專利名稱：加速度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及加速度傳感器，更具體地，涉及以下加速度傳感器，其中取決于溫度的偏移電壓的波動(dòng)被抑制，并且該加速度傳感器能夠檢測三個(gè)坐標(biāo)軸方向上的各自的加速度。
背景技術(shù)：
在汽車、輪船、玩具和便攜式終端等中使用的加速度檢測半導(dǎo)體加速度傳感器中，已經(jīng)開發(fā)出了利用壓阻效應(yīng)、壓電效應(yīng)和靜電電容的變化等并使用了各種檢測裝置的加速度傳感器。這些加速度傳感器必須是小型的并且具有高性能。
此外，可以利用一個(gè)芯片進(jìn)行多軸檢測的傳感器的研發(fā)已經(jīng)取得了進(jìn)展并且已經(jīng)生產(chǎn)出了這種傳感器。在這種傳感器中，采用半導(dǎo)體基板并可以使用一般的半導(dǎo)體技術(shù)制造出的壓阻型多軸加速度傳感器的研發(fā)得到了發(fā)展。
對于一般的加速度傳感器，重物和被設(shè)置為包圍該重物的框架部分由連接該框架和重物的多個(gè)梁支撐的梁結(jié)構(gòu)，或者重物由薄膜支撐的隔膜結(jié)構(gòu)(diaphragm structure)都是常見的。此外，在施加了加速度的情況下的檢測包括通過檢測元件檢測在梁或隔膜中產(chǎn)生的彎曲。
在將壓阻元件形成在梁或隔膜上以作為檢測元件并且施加了加速度的情況下，重物在垂直或水平方向搖擺并且應(yīng)力作用于支撐重物的梁或隔膜?？梢垣@取加速度作為與該應(yīng)力引起的梁彎曲相對應(yīng)的壓阻元件的電阻的變化。
圖1是示出了構(gòu)成該加速度傳感器的主要元件的傳感部分的結(jié)構(gòu)的原理圖。圖1A是該傳感部分的透視圖；圖1B是該傳感部分的平面圖，圖1C是將該傳感部分安裝在玻璃基板上的狀態(tài)的截面圖。
在圖1A和1B中，SOI基板10(用于制造加速度傳感器的傳感部分的基板)包括框架14；通過隨后所述的工藝生成在該SOI基板10上的壓阻元件11；構(gòu)成該傳感部分的可移動(dòng)部分的重物12；以及連接重物12和框架部分14并且支持重物12的移動(dòng)的梁13。此外，如圖1C所示，將玻璃基板15固定到框架14以支撐梁13并保持重物12，以面向重物12的軸向上的一個(gè)端面。
在該結(jié)構(gòu)中，當(dāng)構(gòu)成移動(dòng)部分的重物12移動(dòng)時(shí)，該移動(dòng)導(dǎo)致梁13的搖擺或彎曲，并且因此梁13上提供的壓阻元件11的電阻值發(fā)生變化。通過使用惠斯通橋接電路檢測到該電阻值的變化，并作為電信號輸出。
這里，在如圖1所示采用壓阻元件作為檢測元件的構(gòu)造的情況下，獲取梁13的彎曲作為壓阻元件的電阻變化，并且需要提供連接外部檢測電路和壓阻元件的引出配線(引線)以便檢測壓阻元件的電阻變化。
圖2是圖1B的平面圖的放大，其顯示了作為一般結(jié)構(gòu)的壓阻元件和配線引線的連接關(guān)系。
在圖2中，壓阻元件作為檢測元件形成并布置在四個(gè)梁13a到13d的每一個(gè)上。
在圖2所示的實(shí)施例中，壓電元件11a1和11a2形成在梁13a上，壓阻元件11b1到11b4形成在梁13b上，壓阻元件11c1和11c2形成在梁13c上，壓阻元件11d1到11d4形成在梁13d上。
通過焊盤16與引線(該引線與梁13a上的壓阻元件11a1和11a2連接并且與梁13c上的壓阻元件11c1和11c2連接)連接的外部檢測部分連接到橋接電路并且檢測Y軸上的加速度。類似地，通過焊盤16與配線引線(其與梁13b上的壓阻元件11b1和11b2連接并且與梁13d上的壓阻元件11d3和11d4連接)連接的外部檢測部分連接到橋接電路并且檢測X軸上的加速度。此外，通過焊盤16連接到配線引線(其連接到梁13b上的壓阻元件11b3和11b4并且連接到梁13d上的壓阻元件11d1和11d2)的外部檢測部分連接到橋接電路并且檢測Z軸上的加速度。
