專利名稱：玻璃基板等的輸送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種TFT((Thin Film Transistor)薄膜晶體管)、LCD(液晶顯示器)、PDP(等離子顯示板)、EL(電致發(fā)光)等的制造工序中的基板的儲存部(例如自動倉庫)和生產(chǎn)線之間的玻璃基板等的輸送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，在LCD生產(chǎn)線例如腐蝕、光刻膠等的生產(chǎn)線中的所謂單張式的搬運系統(tǒng)中，將各種輸送系統(tǒng)設(shè)置于自動倉庫與生產(chǎn)線側(cè)之間，該單張式的搬運系統(tǒng)從作為以多層狀收容的盒的儲存部的自動倉庫(堆裝起重機)將玻璃基板輸送到生產(chǎn)線側(cè)，另外，將在生產(chǎn)線的處理結(jié)束了的玻璃基板輸送到上述自動倉庫側(cè)。
作為該輸送系統(tǒng)，例如提出有專利文獻1所示那樣的輸送系統(tǒng)。該輸送系統(tǒng)配置二臺從以多層狀收容玻璃基板的盒按單張送出基板的基板單張送出裝置，并配置行走式基板輸送機，該行走式基板輸送機接受從各送出裝置送出的基板，使基板滑動到加工裝置的中心。另外，由升降式基板輸送機和二層構(gòu)造的帶升降功能的二層升降式基板輸送機構(gòu)成，該升降式基板輸送機從行走式基板輸送機接受基板，將輸送高度切換為上下二層地進行輸送，該二層構(gòu)造的帶升降功能的二層升降式基板輸送機從該升降式基板輸送機接受基板，將基板供給到加工裝置。
構(gòu)成上述輸送系統(tǒng)的基板單張送出裝置具有盒升降機構(gòu)和基板送出輸送機；該盒升降機構(gòu)使集中玻璃基板并對其進行一時儲存的盒(設(shè)有按預(yù)定的間隔對玻璃基板進行水平多層狀支承的橫條的盒)上下升降；該基板送出輸送機相對盒裝載/卸載玻璃基板。
由該輸送系統(tǒng)將盒內(nèi)的玻璃基板輸送供給到加工裝置側(cè)和從加工裝置側(cè)將處理完畢的玻璃基板輸送收容到盒側(cè)的動作為將升降式基板輸送機和二層升降式基板輸送機上下切換地進行輸送的動作。
按照上述構(gòu)成，可按獨立的速度同時進行升降式基板輸送機與二層升降式基板輸送機之間的基板移載和二層升降式基板輸送機與加工裝置之間的基板移載，按高度不同的同一位置同時進行向加工裝置的基板供給和后續(xù)基板的接受。
另外，可通過二層升降式基板輸送機的上下層切換縮短從先行基板的供給結(jié)束到后續(xù)基板的供給開始的時間。因此，可滿足加工裝置的輸送條件和線的生產(chǎn)能力。
(專利文獻1)日本特開2004-284772號公報然而，在上述輸送系統(tǒng)中，多臺的基板單張送出裝置和升降式基板輸送機之間的基板輸送僅為一個輸送通道，因此，基板單張送出裝置側(cè)與加工裝置側(cè)之間的基板的交接為基板的供給和基板的回收中的任一方，或交替地進行基板的供給和回收，至少不能同時進行基板的供給和基板的回收。即，當(dāng)從基板單張送出裝置通過升降式基板輸送機和二層升降式基板輸送機朝加工裝置側(cè)輸送玻璃基板時，不能將在加工裝置側(cè)完成了處理的玻璃基板輸送到基板單張送出裝置側(cè)。
因此，在上述專利文獻1記載的輸送系統(tǒng)中，損失生產(chǎn)節(jié)拍時間，不得不使供給和回收中的任一方的基板等候，不能提高生產(chǎn)率。
另外，上述輸送系統(tǒng)為單向輸送，所以，輸送路內(nèi)的基板的收容密度低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述問題而作出的，其目的在于消除該現(xiàn)有問題，提供一種輸送系統(tǒng)，該輸送系統(tǒng)在交換裝置與生產(chǎn)線之間的單張輸送中可同時進行玻璃基板的交接(供給)和接受(回收)，從而不損失生產(chǎn)節(jié)拍時間地進行高兒輸送，具有可相應(yīng)于生產(chǎn)線的循環(huán)時間設(shè)定輸送形式的自由度。
