專利名稱：搬運(yùn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種搬運(yùn)裝置，且特別是涉及一種適于在制造平面顯示面板時(shí)，可防止基板受到靜電(electrostatic discharge，ESD)破壞，并防止工藝機(jī)臺(tái)受外力碰撞而損壞的搬運(yùn)裝置。
背景技術(shù)：
顯示器為人與信息的溝通界面，目前以平面顯示器為發(fā)展的趨勢(shì)。平面顯示器主要有以下幾種有機(jī)電致發(fā)光顯示器(OrganicElectro-Luminescence Display，OELD)、等離子體顯示器(Plasma DisplayPanel，PDP)以及薄膜晶體管液晶顯示器等(Thin Film Transistor LiquidCrystal Display，TFT-LCD)。
在平面顯示器的制造過程中，會(huì)經(jīng)過許多的工藝步驟。因此，基板需通過搬運(yùn)裝置進(jìn)行多次的搬運(yùn)，以在不同的工藝機(jī)臺(tái)間轉(zhuǎn)換工藝步驟。在搬運(yùn)時(shí)，用來搬運(yùn)基板的搬運(yùn)裝置很有可能會(huì)與工藝機(jī)臺(tái)碰撞而造成工藝機(jī)臺(tái)損壞。另外，搬運(yùn)裝置與基板之間也容易因?yàn)槟Σ炼a(chǎn)生靜電，而積累在基板上的靜電將可能對(duì)基板上的元件造成危害。
圖1所示為公知搬運(yùn)裝置的示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D1，公知的搬運(yùn)裝置100包括至少兩個(gè)支撐座110，且支撐座110是用以支撐基板130的相對(duì)兩側(cè)邊130a。每一支撐座110固定在移動(dòng)組件120上，通過移動(dòng)組件120帶動(dòng)支撐座110，可以將基板130支撐起來。當(dāng)基板130被移至工藝機(jī)臺(tái)(未顯示)附近時(shí)，機(jī)器手臂140會(huì)夾持起基板130而將其傳送到工藝機(jī)臺(tái)中。
圖2所示為圖1中支撐座的側(cè)視示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D2，一般而言，支撐座110包括支撐部112與主體114，其中支撐部為平臺(tái)形狀，適于支撐基板130。而主體114與支撐部112為一體成型，且其材質(zhì)為陶瓷。
承上所述，傳統(tǒng)搬運(yùn)裝置100所存在的問題是，首先，由于支撐座110的本體114的慣性質(zhì)量(counter mass)較大，所以若搬運(yùn)裝置100因操作不當(dāng)或其它因素而與工藝機(jī)臺(tái)產(chǎn)生碰撞時(shí)，往往會(huì)對(duì)精密且昂貴的工藝機(jī)臺(tái)造成嚴(yán)重的損壞。
此外，由于支撐座110的材質(zhì)是陶瓷，而陶瓷具有絕緣的特性，所以基板130與支撐座110之間因不斷地接觸與分離而產(chǎn)生的摩擦，往往會(huì)產(chǎn)生靜電而積累在基板130上，因此有可能對(duì)基板130以及基板130上的元件產(chǎn)生破壞。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的就是提供一種搬運(yùn)裝置，其適于在搬運(yùn)過程時(shí)，可防止工藝機(jī)臺(tái)受外力碰撞而損壞，并防止基板受到靜電(electrostaticdischarge，ESD)破壞。
本發(fā)明提出一種搬運(yùn)裝置，其包括至少兩個(gè)支撐座，且支撐座是用以支撐基板的相對(duì)兩側(cè)邊，其中每一支撐座包括支撐部、固定部以及安全組件。此安全組件是連接在支撐部與固定部之間，且當(dāng)支撐座遭受預(yù)定程度的撞擊時(shí)，安全組件會(huì)斷裂使固定部與支撐部分離開來。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的搬運(yùn)裝置，上述支撐部與固定部的厚度大于安全組件的厚度。其中支撐部的厚度介于3～4mm之間，固定部的厚度介于10～12mm之間，而安全組件的厚度介于2～3mm之間。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的搬運(yùn)裝置，上述支撐部的形狀為平板狀。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的搬運(yùn)裝置，還包括支撐條，且支撐條鋪設(shè)在支撐部的底面。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的搬運(yùn)裝置，上述支撐座的材質(zhì)包括防靜電積累的材質(zhì)，而此防靜電積累的材質(zhì)例如為金屬，且此金屬例如選自鋁、銅、鉻、鈦、不銹鋼及其組合中之一個(gè)。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的搬運(yùn)裝置，還包括至少兩個(gè)移動(dòng)組件，且每一移動(dòng)組件是與每一支撐座的固定部連接。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的搬運(yùn)裝置，上述支撐部、安全組件與固定部為一體成型的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的搬運(yùn)裝置采用具有安全組件的支撐座，所以在搬運(yùn)時(shí)，若用來搬運(yùn)基板的搬運(yùn)裝置與工藝機(jī)臺(tái)碰撞，此時(shí)安全組件會(huì)斷裂，而使外力不會(huì)繼續(xù)傳遞到工藝機(jī)臺(tái)上，因此可以保護(hù)工藝機(jī)臺(tái)。另外，利用金屬作為支撐座的材質(zhì)，使得搬運(yùn)裝置與基板之間因?yàn)槟Σ炼a(chǎn)生的靜電可被消除，所以靜電就不會(huì)積累在基板上，而可以保護(hù)基板以及基板上的元件不受靜電破壞。