這里，上述類型的加速度傳感器的問題是存在著由溫度特性引起的偏移值。
也就是說，由溫度特性引起的主要因素包括諸多因素，即，壓阻元件的溫度特性和電阻的變化；配線的內(nèi)應(yīng)力、熱應(yīng)力；形成該元件的半導(dǎo)體基板、通過陽極焊接連接到該半導(dǎo)體基板的玻璃基板等的熱膨脹系數(shù)的差異等。
具體地，在連接檢測元件(壓阻元件)11和焊盤16的引線(配線)關(guān)于檢測軸(X軸方向或Y軸方向)或檢測元件(壓阻元件)不具有對稱性的情況下，由配線引起的膜應(yīng)力(分布)對于梁13a到13d是不同的。
圖3示出了圖2中的梁13a的部分的放大圖以便理解此方面。圖4示出了圖2中梁13b的部分的放大圖。
在圖3中，假設(shè)形成在梁13a上的壓阻元件11a1和11b1構(gòu)成了中心，不對稱地形成了設(shè)置在兩側(cè)的引線(配線)。同時(shí)，在圖4中，布置在兩側(cè)的引線(配線)不對稱地形成在梁13b上所形成的壓阻元件11b1、11b3以及11b2、11b4之間。
由于配線引線在梁13a和13b上的這種不對稱的目標(biāo)排列，薄膜應(yīng)力平衡在各個(gè)壓阻元件的附近略微不同，并且電阻值也有變化。因此，結(jié)果橋接電路的電阻平衡失衡并且偏移電壓增加。此外，偏移電壓也類似地隨著用于配線的純鋁Al、Al合金(Al-Si、Al-Cu等)的熱應(yīng)力而增加。
因此，已經(jīng)提出了各種提議來解決該問題。
作為第一個(gè)示例，在日本特開2003-92413中所示的發(fā)明的情況下，除了配線電阻之外，還形成了偽配線(dummy wiring)，梁上的配線圖案在檢測軸的方向上以及垂直于該檢測軸的方向上對稱。
作為第二個(gè)示例，日本特開2003-279592中所示的發(fā)明采用了以下方法，為了檢測Z軸方向上的加速度，將設(shè)置在梁上的壓阻元件的放置位置與應(yīng)力集中點(diǎn)分開。該方法通過擴(kuò)大或減小沿梁的軸向設(shè)置在一個(gè)梁上的兩個(gè)壓阻元件之間的間距來調(diào)整輸出。
此外，作為第三示例，在日本特開平H11-311631中，從另一角度看，由于硅基板與焊接了陽極的玻璃基板之間的熱膨脹系數(shù)的差異所導(dǎo)致的對溫度特性的影響是一個(gè)問題，為了減少該影響，在玻璃基板中形成凹槽以吸收或減輕由于熱膨脹系數(shù)的差異而產(chǎn)生的應(yīng)力。
根據(jù)分別出現(xiàn)在日本特開2003-92413和2003-279592中的提供偽配線的方法和將壓阻元件的位置與應(yīng)力集中點(diǎn)分開的方法，只要不使用與用于配線的材料不同的材料，在設(shè)置偽引線時(shí)將不會(huì)增加步驟。因此，從生產(chǎn)性和成本的觀點(diǎn)來看，與傳統(tǒng)步驟相比沒有變差。
但是，在設(shè)置日本特開2003-92413中出現(xiàn)的偽引線時(shí)，必須考慮對稱性來設(shè)置偽引線，當(dāng)確定梁的寬度尺寸時(shí)，例如要求等于偽配線的寬度與引出線(配線引線)之間的間隔的空間，并且難于使梁的寬度變窄。
此外，考慮到出現(xiàn)在日本特開2003-279592中的壓阻位置的移動(dòng)，當(dāng)壓阻元件之間的間距變窄時(shí)，在壓阻元件的形狀沒有改變的情況下，難于縮短梁的長度。相反地，可以擴(kuò)展梁的長度，但是過于長的梁長度產(chǎn)生了大的制造不連續(xù)性，這是不理想的。此外，當(dāng)梁長度改變時(shí)，與梁等的膜應(yīng)力對應(yīng)的變形量也發(fā)生變化。因而需要改變膜應(yīng)力的厚度和膜淀積方法(條件)等等。