另外，本發(fā)明的另一目的在于提供一種可提高輸送通道內(nèi)的玻璃基板的收容密度的輸送系統(tǒng)。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的玻璃基板等的輸送系統(tǒng)由輸送裝置在收容多層玻璃基板等工件的盒的存儲部與并排設(shè)置多臺的交換裝置之間按盒單位進行輸送，在交換裝置與生產(chǎn)線之間對上述工件進行單張輸送；其特征在于在上述交換裝置內(nèi)配置相對在該交換裝置內(nèi)進行上下升降的盒進行工件的裝載或卸載的輸送機，在該交換裝置的裝載/卸載工件側(cè)，用于將工件交接到生產(chǎn)線側(cè)的交接(供給)專用輸送機和用于接受從生產(chǎn)線側(cè)排出的工件的接受(回收)專用輸送機劃分成上下二層，而且沿上述交換裝置的并排設(shè)置方向可依次進行工件的交接地并排配置多臺，另外，配置于上述交換裝置內(nèi)的輸送機相應(yīng)于上述交接專用輸送機和接受專用輸送機的高度可上下自由升降(發(fā)明1)。
相對上述交換裝置被供給/取出的盒以水平多層狀收容玻璃基板等平板狀的工件，例如，可為在水平方向隔開預(yù)定間隔平行而且朝上下方向隔開預(yù)定的間隔張設(shè)水平支承工件的金屬絲(ワイヤ一)的金屬絲盒(ワイヤ一カセツト)，或由底板、頂板、及柱形成為箱形、在各柱朝鉛直方向按預(yù)定節(jié)距設(shè)置朝向箱內(nèi)方的水平橫條的盒等。在該盒的底面形成可嵌入進行工件的裝載/卸載的輥式輸送機的開口。
上述交換裝置的進行玻璃基板的裝載/卸載一側(cè)，是指相對交換裝置插脫盒一側(cè)的相向側(cè)，即與盒的輸送裝置(例如堆裝起重機)相反側(cè)。
在交換裝置進行盒的交接的輸送裝置，例如可列舉出多層堆放盒的自動倉庫的堆裝起重機、或無人臺車(AGV)、專用輸送機等。
沿上述交換裝置的并排設(shè)置方向可依次進行工件的交接地并排配置多臺上下二層的接受專用輸送機和交接專用輸送機，這意味著交換裝置內(nèi)的輸送機與接受專用輸送機或交接專用輸送機之間的工件的交接、并排設(shè)置多臺的接受專用輸送機相互間的工件的交接、交接專用輸送機相互間的工件的交接。
另外，二層式輸送機如上述那樣可朝直交的二方向切換輸送方向，所以，用交叉輥式輸送機構(gòu)成時較有效。輥式輸送機的驅(qū)動方式為利用磁力的非接觸式的驅(qū)動方式或現(xiàn)在一般的接觸式的皮帶方式等都可以。
按照上述構(gòu)成，通過收容于交換裝置的盒的上下升降、配置于該交換裝置的輸送機的上下調(diào)整、及沿該交換裝置并排配置的多臺的上下二層式的輸送機，各交換裝置對基板的供給和回收作業(yè)都可應(yīng)對。即，如完成基板的供給而使盒變空的活，則切換為回收用的盒，交換裝置內(nèi)的輸送機的位置也可上下切換，回收收容基板。
上述接受專用輸送機和交接專用輸送機的特征在于為利用磁力的非接觸型的輥式輸送機(發(fā)明2)。
按照上述構(gòu)成，由于上下二層式的接受專用/交接專用輸送機為利用磁力的非接觸型的輥式輸送機，所以，可減小上下二層的輸送機的節(jié)距(使其緊湊)，而且，非接觸的動力傳遞不產(chǎn)生灰塵，可進行提高了潔凈度的輸送，在TFT(薄膜晶體管)、LCD(液晶顯示器)、PDP(等離子顯示板)、EL(電致發(fā)光)等的制造中的玻璃基板的輸送中特別有效。而且，可使上下二層的輸送機的高度緊湊，從而使相關(guān)的交換裝置的設(shè)備高度也變低，結(jié)果，可使建筑物內(nèi)交換裝置上面與建筑物天花板之間的盒收容空間(堆料場)較寬。
另外，上述上下二層的接受專用輸送機和交接專用輸送機也可由框體密閉該輸送機整體，同時，支承回轉(zhuǎn)部的軸承部分由密封構(gòu)件包覆，而且，在上述框體內(nèi)配置從該框體的一方朝另一方使清潔空氣流通的空氣通道(發(fā)明3)。
作為上述清潔空氣的供給源，風(fēng)扇·過濾單元(FF)適當(dāng)。
按照上述裝置，利用磁力的非接觸型的輥式輸送機由框體密閉，而且，支承上述輥式輸送機的回轉(zhuǎn)部的軸承由樹脂成形件的密封構(gòu)件包覆，所以，涂覆到該軸承的油脂等的灰塵不會流出到外部。然后，通過使清潔空氣在上述框體內(nèi)從一方朝另一方流通，從而可實現(xiàn)極高水平的潔凈度(清潔級別10或其以下)。
