(dá)(未示出)和齒輪(未示出)。因此，滴落該有機(jī)材料的裝置100可以提供空穴，該空穴的距離小于滴嘴112之間的距離。提供導(dǎo)軌140以引導(dǎo)滴落單元110。該傳輸單元120傳輸?shù)温鋯卧?10。該傳輸單元120可以使用傳輸部件，如傳輸帶、液壓缸、滾珠螺旋裝置等。
組合單元160連接傳輸單元120以接合并傳輸位置調(diào)整單元130和滴落單元110。位置調(diào)整單元130插入在組合單元160和滴落單元110之間，并且控制滴落單元110的位置，以使滴落單元110將有機(jī)材料滴精確地滴落到目標(biāo)位置。
位置調(diào)整單元130可以包括位置測量單元132和數(shù)據(jù)處理單元134。該位置測量單元132測量滴落單元110的位置。為了測量滴落單元110的位置，該位置測量單元132包括能獲得定位標(biāo)記30的圖像的位置探測裝置。例如，電荷耦合器(CCD)攝像器可用作位置探測裝置。該位置測量單元132通過使用至少兩個(gè)定位標(biāo)記30來測量滴落單元110的位置。該數(shù)據(jù)處理單元134從位置測量單元132接收包括滴落單元110的位置信息的位置數(shù)據(jù)，并且處理該位置數(shù)據(jù)以形成布置數(shù)據(jù)。該布置數(shù)據(jù)包括滴落單元110的信息。例如，該布置數(shù)據(jù)可表示滴落單元110是否位于合適的位置，或目標(biāo)和當(dāng)前位置之間的距離等。該布置數(shù)據(jù)應(yīng)用于位置調(diào)整單元130以調(diào)整滴落單元110的位置。
圖8是根據(jù)本發(fā)明的又一實(shí)施例描述滴落有機(jī)材料的裝置的示意圖。參考圖8，滴落有機(jī)材料的裝置100包括第一滴落裝置200和第二滴落裝置300。該第一滴落裝置200包括第一滴落單元210、第一傳輸單元220和第一位置調(diào)整單元230。
該第一滴落單元210向基板10滴落有機(jī)材料，如有機(jī)發(fā)光材料、濾色器的合成物等。然后，在基板10上形成有機(jī)圖案20。滴落該有機(jī)材料的裝置100包括至少一個(gè)第一滴落單元210。在該實(shí)施例中，滴落該有機(jī)材料的裝置100包括多個(gè)第一滴落單元210。
沿著傳輸單元220的行進(jìn)路徑并排排列該第一滴落單元210。每個(gè)第一滴落單元210包括多個(gè)滴落噴嘴212。在第一滴落單元210上形成第一滴落噴嘴212，使得第一滴落噴嘴212面向基板10，并且滴落噴嘴212之間的距離在幾微米到幾百微米的范圍內(nèi)。
該有機(jī)材料提供單元500包括有機(jī)材料容器510和導(dǎo)管520，通過導(dǎo)管520將有機(jī)材料容器510中的有機(jī)材料提供給滴落噴嘴212。該有機(jī)材料提供單元500還包括用于控制流經(jīng)導(dǎo)管520的有機(jī)材料的量的MFC。該有機(jī)材料提供單元500向第一和第二滴落裝置200和300提供該有機(jī)材料。
該第一傳輸單元220在預(yù)定方向上傳輸該第一滴落單元210。優(yōu)選地，該第一傳輸單元220線性移動(dòng)該第一滴落單元210。當(dāng)?shù)谝坏温鋯卧?10到達(dá)預(yù)定位置時(shí)，該第一傳輸單元220停止操作。在第一滴落噴嘴212之間的距離是幾微米到幾百微米。為了更精確地控制該第一滴落噴嘴212的位置，在第一滴落單元210上設(shè)置第一位置調(diào)整單元230。將第一位置調(diào)整單元230設(shè)置在第一傳輸單元220和第一滴落單元210之間，使得第一位置調(diào)整單元230隨著第一傳輸單元220移動(dòng)。該第一位置調(diào)整單元230沿著第一傳輸單元220的行進(jìn)方向移動(dòng)該第一滴落單元210。該第一位置調(diào)整單元230可以使用能使第一滴落單元210往復(fù)移動(dòng)的設(shè)備。