此外，當(dāng)通過將壓阻元件11在朝向框架14或重物12的方向上移動(dòng)(在相對于梁中央向外的方向上移動(dòng))來增大壓阻元件的間距時(shí)，框架14上的配線按照壓阻元件移動(dòng)的程度而向外側(cè)的移動(dòng)產(chǎn)生了框架配線布局的變化。因此，當(dāng)框架的尺寸固定時(shí)，纏繞(running)配線的空間受到限制并且難于進(jìn)行配線的改變。而且，可纏繞配限的空間受限意味著難于減小框架，也難于小型化。
而且，在根據(jù)日本特開平H11-311631的通過在由半導(dǎo)體基板制成的元件或玻璃基板中形成減輕應(yīng)力的凹槽的情況下，因?yàn)榧尤肓嗽陉枠O焊接玻璃基板上形成凹槽的步驟，所以增加成本是不可避免的。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明的一個(gè)目的提供如下一種加速度傳感器，其解決了日本特開2003-92413、2003-279592以及日本特開平H11-311631中的問題，抑制了偏移電壓的波動(dòng)并改善了溫度特性。
此外，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供如下一種加速度傳感器，其在沒有極大地改變元件尺寸、制造條件等的情況下改善了溫度特性(更具體地改善了偏移電壓的溫度特性)，同時(shí)確保了設(shè)計(jì)自由度，以便改善上述問題。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)以上目的的加速度傳感器的第一方面包括形成在半導(dǎo)體基板中央的重物；形成在重物周邊的框架；連接重物和框架的梁或隔膜；檢測元件，其形成在梁或隔膜之上并且檢測與施加的加速度相對應(yīng)的梁或隔膜的彎曲；以及配線引線，形成在梁或隔膜上并且將所述檢測元件的檢測輸出引導(dǎo)到設(shè)置在框架上的焊盤，其中，在梁或隔膜上形成包括與形成在梁或隔膜上的配線引線獨(dú)立的多個(gè)點(diǎn)狀圖案的偽引線。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)以上目的的加速度傳感器的第二方面是根據(jù)第一方面的加速度傳感器，其中獨(dú)立于配線引線的偽引線的圖案是通過與形成配線引線步驟相同的步驟形成的。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)上述目的的加速度傳感器的第三方面是根據(jù)第一方面的加速度傳感器，其中偽引線的多個(gè)點(diǎn)狀圖案布置在直線上。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)上述目的的加速度傳感器的第四方面是如下一種加速度傳感器，包括形成在半導(dǎo)體基板中央的重物；形成在重物周邊的框架；連接重物和框架的梁或隔膜；以及壓阻元件，其形成在梁或隔膜之上并且檢測與所施加的加速度對應(yīng)的梁或隔膜的彎曲，其中壓阻元件包括第一區(qū)域和比第一區(qū)域?qū)挾日牡诙^(qū)域；所述第一區(qū)域形成在跨重物與梁或隔膜之間的邊界或者框架與梁或隔膜之間的邊界的位置中；并且所述第二區(qū)域形成在梁或隔膜上。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)以上目的的加速度傳感器的第五方面是根據(jù)第四方面的加速度傳感器，其中所述壓阻元件的第一區(qū)域的邊界位置被定位為使得位于梁或隔膜上的區(qū)域的比例大于位于第一區(qū)域的重物或框架的區(qū)域。
本發(fā)明能夠提供具有優(yōu)良的偏移電壓漂移溫度特性的加速度傳感器。


圖1是說明構(gòu)成加速度傳感器的主要元件的傳感部分的結(jié)構(gòu)的概念視圖；圖2是圖1B的平面圖的放大圖，其示出了作為一般構(gòu)成的壓阻元件和引線的連接關(guān)系；圖3示出了圖2中的梁13a的部分的放大圖；圖4示出了圖2中的梁13b的部分的放大圖；圖5表示了本發(fā)明的第一實(shí)施例；圖6表示了偽引線；圖7再現(xiàn)了圖5B；圖8示出了當(dāng)形成在梁13b上的偽引線17b的形式被改變時(shí)的Z軸傳感器的偏移電壓漂移特性；圖9說明了本發(fā)明的第二實(shí)施例；圖10示出了圖9所示的實(shí)施例的應(yīng)力分布；圖11是一示例，其中與第二實(shí)施例一樣，梁13b上的壓阻元件11b3由第一區(qū)域和第二區(qū)域構(gòu)成；圖12示出了當(dāng)在圖11的構(gòu)成中第一區(qū)域延伸到第二區(qū)域的偏移量改變時(shí)，對于各溫度的Z軸偏移電壓漂移(mV)。