另外，上述上下二層的接受專用輸送機和交接專用輸送機設(shè)置多臺，但與上述交換裝置對應(yīng)地配置相同數(shù)量時較有效(發(fā)明4)。
按照上述裝置，通過將上下二層的接受專用輸送機和交接專用輸送機(交叉輥式輸送機)對應(yīng)于交換裝置設(shè)置為相同數(shù)量(例如3∶3、4∶4等)，從而可相應(yīng)于交換裝置的狀況在與對應(yīng)的接受專用輸送機或交接專用輸送機之間直接進行工件的交接，或經(jīng)由配置成一直線狀的鄰接的接受專用輸送機或交接專用輸送機進行工件的交接等，可在寬范圍對應(yīng)。
本發(fā)明的玻璃基板等的輸送系統(tǒng)按照第1項發(fā)明的構(gòu)成，多臺的各交換裝置對于工件的供給和回收都可應(yīng)對，可節(jié)省空間地進行連續(xù)的工件的供給和回收。即，如將盒內(nèi)的工件供給到生產(chǎn)線側(cè)而盒內(nèi)變空的話，則可切換為回收用的盒，交換裝置內(nèi)的輸送機的位置也可上下切換地從生產(chǎn)線側(cè)將工件回收收容到盒。另外，可同時進行工件的供給和處理結(jié)束的工件的回收收容。
另外，按照第2項發(fā)明的構(gòu)成，可減小上下二層的輸送機的節(jié)距(使其緊湊)，而且，非接觸的動力傳遞不產(chǎn)生灰塵，可進行提高了潔凈度的輸送，在TFT(薄膜晶體管)、LCD(液晶顯示器)、PDP(等離子顯示板)、EL(電致發(fā)光)等的制造中的玻璃基板的輸送中特別有效。而且，可使上下二層的輸送機的高度緊湊，從而使相關(guān)的交換裝置的設(shè)備高度也變低，結(jié)果，可使建筑物內(nèi)交換裝置上面與建筑物天花板之間盒收容空間(堆料場)較寬，可提高工件的收容密度(盒的堆放層數(shù))。
另外，按照第3項發(fā)明的構(gòu)成，可實現(xiàn)極高水準(zhǔn)的潔凈度(清潔級別10或其以下)。
另外，按照第4項發(fā)明的構(gòu)成，可相應(yīng)于交換裝置的狀況在與對應(yīng)的接受專用輸送機或交接專用輸送機之間直接進行工件的交接，或經(jīng)由配置成一直線狀的鄰接的接受專用輸送機或交接專用輸送機進行工件的交接等，可在寬范圍對應(yīng)。因此，可提供一種輸送系統(tǒng)，該輸送系統(tǒng)可消除生產(chǎn)節(jié)拍時間的損失，提高生產(chǎn)效率，具有與生產(chǎn)線側(cè)的系統(tǒng)對應(yīng)的自由度。


圖1為示出本發(fā)明輸送系統(tǒng)的示意布局圖。
圖2為其側(cè)面圖。
圖3為示出交換裝置和二層式輸送機的示意斷面圖。
圖4為示出構(gòu)成二層式輸送機的交叉輥式輸送機的示意平面圖。
圖5為圖4的(5)-(5)線的放大斷面圖。
圖6示出從二層式輸送機的風(fēng)扇·過濾單元(FF)流入到框體內(nèi)的空氣流動，(a)為側(cè)面圖，(b)為正面圖。
圖7為示出動作的基本方式的說明圖。
圖8(a)、(b)為示出輸送系統(tǒng)的另一實施例的布局圖。
具體實施例方式
下面，根據(jù)

盒的輸送裝置為自動倉庫(堆裝起重機)的場合下的本發(fā)明的輸送系統(tǒng)的實施形式的一例。
圖1和圖2示出設(shè)置于潔凈室內(nèi)的輸送系統(tǒng)的大體構(gòu)成，沿自動倉庫A的堆裝起重機A′按一直線狀并排配置多臺(圖中為3臺)交換裝置B1、B2、B3，與上述交換裝置對應(yīng)地在該交換裝置B1～B3的裝載處理完畢的工件W′或卸載工件W側(cè)(與堆裝起重機側(cè)相反側(cè))并排配置二層式輸送機C1、C2、C3，該二層式輸送機C1、C2、C3將交接專用輸送機和接受專用輸送機分成上下二層配置，該交接專用輸送機將工件交接到生產(chǎn)線(EQ)側(cè)，該接受專用輸送機接受從生產(chǎn)線側(cè)排出的處理完畢的工件。在圖示的系統(tǒng)中，示出直接進行二層式輸送機C1～C3與生產(chǎn)線側(cè)(EQ)之間的工件的交接的狀態(tài)，但也可按生產(chǎn)線側(cè)的關(guān)系在該生產(chǎn)線側(cè)與二層式輸送機之間適當(dāng)配置輸送機。