該第二滴落裝置300包括第二滴落單元310、第二傳輸單元320和第二位置調(diào)整單元330。該第二滴落單元310向基板10滴落該有機(jī)材料，如有機(jī)發(fā)光材料、濾色器的合成物等。然后，在基板10上形成有機(jī)圖案20。滴落該有機(jī)材料的裝置100包括至少一個(gè)第二滴落單元310。在該實(shí)施例中，滴落該有機(jī)材料的裝置100包括多個(gè)第二滴落單元310。
沿著傳輸單元220的行進(jìn)路徑也并排排列該第二滴落單元310。該第二滴落單元310類似于第一滴落單元210排列。
每個(gè)第二滴落單元310包括多個(gè)第二滴落噴嘴312。在第二滴落單元310上形成這些第二滴落噴嘴312，使得第二滴落噴嘴312面向基板10。這些第二滴落噴嘴312相互分隔開。第二滴落噴嘴312之間的距離在大約幾微米到大約幾百微米的范圍內(nèi)。
排列第一滴落噴嘴212和第二滴落噴嘴312，以便沿著第一條線排列第一滴落噴嘴212，并且沿著與第一條線大致平行的第二條線排列第二滴落噴嘴312。因此，第一滴落噴嘴212和第二滴落噴嘴312在陣列的不同行或列上滴落該有機(jī)材料滴。而且，第一滴落噴嘴212和第二滴落噴嘴312能以Z字形順序排列，其中第一滴落噴嘴位于第二滴落噴嘴之間，并且第二滴落噴嘴位于第一滴落噴嘴之間。
該有機(jī)材料提供單元500也向第二滴落單元310提供有機(jī)材料。
該第二傳輸單元320在預(yù)定方向上傳輸該第二滴落單元310。第一和第二傳輸單元220和320可以獨(dú)立操作。為了更好地控制第二滴嘴312的位置，在第二滴落單元310上設(shè)置第二位置調(diào)整單元330。將該第二位置調(diào)整單元330設(shè)置在第二傳輸單元320和第二滴落單元310之間，使得第二位置調(diào)整單元330隨著第二傳輸單元320移動(dòng)。
該第二位置調(diào)整單元330沿著第二傳輸單元320的移動(dòng)的路徑移動(dòng)該第二滴落單元310。該第二位置調(diào)整單元330可以使用能往復(fù)移動(dòng)第二滴落單元310的裝置。
已經(jīng)描述了本發(fā)明的示例性實(shí)施例和它的優(yōu)點(diǎn)，應(yīng)當(dāng)注意，在不脫離由附加權(quán)利要求定義的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以進(jìn)行各種變化、替換和修改。
權(quán)利要求
1.一種在基板上沉積有機(jī)材料的裝置，包括滴落有機(jī)材料滴的一滴落單元；沿著一第一方向傳輸所述滴落單元的一傳輸單元；和插入在所述滴落單元和所述傳輸單元之間的一位置調(diào)整單元，以調(diào)整所述滴落單元的位置。
2.如權(quán)利要求1的裝置，其中所述滴落單元包括多個(gè)供有機(jī)材料流過的噴嘴，沿著第一方向排列這些噴嘴。
3.如權(quán)利要求1的裝置，其中所述位置調(diào)整單元包括使所述滴落單元往復(fù)運(yùn)動(dòng)的一往復(fù)單元。
4.如權(quán)利要求1的裝置，其中所述位置調(diào)整單元還包括測量所述滴落單元的位置的所述位置測量單元。
5.如權(quán)利要求1的裝置，其中還包括一第二滴落單元。
6.如權(quán)利要求1的裝置，其中所述傳輸單元包括移動(dòng)所述滴落單元的一傳送帶，所述滴落單元連接到所述位置調(diào)整單元；和驅(qū)動(dòng)該傳送帶的一驅(qū)動(dòng)單元。
7.如權(quán)利要求1的裝置，其中還包括引導(dǎo)所述滴落單元的導(dǎo)軌。
8.如權(quán)利要求1的裝置，其中還包括旋轉(zhuǎn)所述滴落單元的一旋轉(zhuǎn)單元。