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)

本發(fā)明的實(shí)施例。此外，附圖所示的實(shí)施例說明了本發(fā)明但是本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于該實(shí)施例。
第一實(shí)施例圖5表示了本發(fā)明的第一實(shí)施例，圖5A是對應(yīng)于圖2的平面圖。此外，圖5B是圖5A中的用粗線圈出的梁13b的部分的放大圖。在圖5中，具有與圖2中相同的標(biāo)號的部分表示相同的部分。
該實(shí)施例的特征為對于各梁上的壓阻元件11a1到11a2、11b1到11b4、11c1到11c2和11d1到11d4配有引線，這些引線連接這些壓阻元件以及偽引線17a、17b、17c和17d。
而且，為了在連接梁13a和13d的線路引線18a與連接梁13b和13c的線路引線18b之間建立平衡，在梁13a和13b之間形成偽引線18a1并且在梁13c和13d之間形成偽引線18b1。
具體地，在本發(fā)明的情況下，如圖5B中的放大形式所示，這些偽引線形成了多個(gè)點(diǎn)狀體。而且，對于該點(diǎn)狀體，可以通過調(diào)整點(diǎn)間隔、各點(diǎn)的長度和點(diǎn)數(shù)來調(diào)整偽引線的等效長度。
例如，如示出了偽引線的圖6所示，當(dāng)所需的偽引線圖案長度是260μm(參見圖6B)時(shí)，在原封不動(dòng)地在梁上形成偽引線的情況下，該偽引線必然偏心放置在梁上，也就是說，該偽引線被設(shè)置為向著重物12、中央或框架14的任一方向歪斜。在這種情況下，發(fā)生梁歪斜的可能性較高。
另一方面，根據(jù)本發(fā)明，如圖6A所示，引線圖案長度為260μm的偽引線可被分為多個(gè)點(diǎn)狀圖案L1并且等間隔地布置在梁上。由此可以避免梁上的偽引線的偏心放置。
圖7和圖8表示了第一實(shí)施例的結(jié)果。圖7再現(xiàn)了圖5B。圖8示出了當(dāng)形成在梁13b上的偽引線17b的形式被改變時(shí)的Z軸傳感器的偏移電壓漂移特性。
在圖8中，特性A代表如下實(shí)施例，其中梁13b上的圖案長度260μm被分為多個(gè)長度為L1的點(diǎn)狀圖案，所述點(diǎn)狀圖案如圖7所示是以散布形式布置的。
特性B是梁13b上的布置的示例，其不涉及如圖6B所示的對260μm的圖案長度進(jìn)行分割。特性C是沒有形成偽圖案的情況的特性。
所有這些特性是通過以溫度25℃為基準(zhǔn)溫度來改變溫度時(shí)，繪制出偏移電壓漂移(mV)而生成的。
從圖8中可見，相對于對比示例而言，其中偽引線被分成以散布結(jié)構(gòu)布置的多個(gè)點(diǎn)狀圖案(各點(diǎn)狀圖案長度為L1)的本發(fā)明實(shí)施例具有有利的溫度特性。
如上所述，在第一實(shí)施例的情況下，可以看出，盡管由于壓阻元件的布置而很難實(shí)現(xiàn)整個(gè)圖案的對稱性，但是如圖8中所示，即使沒有完全的對稱，作用于梁或隔膜等的薄膜應(yīng)力的分布也被改善為變得統(tǒng)一，結(jié)果改進(jìn)了溫度特性。
這里，可以通過與形成配線引線的步驟相同的步驟來通過多個(gè)點(diǎn)形成偽引線。
此外，在第一實(shí)施例中描述了只將壓阻元件用作檢測元件的示例。但是本發(fā)明的實(shí)施例并不限于這樣的檢測元件，而是可以類似地使用例如壓電元件作為檢測元件并利用靜電電容的變化作為檢測方法等。