如圖3所示那樣，交換裝置B1～B3從堆裝起重機A′接受以多層狀收容玻璃基板等平板狀的工件W的金屬絲盒F，可將收容于該金屬絲盒F的工件W卸載到二層式輸送機C1～C3的交接專用輸送機(下層)IN1～IN3，將處理完畢的工件W′從二層式輸送機C1～C3的接受專用輸送機(上層)OUT1～OUT3裝載到空的金屬絲盒F內(nèi)。
下面，根據(jù)

交換裝置B1～B3。如圖3所示那樣，在設(shè)備框1內(nèi)收容配置用于承載著金屬絲盒F上下升降的升降單元2和輸送未處理的工件W或處理完畢的工件W′的輥式輸送機3，由升降單元2和輥式輸送機3的動作可相對金屬絲盒F裝載處理完畢的工件W′，或卸載未處理的工件W。
上述輥式輸送機3在設(shè)備框1的高度方向的大體中間位置對應(yīng)于配置在后述的二層式輸送機C1～C3的上層的接受專用輸送機OUT1～OUT3和配置于下層的交接專用輸送機IN1～IN3，相應(yīng)于其目的在裝載位置與卸載位置之間上下移動地構(gòu)成。
設(shè)備框1如圖3所示那樣由呈平面大體矩形狀的底框1a和跨在該底框1a的相對的二邊地立起固定的門形支柱構(gòu)架1b構(gòu)成，在底框1a可上下自由調(diào)節(jié)地安裝腳座4，這樣，可與設(shè)置地面的傾斜和凹凸無關(guān)地水平設(shè)置設(shè)備框1。金屬絲盒F可從門形支柱構(gòu)架1b間的側(cè)方由堆裝起重機A′的叉供給或取出。
使金屬絲盒F上下升降的升降單元2如圖3所示那樣由支承構(gòu)架5和升降驅(qū)動部6構(gòu)成，該支承構(gòu)架5承載支承金屬絲盒F的底部，該升降驅(qū)動部6沿上述門形支柱構(gòu)架1b的左右支柱使該支承構(gòu)架5左右同步地上下移動。
支承構(gòu)架5使用金屬制方管等形成為平面矩形，在該支承構(gòu)架5的上面固定有對金屬絲盒F的底部四角部進行固定支承的盒支承部。這樣，金屬絲盒F被定位到支承構(gòu)架5而穩(wěn)定地受到載置支承。
使上述支承構(gòu)架5上下移動的升降驅(qū)動部6，如圖3所示那樣由安裝于上述支承構(gòu)架5的左右側(cè)邊的中央上面的支承構(gòu)件7、使該支承構(gòu)件7上下升降的滾珠螺桿機構(gòu)8及朝鉛直方向引導(dǎo)的導(dǎo)向構(gòu)件(圖示省略)、和驅(qū)動左右的滾珠螺桿機構(gòu)8的作為動力源的電動機9等構(gòu)成。
左右的滾珠螺桿機構(gòu)8和導(dǎo)向構(gòu)件(圖示省略)如圖3所示那樣，鉛直地配置到門形支柱構(gòu)架1b的左右支柱的內(nèi)側(cè)，在螺旋接合于滾珠螺桿機構(gòu)8的螺桿的螺母構(gòu)件上固定上述支承構(gòu)件7的垂直邊部，螺母構(gòu)件連接于導(dǎo)向構(gòu)件的滑塊。這樣，通過螺桿回轉(zhuǎn)，固定支承構(gòu)件7的螺母構(gòu)件由導(dǎo)向構(gòu)件的導(dǎo)向作用朝上下方向移動。作為導(dǎo)向構(gòu)件，LM導(dǎo)向件較適合。
另外，由升降驅(qū)動部6的作用使支承構(gòu)架5上下升降的范圍，在對承載于該支承構(gòu)架的金屬絲盒F的工件W進行卸載的開始位置(上限位置)與將工件W裝載到金屬絲盒F的開始位置(下限位置)之間。
相對由上述升降單元2上下升降的金屬絲盒F裝載/卸載工件W的輥式輸送機3，如圖3所示那樣由可相對收容于上述設(shè)備框1內(nèi)的金屬絲盒F不接觸地嵌脫地形成為梳齒狀的輸送機構(gòu)架10、安裝于該梳齒那樣的各立起框的上部的輸送輥11、和驅(qū)動各立起框的輸送輥11回轉(zhuǎn)的驅(qū)動源(圖示省略)構(gòu)成。