為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下。


圖1所示為公知搬運(yùn)裝置進(jìn)行基板搬運(yùn)的示意圖。
圖2所示為圖1中支撐座的側(cè)視示意圖。
圖3A所示為本發(fā)明的一較佳實(shí)施例中一種搬運(yùn)裝置的示意圖。
圖3B所示為本發(fā)明的另一較佳實(shí)施例中一種搬運(yùn)裝置的示意圖。
圖4A所示為本發(fā)明一實(shí)施例中的支撐座的俯視示意圖。
圖4B所示為本發(fā)明一實(shí)施例中的支撐座的側(cè)視示意圖。
圖4C所示為本發(fā)明一實(shí)施例中的支撐座的仰視示意圖。主要元件標(biāo)記說明100公知的搬運(yùn)裝置110支撐座112支撐部
114主體120移動(dòng)組件130基板130a側(cè)邊140機(jī)器手臂200搬運(yùn)裝置210支撐座212支撐部214安全組件216固定部218支撐條220、220a移動(dòng)組件230基板230a側(cè)邊具體實(shí)施方式
圖3A所示為本發(fā)明的一較佳實(shí)施例中一種搬運(yùn)裝置的示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D3A，搬運(yùn)裝置200包括至少兩個(gè)支撐座210，且支撐座210是用以支撐基板230的相對(duì)兩側(cè)邊230a。在本發(fā)明的一較佳實(shí)施例中，搬運(yùn)裝置200還包括至少兩個(gè)移動(dòng)組件220，且每一移動(dòng)組件220是與每一支撐座210的固定部216連接。且連接的方式例如為圖3A所示，移動(dòng)組件220是從固定部216的上方穿設(shè)到固定部216中?；蛘呤侨鐖D3B所示，移動(dòng)組件220a是從支撐座210的側(cè)邊而與支撐座210相互連接的方式。
為了防止工藝機(jī)臺(tái)受外力碰撞而損壞，并防止基板受到靜電(electrostatic discharge，ESD)破壞，本發(fā)明是針對(duì)支撐座210的外型與材質(zhì)加以設(shè)計(jì)，關(guān)于支撐座210的構(gòu)造如下所述。
圖4A所示為本發(fā)明一實(shí)施例中的支撐座的俯視示意圖，而圖4B所示為本發(fā)明一實(shí)施例中的支撐座的側(cè)視示意圖，且圖4C所示為本發(fā)明一實(shí)施例中的支撐座的仰視示意圖。請(qǐng)共同參照?qǐng)D4A～4C。
如圖4A～4C所示，每一支撐座210包括支撐部212、固定部214以及安全組件216。值得注意的是，安全組件214是連接在支撐部212與固定部216之間，且當(dāng)支撐座210遭受預(yù)定程度的撞擊時(shí)，安全組件214會(huì)斷裂使固定部216與支撐部212分離開來。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明例如是使安全組件214的厚度相對(duì)較薄，進(jìn)而使安全組件214在遭受預(yù)定程度的撞擊時(shí)會(huì)先行斷裂。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，支撐部212與固定部216的厚度大于安全組件214的厚度。其中支撐部212的厚度介于3～4mm之間，固定部216的厚度介于10～12mm之間，而安全組件214的厚度介于2～3mm之間。此外，如圖4A～4C所示的支撐座210，其支撐部212、安全組件214與固定部216為一體成型的結(jié)構(gòu)，只要利用同一模具即可制造支撐座210?；蛘咧巫?10也可以不是一體成型的結(jié)構(gòu)，支撐部212、安全組件214以及固定部216之間是利用粘接、焊接或其它接合方式而形成一體。
請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D4A～4C，不同于圖2所示的公知的支撐部112，本發(fā)明的支撐部212的形狀為平板狀，且為了增加支撐部212的支撐能力，在本發(fā)明的一實(shí)施例中，支撐座210例如還包括了支撐條218，且此支撐條218是鋪設(shè)在支撐部212的底面。當(dāng)然，也可以利用其它能夠加強(qiáng)支撐座210的支撐能力的設(shè)計(jì)，例如加大支撐座210的厚度，或是利用支撐能力較佳的材料來制造支撐座210，本發(fā)明并不僅限于利用支撐條218的方式，只要能夠加強(qiáng)支撐座210的支撐能力即可。
承上所述，具有如圖4A～4C這樣結(jié)構(gòu)的支撐座210，因?yàn)槠湓O(shè)計(jì)為平板狀，所以此支撐座210與圖2中公知的支撐座110相比較而言，支撐座210具有較小的慣性質(zhì)量。特別是，支撐座210又具有安全組件214，所以在搬運(yùn)時(shí)，若搬運(yùn)裝置200與工藝機(jī)臺(tái)(未顯示)產(chǎn)生碰撞，具有較小的慣性質(zhì)量的支撐座210對(duì)工藝機(jī)臺(tái)產(chǎn)生的外力撞擊力便可以減輕。另外，由于安全組件214可以先行斷裂，故撞擊產(chǎn)生的外力不會(huì)繼續(xù)傳遞到工藝機(jī)臺(tái)上，因而可以保護(hù)工藝機(jī)臺(tái)。