第二實(shí)施例圖9示出了本發(fā)明的第二實(shí)施例。在提高加速度傳感器的溫度特性的意義上，在假設(shè)第二實(shí)施例可以獨(dú)立于第一實(shí)施例來實(shí)現(xiàn)，并且第二實(shí)施例具有第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的前提下，第二實(shí)施例也可以被構(gòu)造為獨(dú)立地提供下面描述的第二實(shí)施例特征。
第二實(shí)施例的特征是構(gòu)成檢測元件的壓阻元件被構(gòu)成為包括第一區(qū)域和第二區(qū)域，并且第一壓阻元件的區(qū)域被布置為延伸到應(yīng)力集中的重物12和梁13之間的邊界上或者框架14和梁13之間的邊界上。此外，第一壓阻元件的區(qū)域的寬度被形成為大于另一第二壓阻元件區(qū)域的寬度。結(jié)果，可以減小第一壓阻元件區(qū)域部分的電阻值。
也就是說，在應(yīng)力集中的重物12和梁13之間的邊界或框架14和梁13之間的邊界的附近的靈敏度可以降低。因此，盡管第一壓阻元件區(qū)域部分的靈敏度下降，但溫度的波動(dòng)幅度下降，結(jié)果，整個(gè)壓阻元件的溫度特性得到改善。
在圖9中所示的實(shí)施例中，第一區(qū)域11A被定位為延伸到框架14和梁13之間的邊界19之上并且將其圈起。此外，如圖9所示，該壓阻元件通過鋁線20連接到引線。檢測沿Z軸方向的加速度的壓阻元件11b4包括第一區(qū)域11A和第二區(qū)域11B，并且第一區(qū)域11A的寬度大于第二區(qū)域11B的寬度(參見圖9B)。
圖10示出了圖9所示的實(shí)施例的應(yīng)力分布。將應(yīng)力峰值P表示為規(guī)一化的1。
如圖10A所示，應(yīng)力的峰值P在框架14和梁13之間的邊界19處最大。在應(yīng)力最大的區(qū)域中，壓阻元件11b4形成了具有較大寬度的第一區(qū)域11A。因此，第一區(qū)域部分11A的電阻值下降，結(jié)果整體減小了壓阻元件的溫度變化所引起的靈敏度波動(dòng)的幅度，并且改善了溫度特性。
圖11是第二實(shí)施例的具體示例并且構(gòu)成了其中梁13b上的壓阻元件11b3包括第一區(qū)域和第二區(qū)域的示例。而且，壓阻元件11b3的第一區(qū)域11A被布置并形成為在重物12和梁13之間的邊界19上延伸。
在圖11中，如圖11B的放大所示，壓阻元件11b3的第一區(qū)域11A被形成為延伸到重物12和梁13b之間的邊界19之上。
也就是說，當(dāng)邊界19用作基準(zhǔn)時(shí)，壓阻元件11b3的第一區(qū)域11A具有朝向重物12的預(yù)定長度(實(shí)施例中顯示為25μm-25μm)，并且通過鋁配線20連接到框架14上的引線(未示出)。
此外，當(dāng)將邊界19用作基準(zhǔn)時(shí)，壓阻元件11b3的第一區(qū)域11A具有以下部分，該部分在壓阻元件11b3的第二區(qū)域11B側(cè)上具有偏移量。
因此，在圖11中，第一區(qū)域11A的長度是通過當(dāng)將邊界19用作基準(zhǔn)時(shí)重物12側(cè)上的預(yù)定長度加上向著第二區(qū)域的延伸所生成的偏移量而得到的。
現(xiàn)在，假設(shè)當(dāng)邊界19用作基準(zhǔn)時(shí)在重物12側(cè)的預(yù)定長度為(-25μm)并且寬度為10μm，圖12中示出了通過改變朝向第二區(qū)域延伸的偏移量所得到的測量結(jié)果(實(shí)施例中的寬度為7μm)。
圖12示出了在圖11中示出的結(jié)構(gòu)中，當(dāng)形成在梁13b上的壓阻元件11b3的第一區(qū)域11A延伸到第二區(qū)域11B的偏移量發(fā)生改變時(shí)各溫度的Z軸偏移電壓漂移(mV)。