將輸送機構(gòu)架10構(gòu)成為梳齒狀的目的在于，對于以水平多層狀收容支承工件W的盒的形式，當(dāng)卸載金屬絲盒F內(nèi)的收容為多層狀的工件W時和將處理完畢的工件W′以多層狀裝載到空的金屬絲盒F時，雖然金屬絲盒F由上述升降單元上下升降，但可不妨礙其上下升降地對工件W進行裝載/卸載。即，使得金屬絲盒F的并排設(shè)置的金屬絲f′不接觸地嵌入輸送機構(gòu)架10的立起框相互的間隙并通過地構(gòu)成。
驅(qū)動配置于輸送機構(gòu)架10的上部的各輸送輥11回轉(zhuǎn)的驅(qū)動部(省略圖示)將該電動機的回轉(zhuǎn)按利用磁鐵的吸引·排斥的非接觸的動力傳遞方式傳遞到各輸送輥11的軸地構(gòu)成。這樣，基本上不產(chǎn)生灰塵，可在清潔的環(huán)境下進行工件W的輸送。
如上述那樣構(gòu)成的輥式輸送機3與配置于二層式輸送機C1～C3上層的接受專用輸送機OUT1～OUT3和配置于下層的交接專用輸送機IN1～IN3的高度對應(yīng)地由輸送機升降單元12上下移動地構(gòu)成。
輸送機升降單元12如圖3所示那樣由支承輸送機構(gòu)架10的底部四部位的曲臂12a和使該四個部位的曲臂12a回轉(zhuǎn)的帶齒輪箱的升降用電動機12b及朝鉛直方向引導(dǎo)輸送機構(gòu)架10的導(dǎo)向件(省略圖示)構(gòu)成，升降用電動機12b的回轉(zhuǎn)通過齒輪箱和連接軸傳遞到上述曲臂12a，四個部位的曲臂12a同步地動作，使輥式輸送機3上下移動。輥式輸送機3上下移動的距離等于后述的二層式輸送機C1～C3的接受專用輸送機OUT1～OUT3與交接專用輸送機IN1～IN3的間隔，根據(jù)該間隔決定。
二層式輸送機C1～C3將由可朝直交成直角的二方向輸送的交叉輥式輸送機17構(gòu)成的接受專用輸送機OUT1～OUT3配置在上層，將交接專用輸送機IN1～IN3配置在下層，而且將收容該輸送機的框體13配置在臺架14上地構(gòu)成。
上述框體13構(gòu)成為呈平面矩形的平形的箱狀，在其高度方向的大體中央部水平地安裝分隔板15，上下劃分內(nèi)部，在分隔板15上側(cè)的房間和下側(cè)的房間雙方收容配置交叉輥式輸送機17，另外，在該框體13的周壁對應(yīng)于該輸送機的輸送方向開設(shè)開口16，該開口16用于通過由配置于框體13內(nèi)的上下的交叉輥式輸送機17輸送的工件W(或工件W′)。上述分隔板15使其外周緣與框體內(nèi)面離開，確?？稍诜指舭?5的周圍上下流通的通道32。該通道32作為后述的清潔空氣的流通路起作用。
臺架14在腳部具有上下(高度)調(diào)節(jié)機構(gòu)，由其調(diào)節(jié)可相應(yīng)于相關(guān)的交換裝置B1～B3或生產(chǎn)線側(cè)的裝置高度進行調(diào)整。
構(gòu)成上述接受專用輸送機OUT1～OUT3和交接專用輸送機IN1～IN3的交叉輥式輸送機17如圖4和圖5所示那樣，由沿并排設(shè)置的交換裝置B1～B3在二層式輸送機C1～C3相互間進行工件W的交接的輥式輸送機17a和在與上述交換裝置B1～B3之間裝載/卸載工件W的輥式輸送機17b構(gòu)成。上述輥式輸送機17a固定到預(yù)定的位置，另一方的輥式輸送機17b相對上述輥式輸送機17a的輸送面在上下方向自由出沒地構(gòu)成。即，輥式輸送機17b在輥式輸送機17a的動作時下降到該輥式輸送機17a的輸送面的下側(cè)，在與交換裝置B1～B3之間裝載/卸載工件W時突出到輥式輸送機17a的輸送面的上方，輸送工件W。
另外，構(gòu)成上述交叉輥式輸送機17的輥式輸送機17a、17b的輸送輥的回轉(zhuǎn)方式，由利用磁鐵的吸引·排斥的非接觸型的動作傳遞機構(gòu)將電動機的回轉(zhuǎn)傳遞到安裝了輸送輥的各輥軸使其回轉(zhuǎn)地構(gòu)成。
圖示的動力傳遞機構(gòu)，在輥式輸送機17a中將磁環(huán)(從動磁輪)20固定到按預(yù)定間隔安裝了輸送輥18的輥軸19的軸端，與該磁環(huán)(從動磁輪)20對應(yīng)地在非接觸狀態(tài)下直交配置安裝了磁環(huán)(驅(qū)動磁輪)21的驅(qū)動軸22，由電動機使驅(qū)動軸22回轉(zhuǎn)，從而由磁環(huán)(驅(qū)動磁輪)21與磁環(huán)(從動磁輪)20的作用使各輥軸19回轉(zhuǎn)。