9.如權(quán)利要求1的裝置，其中還包括測量所述滴落單元的位置的一位置測量單元。
10.如權(quán)利要求1的裝置，還包括處理數(shù)據(jù)并確定所述滴落單元的位置的一數(shù)據(jù)處理單元。
11.一種滴落有機(jī)材料的裝置，包括至少兩個(gè)滴落有機(jī)材料滴的滴落單元，；在一第一方向傳輸所述滴落單元的一傳輸單元；插入在所述滴落單元和所述傳輸單元之間的一組合單元，該組合單元將所述滴落單元與所述傳輸單元連接起來；和插入在所述滴落單元和所述組合單元之間的一位置調(diào)整單元，所述位置調(diào)整單元控制所述滴落單元之間的距離，并調(diào)整所述滴落單元的位置。
12.如權(quán)利要求11的裝置，其中每個(gè)所述滴落單元包括多個(gè)供有機(jī)材料流過的噴嘴，沿著所述第一方向排列這些噴嘴。
13.如權(quán)利要求11的裝置，其中所述位置調(diào)整單元包括使所述滴落單元往復(fù)運(yùn)動(dòng)以調(diào)整所述滴落單元之間的距離的裝置。
14.如權(quán)利要求11的裝置，其中該傳輸單元包括移動(dòng)所述滴落單元的傳送帶；和驅(qū)動(dòng)該傳送帶的驅(qū)動(dòng)單元。
15.如權(quán)利要求11的裝置，其中還包括引導(dǎo)滴落單元的導(dǎo)軌。
16.如權(quán)利要求11的裝置，其中還包括一位置探測裝置，該裝置獲得滴落單元的位置圖像以確定滴落單元的位置。
17.如權(quán)利要求11的裝置，其中還包括至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)所述滴落單元的旋轉(zhuǎn)單元。
18.一種滴落有機(jī)材料的裝置，包括一第一滴落裝置，包括滴落有機(jī)材料滴的一第一滴落單元，和連接所述第一滴落單元并沿著一第一方向傳輸所述第一滴落單元的一第一傳輸單元；一第二滴落裝置，包括滴落有機(jī)材料滴的一第二滴落單元，和連接所述第二滴落單元并沿著第一方向傳輸所述第二滴落單元的一第二傳輸單元，該第二滴落裝置沿著一第二方向與第一滴落裝置間隔，該第二方向大致垂直于所述第一方向；一第一位置調(diào)整單元，其插入在所述第一滴落單元和所述第一傳輸單元之間，以調(diào)整所述第一滴落單元的位置；和一第二位置調(diào)整單元，其插入在所述第二滴落單元和所述第二傳輸單元之間，以調(diào)整所述第二滴落單元的位置。
19.如權(quán)利要求18的裝置，其中還包括其他第一滴落單元和其他第二滴落單元，其中將每個(gè)第二滴落單元設(shè)置在所述第一滴落單元之間。
20.如權(quán)利要求18的裝置，其中還包括用于引導(dǎo)相應(yīng)的第一和第二滴落單元的第一軌道和第二軌道。
全文摘要
本發(fā)明公開一種裝置，其包括滴落單元、傳輸單元和位置調(diào)整單元。該滴落單元滴落有機(jī)材料滴。該傳輸單元沿著第一方向傳輸?shù)温鋯卧?。該位置調(diào)整單元插入在滴落單元和傳輸單元之間，以調(diào)整滴落單元的位置。因此，滴落該有機(jī)材料的裝置具有小尺寸，并能將該有機(jī)材料滴滴落在精確的位置上。而且，該傳輸單元迅速移動(dòng)滴落單元，并且位置調(diào)整單元精確地調(diào)整滴落單元的位置。因此，減小了用于烘干注入到空穴中的有機(jī)材料的時(shí)差。
文檔編號(hào)H01L51/50GK1657181SQ20051006403
公開日2005年8月24日 申請(qǐng)日期2005年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月19日
發(fā)明者李東遠(yuǎn), 崔埈厚, 鄭鎮(zhèn)九 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社