圖12中的測量示例a是偏移量為-25μm的示例，即，在這種情況下，不存在第一區(qū)域11A，并且壓阻元件11b3的寬度是統(tǒng)一的并且與傳統(tǒng)示例相同。
測量示例b到d是各個(gè)偏移量為+5、+15和+25μm的示例?？梢詮膱D12中容易地看出，當(dāng)以溫度25℃為基準(zhǔn)溫度時(shí)溫度發(fā)生變化的情況下，可以看出Z軸方向的偏移電壓漂移的溫度波動(dòng)隨著偏移量的減小而增加。也就是說，可以看出，當(dāng)將邊界19用作基準(zhǔn)時(shí)通過擴(kuò)大第一區(qū)域11A向第二區(qū)域11B的延伸的區(qū)域，可以獲得更為優(yōu)選的溫度波動(dòng)。
此外，盡管在以上第二實(shí)施例的描述中提供了對于Z軸偏移電壓漂移的說明，但是應(yīng)當(dāng)理解也可以通過在X軸或Y軸上提供具有第一區(qū)域和第二區(qū)域的壓阻元件來調(diào)整偏移電壓漂移。
根據(jù)上述實(shí)施例來描述本發(fā)明，本發(fā)明能夠通過一種簡單構(gòu)造提供一種具有優(yōu)良的偏移電壓漂移的溫度特性的加速度傳感器。因此，可以提供一種具有優(yōu)良的成本性能和改進(jìn)的可靠性的加速度傳感器。
權(quán)利要求
1.一種加速度傳感器，包括形成在半導(dǎo)體基板的中央的重物；形成在所述重物的周邊的框架；連接所述重物和所述框架的梁；檢測元件，其形成在所述梁上并且檢測所述梁的與所施加的加速度相對應(yīng)的彎曲；以及配線引線，形成在所述梁上并且將所述檢測元件的檢測輸出引導(dǎo)到設(shè)置在所述框架上的焊盤；其中，在所述梁上形成有包括與形成在所述梁上的配線引線獨(dú)立的多個(gè)點(diǎn)狀圖案的偽引線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度傳感器，其中獨(dú)立于所述配線引線的所述偽引線的圖案是通過與形成所述配線引線的步驟相同的步驟形成的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度傳感器，其中所述偽引線的多個(gè)點(diǎn)狀圖案被布置在直線上。
4.一種加速度傳感器，包括形成在半導(dǎo)體基板的中央的重物；形成在所述重物的周邊的框架；連接所述重物和所述框架的梁；以及壓阻元件，其形成在所述梁上并且檢測所述梁的與所施加的加速度對應(yīng)的彎曲；其中所述壓阻元件包括第一區(qū)域和比第一區(qū)域?qū)挾日牡诙^(qū)域；所述第一區(qū)域形成在跨所述重物與梁之間的邊界或所述框架與所述梁之間的邊界的位置處；并且所述第二區(qū)域形成在所述梁上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加速度傳感器，其中所述壓阻元件的所述第一區(qū)域的邊界位置被定位為使得位于所述梁上的區(qū)域的比例大于所述第一區(qū)域的位于所述框架或所述重物上的區(qū)域。
全文摘要
提供了一種加速度傳感器，其抑制了偏移電壓的波動(dòng)并且具有改善的溫度特性。該加速度傳感器包括形成在半導(dǎo)體基板中央的重物；形成在重物周邊的框架；連接重物和框架的梁或隔膜；檢測元件，其形成在梁或隔膜上并且檢測與施加的加速度對應(yīng)的梁或隔膜的彎曲；以及引線，形成在梁或隔膜上并且將所述檢測元件的檢測輸出引導(dǎo)到設(shè)置在框架上的焊盤，其中，在梁或隔膜上形成包括與形成在梁或隔膜上的配線引線獨(dú)立的多個(gè)點(diǎn)狀圖案的偽引線。
文檔編號H01L29/66GK1773292SQ200510084468
公開日2006年5月17日 申請日期2005年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月9日
發(fā)明者町田敦司, 山田澄夫, 田中浩, 愛澤尚德, 永田憲治, 宮下勉, 石川寬 申請人:富士通媒體部品株式會(huì)社, 富士通株式會(huì)社