另外，輥式輸送機17b，在扁平長尺寸的殼體23內(nèi)沿該殼體的縱向可回轉(zhuǎn)地支承安裝了磁環(huán)(從動磁輪)25的輸送輥24，在該磁環(huán)(從動磁輪)25的正下方對應(yīng)于上述磁環(huán)(從動磁輪)25在非接觸狀態(tài)下可回轉(zhuǎn)地直交配置安裝了磁環(huán)(驅(qū)動磁輪)26的驅(qū)動軸27，同時，在該驅(qū)動軸27的預(yù)定部位固定磁環(huán)(傳遞用磁輪)28。在支承條(圖示省略)上隔開預(yù)定的間隔(可從上述輥式輸送機17a的輥軸相互間出沒的間隔)并排設(shè)置地固定如上述那樣具有輸送輥24的殼體23，在各殼體23的磁環(huán)(傳遞用磁輪)28的正下方對應(yīng)于該磁環(huán)(傳遞用磁輪)28直交地配置安裝了磁環(huán)(傳遞用磁輪)30的動力傳遞軸29，該動力傳遞軸29通過齒輪列傳遞電動機31的回轉(zhuǎn)。這樣，當(dāng)動力傳遞軸29回轉(zhuǎn)時，安裝于該動力傳遞軸29的磁環(huán)(傳遞用磁輪)30與各殼體23的磁環(huán)(傳遞用磁輪)28的作用使內(nèi)裝于各殼體23的驅(qū)動軸27回轉(zhuǎn)，由安裝于該驅(qū)動軸27的磁環(huán)(驅(qū)動磁輪)26與磁環(huán)(從動磁輪)25的作用使輸送輥24回轉(zhuǎn)。
上述輥式輸送機17b通過上下升降裝置例如氣缸34與連桿機構(gòu)的組合，可相對輥式輸送機17a上下自由出沒地構(gòu)成。
另外，在構(gòu)成上述二層式輸送機C1～C3的框體13的上面外側(cè)設(shè)置風(fēng)扇·過濾單元(FF)33，從該風(fēng)扇·過濾單元(FF)33流入的潔凈室內(nèi)的室內(nèi)空氣流入到上述框體13的上側(cè)的房間，該流入的空氣通過分隔板15周圍的通道32流到下側(cè)的房間和并排設(shè)置的交換裝置B1～B3，從框體13的下側(cè)流出到框體外，從而確保二層式輸送機C1～C3內(nèi)的潔凈度。
從風(fēng)扇·過濾單元(FF)33流入到框體13的空氣的流動如圖6(a)、(b)所示。
另外，構(gòu)成上述二層式輸送機C1～C3的接受專用輸送機OUT1～OUT3和交接專用輸送機IN1～IN3的交叉輥式輸送機17，除了利用磁力的非接觸型的驅(qū)動方式外，安裝了輸送輥的軸或安裝了動力傳遞的磁環(huán)的軸等回轉(zhuǎn)部為了獲得圓滑、阻力小的回轉(zhuǎn)而由軸承支承，可用由樹脂成形件構(gòu)成的密封構(gòu)件包覆該軸承(形成迷宮構(gòu)造)，以防止涂覆于該軸承部分的潤滑油流出到外部。按照該構(gòu)成，可實現(xiàn)清潔級別10或其以下(0.3μ)。
下面，根據(jù)圖7說明圖1和圖2所示輸送系統(tǒng)的輸送動作的基本方式。收容于該圖的交換裝置B1～B3的金屬絲盒F表示收納盒，[X]盒和[Y]盒表示收容了工件W的供給盒，[Z]盒表示未收容工件W的空盒[Z]。
1.從自動倉庫A由堆裝起重機A′將收容了工件W的供給盒[X]、[Y]供給到交換裝置B1、B2，將空盒[Z]供給配置到交換裝置B3。
2.交換裝置B1將內(nèi)裝的上下自由升降的輥式輸送機3設(shè)置到下層位置，由升降單元2使供給盒[X]下降，收容于該盒的最下層的工件W在移載到上述輥式輸送機3的位置停止下降。然后，使輥式輸送機3動作，將工件W裝載到配置于前方的二層式輸送機C1的下層的交接專用輸送機IN1。此時，交接專用輸送機IN1為了從輥式輸送機3接受工件W，使交叉輥式輸送機17的輥式輸送機17b突出而進行接受，在工件W完全移載到交叉輥式輸送機17上的時刻使輥式輸送機17b的動作停止，同時，使其下降而位于另一方的輥式輸送機17a的輸送面的下方，由輥式輸送機17a支承工件W。然后，使與二層式輸送機C1連續(xù)地并排配置的其它二層式輸送機C2、C3的各交接專用輸送機IN2、IN3的輥式輸送機17a動作，按交接專用輸送機IN1→IN2→IN3的順序輸送工件W。二層式輸送機C3的交接專用輸送機IN3在輥式輸送機17a完全接受了工件W的時刻停止該輥式輸送機17a的動作，使另一方的輥式輸送機17b上升，支承工件W，使該輸送機17b動作，將工件W排出到生產(chǎn)線(EQ)側(cè)。通過對收容于上述供給盒[X]的工件W進行該動作而將工件W連續(xù)地供給到生產(chǎn)線(EQ)側(cè)(參照圖7(a))。