另外，為防止基板受到靜電(electrostatic discharge，ESD)破壞，在本發(fā)明的一較佳實(shí)施例中，支撐座210的材質(zhì)例如為防靜電積累的材質(zhì)。因此，在搬運(yùn)時(shí)，支撐座210與基板230之間，因摩擦而生成的靜電，就可以通過支撐座210而導(dǎo)離基板230，所以靜電將不會(huì)積累在基板230上。如此一來，可降低因?yàn)殪o電積累所造成的靜電破壞現(xiàn)象，進(jìn)而保護(hù)基板230以及已經(jīng)制作于基板230上的電子元件(如薄膜晶體管)。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，此防靜電積累的材質(zhì)例如為金屬，且金屬例如選自鋁、銅、鉻、鈦、不銹鋼及其組合中之一個(gè)。
綜上所述，本發(fā)明的搬運(yùn)裝置具有下列優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明在支撐座的設(shè)計(jì)上，采用具有安全組件的支撐座，其將安全組件的厚度制作得較薄，所以在搬運(yùn)時(shí)，若支撐座受到預(yù)定程度的外力撞擊，安全組件可先斷裂，而不會(huì)使外力繼續(xù)傳遞到工藝機(jī)臺(tái)上，因此可以保護(hù)工藝機(jī)臺(tái)不受到損壞。此外，利用金屬作為支撐座的材質(zhì)，使得在搬運(yùn)時(shí)支撐座與基板之間因不斷摩擦而產(chǎn)生的靜電，可以通過支撐座而導(dǎo)離基板。所以將可以避免靜電破壞基板以及已經(jīng)形成于基板上的電子元件。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與改進(jìn)，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種搬運(yùn)裝置，其特征是包括至少兩個(gè)支撐座，所述支撐座是用以支撐基板的相對(duì)兩側(cè)邊，其中每一所述支撐座包括支撐部；固定部；以及安全組件，連接在該支撐部與該固定部之間，當(dāng)所述支撐座遭受預(yù)定程度的撞擊時(shí)，該安全組件會(huì)斷裂使該固定部與該支撐部分離開來。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征是該支撐部與該固定部的厚度大于該安全組件的厚度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運(yùn)裝置，其特征是該支撐部的厚度介于3～4mm之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運(yùn)裝置，其特征是該固定部的厚度介于10～12mm之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運(yùn)裝置，其特征是該安全組件的厚度介于2～3mm之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征是該支撐部的形狀是平板狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征是還包括支撐條，且該支撐條是鋪設(shè)在該支撐部的底面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征是該支撐座的材質(zhì)包括防靜電積累的材質(zhì)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的搬運(yùn)裝置，其特征是該防靜電積累的材質(zhì)包括金屬。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的搬運(yùn)裝置，其特征是該金屬是選自鋁、銅、鉻、鈦、不銹鋼及其組合中之一個(gè)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征是還包括至少兩個(gè)移動(dòng)組件，且每一所述移動(dòng)組件是與每一所述支撐座的該固定部連接。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征是該支撐部、該安全組件與該固定部是一體成型的結(jié)構(gòu)。
全文摘要
一種搬運(yùn)裝置，其包括至少兩個(gè)支撐座，且支撐座是用以支撐基板的相對(duì)兩側(cè)邊，其中每一支撐座包括支撐部、固定部以及安全組件。此安全組件是連接在支撐部與固定部之間，且當(dāng)支撐座遭受預(yù)定程度的撞擊時(shí)，安全組件會(huì)斷裂使固定部與支撐部分離開來。并且支撐座的材質(zhì)是使用防靜電累積的材質(zhì)，所以本發(fā)明可以防止基板受到靜電破壞，并防止工藝機(jī)臺(tái)受外力碰撞而損壞。
文檔編號(hào)H01L21/67GK1868838SQ20051007226
公開日2006年11月29日 申請(qǐng)日期2005年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月27日
發(fā)明者曹文光, 許泓譯, 陳建裕, 鐘享顯 申請(qǐng)人:中華映管股份有限公司