3.通過生產(chǎn)線(EQ)側(cè)實施了預(yù)定處理的工件W′，由輸送裝置(圖示省略)排出到配置于二層式輸送機C1的上層的接受專用輸送機OUT1。此時，接受專用輸送機OUT1為了從輸送裝置(圖示省略)接受工件W′，使交叉輥式輸送機17的輥式輸送機17b突出而進行接受，在工件W′完全移載到交叉輥式輸送機17上的時刻，停止輥式輸送機17b的動作，同時，使其下降而處于另一方的輥式輸送機17a的輸送面的下方，由輥式輸送機17a支承工件W′。然后，使與二層式輸送機C1連續(xù)地并排配置的其它二層式輸送機C2、C3的各接受專用輸送機OUT2、OUT3的輥式輸送機17a動作，按接受專用輸送機OUT1→OUT2→OUT3的順序輸送工件W′。二層式輸送機C3的接受專用輸送機OUT3在輥式輸送機17a完全接受了工件W′的時刻停止該輥式輸送機17a的動作，使另一方的輥式輸送機17b上升，支承工件W′，使該輸送機17b動作，將工件W′收容到交換裝置B3的空盒[Z]。
工件W′相對空盒[Z]的裝載(收容)，按與上述工件W的卸載相反的動作，將安裝于交換裝置B3的輥式輸送機3上升設(shè)置到上層位置(與配置到二層式輸送機C3上層的接受專用輸送機OUT3的輸送面相同高度的位置)，而且，使空盒[Z]在最上層的金屬絲位置與上述輥式輸送機3的位置一致的高度位置停止。然后，使輥式輸送機3動作，從二層式輸送機C3的接受專用輸送機OUT3的輥式輸送機17b將工件W′裝載(收容)到空盒[Z]。由升降單元2使空盒[Z]按預(yù)定節(jié)距間隔上升，連續(xù)地將工件W′收容于該空盒[Z]的各層(參照圖7(b))。
4.當(dāng)將收容于交換裝置B1的供給盒[X]的工件W全部供給完畢時，位于下層位置的輥式輸送機3移動到上層位置，切換成空盒[Z]。
5.交換裝置B1的供給盒[X]切換成空盒[Z]后，收容于交換裝置B2的供給盒[Y]的工件W通過與上述2.同樣的動作，裝載到二層式輸送機C2的交接專用輸送機IN2，進而經(jīng)由二層式輸送機C3的接受專用輸送機IN3，向生產(chǎn)線(EQ)側(cè)連續(xù)地進行供給。
另一方面，當(dāng)上述3.的工件W′向交換裝置B3的空盒[Z]的裝載(收容)變滿時，該盒由堆裝起重機A′從交換裝置B3取出，作為其替代，收容了工件W的供給盒[Y]由堆裝起重機A′設(shè)置到交換裝置B3(參照圖7(c))。
6.通過生產(chǎn)線(EQ)側(cè)而實施了預(yù)定處理的工件W′，在向交換裝置B3的空盒[Z]的收容變滿后，在從交換裝置B1的供給盒[X]結(jié)束供給工件W、切換為空盒[Z]的盒，由二層式輸送機C1的接受專用輸送機OUT1、交換裝置B1的輥式輸送機3和空盒[Z]的上升動作進行裝載(收容)(參照圖7(d))。
另外，當(dāng)在生產(chǎn)線(EQ)側(cè)發(fā)生故障、產(chǎn)生不合格品時，可在完成交換裝置B1的供給盒[X]或交換裝置B2的供給盒[Y]的工件W的供給而變空的盒由與上述3.同樣的動作集中收容該不合格品的工件W′，或?qū)⑻幱诠┙o停止的二層式輸送機C1、C2、C3上的工件W移載到空盒。
上述輸送方式為了容易理解動作對各工序獨立地進行了說明，但由于二層式輸送機的交接專用輸送機和接受專用輸送機上下獨立地配置，所以，可同時進行圖7(a)所示工件W的供給和圖7(b)所示處理完畢的工件W′的回收收容。另外，圖7所示輸送方式為一例，可相應(yīng)于生產(chǎn)線(EQ)側(cè)的構(gòu)成等改變本輸送系統(tǒng)的構(gòu)成，而且，可任意改變輸送方式。
下面根據(jù)圖8簡單說明其它實施例。
圖8(a)所示輸送系統(tǒng)將二層式輸送機C1～C4按一橫列排列設(shè)置，交換裝置B1～B3空出交換裝置B2與B3之間(與二層式輸送機C3對應(yīng)的部位)地設(shè)置，將該交換裝置B2與B3之間用作為盒放置場所(自動倉庫的一部分)，與圖示箭頭或上述實施例的方式同樣地進行工件W的卸載和處理完畢的工件W′的裝載。
另外，圖8(b)所示輸送系統(tǒng)也可分別設(shè)置4臺交換裝置B1～B4和二層式輸送機C1～C4，工件W的供給和處理完畢的工件W′的回收收容分別各分成二臺進行輸送。
在上述實施形式中，二層式輸送機C1～C3將下層作為交接專用輸送機，將上層作為接受專用輸送機，但也可形成為相反的形式。在形成為相反的形式的場合，當(dāng)然需要使交換裝置的輥式輸送機的裝載/卸載的位置上下相反。
另外，構(gòu)成二層式輸送機的交接專用輸送機和接受專用輸送機的交叉輥式輸送機的驅(qū)動方式不限于利用磁力的非接觸型的方式，也可為現(xiàn)在一般采用的驅(qū)動方式。但是，該場合為了維持潔凈度，需要設(shè)置其它設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板等的輸送系統(tǒng)，由輸送裝置在收容多層玻璃基板等工件的盒的存儲部與并排設(shè)置多臺的交換裝置之間按盒單位進行輸送，在交換裝置與生產(chǎn)線之間對所述工件進行單張輸送；其特征在于在所述交換裝置內(nèi)配置相對在該交換裝置內(nèi)進行上下升降的盒進行工件的裝載或卸載的輸送機，在該交換裝置的裝載/卸載工件側(cè)，用于將工件交接到生產(chǎn)線側(cè)的交接專用輸送機和用于接受從生產(chǎn)線側(cè)排出的工件的接受專用輸送機劃分成上下二層，而且沿所述交換裝置的并排設(shè)置方向可依次進行工件的交接地并排配置多臺，另外，配置于所述交換裝置內(nèi)的輸送機相應(yīng)于所述交接專用輸送機和接受專用輸送機的高度可上下自由升降。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板等的輸送系統(tǒng)，其特征在于所述上下二層的接受專用輸送機和交接專用輸送機為利用磁力的非接觸型的輥式輸送機。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板等的輸送系統(tǒng)，其特征在于所述上下二層的接受專用輸送機和交接專用輸送機由框體密閉該輸送機整體，同時，支承回轉(zhuǎn)部的軸承部分由密封構(gòu)件包覆，而且，在所述框體內(nèi)配置從該框體的一方朝另一方使清潔空氣流通的空氣通道。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任何一項所述的玻璃基板等的輸送系統(tǒng)，其特征在于所述上下二層的接受專用輸送機和交接專用輸送機與所述交換裝置對應(yīng)地配置相同數(shù)量。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種輸送系統(tǒng)，該輸送系統(tǒng)在交換裝置與生產(chǎn)線之間的單張輸送中可同時進行玻璃基板的交接(供給)和接受(回收)。玻璃基板等的輸送系統(tǒng)在收容多層玻璃基板等工件的盒的存儲部與交換裝置之間按盒單位進行輸送，在交換裝置與生產(chǎn)線之間對上述工件進行單張輸送；其中在該交換裝置的裝載/卸載工件側(cè)，分上下二層配置多臺將工件交接到生產(chǎn)線側(cè)的交接專用輸送機和接受從生產(chǎn)線側(cè)排出的工件的接受專用輸送機，而且沿上述交換裝置的并排設(shè)置方向可依次進行工件的交接地并排配置，另外，配置于上述交換裝置內(nèi)的輸送機相應(yīng)于上述交接專用輸送機和接受專用輸送機的高度可上下自由升降。
文檔編號H01L21/00GK1810607SQ20051007029
公開日2006年8月2日 申請日期2005年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月26日
發(fā)明者降幡昌昭, 高橋貢, 巖瀨惠一, 蔡明哲 申請人:滿留安機械株式會社